JPH11110732A - 磁気記録媒体 - Google Patents
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- JPH11110732A JPH11110732A JP9284575A JP28457597A JPH11110732A JP H11110732 A JPH11110732 A JP H11110732A JP 9284575 A JP9284575 A JP 9284575A JP 28457597 A JP28457597 A JP 28457597A JP H11110732 A JPH11110732 A JP H11110732A
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Classifications
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- G11—INFORMATION STORAGE
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 リング型磁気ヘッドを使用している現行の磁
気記録システムに好適であるより高い保磁力とより大き
い飽和磁化とを有しているとともに、ノイズが少なく、
高周波領域における出力が大きく、再生波形の歪みが無
い高密度記録用磁気記録媒体を工業的に得る。 【解決手段】 基体とコバルト含有マグヘマイト薄膜と
の間にニッケル酸化物下地膜を形成するとともに、上記
コバルト含有マグヘマイト薄膜が（３１１）面における
面間隔が２．５１０Å以下、（２２２）面における面間
隔が２．４１５Å以下又は（２２０）面における面間隔
が２．９５０Å以下のいずれかに該当する面間隔を有
し、且つ、上記（３１１）面、上記（２２２）面及び上
記（２２０）面の各面におけるＸ線回折スペクトルのピ
ーク強度値のいずれかが（４００）面におけるＸ線回折
スペクトルのピーク強度値に対し０．５を越えることを
特徴とする磁気記録媒体。
気記録システムに好適であるより高い保磁力とより大き
い飽和磁化とを有しているとともに、ノイズが少なく、
高周波領域における出力が大きく、再生波形の歪みが無
い高密度記録用磁気記録媒体を工業的に得る。 【解決手段】 基体とコバルト含有マグヘマイト薄膜と
の間にニッケル酸化物下地膜を形成するとともに、上記
コバルト含有マグヘマイト薄膜が（３１１）面における
面間隔が２．５１０Å以下、（２２２）面における面間
隔が２．４１５Å以下又は（２２０）面における面間隔
が２．９５０Å以下のいずれかに該当する面間隔を有
し、且つ、上記（３１１）面、上記（２２２）面及び上
記（２２０）面の各面におけるＸ線回折スペクトルのピ
ーク強度値のいずれかが（４００）面におけるＸ線回折
スペクトルのピーク強度値に対し０．５を越えることを
特徴とする磁気記録媒体。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リング型磁気ヘッドを
使用している現行の磁気記録システムに好適である高密
度記録用磁気記録媒体を提供するものであり、詳しく
は、より高い保磁力とより大きい飽和磁化とを有してい
るとともに、ノイズが少なく、高周波領域における出力
が大きく、再生波形の歪みが無い磁気記録媒体を提供す
ることを目的とする。
使用している現行の磁気記録システムに好適である高密
度記録用磁気記録媒体を提供するものであり、詳しく
は、より高い保磁力とより大きい飽和磁化とを有してい
るとともに、ノイズが少なく、高周波領域における出力
が大きく、再生波形の歪みが無い磁気記録媒体を提供す
ることを目的とする。
【０００２】
【従来技術】近年、ハードディスクなどの磁気記録装置
においては、情報機器やシステムの小型化と高信頼性化
の傾向が顕著であり、大容量のデータを取り扱うために
は、高密度記録化できる磁気記録媒体を必要とし、その
要求が益々高まってきている。
においては、情報機器やシステムの小型化と高信頼性化
の傾向が顕著であり、大容量のデータを取り扱うために
は、高密度記録化できる磁気記録媒体を必要とし、その
要求が益々高まってきている。
【０００３】このような特性を満たす磁気記録媒体とし
ては、できるだけ大きな保磁力と高い飽和磁化とを有し
ていることが強く要求される。
ては、できるだけ大きな保磁力と高い飽和磁化とを有し
ていることが強く要求される。
【０００４】大きな保磁力と高い飽和磁化とを有する磁
気記録媒体として基体と該基体上に形成された磁性薄膜
とからなる磁気記録媒体が広く知られている。
気記録媒体として基体と該基体上に形成された磁性薄膜
とからなる磁気記録媒体が広く知られている。
【０００５】実用化されている磁性薄膜としては、大別
してマグヘマイト等の酸化物磁性薄膜（社団法人電子通
信学会発行、「電子通信学会技術報告」、（１９８１
年）ＭＲ８１−２０、５〜１２頁）とＣｏＣｒ合金等の
合金薄膜とがある。
してマグヘマイト等の酸化物磁性薄膜（社団法人電子通
信学会発行、「電子通信学会技術報告」、（１９８１
年）ＭＲ８１−２０、５〜１２頁）とＣｏＣｒ合金等の
合金薄膜とがある。
【０００６】前者は、酸化物であるため耐酸化性や耐食
性に優れており、その結果、経時安定性に優れ、経時に
よる磁気特性の変化が小さいという特徴を有するが、保
磁力は高々７００Ｏｅ程度と低く、飽和磁化値は高々２
４０ｅｍｕ／ｃｍ3 程度と小さいものであった。
性に優れており、その結果、経時安定性に優れ、経時に
よる磁気特性の変化が小さいという特徴を有するが、保
磁力は高々７００Ｏｅ程度と低く、飽和磁化値は高々２
４０ｅｍｕ／ｃｍ3 程度と小さいものであった。
【０００７】後者は、２０００Ｏｅ程度以上の高い保磁
力と３００ｅｍｕ／ｃｍ3 程度以上の大きい飽和磁化値
とを有しているという特徴を有するが、材料自体は酸化
しやすく、その結果、経時安定性が悪いものである。
力と３００ｅｍｕ／ｃｍ3 程度以上の大きい飽和磁化値
とを有しているという特徴を有するが、材料自体は酸化
しやすく、その結果、経時安定性が悪いものである。
【０００８】この酸化による磁気特性の劣化を防ぐため
合金薄膜は、通常１００〜２００Å程度の厚みのカーボ
ン膜等が保護膜として表面にコーティングされており、
その結果、カーボン膜の厚み分だけ、磁気的なスペーシ
ング（磁気ヘッドと磁気記録層との距離）ロスが大きく
なり、高密度記録用として適さなくなる。
合金薄膜は、通常１００〜２００Å程度の厚みのカーボ
ン膜等が保護膜として表面にコーティングされており、
その結果、カーボン膜の厚み分だけ、磁気的なスペーシ
ング（磁気ヘッドと磁気記録層との距離）ロスが大きく
なり、高密度記録用として適さなくなる。
【０００９】そこで、耐酸化性や耐食性が優れていると
ともに、経時安定性に優れている前記酸化物磁性薄膜の
保磁力と飽和磁化値を向上させるためにコバルト等を含
有させることが行われ、実用化されている。また、膜面
に垂直な方向に磁化するため減磁作用がなく、高密度記
録が可能である、所謂、垂直磁化膜としての開発も盛ん
に行われている。
ともに、経時安定性に優れている前記酸化物磁性薄膜の
保磁力と飽和磁化値を向上させるためにコバルト等を含
有させることが行われ、実用化されている。また、膜面
