JPH1073429A - タッチ信号プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】スタイラスの着座精度を向上させることができ
るタッチ信号プローブを提供すること。 【解決手段】本体１に固定部材２が固定され、この固定
部材２に対して近接離隔可能に可動部材３が配置され、
この可動部材３に接触子４Ｂを有するスタイラス４が取
り付けられ、可動部材３と固定部材２とを一元的に係合
する係合部材５，６が固定部材２と可動部材３との双方
に分割配置されている。可動部材３を固定部材２に近接
する方向に付勢するプリロード用ばね７は、可動部材３
と固定部材２とを近接方向に引っ張る引張コイルばねで
あり、その両端部は、可動部材３と固定部材２とが近接
離隔するに際してスタイラス４の軸周り方向の摩擦状態
変化が発生しないように可動部材３と固定部材２とにそ
れぞれ連結されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、三次元測定機等に
よって被測定物の形状等を測定するために用いられるタ
ッチ信号プローブに関するものである。

【０００２】

【背景技術】被測定物の形状、寸法等の測定を行う測定
機としてハイトゲージ（一次元測定機）、三次元測定
機、輪郭測定機等が知られているが、その場合の座標検
出や位置検出を行うために、測定機には、被測定物との
接触を検出するタッチ信号プローブが用いられる。一般
に、タッチ信号プローブは、ケーシングに固定部材を固
定し、この固定部材に対して可動部材を近接離隔可能に
配置し、先端に接触子を有するスタイラスを可動部材に
取り付け、可動部材と固定部材とを一元的に係合するた
めの係合部材を固定部材と可動部材との双方に分割して
配置した構造である。

【０００３】このタッチ信号プローブは、スタイラスの
誤動作による破損防止を図るため、固定部材と可動部材
とを係合させるために可動部材を固定部材に近接する方
向に付勢するプリロード用圧縮コイルばねをケーシング
内に配置し、スタイラスに過大な接触力がかかった際
に、プリロード用圧縮コイルばねの付勢力に抗して可動
部材が固定部材に対して離隔してスタイラスの破損を防
止し、スタイラスから過大な接触力が除かれた際に、プ
リロード用圧縮コイルばねの付勢力によって可動部材側
の係合部材を固定部材側の係合部材に着座する構造であ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のタッチ信号プロ
ーブでは、プリロード用ばねとして、ケーシングと可動
部材との間に介装された圧縮力を利用する圧縮コイルば
ねを使用しているので、可動部材側の係合部材が固定部
材側の係合部材に着座（レシート）する際に、コイルば
ねの不確定な座屈変形が介在し、スタイラスの軸線と直
交する分力が作用して着座（レシート）精度を阻害する
という問題点がある。また、圧縮コイルばねは、その伸
縮において捻じれ挙動を伴うものであり、その捻じれ挙
動も着座精度を阻害する一因と考えられている。

【０００５】本発明の目的は、スタイラスの着座精度を
向上させることができるタッチ信号プローブを提供する
ことにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、プリロード用
ばねを引張コイルばねとし、このばねの両端部を可動部
材と固定部材とが近接離隔するに際してスタイラスの軸
周り方向の摩擦状態変化が発生しないように連結して前
記目的を達成しようとするものである。具体的には、本
発明のタッチ信号プローブは、本体側に固定された固定
部材と、この固定部材に対して近接離隔可能に配置され
先端に接触子を有するスタイラスが取り付けられた可動
部材と、この可動部材と前記固定部材とを一元的に係合
するために前記固定部材と前記可動部材との双方に分割
して配置された係合部材と、前記固定部材と前記可動部
材とを係合させるために前記可動部材を前記固定部材に
近接する方向に付勢するプリロード用ばねとを備えたタ
ッチ信号プローブにおいて、前記プリロード用ばねは、
前記可動部材と前記固定部材とを近接方向に引っ張る引
張コイルばねであり、その両端部は、前記可動部材と前
記固定部材とが近接離隔するに際して前記スタイラスの
軸周り方向の摩擦状態変化が発生しないように連結部材
により前記可動部材と前記固定部材とにそれぞれ連結さ
れていることを特徴とする。

