JPH1096677A - リークテスタおよびリークテスト方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 鋳造や射出成形れたワーク本体部の不良と、
そのワークに取り付けられたシール部材等の取り付け部
品の不良の両方の異常を検出することができるととも
に、リークテスト以外の検査工程も含めた検査装置全体
を小さくし、検査時間を短縮できるリークテスタおよび
リークテスト方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 圧力供給源２０からワークＷに対してパ
ルス状に加圧または減圧した後、連続的にワークＷ内を
あらかじめ定められた圧力まで加圧または減圧する。そ
して、あらかじめ定められた圧力となったワークＷ内を
圧力センサ２６で測定することによって、ワークＷの密
封性の良否を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、鋳物製品等の鋳巣
および亀裂等の鋳造時の不良やシール部品等の取付不良
を検出するリークテスタおよびリークテスト方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ワークに亀裂や穴などが生じて
いないかどうかを検査するために、リークテストが行わ
れている。従来のリークテストには、例えば特公平４─
１９４３１号に開示されている技術がある。即ち、この
ようなリークテスト方法は、ワークの内部を加圧または
減圧し、ワーク内を所望のテスト圧にした後、ワーク内
を閉鎖し、その後のワーク内の圧力変動を圧力計で測定
するものであり、圧力変動が良好なワークの場合と異な
る場合には、ワークに亀裂や穴などの不良箇所があるも
のとして異常と判定するものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記したリークテスト
方法では、付属部品が取り付けられていない容器や、鋳
造部品本体等の１部品からなるワークの場合は、そのワ
ークの不良を良好に検出することが可能である。しか
し、幾つかの部品を組み付けたワークの不良を良好に検
出することは困難であった。例えば、ポンプのようなワ
ークの場合、鋳造部品であるワーク本体内に、ポンプの
主たる機能を実現するための幾つかの部品の他に、ポン
プ内の油漏れを防止するためのシール部材を組み付けて
構成されている。このようなワークの場合、ワーク本体
の鋳造時の不良の他に、シール部材に不良が生じていな
いかの２種類の異常を検出する必要がある。上記従来技
術ではこのようなシール部材の異常を検出することが困
難であった。

【０００４】また、ワークがポンプ等の場合は、リーク
テストの他に種々の検査が行われ、製品としての良否が
判定される。このような種々の検査の精度を高めること
は当然であるが、一方で検査に使用される装置の小型化
と検査時間の短縮が望まれている。本発明はこのような
問題を解決するためになされたものであり、鋳造や射出
成形れたワーク本体部の不良と、そのワークに取り付け
られたシール部材等の取り付け部品の不良の両方の異常
を検出することができるとともに、リークテスト以外の
検査工程も含めた検査装置全体を小さくし、検査時間を
短縮できるリークテスタおよびリークテスト方法を提供
することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は上記問題を解決
するためになされたもので、請求項１に記載のものは、
圧力供給源によってワーク内部を加圧または減圧し、前
記ワーク内部の圧力を圧力センサにより検出することに
よって、前記ワークの密封性の良否を判断するリークテ
スタにおいて、前記圧力供給源によって前記ワーク内部
をパルス状に加圧または減圧するパルス圧力供給制御手
段と、前記圧力供給源によって前記ワーク内部を連続的
に加圧または減圧する定圧力供給制御手段と、前記ワー
ク内部があらかじめ設定された圧力まで加圧または減圧
された後、前記ワーク内部の圧力を前記圧力センサによ
って測定する測定手段と、この測定手段の測定結果に基
づいて前記ワークの良否の判定を行う判定手段とを備え
たことを特徴とするものである。

