JPH1086371A

JPH1086371A - インクジェットプリントヘッド

Info

Publication number: JPH1086371A
Application number: JP24675096A
Authority: JP
Inventors: Masaki Kataoka; 雅樹片岡; Tatsumi Imoto; 達美井本; Yukihisa Koizumi; 幸久小泉; Masahiko Fujii; 雅彦藤井; Atsushi Takagi; 淳高木; Nobuo Kenmochi; 伸夫釼持
Original assignee: Fuji Xerox Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Business Innovation Corp
Priority date: 1996-09-18
Filing date: 1996-09-18
Publication date: 1998-04-07

Abstract

(57)【要約】【課題】樹脂性の流路基板を用いたヘッドにおける組
立性を改善し、より安価で小型、高性能、高品質のイン
クジェットプリントヘッドを提供する。【解決手段】ヒーターチップ１上には複数の発熱体１
１と、発熱体１１に接続された電極１２，１３が形成さ
れ、発熱体１１を覆い、発熱体１１よりインク吐出方向
に延在する発熱体用保護層１４を形成する。この延在部
で放熱を促進する。さらに、発熱体１１よりインク吐出
方向に対して後方と、流路形成部材２の流路溝壁２２と
接合する部分に樹脂層１５を形成する。樹脂製の流路形
成部材２と圧接すると、樹脂層１５との接合が行なわれ
るため、小さな押圧力でよく、容易に接合することがで
きる。また、発熱体１１よりインク吐出方向に樹脂層１
５がないので、発生する気泡による圧力は噴射口２２へ
向かい、効率よくインクを吐出できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、発熱素子の発熱に
よってインク中にバブルを発生させ、そのバブルの圧力
によってインクを飛翔させて記録を行なうサーマル方式
のインクジェットプリントヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、サーマル方式のインクジェットプ
リントヘッドとしてサイドシュータ型が開発されてい
る。このサイドシュータ型は、インク流路の途中に発熱
素子を設け、発熱素子の面と概略平行する方向にインク
を吐出する型のヘッドである。たとえば、特開昭６１−
２３０９５４号公報や、特公平６−９８７５８号公報、
特公平６−９８７６３号公報などに記述されているよう
に、Ｓｉ基板を用い、異方性エッチングによって流路溝
を形成するものや、特開平２−１２１８４３号公報等に
記述されているように樹脂成形によって流路溝を形成す
るものなどが代表的である。

【０００３】樹脂成形によって流路溝を形成する方法
は、流路の設計自由度が高く、部品単価が安価である。
一方で、ヒーターチップと熱膨張に差があるため、長尺
化と組立工程に問題がある。また、ヘッド単位での微細
な組立が必要であり組立方法に多くの課題があった。こ
れらの改善策として、例えば、特開平５−８４６２２号
公報では、天板とヒーターチップの仮り止め後にバネ部
材で押圧する方法が提案されている。この方法は接着剤
を使用する方法に対して加熱する工程を要せず、熱膨張
差に起因した位置ズレが発生しない。しかし、ヒーター
チップ上には配線などがパターニングされており、その
表面には微小な凹凸が存在する。このような凹凸のある
ヒーターチップ面に天板を確実に接合させるためには、
バネ部材は大きな加圧力を発生させる必要があり、その
ため取付作業等に課題を有している。また、ヒーターチ
ップの表面と天板の材質が硬い場合にも同様の課題を有
することになる。

【０００４】また、例えば、特開平７−８９０７３号公
報に提案されているように、ヒーターチップ側に流路壁
に対応する凹部を設け、その凹部に壁部材を嵌合させる
方法もある。しかし、この方法では、凹部を形成するた
めのプロセスが必要となり、プロセスの複雑化と、さら
には高密度化達成への課題となる。

