JPH1084149A - 炭酸ガスレーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、グレーティングを省略してリアミ
ラーの反射率を高め、かつ発振光軸上で１０Ｐラインの
レーザ光を減衰させることにより、９Ｐラインのレーザ
光の生成効率の向上を図る。 【解決手段】 レーザ光を発振するレーザ媒質部（２）
を有し、レーザ媒質部の一端側に配置されてレーザ光を
レーザ媒質部に向けて反射するリアミラー（１１）と、
レーザ媒質部の他端側に配置されて少なくともレーザ光
のうちの９Ｐラインのレーザ光を出射させる出力ミラー
（１２）とを備えた炭酸ガスレーザ装置であって、出力
ミラーとしては、９Ｐ２０ラインのレーザ光で５０％乃
至９５％の反射率を有し、かつ１０Ｐ２０ラインのレー
ザ光で３０％以下の反射率を有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、９Ｐラインのレー
ザ光を出射する炭酸ガスレーザ装置に係わり、特に、出
力ミラーの前段で１０Ｐラインのレーザ光を低減させる
ことにより、９Ｐラインのレーザ光の取出し効率を向上
し得る炭酸ガスレーザ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、パルス励起の炭酸ガスレーザ装
置を用いる技術の例として、レーザ光によりギャップ間
にプラズマを発生させ、主放電を誘起してスイッチ作用
を行なわせるレーザトリガギャップ(LTSG)が知られてい
る。

【０００３】この種のレーザトリガギャップは、例えば
ＳＦ₆ 等の絶縁ガスの雰囲気中に一対の放電電極を互い
に離間させて対向配置させた構造を有し、レーザ光の入
射によりプラズマを発生し、両電極間に絶縁破壊を生じ
させる。但し、絶縁ガスであるＳＦ₆ には１０Ｐライン
のレーザ光を吸収する作用があるため、絶縁破壊には１
０Ｐライン以外のレーザ光を入射することが必要とされ
る。従ってレーザトリガギャップに適用される炭酸ガス
レーザ装置では、１０Ｐライン以外の特定のラインを発
振させる観点からグレーティングが用いられる。

【０００４】すなわち、この種の炭酸ガスレーザ装置で
は、グレーティングをレーザ共振器の発振光軸上に配置
し、かつこのグレーティングと出力ミラーとの角度を変
えることにより、１０Ｐラインのレーザ光を発振光軸上
から除去すると共に、９Ｐラインのレーザ光を発振させ
ている。

【０００５】図９は係る炭酸ガスレーザ装置の構成を示
す模式図である。この炭酸ガスレーザ装置は、レーザ媒
質としての炭酸ガスを両端のウインドウ１ａ，１ｂにて
封入したレーザ媒質部２を有し、このレーザ媒質部２の
一端のウインドウ１ａに対向させてグレーティング３が
配置され、他端のウインドウ１ｂに対向させて出力ミラ
ー４が配置されている。

【０００６】この種の炭酸ガスレーザ装置は、レーザ媒
質が励起されると、グレーティング３と出力ミラー４と
の間でレーザ媒質部２が発振状態となり、レーザ光が出
力ミラー４から出射される。

【０００７】このとき、グレーティング３の角度を適切
に変えることにより、９Ｐライン等の特定の波長のレー
ザ光を出射可能としている。また、他の用途としてはグ
レーティング３により、波長を頻繁に変えることが可能
である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような炭酸ガスレーザ装置は、グレーティング３を有す
るため、波長を頻繁に変える場合には有効であるが、必
要とする波長だけを得る場合、効率とコストとを低下さ
せる問題がある。

【０００９】すなわち、グレーティング３は、発振する
ラインを選択的に出射させる場合には有効であるが、グ
レーティング自体のコストが高いことから、発振するラ
インを固定的に用いる場合には、かなり割高になってし
まう問題がある。

