JPH1110564A - 微細組立て装置 - Google Patents
微細組立て装置Info
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- JPH1110564A JPH1110564A JP16589197A JP16589197A JPH1110564A JP H1110564 A JPH1110564 A JP H1110564A JP 16589197 A JP16589197 A JP 16589197A JP 16589197 A JP16589197 A JP 16589197A JP H1110564 A JPH1110564 A JP H1110564A
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- manipulator
- link manipulator
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- micro
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/54—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only
- B23Q1/545—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only comprising spherical surfaces
- B23Q1/5462—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only comprising spherical surfaces with one supplementary sliding pair
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、微細な加工対象物に対して任意の角
度及び高さから微細作業する。 【解決手段】円弧ガイドレール６の先端部に光学式顕微
鏡の対物鏡筒８を挿入し、かつ円弧ガイドレール６に沿
って摺動アクチュエータ９を介して６自由度のパラレル
リンクマニピュレータ１０を移動自在に設け、このパラ
レルリンクマニピュレータ１０を操縦部１１で操縦す
る。
度及び高さから微細作業する。 【解決手段】円弧ガイドレール６の先端部に光学式顕微
鏡の対物鏡筒８を挿入し、かつ円弧ガイドレール６に沿
って摺動アクチュエータ９を介して６自由度のパラレル
リンクマニピュレータ１０を移動自在に設け、このパラ
レルリンクマニピュレータ１０を操縦部１１で操縦す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばマイクロマ
シン、光通信構成部品、半導体等の微小部品の組立て、
溶接、微細加工等の関連分野及び細胞操作のバイオニク
ス関連において利用するのに適したマイクロマシンの微
細組立て装置に関する。
シン、光通信構成部品、半導体等の微小部品の組立て、
溶接、微細加工等の関連分野及び細胞操作のバイオニク
ス関連において利用するのに適したマイクロマシンの微
細組立て装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、医療、バイオニクス、光通信、半
導体などの関連分野において、マイクロマシン製作技術
が広く研究されている。特に、最後にマイクロマシンを
完成するためには、操縦者の意思の通りに微細部品を組
立て、調整、検査する微細組立技術が不可欠であり、そ
のために微細部品の組立に観察、操作しやすい多自由
度、高精度の微細組立て装置の開発が要求されている。
導体などの関連分野において、マイクロマシン製作技術
が広く研究されている。特に、最後にマイクロマシンを
完成するためには、操縦者の意思の通りに微細部品を組
立て、調整、検査する微細組立技術が不可欠であり、そ
のために微細部品の組立に観察、操作しやすい多自由
度、高精度の微細組立て装置の開発が要求されている。
【０００３】このような新しい機能を可能とする微細組
立て装置に対しては、次のような要求がある。 (a) 微細な加工対象物に対して任意の角度から手や工具
をアプローチすることができ、好きな角度から作業を行
うことができる、すなわち広範囲アプローチ角を持つこ
と。 (b) 微細な加工対象物に対して任意の角度から観察する
ことができる、すなわち広い観察角度を持つこと。 (c) 複数のマニプレータが同時にかつ協調的に作業を行
うこと。 (d) 人間が慣れている姿勢で作業ができることである。
立て装置に対しては、次のような要求がある。 (a) 微細な加工対象物に対して任意の角度から手や工具
をアプローチすることができ、好きな角度から作業を行
うことができる、すなわち広範囲アプローチ角を持つこ
と。 (b) 微細な加工対象物に対して任意の角度から観察する
ことができる、すなわち広い観察角度を持つこと。 (c) 複数のマニプレータが同時にかつ協調的に作業を行
うこと。 (d) 人間が慣れている姿勢で作業ができることである。
【０００４】微細な加工対象物に対する作業では、高精
度、多自由度の位置決めが必要であり、例えば東京大学
先端科学技術センターの佐藤氏らは、走査型電子顕微鏡
の中で微細な並進運動をするものや、水平方向に配置さ
れた光学式顕微鏡の下で２軸の回転、３軸の並進を含ん
だ微細な運動をする微細な加工対象物の加工や組立てを
行う微細組立て装置を開発した（日本機械学会〔No.95-
17〕ロボティクス・メカトロニクス講演会’９５講演論
文集（Ｖol. Ｂ）pp1386−1388、集視マニュプレーショ
ンシステムによる微細作業）。
度、多自由度の位置決めが必要であり、例えば東京大学
先端科学技術センターの佐藤氏らは、走査型電子顕微鏡
の中で微細な並進運動をするものや、水平方向に配置さ
れた光学式顕微鏡の下で２軸の回転、３軸の並進を含ん
だ微細な運動をする微細な加工対象物の加工や組立てを
行う微細組立て装置を開発した（日本機械学会〔No.95-
17〕ロボティクス・メカトロニクス講演会’９５講演論
文集（Ｖol. Ｂ）pp1386−1388、集視マニュプレーショ
ンシステムによる微細作業）。
【０００５】この微細組立て装置では、マイクロ・マニ
ピュレータが固定され、作業台が並進、回転することに
よって作業を行うものとなっている。又、観察系として
は、走査型電子顕微鏡から作業台を望み込み、水平方向
に配置した光学式顕微鏡を用いて加工対象物を横方向か
ら観察する。
ピュレータが固定され、作業台が並進、回転することに
