JPH11114869A - スライド開閉式チャック装置におけるチャック開度検出装置 - Google Patents
スライド開閉式チャック装置におけるチャック開度検出装置Info
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- JPH11114869A JPH11114869A JP30665397A JP30665397A JPH11114869A JP H11114869 A JPH11114869 A JP H11114869A JP 30665397 A JP30665397 A JP 30665397A JP 30665397 A JP30665397 A JP 30665397A JP H11114869 A JPH11114869 A JP H11114869A
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- chucks
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 互いに逆方向にリニア変位する１対のチャッ
クの変位を直接的に検出することにより、チャック開度
を正確に検出し、かつ、装置の構成を簡単化する。 【解決手段】 ガイドレールに沿ってスライド可能に配
置された１対のチャックと、リニアアクチュエータと、
このリニアアクチュエータの直線運動を前記各チャック
の互いに逆方向のスライド運動に変換して該各チャック
を移動させる運動変換機構とを具備するスライド開閉式
チャック装置において、前記１対のチャックのうちの少
なくとも一方の変位を直接的に検出する検出部を、前記
ガイドレールの構造体の側に配置してなることを特徴と
するチャック開度検出装置。
クの変位を直接的に検出することにより、チャック開度
を正確に検出し、かつ、装置の構成を簡単化する。 【解決手段】 ガイドレールに沿ってスライド可能に配
置された１対のチャックと、リニアアクチュエータと、
このリニアアクチュエータの直線運動を前記各チャック
の互いに逆方向のスライド運動に変換して該各チャック
を移動させる運動変換機構とを具備するスライド開閉式
チャック装置において、前記１対のチャックのうちの少
なくとも一方の変位を直接的に検出する検出部を、前記
ガイドレールの構造体の側に配置してなることを特徴と
するチャック開度検出装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、１対のフィンガ
ーを互いに逆方向にスライド開閉することにより、物品
の把持、移動等の操作を行うスライド開閉式チャック装
置に関し、特にその連続的なスライド開閉位置を検出で
きるようにしたチャック開度検出装置に関する。
ーを互いに逆方向にスライド開閉することにより、物品
の把持、移動等の操作を行うスライド開閉式チャック装
置に関し、特にその連続的なスライド開閉位置を検出で
きるようにしたチャック開度検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ロボット等のハンドとして使用されるス
ライド開閉式チャック装置は従来より知られており、一
般的には、ガイドレールに沿ってスライド可能に配置さ
れた１対のチャックと、エアシリンダ等のリニアアクチ
ュエータと、このリニアアクチュエータの直線運動を各
チャックの互いに逆方向のスライド運動に変換して該各
チャックを移動させる運動変換機構とを具備している。
ここで、ロボットハンド制御のためには、チャックの開
閉を適切に検出する必要がある。そのために、従来のチ
ャック開閉検出装置は、リニアアクチュエータとして使
用するシリンダ内においてピストンに連動するように永
久磁石を配置しておき、装置ケーシングの外側の所定箇
所にリードスイッチを配置し、ピストンの所定位置に対
応して該リードスイッチからオン／オフ出力を得るよう
にしている。また、リニア変位を検出する一般的なセン
サは、従来より種々知られているが、従来公知のリニア
センサは、いずれも、１つのリニア運動に基づくリニア
変位を検出するものであり、互いに逆方向のリニア変位
に基づく開度を検出するものではなかった。
ライド開閉式チャック装置は従来より知られており、一
般的には、ガイドレールに沿ってスライド可能に配置さ
れた１対のチャックと、エアシリンダ等のリニアアクチ
ュエータと、このリニアアクチュエータの直線運動を各
チャックの互いに逆方向のスライド運動に変換して該各
チャックを移動させる運動変換機構とを具備している。
ここで、ロボットハンド制御のためには、チャックの開
閉を適切に検出する必要がある。そのために、従来のチ
ャック開閉検出装置は、リニアアクチュエータとして使
用するシリンダ内においてピストンに連動するように永
久磁石を配置しておき、装置ケーシングの外側の所定箇
所にリードスイッチを配置し、ピストンの所定位置に対
応して該リードスイッチからオン／オフ出力を得るよう
にしている。また、リニア変位を検出する一般的なセン
サは、従来より種々知られているが、従来公知のリニア
センサは、いずれも、１つのリニア運動に基づくリニア
変位を検出するものであり、互いに逆方向のリニア変位
に基づく開度を検出するものではなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
チャック開閉検出装置では、シリンダ内に永久磁石を設
ける構成であるため、シリンダのサイズ（特にたて方向
の長さ）が大きくなってしまうという問題があった。ま
た、リードスイッチそれ自体のサイズも一般に大きなも
のであるので、これによってシリンダ周辺の装置構成
（特にたて方向の長さ）が大きくなってしまうという問
題があった。また、リードスイッチでは、オン／オフに
よる２位置の検出しか行えず、チャック開度を連続的に
検出することはできなかった。また、シリンダの直線運
動を１対のチャックの逆方向の運動に変換する運動変換
機構は、運動方向の直角方向への変換かつ互いに逆向き
の２方向への変換というという特殊な構造であるため、
機構のガタツキが有り、シリンダのストローク位置が必
ずしもチャックの正確なスライド位置に対応していると
は限らないので、位置検出精度に問題があった。特に、
チャック開度の中間的な位置を正確に検出することは、
シリンダストローク位置検出によっては困難であった。
この発明は上述の点に鑑みてなされたもので、互いに逆
方向にリニア変位する１対のチャックの変位を直接的に
検出することにより、チャック開度を正確に検出するこ
とができ、しかも、装置の構成（特にリニアアクチュエ