に垂直な方向に磁化するため減磁作用がなく、高密度記
録が可能である、所謂、垂直磁化膜としての開発も盛ん
に行われている。
【００１０】上記コバルトを含有させた酸化物磁性薄膜
は、コバルト量の増加にともなって保磁力が高くなる
が、一方、コバルト量の増加にともなって熱などの影響
により経時安定性が悪くなるという傾向がある。
は、コバルト量の増加にともなって保磁力が高くなる
が、一方、コバルト量の増加にともなって熱などの影響
により経時安定性が悪くなるという傾向がある。
【００１１】上記垂直磁化膜は、現在広く普及している
リング型磁気ヘッドを使用している現行の磁気記録シス
テムを用いて再生した場合、孤立再生波形が歪む、所
謂、ダイパルスと呼ばれる再生波形の形状を示すため、
特別な信号処理を行う必要がある。
リング型磁気ヘッドを使用している現行の磁気記録シス
テムを用いて再生した場合、孤立再生波形が歪む、所
謂、ダイパルスと呼ばれる再生波形の形状を示すため、
特別な信号処理を行う必要がある。
【００１２】この特別な信号処理を避けるためには、垂
直磁気記録システムに用いられている単磁極ヘッドを用
いればよいが、この垂直磁気記録システムは一般に普及
していないため、単磁極ヘッドは非常に高価である。
直磁気記録システムに用いられている単磁極ヘッドを用
いればよいが、この垂直磁気記録システムは一般に普及
していないため、単磁極ヘッドは非常に高価である。
【００１３】リング型磁気ヘッドを使用している現行の
磁気記録システムに好適である高密度記録用磁気記録媒
体は、現在、強く要求されているところであり、上述し
た各種媒体の開発が盛んである。その中で耐酸化性や耐
食性に優れている酸化物磁性薄膜は最も有望視されてお
り、その特性向上が益々強く要求されている。
磁気記録システムに好適である高密度記録用磁気記録媒
体は、現在、強く要求されているところであり、上述し
た各種媒体の開発が盛んである。その中で耐酸化性や耐
食性に優れている酸化物磁性薄膜は最も有望視されてお
り、その特性向上が益々強く要求されている。
【００１４】即ち、酸化物磁性薄膜は、前述した通り、
より高い保磁力とより大きな飽和磁化値とが強く要求さ
れるとともに、更に、ノイズが少なく、高周波領域にお
ける出力が大きく、孤立再生波形の歪みの無いことが強
く要求されている。
より高い保磁力とより大きな飽和磁化値とが強く要求さ
れるとともに、更に、ノイズが少なく、高周波領域にお
ける出力が大きく、孤立再生波形の歪みの無いことが強
く要求されている。
【００１５】従来、最も代表的な酸化物磁性薄膜として
は、マグヘマイト磁性膜が知れており、該マグヘマイト
磁性膜の保磁力値を向上させるためにコバルトを含有さ
せることが行われている（特公昭５１−４０８６号、特
公平５−６３９２５号、社団法人日本セラミックス協会
発行「セラミックス」（１９８６年）第２４巻、第１
号、第２１〜２４頁 等）。
は、マグヘマイト磁性膜が知れており、該マグヘマイト
磁性膜の保磁力値を向上させるためにコバルトを含有さ
せることが行われている（特公昭５１−４０８６号、特
公平５−６３９２５号、社団法人日本セラミックス協会
発行「セラミックス」（１９８６年）第２４巻、第１
号、第２１〜２４頁 等）。
【００１６】そして、このコバルト含有マグヘマイト薄
膜は、高密度記録用として好適なものとするために、
（４００）面が基体の表面に平行に優先配向させた、所
謂、垂直磁化膜とすることが知られている（特公平７−
６０７６８号公報、特開平７−３０７０２２号公報）。
膜は、高密度記録用として好適なものとするために、
（４００）面が基体の表面に平行に優先配向させた、所
謂、垂直磁化膜とすることが知られている（特公平７−
６０７６８号公報、特開平７−３０７０２２号公報）。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】リング型磁気ヘッドを
使用している現行の磁気記録システムに好適である高密
度記録用磁気記録媒体として、より高い保磁力とより大
きな飽和磁化とを有しているとともに、ノイズが少な
く、高周波領域における出力が大きく、孤立再生波形の
歪みの無い磁気記録媒体は現在最も要求されているとこ
ろであるが、このような諸特性を有する磁気記録媒体は
未だ得られていない。
使用している現行の磁気記録システムに好適である高密
度記録用磁気記録媒体として、より高い保磁力とより大
きな飽和磁化とを有しているとともに、ノイズが少な
く、高周波領域における出力が大きく、孤立再生波形の
歪みの無い磁気記録媒体は現在最も要求されているとこ
ろであるが、このような諸特性を有する磁気記録媒体は
未だ得られていない。
【００１８】即ち、前出公知のコバルト含有マグヘマイ
ト薄膜は、磁気特性、殊に、保磁力が未だ高いものとは
言えず、高い保磁力、殊に、２０００Ｏｅ以上を得よう
とすれば、コバルトを多量に含有させる必要があり、こ
の場合には熱などの影響による経時変化が大きいもので
ある。
ト薄膜は、磁気特性、殊に、保磁力が未だ高いものとは
言えず、高い保磁力、殊に、２０００Ｏｅ以上を得よう
とすれば、コバルトを多量に含有させる必要があり、こ
の場合には熱などの影響による経時変化が大きいもので
ある。
【００１９】更に、高周波領域における出力が十分大き
いものとは言えないという問題がある。
いものとは言えないという問題がある。
【００２０】前出公知の酸化物垂直磁化膜は、前述した
通り、孤立再生波形が歪むため、リング型磁気ヘッドを
使用している現行の磁気記録システムには使用できな
い。
通り、孤立再生波形が歪むため、リング型磁気ヘッドを
使用している現行の磁気記録システムには使用できな
い。
【００２１】そこで、本発明は、できるだけ少ないコバ
ルト含有量で、より高い保磁力とより大きな飽和磁化と
を有しているとともに、ノイズが少なく、高周波領域に
おける出力が大きく、再生波形の歪みの無い酸化物磁性
薄膜を得ることを技術的課題とする。
ルト含有量で、より高い保磁力とより大きな飽和磁化と
を有しているとともに、ノイズが少なく、高周波領域に
おける出力が大きく、再生波形の歪みの無い酸化物磁性
薄膜を得ることを技術的課題とする。
【００２２】
【課題を解決する為の手段】前記技術的課題は、次の通
りの本発明によって達成できる。
りの本発明によって達成できる。
【００２３】即ち、本発明は、基体と該基体上に形成さ
れるコバルト含有マグヘマイト薄膜とからなる磁気記録
媒体において、上記基体と上記コバルト含有マグヘマイ
ト薄膜との間にニッケル酸化物下地膜を形成するととも
に、上記コバルト含有マグヘマイト薄膜が（３１１）面
における面間隔が２．５１０Å以下、（２２２）面にお
ける面間隔が２．４１５Å以下又は（２２０）面におけ
る面間隔が２．９５０Å以下のいずれかに該当する面間
隔を有し、且つ、上記（３１１）面、上記（２２２）面
及び上記（２２０）面の各面におけるＸ線回折スペクト
ルのピーク強度値のいずれかが（４００）面におけるＸ
線回折スペクトルのピーク強度値に対し０．５を越える
ことを特徴とする磁気記録媒体である。
れるコバルト含有マグヘマイト薄膜とからなる磁気記録
媒体において、上記基体と上記コバルト含有マグヘマイ
ト薄膜との間にニッケル酸化物下地膜を形成するととも
に、上記コバルト含有マグヘマイト薄膜が（３１１）面
