JPH1090241A - 気体分析装置および気体分析方法 - Google Patents
気体分析装置および気体分析方法Info
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- JPH1090241A JPH1090241A JP8241943A JP24194396A JPH1090241A JP H1090241 A JPH1090241 A JP H1090241A JP 8241943 A JP8241943 A JP 8241943A JP 24194396 A JP24194396 A JP 24194396A JP H1090241 A JPH1090241 A JP H1090241A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 清浄環境内の複数地点の切替え測定におい
て、分析装置の部品点数の増大を抑え、かつ短い測定周
期で良好な応答性を得られる気体分析装置および気体分
析方法を提供する。 【解決手段】 本発明の気体分析装置は、２台の気体採
取装置を備える。送液ポンプ３、１５は、それぞれ異な
る拡散スクラバーに対して作動する。送液ポンプ１５に
接続されている拡散スクラバーが測定状態にあり、拡散
スクラバーで吸収液に吸収された分析対象気体が濃縮ａ
カラム１４に捕捉され、イオンクロマトグラフ３０によ
り分析される。その間、送液ポンプ３に接続された他方
の拡散スクラバーでは、予備運転が並行して実行され
る。これにより、メモリ効果による前の分析の影響を抑
え、応答性を改善し、測定周期の短縮を図る。
て、分析装置の部品点数の増大を抑え、かつ短い測定周
期で良好な応答性を得られる気体分析装置および気体分
析方法を提供する。 【解決手段】 本発明の気体分析装置は、２台の気体採
取装置を備える。送液ポンプ３、１５は、それぞれ異な
る拡散スクラバーに対して作動する。送液ポンプ１５に
接続されている拡散スクラバーが測定状態にあり、拡散
スクラバーで吸収液に吸収された分析対象気体が濃縮ａ
カラム１４に捕捉され、イオンクロマトグラフ３０によ
り分析される。その間、送液ポンプ３に接続された他方
の拡散スクラバーでは、予備運転が並行して実行され
る。これにより、メモリ効果による前の分析の影響を抑
え、応答性を改善し、測定周期の短縮を図る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、清浄環境内の複数
の点を切り替えて大気を捕集して、大気中の揮発性成分
を連続モニタリングし清浄管理を行うための、気体分析
装置および気体分析方法に関する。
の点を切り替えて大気を捕集して、大気中の揮発性成分
を連続モニタリングし清浄管理を行うための、気体分析
装置および気体分析方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、試料気体中の水溶性ガスを吸収液
に吸収捕集する拡散スクラバーをサンプリングに使用す
る気体分析装置が開発され、例えば１９８９年１月、ア
ナリティカルケミストリー、第６１巻、第１号、１９〜
２４頁（ＡｎａｌｙｔｉｃａｌＣｈｅｍｉｓｔｒｙ，Ｖ
ＯＬ．６１， ＮＯ．１，ＪＡＮＵＡＲＹ，１９８９）
や特開平８−５４３８０号公報などで公知になってい
る。以前から一般的に用いられているインピンジャー捕
集法による気体中のアンモニアあるいは酸性ガスの分析
に比べて、捕集時間が１／５〜１／１０でよく、現場で
１時間以内の測定周期での自動測定が行えるので、製造
環境中のアンモニアや酸性ガスの濃度を厳密に管理しな
ければならないような場合のモニタリングに有効であ
る。拡散スクラバーによる捕集装置とイオンクロマトグ
ラフを組み合わせた特開平８−５４３８０号公報の気体
分析装置を図８に示す。図８では、拡散スクラバー本体
１０は気体透過膜チューブの内管４と、内部に該内管が
挿入された外管５とからなる。吸収液は流入口６から該
拡散スクラバーに流入し、流出口７から流出する。外管
と内管の間隙に吸収液を連続的に通液しながら、サンプ
リングポンプにより気体を吸引し、内管内に該気体を連
続的に通気すると、該気体中の分析成分は拡散スクラバ
ー本体内で吸収液に吸収される。試料気体中の分析成分
を吸収した吸収液を濃縮カラム１４に通液することによ
り該分析成分を濃縮カラムに捕捉し濃縮する。分析工程
は、試料気体中の分析成分に関して吸収液と試料気体
間で平衡状態にする予備工程、前記予備工程の後、濃
縮カラムに残留する溶離液成分を純水で洗い出すリンス
工程、前記リンス工程の後、分析成分を吸収した吸収
液を拡散スクラバー本体から濃縮カラムに導入し分析成
分を濃縮するサンプリング工程、前記サンプリング工
程の後、濃縮カラムに捕捉された分析成分を溶離しイオ
ンクロマトグラフにより分離分析する分析工程、とから
なる。使用する拡散スクラバーの特性、特に気体透過膜
チューブの特性にもよるが、拡散スクラバーのメモリ効
果により試料気体中の分析成分濃度が急激に変化する
と、濃度変化直後の測定値は不正確になる。特開平８−
５４３８０号公報の分析装置の場合、サンプリング工程
に先立ち予備工程を行うことで、メモリ効果（前の分析
の影響）を抑えている。
に吸収捕集する拡散スクラバーをサンプリングに使用す
る気体分析装置が開発され、例えば１９８９年１月、ア
ナリティカルケミストリー、第６１巻、第１号、１９〜
２４頁（ＡｎａｌｙｔｉｃａｌＣｈｅｍｉｓｔｒｙ，Ｖ
ＯＬ．６１， ＮＯ．１，ＪＡＮＵＡＲＹ，１９８９）
や特開平８−５４３８０号公報などで公知になってい
る。以前から一般的に用いられているインピンジャー捕
集法による気体中のアンモニアあるいは酸性ガスの分析
に比べて、捕集時間が１／５〜１／１０でよく、現場で
１時間以内の測定周期での自動測定が行えるので、製造
環境中のアンモニアや酸性ガスの濃度を厳密に管理しな
ければならないような場合のモニタリングに有効であ
る。拡散スクラバーによる捕集装置とイオンクロマトグ
ラフを組み合わせた特開平８−５４３８０号公報の気体
分析装置を図８に示す。図８では、拡散スクラバー本体
１０は気体透過膜チューブの内管４と、内部に該内管が
挿入された外管５とからなる。吸収液は流入口６から該
拡散スクラバーに流入し、流出口７から流出する。外管
と内管の間隙に吸収液を連続的に通液しながら、サンプ
