JPH1096686A - 気体濃度センサ - Google Patents

気体濃度センサ

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JPH1096686A
JPH1096686A JP9083803A JP8380397A JPH1096686A JP H1096686 A JPH1096686 A JP H1096686A JP 9083803 A JP9083803 A JP 9083803A JP 8380397 A JP8380397 A JP 8380397A JP H1096686 A JPH1096686 A JP H1096686A
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gas
concentration sensor
pressure
temperature
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JP9083803A
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English (en)
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James D Seefeldt
ジェームズ・ディー・シーフェルト
Michael F Mattes
マイケル・エフ・マッテス
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SSI Technologies LLC
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    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0062—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the measuring method or the display, e.g. intermittent measurement or digital display
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 閉じた又は一定の体積の容器における気体濃
度を測定すること 【解決手段】 気体濃度センサ（１０）は、容器の内部
に配置された圧力感知デバイス（１２）を含み、この圧
力感知デバイス（１２）は、容器の内部の気体圧力と関
数関係を有する第１の電気信号を発生する。また、気体
濃度センサ（１０）は、圧力感知デバイス（１２）に接
続された電子回路を含み、第１の電気信号を増幅し、任
意の温度における体積内の気体濃度と関数関係を有する
第２の電気信号を生じる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、センサに関し、更
に詳しくは、圧力感知デバイスを用いて気体濃度を測定
する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】これまでにも、種々の半導体材料を感知
素子として用い、異なる気体の濃度を測定することが行
われてきた。例えば、二酸化スズなどのある種の半導体
の電気抵抗値は、ある種の気体の濃度変化に従って変動
する。
【０００３】別のタイプの気体濃度センサでは、気体を
充填した円柱の対を利用する。一方の円柱の中の気体濃
度を他方の円柱の中の気体濃度に対する基準とし、一方
の容器の圧力が他方の容器の圧力よりも下がった場合に
は、スイッチが開閉して、気体濃度の変化を示す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】種々の半導体材料を用
いて直接に気体濃度を測定する際の１つの問題点とし
て、半導体感知素子が、濃度を測定する特定の気体に対
する感知性を有しなければならないことがある。そのよ
うなデバイスを用いることに付随する別の問題点とし
て、非線形性と低い感度とがある。更に、「気体検出及
びモニタ装置」と題する米国特許第４４９８３３０号