【０００５】サイドシュータ型のヘッドは、噴射効率が
ルーフシュータ型に比べて低いため、噴射効率を向上さ
せるための試みもなされている。例えば、上述の特公平
６−９８７５８号公報や特公平６−９８７６３号公報に
記載されているインクジェットプリントヘッドでは、発
熱素子の上部のみ厚膜絶縁層を除去して凹部を形成して
いる。このような凹部によって発熱素子上に発生する気
泡の形状が安定し、噴射効率を向上させることができ
る。しかし、駆動周波数を高くすると、発熱素子で発生
する熱が十分に放熱されずに蓄熱され、記録ドット径が
安定しなかったり、あるいは気泡が噴射口から抜けて記
録できない等の不具合が発生していた。

【０００６】また、サイドシュータ型のインクジェット
プリントヘッドでは、一般に各発熱素子に対応して個別
の流路を形成するとともに、その個別の流路を共通イン
ク室に連通させ、この共通インク室にインクを外部から
供給している。このとき、各発熱素子に電気信号を供給
するための配線が、共通インク室の後部に引き出される
ため、共通インク室へのインクの供給は、発熱素子の配
列方向側からか、あるいは、発熱素子の配列方向および
インクの吐出方向に直交する側から行なわれている。イ
ンクの流れは共通インク室内で９０゜曲がるため、イン
クの流路抵抗が大きく、個別流路へのインクのリフィル
が効率よく行なえないことがある。また、インクの流れ
が一様でないため、共通インク室内に気泡が滞留して成
長し、個別流路を閉塞して印字不良を引き起こすという
問題があった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した事
情に鑑みてなされたもので、インクジェットヘッドにお
ける組立性を改善し、より安価で小型、高性能、高品質
のインクジェットプリントヘッドを提供することを目的
とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、複数の発熱素子を有するヒーターチップと、該発熱
素子に対応する流路溝を設けた流路形成部材とを圧接し
たインクジェットプリントヘッドにおいて、前記ヒータ
ーチップは、インク吐出方向に対して少なくとも前記発
熱素子より後方部分および隣接する前記流路溝を隔てる
流路溝壁との接合領域が樹脂層で覆われていることを特
徴とするものである。

【０００９】請求項２に記載の発明は、インクジェット
プリントヘッドにおいて、複数の発熱素子を有するヒー
ターチップと、該ヒーターチップに圧接する流路形成部
材と、インクを供給するためのジョイント部材を有し、
前記流路形成部材は、前記発熱素子に対応しインクを噴
射する複数のノズル噴射口と、該ノズル噴射口に対応す
る複数の個別流路溝と、該複数の個別流路溝が連通する
共通インク室用溝と、該共通インク室用溝に連通し前記
ジョイント部材との接合を行なうインク供給管から構成
され、該インク供給管はインク吐出方向に対して鈍角の
角度をもって形成されており、前記ヒーターチップは、
インク吐出方向に対して少なくとも前記発熱素子より後
方部分および隣接する前記流路溝を隔てる流路溝壁との
接合領域が樹脂層で覆われていることを特徴とするもの
である。

【００１０】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２に記載のインクジェットプリントヘッドにおいて、前
記発熱素子を覆う発熱素子保護層を有しており、該発熱
素子保護層は、前記発熱素子の上部からインク吐出方向
に対して前方へ延在していることを特徴とするものであ
る。

【００１１】請求項４に記載の発明は、請求項２に記載
のインクジェットプリントヘッドにおいて、前記ジョイ
ント部材は、前記インク供給管と接合を行なう側では前
記インク供給管の中心と一致し前記インク供給管の内径
とほぼ同一断面の流路を有し、該流路はジョイント部内
で一か所のみでかつ鈍角で屈曲し、該屈曲した部分の前
記インク供給管と接合を行なう側とは反対の側には前記
流路の断面が拡大される領域を有し、該反対の側の流路
端にはフィルタが取り付けられることを特徴とするもの
である。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１ないし図５は、本発明のイン
クジェットプリントヘッドの実施の一形態を示す概略構
成図である。図中、１はヒーターチップ、２は流路形成
部材、１１は発熱体、１２，１３は電極、１４は発熱体
用保護層、１５は樹脂層、２１は流路溝、２２は流路溝
壁、２３は噴射口、２４は共通液室、３１は気泡であ
る。各図とも、発熱体近傍の構成を示している。図３
は、ヒーターチップ１上の発熱体１１とそれに接続され
る電極１２のパターンを示している。図４は、樹脂層１
５のパターンを、図３に示した発熱体１１と電極１２の
パターンに重ねて示している。図１は、図４におけるＹ
１断面図、図２は同じくＹ２断面図、図５は同じくＸ断
面図である。