ータのたて方向のサイズ）をそれほど大きくすることの
ない、スライド開閉式チャック装置におけるチャック開
度検出装置を提供しようとするものである。
チャック開閉検出装置では、シリンダ内に永久磁石を設
ける構成であるため、シリンダのサイズ（特にたて方向
の長さ）が大きくなってしまうという問題があった。ま
た、リードスイッチそれ自体のサイズも一般に大きなも
のであるので、これによってシリンダ周辺の装置構成
（特にたて方向の長さ）が大きくなってしまうという問
題があった。また、リードスイッチでは、オン／オフに
よる２位置の検出しか行えず、チャック開度を連続的に
検出することはできなかった。また、シリンダの直線運
動を１対のチャックの逆方向の運動に変換する運動変換
機構は、運動方向の直角方向への変換かつ互いに逆向き
の２方向への変換というという特殊な構造であるため、
機構のガタツキが有り、シリンダのストローク位置が必
ずしもチャックの正確なスライド位置に対応していると
は限らないので、位置検出精度に問題があった。特に、
チャック開度の中間的な位置を正確に検出することは、
シリンダストローク位置検出によっては困難であった。
この発明は上述の点に鑑みてなされたもので、互いに逆
方向にリニア変位する１対のチャックの変位を直接的に
検出することにより、チャック開度を正確に検出するこ
とができ、しかも、装置の構成（特にリニアアクチュエ
ータのたて方向のサイズ）をそれほど大きくすることの
ない、スライド開閉式チャック装置におけるチャック開
度検出装置を提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明に係るチャック
開度検出装置は、ガイドレールに沿ってスライド可能に
配置された１対のチャックと、リニアアクチュエータ
と、このリニアアクチュエータの直線運動を前記各チャ
ックの互いに逆方向のスライド運動に変換して該各チャ
ックを移動させる運動変換機構とを具備するスライド開
閉式チャック装置において、前記１対のチャックのうち
の少なくとも一方の変位を直接的に検出する検出部を、
前記ガイドレールの構造体の側に配置してなることを特
徴とするものである。このように、チャックの変位を直
接的に検出する検出部を、ガイドレールの構造体の側に
配置してなることにより、リニアアクチュエータの側に
検出装置を設ける必要がなくなるため、リニアアクチュ
エータのサイズ（特にシリンダのたて方向のサイズ）を
従来よりも小型化することができる。また、チャックの
変位を直接的に検出するため、運動変換機構のガタツキ
の影響を受けることなく、正確なチャック開度の検出を
行うことができる。
開度検出装置は、ガイドレールに沿ってスライド可能に
配置された１対のチャックと、リニアアクチュエータ
と、このリニアアクチュエータの直線運動を前記各チャ
ックの互いに逆方向のスライド運動に変換して該各チャ
ックを移動させる運動変換機構とを具備するスライド開
閉式チャック装置において、前記１対のチャックのうち
の少なくとも一方の変位を直接的に検出する検出部を、
前記ガイドレールの構造体の側に配置してなることを特
徴とするものである。このように、チャックの変位を直
接的に検出する検出部を、ガイドレールの構造体の側に
配置してなることにより、リニアアクチュエータの側に
検出装置を設ける必要がなくなるため、リニアアクチュ
エータのサイズ（特にシリンダのたて方向のサイズ）を
従来よりも小型化することができる。また、チャックの
変位を直接的に検出するため、運動変換機構のガタツキ
の影響を受けることなく、正確なチャック開度の検出を
行うことができる。
【０００５】この発明によれば、前記検出部は、前記チ
ャックの所定の閉位置からの開度を示す変位データを得
るものであり、１個のチャックについて検出した前記変
位データを２倍にすることにより、２つのチャック間の
開度を示すデータを得るようにすることができる。これ
により、互いに逆方向にリニア変位する１対のチャック
の変位に基づく該チャックの開度を検出することができ
る。また、この発明によれば、前記検出部は、前記チャ
ックの所定の閉位置からの開度を示す変位データを得る
ものであり、各チャックについて検出した前記変位デー
タを加算にすることにより、２つのチャック間の開度を
示すデータを得るようにすることができる。これによっ
ても、互いに逆方向にリニア変位する１対のチャックの
変位に基づく該チャックの開度を検出することができ
る。検出部において採用する検出原理は、電磁誘導式位
置検出原理や、光学式位置検出原理、磁気式位置検出原
理、など適宜のものを用いることがてぎる。
ャックの所定の閉位置からの開度を示す変位データを得
るものであり、１個のチャックについて検出した前記変
位データを２倍にすることにより、２つのチャック間の
開度を示すデータを得るようにすることができる。これ
により、互いに逆方向にリニア変位する１対のチャック
の変位に基づく該チャックの開度を検出することができ
る。また、この発明によれば、前記検出部は、前記チャ
ックの所定の閉位置からの開度を示す変位データを得る
ものであり、各チャックについて検出した前記変位デー
タを加算にすることにより、２つのチャック間の開度を
示すデータを得るようにすることができる。これによっ
ても、互いに逆方向にリニア変位する１対のチャックの
変位に基づく該チャックの開度を検出することができ
る。検出部において採用する検出原理は、電磁誘導式位
置検出原理や、光学式位置検出原理、磁気式位置検出原
理、など適宜のものを用いることがてぎる。
【０００６】一例として、前記ガイドレールの構造体の
側に配置された複数の１次及び２次コイルを有し、該各
コイルは、前記ガイドレールにおけるチャックの全移動
範囲における所定の複数の異なる位置に対応してそれぞ
れ配置されてなり、前記チャックの側面を構成している
所定の磁気応答物質の近接に応じて前記１次及び２次コ
イル間の誘導結合が変化することにより、前記チャック
の開度に応じた誘導出力信号を２次コイルから生じるよ
うにしてなる誘導原理に従う構成を採用するこことがで
きる。この場合において、前記コイルは、第１及び第２
のグループに分類されていて、第１のグループにおける
誘導結合の合成は、前記チャックの全ストロークにわた
る変位に対して所定の第１の関数に従う特性を示し、第
２のグループにおける誘導結合の合成は、前記チャック
の全ストロークにわたる変位に対して所定の第２の関数
に従う特性を示すように、各コイルの配置が設定されて
いるものを用いるとよい。これにより、互いに逆方向に
変位する１対のチャック間の開度を一挙に検出すること
ができる。ここで、第１の関数をサイン関数、第２の関
