JPH11111833A - ワーク浸漬装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークを傷付けることなく安全且つ確実にワ
ーク収容部内に浸漬状態で収容することが可能なワーク
浸漬装置を得る。 【解決手段】 浸漬液１６を満たすための皿状のトレー
１１内に複数のワーク収容部１２を形成し、各ワーク収
容部１２の内部に、収容されたワークＷの外周部分を支
えることによって該ワークＷをトレー１１の底面１１ａ
から離間した位置に保持する環状のワーク受け１５を形
成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、研磨等の加工が施
されたあとの半導体ウエハや磁気ディスク基板のような
ワークを、洗浄等の次工程に送るまでの間、液中に浸漬
した状態で収容するためのワーク浸漬装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】例えばラッピングマシンやポリッシング
マシン等の研磨装置においては、研磨が終わった複数の
ワークを研磨部からローディング部に順次取り出し、そ
れらを洗浄等の次工程に送り込むようにしているが、取
り出しから搬送までの間に若干の時間がかかるため、乾
燥による研磨剤の固着や酸化、染み等が発生し、品質低
下を来し易い。

【０００３】このため従来では、例えば特許第２５５６
６０５号公報に開示されているように、研磨部から取り
出したワークを、水を満たしたトレーのワーク受け内に
収容し、水中に浸漬させることによって上述した問題を
解消するようにしている。これを図６により説明する
と、浅底状のトレー３０の内部に、該トレー３０の上縁
部高さより高さが低い輪状のワーク受け３１を複数形成
し、水道管３２からの水３３が満たされた該ワーク受け
３１内に加工済ワークＷを収容することにより、該ワー
クＷを水中に浸漬した状態で保管するものである。

【０００４】しかしながら、上記従来の装置は、ワーク
Ｗがワーク受け３１内を下降してトレー３０の底面３０
ａに全面的に接触した状態で収容されるようになってい
るため、ワークＷの表面に傷が付き易いという欠点があ
った。特に、研磨直後のワークの表面には未だ研磨砥粒
やその他の異物が付着していることが多いため、その状
態で該ワークがトレー３０の底面３０ａに衝突すると、
それらの付着物によって表面が傷付けられ易い。あるい
は、ワークから剥離してトレーの底に沈殿した上記砥粒
等によってワークが傷付けられることもある。

【０００５】また、上記ワーク受け３１の上縁部がトレ
ー３０の上縁部より低く形成されていて、水３３はトレ
ー３０の上縁部まで満たされているため、磁気ディスク
基板のように薄くて軽い板状のワークＷを水平に向けた
状態で水面上に供給すると、水の抵抗力によって該ワー
クＷが真っ直ぐ降下することなく水中を浮遊し、ワーク
受け３１から外れて予期せぬ場所に移動したり、該ワー
ク受け３１の上縁部に乗り上げて表面に傷が付くといっ
た問題もある。

【０００６】このワークの浮遊の問題は、ワーク受け３
１の上縁部とトレー３０の上縁部との高さの差を小さく
することによってある程度解決することはできるが、そ
のようにすると、この装置が水を一旦トレー３０に供給
したあとオーバーフローによってワーク受け３１内に流
入させる構成であるため、トレー３０の上縁部から外部
に流出する水の量が多くなってワーク受け３１内には流
入しにくくなり、水の供給効率が悪くなる。また、ワー
クがトレーの上縁部を乗り越えて外部に飛び出すおそれ
もある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の主たる技術的
課題は、ワークを傷付けることなく安全且つ確実にワー
ク収容部内に浸漬状態で収容することが可能なワーク浸
漬装置を提供することにある。

【０００８】本発明の他の技術的課題は、上述したワー
ク浸漬装置において、ワークの浮遊を防止して該ワーク
を所定のワーク収容部内に確実に収容できるように構成
することにある。

