JPH1099846A - 高純度水製造装置 - Google Patents
高純度水製造装置Info
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- JPH1099846A JPH1099846A JP25866496A JP25866496A JPH1099846A JP H1099846 A JPH1099846 A JP H1099846A JP 25866496 A JP25866496 A JP 25866496A JP 25866496 A JP25866496 A JP 25866496A JP H1099846 A JPH1099846 A JP H1099846A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＴＯＣ０．３ｐｐｂ以下の、実質的に有機物
を含有しない高純度水を製造する。 【解決手段】 原料水を加熱して水蒸気を発生させる水
蒸気発生手段２と、発生した水蒸気を加熱して水蒸気中
の微量有機物を熱分解する水蒸気加熱手段３と、この水
蒸気を冷却して凝縮水を得る冷却凝縮手段４、５と、得
られた凝縮水が導入される処理水貯留容器６を備えてな
る高純度水製造装置。 【効果】 水蒸気中の有機物を高温加熱して熱分解する
ため、酸素や酸化触媒を必要としない。このため、酸素
供給物質中の不純物の混入や酸化触媒を通過することに
よる汚染の問題がなく、ＴＯＣ０．３ｐｐｂ以下の高純
度水を得ることができる。
を含有しない高純度水を製造する。 【解決手段】 原料水を加熱して水蒸気を発生させる水
蒸気発生手段２と、発生した水蒸気を加熱して水蒸気中
の微量有機物を熱分解する水蒸気加熱手段３と、この水
蒸気を冷却して凝縮水を得る冷却凝縮手段４、５と、得
られた凝縮水が導入される処理水貯留容器６を備えてな
る高純度水製造装置。 【効果】 水蒸気中の有機物を高温加熱して熱分解する
ため、酸素や酸化触媒を必要としない。このため、酸素
供給物質中の不純物の混入や酸化触媒を通過することに
よる汚染の問題がなく、ＴＯＣ０．３ｐｐｂ以下の高純
度水を得ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は高純度水製造装置に
係り、特に、有機物を実質的に含有しない高純度水を製
造するための装置に関する。
係り、特に、有機物を実質的に含有しない高純度水を製
造するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体製造分野、生化学分野或い
は医薬分野で使用される超純水の純度向上が重要な課題
となっている。
は医薬分野で使用される超純水の純度向上が重要な課題
となっている。
【０００３】超純水の製造に際しては、製造された超純
水の有機物濃度を測定して、これを管理する必要があ
る。この有機物濃度の測定には、一般に、有機物濃度を
有機物中の炭素量で求めるＴＯＣ（全有機炭素）計が用
いられ、このＴＯＣ計についても、より高感度であるこ
とが求められている。
水の有機物濃度を測定して、これを管理する必要があ
る。この有機物濃度の測定には、一般に、有機物濃度を
有機物中の炭素量で求めるＴＯＣ（全有機炭素）計が用
いられ、このＴＯＣ計についても、より高感度であるこ
とが求められている。
【０００４】ところで、ＴＯＣ計による超純水のＴＯＣ
濃度の測定に当っては、零校正液と称される有機物を実
質的に含まない水と有機物濃度既知の水とを用いて、Ｔ
ＯＣ計の校正を行う必要がある。
濃度の測定に当っては、零校正液と称される有機物を実
質的に含まない水と有機物濃度既知の水とを用いて、Ｔ
ＯＣ計の校正を行う必要がある。
【０００５】従来、ＴＯＣ計の校正に使用される零校正
液の製造装置として、蒸留法と高温燃焼法とを組み合せ
たもの、即ち、水蒸気を酸素と共に高温の触媒層中に通
過させることで、水蒸気中の有機物を燃焼させて除去す
る装置が提案されている（特開昭６３−２８７５９０号
公報）。
液の製造装置として、蒸留法と高温燃焼法とを組み合せ
たもの、即ち、水蒸気を酸素と共に高温の触媒層中に通
過させることで、水蒸気中の有機物を燃焼させて除去す
る装置が提案されている（特開昭６３−２８７５９０号
公報）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】特開昭６３−２８７５
９０号公報記載の装置であれば、有機物濃度をＴＯＣ２