【００１３】ヒーターチップ１上には、図３に示すよう
に発熱体１１が配列され、インクの吐出方向に対して後
方に個別の電極１２がそれぞれ接続され、前方には複数
の発熱体１１に共通の電極１３が接続されている。発熱
体１１上には、図１に示すように、発熱体用保護層１４
が成膜されている。この発熱体用保護層１４は、発熱体
１１を覆うとともに、噴射口２３の方向へ延在するよう
に設けられている。発熱体用保護層１４としては、Ｔａ
等の熱伝導性に優れた金属などが用いられる。もちろ
ん、直接インクと接するので、耐インク性を有すること
が必要である。あるいは、耐インク性膜を別に施しても
よい。

【００１４】ヒーターチップ１上にはさらに発熱体１１
のインクの吐出方向に対して後方と、流路形成部材２の
流路溝壁２２との接合部分に樹脂層１５が設けられてい
る。すなわち、発熱体１１上から吐出口２３に至るイン
クの流路には、樹脂層１５が設けられていない。図１に
示すように、発熱体１１上で発生した気泡３１は、発熱
体１１の後方の樹脂層１５の側壁によってその成長が規
制され、吐出口２３へ向かう方向に気泡３１の膨張時の
圧力が良好に働くので、熱エネルギーがインクの吐出に
効果的に使用される。また、上述のように発熱体用保護
層１４が吐出口２３の方向に延在しているので、インク
に接する面積が大きく、暖められたヒーターチップの熱
を吐出するインクに良好に逃がすことができる。そのた
め、高速印字を行なっても蓄熱しにくく、蓄熱による印
字欠陥が発生しにくいヘッドが得られる。さらに、樹脂
層１５によって覆われている部分では、樹脂層１５によ
ってインクと遮断されるので、インクによる腐食を防ぐ
ことができる。

【００１５】また、図２に示すように、流路溝壁２２と
の接合面に存在する電極１３の凹凸を樹脂層１５で吸収
することで、接合面の平坦性が良好となる。さらに、樹
脂層１５に軟らかい材料を選択することで弱い加圧力で
充分な接合状態を得ることができる。これにより、ヒー
ターチップ上の平坦性を向上するための研磨やエッチン
グ工程などを追加することなく、流路間での圧力伝搬に
よる印字欠陥が起こらない信頼性の高いヘッドが容易に
作製できる。

【００１６】さらには、図５に示すように、流路溝２１
が浅くても、樹脂層１５の厚みの分だけ大きな流路断面
積が確保できるので、後述する流路形成部材２で最も成
形が困難な流路溝２１の部分を浅い溝でかつ壁部の角度
を大きくとれるため、流路形成部材２の作製が容易とな
る。

【００１７】図６は、本発明のインクジェットプリント
ヘッドの実施の一形態における流路形成部材２のヒータ
ーチップ接合面から見た斜視図、図７は、同じく流路形
成部材２のインク噴射側より見た斜視図である。図中、
図１ないし図５と同様の部分には同じ符号を付してあ
る。２５はインク供給管、２６は接合面、２７は溝、２
８は逃げ部、２９は側方板状部である。