よって作業を行うものとなっている。又、観察系として
は、走査型電子顕微鏡から作業台を望み込み、水平方向
に配置した光学式顕微鏡を用いて加工対象物を横方向か
ら観察する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記装
置では、加工対象物を観察するための走査型電子顕微
鏡、光学式顕微鏡が固定されているため、加工対象物を
３次元空間で任意の角度から観察することができない。
置では、加工対象物を観察するための走査型電子顕微
鏡、光学式顕微鏡が固定されているため、加工対象物を
３次元空間で任意の角度から観察することができない。
【０００７】又、マニピュレータが固定され、作業台が
並進、回転することによって作業を行うので、複数のマ
ニピュレータを同時にかつ協調的に作業させることが不
可能である。
並進、回転することによって作業を行うので、複数のマ
ニピュレータを同時にかつ協調的に作業させることが不
可能である。
【０００８】そこで本発明は、微細な加工対象物に対し
て任意の角度及び高さから作業できる微細組立て装置を
提供することを目的とする。又、本発明は、微細な加工
対象物に対して任意の角度及び高さから観察するととも
に加工対象物に対して任意の角度及び高さから作業でき
る微細組立て装置を提供することを目的とする。
て任意の角度及び高さから作業できる微細組立て装置を
提供することを目的とする。又、本発明は、微細な加工
対象物に対して任意の角度及び高さから観察するととも
に加工対象物に対して任意の角度及び高さから作業でき
る微細組立て装置を提供することを目的とする。
【０００９】又、本発明は、複数のマニピュレータを同
時にかつ協調的に作業させて微細な加工対象物に対して
任意の角度及び高さから作業できる微細組立て装置を提
供することを目的とする。
時にかつ協調的に作業させて微細な加工対象物に対して
任意の角度及び高さから作業できる微細組立て装置を提
供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１によれば、微細
な加工対象物を載置する作業台と、加工対象物を拡大観
察するための光学式顕微鏡と、加工対象物に対して少な
くとも組立ての加工処理を行う多自由度のマニピュレー
タと、このマニピュレータの加工対象物に対するアプロ
ーチの角度及び高さを３次元空間上で移動させるアプロ
ーチ機構と、を備えた微細組立て装置である。
な加工対象物を載置する作業台と、加工対象物を拡大観
察するための光学式顕微鏡と、加工対象物に対して少な
くとも組立ての加工処理を行う多自由度のマニピュレー
タと、このマニピュレータの加工対象物に対するアプロ
ーチの角度及び高さを３次元空間上で移動させるアプロ
ーチ機構と、を備えた微細組立て装置である。
【００１１】請求項２によれば、請求項１記載の微細組
立て装置において、加工対象物を撮像する撮像手段と、
この撮像手段により加工対象物を撮像するときの角度及
び高さを３次元空間上で移動させる撮像アプローチ機構
と、を付加した。
立て装置において、加工対象物を撮像する撮像手段と、
この撮像手段により加工対象物を撮像するときの角度及
び高さを３次元空間上で移動させる撮像アプローチ機構
と、を付加した。
【００１２】請求項３によれば、請求項１記載の微細組
立て装置において、加工対象物に対して少なくとも組立
ての加工処理を行う多自由度の少なくとも１つのマニピ
ュレータと、これらマニピュレータの加工対象物に対す
るアプローチの角度及び高さをそれぞれ３次元空間上で
移動させる少なくとも１つのアプローチ機構と、を付加
した。
立て装置において、加工対象物に対して少なくとも組立
ての加工処理を行う多自由度の少なくとも１つのマニピ
ュレータと、これらマニピュレータの加工対象物に対す
るアプローチの角度及び高さをそれぞれ３次元空間上で
移動させる少なくとも１つのアプローチ機構と、を付加
した。
【００１３】
(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参
照して説明する。図１は微細組立て装置の構成図であ
る。作業台１上には、微細な加工対象物として例えばマ
イクロパーツ２が載置されている。
照して説明する。図１は微細組立て装置の構成図であ
る。作業台１上には、微細な加工対象物として例えばマ
イクロパーツ２が載置されている。
【００１４】この作業台１の下部における中心部には、
作業台昇降用モータ３が連結され、このモータ３の駆動
により作業台１が上下方向（イ）に昇降するものとなっ
ている。
作業台昇降用モータ３が連結され、このモータ３の駆動
により作業台１が上下方向（イ）に昇降するものとなっ
ている。
【００１５】又、作業台１の下部には、作業台１と一体
的に昇降する円弧ガイドレール回転用モータ４が設けら
れ、この回転モータ４にレール回転支持部５が連結され
ている。
的に昇降する円弧ガイドレール回転用モータ４が設けら
れ、この回転モータ４にレール回転支持部５が連結され
ている。
【００１６】このレール回転支持部５は、横方向（水平
方向）に配置され、その先端部５ａには、円弧状に形成
された円弧ガイドレール６が設けられている。この円弧
ガイドレール６は、その円弧曲線に対して垂直方向が作
業台１の略中央部を向くような曲率の円弧に形成され、
その先端部が作業台１の略真上に到達している。
方向）に配置され、その先端部５ａには、円弧状に形成
された円弧ガイドレール６が設けられている。この円弧
ガイドレール６は、その円弧曲線に対して垂直方向が作
業台１の略中央部を向くような曲率の円弧に形成され、
その先端部が作業台１の略真上に到達している。
【００１７】この円弧ガイドレール６の先端部には、摺
動リング７が取り付けられ、この摺動リング７内にマイ
クロパーツ２を拡大観察するための光学式顕微鏡の対物
鏡筒８が挿入されている。なお、摺動リング７は、光学
式顕微鏡の対物鏡筒８の軸を中心に回転させるものとな
っている。
動リング７が取り付けられ、この摺動リング７内にマイ
クロパーツ２を拡大観察するための光学式顕微鏡の対物
鏡筒８が挿入されている。なお、摺動リング７は、光学
式顕微鏡の対物鏡筒８の軸を中心に回転させるものとな
っている。
【００１８】又、円弧ガイドレール６上には、例えばリ
ニア電磁モータ、超音波モータ、静電リニア式モータ等
の摺動アクチュエータ９が摺動自在に設けられ、かつこ
の摺動アクチュエータ９に６自由度のパラレルリンクマ
ニピュレータ１０が取り付けられている。
ニア電磁モータ、超音波モータ、静電リニア式モータ等
の摺動アクチュエータ９が摺動自在に設けられ、かつこ