【００１０】また、グレーティング３は、一般に使用さ
れるリアミラーに比べ、反射率が約２０％低いため、レ
ーザ光の生成効率を低下させる問題がある。本発明は上
記実情を考慮してなされたもので、グレーティングを省
略してリアミラーの反射率を高め、かつ発振光軸上で１
０Ｐラインのレーザ光を減衰させることにより、９Ｐラ
インのレーザ光の生成効率を向上し得る炭酸ガスレーザ
装置を提供することを目的とする。また、本発明の第２
の目的は、グレーティングを不使用とした構成により、
低廉化を図り得る炭酸ガスレーザ装置を提供することに
ある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１に対応する発明
は、レーザ光を発振し、少なくとも前記レーザ光のうち
の９Ｐラインのレーザ光を出力ミラーを通して出射する
炭酸ガスレーザ装置であって、前記出力ミラーとして
は、前記９Ｐ２０ラインのレーザ光で５０％乃至９５％
の反射率を有し、かつ１０Ｐ２０ラインのレーザ光で３
０％以下の反射率を有する炭酸ガスレーザ装置である。

【００１２】また、請求項２に対応する発明は、レーザ
光を発振するレーザ媒質部を有し、前記レーザ媒質部の
一端側に配置されて前記レーザ光を前記レーザ媒質部に
向けて反射するリアミラーと、前記レーザ媒質部の他端
側に配置されて少なくとも前記レーザ光のうちの９Ｐラ
インのレーザ光を出射させる出力ミラーとを備えた炭酸
ガスレーザ装置であって、前記リアミラーとしては、前
記９Ｐ２０ラインのレーザ光で９０％以上の反射率を有
し、かつ１０Ｐ２０ラインのレーザ光で３０％以下の反
射率を有する炭酸ガスレーザ装置である。

【００１３】さらに、請求項３に対応する発明は、レー
ザ光を発振するレーザ媒質部を有し、前記レーザ媒質部
の一端側に配置されて少なくとも前記レーザ光のうちの
９Ｐラインのレーザ光を出射させる出力ミラーを備えた
炭酸ガスレーザ装置であって、前記レーザ媒質部と前記
出力ミラーとの間に配置され、前記レーザ光のうち、９
Ｐラインのレーザ光を透過させ、かつ１０Ｐラインのレ
ーザ光を除去するフィルタ部材を備えた炭酸ガスレーザ
装置である。

【００１４】また、請求項４に対応する発明は、請求項
３に対応する炭酸ガスレーザ装置において、前記フィル
タ部材としては、前記９Ｐラインのレーザ光を透過さ
せ、かつ前記１０Ｐラインのレーザ光を反射するコンバ
インドミラーである炭酸ガスレーザ装置である。

【００１５】さらに、請求項５に対応する発明は、請求
項３に対応する炭酸ガスレーザ装置において、前記フィ
ルタ部材としては、前記９Ｐラインのレーザ光を透過さ
せ、かつ前記１０Ｐラインのレーザ光を吸収する光吸収
ガスの充填されてなるガスセルである炭酸ガスレーザ装
置である。

【００１６】また、請求項６に対応する発明は、レーザ
光を発振するレーザ媒質部を有し、前記レーザ媒質部の
一端側に配置されて前記レーザ光を前記レーザ媒質部に
向けて反射するリアミラーと、前記レーザ媒質部の他端
側に配置されて少なくとも前記レーザ光のうちの９Ｐラ
インのレーザ光を透過させる出力ミラーとを備えた炭酸
ガスレーザ装置であって、少なくとも前記レーザ媒質部
及び前記リアミラーを収容するように設けられ、前記レ
ーザ光のうちの１０Ｐラインのレーザ光を吸収する光吸
収ガスの充填された収容部材を備えた炭酸ガスレーザ装
置である。

【００１７】さらに、請求項７に対応する発明は、レー
ザ光を発振するレーザ媒質部を有し、少なくとも前記レ
ーザ光のうちの９Ｐラインのレーザ光を出力ミラーを通
して出射する炭酸ガスレーザ装置であって、前記レーザ
媒質部としては、前記レーザ光のうちの１０Ｐラインの
レーザ光を吸収する光吸収ガスが混入されている炭酸ガ
スレーザ装置である。 （補足説明）請求項１に対応する出力ミラー、請求項２
に対応するリアミラー、請求項４に対応するコンバイン
ドミラーの如き、波長を選択的に反射するミラーは、例
えば、ＺｎＳｅ基板上にＺｎ及びＳｅを交互に１層以上
コーティングして形成可能であり、具体的には、Ｚｎと
Ｓｅとの割合に対応させて光の反射率を波長毎に選択可
能としている。なお、ＺｎＳｅ基板、Ｚｎ層及びＳｅ層
からなる構造には限定されず、例えばＧｅ基板上に波長
選択層を形成するといったように、他の光反射材料を用
いてもよい。

【００１８】請求項５乃至請求項７のいずれか１項に対
応する光吸収ガスは、例えば、電気絶縁性を有し、且つ
９Ｐラインのレーザ光を透過させると共に、１０Ｐライ
ンのレーザ光を吸収するＳＦ₆ が使用可能となってい
る。

【００１９】（作用）従って、請求項１に対応する発明
は以上のような手段を講じたことにより、出力ミラー
が、９Ｐ２０ラインのレーザ光を５０％乃至９５％の範
囲で反射し、１０Ｐ２０ラインのレーザ光を３０％以下
反射するので、グレーティングを省略してリアミラーの
反射率を高め、かつ発振光軸上で１０Ｐラインのレーザ
光を減衰させることにより、９Ｐラインのレーザ光の生
成効率を向上でき、また、グレーティングを不使用とし
た構成により、装置の低廉化を図ることができる。

【００２０】また、請求項２に対応する発明は、リアミ
ラーが、９Ｐ２０ラインのレーザ光を９０％以上反射
し、１０Ｐ２０ラインのレーザ光を３０％以下反射する
ので、前述同様に、９Ｐラインのレーザ光の生成効率を
向上でき、また、装置の低廉化を図ることができる。

【００２１】さらに、請求項３に対応する発明は、フィ
ルタ部材が、レーザ光のうちの９Ｐラインを透過させ、
かつ１０Ｐラインを除去するので、前述同様に、９Ｐラ
インのレーザ光の生成効率を向上でき、また、装置の低
廉化を図ることができる。

【００２２】また、請求項４に対応する発明は、請求項
３に対応するフィルタ部材が、レーザ光のうちの９Ｐラ
インを透過させ、かつ１０Ｐラインを反射するコンバイ
ンドミラーであるため、請求項３に対応する作用と同様
の作用を奏することができる。

【００２３】さらに、請求項５に対応する発明は、請求
項３に対応するフィルタ部材が、レーザ光のうちの９Ｐ
ラインを透過させ、かつ１０Ｐラインのレーザ光を吸収
する光吸収ガスの充填されてなるガスセルであるため、
請求項３に対応する作用と同様の作用を奏することがで
きる。

【００２４】また、請求項６に対応する発明は、レーザ
媒質部を収容する収容部材に充填された光吸収ガスがレ
ーザ光のうちの１０Ｐラインのレーザ光を吸収するの
で、前述同様に、９Ｐラインのレーザ光の生成効率を向
上でき、また、装置の低廉化を図ることができる。

【００２５】さらに、請求項７に対応する発明によれ
ば、レーザ媒質部に混入された光吸収ガスが、レーザ光
のうちの１０Ｐラインのレーザ光を吸収するので、前述
同様に、９Ｐラインのレーザ光の生成効率を向上でき、
また、装置の低廉化を図ることができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。 （第１の実施の形態）図１は本発明の第１の実施の形態
に係る炭酸ガスレーザ装置の構成を示す模式図であり、
図９と同一部分には同一符号を付して詳細に説明する。
この炭酸ガスレーザ装置は、両端に２つのウインドウ１
ａ，１ｂが互いに対向させて設けられ、内部に炭酸ガス
からなるレーザ媒質の封入されてなるレーザ媒質部２を
備えている。このレーザ媒質部２の両端側には、一方の
ウインドウ１ａに対向してリアミラー１１が配置され、
他方のウインドウ１ｂに対向して出力ミラー１２が配置
されている。

【００２７】ここで、リアミラー１１は、９Ｐライン及
び１０Ｐラインのいずれのレーザ光に関しても９７％程
度以上の反射率をもつ銅ミラーが使用される。出力ミラ
ー１２は、図２に示すように、波長９．６μｍのレーザ
光に対して５０％以上の反射率を有し、かつ波長１０．
６μｍのレーザ光に対して３０％以下の反射率をもつよ
うに波長選択膜がコーティングされて形成される。な
お、波長９．６μｍは９Ｐ２０ラインに対応し、波長１
０．６μｍは１０Ｐ２０ラインに対応している。

【００２８】具体的には、出力ミラー１２は、例えばＺ
ｎＳｅ基板上にＺｎ及びＳｅが交互に１層以上コーティ
ングされて形成可能であり、ＺｎとＳｅとの割合にて光
の反射率を波長毎に選択可能となっている。

【００２９】次に、このような炭酸ガスレーザ装置の動
作を説明する。レーザを発振する場合、通常は１０Ｐ２
０ラインのレーザ光が発振される。レーザ媒質部２を励
起すると、出力ミラー１２と、リアミラー１１との間で
誘導放出が生じ、レーザ光が出力ミラー１２から出射さ
れる。

【００３０】このとき、出力ミラー１２では、１０Ｐラ
インよりも９Ｐラインのレーザ光の反射率が高くなるよ
うに形成されているので、レーザ媒質部３の中では１０
Ｐラインの発振が抑制されて９Ｐラインがゲインを得
る。これにより、９Ｐラインの中でゲインの高い９Ｐ２
０ライン付近のレーザ光が優先的に出射される。

【００３１】上述したように第１の実施の形態によれ
ば、出力ミラー１２が、９Ｐ２０ラインのレーザ光を５
０％以上反射し、１０Ｐ２０ラインのレーザ光を３０％
以下反射するので、従来とは異なり、グレーティング３
を省略してリアミラー１１の反射率を高め、かつ発振光
軸上で１０Ｐラインのレーザ光を減衰させることによ
り、９Ｐラインのレーザ光の生成効率を向上させること
ができる。

【００３２】また、グレーティング３を不使用とした構
成により、装置の低廉化を図ることができる。 （第２の実施の形態）次に、本発明の第２の実施の形態
に係る炭酸ガスレーザ装置について説明する。

【００３３】図３はこの炭酸ガスレーザ装置の構成を示
す模式図であり、図９と同一部分には同一符号を付して
その詳しい説明は省略し、ここでは異なる部分について
のみ述べる。

【００３４】すなわち、本実施の形態装置は、第１の実
施の形態と同様に、グレーティングを省略すると共に、
１０Ｐラインの発振を抑制して９Ｐラインの発振を促進
するものであり、具体的には、図３に示すように、グレ
ーティング３に代えて、リアミラー１３を備えている。

【００３５】ここで、リアミラー１３は、図４に示すよ
うに、波長９．６μｍのレーザ光に対して９０％以上の
反射率を有し、かつ波長１０．６μｍのレーザ光に対し
て３０％以下の反射率をもつように前述同様に波長選択
膜がコーティングされて形成される。

【００３６】なお、出力ミラー４は、図１に示したもの
とは異なり、一般的な従来の出力ミラー４が使用されて
いる。次に、このような構造としても、リアミラー１３
と出力ミラー４との間の発振光軸上にてリアミラー１３
が、１０Ｐラインのレーザ光よりも９Ｐラインのレーザ
光を多く反射するので、レーザ媒質部２の中では１０Ｐ
ラインの発振が抑制されて９Ｐラインがゲインを得る。
これにより、前述同様に、９Ｐラインの中でゲインの高
い９Ｐ２０ライン付近のレーザ光が優先的に出射され
る。

【００３７】上述したように第２の実施の形態によれ
ば、リアミラー１３が、９Ｐ２０ラインのレーザ光を９
０％以上反射し、１０Ｐ２０ラインのレーザ光を３０％
以下反射するので、第１の実施の形態と同様に、９Ｐラ
インのレーザ光の生成効率を向上でき、また、装置の低
廉化を図ることができる。 （第３の実施の形態）次に、本発明の第３の実施の形態
に係る炭酸ガスレーザ装置について説明する。

【００３８】図５はこの炭酸ガスレーザ装置の構成を示
す模式図であり、図１及び図９と同一部分には同一符号
を付してその詳しい説明は省略し、ここでは異なる部分
についてのみ述べる。

【００３９】すなわち、本実施の形態装置は、第１の実
施の形態と同様に、グレーティング３を省略すると共
に、１０Ｐラインの発振を抑制して９Ｐラインの発振を
促進するものであり、具体的には、図５に示すように、
グレーティング３に代えて、リアミラー１１を備え、か
つ、従来の出力ミラー４とレーザ媒質部２との間にコン
バインドミラー１４を設けている。

【００４０】ここで、リアミラー１１は、第１の実施の
形態と同様の銅ミラーが使用される。コンバインドミラ
ー１４は、９Ｐラインのレーザ光を透過させ、１０Ｐラ
インのレーザ光を反射させるようにコーティングが施さ
れており、かつ、反射光軸を発振光軸から外すようにレ
ーザ媒質部２及び出力ミラー４に対してわずかに斜めを
向いて対向配置されている。

【００４１】このような構造としても、リアミラー１１
と出力ミラー４との間の発振光軸上にてコンバインドミ
ラー１４が９Ｐラインのレーザ光を透過させると共に、
１０Ｐラインのレーザ光を発振光軸から外すように反射
するので、レーザ媒質部２の中では１０Ｐラインの発振
が抑制されて９Ｐラインがゲインを得る。これにより、
前述同様に、９Ｐラインの中でゲインの高い９Ｐ２０ラ
イン付近のレーザ光が優先的に出射される。

【００４２】上述したように第３の実施の形態によれ
ば、発振光軸上のコンバインドミラー１４が、レーザ光
のうちの９Ｐラインを透過させ、かつ１０Ｐラインを除
去するので、第１の実施の形態と同様に、９Ｐラインの
レーザ光の生成効率を向上でき、また、装置の低廉化を
図ることができる。 （第４の実施の形態）次に、本発明の第４の実施の形態
に係る炭酸ガスレーザ装置について説明する。

【００４３】図６はこの炭酸ガスレーザ装置の構成を示
す模式図であり、図１及び図９と同一部分には同一符号
を付してその詳しい説明は省略し、ここでは異なる部分
についてのみ述べる。

【００４４】すなわち、本実施の形態装置は、第１の実
施の形態と同様に、グレーティングを省略すると共に、
１０Ｐラインの発振を抑制して９Ｐラインの発振を促進
するものであり、具体的には、図６に示すように、グレ
ーティング３に代えて、リアミラー１１を備え、かつ、
出力ミラー４とレーザ媒質部２との間にガスセル２０を
設けている。

【００４５】ここで、リアミラー１１は、第１の実施の
形態と同様の銅ミラーが使用される。ガスセル２０は、
９Ｐラインのレーザ光を透過させ、１０Ｐラインのレー
ザ光を吸収する光吸収ガスが封入された容器であり、か
つ、発振光軸上の容器側壁にはウインドウ２１ａ，２１
ｂが取付けられている。なお、光吸収ガスは、ここでは
ＳＦ₆ ガスが使用されている。

【００４６】このような構造としても、リアミラー１１
と出力ミラー４との間の発振光軸上にてガスセル２０が
９Ｐラインのレーザ光を透過させると共に、１０Ｐライ
ンのレーザ光を吸収するので、前述同様に、レーザ媒質
部２の中では１０Ｐラインの発振が抑制される一方、９
Ｐラインがゲインを得る。これにより、９Ｐラインの中
でゲインの高い９Ｐ２０ライン付近のレーザ光が優先的
に出射される。

【００４７】上述したように第４の実施の形態によれ
ば、ガスセル２０に充填された光吸収ガスがレーザ光の
うちの９Ｐラインを透過させ、かつ１０Ｐラインのレー
ザ光を吸収するので、第３の実施の形態と同様に、９Ｐ
ラインのレーザ光の生成効率を向上でき、また、装置の
低廉化を図ることができる。 （第５の実施の形態）次に、本発明の第５の実施の形態
に係る炭酸ガスレーザ装置について説明する。

【００４８】図７はこの炭酸ガスレーザ装置の構成を示
す模式図であり、図１及び図９と同一部分には同一符号
を付してその詳しい説明は省略し、ここでは異なる部分
についてのみ述べる。

【００４９】すなわち、本実施の形態装置は、第１の実
施の形態と同様に、グレーティング３を省略すると共
に、１０Ｐラインの発振を抑制して９Ｐラインの発振を
促進するものであり、具体的には、図７に示すように、
グレーティング３に代えて、リアミラー１１を備え、か
つ、レーザ媒質部２及びリアミラー１１を収容するよう
に収容部材２２が設けられている。

【００５０】ここで、収容部材２２は、リアミラー１１
から見てレーザ媒質部２を通過した延長線上（発振光軸
上）に出力ミラー４を有しており、かつ、レーザ光のう
ちの１０Ｐラインのレーザ光を吸収する光吸収ガスとし
てのＳＦ₆ ガス２３が封入されている。なお、ＳＦ₆ ガ
ス２３は、１０Ｐラインの光吸収作用に加え、電気絶縁
作用を有する。

【００５１】このような構造としても、リアミラー１１
と出力ミラー４との間の発振光軸上にてＳＦ₆ ガス２３
が９Ｐラインのレーザ光を透過させると共に、１０Ｐラ
インのレーザ光を吸収するので、前述同様に、レーザ媒
質部２の中では１０Ｐラインの発振が抑制される一方、
９Ｐラインがゲインを得る。これにより、９Ｐラインの
中でゲインの高い９Ｐ２０ライン付近のレーザ光が優先
的に出射される。

【００５２】また、ＳＦ₆ ガス２３にてレーザ媒質部２
を覆っているので、レーザ媒質部２内の放電部に電圧を
供給するための電源部の絶縁性を向上させることができ
る。上述したように第５の実施の形態によれば、レーザ
媒質部２を収容する収容部材２２に充填されたＳＦ₆ ガ
スがレーザ光のうちの１０Ｐラインのレーザ光を吸収す
るので、第４の実施の形態と同様に、９Ｐラインのレー
ザ光の生成効率を向上でき、また、装置の低廉化を図る
ことができることに加え、さらに、ＳＦ₆ ガスが良好な
電気絶縁性を有することにより、信頼性の向上を図るこ
とができる。 （第６の実施の形態）次に、本発明の第６の実施の形態
に係る炭酸ガスレーザ装置について説明する。

【００５３】図８はこの炭酸ガスレーザ装置の構成を示
す模式図であり、図１及び図９と同一部分には同一符号
を付してその詳しい説明は省略し、ここでは異なる部分
についてのみ述べる。

【００５４】すなわち、本実施の形態装置は、第１の実
施の形態と同様に、グレーティング３を省略すると共
に、１０Ｐラインの発振を抑制して９Ｐラインの発振を
促進するものであり、具体的には、図８に示すように、
グレーティング３に代えて、リアミラー１１を備え、か
つ、炭酸ガスの封入されてなるレーザ媒質部２に、前述
した光吸収ガスとしてのＳＦ₆ ガス２３が一部混入され
ている。

【００５５】このような構造としても、レーザ媒質部２
の中では一部混入されたＳＦ₆ ガス２３が９Ｐラインの
レーザ光を透過させると共に、１０Ｐラインのレーザ光
を吸収するので、レーザ媒質部２の中では１０Ｐライン
の発振が抑制される一方、９Ｐラインがゲインを得る。
これにより、９Ｐラインの中でゲインの高い９Ｐ２０ラ
イン付近のレーザ光が優先的に出射される。

【００５６】上述したように第６の実施の形態によれ
ば、レーザ媒質部２に混入されたＳＦ₆ ガスが、レーザ
光のうちの１０Ｐラインのレーザ光を吸収するので、第
４の実施の形態と同様に、９Ｐラインのレーザ光の生成
効率を向上でき、また、装置の低廉化を図ることができ
る。 （他の実施の形態）なお、上記第１乃至第３の実施の形
態では、出力ミラー１２、リアミラー１３及びコンバイ
ンドミラー１４の構造としてＺｎＳｅ基板上にＺｎとＳ
ｅとを交互に積層させる場合を説明したが、これに限ら
ず、Ｇｅ基板の如き、他の光反射材料を用いた構成とし
ても、本発明を同様に実施して同様の効果を得ることが
できる。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で
種々変形して実施できる。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明によ
れば、出力ミラーが、９Ｐ２０ラインのレーザ光を５０
％乃至９５％の範囲で反射し、１０Ｐ２０ラインのレー
ザ光を３０％以下反射するので、グレーティングを省略
してリアミラーの反射率を高め、かつ発振光軸上で１０
Ｐラインのレーザ光を減衰させることにより、９Ｐライ
ンのレーザ光の生成効率を向上でき、また、グレーティ
ングを不使用とした構成により、装置の低廉化を図り得
る炭酸ガスレーザ装置を提供できる。

【００５８】また、請求項２の発明によれば、リアミラ
ーが、９Ｐ２０ラインのレーザ光を９０％以上反射し、
１０Ｐ２０ラインのレーザ光を３０％以下反射するの
で、前述同様に、９Ｐラインのレーザ光の生成効率を向
上でき、また、装置の低廉化を図り得る炭酸ガスレーザ
装置を提供できる。

【００５９】さらに、請求項３の発明によれば、フィル
タ部材が、レーザ光のうち、９Ｐラインのレーザ光を透
過させ、１０Ｐラインのレーザ光を除去するので、前述
同様に、９Ｐラインのレーザ光の生成効率を向上でき、
また、装置の低廉化を図り得る炭酸ガスレーザ装置を提
供できる。

【００６０】また、請求項４の発明によれば、請求項３
に対応するフィルタ部材が、９Ｐラインのレーザ光を透
過させ、１０Ｐラインのレーザ光を反射するコンバイン
ドミラーであるため、請求項３と同様の効果を奏する炭
酸ガスレーザ装置を提供できる。

【００６１】さらに、請求項５の発明によれば、請求項
３に対応するフィルタ部材が、９Ｐラインのレーザ光を
透過させ、１０Ｐラインのレーザ光を吸収する光吸収ガ
スの充填されてなるガスセルであるため、請求項３と同
様の効果を奏する炭酸ガスレーザ装置を提供できる。

【００６２】また、請求項６の発明によれば、レーザ媒
質部を収容する収容部材に充填された光吸収ガスがレー
ザ光のうちの１０Ｐラインのレーザ光を吸収するので、
前述同様に、９Ｐラインのレーザ光の生成効率を向上で
き、また、装置の低廉化を図り得る炭酸ガスレーザ装置
を提供できる。

【００６３】さらに、請求項７に対応する発明によれ
ば、レーザ媒質部に混入された光吸収ガスが、レーザ光
のうちの１０Ｐラインのレーザ光を吸収するので、前述
同様に、９Ｐラインのレーザ光の生成効率を向上でき、
また、装置の低廉化を図り得る炭酸ガスレーザ装置を提
供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る炭酸ガスレー
ザ装置の構成を示す模式図。

【図２】同実施の形態における出力ミラーの反射率の波
長依存性を示す特性図。

【図３】本発明の第２の実施の形態に係る炭酸ガスレー
ザ装置の構成を示す模式図。

【図４】同実施の形態におけるリアミラーの反射率の波
長依存性を示す特性図。

【図５】本発明の第３の実施の形態に係る炭酸ガスレー
ザ装置の構成を示す模式図。

【図６】本発明の第４の実施の形態に係る炭酸ガスレー
ザ装置の構成を示す模式図。

【図７】本発明の第５の実施の形態に係る炭酸ガスレー
ザ装置の構成を示す模式図。

【図８】本発明の第６の実施の形態に係る炭酸ガスレー
ザ装置の構成を示す模式図。

【図９】従来の炭酸ガスレーザ装置の構成を示す模式
図。

【符号の説明】

１ａ，１ｂ，２１ａ，２１ｂ…ウインドウ。 ２…レーザ媒質部。 １１，１３…リアミラー １２…出力ミラー。 １４…コンバインドミラー。 ２０…ガスセル。 ２２…収容部材。 ２３…ＳＦ₆ ガス。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光を発振し、少なくとも前記レー
   ザ光のうちの９Ｐラインのレーザ光を出力ミラーを通し
   て出射する炭酸ガスレーザ装置であって、 前記出力ミラーは、前記９Ｐ２０ラインのレーザ光で５
   ０％乃至９５％の反射率を有し、かつ１０Ｐ２０ライン
   のレーザ光で３０％以下の反射率を有することを特徴と
   する炭酸ガスレーザ装置。
2. 【請求項２】 レーザ光を発振するレーザ媒質部を有
   し、前記レーザ媒質部の一端側に配置されて前記レーザ
   光を前記レーザ媒質部に向けて反射するリアミラーと、
   前記レーザ媒質部の他端側に配置されて少なくとも前記
   レーザ光のうちの９Ｐラインのレーザ光を出射させる出
   力ミラーとを備えた炭酸ガスレーザ装置であって、 前記リアミラーは、前記９Ｐ２０ラインのレーザ光で９
   ０％以上の反射率を有し、かつ１０Ｐ２０ラインのレー
   ザ光で３０％以下の反射率を有することを特徴とする炭
   酸ガスレーザ装置。
3. 【請求項３】 レーザ光を発振するレーザ媒質部を有
   し、前記レーザ媒質部の一端側に配置されて少なくとも
   前記レーザ光のうちの９Ｐラインのレーザ光を出射させ
   る出力ミラーを備えた炭酸ガスレーザ装置であって、 前記レーザ媒質部と前記出力ミラーとの間に配置され、
   前記レーザ光のうち、９Ｐラインのレーザ光を透過さ
   せ、かつ１０Ｐラインのレーザ光を除去するフィルタ部
   材を備えたことを特徴とする炭酸ガスレーザ装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の炭酸ガスレーザ装置に
   おいて、 前記フィルタ部材は、前記９Ｐラインのレーザ光を透過
   させ、かつ前記１０Ｐラインのレーザ光を反射するコン
   バインドミラーであることを特徴とする炭酸ガスレーザ
   装置。
5. 【請求項５】 請求項３に記載の炭酸ガスレーザ装置に
   おいて、 前記フィルタ部材は、前記９Ｐラインのレーザ光を透過
   させ、かつ前記１０Ｐラインのレーザ光を吸収する光吸
   収ガスの充填されてなるガスセルであることを特徴とす
   る炭酸ガスレーザ装置。
6. 【請求項６】 レーザ光を発振するレーザ媒質部を有
   し、前記レーザ媒質部の一端側に配置されて前記レーザ
   光を前記レーザ媒質部に向けて反射するリアミラーと、
   前記レーザ媒質部の他端側に配置されて少なくとも前記
   レーザ光のうちの９Ｐラインのレーザ光を透過させる出
   力ミラーとを備えた炭酸ガスレーザ装置であって、 少なくとも前記レーザ媒質部及び前記リアミラーを収容
   するように設けられ、前記レーザ光のうちの１０Ｐライ
   ンのレーザ光を吸収する光吸収ガスの充填された収容部
   材を備えたことを特徴とする炭酸ガスレーザ装置。
7. 【請求項７】 レーザ光を発振するレーザ媒質部を有
   し、少なくとも前記レーザ光のうちの９Ｐラインのレー
   ザ光を出力ミラーを通して出射する炭酸ガスレーザ装置
   であって、 前記レーザ媒質部は、前記レーザ光のうちの１０Ｐライ
   ンのレーザ光を吸収する光吸収ガスが混入されているこ
   とを特徴とする炭酸ガスレーザ装置。