【０００６】請求項２に記載のものは、圧力供給源によ
ってワーク内部を加圧または減圧し、前記ワーク内部の
圧力を圧力センサにより検出することによって、前記ワ
ークの密封性の良否を判断するリークテスト方法におい
て、前記圧力供給源によって前記ワーク内部をパルス状
に加圧または減圧した後、前記ワーク内部を連続的に加
圧または減圧し、前記ワーク内部があらかじめ設定され
た設定圧力まで加圧または減圧された後、前記ワーク内
部の圧力を前記圧力センサによって測定して、この測定
結果に基づいて前記ワークの良否を判定するサイクルを
２回繰り返し、２回目のサイクルの前記設定圧力は、１
回目のサイクルの前記設定圧力よりも高圧であることを
特徴とするものである。

【０００７】請求項３に記載のものは、第１，第２の少
なくとも２つのポートを有するワークの前記第１ポート
に加圧用切換弁を介して接続される圧力供給源と、前記
ワークの前記第２ポートに排気用切換弁を介して接続さ
れる排出部と、前記ワークの前記加圧用切換弁と前記第
１ポートとの間に設けられ、前記ワーク内の圧力を測定
する圧力センサと、前記加圧用切換弁、前記排気用切換
弁および前記圧力センサを制御する制御装置とを備えた
リークテスタであって、前記制御装置は、前記加圧用切
換弁および前記排気用切換弁を開状態とし、前記圧力供
給源からの圧力によって前記ワーク内に残留する液体を
前記排出部に排出する液体抜き手段と、前記加圧用切換
弁を開状態とし、前記排気用切換弁を閉状態として前記
圧力供給源からの圧力によって前記ワーク内を加圧する
加圧手段と、この加圧手段によって前記ワーク内をあら
かじめ設定された圧力とした後、前記加圧用切換弁を閉
状態とする圧力平衡手段と、この圧力平衡手段によって
密閉された前記ワーク内の圧力を前記圧力センサによっ
て測定する測定手段と、この測定手段の計測結果に基づ
いて前記ワークの良否の判定を行う判定手段とを備えた
ものである。

【０００８】（作用）請求項１に記載のものは、圧力供
給源によってワークをパルス状に加圧または減圧した
後、連続的にワーク内をあらかじめ定められた圧力まで
加圧または減圧する。そして、あらかじめ定められた圧
力となったワーク内を圧力センサで測定することによっ
て、ワークの密封性の良否を判定する。

【０００９】請求項２に記載のものは、低圧で行われた
の１回目のサイクルの後、高圧で２回目のサイクルを行
う。これによって、一回目のサイクルでは主にワーク内
のシール部材に関する検査を行い、２回目のサイクルで
は主にワーク本体に関する検査を行う。請求項３に記載
のものは、加圧用切換弁および排気用切換弁を開状態と
し、圧力供給源からのワーク内に圧力を供給することに
よって、ワーク内に残留する液体を排出部に排出する。
この後、加圧用切換弁を開状態とし、排気用切換弁を閉
状態として圧力供給源からの圧力によってワーク内を加
圧する。これによって、ワーク内をあらかじめ設定され
た圧力とした後、加圧用切換弁を閉状態とし、密閉され
たワーク内の圧力を圧力センサによって測定する。この
測定結果に基づいてワークの良否を判定する。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下本発明のリークテスタの第１
の実施の形態を図１に基づいて説明する。本実施の形態
のワークＷは、油圧ポンプであり、このワークＷのリー
クテストは、組み付けが完了した油圧ポンプに実際に油
圧を供給し、ポンプが正常に機能するかを検査した後に
行われるものである。従って、本実施の形態のリークテ
スタは、前工程でワークＷ内に残った油を抜く油抜き工
程と、リークテストを同じ装置で連続的に行うことがで
きるようにしたものである。