の摺動アクチュエータ９に６自由度のパラレルリンクマ
ニピュレータ１０が取り付けられている。
【００１９】このパラレルリンクマニピュレータ１０
は、作業台１上のマイクロパーツ２に対してアプローチ
して組立てなどの微細作業を行う機能を備えている。こ
のように円弧ガイドレール６に摺動アクチュエータ９を
介してパラレルリンクマニピュレータ１０が取り付けら
れているので、このパラレルリンクマニピュレータ１０
は、円弧ガイドレール回転用モータ４の回転に応動し、
作業台１の斜め上方から作業台１の中央部を向いた状態
で、作業台１の中心軸を中心として３６０°回転移動す
るものとなっている。
は、作業台１上のマイクロパーツ２に対してアプローチ
して組立てなどの微細作業を行う機能を備えている。こ
のように円弧ガイドレール６に摺動アクチュエータ９を
介してパラレルリンクマニピュレータ１０が取り付けら
れているので、このパラレルリンクマニピュレータ１０
は、円弧ガイドレール回転用モータ４の回転に応動し、
作業台１の斜め上方から作業台１の中央部を向いた状態
で、作業台１の中心軸を中心として３６０°回転移動す
るものとなっている。
【００２０】一方、操縦部１１は、操縦レバー１２に対
する操縦に応じ、作業台昇降用モータ３に制御信号ｓ1
を送出して作業台１を昇降させる第１の機能、円弧ガイ
ドレール回転用モータ４に制御信号ｓ2 を送出して円弧
ガイドレール６を所望の回転角度まで回転させる第２の
機能、摺動アクチュエータ９に制御信号ｓ3 を送出して
パラレルリンクマニピュレータ１０を移動し、光学式顕
微鏡の視野内に入るようにパラレルリンクマニピュレー
タ１０の作業位置及び高さを調整する第３の機能、パラ
レルリンクマニピュレータ１０を操縦する第４の機能を
有している。
する操縦に応じ、作業台昇降用モータ３に制御信号ｓ1
を送出して作業台１を昇降させる第１の機能、円弧ガイ
ドレール回転用モータ４に制御信号ｓ2 を送出して円弧
ガイドレール６を所望の回転角度まで回転させる第２の
機能、摺動アクチュエータ９に制御信号ｓ3 を送出して
パラレルリンクマニピュレータ１０を移動し、光学式顕
微鏡の視野内に入るようにパラレルリンクマニピュレー
タ１０の作業位置及び高さを調整する第３の機能、パラ
レルリンクマニピュレータ１０を操縦する第４の機能を
有している。
【００２１】従って、円弧ガイドレール６、摺動アクチ
ュエータ９及び操縦部１１によりパラレルリンクマニピ
ュレータ１０のマイクロパーツ２に対するアプローチの
角度及び高さを３次元空間上で移動させるアプローチ機
構が構成されている。
ュエータ９及び操縦部１１によりパラレルリンクマニピ
ュレータ１０のマイクロパーツ２に対するアプローチの
角度及び高さを３次元空間上で移動させるアプローチ機
構が構成されている。
【００２２】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。光学式顕微鏡から作業台１上に載置され
ているマイクロパーツ２が明瞭に観察されるように、操
縦者が操縦部１１を操縦すると、この操縦部１１は、作
業台昇降用モータ３に対して制御信号ｓ1 を送出し、こ
の作業台昇降用モータ３を駆動させる。この作業台昇降
用モータ３の駆動により作業台１は昇降し、光学式顕微
鏡の焦点がマイクロパーツ２に合わせられる。
いて説明する。光学式顕微鏡から作業台１上に載置され
ているマイクロパーツ２が明瞭に観察されるように、操
縦者が操縦部１１を操縦すると、この操縦部１１は、作
業台昇降用モータ３に対して制御信号ｓ1 を送出し、こ
の作業台昇降用モータ３を駆動させる。この作業台昇降
用モータ３の駆動により作業台１は昇降し、光学式顕微
鏡の焦点がマイクロパーツ２に合わせられる。
【００２３】次に、６自由度のパラレルリンクマニピュ
レータ１０がマイクロパーツ２に対してアプローチする
ために、操縦者によりマイクロパーツ２に対するアプロ
ーチ角度が決定され、操縦部１１の操縦レバー１２が操
縦されると、この操縦部１１は、円弧ガイドレール回転
用モータ４に対して制御信号ｓ2 を送出し、円弧ガイド
レール６を指定した回転角度に回転させる。
レータ１０がマイクロパーツ２に対してアプローチする
ために、操縦者によりマイクロパーツ２に対するアプロ
ーチ角度が決定され、操縦部１１の操縦レバー１２が操
縦されると、この操縦部１１は、円弧ガイドレール回転
用モータ４に対して制御信号ｓ2 を送出し、円弧ガイド
レール６を指定した回転角度に回転させる。
【００２４】次に、パラレルリンクマニピュレータ１０
が光学式顕微鏡の視野内に入るように操縦者により操縦
部１１が操縦されると、この操縦部１１は、摺動アクチ
ュエータ９に対して制御信号ｓ3 を送出し、この摺動ア
クチュエータ９を駆動してパラレルリンクマニピュレー
タ１０を円弧ガイドレール６上に摺動させ、パラレルリ
ンクマニピュレータ１０の作業位置及び高さを調整す
る。
が光学式顕微鏡の視野内に入るように操縦者により操縦
部１１が操縦されると、この操縦部１１は、摺動アクチ
ュエータ９に対して制御信号ｓ3 を送出し、この摺動ア
クチュエータ９を駆動してパラレルリンクマニピュレー
タ１０を円弧ガイドレール６上に摺動させ、パラレルリ
ンクマニピュレータ１０の作業位置及び高さを調整す
る。
【００２５】このようにしてパラレルリンクマニピュレ
ータ１０のアプローチが完了すると、操縦者により操縦
部１１に対してパラレルリンクマニピュレータ１０の操
縦が行われ、この操縦を受けてパラレルリンクマニピュ
レータ１０は、作業台１上のマイクロパーツ２に対して
アプローチして微細組立て及び加工作業などを行う。
ータ１０のアプローチが完了すると、操縦者により操縦
部１１に対してパラレルリンクマニピュレータ１０の操
縦が行われ、この操縦を受けてパラレルリンクマニピュ
レータ１０は、作業台１上のマイクロパーツ２に対して
アプローチして微細組立て及び加工作業などを行う。
【００２６】この微細組立て及び加工作業の際、操縦者
は、光学式顕微鏡を通してマイクロパーツ２及びパラレ
ルリンクマニピュレータ１０を観察しながら、操縦部１
１を操縦してパラレルリンクマニピュレータ１０の作業
角度及び高さを調整する。
は、光学式顕微鏡を通してマイクロパーツ２及びパラレ
ルリンクマニピュレータ１０を観察しながら、操縦部１
１を操縦してパラレルリンクマニピュレータ１０の作業
角度及び高さを調整する。
【００２７】このように上記第１の実施の形態において
は、円弧ガイドレール６の先端部に光学式顕微鏡の対物
鏡筒８を挿入し、かつ円弧ガイドレール６に沿って摺動
アクチュエータ９を介して６自由度のパラレルリンクマ