リングポンプにより気体を吸引し、内管内に該気体を連
続的に通気すると、該気体中の分析成分は拡散スクラバ
ー本体内で吸収液に吸収される。試料気体中の分析成分
を吸収した吸収液を濃縮カラム１４に通液することによ
り該分析成分を濃縮カラムに捕捉し濃縮する。分析工程
は、試料気体中の分析成分に関して吸収液と試料気体
間で平衡状態にする予備工程、前記予備工程の後、濃
縮カラムに残留する溶離液成分を純水で洗い出すリンス
工程、前記リンス工程の後、分析成分を吸収した吸収
液を拡散スクラバー本体から濃縮カラムに導入し分析成
分を濃縮するサンプリング工程、前記サンプリング工
程の後、濃縮カラムに捕捉された分析成分を溶離しイオ
ンクロマトグラフにより分離分析する分析工程、とから
なる。使用する拡散スクラバーの特性、特に気体透過膜
チューブの特性にもよるが、拡散スクラバーのメモリ効
果により試料気体中の分析成分濃度が急激に変化する
と、濃度変化直後の測定値は不正確になる。特開平８−
５４３８０号公報の分析装置の場合、サンプリング工程
に先立ち予備工程を行うことで、メモリ効果（前の分析
の影響）を抑えている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、気体の
採取点を切替えて測定する場合、少なからず採取点切替
えによる濃度変化が発生するため、予備運転時間を十分
長く取るか、連続する数回の測定の内、最終回の測定値
を実際の濃度とする方法を取ることが必要となる。した
がって同一点を連続測定する場合には２０分に１回の測
定が可能であっても、複数点を切替えて測定する場合に
は、一点の測定に要する時間が１時間程度必要となる。
特開平８−５４３８０号公報においては、複数点を切替
えて測定する装置として、イオンクロマトグラフ以外を
２系統設けた装置の発明もなされているが、部品点数が
多くなり、装置の大型、製造コストの増大が避けられな
い。本発明の目的は複数点の切替え測定において、分析
装置の部品点数の増大を抑え、かつ短い測定周期で良好
な応答性を得られる分析装置を提供することにある。
採取点を切替えて測定する場合、少なからず採取点切替
えによる濃度変化が発生するため、予備運転時間を十分
長く取るか、連続する数回の測定の内、最終回の測定値
を実際の濃度とする方法を取ることが必要となる。した
がって同一点を連続測定する場合には２０分に１回の測
定が可能であっても、複数点を切替えて測定する場合に
は、一点の測定に要する時間が１時間程度必要となる。
特開平８−５４３８０号公報においては、複数点を切替
えて測定する装置として、イオンクロマトグラフ以外を
２系統設けた装置の発明もなされているが、部品点数が
多くなり、装置の大型、製造コストの増大が避けられな
い。本発明の目的は複数点の切替え測定において、分析
装置の部品点数の増大を抑え、かつ短い測定周期で良好
な応答性を得られる分析装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明は、気体分析装置の運転効率を高め、測定周期の短縮
を図るために種々の手段を用いている。
明は、気体分析装置の運転効率を高め、測定周期の短縮
を図るために種々の手段を用いている。
【０００５】本願第１の発明は、試料気体中の分析対象
気体を吸収液に捕集し、該分析対象気体を分析する気体
分析装置において、分析対象気体を含む一部の気体のみ
を透過する気体透過膜チューブで作製される内管と、内
部に前記内管が挿入された外管とを有し、一組のジョイ
ントによって前記内管と前記外管を両端で保持し、前記
内管内部に通ずる接続口と、前記内管と前記外管の間隙
に通ずる接続口とをそれぞれ管の両端に有し、前記内管
内あるいは前記内管と前記外管の間隙のいずれか一方の
流路を前記吸収液の流路とし、他方の流路を前記試料気
体の流路とする拡散スクラバー（１０、２０）と、前記
拡散スクラバーの試料気体流路に接続され、前記拡散ス
クラバーに前記試料気体を送気するためのサンプリング
ポンプ（１２、２２）とを備えた気体採取装置２台と、
一方の気体採取装置の拡散スクラバーに前記吸収液を送
液するための送液ポンプ（３）と、他方の気体採取装置
の拡散スクラバーに前記吸収液を送液し、該拡散スクラ
バーから流出した該吸収液を、分析対象気体の濃縮が可
能な吸着材を充填した濃縮カラム（１４）に導入するた
めの送液ポンプ（１５）と、送液ポンプ（３）に接続す
る気体採取装置と、送液ポンプ（１５）に接続する気体
採取装置とを切替えるための、流路切替バルブ（２）あ
るいはこれと同機能を有する流路切替え装置と、濃縮カ
ラム（１４）に捕捉された前記分析対象気体を検出する
検出装置（３３、３５）と、濃縮カラム（１４）へ前記
吸収液を導入し前記分析対象気体を捕捉濃縮する流路
と、濃縮カラム（１４）に捕捉された前記分析対象気体
を検出装置（３３、３５）に導入する流路とを切替える
ための流路切替バルブ（１１）あるいはこれと同機能を
有する流路切替え装置と、からなることを特徴とする気
体分析装置である。
気体を吸収液に捕集し、該分析対象気体を分析する気体
分析装置において、分析対象気体を含む一部の気体のみ
を透過する気体透過膜チューブで作製される内管と、内
部に前記内管が挿入された外管とを有し、一組のジョイ
ントによって前記内管と前記外管を両端で保持し、前記
内管内部に通ずる接続口と、前記内管と前記外管の間隙
に通ずる接続口とをそれぞれ管の両端に有し、前記内管
内あるいは前記内管と前記外管の間隙のいずれか一方の
流路を前記吸収液の流路とし、他方の流路を前記試料気
体の流路とする拡散スクラバー（１０、２０）と、前記
拡散スクラバーの試料気体流路に接続され、前記拡散ス
クラバーに前記試料気体を送気するためのサンプリング
ポンプ（１２、２２）とを備えた気体採取装置２台と、
一方の気体採取装置の拡散スクラバーに前記吸収液を送
液するための送液ポンプ（３）と、他方の気体採取装置
の拡散スクラバーに前記吸収液を送液し、該拡散スクラ
バーから流出した該吸収液を、分析対象気体の濃縮が可
能な吸着材を充填した濃縮カラム（１４）に導入するた
めの送液ポンプ（１５）と、送液ポンプ（３）に接続す
る気体採取装置と、送液ポンプ（１５）に接続する気体
採取装置とを切替えるための、流路切替バルブ（２）あ
るいはこれと同機能を有する流路切替え装置と、濃縮カ