【００１１】図１において、加圧空気源２０とワークＷ
は耐油ホースからなる配管ライン２１により接続されて
いる。加圧空気供給源２０は、加圧空気タンクであり、
常時加圧空気を供給できるようになっている。ワークＷ
は、鋳造製品である本体Ｗａ内部に油漏れ等を防止する
ためのシール部材Ｗｂが組み付けられた状態となってい
る。ワークＷと配管ライン２１とは、後述する主配管２
１ｃとポンプの吐出ポートＷｐ１側とがカップラ３２を
介して接続され、後述する排出配管２１ｄとポンプの吸
入ポートＷｐ２側とがカップラ３３を介して接続されて
いる。

【００１２】配管ライン２１の上流側端部には、加圧空
気源２０が取り付けられており、配管ライン２１は、こ
の加圧空気源２０と連結された後、２つの分岐配管２１
ａ，２１ｂに分岐し、再び主配管２１ｃに統合され、カ
ップラ３２を介してワークＷに接続されるようになって
いる。また、ワークＷ内に封入された加圧空気は、カッ
プラ３３より排出配管２１ｄを介して排出されるように
なっている。

【００１３】分岐配管２１ａには、加圧空気源２０から
の加圧空気を低圧としての第１の設定圧に減圧する低圧
用レギュレータ２２が取り付けられ、低圧用レギュレー
タ２２と主配管２１ｃとの間には、第１加圧用電磁弁２
４が設けられている。この第１加圧用電磁弁２４は、コ
ントローラ４０からの制御信号によりＯＮ，ＯＦＦされ
るものであり、ＯＮ，ＯＦＦを周期的に行うことにより
パルス状に加圧空気を供給する方式と、ＯＮ状態を維持
することにより定常的に加圧空気を供給する方式とを選
択的に行うことができるようになっている。

【００１４】同様に、分岐配管２１ｂには、加圧空気源
２０からの加圧空気を第１の設定圧より高圧である第２
の設定圧に減圧する高圧用レギュレータ２３が取り付け
られ、高圧用レギュレータ２３と主配管２１ｃとの間に
は、第２加圧用電磁弁２５が設けられている。この第２
加圧用電磁弁２５は、第１加圧用電磁弁２４と同様にパ
ルス状に加圧空気を供給する方式と、定常的に加圧空気
を供給する方式とを選択的に行うことができるようにな
っている。

【００１５】主配管２１ｃには、ワークＷ内の圧力を検
知する圧力センサ２６が配置されている。また、この圧
力センサ２６と対向する位置には、圧力スイッチ３１が
取り付けられている。圧力スイッチ３１の作動圧力は、
ワークＷ内を加圧すべき上記第１の設定圧力よりも低い
圧力に設定されている。従って、この圧力スイッチ３１
が作動しない場合は、システムを作動させても圧力が上
昇しないことを示しており、ワークＷの気密性に大きな
不具合が生じているか、ワークＷと配管ライン２１とを
接続するカップラ３２，３３が正しく取り付けられてい
ないことを示すものである。なお、この圧力スイッチ３
１は、このように作業性の確実性を高めることが目的で
あるため、必須要件ではない。

【００１６】排気配管２１ｄには、排気用電磁弁２９が
設けられており、この排気用電磁弁２９が作動すること
によって、ワークＷに供給した加圧空気を大気に開放す
るようになっている。なお、前述したように本実施の形
態では、ワークＷの油抜き工程を兼用しているため、排
気配管２１ｄの末端は、排出油を溜めるタンク３４（排
出部）に接続されている。

【００１７】上記した第１、第２加圧用電磁弁２４，２
５、排気用電磁弁２９および圧力スイッチ３１は、コン
トローラ４０に接続されており、コントローラ４０は、
シーケンス制御等のこれらの電気的な制御を行うように
なっている。また、圧力センサ２６は、センサコントロ
ーラ３０に接続されている。センサコントローラ３０
は、圧力センサ２６の出力結果に基づいて、ワークＷの
良否を判定するものであり、表示画面３０ａにその検出
結果を表示できるようになっている。コントローラ４０
とセンサコントローラ３０とは圧力センサ２６による測
定開始信号等を授受できるように接続されている。