（Toshiro Goto）に記載されているように、温度補償の
ために追加的な回路が必要になることが多い。
【０００５】２つの円柱を気体濃度センサとして用いる
ことに関する主な問題点は、デバイスのサイズが比較的
大型であり、典型的には、１立方インチよりも大きいこ
とである。
【０００６】従って、本発明の目的は、閉じた又は一定
の体積の容器における気体濃度を測定することである。
測定は、温度に対する既知の応答を有する圧力感知デバ
イスを、電子回路と共に用いることによって行われる。
この電子回路は、感知デバイスと回路との結果的な組合
せからの出力信号が容器における気体濃度と関数関係を
有し、気体濃度センサが温度変動に対して補償されるよ
うに選択された温度応答を有する。
【０００７】１つの実施例では、圧力感知デバイスは、
ホイートストン・ブリッジ構成に配列された圧電抵抗素
子を含み、この圧電抵抗素子と電子回路とは、１つの半
導体チップ上に集積されている。電子回路は、ゲイン回
路とコンパレータ回路とを含む。ゲイン及びコンパレー
タ回路における指定された抵抗の温度応答は、製造プロ
セスの間の種々のドーパントの注入レベルを変動させる
ことによって、選択される。その結果として、この気体
濃度センサは、容器内の気体の温度変動とは無関係に、
容器内の気体濃度変化を正確に検出できる。
【０００８】本発明の実際的な効果は、温度補償された
気体濃度センサを提供することである。本発明の他の効
果には、小型で、信頼性が高く、製造が容易で、低コス
トである気体濃度センサを提供することが含まれる。更
に、種々の電子回路がこの圧力感知デバイスと共に用い
られるので、異なる電子制御ユニットへの接続のため
の、種々の信号出力が可能である。
【０００９】本発明のこれ以外の特徴及び効果は、以下
の実施例の説明と冒頭の特許請求の範囲とに記載されて
いる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施例を詳細に説明する
前に、本発明は、以下の実施例の説明や図面に図解され
る構成要素の構成及び配列の詳細に、その応用におい
て、限定されないことを理解すべきである。本発明は、
別の実施例も含み得るし、種々の態様で実現又は実行が
可能である。また、ここで用いる用語や専門用語は、単
に説明目的のものであり、限定を意図しないことを理解
すべきである。
【００１１】図１には、気体濃度センサ１０が図解され
ている。気体濃度センサ１０は、圧力感知デバイス１２
と、ゲイン回路１４と、コンパレータ回路１６とを含
む。
【００１２】気体濃度センサ１０は、好ましくは、囲ま
れた一定体積の容器に接続され、又は、その内部に取り
付けられており、容器の中の気体の圧力を直接に測定で
きるようになっている。例えば、センサ１０は、図３に
図解されているように、エアバッグ膨張キャニスタ（ca
nister）１７と共に用いられて、キャニスタ内部の気体
濃度が必要な際にエアバッグを適切に膨張させるのに十
分であることが保証される。キャニスタ１７は、この技
術分野で広く知られているように、開始装置（イニシエ
ータ）１９を含む乗員エアバッグ膨張装置の一部であ
る。
【００１３】図１を参照すると、圧力感知デバイス１２
は、ハーフブリッジ抵抗ネットワークや、フルブリッジ
抵抗ネットワークや、又は、デバイスに加えられた圧力
と共に変動するインピーダンスを有するシリコン又はポ
リシリコンから成る任意の他の組合せであり得る抵抗ブ
リッジ・ネットワークである。圧力感知デバイスは、変
動する電圧を抵抗の両端の間に生じさせその電圧を周囲
の圧力変化に応答して変動させるネットワークにおける
１つの抵抗でもよい。
【００１４】図１に示されるように、圧力感知デバイス
１２は、標準的なハーフ・アクティブなホイートストン
・ブリッジ構成に配列された４つの抵抗ＲREF1、
ＲREF2、ＲA1、及びＲA2を含む。抵抗ＲA1及びＲA2は、
ポリシリコン・ダイフラムの上にそれぞれ形成された圧
電抵抗素子であり、このダイアフラム上にかかる圧力
が、ダイアフラムの移動と、抵抗ＲA1及びＲA2の抵抗値
のそれに対応する変化とを引き起こす。好ましくは、抵
抗ＲA1及びＲA2の抵抗値は、ダイアフラム上に加わる圧
力の増加と共に線形に増加する。抵抗ＲREF1及びＲREF2