ニピュレータ１０を移動自在に設け、これを操縦部１１
で操縦する構成としたので、作業台１上のマイクロパー
ツ２に対してパラレルリンクマニピュレータ１０を３次
元空間で任意の角度及び高さからアプローチすることが
でき、光学式顕微鏡の下で、マイクロパーツ２の微細組
立てや加工作業、マニピュレーション作業が容易にでき
る。
は、円弧ガイドレール６の先端部に光学式顕微鏡の対物
鏡筒８を挿入し、かつ円弧ガイドレール６に沿って摺動
アクチュエータ９を介して６自由度のパラレルリンクマ
ニピュレータ１０を移動自在に設け、これを操縦部１１
で操縦する構成としたので、作業台１上のマイクロパー
ツ２に対してパラレルリンクマニピュレータ１０を３次
元空間で任意の角度及び高さからアプローチすることが
でき、光学式顕微鏡の下で、マイクロパーツ２の微細組
立てや加工作業、マニピュレーション作業が容易にでき
る。
【００２８】なお、上記第１の実施の形態では、６自由
度のパラレルリンクマニピュレータ１０を用いてマイク
ロパーツ２の微細組立てや加工作業などを行っている
が、このパラレルリンクマニピュレータ１０に代えて図
２に示すようにシリアル型マニピュレータ１３を適用し
てもよい。又、光学式顕微鏡に代えて走査型電子顕微鏡
を用いてもよい。 (2) 以下、本発明の第２の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。
度のパラレルリンクマニピュレータ１０を用いてマイク
ロパーツ２の微細組立てや加工作業などを行っている
が、このパラレルリンクマニピュレータ１０に代えて図
２に示すようにシリアル型マニピュレータ１３を適用し
てもよい。又、光学式顕微鏡に代えて走査型電子顕微鏡
を用いてもよい。 (2) 以下、本発明の第２の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。
【００２９】図３は微細組立て装置の構成図である。こ
の微細組立て装置は、上記第１の実施の形態に示す装置
に対し、マイクロパーツ２を撮像する撮像手段としての
マイクロビデオスコープ２０及びこれに取り付けられた
ＣＣＤカメラ２１と、このＣＣＤカメラ２１によりマイ
クロパーツ２を撮像するときの角度及び高さを３次元空
間上で移動させる撮像アプローチ機構とを付加した構成
である。
の微細組立て装置は、上記第１の実施の形態に示す装置
に対し、マイクロパーツ２を撮像する撮像手段としての
マイクロビデオスコープ２０及びこれに取り付けられた
ＣＣＤカメラ２１と、このＣＣＤカメラ２１によりマイ
クロパーツ２を撮像するときの角度及び高さを３次元空
間上で移動させる撮像アプローチ機構とを付加した構成
である。
【００３０】なお、第１の実施の形態の装置と同一部分
を、それぞれ第１の作業台昇降用モータ３、第１の円弧
ガイドレール回転用モータ４、第１のレール回転支持部
５、第１の円弧ガイドレール６、第１の摺動リング７、
第１の摺動アクチュエータ９及び第１の操縦レバー１２
として示してある。
を、それぞれ第１の作業台昇降用モータ３、第１の円弧
ガイドレール回転用モータ４、第１のレール回転支持部
５、第１の円弧ガイドレール６、第１の摺動リング７、
第１の摺動アクチュエータ９及び第１の操縦レバー１２
として示してある。
【００３１】以下、撮像アプローチ機構の構成を説明す
ると、作業台１の下部には、作業台１と一体的に昇降す
る第２の円弧ガイドレール回転用モータ２２が設けら
れ、この回転用モータ２２に第２のレール回転支持部２
３が連結されている。
ると、作業台１の下部には、作業台１と一体的に昇降す
る第２の円弧ガイドレール回転用モータ２２が設けら
れ、この回転用モータ２２に第２のレール回転支持部２
３が連結されている。
【００３２】この第２のレール回転支持部２３は、横方
向（水平方向）に配置され、その先端部２３ａには、円
弧状に形成された第２の円弧ガイドレール２４が設けら
れている。
向（水平方向）に配置され、その先端部２３ａには、円
弧状に形成された第２の円弧ガイドレール２４が設けら
れている。
【００３３】この第２の円弧ガイドレール２４は、その
円弧曲線に対して垂直方向が略作業台１の中央部を向く
ような曲率の円弧に形成され、その先端部が作業台１の
略真上に到達している。
円弧曲線に対して垂直方向が略作業台１の中央部を向く
ような曲率の円弧に形成され、その先端部が作業台１の
略真上に到達している。
【００３４】この第２の円弧ガイドレール２４の先端部
には、第２の摺動リング２５が取り付けられ、この第２
の摺動リング２５内にマイクロパーツ２を拡大観察する
ための上記光学式顕微鏡の対物鏡筒８が挿入されてい
る。
には、第２の摺動リング２５が取り付けられ、この第２
の摺動リング２５内にマイクロパーツ２を拡大観察する
ための上記光学式顕微鏡の対物鏡筒８が挿入されてい
る。
【００３５】又、第２の円弧ガイドレール２４上には、
例えばリニア電磁モータ、超音波モータ、静電リニア式
モータ等の第２の摺動アクチュエータ２６が摺動自在に
設けられ、かつこの摺動アクチュエータ２６に上記マイ
クロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメラ２１が取り付
けられている。
例えばリニア電磁モータ、超音波モータ、静電リニア式
モータ等の第２の摺動アクチュエータ２６が摺動自在に
設けられ、かつこの摺動アクチュエータ２６に上記マイ
クロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメラ２１が取り付
けられている。
【００３６】このＣＣＤカメラ２１から出力される映像
信号ｇは、モニタテレビジョン２７に送られるようにな
っている。一方、操縦部２８は、第１の操縦レバー１２
及び第２の操縦レバー２９を備え、第１の操縦レバー１
２に対する操縦に応じ、作業台昇降用モータ３に制御信
号ｓ1 を送出して作業台１を昇降させる第１の機能、第
１の円弧ガイドレール回転用モータ４に制御信号ｓ2 を
送出して第１の円弧ガイドレール６を所望の回転角度ま
で回転させる第２の機能、第１の摺動アクチュエータ９
に制御信号ｓ3 を送出してパラレルリンクマニピュレー
タ１０を移動し、光学式顕微鏡の視野内に入るようにパ
ラレルリンクマニピュレータ１０の作業位置及び高さを
調整する第３の機能、パラレルリンクマニピュレータ１
０を操縦する第４の機能を有している。
信号ｇは、モニタテレビジョン２７に送られるようにな
っている。一方、操縦部２８は、第１の操縦レバー１２
及び第２の操縦レバー２９を備え、第１の操縦レバー１
２に対する操縦に応じ、作業台昇降用モータ３に制御信