における面間隔が２．５１０Å以下、（２２２）面にお
ける面間隔が２．４１５Å以下又は（２２０）面におけ
る面間隔が２．９５０Å以下のいずれかに該当する面間
隔を有し、且つ、上記（３１１）面、上記（２２２）面
及び上記（２２０）面の各面におけるＸ線回折スペクト
ルのピーク強度値のいずれかが（４００）面におけるＸ
線回折スペクトルのピーク強度値に対し０．５を越える
ことを特徴とする磁気記録媒体である。
【００２４】また、本発明は、ニッケル酸化物下地膜の
（１１１）面におけるＸ線回折スペクトルのピーク強度
値が（２００）面におけるＸ線回折スペクトルのピーク
強度値に対し０．５を越えることを特徴とする前記磁気
記録媒体である。
（１１１）面におけるＸ線回折スペクトルのピーク強度
値が（２００）面におけるＸ線回折スペクトルのピーク
強度値に対し０．５を越えることを特徴とする前記磁気
記録媒体である。
【００２５】本発明の構成をより詳しく説明すれば、次
の通りである。
の通りである。
【００２６】先ず、本発明に係る磁気記録媒体について
述べる。
述べる。
【００２７】本発明に係る磁気記録媒体は、基体と該基
体上に形成されるニッケル酸化物下地膜と該下地膜上に
形成されているコバルト含有マグヘマイト薄膜とからな
る。
体上に形成されるニッケル酸化物下地膜と該下地膜上に
形成されているコバルト含有マグヘマイト薄膜とからな
る。
【００２８】本発明における基体は、ガラス等の汎用さ
れている基体材料を使用することができる。
れている基体材料を使用することができる。
【００２９】本発明におけるニッケル酸化物下地膜の厚
みは０．０１〜０．５μｍ程度である。厚みが０．０１
未満の場合には、本発明の目的とする保磁力がより大き
い磁気記録媒体を得ることが困難である。厚みが０．５
μｍを超える場合には、ニッケル酸化物下地膜の上に形
成されたコバルト含有マグヘマイト薄膜の粒径が大きく
なり、得られた磁気記録媒体のノイズが増加しやすくな
る。
みは０．０１〜０．５μｍ程度である。厚みが０．０１
未満の場合には、本発明の目的とする保磁力がより大き
い磁気記録媒体を得ることが困難である。厚みが０．５
μｍを超える場合には、ニッケル酸化物下地膜の上に形
成されたコバルト含有マグヘマイト薄膜の粒径が大きく
なり、得られた磁気記録媒体のノイズが増加しやすくな
る。
【００３０】本発明におけるニッケル酸化物下地膜は基
体平行方向の（２００）面の配向ができるだけ小さく、
殊に無配向の場合が好ましい。（２００）面の配向が大
きくなるとコバルト含有マグヘマイト薄膜の（４００）
面が成長し、ダイパルス比が大きくなることがあるの
で、ダイパルス比を考慮すれば、（１１１）面における
Ｘ線回折スペクトルのピーク強度値が（２００）面にお
けるＸ線回折スペクトルのピーク強度値に対し０．５を
越えていることが好ましく、１．０以上がより好まし
い。
体平行方向の（２００）面の配向ができるだけ小さく、
殊に無配向の場合が好ましい。（２００）面の配向が大
きくなるとコバルト含有マグヘマイト薄膜の（４００）
面が成長し、ダイパルス比が大きくなることがあるの
で、ダイパルス比を考慮すれば、（１１１）面における
Ｘ線回折スペクトルのピーク強度値が（２００）面にお
けるＸ線回折スペクトルのピーク強度値に対し０．５を
越えていることが好ましく、１．０以上がより好まし
い。
【００３１】本発明における磁性薄膜は、厚みが０．０
０５〜１．０μｍのコバルト含有マグヘマイト薄膜であ
る。
０５〜１．０μｍのコバルト含有マグヘマイト薄膜であ
る。
【００３２】マグヘマイトは、一般式γ−Ｆｅ2 Ｏ3 で
示されるが、本発明においては若干のＦｅ2+を含むもの
であってもよい。
示されるが、本発明においては若干のＦｅ2+を含むもの
であってもよい。
【００３３】また、マグヘマイト磁性薄膜の諸特性向上
のために通常使用されることがある周知のＭｎ、Ｎｉ、
Ｃｕ、Ｔｉ、Ｚｎ等をＦｅに対しモル比で０．００５〜
０．０４程度含有させてもよく、この場合にも、本発明
の目的とする効果と同一の効果を得ることができる。
のために通常使用されることがある周知のＭｎ、Ｎｉ、
Ｃｕ、Ｔｉ、Ｚｎ等をＦｅに対しモル比で０．００５〜
０．０４程度含有させてもよく、この場合にも、本発明
の目的とする効果と同一の効果を得ることができる。
【００３４】コバルト量はＦｅに対してモル比で０．０
１〜０．１が好ましく、より好ましくは０．０３〜０．
０６である。０．０１未満の場合には、２０００Ｏｅ以
上のより高い保磁力を有する磁気記録媒体が得られ難
い。０．１を越える場合には、経時安定性に優れた磁気
記録媒体が得られ難くなる。
１〜０．１が好ましく、より好ましくは０．０３〜０．
０６である。０．０１未満の場合には、２０００Ｏｅ以
上のより高い保磁力を有する磁気記録媒体が得られ難
い。０．１を越える場合には、経時安定性に優れた磁気
記録媒体が得られ難くなる。
【００３５】コバルト含有マグヘマイト薄膜は、（３１
１）面における面間隔が２．５１０Å以下、（２２２）
面における面間隔が２．４１５Å以下又は（２２０）面
における面間隔が２．９５０Å以下のいずれかに該当す
る面間隔を有している。
１）面における面間隔が２．５１０Å以下、（２２２）
面における面間隔が２．４１５Å以下又は（２２０）面
における面間隔が２．９５０Å以下のいずれかに該当す
る面間隔を有している。
【００３６】少なくともいずれか一つの面間隔が該当す
れば、他の二つの面間隔が該当していなくてもよい。
れば、他の二つの面間隔が該当していなくてもよい。
【００３７】（３１１）面、（２２２）面及び（２２
０）面のいずれの面間隔にも該当しない場合には、より
高い保磁力を有する磁気記録媒体を得ることができな
い。また、ノイズが多くなり、高周波領域における出力
が十分大きいものとは言い難い。
０）面のいずれの面間隔にも該当しない場合には、より
高い保磁力を有する磁気記録媒体を得ることができな
い。また、ノイズが多くなり、高周波領域における出力
が十分大きいものとは言い難い。
【００３８】（３１１）面、（２２２）面及び（２２
０）面における面間隔とコバルト含有マグヘマト薄膜の
保磁力との間には密接な関係があり、Ｆｅに対するＣｏ
のモル比が同じ場合には、面間隔が小さくなる程、保磁
力が大きくなる傾向がある。
０）面における面間隔とコバルト含有マグヘマト薄膜の
保磁力との間には密接な関係があり、Ｆｅに対するＣｏ
のモル比が同じ場合には、面間隔が小さくなる程、保磁
力が大きくなる傾向がある。
【００３９】（３１１）面における面間隔は、好ましく
は２．５０９Å以下、より好ましくは２．５０６Å以下
である。その下限値は２．４９０Åである。
は２．５０９Å以下、より好ましくは２．５０６Å以下
である。その下限値は２．４９０Åである。
【００４０】（２２２）面における面間隔は、好ましく
は２．４００Å以下、より好ましくは２．３９９Å以
下、更により好ましくは２．３９８Å以下である。その
下限値は２．３８５Åである。
は２．４００Å以下、より好ましくは２．３９９Å以
下、更により好ましくは２．３９８Å以下である。その
下限値は２．３８５Åである。
【００４１】（２２０）面における面間隔は、好ましく
は２．９４３Å以下、より好ましくは２．９４０Å以下
である。その下限値は２．９２０Åである。
