JPH11111824A - ウエ−ハ剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大きなサイズのウエ−ハでも、プレ−トから
容易に剥せるようにしたウエ−ハ剥離装置を提供する。 【解決手段】 スクレ−パ（７）の刃先面（９）の曲率
を、ウエ−ハ（３）の周縁の曲率よりも少し大きく形成
する。スクレ−パ（７）をウエ−ハ方向へ移動すると、
スクレ−パは刃先面（９）の一部が最初にウエ−ハ
（３）の周縁の一部に接し、引き続いて刃先面の他の部
分がウエ−ハの周縁の他の部分に接する。スクレ−パ
は、その刃先面の全面が一度にウエ−ハの周縁に接しな
いので、大きなウエ−ハでも小さな力でプレ−トから剥
すことができる。上記スクレ−パ（７）の刃先面の曲率
を、ウエ−ハの周縁の曲率よりも小さく形成しても同様
の作用を奏する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プレ−トにワック
ス等の接着剤で貼り付けられているウエ−ハをスクレ−
パを用いて該プレ−トから剥がすためのウエ−ハ剥離装
置（デマウント装置）に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ウエ−ハ剥離装置は、ポリッシング等を
終了したウエ−ハをプレ−トから剥すために使用され、
ウエ−ハを貼り付けたプレ−トを傾斜状態に支持し、ウ
エ−ハの周縁にスクレ−パを当て該スクレ−パを上記プ
レ−ト面に沿って移動しその刃先をウエ−ハの下面に挿
し込んで該ウエ−ハをプレ−トから剥すよう構成されて
いる。一般に、上記スクレ−パとしては１枚の直線状の
刃先面を有する薄刃が使用されており、ウエ−ハのサイ
ズが６インチ，８インチ等のように比較的小径の場合に
は充分ウエ−ハを剥すことができるが、近年提案されて
いる１２インチ（３００mm）やそれ以上の直径の大きな
ウエ−ハの場合には１枚のスクレ−パで確実に剥すこと
はむずかしい。

【０００３】そのため、２枚のスクレ−パを両手に持っ
て手作業で剥離作業を行う場合があるが、２枚のスクレ
−パのタイミングが合わないと、きれいに剥すことがで
きず、ウエ−ハを損傷するおそれがある。また、１つの
大きなスクレ−パを用いてウエ−ハの周縁の広い範囲に
わたって同時にスクレ−パの刃先面を当てて剥離させる
ことも考えられるが、そのようにすると大きな剥離力を
必要とするので、スクレ−パの駆動力を大きくしなけれ
ばならず、それに伴ってウエ−ハにも大きな力が作用す
るから、破損等のおそれも多い。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の解決課題は、
上記のように３００mm若しくはそれ以上というような大
きなサイズのウエ−ハでも軽い駆動力で確実にプレ−ト
から剥すことができるようにしたウエ−ハ剥離装置を提
供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、上記課
題は、ウエ−ハの周縁にスクレ−パの刃先面が同時に当
接しないようにすることにより達成され、さらに詳しく
はスクレ−パを移動する際、最初に刃先面の一部がウエ
−ハの周縁の一部に接し、引き続いて刃先面の他の部分
がウエ−ハの周縁の他の部分に接するよう上記刃先面を
ウエ−ハの周縁の曲率と少し相違する曲率を有する弧状
面に形成することにより達成される。

【０００６】

【発明の実施の形態】ウエ−ハ剥離装置の基本的構成
は、図１に示すように、プレ−ト（１）を傾斜状態に支
持する保持台（２）と、該プレ−ト（１）上から剥され
たウエ−ハ（３）を収納するカセット（４）及び該カセ
ット（４）にウエ−ハを案内するシュ−ト（５）を具備
し、好ましくは上記カセット（４）は純水をオ−バ−フ
ロ−させている収納部（６）内に設けられている。

【０００７】スクレ−パ（７）は、上記プレ−ト（１）
上にワックス等の接着剤で貼付けられているウエ−ハ
（３）の周縁に対向する位置に設けられ、スクレ−パ駆
動装置（８）により該スクレ−パ（７）の刃先面（９）
がウエ−ハ（３）の周縁に当って該ウエ−ハとプレ−ト
の間に入り込み上記接着剤を剥すように上記プレ−ト面
に沿って移動される。該スクレ−パ（７）の上方には、
剥離作業時に、純水を該刃先面に流すようノズル(10)が
設けられている。

【０００８】上記スクレ−パ（７）の刃先面（９）は薄
肉に形成され、図２に示すように弧状にわん曲してお
り、ウエ−ハの周縁の曲率と一致しないように刃先面
（９）の曲率半径（Ｒ）はウエ−ハ（３）の曲率半径
（ｒ）よりも少し大きく若しくは少し小さく形成され、
またその幅は、好ましくは上記ウエ−ハ（３）の半径よ
りも大きく形成され、該ウエ−ハ（３）の直径とほぼ同
じような幅であっても差支えない。