号ｓ1 を送出して作業台１を昇降させる第１の機能、第
１の円弧ガイドレール回転用モータ４に制御信号ｓ2 を
送出して第１の円弧ガイドレール６を所望の回転角度ま
で回転させる第２の機能、第１の摺動アクチュエータ９
に制御信号ｓ3 を送出してパラレルリンクマニピュレー
タ１０を移動し、光学式顕微鏡の視野内に入るようにパ
ラレルリンクマニピュレータ１０の作業位置及び高さを
調整する第３の機能、パラレルリンクマニピュレータ１
０を操縦する第４の機能を有している。
【００３７】又、操縦部２８は、第２の操縦レバー２９
に対する操縦に応じ、第２の円弧ガイドレール回転用モ
ータ２２に制御信号ｓ4 を送出して第２の円弧ガイドレ
ール２４を所望の回転角度まで回転させる第５の機能、
第２の摺動アクチュエータ２６に制御信号ｓ5 を送出し
てマイクロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメラ２１を
移動し、これらマイクロビデオスコープ２０及びＣＣＤ
カメラ２１の撮像位置及び高さを３次元空間で調整する
第６の機能を有している。
に対する操縦に応じ、第２の円弧ガイドレール回転用モ
ータ２２に制御信号ｓ4 を送出して第２の円弧ガイドレ
ール２４を所望の回転角度まで回転させる第５の機能、
第２の摺動アクチュエータ２６に制御信号ｓ5 を送出し
てマイクロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメラ２１を
移動し、これらマイクロビデオスコープ２０及びＣＣＤ
カメラ２１の撮像位置及び高さを３次元空間で調整する
第６の機能を有している。
【００３８】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。パラレルリンクマニピュレータ１０によ
るマイクロパーツ２に対するアプローチ及び作業手順
は、上記第１の実施の形態と同様に行われ、先ず、光学
式顕微鏡からマイクロパーツ２が明瞭に観察されるよう
に、操縦者により操縦部１１の第１の操縦レバー１２が
操縦され、作業台昇降用モータ３の駆動により作業台１
が昇降し、光学式顕微鏡の焦点がマイクロパーツ２に合
わせられる。
いて説明する。パラレルリンクマニピュレータ１０によ
るマイクロパーツ２に対するアプローチ及び作業手順
は、上記第１の実施の形態と同様に行われ、先ず、光学
式顕微鏡からマイクロパーツ２が明瞭に観察されるよう
に、操縦者により操縦部１１の第１の操縦レバー１２が
操縦され、作業台昇降用モータ３の駆動により作業台１
が昇降し、光学式顕微鏡の焦点がマイクロパーツ２に合
わせられる。
【００３９】次に、６自由度のパラレルリンクマニピュ
レータ１０がマイクロパーツ２に対してアプローチする
ために、操縦者により操縦部１１の第１の操縦レバー１
２が操縦され、円弧ガイドレール回転用モータ４の駆動
により円弧ガイドレール６が指定された回転角度に回転
される。
レータ１０がマイクロパーツ２に対してアプローチする
ために、操縦者により操縦部１１の第１の操縦レバー１
２が操縦され、円弧ガイドレール回転用モータ４の駆動
により円弧ガイドレール６が指定された回転角度に回転
される。
【００４０】次に、パラレルリンクマニピュレータ１０
が光学式顕微鏡の視野内に入るように操縦者により操縦
部１１が操縦され、摺動アクチュエータ９の駆動により
パラレルリンクマニピュレータ１０が円弧ガイドレール
６上に摺動し、パラレルリンクマニピュレータ１０の作
業位置及び高さが調整される。
が光学式顕微鏡の視野内に入るように操縦者により操縦
部１１が操縦され、摺動アクチュエータ９の駆動により
パラレルリンクマニピュレータ１０が円弧ガイドレール
６上に摺動し、パラレルリンクマニピュレータ１０の作
業位置及び高さが調整される。
【００４１】このようにしてパラレルリンクマニピュレ
ータ１０のアプローチが完了すると、操縦者により操縦
部１１に対してパラレルリンクマニピュレータ１０の操
縦が行われ、この操縦を受けてパラレルリンクマニピュ
レータ１０は、作業台１上のマイクロパーツ２に対して
アプローチして微細組立て及び加工作業などを行う。
ータ１０のアプローチが完了すると、操縦者により操縦
部１１に対してパラレルリンクマニピュレータ１０の操
縦が行われ、この操縦を受けてパラレルリンクマニピュ
レータ１０は、作業台１上のマイクロパーツ２に対して
アプローチして微細組立て及び加工作業などを行う。
【００４２】次にマイクロビデオスコープ２０の操縦手
順について説明する。上記のようにパラレルリンクマニ
ピュレータ１０のマイクロパーツ２に対するアプロー
チ、微細組立て及び加工作業を行っているとき、操縦者
により観察したい角度が決定され、操縦部２８の第２の
操縦レバー２９が操縦されると、この操縦部２８は、第
２の円弧ガイドレール回転用モータ２２に対して制御信
号ｓ4 を送出し、第２の円弧ガイドレール２４を所望の
回転角度まで回転させる。
順について説明する。上記のようにパラレルリンクマニ
ピュレータ１０のマイクロパーツ２に対するアプロー
チ、微細組立て及び加工作業を行っているとき、操縦者
により観察したい角度が決定され、操縦部２８の第２の
操縦レバー２９が操縦されると、この操縦部２８は、第
２の円弧ガイドレール回転用モータ２２に対して制御信
号ｓ4 を送出し、第２の円弧ガイドレール２４を所望の
回転角度まで回転させる。
【００４３】次に、マイクロビデオスコープ２０及びＣ
ＣＤカメラ２１の撮像視野内に入るように操縦者により
操縦部２８の第２の操縦レバー２９が操縦されると、こ
の操縦部２８は、第２の摺動アクチュエータ２６に対し
て制御信号ｓ5 を送出し、この第２の摺動アクチュエー
タ２６を駆動してマイクロビデオスコープ２０及びＣＣ
Ｄカメラ２１を第２の円弧ガイドレール２４上に摺動さ
せ、これらマイクロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメ
ラ２１の撮像位置及び高さを調整する。
ＣＤカメラ２１の撮像視野内に入るように操縦者により
操縦部２８の第２の操縦レバー２９が操縦されると、こ
の操縦部２８は、第２の摺動アクチュエータ２６に対し
て制御信号ｓ5 を送出し、この第２の摺動アクチュエー
タ２６を駆動してマイクロビデオスコープ２０及びＣＣ
Ｄカメラ２１を第２の円弧ガイドレール２４上に摺動さ
せ、これらマイクロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメ
ラ２１の撮像位置及び高さを調整する。
【００４４】これらマイクロビデオスコープ２０及びＣ
