JPH11101756A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH11101756A JPH11101756A JP9263253A JP26325397A JPH11101756A JP H11101756 A JPH11101756 A JP H11101756A JP 9263253 A JP9263253 A JP 9263253A JP 26325397 A JP26325397 A JP 26325397A JP H11101756 A JPH11101756 A JP H11101756A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron microscope
- image
- analysis
- ray analysis
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】従来、複数視野のＸ線分析を行うときは、電子
顕微鏡での観察撮影とＸ線分析を交互に繰り返すため、
Ｘ線検出器や対物可動絞りの出し入れなどの操作が頻繁
で電子顕微鏡の観察効率やＸ線の分析効率を著しく低下
させていた。 【解決手段】試料位置を電子顕微鏡側とテレビカメラシ
ステムの両方で同時に記憶し、任意に選択された試料位
置への移動による位置ずれ分をテレビカメラシステムで
演算し、位置ずれ分の電子ビーム偏向を行い、目的の箇
所にビームスポットをつくって、Ｘ線分析開始の制御を
行う。
顕微鏡での観察撮影とＸ線分析を交互に繰り返すため、
Ｘ線検出器や対物可動絞りの出し入れなどの操作が頻繁
で電子顕微鏡の観察効率やＸ線の分析効率を著しく低下
させていた。 【解決手段】試料位置を電子顕微鏡側とテレビカメラシ
ステムの両方で同時に記憶し、任意に選択された試料位
置への移動による位置ずれ分をテレビカメラシステムで
演算し、位置ずれ分の電子ビーム偏向を行い、目的の箇
所にビームスポットをつくって、Ｘ線分析開始の制御を
行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡の像を
観察スクリーンまたはテレビカメラでモニタリングして
分析箇所を特定し、Ｘ線分析を行うシステムに関するも
のである。
観察スクリーンまたはテレビカメラでモニタリングして
分析箇所を特定し、Ｘ線分析を行うシステムに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来、電子顕微鏡で観察された像の特定
箇所のＸ線分析を行う場合、電子顕微鏡での分析箇所の
観察撮影とＸ線分析装置による元素分析は各々独立して
おり、両者とも、それぞれオペレータの操作指示が必要
であった。したがって、特に、複数の視野のＸ線分析を
行うときは、電子顕微鏡での観察撮影とＸ線分析を交互
に繰り返して行うため、操作が頻雑であるとともに、誤
操作の要因ともなっていた。
箇所のＸ線分析を行う場合、電子顕微鏡での分析箇所の
観察撮影とＸ線分析装置による元素分析は各々独立して
おり、両者とも、それぞれオペレータの操作指示が必要
であった。したがって、特に、複数の視野のＸ線分析を
行うときは、電子顕微鏡での観察撮影とＸ線分析を交互
に繰り返して行うため、操作が頻雑であるとともに、誤
操作の要因ともなっていた。
【０００３】一方、従来の電子顕微鏡の機能を見ると、
連続した視野の写真撮影を自動的に行う機能や複数選択
した試料位置を記憶し、その中から任意の視野を蛍光板
などの観察スクリーンに表示する機能はあったが、いず
れも、写真撮影のみを目的としたものであり、Ｘ線分析
の自動化は全く行われていなかった。したがって、複数
の視野の中から任意の視野を連続して表示する機能はな
く、また、指定された試料位置への移動も、その移動精
度により位置ずれが生じ、特定箇所のＸ線分析を行うこ
とは不可能であった。
連続した視野の写真撮影を自動的に行う機能や複数選択
した試料位置を記憶し、その中から任意の視野を蛍光板
などの観察スクリーンに表示する機能はあったが、いず
れも、写真撮影のみを目的としたものであり、Ｘ線分析
の自動化は全く行われていなかった。したがって、複数
の視野の中から任意の視野を連続して表示する機能はな
く、また、指定された試料位置への移動も、その移動精
度により位置ずれが生じ、特定箇所のＸ線分析を行うこ
とは不可能であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】電子顕微鏡で観察され
た像の特定箇所のＸ線分析を行う場合、１）分析箇所の
選択、２）分析箇所の写真撮影、３）Ｘ線分析モードへ
の切り替え、４）対物可動絞りを抜く、５）Ｘ線検出器
の挿入、６）Ｘ線分析の開始指定、７）分析終了後検出
器を出す、８）観察モードへの切り替え、９)対物可動
絞りの挿入、１０)次の分析箇所の選択、という一連の
操作を全て手動で行っていた。
た像の特定箇所のＸ線分析を行う場合、１）分析箇所の
選択、２）分析箇所の写真撮影、３）Ｘ線分析モードへ
の切り替え、４）対物可動絞りを抜く、５）Ｘ線検出器