【０００９】本発明の更に他の技術的課題は、上述した
ワーク浸漬装置において、各ワーク収容部内に浸漬液を
簡単に供給できるようにすることにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のワーク浸漬装置は、トレー内に中壁で区画
形成された複数のワーク収容部の内部に、ワークの外周
部分を支えることによって該ワークをトレーの底面から
離間した位置に保持する環状のワーク受けを設けたこと
を特徴としている。

【００１１】上記構成を有する本発明のワーク浸漬装置
によれば、ワークが環状のワーク受けに支えられてトレ
ーの底面に衝突することがないため、該ワークが、その
表面に付着したりトレーの底面に沈殿している砥粒やそ
の他の異物によって傷付けられることがなく、該ワーク
を安全且つ確実にワーク収容部内に収容することができ
る。しかも、上記ワーク受けはワークの外周部分に僅か
に接触するだけであるため、このワーク受けによってワ
ークが傷付けられることもない。

【００１２】本発明の具体的な構成態様によれば、上記
各ワーク収容部が、ワーク受けより低位置において中壁
に形成した通孔で互いに連通している。この場合、浸漬
液を供給するための給液手段を、上記ワーク収容部内に
直接供給可能な位置に設けることができる。これによ
り、中壁をオーバーフローさせることなく、何れかのワ
ーク収容部から上記通孔を通じて各ワーク収容部内に浸
漬液を簡単且つ確実に供給することができる。

【００１３】本発明の他の具体的な構成態様によれば、
上記トレーの外壁上縁に、中壁の上端に達しない深さを
有する液位調整用の切欠きが１つ以上形成されている。
この切欠きにより、トレー内の液位をワーク収容部を取
り囲む中壁の高さより僅かに高い位置に調整することが
できるため、ワークの浮遊を防止して該ワークを所定の
ワーク収容部内に確実に収容させることができる。しか
も、トレーの外壁の高さを低くする必要がないため、ワ
ークがこの外壁を乗り換えてトレー外に飛び出すような
ことがない。

【００１４】本発明においては、上記トレーの内部のワ
ーク収容部を除く部分を上記中壁により占有させること
ができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係るワーク浸漬装
置１０が複数組搭載された回転テーブル１を示すもの
で、この回転テーブル１は、ラッピングマシンやポリッ
シングマシンのような図示しない加工装置のアンローデ
ング部に設置され、一定角度ずつ間欠的に回転すること
によって上記ワーク浸漬装置１０をワーク受け取り位置
Ｈに順次回動させるものである。また、このワーク受け
取り位置Ｈにはチャック手段２が設けられていて、この
チャック手段２により加工装置から加工済ワークＷが取
り出され、ワーク受け取り位置Ｈにあるワーク浸漬装置
１０に供給されるようになっている。

【００１６】図２及び図３には上記回転テーブル１上に
設置されたワーク浸漬装置１０の第１実施例が示されて
いる。この浸漬装置１０は、回転テーブル１上に水平に
設置された円形皿状のトレー１１と、該トレー１１の内
部に形成された複数の円形のワーク収容部１２と、上記
トレー１１内に水等の浸漬液を供給するための給液手段
１３とを有している。

【００１７】上記ワーク収容部１２は、トレー１１の外
壁１１ａよりも高さの低い中壁１４により回りを取り囲
まれていて、その内部に環状のワーク受け１５が形成さ
れている。このワーク受け１５は、ワークに傷を付けに
くい程度に軟質である合成樹脂のような素材からなるも
ので、図４からも分かるように、環状の本体部１５ａ
と、該本体部１５ａから内側に張り出した環状のワーク
支持部１５ｂとを有し、上記本体部１５ａをワーク収容
部１２内に嵌合させることにより、ワークＷをトレー１
１の底面１１ｂから離間した中間位置に保持し得るよう
な高さに取り付けられている。このとき、該ワーク受け
１５上に支持されたワークＷが浸漬液１６中に全浸漬す
ることは勿論である。

【００１８】上記中壁１４は、トレー１１の内部のワー
ク収容部１２を除くその他の部分をほぼ完全に占有して
いる。従ってワーク収容部１２を除く部分は、この中壁
１４によってトレー１１の底が浅くなったような外観と
なっている。上記中壁１４には、上記ワーク受け１５の
ワーク支持部１５ｂより低い位置に通孔１８が形成さ
れ、この通孔１８で各ワーク収容部１２が相互に連通せ
しめられている。