数をコサイン関数となるような関係で、各コイルの配置
を設定すれば、回転型のレゾルバと同様の出力信号構成
の検出信号を得ることができるものとなり、検出信号が
扱い易いものとなる。
側に配置された複数の１次及び２次コイルを有し、該各
コイルは、前記ガイドレールにおけるチャックの全移動
範囲における所定の複数の異なる位置に対応してそれぞ
れ配置されてなり、前記チャックの側面を構成している
所定の磁気応答物質の近接に応じて前記１次及び２次コ
イル間の誘導結合が変化することにより、前記チャック
の開度に応じた誘導出力信号を２次コイルから生じるよ
うにしてなる誘導原理に従う構成を採用するこことがで
きる。この場合において、前記コイルは、第１及び第２
のグループに分類されていて、第１のグループにおける
誘導結合の合成は、前記チャックの全ストロークにわた
る変位に対して所定の第１の関数に従う特性を示し、第
２のグループにおける誘導結合の合成は、前記チャック
の全ストロークにわたる変位に対して所定の第２の関数
に従う特性を示すように、各コイルの配置が設定されて
いるものを用いるとよい。これにより、互いに逆方向に
変位する１対のチャック間の開度を一挙に検出すること
ができる。ここで、第１の関数をサイン関数、第２の関
数をコサイン関数となるような関係で、各コイルの配置
を設定すれば、回転型のレゾルバと同様の出力信号構成
の検出信号を得ることができるものとなり、検出信号が
扱い易いものとなる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照してこの発
明の実施の形態を詳細に説明しよう。図１は、この発明
に係るチャック開度検出装置を具えたスライド開閉式チ
ャック装置の一実施例の外観を示す概略斜視図であり、
１対のチャック３Ｌ，３Ｒがガイドレール２に沿ってス
ライド可能に配置されている。ガイドレール２は、その
構造体の中央に設けられた１本のガイド溝からなってい
て、このガイド溝内にチャック３Ｌ，３Ｒがはめこまれ
ていてスライド自在となっている。ガイドレール２にお
いて、その構造体の上面２ａは、ガイド溝の両側にそれ
ぞれ位置しており、従来は、ここには何も配置されてい
ない空きスペースであった。本発明では、点線で示すよ
うに、このガイドレール２の構造体の上面２ａに、検出
部１を設けるものとしている。なお、図１では、ガイド
溝の両側に有るガイドレール２の構造体の上面２ａにそ
れぞれ検出部１を設けるように点線で図示しているが、
必ずしもこの点線図示の範囲すべてにわたって検出部１
を設ける必要はなく、必要な範囲または部分でみ検出部
１を設けるようにすればよい。
明の実施の形態を詳細に説明しよう。図１は、この発明
に係るチャック開度検出装置を具えたスライド開閉式チ
ャック装置の一実施例の外観を示す概略斜視図であり、
１対のチャック３Ｌ，３Ｒがガイドレール２に沿ってス
ライド可能に配置されている。ガイドレール２は、その
構造体の中央に設けられた１本のガイド溝からなってい
て、このガイド溝内にチャック３Ｌ，３Ｒがはめこまれ
ていてスライド自在となっている。ガイドレール２にお
いて、その構造体の上面２ａは、ガイド溝の両側にそれ
ぞれ位置しており、従来は、ここには何も配置されてい
ない空きスペースであった。本発明では、点線で示すよ
うに、このガイドレール２の構造体の上面２ａに、検出
部１を設けるものとしている。なお、図１では、ガイド
溝の両側に有るガイドレール２の構造体の上面２ａにそ
れぞれ検出部１を設けるように点線で図示しているが、
必ずしもこの点線図示の範囲すべてにわたって検出部１
を設ける必要はなく、必要な範囲または部分でみ検出部
１を設けるようにすればよい。
【０００８】検出部１の詳細例の説明の前に、参考のた
めに、チャック装置それ自体の構成について図２に示す
縦断面図により説明する。なお、このようなチャック装
置それ自体は公知であるため、図２に示す構成に限ら
ず、他のどのような構成を使用してもよい。リニアアク
チュエータは、例えばエアシリンダからなり、４はシリ
ンダ本体、５はピストン、６はピストンロッドである。
このピストンロッド６の直線運動を前記各チャック３
Ｌ，３Ｒの互いに逆方向のスライド運動に変換して該各
チャック３Ｌ，３Ｒを移動させる運動変換機構は、右リ
ンク機構と左リンク機構とからなる。右リンク機構につ
いて説明すると、所定位置に設けられた軸８Ｒに枢支さ
れたレバー９Ｒの一端の凹部がピストンロッド６の先端
に設けられた軸７に嵌合し、該レバー９Ｒの他端の凹部
が右チャック３Ｒの下部に設けられた軸１０Ｒに嵌合し
ている。左リンク機構も同様に部材８Ｌ，９Ｌ，１０Ｌ
からなる。この構成によって、ピストンロッド６の上下
動に応じて、左右のチャック３Ｌ，３Ｒが横方向に互い
に逆向きにスライドする。例えば、図示のチャック位置
が最も開いている状態であり、この位置からピストンロ
ッド６が下向きに動くと、右チャック３Ｒは図示の左方
向に、左チャック３Ｌは図示の右方向に、それぞれ動
き、チャック３Ｌ，３Ｒが閉じられる。その後、ピスト
ンロッド６が上向きに動くと、上記とは逆向きにチャッ
ク３Ｌ，３Ｒが動き、開かれることになる。各チャック
３Ｌ，３Ｒの摺動面においては、多数のボールが設けら
れていて、ガイドレール２に対して滑らかにスライドし
得るようになっている。
めに、チャック装置それ自体の構成について図２に示す
縦断面図により説明する。なお、このようなチャック装
置それ自体は公知であるため、図２に示す構成に限ら
ず、他のどのような構成を使用してもよい。リニアアク
チュエータは、例えばエアシリンダからなり、４はシリ
ンダ本体、５はピストン、６はピストンロッドである。
このピストンロッド６の直線運動を前記各チャック３
Ｌ，３Ｒの互いに逆方向のスライド運動に変換して該各
チャック３Ｌ，３Ｒを移動させる運動変換機構は、右リ
ンク機構と左リンク機構とからなる。右リンク機構につ
いて説明すると、所定位置に設けられた軸８Ｒに枢支さ
れたレバー９Ｒの一端の凹部がピストンロッド６の先端
に設けられた軸７に嵌合し、該レバー９Ｒの他端の凹部
が右チャック３Ｒの下部に設けられた軸１０Ｒに嵌合し
ている。左リンク機構も同様に部材８Ｌ，９Ｌ，１０Ｌ
からなる。この構成によって、ピストンロッド６の上下
動に応じて、左右のチャック３Ｌ，３Ｒが横方向に互い
に逆向きにスライドする。例えば、図示のチャック位置
が最も開いている状態であり、この位置からピストンロ
ッド６が下向きに動くと、右チャック３Ｒは図示の左方
向に、左チャック３Ｌは図示の右方向に、それぞれ動
き、チャック３Ｌ，３Ｒが閉じられる。その後、ピスト