【０００９】上記スクレ−パ（７）は、好ましくはポリ
カ−ボネ−ト等の強靱なプラスチック材料で作られ、全
体を１つの部材で構成したり、図３に示すように複数の
スクレ−パ要素(7a), (7b)・・・に分割して作り、各ス
クレ−パ要素(7a), (7b)・・・に、組み合せた際上記刃
先面を構成するよう刃先要素(9a)・・・を設けるように
してもよい。この場合、後述するように最初にウエ−ハ
（３）に当る部分と後からウエ−ハに当る部分等に分割
し、摩耗、損傷等を受け易い部分を他の部分とは別に独
立して交換できるようにすることもできる。

【００１０】上記のように、スクレ−パ（７）は上記ウ
エ−ハ（３）の周縁の曲率と一致しないように形成した
刃先面（９）を有しているので、上記スクレ−パ駆動装
置（８）でプレ−ト（１）に沿って移動させた際、上記
刃先面（９）はウエ−ハの周縁にぴったりと沿うことは
なく、その一部が該周縁に最初に接して該ウエ−ハの下
面に入り込み、引き続いて他の部分が上記周縁の他の部
分に接してウエ−ハの下面に差し込まれ、該ウエ−ハを
プレ−トから剥すことができる。

【００１１】

【実施例】ウエ−ハ（３）が半径１５０mmのとき、上記
スクレ−パ（７）の刃先面（９）の曲率半径を約１５２
mmに形成した。図４に示すように、スクレ−パ（７）が
同図（Ａ）の状態からウエ−ハ（３）方向へ移動する
と、該スクレ−パ（７）の刃先面（９）は中央部(11)が
最初にウエ−ハ（３）に接し（同図（Ｂ））、ウエ−ハ
の下面に入り込み、その後刃先面の他の部分はスクレ−
パの外方に向かって次第にウエ−ハに係合して行き（同
図（Ｃ））、ウエ−ハをプレ−トから簡単に剥すことが
できた。

【００１２】図５に示す実施例では、半径１５０mmのウ
エ−ハ（３）に対し刃先面（９）の曲率半径が約１４９
mmのスクレ−パ（７）を用いた。この実施例では、同図
（Ｂ）に示すようにスクレ−パ（７）の刃先面（９）の
外端部(12)が最初にウエ−ハ（３）に接し、該スクレ−
パ（７）の移動に伴って次第にスクレ−パ（７）の中央
部の方向に向かってウエ−ハ（３）に係合し（同図
（Ｃ））、ウエ−ハをプレ−トから剥すことができた。

【００１３】

【発明の効果】本発明は上記のように構成され、ウエ−
ハの周縁の曲率とスクレ−パの刃先面の曲率を変えて設
けたので、ウエ−ハをプレ−トから剥す際上記スクレ−
パをプレ−トに沿って移動させると、該スクレ−パは刃
先面の一部がウエ−ハの周縁の一部に接し、引き続いて
刃先面の他の部分がウエ−ハの周縁の他の部分に接する
から、一度に該刃先面の全面がウエ−ハの周縁に当接し
ないようにでき、したがって小さな力でスクレ−パをウ
エ−ハの下面に入り込ませることが可能であり、ウエ−
ハの一部がプレ−トから剥れた状態で刃先面の他の部分
を該ウエ−ハに係合させて容易にウエ−ハ全体をプレ−
トから容易に剥離させることができ、ウエ−ハを損傷す
ることもない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の全体の構成を示す説明図。

【図２】ウエ−ハとスクレ−パの関係を示す説明図。

【図３】スクレ−パの他の実施例を示す一部の平面図。

【図４】刃先面の曲率をウエ−ハの周縁の曲率よりも大
きくした実施例を示し、（Ａ）はスクレ−パとウエ−ハ
が係合する前の状態，（Ｂ）は係合を始めた状態，
（Ｃ）は係合が進行した状態を示す各説明図。

【図５】刃先面の曲率をウエ−ハの周縁の曲率よりも小
さくした実施例を示し、（Ａ）はスクレ−パとウエ−ハ
が係合する前の状態，（Ｂ）は係合を始めた状態，
（Ｃ）は係合が進行した状態を示す各説明図。

【符号の説明】

１ プレ−ト ２ 保持台 ３ ウエ−ハ ４ カセット ５ シュ−ト ６ 収納部 ７ スクレ−パ ８ スクレ−パ駆動装置 ９ 刃先面 10 ノズル 11 中央部 12 外端部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プレ−ト上に貼付けたウエ−ハの周縁に
   スクレ−パを当てて該ウエ−ハをプレ−トから剥離する
   装置において、上記スクレ−パは上記ウエ−ハの周縁に
   対向して弧状の刃先面を有し、該刃先面の曲率はスクレ
   −パをウエ−ハの周縁に当接する際刃先面の一部がウエ
   −ハの周縁の一部に接し、引き続いて刃先面の他の部分
   がウエ−ハの周縁の他の部分に接するよう上記ウエ−ハ
   の周縁の曲率と変えて形成されていることを特徴とする
   ウエ−ハ剥離装置。
2. 【請求項２】 上記刃先面の曲率は、上記ウエ−ハの外
   径より大きく若しくは小さく形成されていることを特徴
   とする請求項１に記載のウエ−ハ剥離装置。
3. 【請求項３】 上記スクレ−パは、複数のスクレ−パ要
   素を組み合せて構成され、各スクレ−パ要素は上記刃先
   面を構成する刃先要素を具備している請求項１または２
   に記載のウエ−ハ剥離装置。