【００１８】次に作用を説明する。本実施の形態におけ
るワークＷの検査は、まずワークＷ内の油抜きを行い、
続いてリークテストを行う。図２は油抜き工程の概要を
示したフローチャートである。ワークＷの検査を実施す
る前の初期状態では、全ての電磁弁２４，２５，２９は
非作動状態となっている。この状態で作業者は、カップ
ラ３２，３３によってワークＷと配管ライン２１とを接
続する。

【００１９】ステップ１００では、排気用電磁弁２９を
作動させ、ワークＷ内に残留する油をタンク３４に放出
できるようにする。そして、ステップ１０２で第２加圧
用電磁弁２５を作動させ、分岐配管２１ｂ側から加圧空
気を供給できる状態とする。ステップ１０４では、第２
加圧用電磁弁２５がＯＮの状態を一定時間維持し、常時
加圧空気をワークＷに供給する。これによって、ワーク
Ｗ内に残留する油は、タンク３４に放出される。

【００２０】一定時間の加圧空気の供給を終えると、ス
テップ１０６にて、第２加圧用電磁弁２５をＯＦＦとし
て、加圧空気の供給を遮断した後、ステップ１０８で排
気用電磁弁２９をＯＦＦとし、初期状態に戻る。この
後、リークテストに移行する（ステップ１１０）。リー
クテストは、低圧によって主にシール部材Ｗｂの密封性
の良否を判定する第１サイクルと、高圧によって主に本
体Ｗａの密封性の良否、即ち鋳造時に生じた鋳巣やひび
等を判定する第２サイクルよりなっている。各サイクル
は、パルス加圧工程、定加圧工程、平衡工程、判定工
程、排気工程からなっている。リークテストが開始され
る時は、上記した初期状態となっている。

【００２１】図３は本実施の形態の概要を示した図であ
り、図４は、第１サイクルを示したフローチャートであ
る。ステップ２００では、第１加圧用電磁弁２４を所定
の回数断続的にＯＮ，ＯＦＦさせ、加圧空気源２０から
パルス状に加圧空気を供給する（パルス加圧工程）。こ
の時、低圧用レギュレータ２２によって、ワークＷには
低圧としての第１の設定圧の加圧空気がパルス状に供給
される。このパルス状の加圧によって、ワークＷに取り
付けられたシール部材Ｗｂは、断続的に押圧され、押し
広げられる。このためシール部材Ｗｂの取り付けが不十
分である場合や、シール部材Ｗｂ自体に不良がある場合
は、空気の漏れがより増加し、不具合が検出し易くな
る。また、シール部材Ｗｂに切粉等の異物が挟まってい
る場合は、これらを取り除く作用もある。

【００２２】そして、このようなパルス状の加圧を一定
時間実行した後、ステップ２０２に移行して、第１加圧
用電磁弁２４をＯＮの状態に維持し、加圧空気源２０か
ら一定に加圧空気を供給する（定加圧工程）。一定の時
間、加圧空気を供給するとワークＷ内は第１の設定圧ま
で加圧される（ステップ２０４）。この後、ステップ２
０６にて第１加圧用電磁弁２４を閉じ、ワークＷ内を密
閉する（平衡工程）。そして、ステップ２０８で圧力セ
ンサ２６がリセットされ、この時の圧力を基準として後
述するステップ２１２で圧力の低下量が測定される。こ
のようにワークＷ内を密閉し、ステップ２１０にてあら
かじめ定められた時間だけ平衡状態が維持された後、ス
テップ２１２にて圧力の検出が行われる（判定工程）。
もし、ワークＷの密閉性に問題がある場合は、ステップ
２１０の平衡時間において加圧空気が許容量以上に漏れ
ることになり、許容値以上に圧力が低下することにな
る。従って、この時の圧力センサ２６の値が所定の許容
範囲にない場合はワークＷに不具合が生じていることに
なる。