ンロッド６が上向きに動くと、上記とは逆向きにチャッ
ク３Ｌ，３Ｒが動き、開かれることになる。各チャック
３Ｌ，３Ｒの摺動面においては、多数のボールが設けら
れていて、ガイドレール２に対して滑らかにスライドし
得るようになっている。
【０００９】図３は、検出部１の具体例を示すもので、
誘導型位置検出原理に基づきリニア位置検出を行うもの
である。図３（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）
は端面図である。１つのチャック３Ｌ，３Ｒの少なくと
も側面を鉄のような磁性体または銅のような導電体（こ
れらを総称して磁気応答物質ということにする）によっ
て構成し（チャック３Ｌ，３Ｒの全体が元々鉄のような
磁性体からなっている場合はそれをそのまま使用すれば
よい）、交流磁場に対する誘導係数を変化させる特性
（つまり磁気応答特性）をもたせる。すなわち、磁性体
の場合はパーミアンスを制御するよう作用し、導電体の
場合は渦電流損により誘導を制御することとなる。
誘導型位置検出原理に基づきリニア位置検出を行うもの
である。図３（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）
は端面図である。１つのチャック３Ｌ，３Ｒの少なくと
も側面を鉄のような磁性体または銅のような導電体（こ
れらを総称して磁気応答物質ということにする）によっ
て構成し（チャック３Ｌ，３Ｒの全体が元々鉄のような
磁性体からなっている場合はそれをそのまま使用すれば
よい）、交流磁場に対する誘導係数を変化させる特性
（つまり磁気応答特性）をもたせる。すなわち、磁性体
の場合はパーミアンスを制御するよう作用し、導電体の
場合は渦電流損により誘導を制御することとなる。
【００１０】ガイドレール２のガイド溝の両側に有るガ
イドレール構造体の上面２ａにおいて、一方の側の上面
２ａにはサイン関数生成用のコイルグループ１１ｓ〜１
４ｓが設けられ、一方の側の上面２ａにはコサイン関数
生成用のコイルグループ１１ｃ〜１５ｃが設けられてい
る。各コイルグループにおける個々の１次及び２次コイ
ルは、ガイドレール２におけるチャック３Ｌ，３Ｒの全
移動範囲における所定の複数の異なる位置に対応してそ
れぞれ配置されてなり、チャック３Ｌ，３Ｒの側面を構
成している所定の磁気応答物質の近接に応じて各１次及
び２次コイル間の誘導結合が変化することにより、チャ
ック３Ｌ，３Ｒの開度に応じた誘導出力信号を２次コイ
ルから生じるようになっている。ここで、各コイルを２
つのグループに分類した理由は、第１のグループにおけ
る各コイル１１ｓ〜１４ｓの誘導結合の合成が、チャッ
ク３Ｌ，３Ｒの全ストロークにわたる変位に対して所定
の第１の関数（つまりサイン関数）に従う特性を示すよ
うにし、第２のグループの各コイル１１ｃ〜１５ｃにお
ける誘導結合の合成が、チャック３Ｌ，３Ｒの全ストロ
ークにわたる変位に対して所定の第２の関数（つまりコ
サイン関数）に従う特性を示すようにし、各グループ毎
にチャック開度に相関する所定の関数を一括的に合成し
て出力しうるようにしたためである。
イドレール構造体の上面２ａにおいて、一方の側の上面
２ａにはサイン関数生成用のコイルグループ１１ｓ〜１
４ｓが設けられ、一方の側の上面２ａにはコサイン関数
生成用のコイルグループ１１ｃ〜１５ｃが設けられてい
る。各コイルグループにおける個々の１次及び２次コイ
ルは、ガイドレール２におけるチャック３Ｌ，３Ｒの全
移動範囲における所定の複数の異なる位置に対応してそ
れぞれ配置されてなり、チャック３Ｌ，３Ｒの側面を構
成している所定の磁気応答物質の近接に応じて各１次及
び２次コイル間の誘導結合が変化することにより、チャ
ック３Ｌ，３Ｒの開度に応じた誘導出力信号を２次コイ
ルから生じるようになっている。ここで、各コイルを２
つのグループに分類した理由は、第１のグループにおけ
る各コイル１１ｓ〜１４ｓの誘導結合の合成が、チャッ
ク３Ｌ，３Ｒの全ストロークにわたる変位に対して所定
の第１の関数（つまりサイン関数）に従う特性を示すよ
うにし、第２のグループの各コイル１１ｃ〜１５ｃにお
ける誘導結合の合成が、チャック３Ｌ，３Ｒの全ストロ
ークにわたる変位に対して所定の第２の関数（つまりコ
サイン関数）に従う特性を示すようにし、各グループ毎
にチャック開度に相関する所定の関数を一括的に合成し
て出力しうるようにしたためである。
【００１１】各グループのコイル配置例について、図４
の説明図によって更に詳しく説明する。一例として、１
つのチャック３Ｌ，３Ｒが動き得る範囲全体をそれぞれ
Ｗとし、１つのチャック３Ｌ，３Ｒの全長を６Ｗ／１０
とする。その場合、１つのチャック３Ｌ，３Ｒの１スト
ローク長は４Ｗ／１０であり、両方のチャック３Ｌ，３
Ｒを合わせた全１ストローク長は８Ｗ／１０となる。１
つのチャック３Ｌ，３Ｒの全移動範囲Ｗを１０分割し
て、各分割位置に０〜９の番地を便宜上付けるとする。
なお、番地０はチャック開度が０（つまり全閉）のとき
の各チャック３Ｌ，３Ｒの対向する端部の位置にそれぞ
れ対応する分割位置とし、番地９はチャック開度が全開
のときの各チャック３Ｌ，３Ｒの対向していいない端部
の位置にそれぞれ対応する分割位置とする。すなわち、
全閉位置から全開位置に向かって図示のように０から９
までの番地を便宜上割り振って考えることとする。図４
で各コイルの配置を○印で示し、そのコイル巻線の巻き
方向をＰ，Ｎで区別するものとする。つまり、ＰとＮは
逆相である。なお、巻数はそれぞれ同数であるとする
が、設計上の調整のために適宜巻数を変化させてもよ
い。なお、まず、レゾルバタイプの出力を得る例につい
て説明するものとし、その場合は、各１次コイルは同相
の交流信号で励磁するものとするので、Ｐ，Ｎで示す巻
き方向の相違は各２次コイルについて適用されるものと
する。なお、各コイル１１ｓ〜１４ｓ，１１ｃ〜１５ｃ
は、それぞれ同位置に１次及び２次コイルが設けられて
いるとする。
の説明図によって更に詳しく説明する。一例として、１
つのチャック３Ｌ，３Ｒが動き得る範囲全体をそれぞれ
Ｗとし、１つのチャック３Ｌ，３Ｒの全長を６Ｗ／１０
とする。その場合、１つのチャック３Ｌ，３Ｒの１スト
ローク長は４Ｗ／１０であり、両方のチャック３Ｌ，３
Ｒを合わせた全１ストローク長は８Ｗ／１０となる。１
つのチャック３Ｌ，３Ｒの全移動範囲Ｗを１０分割し
て、各分割位置に０〜９の番地を便宜上付けるとする。
なお、番地０はチャック開度が０（つまり全閉）のとき
の各チャック３Ｌ，３Ｒの対向する端部の位置にそれぞ
れ対応する分割位置とし、番地９はチャック開度が全開
のときの各チャック３Ｌ，３Ｒの対向していいない端部