の挿入、６）Ｘ線分析の開始指定、７）分析終了後検出
器を出す、８）観察モードへの切り替え、９)対物可動
絞りの挿入、１０)次の分析箇所の選択、という一連の
操作を全て手動で行っていた。
【０００５】したがって、特に分析箇所が複数の場合、
像の観察・撮影とＸ線分析を交互に繰り返すため、Ｘ線
検出器や対物可動絞りの出し入れなど、操作が頻繁で電
子顕微鏡の観察効率やＸ線の分析効率を著しく低下させ
ていた。また、頻雑な手順は誤操作を起こす要因とな
り、特に、対物可動絞りやＸ線検出器の出し入れの誤り
は、試料や検出器の破損につながる重要な問題であっ
た。
像の観察・撮影とＸ線分析を交互に繰り返すため、Ｘ線
検出器や対物可動絞りの出し入れなど、操作が頻繁で電
子顕微鏡の観察効率やＸ線の分析効率を著しく低下させ
ていた。また、頻雑な手順は誤操作を起こす要因とな
り、特に、対物可動絞りやＸ線検出器の出し入れの誤り
は、試料や検出器の破損につながる重要な問題であっ
た。
【０００６】本発明の目的は、複数の視野のＸ線分析を
自動で行い、頻雑な操作をなくして操作性と作業効率を
向上させ、さらに誤操作を防ぐ電子顕微鏡を提供するこ
とにある。
自動で行い、頻雑な操作をなくして操作性と作業効率を
向上させ、さらに誤操作を防ぐ電子顕微鏡を提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的は、選択された
複数の視野に対して、それぞれの試料位置を電子顕微鏡
側とテレビカメラシステムの両方で同時に記憶し、選択
された試料位置への移動を制御するとともに、移動によ
る位置ずれ分をテレビカメラシステムで演算して、位置
ずれ分の電子ビーム偏向を行い、目的の箇所にビームス
ポットを当ててＸ線分析の制御を行うことにより解決で
きる。
複数の視野に対して、それぞれの試料位置を電子顕微鏡
側とテレビカメラシステムの両方で同時に記憶し、選択
された試料位置への移動を制御するとともに、移動によ
る位置ずれ分をテレビカメラシステムで演算して、位置
ずれ分の電子ビーム偏向を行い、目的の箇所にビームス
ポットを当ててＸ線分析の制御を行うことにより解決で
きる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を説明す
る。図１は、Ｘ線分析装置，テレビカメラシステムおよ
び電子顕微鏡の電子線と試料位置を制御するトータルシ
ステムを示したものである。
る。図１は、Ｘ線分析装置，テレビカメラシステムおよ
び電子顕微鏡の電子線と試料位置を制御するトータルシ
ステムを示したものである。
【０００９】まず、１）オペレータはテレビカメラ１お
よびカメラコントロールユニット２で取り込まれた電子
顕微鏡３の像をテレビモニタ４で確認し、Ｘ線分析する
視野を選択する。次に、２）テレビモニタ４の中心に視
野を移動して測定点であることの指示を行う。
よびカメラコントロールユニット２で取り込まれた電子
顕微鏡３の像をテレビモニタ４で確認し、Ｘ線分析する
視野を選択する。次に、２）テレビモニタ４の中心に視
野を移動して測定点であることの指示を行う。
【００１０】そののち、３）カメラコントロールユニッ
ト２は、その視野をデジタル画像として取り込み、画像
の中心点を測定点として、測定点から２５６×２５６ピ
クセルの画像データをマイクロコンピュータ５で記憶
し、画像Ａとする。このとき同時に、４）取り込んだと
きの電子顕微鏡３での試料位置のＸ，Ｙ座標をマイクロ
コンピュータ５で記憶する。
ト２は、その視野をデジタル画像として取り込み、画像
の中心点を測定点として、測定点から２５６×２５６ピ
クセルの画像データをマイクロコンピュータ５で記憶
し、画像Ａとする。このとき同時に、４）取り込んだと
きの電子顕微鏡３での試料位置のＸ，Ｙ座標をマイクロ
コンピュータ５で記憶する。
【００１１】５）上記１）〜４）を繰り返して、複数の
測定点の試料位置をマイクロコンピュータ５で記憶す
る。６）オペレータがＸ線検出器６を挿入したのち、マ
イクロコンピュータ５に記憶させた視野の中から、任意
の一点を選択し、Ｘ線分析開始の指示を行う。
測定点の試料位置をマイクロコンピュータ５で記憶す
る。６）オペレータがＸ線検出器６を挿入したのち、マ
イクロコンピュータ５に記憶させた視野の中から、任意
の一点を選択し、Ｘ線分析開始の指示を行う。
【００１２】７）試料位置コントロールユニット７によ
り、選択された視野の第一点目の測定点の試料位置へ試
料ステージ８を動かす。８）この試料位置の画像をテレ
ビカメラ１およびカメラコントロールユニット２で取り
込み、画像Ｂとする。
り、選択された視野の第一点目の測定点の試料位置へ試
料ステージ８を動かす。８）この試料位置の画像をテレ
ビカメラ１およびカメラコントロールユニット２で取り
込み、画像Ｂとする。
【００１３】９）マイクロコンピュータ５により、この
画像Ｂと視野選択時に取り込んだ画像Ａのマッチングを
行い、画像Ｂの中で画像Ａが一致する場所を特定する。
画像Ｂと視野選択時に取り込んだ画像Ａのマッチングを
行い、画像Ｂの中で画像Ａが一致する場所を特定する。
【００１４】１０）特定した座標に電子線コントロール