は、圧力に対しては不活性であり（アクティブではな
く）、すなわち、ＲREF1及びＲREF2の抵抗値は、圧力の
変化によっては変化しない。任意の適切な半導体圧力感
知デバイスを用いることができるが、好適実施例の圧力
感知デバイスは、米国特許第４７４４８６３号、第４８
５３６６９号、及び第４９９６０８２号に記載されてい
る。これらの米国特許は、この出願で援用する。
【００１５】ホイートストン・ブリッジは、抵抗ＲA1と
抵抗ＲREF1との間に接続された定電圧源ＶCCによって、
励起される。ここで、共通の又はグランド基準が、抵抗
ＲRE F2と抵抗ＲA2との間に接続されている。圧力感知デ
バイス１２は、また、ブリッジ・ノード２０及び２２に
おいて、それぞれ電圧ＶBR1及びＶBR2を含み、圧力感知
デバイスが露出している圧力を示す差動電圧出力を送信
する。
【００１６】ゲイン回路１４は、抵抗ＲIN、ＲF、及び
ＲOFFSETに加えて、演算増幅器Ａ１及びＡ２を含む。ブ
リッジ・ノード２２は、演算増幅器Ａ１の正の（非反
転）入力端子に接続される。演算増幅器Ａ１は、出力ノ
ード２４において、電圧ＶAを有し、電圧フォロワ・モ
ードに接続され、電圧ＶAはＡ１の正の入力端子におい
てＶBR2に従うようになっている。出力ノード２４は、
Ａ２の負の（反転）入力端子に、抵抗ＲINを介して接続
される。ブリッジ・ノード２０は、演算増幅器Ａ２の正
の（非反転）入力端子に接続される。
【００１７】演算増幅器Ａ２は、差動モードに接続さ
れ、電圧ＶBR1と電圧ＶBR2との間の電圧差を増幅する。
抵抗ＲFは、演算増幅器Ａ２の負の（反転）入力端子と
演算増幅器Ａ２の出力ノード２８との間に接続される。
抵抗ＲOFFSETは、電圧源ＶCCと演算増幅器Ａ２の負の入
力端子との間に接続される。次の数式１は、差動増幅器
Ａ２の出力ノード２８における電圧ＶGを表す。
【数１】 ＶG＝（ＲF／ＲIN）ｘ（ＶBR1−ＶBR2）＋（ＲF／ＲOFFSET）ｘ（ＶBR1−ＶCC） ＋ＶBR1 （数式１）
【００１８】出力ノード２８は、コンパレータ回路１６
に接続される。コンパレータ回路１６は、演算増幅器Ａ
３と抵抗Ｒ1及びＲ2を含む。特に、ノード２８は、演算
増幅器Ａ３の正の（非反転）入力端子に接続される。演
算増幅器Ａ３の負の（反転）入力端子は、抵抗Ｒ2を介
して電圧源ＶCCに接続され、また、抵抗Ｒ1を介してグ
ランドに接続され、ノード３０に次の数式２で表される
基準電圧ＶREFを生じる。
【数２】 ＶREF＝［Ｒ1／（Ｒ1＋Ｒ2）］ｘＶCC （数式２） 演算増幅器Ａ３の出力ノード３２における電圧VOUTは、
電圧ＶGが電圧ＶREFよりも大きいときには論理１に等し
く、電圧ＶGが電圧ＶREFよりも小さいときには論理０に
等しい。
【００１９】好適実施例においては、抵抗ＲIN、Ｒ
OFFSET、ＲF、Ｒ1、及びＲ2は、圧力感知デバイス１２
と同じサブストレートの上にポリシリコンの薄膜から形
成されるので、演算増幅器Ａ１、Ａ２、及びＡ３は、圧
力感知デバイス１２と同じ周囲温度に露出される。これ
らの抵抗の抵抗値は、温度の揺らぎに応答して変動す
る。温度の揺らぎに応答してこれらの抵抗の抵抗値が変
動する程度は、抵抗を形成している材料の温度係数に直
接関係する。例えば、ポリシリコンの抵抗は、この技術
分野で広く知られているように、ホウ素、リン、ヒ素、
又はアンチモンなどの選択された濃度の不純物を用い
て、ドープすることができる。選択された抵抗に対する
ドーパントのタイプと量とは、ゲイン回路１４とコンパ
レータ回路１６とに対して所定の温度応答を確立するよ
うに選択される。これについては、以下で、更に詳細に
説明する。
【００２０】一般的な動作においては、気体濃度センサ
１０は、閉じた体積の容器の中に配置され、容器の中の
気体の圧力が圧力感知デバイス１２によって感知され、
すべての要素が同時に同じ周囲温度に露出される。気体
濃度センサ１０は、圧力感知デバイス１２を用いて、気
体の圧力を感知する。従って、実際に感知される物理的
性質は圧力であるが、ゲイン回路１４とコンパレータ回
路１６との温度応答は、センサの出力ＶOUTは、気体の
濃度を示す電気信号である。
【００２１】既に述べたように、センサ１０は、エアバ