【００１９】また、上記給液手段１３は、何れか１つの
ワーク収容部１２内に直接浸漬液１６を供給可能な位置
に設けられていて、このワーク収容部１２内に浸漬液を
供給することにより、上記中壁１４の通孔１８を通じて
全てのワーク収容部１２内に浸漬液１６が容易に満たさ
れるようになっている。この給液手段１３は、チャック
手段２によるワーク収容部１２内へのワークＷの供給の
邪魔にならない位置に設けられていることは当然である
が、必要なときに給液位置に回動してくるように変移自
在に配設することもできる。なお、図１では全てのワー
ク浸漬装置１０に対して給液手段１３が個別に設けられ
ているが、何れか一箇所に固定的に配置して、その位置
に回動してきたワーク浸漬装置１０に浸漬液を供給する
ように構成しても良い。

【００２０】更に、上記トレー１１における外壁１１ａ
の上縁には、上記中壁１４の上端まで達しない深さの液
位調整用の切欠き１９が１つ以上形成され、この切欠き
１９によってトレー１１内の液位が、中壁１４が僅かに
水没するような高さに調整されている。

【００２１】いま、加工装置でワークの加工が終了する
と、加工済ワークはチャック手段２により加工装置から
取り出され、上記ワーク浸漬装置１０に供給される。こ
のときチャック手段２は、加工装置の１つのキャリヤに
保持された複数（図示の例では５枚）のワークを一括し
てチャックし、それらをワーク浸漬装置１０における複
数（図示の例では５つ）のワーク収容部１２に一括して
供給する。

【００２２】上記ワーク収容部１２に供給されたワーク
Ｗは、浸漬液１６中を僅かに降下して環状のワーク受け
１５におけるワーク支持部１５ｂ上に載置し、このワー
ク受け１５によって外周部分を支えられた状態でトレー
１１の底面１１ｂから離間した位置に支持される。従っ
て、該ワークＷが浸漬液１６中を大きく降下してトレー
１１の底面１１ｂに衝突することがないため、該ワーク
Ｗは、その表面に付着したりトレー１１の底面１１ｂに
沈殿している砥粒やその他の異物によって傷付けられる
ことがなく、安全且つ確実にワーク収容部１２内に収容
されることになる。しかも、上記ワーク受け１５は軟質
素材により形成されていて、ワークＷの外周部分に僅か
に接触するだけであるから、このワーク受け１５によっ
てワークＷが傷付けられるおそれもない。

【００２３】また、上記トレー１１の外壁１１ａの上縁
には液位調整用の切欠き１９が形成されていて、この切
欠き１９によってトレー１１内の液位が中壁１４の上端
より僅かに高い位置に調整されているため、ワークＷが
浸漬液１６中を降下してワーク受け１５上に載置するま
での距離は非常に小さい。このため、ワークは浸漬液中
を殆ど浮遊することなく、ワーク収容部１２内に確実に
嵌合してワーク受け１５上に軟着座することができ、左
右に位置ずれしたり中壁１４上に乗り上げたりすること
がない。しかも、液位を調整するためにトレー１１の外
壁１１ａの高さを低くする必要がないため、ワークＷが
この外壁１１ａを乗り換えてトレー１１外に飛び出すと
いった問題も確実に解消される。

【００２４】図５は本発明の第２実施例を示すもので、
上記第１実施例の浸漬装置１０においては、中壁１４が
トレー１１の内部のワーク収容部１２を除くその他の部
分をほぼ完全に占有しているのに対し、この第２実施例
の浸漬装置１０Ａは、中壁１４Ａが短円筒状ををしてい
てワーク収容部１２の回りだけに位置している点が相違
するのみで、その他の構成は実質的に第１実施例と同じ
である。従ってこの第２実施例においては、各ワーク収
容部１２の回りには浸漬液１６が満たされた液溜部２１
が形成されており、各ワーク収容部１２は、中壁１４Ａ
に形成された通孔１８によりこの液溜部２１を介してワ
ーク受け１５より低い位置で相互に連通されている。