は２．９４３Å以下、より好ましくは２．９４０Å以下
である。その下限値は２．９２０Åである。
【００４２】本発明におけるコバルト含有マグヘマイト
薄膜は、（３１１）面、（２２２）面及び（２２０）面
の各面におけるＸ線回折スペクトルのピーク強度値のい
ずれかが（４００）面におけるＸ線回折スペクトルのピ
ーク強度値に対し０．５を越えている。０．５以下であ
る場合には、目的とするリング型磁気ヘッドを使用して
いる現行の磁気記録システムに好適である高密度記録用
磁気記録媒体を得ることができない。
薄膜は、（３１１）面、（２２２）面及び（２２０）面
の各面におけるＸ線回折スペクトルのピーク強度値のい
ずれかが（４００）面におけるＸ線回折スペクトルのピ
ーク強度値に対し０．５を越えている。０．５以下であ
る場合には、目的とするリング型磁気ヘッドを使用して
いる現行の磁気記録システムに好適である高密度記録用
磁気記録媒体を得ることができない。
【００４３】本発明に係る磁気記録媒体は、飽和磁化値
（印加磁界１５ＫＯｅにおける磁化の値）が好ましくは
２５０〜４００ｅｍｕ／ｃｍ3 、より好ましくは３００
〜３６０ｅｍｕ／ｃｍ3 であって、保磁力値が好ましく
は２０００Ｏｅ以上、より好ましくは２２００Ｏｅ以上
である。殊に、本発明においては、Ｆｅに対するコバル
トのモル比が０．０４である場合に、保磁力の上限が６
５００Ｏｅ程度が得られている。リング型磁気ヘッドを
使用している現行の磁気記録システムにおいては、保磁
力の上限値が４０００Ｏｅ程度が好ましく、より好まし
くは３０００Ｏｅである。
（印加磁界１５ＫＯｅにおける磁化の値）が好ましくは
２５０〜４００ｅｍｕ／ｃｍ3 、より好ましくは３００
〜３６０ｅｍｕ／ｃｍ3 であって、保磁力値が好ましく
は２０００Ｏｅ以上、より好ましくは２２００Ｏｅ以上
である。殊に、本発明においては、Ｆｅに対するコバル
トのモル比が０．０４である場合に、保磁力の上限が６
５００Ｏｅ程度が得られている。リング型磁気ヘッドを
使用している現行の磁気記録システムにおいては、保磁
力の上限値が４０００Ｏｅ程度が好ましく、より好まし
くは３０００Ｏｅである。
【００４４】尚、本発明における磁気記録媒体の保磁力
の上限値は、後出の「振動試料型磁力計ＶＳＭ」で測定
できる保磁力の測定限界である印加磁界１５ｋＯｅで測
定した値で示したものである。また、本発明に係る磁気
記録媒体は、後出の発明の実施の形態に記載した実験装
置を用いて測定した電磁変換特性においては、Ｓｐ−ｐ
／Ｎｒｍｓが好ましくは４５ｄＢ以上、より好ましくは
４７ｄＢ以上が得られている。そして、記録密度１ＫＦ
ＲＰＩにおける出力値に対して出力値が半分になる記録
密度が好ましくは１３０以上、より好ましくは１４０以
上である。そして、後出図１に示す通り、ダイパルス比
は０である。
の上限値は、後出の「振動試料型磁力計ＶＳＭ」で測定
できる保磁力の測定限界である印加磁界１５ｋＯｅで測
定した値で示したものである。また、本発明に係る磁気
記録媒体は、後出の発明の実施の形態に記載した実験装
置を用いて測定した電磁変換特性においては、Ｓｐ−ｐ
／Ｎｒｍｓが好ましくは４５ｄＢ以上、より好ましくは
４７ｄＢ以上が得られている。そして、記録密度１ＫＦ
ＲＰＩにおける出力値に対して出力値が半分になる記録
密度が好ましくは１３０以上、より好ましくは１４０以
上である。そして、後出図１に示す通り、ダイパルス比
は０である。
【００４５】次に、本発明に係る磁気記録媒体の製造法
について述べる。
について述べる。
【００４６】本発明に係る磁気記録媒体は、表面にニッ
ケル酸化物下地膜を形成した基体を用い、該ニッケル酸
化物下地膜の上に、Ｃｏを含むＦｅの合金ターゲットを
用いて酸素を導入しながらコバルト含有マグネタイトを
生成・堆積させる、所謂、スパッタ法により、上記酸素
流量（ＣＣＭ）と上記コバルト含有マグネタイトの堆積
速度（ｎｍ／分）とを制御しながら、コバルト含有マグ
ネタイト薄膜を形成し、次いで、該コバルト含有マグネ
タイト薄膜を２００〜４５０℃の温度で熱処理して、コ
バルト含有マグヘマイト薄膜に変化させることにより得
ることができる。
ケル酸化物下地膜を形成した基体を用い、該ニッケル酸
化物下地膜の上に、Ｃｏを含むＦｅの合金ターゲットを
用いて酸素を導入しながらコバルト含有マグネタイトを
生成・堆積させる、所謂、スパッタ法により、上記酸素
流量（ＣＣＭ）と上記コバルト含有マグネタイトの堆積
速度（ｎｍ／分）とを制御しながら、コバルト含有マグ
ネタイト薄膜を形成し、次いで、該コバルト含有マグネ
タイト薄膜を２００〜４５０℃の温度で熱処理して、コ
バルト含有マグヘマイト薄膜に変化させることにより得
ることができる。
【００４７】本発明が目的としている磁気記録媒体を得
るためには、上記コバルト含有マグネタイトの堆積速度
（ｎｍ／分）に対する酸素流量（ＣＣＭ）を制御するこ
とが肝要である。
るためには、上記コバルト含有マグネタイトの堆積速度
（ｎｍ／分）に対する酸素流量（ＣＣＭ）を制御するこ
とが肝要である。
【００４８】本発明の目的とするコバルト含有マグヘマ
イト薄膜を得るための、コバルト含有マグネタイトの堆
積速度（ｎｍ／分）に対する酸素流量（ＣＣＭ）は、装
置の種類、構造、全ガス圧、基板温度、スパッタリング
ターゲット面積等コバルト含有マグネタイト薄膜の酸化
度に影響する条件により種々相違するので特定すること
は困難である。
イト薄膜を得るための、コバルト含有マグネタイトの堆
積速度（ｎｍ／分）に対する酸素流量（ＣＣＭ）は、装
置の種類、構造、全ガス圧、基板温度、スパッタリング
ターゲット面積等コバルト含有マグネタイト薄膜の酸化
度に影響する条件により種々相違するので特定すること
は困難である。
【００４９】しかしながら、本発明者が行った数多くの
実験例から、コバルト含有マグネタイトの堆積速度（ｎ
ｍ／分）に対する酸素流量（ＣＣＭ）が小さくなる程、
得られるコバルト含有マグヘマイト薄膜の（３１１）
面、（２２２）面及び（２２０）面の各面における面間
隔が小さくなる傾向にあるという知見を得ている。
実験例から、コバルト含有マグネタイトの堆積速度（ｎ
ｍ／分）に対する酸素流量（ＣＣＭ）が小さくなる程、
得られるコバルト含有マグヘマイト薄膜の（３１１）
面、（２２２）面及び（２２０）面の各面における面間
隔が小さくなる傾向にあるという知見を得ている。
【００５０】従って、各種ケースにおいて、（３１１）
面、（２２２）面及び（２２０）面の各面におけるバル
クの面間隔よりも小さくなるコバルト含有マグネタイト
の堆積速度（ｎｍ／分）に対する酸素流量（ＣＣＭ）値
を実験により求め、該値よりも小さい値になる様にコバ
ルト含有マグネタイトの堆積速度及び酸素流量のそれぞ
れを制御すればよい。
面、（２２２）面及び（２２０）面の各面におけるバル
クの面間隔よりも小さくなるコバルト含有マグネタイト
の堆積速度（ｎｍ／分）に対する酸素流量（ＣＣＭ）値
を実験により求め、該値よりも小さい値になる様にコバ
ルト含有マグネタイトの堆積速度及び酸素流量のそれぞ
れを制御すればよい。
【００５１】本発明者が行った実験によれば、後出実施
例及び比較例に示す通り、コバルト含有マグネタイトの
堆積速度３．５ｎｍ／分の場合、酸素流量（ＣＣＭ）は
０．３５以下、好ましくは０．２７以下、より好ましく