ｐｐｂ程度にまで低減することができるが、零校正液と
しての使用目的のためには、より一層のＴＯＣの低減が
必要とされる。特に、ＴＯＣ計にて１ｐｐｂ以下のＴＯ
Ｃを精度良く測定するためには、零校正液としては、少
なくともＴＯＣ１ｐｐｂ以下、好ましくはＴＯＣ０．３
ｐｐｂ以下のものが必要となる。
９０号公報記載の装置であれば、有機物濃度をＴＯＣ２
ｐｐｂ程度にまで低減することができるが、零校正液と
しての使用目的のためには、より一層のＴＯＣの低減が
必要とされる。特に、ＴＯＣ計にて１ｐｐｂ以下のＴＯ
Ｃを精度良く測定するためには、零校正液としては、少
なくともＴＯＣ１ｐｐｂ以下、好ましくはＴＯＣ０．３
ｐｐｂ以下のものが必要となる。
【０００７】しかしながら、従来の蒸留法と高温燃焼法
とを併用した装置では、有機物の燃焼用の酸素ガス又は
過酸化剤に含まれる不純物の混入や、酸化触媒層を通過
することによる汚染が避けられず、このため、有機物を
極低濃度にまで低減することができなかった。
とを併用した装置では、有機物の燃焼用の酸素ガス又は
過酸化剤に含まれる不純物の混入や、酸化触媒層を通過
することによる汚染が避けられず、このため、有機物を
極低濃度にまで低減することができなかった。
【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決し、ＴＯ
Ｃ１ｐｐｂ以下の測定に使用する、ＴＯＣ０．３ｐｐｂ
程度以下の、実質的に有機物を含有しない高純度水を製
造することができる高純度水製造装置を提供することを
目的とする。
Ｃ１ｐｐｂ以下の測定に使用する、ＴＯＣ０．３ｐｐｂ
程度以下の、実質的に有機物を含有しない高純度水を製
造することができる高純度水製造装置を提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の高純度水製造装
置は、原料水を加熱して水蒸気を発生させる水蒸気発生
手段と、該水蒸気発生手段で発生した水蒸気を加熱して
該水蒸気中の微量有機物を熱分解する水蒸気加熱手段
と、該水蒸気加熱手段からの水蒸気を冷却して凝縮水を
得る冷却凝縮手段と、得られた凝縮水が導入される処理
水貯留容器とを備えてなることを特徴とする。
置は、原料水を加熱して水蒸気を発生させる水蒸気発生
手段と、該水蒸気発生手段で発生した水蒸気を加熱して
該水蒸気中の微量有機物を熱分解する水蒸気加熱手段
と、該水蒸気加熱手段からの水蒸気を冷却して凝縮水を
得る冷却凝縮手段と、得られた凝縮水が導入される処理
水貯留容器とを備えてなることを特徴とする。
【００１０】かかる本発明の高純度水製造装置では、水
蒸気中の有機物を高温加熱して熱分解するため、酸素や
酸化触媒を必要としない。従って、酸素供給物質中の不
純物の混入や酸化触媒を通過することによる汚染がな
く、ＴＯＣ０．３ｐｐｂ以下の高純度水を得ることがで
きる。
蒸気中の有機物を高温加熱して熱分解するため、酸素や
酸化触媒を必要としない。従って、酸素供給物質中の不
純物の混入や酸化触媒を通過することによる汚染がな
く、ＴＯＣ０．３ｐｐｂ以下の高純度水を得ることがで
きる。
【００１１】本発明において、水蒸気発生手段、水蒸気
加熱手段及び冷却凝縮手段は、少なくとも水蒸気との接
触面を白金で構成することにより、装置構成部材からの
有機物汚染が防止されるようになり、より一層極低ＴＯ
Ｃ濃度の高純度水を得ることが可能となる。
加熱手段及び冷却凝縮手段は、少なくとも水蒸気との接
触面を白金で構成することにより、装置構成部材からの
有機物汚染が防止されるようになり、より一層極低ＴＯ
Ｃ濃度の高純度水を得ることが可能となる。
【００１２】また、処理水貯留容器に、貯留された処理
水に紫外線（ＵＶ）を照射するＵＶ照射手段を設けるこ
とにより、貯留中においても処理水中の極微量の有機物
を分解してＴＯＣの低減を図ることができる。更に、処
理水貯留容器に空気中の汚染物の混入を防止する汚染防
止手段を設けることにより、貯留中の汚染を防止し、純
度を維持することができる。
水に紫外線（ＵＶ）を照射するＵＶ照射手段を設けるこ
とにより、貯留中においても処理水中の極微量の有機物
を分解してＴＯＣの低減を図ることができる。更に、処
理水貯留容器に空気中の汚染物の混入を防止する汚染防
止手段を設けることにより、貯留中の汚染を防止し、純
度を維持することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。
施の形態を説明する。