【００２３】ステップ２１４において、圧力センサ２６
の値が所定の許容範囲にあり、検査結果が良好ならば
（ＹＥＳ）、ステップ２１６に移行し、検査に合格した
旨をセンサコントローラ３０の表示画面３０ａに表示す
る。そして、ステップ２１８にて排気用電磁弁２９を作
動させ、ワークＷ内の加圧空気を開放する（排出工
程）。一定時間加圧空気の開放が行われた後、排気用電
磁弁２９を閉じ、ステップ２２０に移行し、第２サイク
ルへと進む。

【００２４】一方、ステップ２１４において、圧力セン
サ２６の値が所定の許容範囲から外れ、検査結果が不良
ならば（ＮＯ）、ステップ２２２に移行し、検査に不合
格した旨をセンサコントローラ３０の表示画面３０ａに
表示する。そして、ステップ２１８と同様に、ステップ
２２４にてワークＷ内の加圧空気を開放し（排出工
程）、第１サイクルのみで検査を終了する（ステップ２
２６）。

【００２５】このように第１サイクルで既に検査結果に
異常が生じた場合は、シール部材Ｗｂに問題が発生して
いる可能性が高く、作業者はこの点を中心にワークＷの
再チェックを行うことができる。図５のフローチャート
は、第２サイクルを示したものである。第１サイクルと
第２サイクルは設定された圧力が異なるだけで基本的に
は同じある。異なる点は、ステップ３００において高圧
である第２の設定圧の加圧空気を供給する電磁弁が第２
加圧用電磁弁２５である点、ワークＷの合否に係わら
ず、加圧空気を開放した後、全ての作業を終了する点の
みである。なお、第２サイクルにおいてもパルス加圧す
る理由は、高圧のパルスによって、シール部材Ｗｂの再
確認を行うことと、異物除去のためである。たのため、
低圧の第１サイクルでシール部材Ｗｂの確認が充分と考
えられる場合は、第２サイクルでパルス加圧を行う必要
はない。

【００２６】図６は本発明のリークテスタの第２の実施
の形態を示したものである。第１の実施形態と異なる主
な点は、ワークＷ内を加圧する加圧空気源２０の他に、
ワークＷ内を負圧とする真空ポンプ５０を備える点であ
る。図６において、第１の実施形態同一の部分について
は同一の符号を付して説明を省略する。第一の実施の形
態と異なる部分について説明すると、低圧の加圧を真空
ポンプ５０による負圧にて行うために、分岐配管２１ａ
上に配置された低圧の加圧空気を供給する装置は不要と
なる。また、排気用電磁弁２９の代わりの排気用電磁弁
５１は、排気配管２１ｄを閉鎖状態とする非作動状態、
真空ポンプ５０と排気配管２１ｄを連通させる状態、タ
ンク３４と排気配管２１ｄを連通させる状態の３つの状
態を取り得るようになっている。

【００２７】次に作用を説明する。第２の実施の形態に
おいても、第１の実施の形態と同様に油抜き工程が行わ
れるが、基本的には図２に示す過程と同じであるため説
明は省略する。なお、第２の実施の形態では、第１の実
施の形態の排気用電磁弁２９の代わりとして排気用電磁
弁５１が用いられてタンクへの油の放出が行われる。図
７は第２の実施の形態のリークテストの概要を示した図
であり、図８は第２の実施の形態の第１サイクルを示し
たフローチャートである。第２の実施の形態のリークテ
ストは、第１サイクルにおいて、真空ポンプ５０によっ
て、パルス状にエア抜きを行った後、ワークＷ内を負圧
にし、負圧による平衡状態を経て、圧力センサ２６によ
ってワークＷの気密性を検査するものである。