は０．２５以下であり、その下限値は０．１８である。
０．３５を越える場合には、得られるコバルト含有マグ
ヘマイト薄膜中にヘマタイトが形成されやすくなり、飽
和磁化値が減少することがある。０．１８未満になる
と、得られるコバルト含有マグヘマイト薄膜中に金属鉄
（Ｆｅ）やウスタイト（ＦｅＯ）が形成され保磁力が減
少することがある。
例及び比較例に示す通り、コバルト含有マグネタイトの
堆積速度３．５ｎｍ／分の場合、酸素流量（ＣＣＭ）は
０．３５以下、好ましくは０．２７以下、より好ましく
は０．２５以下であり、その下限値は０．１８である。
０．３５を越える場合には、得られるコバルト含有マグ
ヘマイト薄膜中にヘマタイトが形成されやすくなり、飽
和磁化値が減少することがある。０．１８未満になる
と、得られるコバルト含有マグヘマイト薄膜中に金属鉄
（Ｆｅ）やウスタイト（ＦｅＯ）が形成され保磁力が減
少することがある。
【００５２】
【発明の実施の形態】本発明の代表的な実施の形態は、
次の通りである。
次の通りである。
【００５３】磁気記録媒体の保磁力及び飽和磁化等の静
磁気特性は、「振動試料型磁力計ＶＳＭ」（東英工業株
式会社製）を用いて測定した値で示した。
磁気特性は、「振動試料型磁力計ＶＳＭ」（東英工業株
式会社製）を用いて測定した値で示した。
【００５４】磁気記録媒体のＸ線回折スペクトルは、
「Ｘ線回折装置ＲＡＤ−ＩＩＡ」（理学電機株式会社
製）で測定した値で示した。測定条件は、使用管球：Ｆ
ｅ、管電圧：４０ｋＶＡ、管電流：２５ｍＡ、ゴニオメ
ーター、 サンプリング幅：０．０１０°、走査速度：
１．０００°／ｍｉｎ、発散スリット：１°、散乱スリ
ット：１°、受光スリット：０．３０ｍｍで、回折角
（２θ）が３０．００°から６０．００°の領域を測定
した。
「Ｘ線回折装置ＲＡＤ−ＩＩＡ」（理学電機株式会社
製）で測定した値で示した。測定条件は、使用管球：Ｆ
ｅ、管電圧：４０ｋＶＡ、管電流：２５ｍＡ、ゴニオメ
ーター、 サンプリング幅：０．０１０°、走査速度：
１．０００°／ｍｉｎ、発散スリット：１°、散乱スリ
ット：１°、受光スリット：０．３０ｍｍで、回折角
（２θ）が３０．００°から６０．００°の領域を測定
した。
【００５５】磁気記録媒体のノイズ、再生出力、ダイパ
ルス等の電磁変換特性は、磁性膜をガラスディスク上に
形成し、表面にパーフルオロポリエーテル系の潤滑剤
「ＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ」（商品名：アウジモン
ト株式会社製）を塗布した後、ギャップ長が約０．２μ
ｍ、トラック幅２１μｍのＶＣＲ用ＭＩＧヘッドを接触
走行させて「記録再生実験装置Ｍ−８４Ｖ」（富士通オ
ートメーション株式会社（製））を用いて評価した。
ルス等の電磁変換特性は、磁性膜をガラスディスク上に
形成し、表面にパーフルオロポリエーテル系の潤滑剤
「ＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ」（商品名：アウジモン
ト株式会社製）を塗布した後、ギャップ長が約０．２μ
ｍ、トラック幅２１μｍのＶＣＲ用ＭＩＧヘッドを接触
走行させて「記録再生実験装置Ｍ−８４Ｖ」（富士通オ
ートメーション株式会社（製））を用いて評価した。
【００５６】ノイズ値（Ｎrms ）は走行速度３．０ｍ／
ｓで「スペクトラムアナライザーＴＲ４１７１」（アド
バンテスト製）を用いて解析した。
ｓで「スペクトラムアナライザーＴＲ４１７１」（アド
バンテスト製）を用いて解析した。
【００５７】再生出力（ＳP-P ）及びダイパルス比は走
行速度３．０ｍ／ｓで「オシロスコープＶＰ５５１４
Ａ」（パナソニック）を用いて解析した。再生出力は後
出の図２に示すａの値とｂの値を加えた値である。ダイ
パルス比は同図２に示すｂの値に対するａの値の比であ
る。
行速度３．０ｍ／ｓで「オシロスコープＶＰ５５１４
Ａ」（パナソニック）を用いて解析した。再生出力は後
出の図２に示すａの値とｂの値を加えた値である。ダイ
パルス比は同図２に示すｂの値に対するａの値の比であ
る。
【００５８】高周波ハイレートスパッタ装置ＳＨ−２５
０Ｈ−Ｔ０６（（株）日本真空製）を用いた反応スパッ
タ法により、基体とターゲットとの間の距離を８０ｍｍ
に設定して、１２０℃でガラスディスク基体上に、酸素
流量０．１８ＣＣＭ、酸素分圧０．１５ｍＴｏｒｒ、全
圧９ｍＴｏｒｒのアルゴンと酸素からなる雰囲気中で、
金属（Ｎｉ）ターゲットをスパッタリングして４．０ｎ
ｍ／分の付着速度で、下地層としてＮａＣｌ型ＮｉＯ膜
を０．１μｍの厚みで形成した。このＮｉＯ膜はＸ線回
折スペクトルの測定の結果、（２００）面の回折ピーク
強度と（１１１）面の回折ピーク強度の比が１であっ
た。
０Ｈ−Ｔ０６（（株）日本真空製）を用いた反応スパッ
タ法により、基体とターゲットとの間の距離を８０ｍｍ
に設定して、１２０℃でガラスディスク基体上に、酸素
流量０．１８ＣＣＭ、酸素分圧０．１５ｍＴｏｒｒ、全
圧９ｍＴｏｒｒのアルゴンと酸素からなる雰囲気中で、
金属（Ｎｉ）ターゲットをスパッタリングして４．０ｎ
ｍ／分の付着速度で、下地層としてＮａＣｌ型ＮｉＯ膜
を０．１μｍの厚みで形成した。このＮｉＯ膜はＸ線回
折スペクトルの測定の結果、（２００）面の回折ピーク
強度と（１１１）面の回折ピーク強度の比が１であっ
た。
【００５９】更にこの上に、２５０℃で、酸素流量０．
２７ＣＣＭ、酸素分圧０．２３ｍＴｏｒｒ、全圧９ｍＴ
ｏｒｒのアルゴンと酸素とからなる雰囲気中で、金属合
金（Ｆｅ＋４ｗｔ％Ｃｏ）ターゲットをスパッタリング
して４．０ｎｍ／分の付着速度で、Ｃｏを含有するマグ
ネタイト膜を０．１μｍの厚みで形成した。
２７ＣＣＭ、酸素分圧０．２３ｍＴｏｒｒ、全圧９ｍＴ
ｏｒｒのアルゴンと酸素とからなる雰囲気中で、金属合
金（Ｆｅ＋４ｗｔ％Ｃｏ）ターゲットをスパッタリング
して４．０ｎｍ／分の付着速度で、Ｃｏを含有するマグ
ネタイト膜を０．１μｍの厚みで形成した。
【００６０】得られた２層膜を２７０℃で１時間大気中
で熱処理して、ＮｉＯを下地層とするＣｏ含有マグヘマ
イト膜を得た。このＣｏ含有マグネタイト膜のＸ線回折
スペクトルの測定の結果、面間隔２．５０５Åの（３１
１）面の回折ピークと面間隔２．９３４Åの（２２０）
面の回折ピークは認められたが、（４００）面の回折ピ
ークは認められなかった。このＣｏ含有マグヘマイトの
静磁気特性を測定したところ、保磁力は３４００Ｏｅで
飽和磁化は３００ｅｍｕ／ｃｍ3 であった。
で熱処理して、ＮｉＯを下地層とするＣｏ含有マグヘマ
イト膜を得た。このＣｏ含有マグネタイト膜のＸ線回折
スペクトルの測定の結果、面間隔２．５０５Åの（３１
１）面の回折ピークと面間隔２．９３４Åの（２２０）
面の回折ピークは認められたが、（４００）面の回折ピ
ークは認められなかった。このＣｏ含有マグヘマイトの
静磁気特性を測定したところ、保磁力は３４００Ｏｅで
飽和磁化は３００ｅｍｕ／ｃｍ3 であった。
【００６１】このＣｏ含有マグヘマイトの電磁変換特性
を測定したところ、１００ｋＦＲＰＩの信号を記録して
再生した際のＳｐ−ｐ／Ｎｒｍｓは４９ｄＢ、Ｄ50（記
録密度１ｋＦＲＰＩの信号を記録して再生した時の再生
出力に対して半分の再生出力になる記録密度と定義す
る）は１５０ｋＦＲＰＩであった。