【００１４】図１は本発明の高純度水製造装置の実施の
形態を示す模式的な断面図である。１は純水タンクであ
り、水蒸気発生の原料水としての純水が貯留されてい
る。
形態を示す模式的な断面図である。１は純水タンクであ
り、水蒸気発生の原料水としての純水が貯留されてい
る。
【００１５】本発明においては、極低ＴＯＣ濃度の高純
度水を製造することから、原料水としてもＴＯＣの低い
ものが好ましい。原料水としてはＴＯＣ２〜３ｐｐｂの
低ＴＯＣ濃度の純水を用いるのが好ましい。
度水を製造することから、原料水としてもＴＯＣの低い
ものが好ましい。原料水としてはＴＯＣ２〜３ｐｐｂの
低ＴＯＣ濃度の純水を用いるのが好ましい。
【００１６】２は原料水を加熱して水蒸気を発生させる
ための、加熱容器部分が白金製の水蒸気発生器であり、
マントルヒータとカートリッジヒータを装備する。
ための、加熱容器部分が白金製の水蒸気発生器であり、
マントルヒータとカートリッジヒータを装備する。
【００１７】３は水蒸気を高温加熱して有機物を熱分解
させる加熱炉である。この加熱炉３は、白金製の炉本体
に直接通電して炉本体を発熱体とするものであり、これ
により炉内部を９００℃以上、好ましくは１０００℃以
上に保持して水蒸気を加熱し、有機物を熱分解させる。
させる加熱炉である。この加熱炉３は、白金製の炉本体
に直接通電して炉本体を発熱体とするものであり、これ
により炉内部を９００℃以上、好ましくは１０００℃以
上に保持して水蒸気を加熱し、有機物を熱分解させる。
【００１８】４，５は、それぞれ水蒸気を冷却凝縮する
ための空冷フィン付き空冷管、リービーヒ型の水冷ジャ
ケット付き水冷管であり、いずれも白金製とされてい
る。
ための空冷フィン付き空冷管、リービーヒ型の水冷ジャ
ケット付き水冷管であり、いずれも白金製とされてい
る。
【００１９】６は処理水貯留タンクであり、内部にＵＶ
ランプ７が設けられている。また、外気からの汚染防止
のためにトラップ８が設けられている。
ランプ７が設けられている。また、外気からの汚染防止
のためにトラップ８が設けられている。
【００２０】本実施例の装置においては、水蒸気発生器
２の加熱容器、加熱炉３の炉本体、空冷管４及び水冷管
５をいずれも白金製として、加熱された水蒸気が凝縮さ
れるまでの間に、水蒸気は白金とのみ接触するように構
成されている。
２の加熱容器、加熱炉３の炉本体、空冷管４及び水冷管
５をいずれも白金製として、加熱された水蒸気が凝縮さ
れるまでの間に、水蒸気は白金とのみ接触するように構
成されている。
【００２１】なお、水蒸気の加熱から凝縮に到るまでの
間で水蒸気が有機性材料と接触すると、有機性材料から
の汚染が生起するが、水蒸気発生器２、加熱炉３、空冷
管４及び水冷管５の少なくとも水蒸気と接触する面を白
金とすることにより、かかる汚染が防止される。また、
加熱炉３は、炉本体自体を発熱体とした構成が好まし
く、この場合、通電による加熱が可能であり、また１０
００℃以上の耐熱性を有する材料として、白金が好適で
ある。
間で水蒸気が有機性材料と接触すると、有機性材料から
の汚染が生起するが、水蒸気発生器２、加熱炉３、空冷
管４及び水冷管５の少なくとも水蒸気と接触する面を白
金とすることにより、かかる汚染が防止される。また、
加熱炉３は、炉本体自体を発熱体とした構成が好まし
く、この場合、通電による加熱が可能であり、また１０
００℃以上の耐熱性を有する材料として、白金が好適で
ある。
【００２２】この高純度水製造装置により極低ＴＯＣ濃
度の高純度水を製造するには、まず、バルブＶ1 を開け
て純水タンク１内の純水を水蒸気発生器２に入れ、水蒸
気発生器２のヒータに通電してこの純水を加熱して水蒸
気を発生させる。
度の高純度水を製造するには、まず、バルブＶ1 を開け
て純水タンク１内の純水を水蒸気発生器２に入れ、水蒸
気発生器２のヒータに通電してこの純水を加熱して水蒸
気を発生させる。
【００２３】発生した水蒸気を加熱炉３に送給し、水蒸
気を９００℃以上、好ましくは１０００〜１５００℃に
加熱する。
気を９００℃以上、好ましくは１０００〜１５００℃に
加熱する。
【００２４】なお、水蒸気の加熱炉３の滞留時間は、加
熱温度や原料水として用いた純水のＴＯＣ濃度によって
も異なるが、通常の場合、０．１秒〜数秒程度とするの
が好ましい。
熱温度や原料水として用いた純水のＴＯＣ濃度によって
も異なるが、通常の場合、０．１秒〜数秒程度とするの
が好ましい。