ッグ膨張キャニスタと共に用いることができ、キャニス
タ内部の気体濃度が必要な際にエアバッグを適切に膨張
させるのに十分であることを保証する。センサＶOUTの
出力は、キャニスタが十分な量の気体を含むことを示す
のに用いられる論理１か、又は、キャニスタ内の気体の
量がエアバッグを適切に膨張させるには不十分であるこ
とを示すのに用いられる論理０か、のどちらかである。
【００２２】容器の内部の気体温度の変化の結果として
生じる絶対気体圧力の変化を補償するために、ゲイン回
路の温度応答（ＴＲＧ）とコンパレータ回路の温度応答
（ＴＲＣ）は、ブリッジ感度の温度応答（ＴＲＢＳ）及
び気体圧力の温度応答（ＴＲＧＰ）と組み合わせられた
ときに電圧ＶOUTが気体濃度を示す信号となるように、
選択される。従って、ＶOUTは、気体濃度が一定に維持
されるならば、温度が変動したとしても、論理１に維持
される。更に、電圧ＶOUTは、気体濃度が所定の濃度よ
り下まで低下したときには、論理０に切り換わる。
【００２３】温度応答のために摂氏当たりのパーツ・パ
ー・ミリオン（ｐｐｍ／℃）の単位を用いることによっ
て、電圧ＶOUTは、次の数式３がほぼ成立すれば、気体
濃度の測度（measure）となり得る。
【数３】 ＴＲＧＰ＋ＴＲＢＳ＋ＴＲＧ＋ＴＲＣ＝０ （数式３）
【００２４】気体圧力の温度応答（ＴＲＧＰ）を計算す
るためには、次の数式４に示す理想気体の状態方程式を
用いる必要がある。ただし、Ｐは気体圧力、Ｖは体積、
ｎは気体のモル数、Ｒは普遍気体定数、Ｋは絶対温度
（ケルビン）である。
【数４】ＰＶ＝ｎＲＴ （数式４）
【００２５】閉じた体積のシステムでは、Ｖ、ｎ、Ｒは
一定であるから、数式４に従うと、次の数式５が得られ
る。
【数５】Ｐ＝ｋＴ （数式５） この数式で、ｋは、特定の圧力及び温度に対する気体圧
力の温度応答を表す比例定数である。単純な言葉で表現
すれば、気体濃度が一定に保たれれば、温度が上昇する
につれて、気体圧力も上昇し、温度が低下すれば、気体
圧力も線形に低下する。Ｔ＝２５℃において、Ｐ＝２０
００ＰＳＩである場合には、ＴＲＧＰは、約３３５０ｐ
ｐｍ／℃と計算される。
【００２６】ブリッジ感度の温度応答（ＴＲＢＳ）は、
圧力感知デバイスの特定の圧電抵抗の特性であり、経験
的に決定することができる。単純な言葉で表現すれば、
ブリッジ出力電圧の圧力に対する感度（例えば、ボルト
／ｐｓｉ）は、温度が上昇すると低下する。好適実施例
では、ブリッジ感度の温度応答は、約−１５００ｐｐｍ
／℃である。
【００２７】数式３を用いると、ゲイン回路とコンパレ
ータ回路とから要求される温度応答は、およそ、−（３
３５０−１５００）＝−１８５０ｐｐｍ／℃である。ゲ
イン回路の温度応答を計算するためには、抵抗ＲIN、Ｒ
F、及びＲOFFSETの温度応答を次の数式６のように数量
化する必要がある。ただし、ＲIN0は基準温度（２５
℃）でのＲINの抵抗値、∝INはＲINの温度係数、Ｔは動
作温度、Ｔ0は基準温度（２５℃）である。
【数６】 ＲIN（Ｔ）＝ＲIN0［１＋∝IN（Ｔ−Ｔ0）］ （数式６）
【００２８】同様にして、次の数式７及び数式８が得ら
れる。
【数７】 ＲF（Ｔ）＝ＲF0［１＋∝F（Ｔ−Ｔ0）］ （数式７）
【数８】 ＲOFFSET（Ｔ）＝ＲOFFSET［１＋∝OFFSET（Ｔ−Ｔ0）］ （数式８）
【００２９】好適実施例では、与えられた基準温度で
は、ＲOFFSETの抵抗値は、フィードバック抵抗ＲFの抵
抗値と実質的に等しく、それぞれのためのポリシリコン
は、同じ注入濃度を用いてドープされ、それによって、
ＲOFFSETの温度係数は、ＲFの温度係数と実質的に等し
い（∝F＝∝OFFSET）。
【００３０】数式１に温度に依存する値であるＲF、Ｒ
OFFSET、及びＲINを代入すると、結果的に、ゲイン回路
の温度応答のための次の数式９が得られる。
【数９】 （数式９）
【００３１】数式９の最後の２つの項は、温度に依存し
ない。従って、ゲイン回路の温度応答は、抵抗ＲF及び
ＲINの温度係数∝F及び∝INの関数である。温度係数∝F
及び∝INは、ｐｐｍ／℃で表現することができ、その値
は、ＲF及びＲINを形成するのに用いられる特定の材料
の関数である。既に述べたように、抵抗ＲF及びＲINを