を測定したところ、１００ｋＦＲＰＩの信号を記録して
再生した際のＳｐ−ｐ／Ｎｒｍｓは４９ｄＢ、Ｄ50（記
録密度１ｋＦＲＰＩの信号を記録して再生した時の再生
出力に対して半分の再生出力になる記録密度と定義す
る）は１５０ｋＦＲＰＩであった。
【００６２】また、このＣｏ含有マグヘマイトの１ｋＦ
ＲＰＩの信号記録時の孤立再生波形をオシロスコープで
観察したところ、図１に示すようにダイパルス比０の単
峰形のパルスの形状をしていた。
ＲＰＩの信号記録時の孤立再生波形をオシロスコープで
観察したところ、図１に示すようにダイパルス比０の単
峰形のパルスの形状をしていた。
【００６３】
【作用】先ず、本発明において最も重要な点は、前記本
発明の実施の形態に示した通り、基体上にニッケル酸化
物下地膜を形成するとともに、該ニッケル酸化物下地膜
の上に形成したコバルト含有マグヘマイト薄膜が（３１
１）面における面間隔が２．５１０Å以下、（２２２）
面における面間隔が２．４１５Å以下又は（２２０）面
における面間隔が２．９５０Å以下のいずれかに該当す
る面間隔を有し、且つ、上記（３１１）面、上記（２２
２）面及び上記（２２０）面の各面におけるＸ線回折ス
ペクトルのピーク強度値のいずれかが（４００）面にお
けるＸ線回折スペクトルのピーク強度値に対し０．５を
越える場合には、より高い保磁力とより大きな飽和磁化
とを有しているとともに、ノイズが少なく、高周波領域
における出力が大きく、孤立再生波形の歪みのない磁気
記録媒体を得ることができるという事実である。
発明の実施の形態に示した通り、基体上にニッケル酸化
物下地膜を形成するとともに、該ニッケル酸化物下地膜
の上に形成したコバルト含有マグヘマイト薄膜が（３１
１）面における面間隔が２．５１０Å以下、（２２２）
面における面間隔が２．４１５Å以下又は（２２０）面
における面間隔が２．９５０Å以下のいずれかに該当す
る面間隔を有し、且つ、上記（３１１）面、上記（２２
２）面及び上記（２２０）面の各面におけるＸ線回折ス
ペクトルのピーク強度値のいずれかが（４００）面にお
けるＸ線回折スペクトルのピーク強度値に対し０．５を
越える場合には、より高い保磁力とより大きな飽和磁化
とを有しているとともに、ノイズが少なく、高周波領域
における出力が大きく、孤立再生波形の歪みのない磁気
記録媒体を得ることができるという事実である。
【００６４】このような諸特性を有する磁気記録媒体が
得られる理由について、本発明者は、コバルト含有マグ
ヘマイト薄膜が特定の面間隔を有しているとともに、特
定のピーク強度比を有してはいるが、ニッケル酸化物下
地膜を有していない場合、ニッケル酸化物下地膜を有し
ており、コバルト含有マグヘマイト薄膜が特定の面間隔
を有してはいるが特定のピーク強度比を有していない場
合、ニッケル酸化物下地膜を有しており、コバルト含有
マグヘマイト薄膜が特定のピーク強度比を有してはいる
が特定の面間隔を有していない場合のいずれの場合に
も、本発明の目的とする磁気記録媒体が得られないこと
から、ニッケル酸化物下地膜と特定の面間隔及び特定の
ピーク強度比を有するコバルト含有マグヘマイト薄膜の
相乗効果によるものと考えている。
得られる理由について、本発明者は、コバルト含有マグ
ヘマイト薄膜が特定の面間隔を有しているとともに、特
定のピーク強度比を有してはいるが、ニッケル酸化物下
地膜を有していない場合、ニッケル酸化物下地膜を有し
ており、コバルト含有マグヘマイト薄膜が特定の面間隔
を有してはいるが特定のピーク強度比を有していない場
合、ニッケル酸化物下地膜を有しており、コバルト含有
マグヘマイト薄膜が特定のピーク強度比を有してはいる
が特定の面間隔を有していない場合のいずれの場合に
も、本発明の目的とする磁気記録媒体が得られないこと
から、ニッケル酸化物下地膜と特定の面間隔及び特定の
ピーク強度比を有するコバルト含有マグヘマイト薄膜の
相乗効果によるものと考えている。
【００６５】本発明におけるコバルト含有マグヘマイト
薄膜の面間隔は、コバルト含有マグネタイト薄膜を加熱
してコバルト含有マグヘマイト薄膜にする際の加熱温度
が同じあっても、コバルト含有マグネタイト薄膜の形成
時における酸素流量を変化させることによって、コバル
ト含有マグヘマイト薄膜の（３１１）面、（２２２）面
及び（２２０）面における面間隔が変化するという現象
から、上記加熱処理による基体と酸化ニッケル下地膜や
コバルト含有マグヘマイト薄膜との熱膨張率の差による
ものではなく、コバルト含有マグヘマイト薄膜の面間隔
自体が小さくなっているものと認められる。
薄膜の面間隔は、コバルト含有マグネタイト薄膜を加熱
してコバルト含有マグヘマイト薄膜にする際の加熱温度
が同じあっても、コバルト含有マグネタイト薄膜の形成
時における酸素流量を変化させることによって、コバル
ト含有マグヘマイト薄膜の（３１１）面、（２２２）面
及び（２２０）面における面間隔が変化するという現象
から、上記加熱処理による基体と酸化ニッケル下地膜や
コバルト含有マグヘマイト薄膜との熱膨張率の差による
ものではなく、コバルト含有マグヘマイト薄膜の面間隔
自体が小さくなっているものと認められる。
【００６６】本発明に係る磁気記録媒体の孤立再生波形
が歪まない理由について、本発明者は、コバルト含有マ
グヘマイト薄膜が特定のピーク強度比を有していること
から、コバルト含有マグヘマイト薄膜の磁気容易軸であ
る＜１００＞軸を膜面に対して垂直方向から、該垂直方
向と膜面と平行方向との間に傾けることにより、磁化の
垂直成分が小さくなったためと考えている。
が歪まない理由について、本発明者は、コバルト含有マ
グヘマイト薄膜が特定のピーク強度比を有していること
から、コバルト含有マグヘマイト薄膜の磁気容易軸であ
る＜１００＞軸を膜面に対して垂直方向から、該垂直方
向と膜面と平行方向との間に傾けることにより、磁化の
垂直成分が小さくなったためと考えている。
【００６７】本発明に係る磁気記録媒体のノイズが小さ
い理由について、本発明者は、ニッケル酸化物下地膜の
酸素原子間の距離がコバルト含有マグネタイトやコバル
ト含有マグヘマイトの酸素原子間の距離と近い為、ガラ
スなどの基体上に直接形成した場合に見られる粒径や磁
気特性が乱れた初期層の形成が抑制されたことによるも
のと考えている。
い理由について、本発明者は、ニッケル酸化物下地膜の
酸素原子間の距離がコバルト含有マグネタイトやコバル
ト含有マグヘマイトの酸素原子間の距離と近い為、ガラ
スなどの基体上に直接形成した場合に見られる粒径や磁
気特性が乱れた初期層の形成が抑制されたことによるも
のと考えている。
【００６８】
【実施例】次に、実施例並びに比較例を挙げる。
【００６９】実施例１〜５、参考例１、比較例１〜４ ニッケル酸化物下地膜の有無及び配向、コバルト含有マ
グネタイト薄膜のコバルト量、薄膜形成時の酸素流量及
び成膜速度、加熱処理温度及び時間を種々変化させた以
外は、前記本発明の実施の形態と同様にして磁気記録媒
体を得た。
グネタイト薄膜のコバルト量、薄膜形成時の酸素流量及
び成膜速度、加熱処理温度及び時間を種々変化させた以
外は、前記本発明の実施の形態と同様にして磁気記録媒
体を得た。
【００７０】この時の主要製造条件及び磁気記録媒体の
諸特性を表１及び表２に示す。尚、実施例１、比較例１
及び比較例４における（４００）面におけるピークは認