【００１８】この流路形成部材２は、樹脂によって成型
される。流路形成部材２には、複数の流路溝２１と共通
液室２４が設けられており、複数の流路溝２１は共通液
室２４と連通している。図１にも示したように、流路溝
２１と共通液室２４の間には凸部を設けて流路を狭め、
発熱体１１で発生した気泡３１の成長による圧力を共通
液室２４へなるべく伝播させないようにしている。流路
溝２１の共通液室２４との連通部と反対側には、それぞ
れの流路溝２１に対応して図７に示す噴射口２３が設け
られている。共通液室２４内は、各流路溝２１に速やか
にインクを供給し、かつ共通液室２４内に気泡が停滞し
ないように、略扇状の形状となっている。

【００１９】共通液室２４には、インク供給管２５がイ
ンク吐出方向に対して鈍角をなすように直管状に設けら
れている。図８は、ヒーターチップ１と流路溝形成部材
２との概略断面図である。ここで、図８（Ｂ）には、従
来のヘッドと同様にインク供給管２５をインク吐出方向
に対して直角に設けた場合を示している。インク供給管
２５には、図示しないジョイントが接合されるが、この
ジョイントとの接合空間を確保するため、図中ｄで表さ
れる距離が必要である。図８（Ｂ）に示す場合には、結
果として共通液室２４が大きくなり、必然的にヒーター
チップ１との接合領域Ｌ１も大きく取らなければならな
い。しかし、図８（Ａ）に示すようにインク供給管２５
をインク吐出方向に対して鈍角となるように設けた構成
では、ジョイントと接合するための同一の空間ｄを確保
しつつ、ヒーターチップ１との接合領域Ｌ２を小さくで
きる。そのため、ヒーターチップ１およびヘッド全体を
小型化できる。また、インク供給管２５をインク吐出方
向に対して鈍角となるように設けた方が、インクの流れ
はスムースになり、流路抵抗が減少して流路溝２１への
インクのリフィルを円滑に行なうことができる。

【００２０】ヒーターチップ１は、流路溝２１および共
通液室２４を覆うように接合される。流路形成部材２に
は、ヒーターチップ１との接合面２６が、流路溝２１が
形成されている以外の３方に設けられている。接合面２
６には、インク流路溝２１よりも断面積が大きな溝２７
が設けられている。この溝２７は、ヒーターチップ１と
の接合時にインク噴射方向とその逆方向で大気と連通す
るように構成されており、封止剤が毛管力により充填さ
れるようになっている。もちろん、上述のように流路溝
２１の間の流路溝壁２２の頂部もヒーターチップ１との
接合面となる。

【００２１】逃げ部２８は、ヒーターチップ１と外部と
の電気的接続に流路形成部材２が当接しないようにする
ための領域である。また、側方板状部２９は、ヒーター
チップ１の側面をカバーするものである。

【００２２】図９、図１０は、本発明のインクジェット
プリントヘッドの実施の一形態の作製方法の一例を示す
工程図である。図中、３はジョイント、４はヒートシン
ク、４１は発熱素子基板、４２は切断位置、４３は洗浄
液、４４は電気的接続線、４５は仮止め接着剤、５１は
ジョイント固定穴、５２は封止剤注入穴、５３は外部配
線中継基板、６１は封止剤注入穴である。

【００２３】図９（Ａ）において、シリコンウエハ上に
図示しない複数の発熱体１１、および発熱体１１に接続
される電極１２，１３を例えば図３に示すようにＬＳＩ
作製プロセスで形成する。同時に、駆動回路も形成す
る。これを、発熱素子基板４１とする。図９（Ｂ）にお
いて、発熱素子基板４１の表面に、ポリイミドなどの薄
い樹脂層１５を塗布し、パターニングする。これにより
樹脂層１５が形成されるのは、発熱素子基板４１上に形
成される複数のヒーターチップ１のそれぞれについて、
例えば図４に示すように、発熱体１１の後方部分と流路
形成部材２の流路溝壁２２と接合する部分である。