【０００７】本発明のタッチ信号プローブを移動して測
定を行うが、スタイラス先端の接触子が被測定物に接触
すると、その位置が読み取られる。スタイラスの移動に
際して、スタイラスに過大な接触力が誤ってかかると、
プリロード用コイルばねの付勢力に抗して可動部材が固
定部材に対して離隔してスタイラスの破損が防止され
る。その後、スタイラスから過大な接触力が除かれる
と、プリロード用コイルばねの付勢力によって可動部材
側の係合部材が固定部材側の係合部材に着座する。

【０００８】可動部材側の係合部材が固定部材側の係合
部材に着座するに伴って、プリロード用コイルばねが圧
縮され、このばねの端部にスタイラスの軸線と直交する
分力が作用するが、本発明では、プリロード用コイルば
ねを引っ張り力を利用してばね力を付与する引張ばねと
しているので、座屈変形並びに捻じれ挙動が生じること
がなく、前記分力が圧縮ばねに比べて少ない。その上、
引張ばねの両端部がスタイラスの軸周り方向の摩擦状態
変化が発生しないように可動部材と固定部材とにそれぞ
れ連結されているから、ばねの端部にスタイラスの軸線
と直交する分力が作用するとしても、その分力でスタイ
ラスの軸周り方向に力が作用することがない。従って、
可動部材側の係合部材が固定部材側の係合部材に着座す
る際に、スタイラスの着座精度が向上する。

【０００９】ここで、本発明では、前記引張コイルばね
は、前記可動部材が前記固定部材に着座静止している状
態において、その軸線が前記スタイラスの軸線と一致す
るように配置された構造としてもよい。この構造では、
プリロード用コイルばねが１本あれば十分であるから、
タッチ信号プローブの構造を簡易なものにできる。

【００１０】これに対して、前記引張コイルばねは複数
あり、これらの引張コイルばねは、その軸線が前記スタ
イラスの軸線周りに等間隔となるように配置された構造
としてもよい。この構造では、引張コイルばねが複数あ
るので、１本あたりのばねの長さを長くしなくとも、大
きな付勢力（ばね力）を付与することができる。しか
も、これらの引張コイルばねは、スタイラスの軸線周り
に等間隔となるように配置されているから、スタイラス
の軸線と直交する分力が作用することがなく、スタイラ
スの着座精度が低下することがない。

【００１１】さらに、前記引張コイルばねの少なくとも
一端部は前記固定部材及び前記可動部材の少なくとも一
方に前記スタイラスの軸線方向に相対移動可能に連結さ
れている構造でもよい。この構造では、引張コイルばね
端部の固定部材及び／又は可動部材に対する取付位置を
調整することにより、引張コイルばねで可動部材を固定
部材に対して予め付与する付勢力（プリロード力）の大
きさを調整することができる。この点、従来では、プリ
ロード力の設定は、ばねの長さ寸法等の機械的な寸法だ
けに依存するものであるため、必ずしも最適化されてい
るものではない。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。ここで、各実施の形態中、
同一又は同様構成要素は同一符号を付して説明を省略も
しくは簡略にする。図１及び図２には第１の実施の形態
にかかるタッチ信号プローブが示されている。図１は第
１の実施の形態にかかるタッチ信号プローブの全体構成
を示す断面図である。

【００１３】図１において、タッチ信号プローブは、有
底円筒状のケーシング１と、このケーシング１に固定さ
れた略偏平リング状の固定部材２と、この固定部材２に
対して近接離隔可能に配置された可動部材３と、この可
動部材３に取り付けられたスタイラス４と、可動部材３
と固定部材２とを一元的に係合するために固定部材２と
可動部材３との双方に分割して配置された係合部材５，
６と、固定部材２と可動部材３とを係合させるために可
動部材３を固定部材２に近接する方向に付勢するプリロ
ード用ばね７とを備え、係合部材５，６及びプリロード
用ばね７から着座機構（レシート機構）が構成されてい
る。

【００１４】ケーシング１は、図示しない三次元測定機
の移動軸に取り付けられており、この移動軸及びケーシ
ング１が本体を構成する。スタイラス４は特開平6-2218
06号で開示された超音波共振形タッチセンサであり、ス
タイラス本体４Ａと、このスタイラス本体４Ａの先端に
設けられた接触子４Ｂと、スタイラス本体４Ａに設けら
れた図示しない圧電素子とから構成されている。圧電素
子は、スタイラス本体４Ａに振動を付加し、かつ、その
振動変化を検出するもので、加振素子としての加振用電
極と検出素子としての検出用電極とに分けられる。