ラム（１４）に捕捉された前記分析対象気体を検出する
検出装置（３３、３５）と、濃縮カラム（１４）へ前記
吸収液を導入し前記分析対象気体を捕捉濃縮する流路
と、濃縮カラム（１４）に捕捉された前記分析対象気体
を検出装置（３３、３５）に導入する流路とを切替える
ための流路切替バルブ（１１）あるいはこれと同機能を
有する流路切替え装置と、からなることを特徴とする気
体分析装置である。
【０００６】本願第２の発明は、気体採取装置の試料気
体導入口の上流側に、試料気体の採取点の切り替えのた
めの流路切替バルブ（５１、５２）を設けたことを特徴
とする第１の発明に記載の気体分析装置である。
体導入口の上流側に、試料気体の採取点の切り替えのた
めの流路切替バルブ（５１、５２）を設けたことを特徴
とする第１の発明に記載の気体分析装置である。
【０００７】本願第３の発明は、気体透過膜チューブ
が、気孔率が４０％以上８０％以下であり、かつ、膜厚
が０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であり、かつ、侵水圧
が０．２ｋｇｆ／ｃｍ2以上であることを特徴とする第
１または２の発明に記載の気体分析装置である。
が、気孔率が４０％以上８０％以下であり、かつ、膜厚
が０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であり、かつ、侵水圧
が０．２ｋｇｆ／ｃｍ2以上であることを特徴とする第
１または２の発明に記載の気体分析装置である。
【０００８】本願第４の発明は、気体採取装置へ、送液
ポンプ（３）により吸収液を送液しながら試料気体を送
気し、前記試料気体中の分析対象気体に関して前記吸収
液と前記試料気体間で平衡状態にする工程ａと、工程ａ
の後、気体採取装置の拡散スクラバーから濃縮カラム
（１４）へ、送液ポンプ（１５）により吸収液を導入す
る工程ｂと、工程ｂの後、工程ｂにより濃縮カラム（１
４）に捕捉された前記分析対象気体を溶離し、検出装置
（３３、３５）により分析を行う工程ｃと、を順次繰り
返して行う、第１から３のいずれかの発明に記載の気体
分析装置を用いた気体分析方法において、一方の気体採
取装置により採取された試料気体について工程ｂおよび
工程ｃを実行している間に、他方の気体採取装置により
採取された試料気体について工程ａを実行することを特
徴とする気体分析方法である。
ポンプ（３）により吸収液を送液しながら試料気体を送
気し、前記試料気体中の分析対象気体に関して前記吸収
液と前記試料気体間で平衡状態にする工程ａと、工程ａ
の後、気体採取装置の拡散スクラバーから濃縮カラム
（１４）へ、送液ポンプ（１５）により吸収液を導入す
る工程ｂと、工程ｂの後、工程ｂにより濃縮カラム（１
４）に捕捉された前記分析対象気体を溶離し、検出装置
（３３、３５）により分析を行う工程ｃと、を順次繰り
返して行う、第１から３のいずれかの発明に記載の気体
分析装置を用いた気体分析方法において、一方の気体採
取装置により採取された試料気体について工程ｂおよび
工程ｃを実行している間に、他方の気体採取装置により
採取された試料気体について工程ａを実行することを特
徴とする気体分析方法である。
【０００９】本願第５の発明は、一方の気体採取装置に
より採取された試料気体について工程ｃが終了すると同
時に他方の気体採取装置により採取された試料気体につ
いて工程ｂが開始するように制御することを特徴とする
第４の発明に記載の気体分析方法である。
より採取された試料気体について工程ｃが終了すると同
時に他方の気体採取装置により採取された試料気体につ
いて工程ｂが開始するように制御することを特徴とする
第４の発明に記載の気体分析方法である。
【００１０】本願第６の発明は、一方の気体採取装置に
より採取された試料気体について工程ｂが終了すると同
時に、同一の気体採取装置で次の分析に係る工程ａが開
始し、かつ、該工程ａが、他方の気体採取装置により採
取された試料気体について工程ｃが終了すると同時に終
了するように制御することを特徴とする第４または５の
発明に記載の気体分析方法である。
より採取された試料気体について工程ｂが終了すると同
時に、同一の気体採取装置で次の分析に係る工程ａが開
始し、かつ、該工程ａが、他方の気体採取装置により採
取された試料気体について工程ｃが終了すると同時に終
了するように制御することを特徴とする第４または５の
発明に記載の気体分析方法である。
【００１１】本願第７の発明は、第６の発明に記載の気
体分析方法を実行する気体分析装置であって、工程ａ、
ｂ、ｃのそれぞれに最低限必要な時間として登録された
値および所望の測定周期の入力値をもとに、前記工程
ａ、ｂ、ｃの時間を自動的に算出する機能を有する制御
部を備えることを特徴とする第１から３のいずれかの発
明に記載の気体分析装置である。
体分析方法を実行する気体分析装置であって、工程ａ、
ｂ、ｃのそれぞれに最低限必要な時間として登録された
値および所望の測定周期の入力値をもとに、前記工程
ａ、ｂ、ｃの時間を自動的に算出する機能を有する制御
部を備えることを特徴とする第１から３のいずれかの発
明に記載の気体分析装置である。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施形態について
図面を参照して、説明する。図１は本発明の気体分析装
置の全体構成図、図２は本発明の気体分析装置による分
析工程の動作シーケンス、図３は本発明の分析装置の測
定条件設定の流れを示すフローチャート、図４は図１に
図示していない本発明の分析装置の制御部の測定条件設
定画面の概略図である。
図面を参照して、説明する。図１は本発明の気体分析装
置の全体構成図、図２は本発明の気体分析装置による分
析工程の動作シーケンス、図３は本発明の分析装置の測
定条件設定の流れを示すフローチャート、図４は図１に
図示していない本発明の分析装置の制御部の測定条件設
定画面の概略図である。
【００１３】図１において拡散スクラバー本体２０のＡ
およびＢは、それぞれ流路切替バルブ２のＡおよびＢに
接続されている。図２において、−１、−２はそれ
ぞれ吸気口１３から捕集された気体の１回目および２回
目の測定である。−１、−２はそれぞれ吸気口２３
から捕集された気体の１回目および２回目の測定であ
る。各測定において、ａ、ｂ、ｃはそれぞれ、予備運