ＣＤカメラ２１は、作業台１上のマイクロパーツ２に対
するパラレルリンクマニピュレータ１０の作業状況を撮
像し、その映像信号ｇを出力する。
ＣＤカメラ２１は、作業台１上のマイクロパーツ２に対
するパラレルリンクマニピュレータ１０の作業状況を撮
像し、その映像信号ｇを出力する。
【００４５】これにより、モニタテレビジョン２７に
は、マイクロパーツ２に対するパラレルリンクマニピュ
レータ１０の作業状況が映し出され、操縦者によって監
視される。
は、マイクロパーツ２に対するパラレルリンクマニピュ
レータ１０の作業状況が映し出され、操縦者によって監
視される。
【００４６】又、操縦部２８の操縦によって第１の円弧
ガイドレール２４上にマイクロビデオスコープ２０及び
ＣＣＤカメラ２１を固定し、第２の円弧ガイドレール回
転用モータ２２に対して制御信号ｓ4 を送出し、第２の
円弧ガイドレール２４を作業台１を中心として回転させ
る。
ガイドレール２４上にマイクロビデオスコープ２０及び
ＣＣＤカメラ２１を固定し、第２の円弧ガイドレール回
転用モータ２２に対して制御信号ｓ4 を送出し、第２の
円弧ガイドレール２４を作業台１を中心として回転させ
る。
【００４７】これにより、マイクロビデオスコープ２０
及びＣＣＤカメラ２１は、作業台１上のマイクロパーツ
２に対する作業状況を固定された高さ位置の方向から３
６０°の角度範囲で撮像し、その画像がモニタテレビジ
ョン２６に映し出される。操縦者は、この作業状況をモ
ニタテレビジョン２６又は肉眼で観察する。
及びＣＣＤカメラ２１は、作業台１上のマイクロパーツ
２に対する作業状況を固定された高さ位置の方向から３
６０°の角度範囲で撮像し、その画像がモニタテレビジ
ョン２６に映し出される。操縦者は、この作業状況をモ
ニタテレビジョン２６又は肉眼で観察する。
【００４８】このように上記第２の実施の形態において
は、上記第１の実施の形態に加えて、第２の円弧ガイド
レール２４に沿って第２の摺動アクチュエータ２６を介
してマイクロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメラ２１
を移動自在に設け、これを操縦部２８で操縦する構成と
したので、上記第１の実施の形態と同様に、作業台１上
のマイクロパーツ２に対してパラレルリンクマニピュレ
ータ１０を３次元空間で任意の角度及び高さからアプロ
ーチすることができ、かつ作業台１上のマイクロパーツ
２に対するパラレルリンクマニピュレータ１０での作業
状況を３次元空間で任意の角度及び高さから観察でき、
光学式顕微鏡の下で、マイクロパーツ２の微細組立てや
加工作業、マニピュレーション作業が容易にできる。
は、上記第１の実施の形態に加えて、第２の円弧ガイド
レール２４に沿って第２の摺動アクチュエータ２６を介
してマイクロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメラ２１
を移動自在に設け、これを操縦部２８で操縦する構成と
したので、上記第１の実施の形態と同様に、作業台１上
のマイクロパーツ２に対してパラレルリンクマニピュレ
ータ１０を３次元空間で任意の角度及び高さからアプロ
ーチすることができ、かつ作業台１上のマイクロパーツ
２に対するパラレルリンクマニピュレータ１０での作業
状況を３次元空間で任意の角度及び高さから観察でき、
光学式顕微鏡の下で、マイクロパーツ２の微細組立てや
加工作業、マニピュレーション作業が容易にできる。
【００４９】なお、上記第２の実施の形態では、マイク
ロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメラ２１を用いて観
察しているが、その他の光学顕微鏡を適用してもよい。
又、６自由度のパラレルリンクマニピュレータ１０を用
いてマイクロパーツ２の微細組立てや加工作業などを行
っているが、このパラレルリンクマニピュレータ１０に
代えて図４に示すようにシリアル型マニピュレータ１３
を適用してもよい。又、光学式顕微鏡に代えて走査型電
子顕微鏡を用いてもよい。 (3) 以下、本発明の第３の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図３と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。
ロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメラ２１を用いて観
察しているが、その他の光学顕微鏡を適用してもよい。
又、６自由度のパラレルリンクマニピュレータ１０を用
いてマイクロパーツ２の微細組立てや加工作業などを行
っているが、このパラレルリンクマニピュレータ１０に
代えて図４に示すようにシリアル型マニピュレータ１３
を適用してもよい。又、光学式顕微鏡に代えて走査型電
子顕微鏡を用いてもよい。 (3) 以下、本発明の第３の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、図３と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。
【００５０】図５は微細組立て装置の構成図である。こ
の微細組立て装置は、上記第２の実施の形態に示す装置
におけるマイクロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメラ
２１に代えて、６自由度の第２のパラレルリンクマニピ
ュレータ３０を設けた構成である。なお、一方のパラレ
ルリンクマニピュレータ１０を第２のパラレルリンクマ
ニピュレータ１０とする。
の微細組立て装置は、上記第２の実施の形態に示す装置
におけるマイクロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメラ
２１に代えて、６自由度の第２のパラレルリンクマニピ
ュレータ３０を設けた構成である。なお、一方のパラレ
ルリンクマニピュレータ１０を第２のパラレルリンクマ
ニピュレータ１０とする。
【００５１】一方、操縦部３１は、上記第２の実施の形
態の操縦部２８の機能に加えて、第２のパラレルリンク
マニピュレータ１０を操縦する機能を有している。次に
上記の如く構成された装置の作用について説明する。
態の操縦部２８の機能に加えて、第２のパラレルリンク
マニピュレータ１０を操縦する機能を有している。次に
上記の如く構成された装置の作用について説明する。
【００５２】先ず、第１又は第２のパラレルリンクマニ
ピュレータ１０、３０の単独のアプローチ及び作業を説
明すると、第１又は第２のパラレルリンクマニピュレー