【００１５】図２には係合部材５，６の詳細な構成が示
されている。図２において、固定部材側の係合部材５
は、固定部材２のケーシング１の内部に対向する面に固
定さられた複数（図では３個）のブロックから構成され
ている。これらのブロック５は、互いに等間隔に配置さ
れており、可動部材３に対向する面には収れん部を構成
するＶ溝５Ａがそれぞれ形成されている。

【００１６】可動部材３は、スタイラス４の軸線上に位
置する中心部から互いに等間隔離れて放射状に延びた複
数（図では３個）の板状部３Ａと、この板状部３Ａの中
心部においてスタイラス４の反対側に取り付けられたガ
イドロッド３Ｂとを有する構造であり、このガイドロッ
ド３Ｂは、その軸線がスタイラス４の軸線と同一線上と
なるように配置されている。可動部材３の板状部３Ａの
先端部には可動部材側の係合部材６としての球状部が固
定されている。球状部として構成される係合部材６の表
面には収れん部を構成する球面６Ａが形成されている。
これらの球面６ＡとＶ溝５Ａとは互いに接触するように
形成されている。

【００１７】図１において、プリロード用ばね７は、可
動部材３と固定部材２とを近接方向に付勢する引張コイ
ルばねであり、可動部材３が固定部材２に着座静止して
いる状態において、その軸線がスタイラス４の軸線と一
致するように配置されている。プリロード用ばね７は、
その一端部が第１の連結部材９により固定部材２に固定
され、その他端部が第２の連結部材１０によりスタイラ
ス４の軸線方向に相対移動可能にガイドロッド３Ｂに連
結されている。従って、固定部材２と可動部材３とが近
接離隔するに際してスタイラス４の軸周り方向の摩擦状
態変化が発生しない。

【００１８】第１の連結部材９は、固定部材２に形成さ
れたばね係止溝２Ａに嵌合されたプリロード用ばね７の
一端部をリング状の押さえ部材１１で押さえ、この押さ
え部材１１を固定部材２にねじ１２で固定した構造であ
る。第２の連結部材１０は、ガイドロッド３Ｂの先端部
に摺動可能に設けられたばねガイド１３と、このばねガ
イド１３を所定位置で固定する止めねじ１４と、ばねガ
イド１３に取り付けられたばね保持具１６とを備えて構
成されている。

【００１９】ばね保持具１６は、ばね係止溝１７Ａが形
成されたリング状本体１７と、このばね係止溝１７Ａに
嵌合されたプリロード用ばね７の他端部を押さえるリン
グ状押さえ部１８と、このリング状押さえ部１８をリン
グ状本体１に固定するためのねじ１９とから構成されて
いる。

【００２０】この構成の第１の実施の形態では、タッチ
信号プローブを移動して測定を行うが、スタイラス４の
先端に設けられた接触子４Ｂが被測定物に接触すると、
その位置が読み取られる。スタイラス４の移動に際し
て、スタイラス４に過大な接触力が誤ってかかることが
あり、この場合、プリロード用コイルばね７の付勢力に
抗して可動部材３が固定部材２に対して離隔してスタイ
ラス４の破損が防止される。その後、スタイラス４から
過大な接触力が除かれると、プリロード用コイルばね７
の付勢力によって可動部材側の係合部材６が固定部材側
の係合部材５に着座する。

【００２１】可動部材側の係合部材６が固定部材側の係
合部材５に着座するに伴って、プリロード用コイルばね
７が圧縮され、このプリロード用コイルばね７の端部に
スタイラス４の軸線と直交する分力が作用するが、第１
の実施の形態では、プリロード用コイルばね７が引張ば
ねであるから座屈変形が生じることがなく、可動部材３
と固定部材２とが一元的に係合される。

【００２２】ここで、可動部材３を固定部材２に対して
予め付与するプリロード力の大きさを調整するには、第
２の連結部材１０の止めねじ１４を外した後、ばねガイ
ド１３をガイドロッド３Ｂに対してスタイラス４の軸線
方向に摺動させて所定位置に止め、その状態で止めねじ
１４でばねガイド１３をガイドロッド３Ｂに固定する。