【００２５】この水蒸気が９００℃以上に加熱されるこ
とにより、含有される有機物が水（水蒸気）と炭酸ガス
とに熱分解する。
とにより、含有される有機物が水（水蒸気）と炭酸ガス
とに熱分解する。
【００２６】加熱炉３で有機物が分解された水蒸気は、
空冷管４で冷却された後、水冷管５で更に冷却されて凝
縮し、凝縮水（処理水）は処理水貯留タンク６に貯留さ
れる。
空冷管４で冷却された後、水冷管５で更に冷却されて凝
縮し、凝縮水（処理水）は処理水貯留タンク６に貯留さ
れる。
【００２７】この処理水貯留タンク６にはＵＶランプ７
が設けられている。処理水にＵＶ照射することにより、
極微量残留する有機物が分解される。
が設けられている。処理水にＵＶ照射することにより、
極微量残留する有機物が分解される。
【００２８】この処理水貯留タンク６には、有機物の熱
分解で発生した炭酸ガス等のガスを排出するためにトラ
ップ８を設けている。このトラップ８を設けたことによ
り、タンク６内への大気（汚染物質を含んだ空気）の流
入が防止され、貯留中の処理水の水質低下が防止され
た。
分解で発生した炭酸ガス等のガスを排出するためにトラ
ップ８を設けている。このトラップ８を設けたことによ
り、タンク６内への大気（汚染物質を含んだ空気）の流
入が防止され、貯留中の処理水の水質低下が防止され
た。
【００２９】本発明の高純度水製造装置によれば、水蒸
気の高温加熱系内から酸化触媒や酸化剤などの汚染物混
入の要因となるものを完全に排除し、高清浄に維持され
た系内で水蒸気を加熱して有機物を熱分解除去するた
め、極めて低ＴＯＣ濃度の高純度水を得ることができ
る。
気の高温加熱系内から酸化触媒や酸化剤などの汚染物混
入の要因となるものを完全に排除し、高清浄に維持され
た系内で水蒸気を加熱して有機物を熱分解除去するた
め、極めて低ＴＯＣ濃度の高純度水を得ることができ
る。
【００３０】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明をより具体的に
説明する。
説明する。
【００３１】実施例１ 図１に示す高純度水製造装置により高純度水の製造を行
った。
った。
【００３２】原料水としては、通常の純水製造装置（イ
オン交換＋限外濾過膜処理＋ＵＶ照射）で製造されたＴ
ＯＣ２〜３ｐｐｂの純水を用いた。この純水を５０ｍｌ
／ｍｉｎで供給し、水蒸気発生器２で発生した水蒸気
（１１０℃）を１０５０℃の加熱炉３で加熱し、空冷管
４及び水冷管５で冷却して処理水として５℃の凝縮水を
得た。
オン交換＋限外濾過膜処理＋ＵＶ照射）で製造されたＴ
ＯＣ２〜３ｐｐｂの純水を用いた。この純水を５０ｍｌ
／ｍｉｎで供給し、水蒸気発生器２で発生した水蒸気
（１１０℃）を１０５０℃の加熱炉３で加熱し、空冷管
４及び水冷管５で冷却して処理水として５℃の凝縮水を
得た。
【００３３】この処理水のＴＯＣをＴＯＣ計（栗田工業
（株）製高感度型ＴＯＣ計「クリマトック（ＫＵＲＩＭ
ＡＴＯＣ）」（湿式酸化方式））を用いて測定した。
（株）製高感度型ＴＯＣ計「クリマトック（ＫＵＲＩＭ
ＡＴＯＣ）」（湿式酸化方式））を用いて測定した。
【００３４】その結果、ＴＯＣは０．３ｐｐｂ以下と著
しく低いことが確認された。
しく低いことが確認された。
【００３５】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の高純度水製
造装置によれば、ＴＯＣ０．３ｐｐｂ以下という極低有
機物濃度の高純度水を製造することができる。本発明の
高純度水製造装置により製造された高純度水は、実質的
に有機物を含有しない極めて高純度のものであり、零校
正液としてＴＯＣ計を高精度に校正することができる。
造装置によれば、ＴＯＣ０．３ｐｐｂ以下という極低有
機物濃度の高純度水を製造することができる。本発明の
高純度水製造装置により製造された高純度水は、実質的
に有機物を含有しない極めて高純度のものであり、零校
正液としてＴＯＣ計を高精度に校正することができる。
【図１】本発明の高純度水製造装置の実施の形態を示す
模式的な断面図である。
模式的な断面図である。
１ 純水タンク ２ 水蒸気発生器 ３ 加熱炉 ４ 空冷管 ５ 水冷管 ６ 処理水貯留タンク ７ ＵＶランプ ８ トラップ
Claims (3)
- 【請求項１】 原料水を加熱して水蒸気を発生させる水
蒸気発生手段と、該水蒸気発生手段で発生した水蒸気を
加熱して該水蒸気中の微量有機物を熱分解する水蒸気加
熱手段と、該水蒸気加熱手段からの水蒸気を冷却して凝