められなかった。
諸特性を表１及び表２に示す。尚、実施例１、比較例１
及び比較例４における（４００）面におけるピークは認
められなかった。
【００７１】
【表１】
【００７２】
【表２】 比較例５ 高周波ハイレートスパッタ装置ＳＨ−２５０Ｈ−Ｔ０６
（（株）日本真空製）を用いた反応スパッタ法により、
基体とターゲットとの間の距離を８０ｍｍに設定して、
室温でガラスディスク基体上に、酸素流量０．２１ＣＣ
Ｍ、酸素分圧０．１８ｍＴｏｒｒ、全圧９ｍＴｏｒｒの
アルゴンと酸素とからなる雰囲気中で、金属（Ｎｉ）タ
ーゲットをスパッタリングして４．０ｎｍ／分の付着速
度で、下地層としてＮａＣｌ型ＮｉＯ膜を０．１μｍの
厚みで形成した。このＮｉＯ膜はＸ線回折スペクトルの
測定の結果、（２００）面の回折ピークのみが観察され
た。
（（株）日本真空製）を用いた反応スパッタ法により、
基体とターゲットとの間の距離を８０ｍｍに設定して、
室温でガラスディスク基体上に、酸素流量０．２１ＣＣ
Ｍ、酸素分圧０．１８ｍＴｏｒｒ、全圧９ｍＴｏｒｒの
アルゴンと酸素とからなる雰囲気中で、金属（Ｎｉ）タ
ーゲットをスパッタリングして４．０ｎｍ／分の付着速
度で、下地層としてＮａＣｌ型ＮｉＯ膜を０．１μｍの
厚みで形成した。このＮｉＯ膜はＸ線回折スペクトルの
測定の結果、（２００）面の回折ピークのみが観察され
た。
【００７３】更にこの上に、２５０℃で、酸素流量０．
２７ＣＣＭ、酸素分圧０．２３ｍＴｏｒｒ、全圧９ｍＴ
ｏｒｒのアルゴンと酸素とからなる雰囲気中で、金属合
金（Ｆｅ＋４ｗｔ％Ｃｏ）ターゲットをスパッタリング
して４．０ｎｍ／分の付着速度で、Ｃｏを含有するマグ
ネタイト膜を０．１μｍの厚みで形成した。
２７ＣＣＭ、酸素分圧０．２３ｍＴｏｒｒ、全圧９ｍＴ
ｏｒｒのアルゴンと酸素とからなる雰囲気中で、金属合
金（Ｆｅ＋４ｗｔ％Ｃｏ）ターゲットをスパッタリング
して４．０ｎｍ／分の付着速度で、Ｃｏを含有するマグ
ネタイト膜を０．１μｍの厚みで形成した。
【００７４】得られた２層膜を３００℃で１時間大気中
で熱処理して、ＮｉＯを下地層とするＣｏ含有マグヘマ
イト膜を得た。
で熱処理して、ＮｉＯを下地層とするＣｏ含有マグヘマ
イト膜を得た。
【００７５】このＣｏ含有マグヘマイト膜のＸ線回折ス
ペクトルの測定の結果、（４００）面の回折ピークのみ
認められた。このＣｏ含有マグヘマイトの静磁気特性を
測定したところ、保磁力は３３００Ｏｅで飽和磁化は３
４０ｅｍｕ／ｃｍ3 であった。
ペクトルの測定の結果、（４００）面の回折ピークのみ
認められた。このＣｏ含有マグヘマイトの静磁気特性を
測定したところ、保磁力は３３００Ｏｅで飽和磁化は３
４０ｅｍｕ／ｃｍ3 であった。
【００７６】このＣｏ含有マグヘマイトの電磁変換特性
を測定したところ、１００ｋＦＲＰＩの信号を記録して
再生した際のＳｐ−ｐ／Ｎｒｍｓは５１ｄＢ、Ｄ50（記
録密度１ｋＦＲＰＩの信号を記録して再生した時の再生
出力に対して半分の再生出力になる記録密度）は１６３
ｋＦＲＰＩであった。
を測定したところ、１００ｋＦＲＰＩの信号を記録して
再生した際のＳｐ−ｐ／Ｎｒｍｓは５１ｄＢ、Ｄ50（記
録密度１ｋＦＲＰＩの信号を記録して再生した時の再生
出力に対して半分の再生出力になる記録密度）は１６３
ｋＦＲＰＩであった。
【００７７】また、このＣｏ含有マグヘマイトの１ｋＦ
ＲＰＩの信号記録時の孤立再生波形をオシロスコープで
観察したところ、図２に示すようにダイパルス比０．２
のダイパルス形状をしていた。
ＲＰＩの信号記録時の孤立再生波形をオシロスコープで
観察したところ、図２に示すようにダイパルス比０．２
のダイパルス形状をしていた。
【００７８】
【発明の効果】本発明に係る磁気記録媒体は、より高い
保磁力とより大きな飽和磁化とを有しているとともに、
ノイズが少なく、高周波領域における出力が大きく、孤
立再生波形の歪みがないので、リング型の磁気ヘッドを
使用している現行の磁気記録システムに用いる高密度記
録用磁気記録媒体として好適である。
保磁力とより大きな飽和磁化とを有しているとともに、
ノイズが少なく、高周波領域における出力が大きく、孤
立再生波形の歪みがないので、リング型の磁気ヘッドを
使用している現行の磁気記録システムに用いる高密度記
録用磁気記録媒体として好適である。
【００７９】また、本発明に係る磁気記録媒体は、コバ
ルト含有マグネタイト薄膜をコバルト含有マグヘマイト
薄膜に変化させる際の熱処理温度が４５０℃以下である
ので、基体材料の耐熱性が要求されず、現在汎用されて
いるガラス等の使用が可能であり、また、生産性も良い
ので工業的、経済的に有利である。
ルト含有マグネタイト薄膜をコバルト含有マグヘマイト
薄膜に変化させる際の熱処理温度が４５０℃以下である
ので、基体材料の耐熱性が要求されず、現在汎用されて
いるガラス等の使用が可能であり、また、生産性も良い
ので工業的、経済的に有利である。
【図１】 本発明の実施の形態で得られた磁気記録媒体
の１ｋＦＲＰＩの信号記録時の孤立再生波形を示したも
のである。
の１ｋＦＲＰＩの信号記録時の孤立再生波形を示したも
のである。
【図２】 比較例５で得られた磁気記録媒体の１ｋＦＲ
ＰＩの信号記録時の孤立再生波形を示したものである。
ＰＩの信号記録時の孤立再生波形を示したものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中田 健一 広島県大竹市明治新開１番４戸田工業株式 会社大竹工場内
Claims (2)
- 【請求項１】 基体と該基体上に形成されるコバルト含
有マグヘマイト薄膜とからなる磁気記録媒体において、
上記基体と上記コバルト含有マグヘマイト薄膜との間に
ニッケル酸化物下地膜を形成するとともに、上記コバル
ト含有マグヘマイト薄膜が（３１１）面における面間隔
が２．５１０Å以下、（２２２）面における面間隔が
２．４１５Å以下又は（２２０）面における面間隔が
２．９５０Å以下のいずれかに該当する面間隔を有し、
且つ、上記（３１１）面、上記（２２２）面及び上記
（２２０）面の各面におけるＸ線回折スペクトルのピー
ク強度値のいずれかが（４００）面におけるＸ線回折ス
ペクトルのピーク強度値に対し０．５を越えることを特
徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 ニッケル酸化物下地膜の（１１１）面に
おけるＸ線回折スペクトルのピーク強度値が（２００）
面におけるＸ線回折スペクトルのピーク強度値に対し
０．５を越えることを特徴とする請求項１記載の磁気記
録媒体。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9284575A JPH11110732A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 磁気記録媒体 |
| SG1998003820A SG68080A1 (en) | 1997-09-30 | 1998-09-24 | Magnetic recording medium |
| EP98307841A EP0907162B1 (en) | 1997-09-30 | 1998-09-28 | Magnetic recording medium |