【００２３】従って、第１の実施の形態では、本体を
構成するケーシング１に固定部材２が固定され、この固
定部材２に対して近接離隔可能に可動部材３が配置さ
れ、この可動部材３に接触子４Ｂを有するスタイラス４
が取り付けられ、可動部材３と固定部材２とを一元的に
係合するために固定部材２と可動部材３との双方に係合
部材５，６が分割配置され、固定部材２と可動部材３と
を係合させるために可動部材３を固定部材２に近接する
方向に付勢するプリロード用ばね７が備えられ、このプ
リロード用ばね７は、可動部材３と固定部材２とを近接
方向に引っ張る引張コイルばねとしたから、座屈変形並
びに捻じれ挙動が生じることがない。その上、プリロー
ド用ばね７の両端部は、可動部材３と固定部材２とが近
接離隔するに際してスタイラス４の軸周り方向の摩擦状
態変化が発生しないように可動部材３と固定部材２とに
連結部材９，１０でそれぞれ連結されているから、ばね
７の端部にスタイラス４の軸線と直交する分力が作用す
るとしても、その分力でスタイラス４の軸周り方向に力
が作用することがない。よって、可動部材側の係合部材
６が固定部材側の係合部材５に着座する際に、スタイラ
ス４の着座精度が向上する。

【００２４】また、プリロード用ばね７を構成する引
張コイルばねは、可動部材３が固定部材２に着座静止し
ている状態において、その軸線がスタイラス４の軸線と
一致するように配置されたから、プリロード用コイルば
ね７が１本あれば十分であり、タッチ信号プローブの構
造を簡易なものにできる。

【００２５】また、プリロード用ばね７を構成する引
張コイルばねの端部は可動部材３にスタイラス４の軸線
方向に相対移動可能に連結されているから、ばね７の端
部の可動部材３に対する取付位置を調整することによ
り、ばね７で可動部材３を固定部材２に対して予め付与
する付勢力（プリロード力）の大きさを調整することが
できる。さらに、プリロード用ばね７の端部と可動部
材３とが第２の連結部材１０で連結され、この第２の連
結部材１０は、可動部材３のガイドロッド３Ｂの先端部
に摺動可能に設けられたばねガイド１３と、このばねガ
イド１３を所定位置で固定する止めねじ１４と、ばねガ
イド１３に取り付けられたばね保持具１６とを備えて構
成されているから、前述のの効果を簡単な構造で同時
に達成することができる。

【００２６】次に、本発明の第２の実施の形態を図３に
基づいて説明する。第２の実施の形態はプリロード用ば
ねの構成が第１の実施の形態と相違するもので、他の構
成は第１の実施の形態と同じである。図３は第２の実施
の形態にかかるタッチ信号プローブの全体構成を示す断
面図である。図３において、タッチ信号プローブは、前
記ケーシング１と、前記固定部材２と、前記可動部材３
と、前記スタイラス４と、前記係合部材５，６と、固定
部材２と可動部材３とを係合させるために可動部材３を
固定部材２に近接する方向に付勢する複数（図では２
本）のプリロード用ばね２７とを備えた構成である。

【００２７】プリロード用ばね２７は引張コイルばねで
あり、これらの引張コイルばねは、その軸線がスタイラ
ス４の軸線周りに等間隔、かつ、スタイラス４の軸線を
中心として対称に配置されている。プリロード用ばね２
７は、その一端部が前記第１の連結部材９により固定部
材２に固定され、その他端部が前記第２の連結部材１０
によりスタイラス４の軸線周りに回転自在かつスタイラ
ス４の軸線方向に相対移動可能にガイドロッド３Ｂに連
結されている。

【００２８】従って、第２の実施の形態では、第１の実
施の形態のと同様の作用効果を奏する他に、プ
リロード用ばね２７を構成する引張コイルばねは複数あ
り、これらの引張コイルばねは、その軸線がスタイラス
４の軸線周りに等間隔となるように配置されたので、１
本あたりのばね２７の長さを長くしなくとも、大きなば
ね力をプリロード力として可動部材３に付与することが
できる。しかも、ばね２７は、スタイラス４の軸線周り
に等間隔となるように配置されているから、スタイラス
４の軸線と直交する分力が作用することがなく、スタイ
ラス４の着座精度が低下することがない。