【００２４】図９（Ｃ），（Ｄ）において、発熱素子基
板４１は切断位置４２において例えばダイシング等によ
って切断され、個別のヒーターチップ１となる。切断さ
れたヒーターチップ１は、ダイシング時のダイシング粉
や樹脂層のバリを除去するために、洗浄液４３等によっ
て洗浄され、またバリを除去する工程が実施される。

【００２５】一方、チップ固定用の基板として、チップ
と外部との電気的接続用である外部配線中継基板５３が
Ａｌの表面に形成された一体部品としてヒートシンク４
が作製される。もちろん、ヒートシンク４と外部配線中
継基板５３とが別体であってもよい。ヒートシンク４に
は、ジョイント３を固定するためのジョイント固定穴５
１および封止剤を注入するための封止剤注入穴５２が設
けられている。

【００２６】図１０（Ａ）において、このヒートシンク
４に洗浄されたヒーターチップ１が位置決めされ、銀エ
ポキシ等の熱伝導の良好な接着剤で接合される。図１０
（Ｂ）において、ヒーターチップ１と外部配線中継基板
５３がワイヤボンディングまたはＴＡＢ方法または異方
性導電膜などの電気的接続線４４により接続される。

【００２７】図１０（Ｃ）において、流路形成部材２が
チップ上部と端面に突き当てられた状態で、噴射口側よ
り位置合わせ用マークを観察しながら流路形成部材２を
発熱体１１の並び方向に微小移動させ、発熱体１１と流
路溝２１を位置合わせする。位置合わせした状態で流路
形成部材２をヒーターチップ１に押圧し、その状態で流
路形成部材２の側方板状部２９とヒートシンク４とのす
き間に、例えば瞬間接着剤、ＵＶ接着剤などの仮止め接
着剤４５を塗布し、流路形成部材２をヒートシンク４に
仮止めする。このとき、流路形成部材２が接合するヒー
ターチップ１の面は、樹脂層１５が形成されているので
樹脂同士の接合となり、また、樹脂層１５によってヒー
ターチップ１の表面は平坦になっているので、小さな押
圧力によって十分な接合を得ることができる。

【００２８】図１０（Ｄ）において、流路形成部材２に
インクを供給するためのジョイント３が装着される。こ
のとき、ジョイント３の図示しないピンをヒートシンク
４に設けられたジョイント固定穴５１に挿入し、流路形
成部材２のインク供給管２５に対して突き当てにより位
置決めする。位置決め後、ジョイント３のピンはヒート
シンク４の裏面より熱かしめや接着剤により固定され
る。

【００２９】最後に、ジョイント３のインク噴射口側に
設けられた封止剤注入穴６１およびヒートシンク４の電
気的接続線４４の近傍に設けられた封止剤注入穴５２よ
り、例えばシリコンまたは変性エポキシ樹脂などの封止
剤を注入し、硬化させる。封止剤は封止剤注入穴５２，
６１のいずれか一方からでもよい。注入された封止剤
は、電気的接続線４４の周囲に充填されてこれらを固定
するとともに、図６に示したヒーターチップ１と流路形
成部材２の接合面２６に設けられた溝２７にも侵入し、
インクが漏れ出さないように封止される。封止剤の硬化
によって、流路形成部材２はヒーターチップ１に位置決
めされたまま固定される。このようにして、インクジェ
ットプリントヘッドのアッセンブリが完成する。

【００３０】図１１、図１２は、本発明のインクジェッ
トプリントヘッドの実施の別の形態を示す分解斜視図、
図１３、図１４は、同じく組立斜視図、図１５は、同じ
く断面図である。図中、図１ないし図１０と同様の部分
には同じ符号を付して説明を省略する。５はバネ材、６
２はインク流路、６３はフィルタ、６４は接続部材、７
１は流路形成部材押圧部、７２は爪部、７３は穴部であ
る。