転、サンプリング、分離分析の各工程を示す。図２にお
いて、すべての予備運転時間が同一となるように記載し
ているが、−１に限っては、予備運転時間を長くして
も良い。例えば、−１および−１の工程ａが同時に
開始してもよい。
およびＢは、それぞれ流路切替バルブ２のＡおよびＢに
接続されている。図２において、−１、−２はそれ
ぞれ吸気口１３から捕集された気体の１回目および２回
目の測定である。−１、−２はそれぞれ吸気口２３
から捕集された気体の１回目および２回目の測定であ
る。各測定において、ａ、ｂ、ｃはそれぞれ、予備運
転、サンプリング、分離分析の各工程を示す。図２にお
いて、すべての予備運転時間が同一となるように記載し
ているが、−１に限っては、予備運転時間を長くして
も良い。例えば、−１および−１の工程ａが同時に
開始してもよい。
【００１４】図２における流路切替バルブ２および１１
の「実線」ならびに「破線」は、図１における各バルブ
の接続状態に対応する。送液ポンプ１５により送液され
る吸収液は、流路切替バルブ２が実線状態に設定されて
いるときには拡散スクラバー本体１０を流通し、流路切
替バルブ２が破線状態に設定されているときには拡散ス
クラバー本体２０を流通する。送液ポンプ３により送液
される吸収液は、送液ポンプ１５により送液される吸収
液が流通する拡散スクラバーとは別のもう一方の拡散ス
クラバーを流通する。
の「実線」ならびに「破線」は、図１における各バルブ
の接続状態に対応する。送液ポンプ１５により送液され
る吸収液は、流路切替バルブ２が実線状態に設定されて
いるときには拡散スクラバー本体１０を流通し、流路切
替バルブ２が破線状態に設定されているときには拡散ス
クラバー本体２０を流通する。送液ポンプ３により送液
される吸収液は、送液ポンプ１５により送液される吸収
液が流通する拡散スクラバーとは別のもう一方の拡散ス
クラバーを流通する。
【００１５】流路切替バルブ１１が破線状態にあるとき
は、拡散スクラバーからの流出液が濃縮カラム１４に導
入され、分析対象気体が捕捉される。また、流路切替バ
ルブ１１が実線状態にあるときは、予備運転および分離
分析が行われる。すなわち、一方の流路では、濃縮カラ
ム１４に捕捉された分析対象気体が貯留槽３６内の溶離
液により溶離され、分離カラム３３に送られる。このと
き、他方の流路は予備運転に使用される。初回測定の予
備運転開始以降、拡散スクラバー本体１０および２０に
は常に吸収液と試料気体が流通し、サンプリングに設定
されていない拡散スクラバーは常に予備運転に設定され
ている。
は、拡散スクラバーからの流出液が濃縮カラム１４に導
入され、分析対象気体が捕捉される。また、流路切替バ
ルブ１１が実線状態にあるときは、予備運転および分離
分析が行われる。すなわち、一方の流路では、濃縮カラ
ム１４に捕捉された分析対象気体が貯留槽３６内の溶離
液により溶離され、分離カラム３３に送られる。このと
き、他方の流路は予備運転に使用される。初回測定の予
備運転開始以降、拡散スクラバー本体１０および２０に
は常に吸収液と試料気体が流通し、サンプリングに設定
されていない拡散スクラバーは常に予備運転に設定され
ている。
【００１６】図１において、拡散スクラバー本体１０な
らびに２０の吸気口側が下方に設定されているが、拡散
スクラバー本体の設置方向は図記載の状態に限定するも
のではなく、拡散スクラバー本体内の吸収液流路内を測
定中常時吸収液で満たしておくために、拡散スクラバー
本体を吸気口が上方になるようにして鉛直に設置するこ
とが望ましい。
らびに２０の吸気口側が下方に設定されているが、拡散
スクラバー本体の設置方向は図記載の状態に限定するも
のではなく、拡散スクラバー本体内の吸収液流路内を測
定中常時吸収液で満たしておくために、拡散スクラバー
本体を吸気口が上方になるようにして鉛直に設置するこ
とが望ましい。
【００１７】拡散スクラバー本体１０および２０を構成
する気体透過性膜チューブは、気孔率が４０％以上８０
％以下であり、かつ、膜厚が０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ
以下であり、かつ、侵水圧（膜を隔てて一方に水、他方
に気体を置き、水に圧力をかけた場合に気体側に水がし
み出さない限界圧力）が０．２ｋｇｆ／ｃｍ2以上であ
ることが好ましい。また、膜厚が薄い方がメモリ効果が
小さく、また気孔率が大きい方が捕集効率が高くなるの
で、膜厚が０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下で、気孔率５
０％以上８０％以下のものがさらに好ましい。
する気体透過性膜チューブは、気孔率が４０％以上８０
％以下であり、かつ、膜厚が０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ
以下であり、かつ、侵水圧（膜を隔てて一方に水、他方
に気体を置き、水に圧力をかけた場合に気体側に水がし
み出さない限界圧力）が０．２ｋｇｆ／ｃｍ2以上であ
ることが好ましい。また、膜厚が薄い方がメモリ効果が
小さく、また気孔率が大きい方が捕集効率が高くなるの
で、膜厚が０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下で、気孔率５
０％以上８０％以下のものがさらに好ましい。
【００１８】図２における各分析工程の時間設定はこれ
に限定されるものではなく、一採取点でのサンプリング
ならびに分離分析と、他の採取点でのサンプリングなら
びに分離分析とが同時に起こらなければよい。（測定周
期）＝２＊（サンプリング＋分離分析）になるように設
定すると、前記条件を満たし、かつイオンクロマトグラ
フを最も効率よく稼動させることができる。連続自動運
転を行うには、さらに分析工程の時間を（予備運転）≧
（サンプリング＋分離分析）になるように設定した上
で、予備運転の開始を同一の拡散スクラバーを使用する
前測定の分離分析開始時以降に設定しなければならな
い。本発明の分析装置では図３のフローチャートに従っ
て分析工程の時間が設定される。測定周期の最小許容値
（Ｐｍｉｎ）以外の最小許容値は、図示していないパラ
メータ設定画面で、予め入力しておくと、測定条件設定
画面の各最小許容値表示箇所に表示される。測定者は測
定点の分析成分の濃度と最小許容値Ｔ２ｍｉｎを考慮