構成する材料は、温度変動に応答して差動ゲインを変動
させるように正確に選択することができ、それによっ
て、与えられた入力に対して、温度変動に応答して既知
の態様で変動する又は温度変動に応答して実質的に一定
である出力を生じる。
【００３２】抵抗ＲIN、ＲF、及びＲOFFSETを、気体濃
度センサが温度の上昇を経験すると入力抵抗ＲINの抵抗
値は低下し、フィーバック抵抗ＲF及びオフセット抵抗
ＲOFF SETの抵抗値は上昇するように注入することによっ
て、ゲイン回路は、負の温度応答を有する。例えば、約
２．２ｘ１０15ｃｍ-2でリンを用いてＲINをドープし、
約１．８ｘ１０16ｃｍ-2でリンを用いてＲF及びＲ
OFFSETをドープする結果として、約−１５００ｐｐｍ／
℃のＴＲＧが得られる。ホウ素、ヒ素、又はアンチモン
などの他のドーパントも、要求される温度応答に依存し
て適切であり、これらのドーパントを、アプリケーショ
ンに応じて、種々の濃度で用いることができる。
【００３３】数式３によると、コンパレータ回路に対し
て要求される温度応答は、約−３５０ｐｐｍ／℃であ
る。抵抗Ｒ1及びＲ2は、次の数式１０及び数式１１のよ
うに表すことができる。
【数１０】 Ｒ1（Ｔ）＝Ｒ10［１＋∝1（Ｔ−Ｔ0）］ （数式１０）
【数１１】 Ｒ2（Ｔ）＝Ｒ20［１＋∝2（Ｔ−Ｔ0）］ （数式１１）
【００３４】数式１０及び数式１１を数式２に代入する
と、次の数式１２を得る。
【数１２】 （数式１２）
【００３５】数式１２の最後の式は、∝1及び∝2に関し
て解くことができる。次に、適切なドーピング・レベル
を、Ｒ1及びＲ2に対して選択して、コンパレータ回路に
対して要求される温度応答を達成することができる。
【００３６】気体濃度センサのための構成要素の選択に
関する説明を次に行う。与えられた圧力と基準温度に対
して、例えば、２５℃における２０００ｐｓｉに対し
て、圧力感知デバイス１２は、そのレンジの中間のどこ
かで動作するはずである。この理由は、（気体濃度は一
定に保たれると仮定すると）温度が上昇すると気体圧力
は上昇し、温度が低下する、気体圧力は低下し、圧力感
知デバイス１２は、動作の要求される温度レンジを超え
て圧力を変化させる有用な出力を有していなければなら
ない。
【００３７】与えられた圧力と基準温度とに対しては、
電圧ＶGは、回路１４のゲインに応じて、特定の値を有
する。ＲF、ＲIN、及びＲOFFSETのための基準温度抵抗
値の選択は、この技術分野で広く知られている。ノード
３０における電圧ＶREFは、コンパレータＡ３の出力は
それより下では論理０に切り換わる気体濃度設定点を示
すように設定される。この電圧の選択は、所望の公差
（トレランス）に依存する。
【００３８】図２は、気体濃度センサの第２の実施例で
ある。この気体濃度センサは、圧力感知デバイス１２、
第１のゲイン回路１４、及び第２のゲイン回路１８を含
む。図２の圧力感知デバイス１２は、図１に関して上述
したものと同じであり、同じ参照番号及び文字が、同一
の又は対応する要素を指定している。
【００３９】図２の第１のゲイン回路は、図１に関して
既に説明したゲイン回路と同じである。しかし、図２の
圧力感知デバイス１２のブリッジ・ノード３４及び３６
は、それぞれ、電圧ＶBR1及びＶBR2を有しており、ノー
ド２０及び２２が図１のゲイン回路に接続されている態
様とは逆になっている。次の数式１３は、図２の差動増
幅器Ａ２のノード３８における電圧ＶGを表している。
【数１３】 ＶG＝（ＲF／ＲIN）ｘ（ＶBR2−ＶBR1）＋（ＲF／ＲOFFSET）ｘ（ＶBR2−ＶCC） ＋ＶBR2 （数式１３）
【００４０】第２のゲイン回路１８は、演算増幅器Ａ３
と抵抗Ｒ1、Ｒ2、ＲIN2、及びＲF2とを含む。特に、第
１のゲイン回路のノード３８は、抵抗ＲIN2を介して演
算増幅器Ａ３の負の入力端子に接続される。演算増幅器
Ａ３の出力ノード４２は、抵抗ＲF2を介して、その負の
入力端子に接続される。演算増幅器Ａ３の正の入力端子
は、抵抗Ｒ2を介して電圧源ＶCCに接続され、また、抵
抗Ｒ1を介してグランドに接続され、ノード４０におい
て、基準電圧ＶREFを生じる。次の数式１４において、
このＶREFが与えられている。