【００３１】バネ材５は、発熱体１１の並び方向に延在
し、流路形成部材２をヒートシンク４へ向けて押圧する
ための流路形成部材押圧部７１と、両側に設けられ、ヒ
ートシンク４の裏側に係止される爪部７２を有してい
る。上述の図１０（Ｃ）の工程において、流路形成部材
２を位置決め後、バネ材５の爪部７２が流路形成部材２
の両側およびヒートシンク４の両側を通過してヒートシ
ンク４の裏側にその弾性力によって係止させる。流路形
成部材押圧部７１は、流路形成部材２に当接し、バネ材
５の弾性力によって流路形成部材２を押圧する。これに
よって、流路形成部材２とヒートシンク４とでヒーター
チップ１を挟むようにして押圧固定する。

【００３２】また、バネ材５の中央部付近には、流路形
成部材２のインク供給管２５とジョイント３との結合を
図るための穴部７３が設けられており、ジョイント３が
装着された状態でこの穴部７３を貫通してインクの供給
路が形成される。もちろん、このバネ材５の形状によっ
ては穴部７３を設ける必要はない。

【００３３】上述の２つの実施の形態に共通したジョイ
ント３の構成について、主に図１５を用いて説明する。
図１５ではバネ材５を用いたインクジェットプリントヘ
ッドを示しているが、先の例のようにバネ材５を用いな
い構成であってもジョイント３として同様の構成とする
ことができる。

【００３４】インク流路６２は、流路形成部材２のイン
ク供給管２５の断面積とほぼ一致しており、その中心線
もジョイント３の装着時にはインク供給管２５の中心線
と略一致するように形成されている。このインク流路６
２は、図示しないインクタンクとのジョイント位置高さ
で鈍角に屈曲されており、その後フィルタ６３の取付位
置前から取付位置までに流路の断面が１０倍以上２０倍
以下に拡大されている。この構成により、インクタンク
とのジョイント部から１回だけ鈍角に屈曲するだけで共
通液室２４へインクを供給することができ、シンプルで
短い流路を構成しているので、インクの流路抵抗を減少
させるとともに、気泡などの滞留しやすい箇所を減少さ
せることができる。また、インク流路６２の断面積をイ
ンク供給管２５の断面積とほぼ同じとし、フィルタ６３
通過後の流路断面積を必要最低限とすることによって、
インク流路６２内のインクの流速が早く、流路内の気泡
が抜けやすくなる。そのため、気泡などによる印字不良
を低減し、印字信頼性の高いインクジェットプリントヘ
ッドを得ることができる。

【００３５】フィルタ６３は、インクタンクが取り外さ
れた状態で大気と接するが、フィルタ６３のメッシュに
形成されるインクのメニスカスによって大気がインク流
路６２内に侵入するのを防ぐ。また、インクタンク装着
時にも、ジョイント部に滞留する空気の侵入を防ぐ。さ
らにインク消費時にも、インクタンクから供給されるイ
ンク中の気泡をトラップしてインク流路６２内への侵入
を防ぐ。しかし、このような空気の侵入を防止するため
には、メッシュの小さなフィルタを用いる必要がある
が、フィルタ６３の取付位置でインク流路６２の断面積
を大きくしているので、メッシュの小さなフィルタを用
いても印字に必要なインク量を供給することが可能とな
る。

【００３６】接続部材６４は、インクタンクと接続され
る部分であり、フィルタ６３の面と鋭角に突出する環状
部を有している。少なくともこの環状部は弾性体によっ
て構成されており、インクタンクの装着によってこの環
状部がインクタンクに当接し、さらに押圧されて弾性変
形し、密閉されたインクタンクからジョイント３へのイ
ンクの供給路を形成する。

【００３７】フィルタ６３および接続部材６４は、ジョ
イント３をヒートシンク４に取り付ける前に、ジョイン
ト部材３に取り付けられている。

【００３８】なお、上述の例では、インクタンクとイン
クジェットプリントヘッドが分離可能な構成を示した
が、両者が一体の構成であってもよい。その場合には接
続部材６４は不要であり、フィルタ６３を介して、ある
いは直接インク流路６２が、インクタンクに連通してい
ればよい。