の位置にそれぞれ対応する分割位置とする。すなわち、
全閉位置から全開位置に向かって図示のように０から９
までの番地を便宜上割り振って考えることとする。図４
で各コイルの配置を○印で示し、そのコイル巻線の巻き
方向をＰ，Ｎで区別するものとする。つまり、ＰとＮは
逆相である。なお、巻数はそれぞれ同数であるとする
が、設計上の調整のために適宜巻数を変化させてもよ
い。なお、まず、レゾルバタイプの出力を得る例につい
て説明するものとし、その場合は、各１次コイルは同相
の交流信号で励磁するものとするので、Ｐ，Ｎで示す巻
き方向の相違は各２次コイルについて適用されるものと
する。なお、各コイル１１ｓ〜１４ｓ，１１ｃ〜１５ｃ
は、それぞれ同位置に１次及び２次コイルが設けられて
いるとする。
【００１２】以上のような前提において、サイン関数生
成用のコイルグループ１１ｓ〜１４ｓにおいては、４つ
の所定位置にそれぞれコイル１１ｓ〜１４ｓが配置され
る。つまり、コイル１１ｓは左チャック３Ｌの移動範囲
における番地９に配置されてその２次コイルの巻き方向
はＮであり、コイル１２ｓは左チャック３Ｌの移動範囲
における番地１に配置されてその２次コイルの巻き方向
はＮであり、コイル１３ｓは右チャック３Ｒの移動範囲
における番地０に配置されてその２次コイルの巻き方向
はＰであり、コイル１４ｓは右チャック３Ｒの移動範囲
における番地８に配置されてその２次コイルの巻き方向
はＰである。これによって、サイン関数生成用のコイル
グループ１１ｓ〜１４ｓの各２次コイル出力を加算合成
すると、図４の右側に示したように、チャック３Ｌ，３
Ｒの全閉位置から全開位置までの全ストローク範囲に対
応して、サイン関数の誘導出力レベル特性を示す交流出
力信号（便宜上、これをｓｉｎθｓｉｎωｔで示す）が
得られる。
成用のコイルグループ１１ｓ〜１４ｓにおいては、４つ
の所定位置にそれぞれコイル１１ｓ〜１４ｓが配置され
る。つまり、コイル１１ｓは左チャック３Ｌの移動範囲
における番地９に配置されてその２次コイルの巻き方向
はＮであり、コイル１２ｓは左チャック３Ｌの移動範囲
における番地１に配置されてその２次コイルの巻き方向
はＮであり、コイル１３ｓは右チャック３Ｒの移動範囲
における番地０に配置されてその２次コイルの巻き方向
はＰであり、コイル１４ｓは右チャック３Ｒの移動範囲
における番地８に配置されてその２次コイルの巻き方向
はＰである。これによって、サイン関数生成用のコイル
グループ１１ｓ〜１４ｓの各２次コイル出力を加算合成
すると、図４の右側に示したように、チャック３Ｌ，３
Ｒの全閉位置から全開位置までの全ストローク範囲に対
応して、サイン関数の誘導出力レベル特性を示す交流出
力信号（便宜上、これをｓｉｎθｓｉｎωｔで示す）が
得られる。
【００１３】一方、コサイン関数生成用のコイルグルー
プ１１ｃ〜１５ｃにおいては、５つの所定位置にそれぞ
れコイル１１ｃ〜１５ｃが配置される。つまり、コイル
１１ｃは左チャック３Ｌの移動範囲における番地５に配
置されてその２次コイルの巻き方向はＰであり、コイル
１２ｃは左チャック３Ｌの移動範囲における番地２に配
置されてその２次コイルの巻き方向はＮであり、コイル
１３ｃは左チャック３Ｌの移動範囲における番地０に配
置されてその２次コイルの巻き方向はＰであり、コイル
１４ｃは右チャック３Ｒの移動範囲における番地１に配
置されてその２次コイルの巻き方向はＰであり、コイル
１５ｃは右チャック３Ｒの移動範囲における番地３に配
置されてその２次コイルの巻き方向はＮである。これに
よって、コサイン関数生成用のコイルグループ１１ｃ〜
１５ｃの各２次コイル出力を加算合成すると、図４の右
側に示したように、チャック３Ｌ，３Ｒの全閉位置から
全開位置までの全ストローク範囲に対応して、コサイン
関数の誘導出力レベル特性を示す交流出力信号（便宜
上、これをｃｏｓθｓｉｎωｔで示す）が得られる。
プ１１ｃ〜１５ｃにおいては、５つの所定位置にそれぞ
れコイル１１ｃ〜１５ｃが配置される。つまり、コイル
１１ｃは左チャック３Ｌの移動範囲における番地５に配
置されてその２次コイルの巻き方向はＰであり、コイル
１２ｃは左チャック３Ｌの移動範囲における番地２に配
置されてその２次コイルの巻き方向はＮであり、コイル
１３ｃは左チャック３Ｌの移動範囲における番地０に配
置されてその２次コイルの巻き方向はＰであり、コイル
１４ｃは右チャック３Ｒの移動範囲における番地１に配
置されてその２次コイルの巻き方向はＰであり、コイル
１５ｃは右チャック３Ｒの移動範囲における番地３に配
置されてその２次コイルの巻き方向はＮである。これに
よって、コサイン関数生成用のコイルグループ１１ｃ〜
１５ｃの各２次コイル出力を加算合成すると、図４の右
側に示したように、チャック３Ｌ，３Ｒの全閉位置から
全開位置までの全ストローク範囲に対応して、コサイン
関数の誘導出力レベル特性を示す交流出力信号（便宜
上、これをｃｏｓθｓｉｎωｔで示す）が得られる。
【００１４】以上の構成によって、チャック３Ｌ，３Ｒ
の全閉位置から全開位置までの全ストローク範囲に対応
して、サイン関数生成用のコイルグループ１１ｓ〜１４
ｓの２次コイル合成出力信号としてｓｉｎθｓｉｎωｔ
で代表的に表わせるサイン相出力信号が得られ、コサイ
ン関数生成用のコイルグループ１１ｃ〜１５ｃの２次コ
イル合成出力信号としてｃｏｓθｓｉｎωｔで代表的に
表わせるコサイン相出力信号が得られる。ここで、概
ね、チャック３Ｌ，３Ｒの全閉位置から全開位置までの
全ストローク範囲が、θ＝０度から３６０度までの位相
角に対応している。よって、この２相の位置検出出力信
号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔは、従来
より公知のレゾルバ出力信号と同じ形態であり、公知の
レゾルバ位相検出装置を用いてθの測定を行うことがで
きる。そうすれば、チャック３Ｌ，３Ｒの全閉位置から
全開位置までの全ストローク範囲が、θ＝０度から３６
０度までの位相角θに対応するアブソリュート値で連続
的に検出することができる。なお、そのような公知のレ
ゾルバ出力位相検出装置としては、例えば特開平９−１
２６８０９号公報に示されたようなものを使用すること
ができる。また、位相角θの検出値はディジタルデータ
でもアナログデータでも得ることができる。
の全閉位置から全開位置までの全ストローク範囲に対応
して、サイン関数生成用のコイルグループ１１ｓ〜１４
ｓの２次コイル合成出力信号としてｓｉｎθｓｉｎωｔ
で代表的に表わせるサイン相出力信号が得られ、コサイ
ン関数生成用のコイルグループ１１ｃ〜１５ｃの２次コ