【数１４】 ＶREF＝［Ｒ1／（Ｒ1＋Ｒ2）］ｘＶCC （数式１４）
【００４１】抵抗Ｒ1及びＲ2が同じ濃度のドーパントを
用いてドープされる場合には、電圧ＶREFは、温度変化
とは無関係に、（気体濃度は一定であると仮定する）実
質的に一定に保たれる。
【００４２】ノード４２での演算増幅器Ａ３の出力にお
ける電圧は、次の数式１５によって定義される。
【数１５】 ＶOUT＝（ＲF2／ＲIN2）（ＶREF−ＶG）＋ＶREF （数式１５）
【００４３】出力電圧ＶOUTが図１の回路によって発生
する出力と異なるのは、ＶOUTが、容器の中の気体濃度
のリアルタイムでの指示を与える。図２のセンサは、図
１のセンサと同様の態様で動作する。図２の第１のゲイ
ン回路の温度応答は、図１のゲイン回路のものと同じで
ある。図２の第２のゲイン回路のために所望の温度応答
は、−３５０ｐｐｍ／℃である。数式１５から、ＶOUT
の温度応答は、ＲF2及びＲIN2とに依存する。抵抗ＲF2
及びＲIN2とは、次の数式１６及び１７のように表され
る。
【数１６】 ＲF2（Ｔ）＝ＲF20［１＋∝F2（Ｔ−Ｔ0）］ （数式１６）
【数１７】 ＲIN2（Ｔ）＝ＲIN20［１＋∝IN2（Ｔ−Ｔ0）］ （数式１７） 数式１６及び１７は、数式１５の中に代入され、数式
（１５）は、∝F2及び∝RI N2に関して解かれる。数式１
３は、∝2及び∝1に関して、解かれる。所望の温度応答
を達成する適切なドーピング・レベルが、次に、抵抗Ｒ
F2及びＲIN2のために選択される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１つの実施例である気体濃度センサの
回路図である。
【図２】本発明の第２の実施例である気体濃度センサの
回路図である。
【図３】気体濃度センサが用いられるエアバッグ膨張キ
ャニスタの図である。
フロントページの続き (71)出願人 595108147 3200 Ｐａｌｍｅｒ Ｄｒｉｖｅ，Ｊａｎ ｅｓｖｉｌｌｅ，Ｗｉｓｃｏｎｓｉｎ 53546，Ｕｎｉｔｅｄ Ｓｔａｔｅｓ ｏ ｆ Ａｍｅｒｉｃａ (72)発明者 マイケル・エフ・マッテス アメリカ合衆国ウィスコンシン州53545, ジェーンズヴィル，ハーヴァード・ドライ ヴ 2702

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 一定の体積を有し、与えられた温度で既
    知の圧力を有する気体を内部に含む閉じた容器において
    用いられる気体濃度センサであって、 前記容器の内部に配置され、前記容器の内部の前記気体
    の圧力と関数関係を有する第１の電気信号を発生する圧
    力感知デバイスと、 前記圧力感知デバイスに接続されており、前記第１の電
    気信号を増幅し、任意の温度における前記体積の内部の
    前記気体の濃度と関数関係を有する第２の電気信号を生
    じる電子回路と、 を備えることを特徴とする気体濃度センサ。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の気体濃度センサにおい
    て、前記圧力感知デバイスは、ホイートストン・ブリッ
    ジ構成に配列された圧電抵抗を含むことを特徴とする気
    体濃度センサ。
  3. 【請求項３】 請求項２記載の気体濃度センサにおい
    て、前記ホイートストン・ブリッジは、一体の電圧源に
    よって励起されることを特徴とする気体濃度センサ。
  4. 【請求項４】 請求項１記載の気体濃度センサにおい
    て、前記電子回路は、ゲイン回路とコンパレータ回路と
    を含むことを特徴とする気体濃度センサ。
  5. 【請求項５】 請求項４記載の気体濃度センサにおい
    て、前記ゲイン回路は、第１及び第２の演算増幅器を含
    むことを特徴とする気体濃度センサ。
  6. 【請求項６】 請求項１記載の気体濃度センサにおい
    て、前記電子回路は、演算増幅器と前記演算増幅器のゲ
    インを決定する複数の抵抗とを含むことを特徴とする気
    体濃度センサ。
  7. 【請求項７】 請求項６記載の気体濃度センサにおい
    て、前記抵抗の中の少なくとも１つは、前記演算増幅器