し、図４におけるＴ２部分にサンプリング時間を入力す
る。Ｔ２にＴ２ｍｉｎより大きな値が入力された場合に
は、Ｔ２の値とＴ３ｍｉｎの値から算出される測定周期
最小許容値（Ｐｍｉｎ）が測定条件設定画面のＰｍｉｎ
表示箇所に表示される。Ｐｍｉｎを考慮し測定者が測定
周期（Ｐ）を入力すると、予備運転時間（Ｔ１）、分離
分析時間（Ｔ３）、遅延時間（Ｄ）（一方の気体採取装
置を用いた分析と他方の気体採取装置を用いた分析の時
間差；例えば図２における−２および−２の工程ａ
の開始時刻の差）が算出される。Ｔ３、Ｔ１が最小許容
値以下の場合には、Ｐの再入力が要求される。このよう
にして算出された条件をもとに運転を行うと、例えば図
２のように、３０分以降、イオンクロマトグラフは常に
サンプリングと分離分析を繰り返すことになり、効率的
な測定を行うことができる。
に限定されるものではなく、一採取点でのサンプリング
ならびに分離分析と、他の採取点でのサンプリングなら
びに分離分析とが同時に起こらなければよい。（測定周
期）＝２＊（サンプリング＋分離分析）になるように設
定すると、前記条件を満たし、かつイオンクロマトグラ
フを最も効率よく稼動させることができる。連続自動運
転を行うには、さらに分析工程の時間を（予備運転）≧
（サンプリング＋分離分析）になるように設定した上
で、予備運転の開始を同一の拡散スクラバーを使用する
前測定の分離分析開始時以降に設定しなければならな
い。本発明の分析装置では図３のフローチャートに従っ
て分析工程の時間が設定される。測定周期の最小許容値
（Ｐｍｉｎ）以外の最小許容値は、図示していないパラ
メータ設定画面で、予め入力しておくと、測定条件設定
画面の各最小許容値表示箇所に表示される。測定者は測
定点の分析成分の濃度と最小許容値Ｔ２ｍｉｎを考慮
し、図４におけるＴ２部分にサンプリング時間を入力す
る。Ｔ２にＴ２ｍｉｎより大きな値が入力された場合に
は、Ｔ２の値とＴ３ｍｉｎの値から算出される測定周期
最小許容値（Ｐｍｉｎ）が測定条件設定画面のＰｍｉｎ
表示箇所に表示される。Ｐｍｉｎを考慮し測定者が測定
周期（Ｐ）を入力すると、予備運転時間（Ｔ１）、分離
分析時間（Ｔ３）、遅延時間（Ｄ）（一方の気体採取装
置を用いた分析と他方の気体採取装置を用いた分析の時
間差；例えば図２における−２および−２の工程ａ
の開始時刻の差）が算出される。Ｔ３、Ｔ１が最小許容
値以下の場合には、Ｐの再入力が要求される。このよう
にして算出された条件をもとに運転を行うと、例えば図
２のように、３０分以降、イオンクロマトグラフは常に
サンプリングと分離分析を繰り返すことになり、効率的
な測定を行うことができる。
【００１９】
（実施例１）次に本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。図１の分析装置において、分離カラ
ム３３（ダイオネクス社製、Ｉｏｎ Ｐａｃ ＣＳ１
２）と、濃縮カラム１４（ダイオネクス社製、Ｉｏｎ
Ｐａｃ ＣＧ１２）と、分離カラム３３と導電率検出器
３５の間に接続された不図示のサプレッサー（ダイオネ
クス社製、ＣＳＲＳ−Ｉ）とを接続したイオンクロマト
グラフ３０（ダイオネクス社製、ＤＸ１００）を検出装
置とした気体中のアンモニア成分の分析装置について説
明する。貯留容器４１に吸収液として超純水を、貯留容
器３６に溶離液として２０ｍＭメチルスルホン酸溶液を
入れる。拡散スクラバー本体１０および２０は、膜厚
０．３ｍｍ、内径２mmのフッ素樹脂製気体透過膜チュー
ブ（住友電気工業製、Ｐｏｒｅｆｌｏｎ ｔｕｂｅ）の
内管と、フッ素樹脂製チューブ（内径１０ｍｍ、外径１
２ｍｍ）の外管から構成されたものを使用した。送液ポ
ンプ１５には濃縮カラム１４に吸収液を導入するのに十
分な吐出圧を有するポンプを使用する。前記濃縮カラム
（ダイオネクス社製、Ｉｏｎ Ｐａｃ ＣＧ１２）の場
合であれば３０ｋｇｆ／ｃｍ2以上が必要で、５０ｋｇ
ｆ／ｃｍ2以上であることが望ましい。ポンプ３は吐出
圧が数ｋｇｆ／ｃｍ2のものでよく、ポンプ１５に比べ
て安価なものを使用できる。送液ポンプ１５の流量は
１．０ｍｌ／ｍｉｎ、送液ポンプ３、１５の流量は２．
０ｍｌ／ｍｉｎに設定した。拡散スクラバーの捕集性能
を考慮し、サンプリングポンプ１２、２２の流量は０．
５ｌ／ｍｉｎに設定した。前記条件でイオンクロマトグ
ラフ３０を動作させた場合、アンモニアは４．５分前後
に溶出するが、アルカリ土類金属成分を完全に溶出させ
るためには分離分析に９分程度要するので、分離分析最
小許容値Ｔ３ｍｉｎは１０分とした。予備運転時間の最
小許容値Ｔ１ｍｉｎは拡散スクラバーでのメモリ効果を
考慮し、２０分と設定した。前記イオンクロマトグラフ
は絶対量として０．１ｎｇ程度あればアンモニアを十分
定量できるので、図２の分析工程の動作シーケンスでは
サンプリング時間Ｔ２を１０分に設定した。図３のフロ
ーチャートに従ってＴ２を入力すると、測定周期最小許
容値Ｐｍｉｎは４０分と算出表示された。次に、Ｐｍｉ
ｎの値を分析周期Ｐに入力したところ、図２に示すよう
に、予備運転時間が３０分、分離分析時間が１０分、遅
延時間Ｄが２０分となった。この設定により測定を行う
と、測定開始から５０分後および７０分後に各測定値地
点の初回測定値が得られ、その後４０分毎に測定値が得
られた。 （実施例２）次に、本発明の第２の実施例について図面
を参照して説明する。前記第１の実施例に記載の分析装
置では２点の切替え可能な分析装置について説明した
が、本実施例においてはさらに多数の点、例えば４点切
替え可能な分析装置について記述する。図５は本発明の
分析装置の全体構成図、図６は本発明の分析装置による
分析工程の動作シーケンス、図７は本発明の分析装置の
測定条件設定の流れを示すフローチャートである。
て詳細に説明する。図１の分析装置において、分離カラ
ム３３（ダイオネクス社製、Ｉｏｎ Ｐａｃ ＣＳ１
２）と、濃縮カラム１４（ダイオネクス社製、Ｉｏｎ
Ｐａｃ ＣＧ１２）と、分離カラム３３と導電率検出器
３５の間に接続された不図示のサプレッサー（ダイオネ
クス社製、ＣＳＲＳ−Ｉ）とを接続したイオンクロマト
グラフ３０（ダイオネクス社製、ＤＸ１００）を検出装
置とした気体中のアンモニア成分の分析装置について説
明する。貯留容器４１に吸収液として超純水を、貯留容