【００３９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、ヒーターチップのインク吐出
方向に対して発熱体より後方および流路形成部材の流路
溝壁との接合領域で、ヒーターチップが樹脂層で覆われ
ているので、流路形成部材と接合する材質が比較的柔ら
かな樹脂であるため、接合を容易に行なうことができ、
インクジェットプリントヘッドの組立性を改善すること
ができる。また、発熱体のインク吐出方向に対して前方
は樹脂層で覆われていないため、この方向に気泡を成長
させて圧力を有効に利用することができる。さらに、樹
脂層によってインクによる腐食を防ぐことができる。

【００４０】さらに、請求項３に記載の発明のように、
この樹脂層で覆われていない部分まで発熱体の保護層を
延在させることによって、樹脂層で覆われていない部分
が発熱体の放熱領域ともなり、蓄熱を抑えることができ
る。

【００４１】請求項２に記載の発明によれば、さらに共
通液室に連通するインク供給管がインク吐出方向に対し
て鈍角の角度をもって形成されているので、共通液室を
必要最低限に小さくできるので、ヒーターチップを小型
化でき、インクジェットプリントヘッドのコストを安価
にできる。また、ジョイント部を含めたヘッド全体のイ
ンク吐出方向および発熱体の並び方向に直交するキャリ
ッジのスキャン方向の寸法を小さくできるので、特に多
ヘッドを並べた場合にキャリッジスキャン方向で装置全
体の小型化が図れる。さらに、インク供給経路において
インクの流れ方向の変化が少なくなるため、気泡のトラ
ップによる印字欠陥などが発生しにくくなり、信頼性の
高いインクジェットプリントヘッドが得られる。

【００４２】請求項４に記載の発明によれば、さらに、
ジョイント部材内での流路をインク供給管と直線状に配
し、屈曲部を極力減少させて１カ所のみとし、その屈曲
部も鈍角に屈曲するだけとしたので、インクの流速を速
くし、ジョイント部材内の流路での気泡のトラップの発
生しやすい箇所を減少させることができるので、気泡に
よる印字抜けなどの発生しにくいヘッドが得られるとと
もに、請求項２に記載の発明と同様にインクジェットプ
リントヘッド全体の小型化を実現できる。さらに、流路
の断面を拡大してフィルタを取り付け可能に構成したの
で、高密度のフィルタを用いても圧力損失がなく、良好
なインクの供給を行なうことができる。

【００４３】このように、本発明によれば、樹脂製の流
路基板を用いたヘッドにおける組立性を改善し、より安
価で小型、高性能、高信頼性を有するインクジェットプ
リントヘッドを提供することが可能となるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のインクジェットプリントヘッドの実
施の一形態における流路溝部分を含む概略構成断面図で
ある。