| DE69821699T DE69821699D1 (de) | 1997-09-30 | 1998-09-28 | Magnetisches Aufzeichnungsmedium |
| US09/161,988 US6159594A (en) | 1997-09-30 | 1998-09-29 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9284575A JPH11110732A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11110732A true JPH11110732A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17680245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9284575A Ceased JPH11110732A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 磁気記録媒体 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6159594A (ja) |
| EP (1) | EP0907162B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11110732A (ja) |
| DE (1) | DE69821699D1 (ja) |
| SG (1) | SG68080A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6699602B2 (en) | 2001-03-01 | 2004-03-02 | Hitachi Maxell, Ltd. | Amorphous magnetic recording medium, process for producing the same and magnetic recording and reproduction apparatus |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG87798A1 (en) | 1998-03-20 | 2002-04-16 | Toda Kogyo Corp | Magnetic recording medium and process for producing the same |
| SG87797A1 (en) * | 1998-03-20 | 2002-04-16 | Toda Kogyo Corp | Magnetic recording medium and process for producing the same |
| EP1089262A1 (en) * | 1999-10-01 | 2001-04-04 | Toda Kogyo Corporation | Magnetic recording medium and process for producing same |
| SG93289A1 (en) * | 1999-12-27 | 2002-12-17 | Toda Kogyo Corp | Magnetic recording medium and process for producing the same |
| SG103871A1 (en) * | 2001-07-03 | 2004-05-26 | Toda Kogyo Corp | Magnetic recording medium and products for producing the same |
| US7160636B2 (en) * | 2002-09-13 | 2007-01-09 | Nec Tokin Corporation | Ferrite thin film, method of manufacturing the same and electromagnetic noise suppressor using the same |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG42857A1 (en) * | 1991-10-14 | 1997-10-17 | Ibm | A method of servowriting a magnetic disk drive |
| JP2835661B2 (ja) * | 1991-12-19 | 1998-12-14 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| JP2924935B2 (ja) * | 1992-08-26 | 1999-07-26 | 戸田工業株式会社 | 垂直磁化膜、垂直磁化膜用多層膜及び垂直磁化膜の製造法 |
| DE69518179T2 (de) * | 1994-03-16 | 2001-01-18 | Toda Kogyo Corp | Magnetisches Aufzeichnungsmedium sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP9284575A patent/JPH11110732A/ja not_active Ceased
-
1998
- 1998-09-24 SG SG1998003820A patent/SG68080A1/en unknown
- 1998-09-28 DE DE69821699T patent/DE69821699D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-28 EP EP98307841A patent/EP0907162B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-09-29 US US09/161,988 patent/US6159594A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6699602B2 (en) | 2001-03-01 | 2004-03-02 | Hitachi Maxell, Ltd. | Amorphous magnetic recording medium, process for producing the same and magnetic recording and reproduction apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69821699D1 (de) | 2004-03-25 |
| EP0907162B1 (en) | 2004-02-18 |
| EP0907162A1 (en) | 1999-04-07 |
| US6159594A (en) | 2000-12-12 |
| SG68080A1 (en) | 1999-10-19 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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