器３６に溶離液として２０ｍＭメチルスルホン酸溶液を
入れる。拡散スクラバー本体１０および２０は、膜厚
０．３ｍｍ、内径２mmのフッ素樹脂製気体透過膜チュー
ブ（住友電気工業製、Ｐｏｒｅｆｌｏｎ ｔｕｂｅ）の
内管と、フッ素樹脂製チューブ（内径１０ｍｍ、外径１
２ｍｍ）の外管から構成されたものを使用した。送液ポ
ンプ１５には濃縮カラム１４に吸収液を導入するのに十
分な吐出圧を有するポンプを使用する。前記濃縮カラム
（ダイオネクス社製、Ｉｏｎ Ｐａｃ ＣＧ１２）の場
合であれば３０ｋｇｆ／ｃｍ2以上が必要で、５０ｋｇ
ｆ／ｃｍ2以上であることが望ましい。ポンプ３は吐出
圧が数ｋｇｆ／ｃｍ2のものでよく、ポンプ１５に比べ
て安価なものを使用できる。送液ポンプ１５の流量は
１．０ｍｌ／ｍｉｎ、送液ポンプ３、１５の流量は２．
０ｍｌ／ｍｉｎに設定した。拡散スクラバーの捕集性能
を考慮し、サンプリングポンプ１２、２２の流量は０．
５ｌ／ｍｉｎに設定した。前記条件でイオンクロマトグ
ラフ３０を動作させた場合、アンモニアは４．５分前後
に溶出するが、アルカリ土類金属成分を完全に溶出させ
るためには分離分析に９分程度要するので、分離分析最
小許容値Ｔ３ｍｉｎは１０分とした。予備運転時間の最
小許容値Ｔ１ｍｉｎは拡散スクラバーでのメモリ効果を
考慮し、２０分と設定した。前記イオンクロマトグラフ
は絶対量として０．１ｎｇ程度あればアンモニアを十分
定量できるので、図２の分析工程の動作シーケンスでは
サンプリング時間Ｔ２を１０分に設定した。図３のフロ
ーチャートに従ってＴ２を入力すると、測定周期最小許
容値Ｐｍｉｎは４０分と算出表示された。次に、Ｐｍｉ
ｎの値を分析周期Ｐに入力したところ、図２に示すよう
に、予備運転時間が３０分、分離分析時間が１０分、遅
延時間Ｄが２０分となった。この設定により測定を行う
と、測定開始から５０分後および７０分後に各測定値地
点の初回測定値が得られ、その後４０分毎に測定値が得
られた。 （実施例２）次に、本発明の第２の実施例について図面
を参照して説明する。前記第１の実施例に記載の分析装
置では２点の切替え可能な分析装置について説明した
が、本実施例においてはさらに多数の点、例えば４点切
替え可能な分析装置について記述する。図５は本発明の
分析装置の全体構成図、図６は本発明の分析装置による
分析工程の動作シーケンス、図７は本発明の分析装置の
測定条件設定の流れを示すフローチャートである。
【００２０】図５において拡散スクラバー本体２０のＡ
およびＢは、それぞれ流路切替バルブ２のＡおよびＢに
接続される。図６において、−１は吸気口１３ａか
ら、−１は吸気口２３ａから、−１は吸気口１３ｂ
から、−１は吸気口２３ｂから、それぞれ捕集された
気体の１回目の測定を示す。また、「−２」は２回目の
測定を意味し、例えば−２は吸気口１３ａから捕集さ
れた気体の２回目の測定を示す。各測定において、ａ、
ｂ、ｃはそれぞれ予備運転、サンプリング、分離分析の
各工程を示す。
およびＢは、それぞれ流路切替バルブ２のＡおよびＢに
接続される。図６において、−１は吸気口１３ａか
ら、−１は吸気口２３ａから、−１は吸気口１３ｂ
から、−１は吸気口２３ｂから、それぞれ捕集された
気体の１回目の測定を示す。また、「−２」は２回目の
測定を意味し、例えば−２は吸気口１３ａから捕集さ
れた気体の２回目の測定を示す。各測定において、ａ、
ｂ、ｃはそれぞれ予備運転、サンプリング、分離分析の
各工程を示す。
【００２１】図６における流路切替バルブ２、１１、５
１、５２の「実線」ならびに「破線」は、図５における
各バルブの接続状態に対応する。送液ポンプ１５により
送液される吸収液は、流路切替バルブ２が実線状態に設
定されているときには拡散スクラバー１０を流通し、流
路切替バルブ２が破線状態に設定されているときには拡
散スクラバー２０を流通する。送液ポンプ３により送液
される吸収液は、送液ポンプ１５により送液される吸収
液が流通する拡散スクラバーとは別のもう一方の拡散ス
クラバーを流通する。
１、５２の「実線」ならびに「破線」は、図５における
各バルブの接続状態に対応する。送液ポンプ１５により
送液される吸収液は、流路切替バルブ２が実線状態に設
定されているときには拡散スクラバー１０を流通し、流
路切替バルブ２が破線状態に設定されているときには拡
散スクラバー２０を流通する。送液ポンプ３により送液
される吸収液は、送液ポンプ１５により送液される吸収
液が流通する拡散スクラバーとは別のもう一方の拡散ス
クラバーを流通する。
【００２２】流路切替バルブ流路切替バルブ１１が破線
状態にあるときは、拡散スクラバーからの流出液が濃縮
カラム１４に導入され、分析対象気体が捕捉される。ま
た、流路切替バルブ１１が実線状態にあるときは、予備
運転および分離分析が行われる。すなわち、一方の流路
では、濃縮カラム１４に捕捉された分析対象気体が貯留
槽３６内の溶離液により溶離され、分離カラム３３に送
られる。このとき、他方の流路は予備運転に使用され
る。拡散スクラバー本体１０および２０には、それぞれ
の初回測定（−１と−１）の予備運転開始以降、常
に吸収液といずれかの採取点の試料気体が流通し、サン
プリングに設定されていない拡散スクラバーは常に予備
運転に設定されている。
状態にあるときは、拡散スクラバーからの流出液が濃縮
カラム１４に導入され、分析対象気体が捕捉される。ま
た、流路切替バルブ１１が実線状態にあるときは、予備
運転および分離分析が行われる。すなわち、一方の流路
では、濃縮カラム１４に捕捉された分析対象気体が貯留
槽３６内の溶離液により溶離され、分離カラム３３に送
られる。このとき、他方の流路は予備運転に使用され
る。拡散スクラバー本体１０および２０には、それぞれ
の初回測定（−１と−１）の予備運転開始以降、常
に吸収液といずれかの採取点の試料気体が流通し、サン
プリングに設定されていない拡散スクラバーは常に予備
運転に設定されている。
【００２３】図６における各分析工程の時間設定はこれ
に限定されるものではなく、一採取点でのサンプリング
ならびに分離分析と、他の採取点でのサンプリングなら
びに分離分析とが同時に起こらず、かつ同一の拡散スク
ラバーを利用する採取点に関して、一採取点でのサンプ
リングが終了した後、他の採取点に切り替わる設定であ
ればよい。連続自動運転を行うには、さらに分析工程の
時間を（予備運転）≧（サンプリング＋分離分析）にな