タ１０、３０によるマイクロパーツ２に対するアプロー
チ及び作業手順は、上記同様に、先ず、光学式顕微鏡か
らマイクロパーツ２が明瞭に観察されるように操縦部３
１が操縦され、作業台昇降用モータ３の駆動により作業
台１が昇降し、光学式顕微鏡の焦点がマイクロパーツ２
に合わせられる。
ピュレータ１０、３０の単独のアプローチ及び作業を説
明すると、第１又は第２のパラレルリンクマニピュレー
タ１０、３０によるマイクロパーツ２に対するアプロー
チ及び作業手順は、上記同様に、先ず、光学式顕微鏡か
らマイクロパーツ２が明瞭に観察されるように操縦部３
１が操縦され、作業台昇降用モータ３の駆動により作業
台１が昇降し、光学式顕微鏡の焦点がマイクロパーツ２
に合わせられる。
【００５３】次に、第１又は第２のパラレルリンクマニ
ピュレータ１０、３０がマイクロパーツ２に対してアプ
ローチするために、操縦部３１が操縦され、第１又は第
２の円弧ガイドレール回転用モータ４、２２の駆動によ
り第１又は第２の円弧ガイドレール６、２４が指定され
た回転角度に回転される。
ピュレータ１０、３０がマイクロパーツ２に対してアプ
ローチするために、操縦部３１が操縦され、第１又は第
２の円弧ガイドレール回転用モータ４、２２の駆動によ
り第１又は第２の円弧ガイドレール６、２４が指定され
た回転角度に回転される。
【００５４】次に、第１又は第２のパラレルリンクマニ
ピュレータ１０、３０が光学式顕微鏡の視野内に入るよ
うに操縦部３１が操縦され、第１又は第２の摺動アクチ
ュエータ９、２６の駆動により第１又は第２のパラレル
リンクマニピュレータ１０、３０がそれぞれ第１又は第
２の円弧ガイドレール６、２４上に摺動し、第１又は第
２のパラレルリンクマニピュレータ１０、３０の作業位
置及び高さが調整される。
ピュレータ１０、３０が光学式顕微鏡の視野内に入るよ
うに操縦部３１が操縦され、第１又は第２の摺動アクチ
ュエータ９、２６の駆動により第１又は第２のパラレル
リンクマニピュレータ１０、３０がそれぞれ第１又は第
２の円弧ガイドレール６、２４上に摺動し、第１又は第
２のパラレルリンクマニピュレータ１０、３０の作業位
置及び高さが調整される。
【００５５】このようにして第１又は第２のパラレルリ
ンクマニピュレータ１０、３０のアプローチが完了する
と、操縦部３１に対する操縦により、第１又は第２のパ
ラレルリンクマニピュレータ１０、３０は、作業台１上
のマイクロパーツ２に対してアプローチして微細組立て
及び加工作業などを行う。
ンクマニピュレータ１０、３０のアプローチが完了する
と、操縦部３１に対する操縦により、第１又は第２のパ
ラレルリンクマニピュレータ１０、３０は、作業台１上
のマイクロパーツ２に対してアプローチして微細組立て
及び加工作業などを行う。
【００５６】次に、第１と第２のパラレルリンクマニピ
ュレータ１０、３０を同時に協調的に動作させる場合の
操縦手順について説明する。例えば、マイクロパーツ２
の大きさが１００μｍ以下になると、静電力、分子間
力、表面張力等の吸着力が支配的になる。
ュレータ１０、３０を同時に協調的に動作させる場合の
操縦手順について説明する。例えば、マイクロパーツ２
の大きさが１００μｍ以下になると、静電力、分子間
力、表面張力等の吸着力が支配的になる。
【００５７】これにより、１つのパラレルリンクマニピ
ュレータ１０又は３０を用いて作業を行う際、作業台１
上に微小な２つのマイクロパーツ２ａ、２ｂが載置さ
れ、このうち例えばマイクロパーツ２ａがマイクロパー
ツ２ｂに接近させるとき、これらマイクロパーツ２ａと
２ｂとの間の吸着力の働きによって、マイクロパーツ２
ａがマイクロパーツ２ｂに吸着され、組み立て等の操縦
作業が難しくなる。
ュレータ１０又は３０を用いて作業を行う際、作業台１
上に微小な２つのマイクロパーツ２ａ、２ｂが載置さ
れ、このうち例えばマイクロパーツ２ａがマイクロパー
ツ２ｂに接近させるとき、これらマイクロパーツ２ａと
２ｂとの間の吸着力の働きによって、マイクロパーツ２
ａがマイクロパーツ２ｂに吸着され、組み立て等の操縦
作業が難しくなる。
【００５８】このような場合、操縦部３１を操縦し、例
えば第２のパラレルリンクマニピュレータ３０で第２の
マイクロパーツ２ｂを押さえながら、第１のパラレルリ
ンクマニピュレータ１０で第１のマイクロパーツ２ａを
操作し、第１と第２のマイクロパーツ２ａ、２ｂの微細
組立て作業を行う。
えば第２のパラレルリンクマニピュレータ３０で第２の
マイクロパーツ２ｂを押さえながら、第１のパラレルリ
ンクマニピュレータ１０で第１のマイクロパーツ２ａを
操作し、第１と第２のマイクロパーツ２ａ、２ｂの微細
組立て作業を行う。
【００５９】このような操縦であれば、３次元空間で自
由に移動できる多自由度の第１のパラレルリンクマニピ
ュレータ１０を主腕とし、作業台１上でマイクロパーツ
２ｂを押さえる３次元空間で自由に移動できる多自由度
の第２のパラレルリンクマニピュレータ３０を副腕とし
て用いるものとなる。
由に移動できる多自由度の第１のパラレルリンクマニピ
ュレータ１０を主腕とし、作業台１上でマイクロパーツ
２ｂを押さえる３次元空間で自由に移動できる多自由度
の第２のパラレルリンクマニピュレータ３０を副腕とし
て用いるものとなる。
【００６０】このように上記第３の実施の形態において
は、３次元空間で自由に移動できる多自由度の第１及び
第２のパラレルリンクマニピュレータ１０、３０を設け
たので、上記第１及び第２の実施の形態と同様に、作業
台１上のマイクロパーツ２に対してパラレルリンクマニ
ピュレータ１０を３次元空間で任意の角度及び高さから
アプローチすることができ、かつ第１及び第２のパラレ
ルリンクマニピュレータ１０、３０を用いて３次元空間
で任意の角度及び高さから、マイクロパーツ２ａ、２ｂ
に対して同時にかつ協調的に作業することができ、光学
式顕微鏡の下で、マイクロパーツ２の微細組立てや加工
作業、マニピュレーション作業が容易にできる。
は、３次元空間で自由に移動できる多自由度の第１及び
第２のパラレルリンクマニピュレータ１０、３０を設け
たので、上記第１及び第２の実施の形態と同様に、作業
台１上のマイクロパーツ２に対してパラレルリンクマニ
ピュレータ１０を３次元空間で任意の角度及び高さから
アプローチすることができ、かつ第１及び第２のパラレ
ルリンクマニピュレータ１０、３０を用いて３次元空間
で任意の角度及び高さから、マイクロパーツ２ａ、２ｂ
に対して同時にかつ協調的に作業することができ、光学
式顕微鏡の下で、マイクロパーツ２の微細組立てや加工
作業、マニピュレーション作業が容易にできる。
【００６１】なお、上記第３の実施の形態では、第１及