縮水を得る冷却凝縮手段と、得られた凝縮水が導入され
る処理水貯留容器とを備えてなる高純度水製造装置。 - 【請求項２】 請求項１の装置において、水蒸気発生手
段、水蒸気加熱手段及び冷却凝縮手段は、少なくとも水
蒸気との接触面が白金で構成されていることを特徴とす
る高純度水製造装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２の装置において、処理水
貯留容器は、貯留された処理水に紫外線を照射する紫外
線照射手段と、空気中の汚染物の混入を防止する汚染防
止手段とを備えることを特徴とする高純度水製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25866496A JP3198945B2 (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 高純度水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25866496A JP3198945B2 (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 高純度水製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1099846A true JPH1099846A (ja) | 1998-04-21 |
| JP3198945B2 JP3198945B2 (ja) | 2001-08-13 |
Family
ID=17323393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25866496A Expired - Fee Related JP3198945B2 (ja) | 1996-09-30 | 1996-09-30 | 高純度水製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3198945B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104390474A (zh) * | 2014-11-12 | 2015-03-04 | 耒阳市焱鑫有色金属有限公司 | 鼓风炉水套自然循环热水蒸汽回收水箱 |
| JP2018001061A (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-11 | 合同会社トレスバイオ技研 | 有機物を分解又は炭化する方法及びその方法で使用する装置 |
| CN107673530A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-02-09 | 广州雅津水处理设备有限公司 | 一种针对高纯水的杀菌系统 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101899117B1 (ko) * | 2017-02-15 | 2018-09-14 | 울산과학기술원 | 수중 현장 베타선 모니터링 통합 시스템 및 그 방법 |
-
1996
- 1996-09-30 JP JP25866496A patent/JP3198945B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN104390474A (zh) * | 2014-11-12 | 2015-03-04 | 耒阳市焱鑫有色金属有限公司 | 鼓风炉水套自然循环热水蒸汽回收水箱 |
| JP2018001061A (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-11 | 合同会社トレスバイオ技研 | 有機物を分解又は炭化する方法及びその方法で使用する装置 |
| CN107673530A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-02-09 | 广州雅津水处理设备有限公司 | 一种针对高纯水的杀菌系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3198945B2 (ja) | 2001-08-13 |
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