るように設定しなければならない。具体的には、図６を
参照すると、−１の予備運転開始が−１の分離分析
開始以降に、−１のサンプリング終了が−１の分離
分析終了以降になるように（以下同様）、分析工程の切
替えを設定しなければならない。図６のように設定する
と、３０分以降、イオンクロマトグラフは常にサンプリ
ングと分離分析を繰り返すことになり、効率的な測定を
行うことができる。なお前記条件を満たすかぎり、予備
運転時間は延長、短縮が可能である。
に限定されるものではなく、一採取点でのサンプリング
ならびに分離分析と、他の採取点でのサンプリングなら
びに分離分析とが同時に起こらず、かつ同一の拡散スク
ラバーを利用する採取点に関して、一採取点でのサンプ
リングが終了した後、他の採取点に切り替わる設定であ
ればよい。連続自動運転を行うには、さらに分析工程の
時間を（予備運転）≧（サンプリング＋分離分析）にな
るように設定しなければならない。具体的には、図６を
参照すると、−１の予備運転開始が−１の分離分析
開始以降に、−１のサンプリング終了が−１の分離
分析終了以降になるように（以下同様）、分析工程の切
替えを設定しなければならない。図６のように設定する
と、３０分以降、イオンクロマトグラフは常にサンプリ
ングと分離分析を繰り返すことになり、効率的な測定を
行うことができる。なお前記条件を満たすかぎり、予備
運転時間は延長、短縮が可能である。
【００２４】本実施の形態においては４点切替え測定可
能な分析装置について記述したが、４点を超える採取点
の切替えが可能な分析装置の場合についても、切替バル
ブ５１ならびに切替バルブ５２の代りに３点以上の採取
点の切替え機能を有する流路切替装置を接続し、前記分
析工程の時間設定条件を満足する動作シーンケンス設定
すれば容易に作製できる。 （実施例３）次に本発明の第３の実施例について図面を
参照して詳細に説明する。図５を参照し、イオンクロマ
トグラフ、拡散スクラバー、送液ポンプ、サンプリング
ポンプについては、前記第１の実施例で記述したものと
同一のものを同一の条件で使用した場合について説明す
る。分離分析時間の最小許容値Ｔ３ｍｉｎは１０分、予
備運転時間の最小許容値Ｔ１ｍｉｎは２０分と設定し
た。また図５の分析工程の動作シーケンスにおけるサン
プリング時間Ｔ２を１０分に設定した。図７のフローチ
ャートに従ってＴ２を入力すると、測定周期最小許容値
Ｐｍｉｎは８０分と算出された。この値を測定周期Ｐ２
に設定したところ、図５に示すように、予備運転時間が
３０分、分離分析時間が１０分、遅延時間Ｄが２０分と
なった。この設定により測定を行うと、、、、
の各採取点については、それぞれ測定開始から５０分、
７０分、９０分、１１０分後に初回測定値が得られ、そ
の後８０分毎に各採取点での測定値が得られた。
能な分析装置について記述したが、４点を超える採取点
の切替えが可能な分析装置の場合についても、切替バル
ブ５１ならびに切替バルブ５２の代りに３点以上の採取
点の切替え機能を有する流路切替装置を接続し、前記分
析工程の時間設定条件を満足する動作シーンケンス設定
すれば容易に作製できる。 （実施例３）次に本発明の第３の実施例について図面を
参照して詳細に説明する。図５を参照し、イオンクロマ
トグラフ、拡散スクラバー、送液ポンプ、サンプリング
ポンプについては、前記第１の実施例で記述したものと
同一のものを同一の条件で使用した場合について説明す
る。分離分析時間の最小許容値Ｔ３ｍｉｎは１０分、予
備運転時間の最小許容値Ｔ１ｍｉｎは２０分と設定し
た。また図５の分析工程の動作シーケンスにおけるサン
プリング時間Ｔ２を１０分に設定した。図７のフローチ
ャートに従ってＴ２を入力すると、測定周期最小許容値
Ｐｍｉｎは８０分と算出された。この値を測定周期Ｐ２
に設定したところ、図５に示すように、予備運転時間が
３０分、分離分析時間が１０分、遅延時間Ｄが２０分と
なった。この設定により測定を行うと、、、、
の各採取点については、それぞれ測定開始から５０分、
７０分、９０分、１１０分後に初回測定値が得られ、そ
の後８０分毎に各採取点での測定値が得られた。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
クリーンルームなどの清浄な製造環境中の気体汚染物質
の濃度管理を迅速かつ自動的に行うことができる。した
がって半導体製造プロセスの環境の清浄度管理に好適で
あり、清浄度管理に適用することで素子の信頼性、歩留
まりの向上を図ることができる。
クリーンルームなどの清浄な製造環境中の気体汚染物質
の濃度管理を迅速かつ自動的に行うことができる。した
がって半導体製造プロセスの環境の清浄度管理に好適で
あり、清浄度管理に適用することで素子の信頼性、歩留
まりの向上を図ることができる。
【図１】本発明の気体分析装置の一実施例の全体構成図
である。
である。
【図２】図１の気体分析装置による分析工程の動作シー
ケンスである。
ケンスである。
【図３】図２の測定条件設定の流れを示すフローチャー
トである。
トである。
【図４】本発明の気体分析装置の制御部の測定条件設定
画面の概略図である。
画面の概略図である。
【図５】本発明の気体分析装置の一実施例の全体構成図
である。
である。
【図６】図５の気体分析装置による分析工程の動作シー
ケンスである。
ケンスである。
【図７】図６の測定条件設定の流れを示すフローチャー
トである。
トである。
【図８】従来の気体分析装置の全体構成図である。
２、 １１、１７、５１、５２ 流路切替バルブ ３、１５、３１ 送液ポンプ ４ 内管 ５ 外管 ６ 流入口 ７ 流出口 １０、２０ 拡散スクラバー本体 １２、２２ サンプリングポンプ １３、１３ａ、１３ｂ、２３、２３ａ、２３ｂ 吸気口 １４ 濃縮カラム １６、２１ 流量計 ２５、２６ 脱泡器 ３０ イオンクロマトグラフ本体 ３２ ガードカラム ３３ 分離カラム ３４ サプレッサー ３５ 導電率検出器 ３６、４１ 貯留容器 ４２ バルブ ４３ 逆止弁
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成９年６月２５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】本願第３の発明は、気体透過膜チューブ