イル合成出力信号としてｃｏｓθｓｉｎωｔで代表的に
表わせるコサイン相出力信号が得られる。ここで、概
ね、チャック３Ｌ，３Ｒの全閉位置から全開位置までの
全ストローク範囲が、θ＝０度から３６０度までの位相
角に対応している。よって、この２相の位置検出出力信
号ｓｉｎθｓｉｎωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔは、従来
より公知のレゾルバ出力信号と同じ形態であり、公知の
レゾルバ位相検出装置を用いてθの測定を行うことがで
きる。そうすれば、チャック３Ｌ，３Ｒの全閉位置から
全開位置までの全ストローク範囲が、θ＝０度から３６
０度までの位相角θに対応するアブソリュート値で連続
的に検出することができる。なお、そのような公知のレ
ゾルバ出力位相検出装置としては、例えば特開平９−１
２６８０９号公報に示されたようなものを使用すること
ができる。また、位相角θの検出値はディジタルデータ
でもアナログデータでも得ることができる。
【００１５】なお、以上の実施例において、各コイルグ
ループ１１ｓ〜１４ｓ，１１ｃ〜１５ｃの１次コイルと
２次コイルの関係を逆にして、図４に示すような巻き方
向Ｐ，Ｎで巻かれる方を１次コイルとするようにしても
よい。その場合は、例えば、各コイルグループ１１ｓ〜
１４ｓと１１ｃ〜１５ｃを電気角で９０度ずれた交流信
号で励磁し、各２次コイル出力信号を加算合成するよう
にする。そうすると、サイン関数用コイルグループ１１
ｓ〜１４ｓの合成出力としてｓｉｎθｃｏｓωｔが得ら
れ、コサイン関数用コイルグループ１１ｃ〜１５ｃの合
成出力としてｃｏｓθｓｉｎωｔが得られることにな
り、両者を加算合成すると、ｓｉｎ（ωｔ＋θ）が得ら
れる。故に、その電気的位相角θを測定することによ
り、チャック３Ｌ，３Ｒの全閉位置から全開位置までの
全ストローク範囲を、θ＝０度から３６０度までの位相
角θに対応するアブソリュート値で検出することができ
る。
ループ１１ｓ〜１４ｓ，１１ｃ〜１５ｃの１次コイルと
２次コイルの関係を逆にして、図４に示すような巻き方
向Ｐ，Ｎで巻かれる方を１次コイルとするようにしても
よい。その場合は、例えば、各コイルグループ１１ｓ〜
１４ｓと１１ｃ〜１５ｃを電気角で９０度ずれた交流信
号で励磁し、各２次コイル出力信号を加算合成するよう
にする。そうすると、サイン関数用コイルグループ１１
ｓ〜１４ｓの合成出力としてｓｉｎθｃｏｓωｔが得ら
れ、コサイン関数用コイルグループ１１ｃ〜１５ｃの合
成出力としてｃｏｓθｓｉｎωｔが得られることにな
り、両者を加算合成すると、ｓｉｎ（ωｔ＋θ）が得ら
れる。故に、その電気的位相角θを測定することによ
り、チャック３Ｌ，３Ｒの全閉位置から全開位置までの
全ストローク範囲を、θ＝０度から３６０度までの位相
角θに対応するアブソリュート値で検出することができ
る。
【００１６】なお、図３の（ｃ）において点線で示すよ
うに、各コイル１１ｓ〜１４ｓ，１１ｃ〜１５ｃを配置
した箇所は、適当なカバー１６で保護するものとする。
図５は、本発明の別の実施例を示すもので、チャック３
Ｌの側面に所定のパターンで磁性体又は導電体のパター
ン２０を設けた例を示す。チャック３Ｌの全体が元々磁
性体からなっている場合は導電体のパターン２０とする
のがよい。このパターンは、例えば、チャック３Ｌの側
面の約半分の範囲に設けられた導電体２０からなる。ガ
イドレール２の構造体の上面２ａにおいて、所定の範囲
で複数の１次及び２次コイル２１〜２６を設け、導電体
２０のパターンの近接に応じたレベルを持つ誘導出力信
号を生じるようにする。この導電体２０のパターンによ
ってかつ各コイル２１〜２６のコイル巻数の適切な設定
によって、各コイル２１〜２６の配置箇所における誘導
出力がそれぞれ適切なレベルで、ｃｏｓθ，ｓｉｎθ，
−ｃｏｓθ，−ｓｉｎθとなるようにすることができ
る。従って、レゾルバと同様に、各１次コイルを同相励
磁し、サイン相（ｓｉｎθ及び−ｓｉｎθの変化の相）
の２次出力を合成し、コサイン相（ｃｏｓθ及び−ｃｏ
ｓθの変化の相）の２次出力を合成するようにすれば、
前記と同様の、２相の位置検出出力信号ｓｉｎθｓｉｎ
ωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔを得ることができる。従っ
て、レゾルバと同様に、θを測定して、チャック３Ｌの
変位つまり開度をアブソリュートで検出することができ
る。なお、この場合、θは、１つのチャック３Ｌの変位
ｘに対応しているので、同様の検出装置をもう一方のチ
ャック３Ｒについても設け、両者の検出出力θつまりｘ
を加算すれば、両者の間隔つまり真の開度を求めること
ができる。しかし、これに限らず、１つのチャック３Ｌ
の変位ｘのみをチャック開度検出信号として用いてもよ
い。その場合、必要に応じて、１つのチャック３Ｌの変
位ｘの検出値を２倍にすれば、２つのチャック３Ｌ，３
Ｒの間隔に対応する値を得ることができる。
うに、各コイル１１ｓ〜１４ｓ，１１ｃ〜１５ｃを配置
した箇所は、適当なカバー１６で保護するものとする。
図５は、本発明の別の実施例を示すもので、チャック３
Ｌの側面に所定のパターンで磁性体又は導電体のパター
ン２０を設けた例を示す。チャック３Ｌの全体が元々磁
性体からなっている場合は導電体のパターン２０とする
のがよい。このパターンは、例えば、チャック３Ｌの側
面の約半分の範囲に設けられた導電体２０からなる。ガ
イドレール２の構造体の上面２ａにおいて、所定の範囲
で複数の１次及び２次コイル２１〜２６を設け、導電体
２０のパターンの近接に応じたレベルを持つ誘導出力信
号を生じるようにする。この導電体２０のパターンによ
ってかつ各コイル２１〜２６のコイル巻数の適切な設定
によって、各コイル２１〜２６の配置箇所における誘導
出力がそれぞれ適切なレベルで、ｃｏｓθ，ｓｉｎθ，
−ｃｏｓθ，−ｓｉｎθとなるようにすることができ
る。従って、レゾルバと同様に、各１次コイルを同相励
磁し、サイン相（ｓｉｎθ及び−ｓｉｎθの変化の相）
の２次出力を合成し、コサイン相（ｃｏｓθ及び−ｃｏ
ｓθの変化の相）の２次出力を合成するようにすれば、
前記と同様の、２相の位置検出出力信号ｓｉｎθｓｉｎ
ωｔ及びｃｏｓθｓｉｎωｔを得ることができる。従っ
て、レゾルバと同様に、θを測定して、チャック３Ｌの
変位つまり開度をアブソリュートで検出することができ
る。なお、この場合、θは、１つのチャック３Ｌの変位
ｘに対応しているので、同様の検出装置をもう一方のチ
ャック３Ｒについても設け、両者の検出出力θつまりｘ
を加算すれば、両者の間隔つまり真の開度を求めること