    のゲインが温度の変動と伴い所定の態様で変動するよう
    に変動するインピーダンスを有することを特徴とする気
    体濃度センサ。
  8. 【請求項８】 請求項１記載の気体濃度センサにおい
    て、前記電子回路に接続されており任意の温度での前記
    容器の内部の前記気体の濃度変化を示す出力を発生する
    コンパレータ回路を更に備えることを特徴とする気体濃
    度センサ。
  9. 【請求項９】 請求項６記載の気体濃度センサにおい
    て、前記抵抗の１つは約１．８ｘ１０16ｃｍ-2でリンを
    ドープされたフィードバック抵抗であり、前記抵抗の別
    の１つは約２．２ｘ１０15ｃｍ-2でリンをドープされた
    入力抵抗であって、それによって、前記増幅器のゲイン
    が温度変動と反比例関係で変動することを特徴とする気
    体濃度センサ。
  10. 【請求項１０】 一定の体積を有し気体を内部に含む閉
    じた容器において用いられる気体濃度センサであって、
    前記気体は与えられた温度で既知の圧力を有し、前記気
    体の圧力は既知の温度応答を有する、気体濃度センサに
    おいて、 前記容器の内部に配置され、前記容器の内部の前記気体
    の圧力と関数関係を有し更に既知の圧力感度温度応答を
    有する第１の電気信号を発生する圧力感知デバイスと、 前記圧力感知デバイスに接続されており、前記第１の電
    気信号を増幅し第２の電気信号を生じる電子回路であっ
    て、前記気体圧力温度応答と前記圧力感度温度応答と組
    み合わされると前記第２の電気信号は前記体積の内部の
    前記気体の濃度と関数関係を有するように選択された既
    知の温度応答を有する、電子回路と、 を備えることを特徴とする気体濃度センサ。
  11. 【請求項１１】 請求項１０記載の気体濃度センサにお
    いて、前記圧力感知デバイスは、ホイートストン・ブリ
    ッジ構成に配列された圧電抵抗を含むことを特徴とする
    気体濃度センサ。
  12. 【請求項１２】 請求項１１記載の気体濃度センサにお
    いて、前記ホイートストン・ブリッジは、一体の電圧源
    によって励起されることを特徴とする気体濃度センサ。
  13. 【請求項１３】 請求項１１記載の気体濃度センサにお
    いて、前記電子回路は、ゲイン回路とコンパレータ回路
    とを含むことを特徴とする気体濃度センサ。
  14. 【請求項１４】 請求項１３記載の気体濃度センサにお
    いて、前記ゲイン回路は、第１及び第２の演算増幅器を
    含むことを特徴とする気体濃度センサ。
  15. 【請求項１５】 請求項１０記載の気体濃度センサにお
    いて、前記電子回路に接続されており任意の温度での前
    記容器の内部の前記気体の濃度変化を示す出力を発生す
    るコンパレータ回路を更に備えることを特徴とする気体
    濃度センサ。
  16. 【請求項１６】 請求項１０記載の気体濃度センサにお
    いて、前記電子回路は、演算増幅器と前記演算増幅器の
    ゲインを決定する複数の抵抗とを含み、前記抵抗の１つ
    は約１．８ｘ１０16ｃｍ-2でリンをドープされたフィー
    ドバック抵抗であり、前記抵抗の別の１つは約２．２ｘ
    １０15ｃｍ-2でリンをドープされた入力抵抗であって、
    それによって、前記増幅器のゲインが温度変動と反比例
    関係で変動することを特徴とする気体濃度センサ。
  17. 【請求項１７】 一定の体積を有し、与えられた温度で
    既知の圧力を有する気体を内部に有する閉じた容器の中
    の気体濃度を測定する方法であって、 前記容器において圧力感知デバイスを提供するステップ
    と、 前記圧力感知デバイスから、前記容器の内部の前記気体
    の圧力と関数関係を有する第１の電気信号を発生するス
    テップと、 前記第１の電気信号を増幅し、任意の温度における前記
    体積の内部の前記気体の濃度と関数関係を有する第２の
    電気信号を生じるステップと、 を含むことを特徴とする方法。
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