【００２５】なお、上記各実施例においては、ワーク受
け１５を中壁１４，１４Ａとは別体に構成してワーク収
容部１２内に嵌着しているが、中壁１４，１４Ａと一体
に形成しても良い。

【００２６】

【発明の効果】このように本発明によれば、トレー内に
形成しワーク収容部の内部に、ワークをトレーの底面か
ら離間した位置に保持する環状のワーク受けを設けたこ
とにより、ワークがトレーの底面に全面で衝突したり全
面で接触するといったことがなくなるため、該ワーク
が、その表面に付着したりトレーの底面に沈殿している
砥粒やその他の異物によって傷付けられることがなく、
該ワークを安全且つ確実にワーク収容部内に収容するこ
とができる。しかも上記ワーク受けは、ワークの外周部
分に僅かに接触するだけであるため、このワーク受けに
よってワークが傷付けられることもない。また、上記各
ワーク収容部を、ワーク受けよりも低位置において中壁
に形成した通孔で互いに連通させたことにより、中壁を
オーバーフローさせることなく、何れかのワーク収容部
から上記通孔を通じて各ワーク収容部内に浸漬液を簡単
且つ確実に供給することができる。更に、トレーの外壁
上縁に中壁の上端に達しない深さの液位調整用の切欠き
を形成して、トレー内の液位を中壁が僅かに水没する高
さに調整することにより、ワークが降下する際の浮遊を
防止して該ワークをワーク受け上に確実に載置させるこ
とができる。しかも、液位を調整するためにトレーの外
壁の高さを低くする必要がないため、ワークがこの外壁
を乗り換えてトレー外に飛び出すことも防止される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るワーク浸漬装置を搭載した回転テ
ーブルの平面図である。

【図２】図１における要部拡大図で、第１実施例のワー
ク浸漬装置を示すものである。

【図３】図２におけるＡ−Ａ線での断面図である。

【図４】図３の要部拡大図である。

【図５】本発明に係るワーク浸漬装置の第２実施例を示
す断面図である。

【図６】従来のワーク浸漬装置の断面図である。

【符号の説明】

Ｗ ワーク １０，１０Ａ ワ
ーク浸漬装置 １１ トレー １１ａ 外壁 １１ｂ 底面 １２ ワーク収
容部 １３ 給液手段 １４，１４Ａ
中壁 １５ ワーク受け １６ 浸漬液 １８ 通孔 １９ 切欠き

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】浸漬液を満たすための皿状のトレーと、該
   トレーの内部に形成された複数のワーク収容部と、上記
   トレー内に浸漬液を供給するための給液手段とを有し、 上記各ワーク収容部が、トレーの外壁より高さの低い中
   壁により回りを取り囲まれていて、内部に、収容された
   ワークの外周部分を支えることによって該ワークをトレ
   ーの底面から離間した位置に保持する環状のワーク受け
   を有することを特徴とするワーク浸漬装置。
2. 【請求項２】請求項１に記載のワーク浸漬装置におい
   て、上記各ワーク収容部が、ワーク受けより低位置にお
   いて中壁に形成した通孔で互いに連通していることを特
   徴とするもの。
3. 【請求項３】請求項２に記載のワーク浸漬装置におい
   て、上記給液手段が、ワーク収容部内に直接浸漬液を供
   給可能な位置に設けられていることを特徴とするもの。
4. 【請求項４】請求項１ないし３の何れかに記載のワーク
   浸漬装置において、上記トレーの外壁上縁に、中壁の上
   端に達しない深さを有する液位調整用の切欠きが１つ以
   上形成されていることを特徴とするもの。
5. 【請求項５】請求項１ないし４の何れかに記載のワーク
   浸漬装置において、上記トレーの内部のワーク収容部を
   除く部分を上記中壁が占めていることを特徴とするも
   の。