【図２】本発明のインクジェットプリントヘッドの実
施の一形態における流路溝壁部分を含む概略構成断面図
である。

【図３】本発明のインクジェットプリントヘッドの実
施の一形態における発熱体および電極のパターンを示す
概略構成平面図である。

【図４】本発明のインクジェットプリントヘッドの実
施の一形態における樹脂層のパターンを示す概略構成平
面図である。

【図５】本発明のインクジェットプリントヘッドの実
施の一形態における発熱体配列方向の概略構成断面図で
ある。

【図６】本発明のインクジェットプリントヘッドの実
施の一形態における流路形成部材２のヒーターチップ接
合面から見た斜視図である。

【図７】本発明のインクジェットプリントヘッドの実
施の一形態における流路形成部材２のインク噴射側より
見た斜視図である。

【図８】ヒーターチップ１と流路溝形成部材２との概
略断面図である。

【図９】本発明のインクジェットプリントヘッドの実
施の一形態の作製方法の一例を示す工程図である。

【図１０】本発明のインクジェットプリントヘッドの
実施の一形態の作製方法の一例を示す工程図（続き）で
ある。

【図１１】本発明のインクジェットプリントヘッドの
実施の別の形態を示す分解斜視図である。

【図１２】本発明のインクジェットプリントヘッドの
実施の別の形態を示す分解斜視図である。

【図１３】本発明のインクジェットプリントヘッドの
実施の別の形態を示す組立斜視図である。

【図１４】本発明のインクジェットプリントヘッドの
実施の別の形態を示す組立斜視図である。

【図１５】本発明のインクジェットプリントヘッドの
実施の別の形態を示す断面図である。

【符号の説明】

１…ヒーターチップ、２…流路形成部材、３…ジョイン
ト、４…ヒートシンク、５…バネ材、１１…発熱体、１
２，１３…電極、１４…発熱体用保護層、１５…樹脂
層、２１…流路溝、２２…流路溝壁、２３…噴射口、２
４…共通液室、２５…インク供給管、２６…接合面、２
７…溝、２８…逃げ部、２９…側方板状部、３１…気
泡、４１…発熱素子基板、４２…切断位置、４３…洗浄
液、４４…電気的接続、４５…仮止め接着剤、５１…ジ
ョイント固定穴、５２…封止剤注入穴、５３…外部配線
中継基板、６１…封止剤注入穴、６２…インク流路、６
３…フィルタ、６４…接続部材、７１…流路形成部材押
圧部、７２…爪部、７３…穴部。

フロントページの続き (72)発明者藤井雅彦神奈川県海老名市本郷2274番地富士ゼロックス株式会社内 (72)発明者高木淳神奈川県海老名市本郷2274番地富士ゼロックス株式会社内 (72)発明者釼持伸夫神奈川県海老名市本郷2274番地富士ゼロックス株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の発熱素子を有するヒーターチップ
と、該発熱素子に対応する流路溝を設けた流路形成部材
とを圧接したインクジェットプリントヘッドにおいて、
前記ヒーターチップは、インク吐出方向に対して少なく
とも前記発熱素子より後方部分および隣接する前記流路
溝を隔てる流路溝壁との接合領域が樹脂層で覆われてい
ることを特徴とするインクジェットプリントヘッド。
【請求項２】複数の発熱素子を有するヒーターチップ
と、該ヒーターチップに圧接する流路形成部材と、イン
クを供給するためのジョイント部材を有し、前記流路形
成部材は、前記発熱素子に対応しインクを噴射する複数
のノズル噴射口と、該ノズル噴射口に対応する複数の個
別流路溝と、該複数の個別流路溝が連通する共通インク
室用溝と、該共通インク室用溝に連通し前記ジョイント
部材との接合を行なうインク供給管から構成され、該イ
ンク供給管はインク吐出方向に対して鈍角の角度をもっ
て形成されており、前記ヒーターチップは、インク吐出
方向に対して少なくとも前記発熱素子より後方部分およ
び隣接する前記流路溝を隔てる流路溝壁との接合領域が
樹脂層で覆われていることを特徴とするインクジェット
プリントヘッド。
【請求項３】前記発熱素子を覆う発熱素子保護層を有
しており、該発熱素子保護層は、前記発熱素子の上部か
らインク吐出方向に対して前方へ延在していることを特
徴とする請求項１または２に記載のインクジェットプリ
ントヘッド。
【請求項４】前記ジョイント部材は、前記インク供給
管と接合を行なう側では前記インク供給管の中心と一致
し前記インク供給管の内径とほぼ同一断面の流路を有
し、該流路はジョイント部内で一か所のみでかつ鈍角で
屈曲し、該屈曲した部分の前記インク供給管と接合を行
なう側とは反対の側には前記流路の断面が拡大される領
域を有し、該反対の側の流路端にはフィルタが取り付け
られることを特徴とする請求項２に記載のインクジェッ
トプリントヘッド。