ができる。しかし、これに限らず、１つのチャック３Ｌ
の変位ｘのみをチャック開度検出信号として用いてもよ
い。その場合、必要に応じて、１つのチャック３Ｌの変
位ｘの検出値を２倍にすれば、２つのチャック３Ｌ，３
Ｒの間隔に対応する値を得ることができる。
【００１７】図６は、本発明の更に別の実施例を示すも
ので、チャック３Ｌの側面に所定の光学式コードパター
ン３０を設け、ガイドレール２の構造体の上面２ａの所
定の位置に光学式センサ３１（例えば発光素子と受光素
子を含む）を設けた例を示す。光学式コードパターン３
０の反射光を光学式センサ３１で検知し、チャック３Ｌ
の変位に応じたエンコード出力を生じる。この場合も、
もう一方のチャック３Ｒに対応して同様の光学式検出器
を設けて両者のエンコード出力を加算するようにしても
よいし、あるいは、１つのチャック３Ｌの変位に応じた
エンコード出力のみを用いてもよい。図６の例におい
て、パターン３０を磁気パターンとし、センサ３１を磁
気センサとしてもよい。
ので、チャック３Ｌの側面に所定の光学式コードパター
ン３０を設け、ガイドレール２の構造体の上面２ａの所
定の位置に光学式センサ３１（例えば発光素子と受光素
子を含む）を設けた例を示す。光学式コードパターン３
０の反射光を光学式センサ３１で検知し、チャック３Ｌ
の変位に応じたエンコード出力を生じる。この場合も、
もう一方のチャック３Ｒに対応して同様の光学式検出器
を設けて両者のエンコード出力を加算するようにしても
よいし、あるいは、１つのチャック３Ｌの変位に応じた
エンコード出力のみを用いてもよい。図６の例におい
て、パターン３０を磁気パターンとし、センサ３１を磁
気センサとしてもよい。
【００１８】図７は、本発明の更に別の実施例を示す平
面図で、ガイドレール２の両端に設けられた近接検出装
置３２，３３を設けた例を示す。各チャック３Ｌ，３Ｒ
は磁性体からなっており、各チャック３Ｌ，３Ｒの端部
の近接検出装置３２，３３に対する近接量に応じて、変
位ｘの検出信号を得る。この場合も、近接検出装置３
２，３３の出力信号を加算する。あるいは、近接検出装
置３２又は３３のみを設けてもよい。
面図で、ガイドレール２の両端に設けられた近接検出装
置３２，３３を設けた例を示す。各チャック３Ｌ，３Ｒ
は磁性体からなっており、各チャック３Ｌ，３Ｒの端部
の近接検出装置３２，３３に対する近接量に応じて、変
位ｘの検出信号を得る。この場合も、近接検出装置３
２，３３の出力信号を加算する。あるいは、近接検出装
置３２又は３３のみを設けてもよい。
【００１９】
【発明の効果】以上の通り、この発明によれば、互いに
逆方向にリニア変位する１対のチャックの変位を直接的
に検出することにより、チャック開度を正確に検出する
ことができ、しかも、装置の構成（特にリニアアクチュ
エータのたて方向のサイズ）をそれほど大きくすること
のない、スライド開閉式チャック装置におけるチャック
開度検出装置を提供することができる。
逆方向にリニア変位する１対のチャックの変位を直接的
に検出することにより、チャック開度を正確に検出する
ことができ、しかも、装置の構成（特にリニアアクチュ
エータのたて方向のサイズ）をそれほど大きくすること
のない、スライド開閉式チャック装置におけるチャック
開度検出装置を提供することができる。
【図１】 この発明に係るチャック開度検出装置を具え
たスライド開閉式チャック装置の一実施例の外観を示す
斜視図。
たスライド開閉式チャック装置の一実施例の外観を示す
斜視図。
【図２】 チャック装置の構成例を示す縦断面図。
【図３】 図１における検出部の具体例を示す図で、
（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は端面図。
（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は端面図。
【図４】 図３におけるコイル配置例の説明図。
【図５】 この発明に係るチャック開度検出装置の他の
実施例を示す略図。
実施例を示す略図。
【図６】 この発明に係るチャック開度検出装置の更に
他の実施例を示す略図。
他の実施例を示す略図。
【図７】 この発明に係るチャック開度検出装置の更に
他の実施例を示す平面略図。
他の実施例を示す平面略図。
１ 検出部 １１ｓ〜１４ｓ，１１ｃ〜１５ｃ コイル ２ ガイドレール ３Ｌ，３Ｒ チャック ４ シリンダ本体 ５ ピストン ６ ピストンロッド ８Ｒ，９Ｒ，１０Ｒ，８Ｌ，９Ｌ，１０Ｌ 運動変換機
構
構
Claims (9)
- 【請求項１】 ガイドレールに沿ってスライド可能に配
置された１対のチャックと、リニアアクチュエータと、
このリニアアクチュエータの直線運動を前記各チャック
の互いに逆方向のスライド運動に変換して該各チャック
を移動させる運動変換機構とを具備するスライド開閉式
チャック装置において、 前記１対のチャックのうちの少なくとも一方の変位を直
接的に検出する検出部を、前記ガイドレールの構造体の
側に配置してなることを特徴とするチャック開度検出装
置。 - 【請求項２】 前記検出部は、前記チャックの所定の閉
位置からの開度を示す変位データを得るものであり、１
個のチャックについて検出した前記変位データを２倍に
することにより、２つのチャック間の開度を示すデータ
を得るようにした請求項１に記載のチャック開度検出装
置。 - 【請求項３】 前記検出部は、前記チャックの所定の閉
位置からの開度を示す変位データを得るものであり、各
チャックについて検出した前記変位データを加算にする
ことにより、２つのチャック間の開度を示すデータを得
るようにした請求項１に記載のチャック開度検出装置。 - 【請求項４】 前記検出部は、前記チャックの側面を磁
気応答部材によって構成し、該チャック側面に面する側
の前記ガイドレールの構造体の上面において１次コイル
と２次コイルとを配置してなる誘導型のリニア位置検出
装置からなる請求項１乃至３のいずれかに記載のチャッ
ク開度検出装置。 - 【請求項５】 前記検出部は、前記チャックの側面に設
けられた光学式コードパターンと、該チャック側面に面
する側の前記ガイドレールの構造体の上面に配置された
光学式検出器とにより構成される光学式エンコーダから
なる請求項１乃至３のいずれかに記載のチャック開度検
出装置。 - 【請求項６】 前記検出部は、前記チャックの側面に設
けられた磁気パターンと、該チャック側面に面する側の
前記ガイドレールの構造体の上面に配置された磁気検出
器とにより構成される請求項１乃至３のいずれかに記載
のチャック開度検出装置。 - 【請求項７】 前記検出部は、前記ガイドレールの端部