【００２８】ステップ４００では、真空ポンプ５０の駆
動を開始するとともに、排気用電磁弁５１を所定の回数
断続的にＯＮ，ＯＦＦさせ、加圧空気源２０からパルス
状にワークＷ内を減圧する。このようなパルス状の減圧
を一定時間実行した後、ステップ４０２に移行して、排
気用電磁弁５１によって、ワークＷと真空ポンプ５０と
が接続された状態を維持する。一定の時間ワークＷ内の
空気を吸引することによって、ワークＷ内をあらかじめ
設定した圧力まで減圧する（ステップ４０４）。この
後、ステップ４０６にて排気用電磁弁５１を非作動状態
とし、第２加圧用電磁弁２５から排気用電磁弁５１まで
の間を密閉状態とする。また、この後真空ポンプ５０の
作動を停止する。

【００２９】そして、ステップ４０８で圧力センサ２６
がリセットされ、この時の圧力を基準として、後述する
ステップ４１２で圧力の増加量が測定される。ステップ
４１０にてあらかじめ定められた時間だけ平衡状態を保
たれた後、ステップ４１２にて圧力の検出が行われる。
もし、ワークＷの密閉性に問題がある場合は、平衡時間
において外気が許容量以上に流入することになり、許容
値以上に圧力が増加することになる。ステップ４１４に
おいて、圧力センサ２６の値が所定の許容範囲にあり、
検査結果が良好ならば（ＹＥＳ）、ステップ４１６に移
行し、検査に合格した旨をセンサコントローラ３０の表
示画面３０ａに表示する。そして、ステップ４１８にて
排気用電磁弁５１を作動させ、ワークＷを大気と連通さ
せた後、排気用電磁弁５１を閉じ、ステップ４２０に移
行し、第２サイクルへと進む。

【００３０】一方、ステップ４１４において、圧力セン
サ２６の値が所定の許容範囲から外れ、検査結果が不良
ならば（ＮＯ）、ステップ４２２に移行し、検査に不合
格した旨をセンサコントローラ３０の表示画面３０ａに
表示する。そして、ステップ４２４にてワークＷを大気
と連通させた後、第１サイクルのみで検査を終了する
（ステップ４２６）。

【００３１】このように第２の実施の形態の第１サイク
ルでは、負圧によってワークの加圧を行うため、ワーク
Ｗのシール部材Ｗａは、ワーク内側に引き延ばされる方
向に変形する。これによって、シール部材Ｗａに挟まれ
た異物等の除去がより効果的に行われ、シール部材Ｗｂ
の不具合をより正確に検出することができる。第２の実
施の形態の第２サイクルに関しては、図５に示した第１
の実施の形態の第２サイクルと同じであるため、説明を
省略する。

【００３２】

【発明の効果】以上述べたように本発明において、請求
項１に記載のものは、ワークに対してパルス状に圧力を
供給することよって、ワーク内部のシール部材を伸縮運
動させることにより、シール部材の不良が検出できるよ
うになる。また、シール部材に挟まった異物を取り除く
ことができる。

【００３３】また、連続的な加圧によって、鋳造や射出
成形のワークに生じる巣やひび割れ等の不良を検出する
ことができる。請求項２に記載のものは、低圧による１
回目のサイクルは、ワーク内のシール部材に関する検査
に適しており、高圧による２回目のサイクルは、主にワ
ーク本体に関する検査に適しているため、いずれのサイ
クルで異常が検出されたかによって、ワークの不良部分
が推定し易くなる。このため、ワークの検査時間が短く
なる。

【００３４】請求項３に記載のものは、ワーク内に残留
した液体を取り除く作業と、リークテストが兼用できる
ため、検査装置全体を小型化でき、低コストとなる。ま
た、ワークの取り付けが１度で済むため、検査時間も短
縮できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の全体構成図であ
る。