ユニット９で電子ビームを偏向させ、ビームスポットを
つくってＸ線分析を開始する。１１）第２点目，第３点
目と記憶した測定点の数だけ上記７）〜１０）を繰り返
す。
ユニット９で電子ビームを偏向させ、ビームスポットを
つくってＸ線分析を開始する。１１）第２点目，第３点
目と記憶した測定点の数だけ上記７）〜１０）を繰り返
す。
【００１５】このようにすることにより、オペレータは
電子顕微鏡での観察・撮影とＸ線分析を交互に繰り返す
ことがなくなり、複数の視野の分析を自動的に連続して
行うことができる。
電子顕微鏡での観察・撮影とＸ線分析を交互に繰り返す
ことがなくなり、複数の視野の分析を自動的に連続して
行うことができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、一度の指示のみで複数
の分析視野に対してのＸ線分析が可能で、電子顕微鏡で
の観察とＸ線分析への頻繁な切り替えがなくなり、絞り
や検出器の出し入れによる誤操作の危険性を大幅に回避
できるとともに、観察効率およびＸ線分析効率を向上さ
せることができる。
の分析視野に対してのＸ線分析が可能で、電子顕微鏡で
の観察とＸ線分析への頻繁な切り替えがなくなり、絞り
や検出器の出し入れによる誤操作の危険性を大幅に回避
できるとともに、観察効率およびＸ線分析効率を向上さ
せることができる。
【図１】本発明の実施例である電子顕微鏡の構成図。
１…テレビカメラ、２…カメラコントロールユニット、
３…電子顕微鏡、４…テレビモニタ、５…マイクロコン
ピュータ、６…Ｘ線検出器、７…試料位置コントロール
ユニット、８…試料ステージ、９…電子線コントロール
ユニット。
３…電子顕微鏡、４…テレビモニタ、５…マイクロコン
ピュータ、６…Ｘ線検出器、７…試料位置コントロール
ユニット、８…試料ステージ、９…電子線コントロール
ユニット。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上野 武夫 茨城県ひたちなか市堀口字長久保832番地 ２ 日立計測エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 田中 弘之 茨城県ひたちなか市大字市毛882番地 株 式会社日立製作所計測器事業部内
Claims (3)
- 【請求項１】電子顕微鏡の像をモニタリングするテレビ
カメラシステムと特定箇所の元素分析を行うＸ線分析装
置を備えた電子顕微鏡システムにおいて、複数の分析点
を電子顕微鏡の試料位置制御部とテレビカメラシステム
の画像記憶機能の両方で記憶し、任意に指定した分析点
への移動と移動の際の位置ずれを自動的に補正すること
により、特定箇所のＸ線分析を可能とすることを特徴と
する電子顕微鏡。 - 【請求項２】特定箇所の元素分析を行うＸ線分析装置を
備えた電子顕微鏡システムにおいて、複数の分析点の中
から任意に指定された順に各分析点へ試料を移動させ、
電子顕微鏡の電子線の位置を制御することにより、特定
箇所のＸ線分析を可能とすることを特徴とする電子顕微
鏡。 - 【請求項３】請求項２において、任意に指定された複数
の分析点へ試料を連続的に移動させながら、Ｘ線分析の
連続的な自動測定を可能とすることを特徴とする電子顕
微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9263253A JPH11101756A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9263253A JPH11101756A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11101756A true JPH11101756A (ja) | 1999-04-13 |
Family
ID=17386909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9263253A Pending JPH11101756A (ja) | 1997-09-29 | 1997-09-29 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11101756A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004191187A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Hitachi Ltd | 欠陥組成分析方法及び装置 |
-
1997
- 1997-09-29 JP JP9263253A patent/JPH11101756A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004191187A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Hitachi Ltd | 欠陥組成分析方法及び装置 |
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