に設けられた近接検出装置からなり、前記チャックの変
位を近接検出装置に対する近接量にて検出する請求項１
乃至３のいずれかに記載のチャック開度検出装置。 - 【請求項８】 ガイドレールに沿ってスライド可能に配
置された１対のチャックと、リニアアクチュエータと、
このリニアアクチュエータの直線運動を前記各チャック
の互いに逆方向のスライド運動に変換して該各チャック
を移動させる運動変換機構とを具備するスライド開閉式
チャック装置において、 前記ガイドレールの構造体の側に配置された複数の１次
及び２次コイルを有し、該各コイルは、前記ガイドレー
ルにおけるチャックの全移動範囲における所定の複数の
異なる位置に対応してそれぞれ配置されてなり、前記チ
ャックの側面を構成している所定の磁気応答物質の近接
に応じて前記１次及び２次コイル間の誘導結合が変化す
ることにより、前記チャックの開度に応じた誘導出力信
号を２次コイルから生じるようにしてなるチャック開度
検出装置。 - 【請求項９】 前記コイルは、第１及び第２のグループ
に分類されていて、第１のグループにおける誘導結合の
合成は、前記チャックの全ストロークにわたる変位に対
して所定の第１の関数に従う特性を示し、第２のグルー
プにおける誘導結合の合成は、前記チャックの全ストロ
ークにわたる変位に対して所定の第２の関数に従う特性
を示すように、各コイルの配置が設定されていることを
特徴とする請求項８に記載のチャック開度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30665397A JPH11114869A (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | スライド開閉式チャック装置におけるチャック開度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30665397A JPH11114869A (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | スライド開閉式チャック装置におけるチャック開度検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11114869A true JPH11114869A (ja) | 1999-04-27 |
Family
ID=17959709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30665397A Pending JPH11114869A (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | スライド開閉式チャック装置におけるチャック開度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11114869A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008004407A1 (de) | 2007-01-16 | 2008-07-17 | Smc K.K. | Spannvorrichtung |
| JP2009291869A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ロボット、ロボットハンドおよびアタッチメント |
| CN102357894A (zh) * | 2011-09-22 | 2012-02-22 | 严义科 | 一种测量轴承直径的三爪机械手 |
| CN104440928A (zh) * | 2013-09-18 | 2015-03-25 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种气动手指及定位机构 |
| CN106239391A (zh) * | 2016-08-22 | 2016-12-21 | 浙江伟联科技股份有限公司 | 一种气动往复式夹紧装置 |
-
1997
- 1997-10-20 JP JP30665397A patent/JPH11114869A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008004407A1 (de) | 2007-01-16 | 2008-07-17 | Smc K.K. | Spannvorrichtung |
| KR100921235B1 (ko) * | 2007-01-16 | 2009-10-12 | 에스엠씨 가부시키 가이샤 | 척장치 |
| US8100414B2 (en) | 2007-01-16 | 2012-01-24 | Smc Kabushiki Kaisha | Chuck apparatus |
| DE102008004407B4 (de) * | 2007-01-16 | 2016-03-31 | Smc K.K. | Spannvorrichtung |
| JP2009291869A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ロボット、ロボットハンドおよびアタッチメント |
| CN102357894A (zh) * | 2011-09-22 | 2012-02-22 | 严义科 | 一种测量轴承直径的三爪机械手 |
| CN104440928A (zh) * | 2013-09-18 | 2015-03-25 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种气动手指及定位机构 |
| CN106239391A (zh) * | 2016-08-22 | 2016-12-21 | 浙江伟联科技股份有限公司 | 一种气动往复式夹紧装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20041018 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061006 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061024 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061225 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20070306 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |