JPH1076462A - ポリッシング装置 - Google Patents

ポリッシング装置

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JPH1076462A
JPH1076462A JP25385096A JP25385096A JPH1076462A JP H1076462 A JPH1076462 A JP H1076462A JP 25385096 A JP25385096 A JP 25385096A JP 25385096 A JP25385096 A JP 25385096A JP H1076462 A JPH1076462 A JP H1076462A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 外部の液体が侵入することなく、摺動抵抗が
小さく、構造が簡単な搬送ロボットを具備するポリッシ
ング装置を提供する。 【解決手段】 ポリッシング装置に使用するウエハ搬送
ロボットの関節部３５に関節部３５の内部への水の侵入
を防止する無給油滑りドライシール４１を取り付ける。
またポリッシング装置に使用するウエハ搬送ロボットの
関節部のシール機構によるシールの位置をロボット本体
の上面に溜る液体の最も高くなる表面よりもさらに高い
位置に設置する。またポリッシング装置に使用するウエ
ハ搬送ロボットの関節部に関節部の内部への水の侵入を
防止するシール機構を設け、アームの所定位置にはアー
ム内の気圧を外部の気圧と同等にする気抜き孔を設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はポリッシング装置に
関するものである。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】半導体ウエハの製造工
程においては、半導体ウエハ表面を平坦且つ鏡面化する
ためにポリッシング装置が使用されている。
【０００３】図６は本願出願人が発明したポリッシング
装置の内部の全体構成を示す概略平断面図である。
【０００４】同図に示すように、ポリッシング装置はポ
リッシング部１３０と洗浄部１５０とから構成されてい
る。
【０００５】ポリッシング部１３０は、その中央にター
ンテーブル１３３を配置し、その両側にトップリング１
３５を取り付けたポリッシングユニット１３７と、ドレ
ッシングツール１３９を取り付けたドレッシングユニッ
ト１４１を配置し、さらにポリッシングユニット１３７
の横にワーク受渡装置１４３を設置して構成されてい
る。
【０００６】一方洗浄部１５０は、その中央に矢印Ｇ方
向に移動可能な２台の搬送ロボット１，１を設置し、そ
の一方側に１次・２次洗浄機１５５，１５７とスピン乾
燥機（又は洗浄機能付き乾燥機）１５９を並列に配設
し、他方側に２つのワーク反転機１６１，１６３を並列
に配設して構成されている。
【０００７】そして研磨前の半導体ウエハを収納したカ
セット１６５が、図６に示す位置にセットされると、図
の右側の搬送ロボット１が該カセット１６５から半導体
ウエハを１枚ずつ取り出してワーク反転機１６３に受け
渡して反転する。さらに該半導体ウエハは、反転機１６
３から図の左側の搬送ロボット１に受け渡されてポリッ
シング部１３０のワーク受渡装置１４３に搬送される。
【０００８】ワーク受渡装置１４３上の半導体ウエハ
は、一点鎖線の矢印で示すように回動するポリッシング
ユニット１３７のトップリング１３５下面に保持されて
ターンテーブル１３３上に移動され、回転するターンテ
ーブル１３３の研磨面１３４上で研磨される。
【０００９】研磨後の半導体ウエハは、再びワーク受渡
装置１４３に戻され、図の左側の搬送ロボット１によっ
てワーク反転機１６１に受け渡されて純水で洗浄されな
がら反転された後、１次・２次洗浄機１５５，１５７で
洗浄液や純水で洗浄され、その後、スピン乾燥機（又は
洗浄機能付き乾燥機）１５９でスピン乾燥され、図の右
側の搬送ロボット１によって元のカセット１６５に戻さ
れる。
【００１０】なおドレッシングユニット１４１は、トッ
プリング１３５による半導体ウエハの研磨終了後、一点
鎖線の矢印で示すようにターンテーブル１３３上に移動
し、回転するドレッシングツール１３９を回転するター
ンテーブル１３３の研磨面１３４に押し付け、研磨面１
３４の目立て・再生を行なう。
【００１１】ここで図７は前記洗浄部１５０内における
搬送ロボット１，１の動作説明図である。また図８は搬
送ロボット１の要部概略側面図である（但しハンド取付
部材３３先端のハンドの記載は省略している）。
【００１２】両図に示すように搬送ロボット１，１は、
いずれも略円柱状に形成されたロボット本体１０の上面
に２組のアーム機構２１，２１を取り付けて構成されて
いる。
【００１３】これらアーム機構２１，２１はいずれも２
つの関節部３５，３７を介して２本のアーム２５，２７
を取り付け、さらに上側のアーム２７に関節部３８を介
してハンド取付部材３３を取り付けて構成されている。
ハンド取付部材３３の先端には、図７に示すように半導
体ウエハを保持するハンド（保持機構）５０，５１，５
２，５３が取り付けられている。なおハンド５０とハン
ド５１は上下に重なるように配置され、ハンド５２とハ
ンド５３も上下に重なるように配置されている。
【００１４】また３つのハンド５０，５１，５３は、い
ずれもその表面に半導体ウエハを載置して保持するタイ
プのハンドであり、もう１つのハンド５２はその表面に
半導体ウエハを真空吸着して保持する真空吸着機構を具
備するハンドである。なお装置によってはハンド５０に
も真空吸着機構を設ける場合がある。
【００１５】そしてこの搬送ロボット１，１の詳細な動
作を図７によって説明すると、カセット１６５からワー
ク反転機１６３への半導体ウエハの受け渡しはハンド５
２、ワーク反転機１６３からワーク受渡装置１４３（図
６参照）への受け渡しはハンド５０、ワーク受渡装置１
４３からワーク反転機１６１への受け渡しはハンド５
１、ワーク反転機１６１から１次洗浄機１５５への受け
渡しはハンド５１、１次洗浄機１５５から２次洗浄機１
５７への受け渡しはハンド５０、２次洗浄機１５７から
スピン乾燥機（又は洗浄機能付き乾燥機）１５９への受
け渡しはハンド５３、スピン乾燥機１５９からカセット
１６５への受け渡しはハンド５２によって行なわれる。
【００１６】ところで研磨後の半導体ウエハは研磨液が
付着しており、また研磨後の半導体ウエハの反転・洗浄
工程では洗浄液や純水が使用されるため該半導体ウエハ
には液体が付着しており、アーム機構２１，２１を駆動
した際に該水が半導体ウエハやハンド５０，５１，５３
から落下してロボット本体１０や各アーム２５，２７の
上面に溜ることがある。
【００１７】そしてこの溜水３９の量が増えて図８に斜
線で示すように関節部３５の周囲を満たすようになる
と、関節部３５に形成される隙間からロボット本体１０
内やアーム２５内に液体が侵入し、ロボット内部を腐食
するという問題点があった。
【００１８】一方前記ハンド５２のように真空吸着機構
を備えた搬送ロボット１の場合、該真空吸着機構を駆動
するための真空経路はロボット本体１０の内部から各ア
ーム２５，２７の内部と関節部３５，３７，３８の内部
を通してハンド５２まで伝達される。
【００１９】しかしながらアーム２５の内部における真
空経路にリークが生じたような場合、該アーム２５内部
の真空度が高くなってしまう。このとき関節部３５がシ
ールされていても、ほんのわずかながら隙間が生じる場
合があり、完全にリークを止めることができなければ、
もしこのとき図８に示すように関節部３５の周囲を満た
す溜水３９があると、リークによる吸引力によって溜水
３９が関節部３５内部に吸い込まれてしまい、アーム２
５やロボット本体１０内部を腐食する恐れがあった。
【００２０】一方この欠点を防止するために、アーム２
５内部に外気圧よりも高い圧力を加えることによって侵
入してくる溜水３９を外部に噴出する方法もあるが、こ
の方法の場合、該液体と一緒にロボット内部の異物も噴
出されて逆にアーム２５の外部及びポリッシング対象物
や他の装置（洗浄機など）を汚してしまう恐れがあっ
た。
【００２１】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
ありその目的は、外部の液体が侵入することなく、摺動
抵抗が小さく、構造の簡単な搬送ロボットを具備するポ
リッシング装置を提供することにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本願第１発明は、少なくともポリッシング対象物を保
持するトップリングと該トップリングに保持したポリッ
シング対象物の表面を研磨する研磨面を有するターンテ
ーブルとを有してなるポリッシング部と、少なくとも前
記ポリッシング部において研磨されたポリッシング対象
物を洗浄する洗浄機と前記トップリングとの間でポリッ
シング対象物の受け渡しを行なって該ポリッシング対象
物を前記洗浄機に搬送する搬送ロボットとを有してなる
洗浄部とを具備するポリッシング装置において、前記搬
送ロボットをロボット本体に１又は２以上の関節部を介
して１又は２以上のアームを取り付け該アームの所定位
置に前記ポリッシング対象物を保持する保持機構を取り
付けて構成し、さらに前記関節部には該関節部の内部へ
の水の侵入を防止するシール機構を取り付けることとし
た。また本願第２発明は、前記ポリッシング装置におい
て、前記搬送ロボットをロボット本体に１又は２以上の
関節部を介して１又は２以上のアームを取り付け該アー
ムの所定位置に前記ポリッシング対象物を保持する保持
機構を取り付けて構成し、さらに前記関節部には該関節
部の内部への水の侵入を防止するシール機構を設け、且
つ該シール機構によるシールの位置を関節部の下側に位
置するロボット本体又はアームの上面に溜る液体の最も
高くなる表面よりもさらに高い位置に設置した。また本
願第３発明は、前記ポリッシング装置において、前記搬
送ロボットをロボット本体に１又は２以上の関節部を介
して１又は２以上のアームを取り付け該アームの所定位
置に真空吸着機構によってポリッシング対象物を保持す
る保持機構を取り付けロボット本体から関節部の内部と
アームの内部を通して真空吸着機構に到る真空経路を設
け、前記関節部には該関節部の内部への水の侵入を防止
するシール機構を設け、さらに前記アームの所定位置に
は該アーム内の気圧を外部の気圧と同等にする気抜き孔
を設けることとした。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本願の第１，第２，第３発
明のそれぞれの実施形態を図面に基づいて詳細に説明す
る。
【００２４】〔第１発明の実施形態〕図１は本発明の一
実施形態を適用した関節部３５の内部構造を示す要部拡
大断面図であり、図８に示すＡ部分の拡大断面図であ
る。
【００２５】同図に示すようにこの関節部３５は、ロボ
ット本体１０とアーム２５の間にベアリング機構６１を
設け、これによってロボット本体１０に対してアーム２
５を回動自在に支持して構成されている。ベアリング機
構６１の内側には、ロボット本体１０からアーム２５に
その駆動動力を伝達する図示しない駆動機構などが貫通
している。
【００２６】一方、ベアリング機構６１の外側のロボッ
ト本体１０側には本発明にかかる無給油滑りドライシー
ル４１が取り付けられている。
【００２７】この無給油滑りドライシール４１は摩耗と
摺動摩擦が少ないプラスチック材料、例えばフッ素樹脂
でリング状であってその先端をテーパー状に絞ってその
内径を小さくすることで摺動部４２を形成して構成され
ている。この無給油滑りドライシール４１の下端はロボ
ット本体１０に固定されている。
【００２８】一方アーム２５側からは円筒状の摺接突起
２６が突設されている。
【００２９】そして前記無給油滑りドライシール４１の
摺接部４２の先端は、前記摺接突起２６の外周側面に密
着して摺接せしめられており、これによって両者間は確
実にシールされている。しかもこの無給油滑りドライシ
ール４１はフッ素樹脂を用いているのでＯリングを用い
た場合に比較してその摺動抵抗が小さい。
【００３０】この構造は関節部３７，３８においても同
様である。即ち図８に示すＢ，Ｃ部分も前記図１に示す
構造と同様の構造になっており、それぞれ無給油滑りド
ライシール４１が取り付けられている。
【００３１】以上のように構成すれば、図８に示す溜水
３９の量が増えて関節部３５の部分が覆われて、該溜水
３９が関節部３５の部分からロボット本体１０内部とア
ーム部２５内部に侵入しようとしても、図１に示すよう
に無給油滑りドライシール４１と摺接突起２６が密接し
ているので、該溜水３９は関節部３５の内部に侵入でき
ない。従って搬送ロボット１内部が腐食されることはな
い。
【００３２】なお前述のように無給油滑りドライシール
４１はＯリングを用いた場合に比較してその摺動抵抗が
小さいので、アーム機構２１，２１において同じ駆動出
力を得るのに、出力の小さい小型のモータを使用するこ
とが可能になる。
【００３３】なお第１発明はこの実施形態に限定され
ず、例えば以下のような変形が可能である。
【００３４】無給油滑りドライシール４１は必要に応
じて、例えば特に水の付着し易い部分の関節部のみに取
り付けても良い。
【００３５】上記実施形態とは逆に、上側のアーム２
５に無給油滑りドライシール４１を固定し、下側のロボ
ット本体１０に摺接突起２６を設けてもよい。
【００３６】無給油滑りドライシール４１の材質とし
てフッ素樹脂を用いたが、摩耗と摺動摩擦が少ないプラ
スチック材料であれば、他の材料で構成しても良い。
【００３７】〔第２発明の実施形態〕上記第１発明のシ
ール機構は、無給油滑りドライシール４１と摺接突起２
６の機械的接触によるシール機構であるため、例えば搬
送ロボットの内部における真空経路にリークが生じてア
ーム内部の真空度がかなり高くなったような場合は、外
気との気圧の大きな差によって溜水３９が関節部の内部
に侵入する恐れがある。第２発明（下記する第３発明も
同様）はこのような場合でも内部への液体の侵入を防止
できる機構である。
【００３８】ここで図２は第２発明を適用した搬送ロボ
ットの一実施形態を示す要部概略側面図である。同図に
示す搬送ロボット１−２も、前記図８に示す搬送ロボッ
ト１と同様に、円柱状のロボット本体１０の上面に、２
組のアーム機構２１，２１を取り付け、該両アーム機構
２１，２１はいずれも２本のアーム２５，２７を関節部
３５，３７で接続し、アーム２７の端部に関節部３８を
介してハンド取付部材３３を取り付けて構成されてい
る。なお先端に取り付けるハンドは省略しているが、一
方のハンド取付部材３３に取り付けられるハンドは図７
に示すハンド５２のように真空吸着機構を具備するハン
ドである。従ってそのアーム２５，２７の内部には真空
経路が設けられている。
【００３９】ここで図３は関節部３５の内部構造を示す
要部拡大断面図であり、図２に示すＤ部分の拡大断面図
である。
【００４０】この関節部３５も前記図１に示す関節部３
５と同様に、ロボット本体１０とアーム２５の間にベア
リング機構６１を設け、ロボット本体１０側に無給油滑
りドライシール４１を取り付け、一方アーム２５側に円
筒状の摺接突起２６を突設し、無給油滑りドライシール
４１の摺接部４２の先端を摺接突起２６の外周側面に密
着して摺接せしめることによって、両者間をシールして
いる。この構造は他の関節部３７，３８においても同様
である。
【００４１】そして本発明の場合、この関節部３５に設
けたシール機構によるシールの位置、即ち図３に示す摺
接部４２と摺接突起２６が摺接してシールしている位置
を、ロボット本体１０の上面に溜る溜水３９がその表面
張力によって最も大量に溜ってその高さが最も高くなる
であろう水面位置よりもさらに高い位置になるように設
置している。
【００４２】具体的に言えば、最も高くなったときの溜
水３９のロボット本体１０上面からの高さをｔ１＝５mm
とすると、摺接部４２と摺接突起２６によるシール位置
の高さをｔ２＝８mmとしている。
【００４３】このように構成すれば、たとえロボット本
体１０の上面に溜水３９が大量に溜ったとしても、該液
体がシール部分に触れる恐れはなく、従って例えアーム
２５内部の気圧が真空経路のリークによって外気圧より
下がっても、該シール部分から関節部３５の内部に液体
が侵入する恐れはなくなる。
【００４４】同様に関節部３７又は３８においてもその
シール位置を、アーム２５又は２７上に溜る溜水の最も
高くなるであろう水面位置よりもさらに高い位置になる
ように設置している。
【００４５】なお本発明の場合、必ずしもシール機構と
して第１発明の構造のものを用いる必要はなく、他のシ
ール機構を用いても良い。
【００４６】〔第３発明の実施形態〕図４は第３発明を
適用した搬送ロボットの一実施形態を示す要部概略側面
図である。同図に示す搬送ロボット１−３も、前記図８
に示す搬送ロボットと同様に、円柱状でその外径寸法が
φＡのロボット本体１０の上面に、２組のアーム機構２
１，２１を取り付けて構成されている。
【００４７】アーム機構２１，２１も、２本のアーム２
５，２７を関節部３５，３７で接続し、アーム２７の端
部に関節部３８を介してハンド取付部材３３を取り付け
て構成されている。関節部３５，３７，３８のシール構
造も前記図１に示すシール構造と同様である。なお先端
に取り付けるハンドは省略しているが、一方のハンド取
付部材３３に取り付けられるハンドは図７に示すハンド
５２のように真空吸着機構を具備するハンドである。従
ってそのアーム２５，２７の内部には真空経路が設けら
れている。
【００４８】そして本発明の場合は、アーム２５の下面
の前記ロボット本体１０の上面に対向しない位置（ロボ
ット本体１０の外径φＡの外側の位置）に、即ちロボッ
ト本体１０の上面に溜る溜水３９の届かない所に、気抜
き孔７０を設けている。
【００４９】図５は気抜き孔７０を設けた部分の要部拡
大断面図である。同図に示すようにこの気抜き孔７０
は、アーム２５に筒状部材７１を取り付けることによっ
て、アーム２５の内部と外部とを連通するように構成さ
れている。
【００５０】また筒状部材７１は、その略中央部におい
てその径を異ならせており、径の小さい方をアーム２５
内部に挿入固定し、径の大きい方をアーム２５の外部に
突出して関７３を形成している。なおこの筒状部材７１
はアーム２５からの削り出しで形成しても良く、またそ
の内径を異ならせず同一としても良い。
【００５１】この気抜き孔７０の作用を説明すると、図
４に示す搬送ロボット１−３が動作して図示しないハン
ドが半導体ウエハを真空吸着してその搬送を行なうと、
該半導体ウエハに付着した純水や洗浄液が落下してロボ
ット本体１０の上面に溜る。
【００５２】一方アーム２５内で真空がリークする場合
があるが、アーム２５の内部は気抜き孔７０によって外
気と連通されている。従ってアーム２５内部の気圧は常
に外気圧と略同じであり、その真空度が高くなることは
ない。
【００５３】従ってロボット本体１０上の溜水３９の量
が増えて関節部３５に接触しても、該溜水３９は関節部
３５内に吸い込まれるように作用せず、従って関節部３
５のシール機構による防水作用のみによって十分その防
水が図られる。
【００５４】またこの気抜き孔７０は、溜水３９の届か
ないところに設けられているので、該気抜き孔７０から
気体を吸引する際に溜水３９が吸い込まれることはな
い。
【００５５】また該溜水３９がたとえアーム２５の下面
を伝わって気抜き孔７０に導かれたとしても、気抜き孔
７０には関７３が設けられているので、やはりアーム２
５内に溜水３９が侵入することはない。
【００５６】上記実施形態では気抜き孔７０を下側のア
ーム２５のみに設けたが、該アーム２５の上面に溜った
液体が関節部３７から上側のアーム２７内に入る恐れも
あるので、アーム２７にも気抜き孔を設けても良い。
【００５７】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば以下のような優れた効果を有する。 各種液体がかかる恐れのあるポリッシング装置の洗浄
部に設置される搬送ロボットであっても、該各種液体の
搬送ロボット内部への侵入が防止でき、防水対策を施し
ていない搬送ロボットと比較してメンテナンスの回数を
大幅に減少でき、その寿命も長くでき、ひいてはコスト
ダウンとポリッシング対象物の生産性向上につながる。
【００５８】第１発明の場合は、シール機構としてそ
の関節部にＯリングを用いた場合に比べ、関節部の摺動
抵抗を小さくできるので、同じ出力を得るのに小型のモ
ータが使用でき、エネルギー節約とコストダウン、そし
てダウンサイジングが図れる。
【００５９】第２，第３発明の場合は、たとえ搬送ロ
ボット内部の真空経路にリークが生じ搬送ロボット内部
が負圧になったとしても搬送ロボット内部への液体の侵
入を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１発明の一実施形態を適用した関節部３５の
内部構造を示す要部拡大断面図である。
【図２】第２発明を適用した搬送ロボットの一実施形態
を示す要部概略側面図である。
【図３】図２に示すＤ部分の拡大断面図である。
【図４】第３発明の一実施形態にかかる搬送ロボットの
要部概略側面図である。
【図５】気抜き孔７０を設けた部分の要部拡大断面図で
ある。
【図６】ポリッシング装置内部の全体構成を示す概略平
断面図である。
【図７】洗浄部１５０内における搬送ロボット１，１の
動作説明図である。
【図８】搬送ロボット１の要部概略側面図である。
【符号の説明】
１，１−２，１−３ 搬送ロボット １０ ロボット本体 ２５，２７ アーム ２６ 摺接突起 ３５，３７，３８ 関節部 ４１ 無給油滑りドライシール ４２ 摺接部 ５０，５１，５２，５３ ハンド（保持機構） ７０ 気抜き孔 １３０ ポリッシング部 １３３ ターンテーブル １３４ 研磨面 １３５ トップリング １５０ 洗浄部 １５５ １次洗浄機 １５７ ２次洗浄機

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくともポリッシング対象物を保持す
    るトップリングと、該トップリングに保持したポリッシ
    ング対象物の表面を研磨する研磨面を有するターンテー
    ブルとを有してなるポリッシング部と、 少なくとも前記ポリッシング部において研磨されたポリ
    ッシング対象物を洗浄する洗浄機と、前記トップリング
    との間でポリッシング対象物の受け渡しを行なって該ポ
    リッシング対象物を前記洗浄機に搬送する搬送ロボット
    とを有してなる洗浄部とを具備するポリッシング装置に
    おいて、 前記搬送ロボットは、ロボット本体に１又は２以上の関
    節部を介して１又は２以上のアームを取り付け、該アー
    ムの所定位置に前記ポリッシング対象物を保持する保持
    機構を取り付けて構成されており、 前記関節部には該関節部の内部への水の侵入を防止する
    シール機構を取り付けていることを特徴とするポリッシ
    ング装置。
  2. 【請求項２】 前記シール機構は、無給油滑りドライシ
    ールであることを特徴とする請求項１記載のポリッシン
    グ装置。
  3. 【請求項３】 前記無給油滑りドライシールは、フッ素
    樹脂でリング状であってその先端をテーパー状に絞って
    その内径を小さくすることでその先端に摺接部を形成し
    て構成されており、 一方前記関節部を構成するロボット本体とアームの何れ
    か一方又は前記関節部を構成するアームとアームの何れ
    か一方には円筒状の摺接突起を突設し、 前記無給油滑りドライシールを前記摺接突起を設けない
    側のロボット本体又はアームに取り付け、 前記無給油滑りドライシールの摺接部を前記摺接突起の
    外周側面に密着して摺接せしめることによって両者間を
    シールすることを特徴とする請求項２記載のポリッシン
    グ装置。
  4. 【請求項４】 少なくともポリッシング対象物を保持す
    るトップリングと、該トップリングに保持したポリッシ
    ング対象物の表面を研磨する研磨面を有するターンテー
    ブルとを有してなるポリッシング部と、 少なくとも前記ポリッシング部において研磨されたポリ
    ッシング対象物を洗浄する洗浄機と、前記トップリング
    との間でポリッシング対象物の受け渡しを行なって該ポ
    リッシング対象物を前記洗浄機に搬送する搬送ロボット
    とを有してなる洗浄部とを具備するポリッシング装置に
    おいて、 前記搬送ロボットは、ロボット本体に１又は２以上の関
    節部を介して１又は２以上のアームを取り付け、該アー
    ムの所定位置に前記ポリッシング対象物を保持する保持
    機構を取り付けて構成されており、 前記関節部には該関節部の内部への水の侵入を防止する
    シール機構を設け、且つ該シール機構によるシールの位
    置を、関節部の下側に位置するロボット本体又はアーム
    の上面に溜る液体の最も高くなる表面よりもさらに高い
    位置に設置したことを特徴とするポリッシング装置。
  5. 【請求項５】 少なくともポリッシング対象物を保持す
    るトップリングと、該トップリングに保持したポリッシ
    ング対象物の表面を研磨する研磨面を有するターンテー
    ブルとを有してなるポリッシング部と、 少なくとも前記ポリッシング部において研磨されたポリ
    ッシング対象物を洗浄する洗浄機と、前記トップリング
    との間でポリッシング対象物の受け渡しを行なって該ポ
    リッシング対象物を前記洗浄機に搬送する搬送ロボット
    とを有してなる洗浄部とを具備するポリッシング装置に
    おいて、 前記搬送ロボットは、ロボット本体に１又は２以上の関
    節部を介して１又は２以上のアームを取り付け、該アー
    ムの所定位置に真空吸着機構によってポリッシング対象
    物を保持する保持機構を取り付け、ロボット本体から関
    節部の内部とアームの内部を通して真空吸着機構に到る
    真空経路を設け、さらに前記関節部には該関節部の内部
    への水の侵入を防止するシール機構を設けて構成されて
    おり、 前記アームの所定位置には該アーム内の気圧を外部の気
    圧と同等にする気抜き孔を設けていることを特徴とする
    ポリッシング装置。
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