【図２】第１実施の形態の油抜き工程を示したフローチ
ャートである。

【図３】第１実施の形態のリークテストの概要を示した
図である。

【図４】第１実施の形態の第１サイクルを示したフロー
チャートである。

【図５】第１実施の形態の第２サイクルを示したフロー
チャートである。

【図６】本発明の第２の実施の形態の全体構成図であ
る。

【図７】第２実施の形態のリークテストの概要を示した
図である。

【図８】第２実施の形態の第１サイクルを示したフロー
チャートである。

【符号の説明】

２０ 加圧空気源 ２１ 配管ライン ２２ 低圧用レギュレータ ２３ 高圧用レギュレータ ２４ 第１加圧用電磁弁 ２５ 第２加圧用電磁弁 ２６ 圧力センサ ２９ 排気用電磁弁 ３０ センサコントローラ ３４ タンク ４０ コントローラ Ｗ ワーク Ｗａ ワーク本体 Ｗｂ シール部材 Ｗｐ１ 吐出ポート Ｗｐ２ 吸入ポート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川嶋 邦雄 愛知県刈谷市朝日町１丁目１番地 豊田工 機株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】圧力供給源によってワーク内部を加圧また
   は減圧し、前記ワーク内部の圧力を圧力センサにより検
   出することによって、前記ワークの密封性の良否を判断
   するリークテスタにおいて、前記圧力供給源によって前
   記ワーク内部をパルス状に加圧または減圧するパルス圧
   力供給制御手段と、前記圧力供給源によって前記ワーク
   内部を連続的に加圧または減圧する定圧力供給制御手段
   と、前記ワーク内部があらかじめ設定された圧力まで加
   圧または減圧された後、前記ワーク内部の圧力を前記圧
   力センサによって測定する測定手段と、この測定手段の
   測定結果に基づいて前記ワークの良否の判定を行う判定
   手段とを備えたことを特徴とするリークテスタ。
2. 【請求項２】圧力供給源によってワーク内部を加圧また
   は減圧し、前記ワーク内部の圧力を圧力センサにより検
   出することによって、前記ワークの密封性の良否を判断
   するリークテスト方法において、前記圧力供給源によっ
   て前記ワーク内部をパルス状に加圧または減圧した後、
   前記ワーク内部を連続的に加圧または減圧し、前記ワー
   ク内部があらかじめ設定された設定圧力まで加圧または
   減圧された後、前記ワーク内部の圧力を前記圧力センサ
   によって測定して、この測定結果に基づいて前記ワーク
   の良否を判定するサイクルを２回繰り返し、２回目のサ
   イクルの前記設定圧力は、１回目のサイクルの前記設定
   圧力よりも高圧であることを特徴とするリークテスト方
   法。
3. 【請求項３】第１，第２の少なくとも２つのポートを有
   するワークの前記第１ポートに加圧用切換弁を介して接
   続される圧力供給源と、前記ワークの前記第２ポートに
   排気用切換弁を介して接続される排出部と、前記ワーク
   の前記加圧用切換弁と前記第１ポートとの間に設けら
   れ、前記ワーク内の圧力を測定する圧力センサと、前記
   加圧用切換弁、前記排気用切換弁および前記圧力センサ
   を制御する制御装置とを備えたリークテスタであって、
   前記制御装置は、前記加圧用切換弁および前記排気用切
   換弁を開状態とし、前記圧力供給源からの圧力によって
   前記ワーク内に残留する液体を前記排出部に排出する液
   体抜き手段と、前記加圧用切換弁を開状態とし、前記排
   気用切換弁を閉状態として前記圧力供給源からの圧力に
   よって前記ワーク内を加圧する加圧手段と、この加圧手
   段によって前記ワーク内をあらかじめ設定された圧力と
   した後、前記加圧用切換弁を閉状態とする圧力平衡手段
   と、この圧力平衡手段によって密閉された前記ワーク内
   の圧力を前記圧力センサによって測定する測定手段と、
   この測定手段の計測結果に基づいて前記ワークの良否の
   判定を行う判定手段とを備えたことを特徴とするリーク
   テスタ。