び第２のパラレルリンクマニピュレータ１０、３０を用
いているが、これらをシリアル型マニピュレータに変更
してもよいことは言うまでもない。又、光学式顕微鏡に
代えて走査型電子顕微鏡を用いてもよい。
び第２のパラレルリンクマニピュレータ１０、３０を用
いているが、これらをシリアル型マニピュレータに変更
してもよいことは言うまでもない。又、光学式顕微鏡に
代えて走査型電子顕微鏡を用いてもよい。
【００６２】さらに、パラレルリンクマニピュレータ又
はシリアル型マニピュレータ等のマニピュレータは、２
台に限らず、複数台設けて協調的に作業させるようにし
てもよい。又、これらマニピュレータと上記第２の実施
の形態のマイクロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメラ
２１とは、それぞれ複数台づつ設けてもよい。
はシリアル型マニピュレータ等のマニピュレータは、２
台に限らず、複数台設けて協調的に作業させるようにし
てもよい。又、これらマニピュレータと上記第２の実施
の形態のマイクロビデオスコープ２０及びＣＣＤカメラ
２１とは、それぞれ複数台づつ設けてもよい。
【００６３】
【発明の効果】以上詳記したように本発明の請求項１〜
３によれば、微細な加工対象物に対して任意の角度及び
高さから作業できる微細組立て装置を提供できる。又、
本発明の請求項２によれば、微細な加工対象物に対して
任意の角度及び高さから観察できる微細組立て装置を提
供できる。又、本発明の請求項３によれば、複数のマニ
ピュレータを同時にかつ協調的に作業できる微細組立て
装置を提供できる。
３によれば、微細な加工対象物に対して任意の角度及び
高さから作業できる微細組立て装置を提供できる。又、
本発明の請求項２によれば、微細な加工対象物に対して
任意の角度及び高さから観察できる微細組立て装置を提
供できる。又、本発明の請求項３によれば、複数のマニ
ピュレータを同時にかつ協調的に作業できる微細組立て
装置を提供できる。
【図１】本発明に係わる微細組立て装置の第１の実施の
形態を示す構成図。
形態を示す構成図。
【図２】同装置の変形例を示す構成図。
【図３】本発明に係わる微細組立て装置の第２の実施の
形態を示す構成図。
形態を示す構成図。
【図４】同装置の変形例を示す構成図。
【図５】本発明に係わる微細組立て装置の第３の実施の
形態を示す構成図。
形態を示す構成図。
１…作業台、 ２…マイクロパーツ、 ３…作業台昇降用モータ、 ４…円弧ガイドレール回転用モータ、 ５…レール回転支持部、 ６…円弧ガイドレール、 ８…光学式顕微鏡の対物鏡筒、 ９…摺動アクチュエータ、 １０…パラレルリンクマニピュレータ、 １１…操縦部、 １３…シリアル型マニピュレータ、 ２０…マイクロスコープ、 ２１…ＣＣＤカメラ、 ２２…第２の円弧ガイドレール回転用モータ、 ２３…第２のレール回転支持部、 ２４…第２の円弧ガイドレール、 ２６…第２の摺動アクチュエータ、 ２７…モニタテレビジョン、 ２８…操縦部、 ３０…第２のパラレルリンクマニピュレータ。
Claims (3)
- 【請求項１】 微細な加工対象物を載置する作業台と、 前記加工対象物を拡大観察するための光学式顕微鏡と、 前記加工対象物に対して少なくとも組立ての加工処理を
行う多自由度のマニピュレータと、 このマニピュレータの前記加工対象物に対するアプロー
チの角度及び高さを３次元空間上で移動させるアプロー
チ機構と、を具備したことを特徴とする微細組立て装
置。 - 【請求項２】 前記加工対象物を撮像する撮像手段と、 この撮像手段により前記加工対象物を撮像するときの角
度及び高さを３次元空間上で移動させる撮像アプローチ
機構と、を付加したことを特徴とする請求項１記載の微
細組立て装置。 - 【請求項３】 前記加工対象物に対して少なくとも組立
ての加工処理を行う多自由度の少なくとも１つのマニピ
ュレータと、 これらマニピュレータの前記加工対象物に対するアプロ
ーチの角度及び高さをそれぞれ３次元空間上で移動させ
る少なくとも１つのアプローチ機構と、を付加したこと
を特徴とする請求項１記載の微細組立て装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16589197A JPH1110564A (ja) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | 微細組立て装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16589197A JPH1110564A (ja) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | 微細組立て装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1110564A true JPH1110564A (ja) | 1999-01-19 |
Family
ID=15820948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16589197A Withdrawn JPH1110564A (ja) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | 微細組立て装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1110564A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001068314A2 (de) * | 2000-03-15 | 2001-09-20 | Hubert Haller | Bearbeitungszentrum |
| JP2002172597A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-18 | Olympus Optical Co Ltd | 微小構造体組立装置 |
| JP2002306500A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-22 | Mamoru Mitsuishi | 骨切削装置 |
| JP2006205341A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Nisca Corp | マイクロマニュピュレータ |
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