が、気孔率が４０％以上８０％以下であり、かつ、膜厚
が０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であり、かつ、浸水圧
が０．２ｋｇｆ／ｃｍ2以上であることを特徴とする第
１または２の発明に記載の気体分析装置である。
が、気孔率が４０％以上８０％以下であり、かつ、膜厚
が０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であり、かつ、浸水圧
が０．２ｋｇｆ／ｃｍ2以上であることを特徴とする第
１または２の発明に記載の気体分析装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】拡散スクラバー本体１０および２０を構成
する気体透過性膜チューブは、気孔率が４０％以上８０
％以下であり、かつ、膜厚が０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ
以下であり、かつ、浸水圧（膜を隔てて一方に水、他方
に気体を置き、水に圧力をかけた場合に気体側に水がし
み出さない限界圧力）が０．２ｋｇｆ／ｃｍ2以上であ
ることが好ましい。また、膜厚が薄い方がメモリ効果が
小さく、また気孔率が大きい方が捕集効率が高くなるの
で、膜厚が０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下で、気孔率５
０％以上８０％以下のものがさらに好ましい。
する気体透過性膜チューブは、気孔率が４０％以上８０
％以下であり、かつ、膜厚が０．１ｍｍ以上０．５ｍｍ
以下であり、かつ、浸水圧（膜を隔てて一方に水、他方
に気体を置き、水に圧力をかけた場合に気体側に水がし
み出さない限界圧力）が０．２ｋｇｆ／ｃｍ2以上であ
ることが好ましい。また、膜厚が薄い方がメモリ効果が
小さく、また気孔率が大きい方が捕集効率が高くなるの
で、膜厚が０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ以下で、気孔率５
０％以上８０％以下のものがさらに好ましい。
Claims (7)
- 【請求項１】 試料気体中の分析対象気体を吸収液に捕
集し、該分析対象気体を分析する気体分析装置におい
て、 分析対象気体を含む一部の気体のみを透過する気体透過
膜チューブで作製される内管と、内部に前記内管が挿入
された外管とを有し、一組のジョイントによって前記内
管と前記外管を両端で保持し、前記内管内部に通ずる接
続口と、前記内管と前記外管の間隙に通ずる接続口とを
それぞれ管の両端に有し、前記内管内あるいは前記内管
と前記外管の間隙のいずれか一方の流路を前記吸収液の
流路とし、他方の流路を前記試料気体の流路とする拡散
スクラバー（１０、２０）と、前記拡散スクラバーの試
料気体流路に接続され、前記拡散スクラバーに前記試料
気体を送気するためのサンプリングポンプ（１２、２
２）とを備えた気体採取装置２台と、 一方の気体採取装置の拡散スクラバーに前記吸収液を送
液するための送液ポンプ（３）と、 他方の気体採取装置の拡散スクラバーに前記吸収液を送
液し、該拡散スクラバーから流出した該吸収液を、分析
対象気体の濃縮が可能な吸着材を充填した濃縮カラム
（１４）に導入するための送液ポンプ（１５）と、 送液ポンプ（３）に接続する気体採取装置と、送液ポン
プ（１５）に接続する気体採取装置とを切替えるため
の、流路切替バルブ（２）あるいはこれと同機能を有す
る流路切替え装置と、 濃縮カラム（１４）に捕捉された前記分析対象気体を検
出する検出装置（３３、３５）と、 濃縮カラム（１４）へ前記吸収液を導入し前記分析対象
気体を捕捉濃縮する流路と、濃縮カラム（１４）に捕捉
された前記分析対象気体を検出装置（３３、３５）に導
入する流路とを切替えるための流路切替バルブ（１１）
あるいはこれと同機能を有する流路切替え装置と、から
なることを特徴とする気体分析装置。 - 【請求項２】 気体採取装置の試料気体導入口の上流側
に、試料気体の採取点の切り替えのための流路切替バル
ブを設けたことを特徴とする請求項１に記載の気体分析
装置。 - 【請求項３】 気体透過膜チューブが、気孔率が４０％
以上８０％以下であり、かつ、膜厚が０．１ｍｍ以上
０．５ｍｍ以下であり、かつ、侵水圧が０．２ｋｇｆ／
ｃｍ2以上であることを特徴とする請求項１または２に
記載の気体分析装置。 - 【請求項４】 気体採取装置へ、送液ポンプ（３）によ
り吸収液を送液しながら試料気体を送気し、前記試料気
体中の分析対象気体に関して前記吸収液と前記試料気体
間で平衡状態にする工程ａと、 工程ａの後、気体採取装置の拡散スクラバーから濃縮カ
ラム（１４）へ、送液ポンプ（１５）により吸収液を導
入する工程ｂと、 工程ｂの後、工程ｂにより濃縮カラム（１４）に捕捉さ
れた前記分析対象気体を溶離し、検出装置（３３、３
５）により分析を行う工程ｃと、を順次繰り返して行
う、請求項１から３のいずれかに記載の気体分析装置を
用いた気体分析方法において、 一方の気体採取装置により採取された試料気体について
工程ｂおよび工程ｃを実行している間に、他方の気体採
取装置により採取された試料気体について工程ａを実行
することを特徴とする気体分析方法。 - 【請求項５】 一方の気体採取装置により採取された試
料気体について工程ｃが終了すると同時に他方の気体採
取装置により採取された試料気体について工程ｂが開始
するように制御することを特徴とする請求項４に記載の
気体分析方法。 - 【請求項６】 一方の気体採取装置により採取された試
料気体について工程ｂが終了すると同時に、同一の気体
採取装置で次の分析に係る工程ａが開始し、かつ、該工
程ａが、他方の気体採取装置により採取された試料気体
について工程ｃが終了すると同時に終了するように制御
することを特徴とする請求項４または５に記載の気体分
析方法。 - 【請求項７】 請求項６に記載の気体分析方法を実行す
る気体分析装置であって、工程ａ、ｂ、ｃのそれぞれに
最低限必要な時間として登録された値および所望の測定
周期の入力値をもとに、前記工程ａ、ｂ、ｃの時間を自
動的に算出する機能を有する制御部を備えることを特徴
とする請求項１から３のいずれかに記載の気体分析装
置。
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