【００２９】次に、本発明の第３の実施の形態を図４及
び図５に基づいて説明する。第３の実施の形態は、連結
部材を用いることにより、可動部材とスタイラスとをプ
リロード用ばねの外側で連結した点に特徴がある。図４
は、第３の実施の形態にかかるタッチ信号プローブの一
部を破断した斜視図である。図４において、タッチ信号
プローブは、図示しないケーシングに固定された固定部
材３２と、この固定部材３２に対して近接離隔可能に配
置された略円板状の可動部材３３と、この可動部材３３
に連結部材３０を介して取り付けられたスタイラス３４
と、可動部材３３と固定部材３２とを一元的に係合する
ために固定部材３２と可動部材３３との双方に分割して
配置された係合部材３５，３６と、固定部材３２と可動
部材３３とを係合させるために可動部材３３を固定部材
３２に近接する方向に付勢するプリロード用ばね３７と
を備え、係合部材３５，３６及びプリロード用ばね３７
から着座機構（レシート機構）が構成されている。

【００３０】固定部材３２は、水平面上に略１２０度ピ
ッチで足３２Ａが延びており、その先端部には一箇所に
２個、合計６個の球状の係合部材３５が配置されてい
る。係合部材３６は円柱状に形成されているとともに、
可動部材３３に互いに１２０度間隔で３本突出して取り
付けられている。これらの係合部材３６は、それぞれ２
個の係合部材３５と互いに対をなしており、１本で２
点、全体で６点接触し、可動部材３３は固定部材３２に
着座静止する。

【００３１】可動部材３３は連結部材３０と３箇所で取
付ボルト３８を介して結合されている。これらの結合部
位は係合部材３５，３６の接触部を避けるような場所で
あり、これが着座静止を拘束しないようにする。スタイ
ラス３４は、特開平6-221806号で開示された超音波共振
形タッチセンサであり、連結部材３０の下部中央に鉛直
下方に向かうように取り付けられている。スタイラス３
４は、その先端部に接触子３４Ａを有する。

【００３２】可動部材３３の上部中央にはテーパ凸部材
３９を受けるテーパ凹部材４０が組み込まれており、こ
のテーパ凹部材４０は、外側に設けられた図示しないね
じが可動部材３３の中央内壁に設けられた図示しないね
じ受けにねじ込まれるようにして鉛直方向に回転移動自
在に調整できるようになっている。この移動調整の際
に、テーパ凸部材３９は回転しないように外部から拘束
される。固定部材３２の上部中央には、ばね支持部材４
１が組み込まれており、このばね支持部材４１の台座上
にプリロード用ばね３７の一端部が装着されている。こ
のプリロード用ばね３７の他端はテーパ凸部材３９の下
部に装着されている。

【００３３】この状態で、可動部材３２には鉛直方向に
プリロードがかかることになる。このプリロード力の大
きさはテーパ凹部材４０を移動することにより、調整可
能となる。最終的に、この調整が終了した後にテーパ凸
部材３９は固定ねじ４２で固定される。以上の構成で
は、スタイラス３４に外力が印加されているとき、固定
部材３２と可動部材３３との間では、少なくとも、係合
部材３５，３６以外で摩擦力が発生することがない。こ
こで、プリロード用ばね３７の両端部の装着構造は、図
５に示される通り、テーパ凸部材３９に形成された孔部
３９Ａと、ばね支持部材４１の台座に形成された孔部４
１Ａとに、それぞれプリロード用ばね３７の端部を挿入
し、この端部を止めねじ４３で固定する構造でもよい
が、本実施の形態では、この構造に限定されず、種々の
構造が適用できる。

【００３４】以上の構成の第３の実施の形態では、第１
の実施形態と同様の作用効果を奏することができる他
に、スタイラス３４を固定部材３２の下方に配置させる
ことで可動部材３３と固定部材３２との間で組み込まれ
るプリロード用ばね３７の占有体積を大きくとることが
できるため、例えば、テーパ凹部材４０、テーパ凸部材
３９、固定ねじ４２によって構成されるプリロード調整
機構の形態、プリロード用ばね３７の形態、連結部材３
０の形態が制限されることがない。

【００３５】なお、本発明は前述の各実施の形態に限定
されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で
あれば次に示す変形例を含むものである。例えば、前記
各実施の形態では、プリロード用ばね７，２７，３７の
一端部が可動部材３，３３にスタイラス４，３４の軸線
方向に相対移動可能に連結された構造としたが、本発明
では、プリロード用ばね７，２７，３７の他端部を固定
部材２，３２に対してスタイラス４，３４の軸線方向に
相対移動可能に連結された構造としてもよく、プリロー
ド用ばね７，２７，３７の両端部が可動部材３，３３及
び固定部材２，３２の双方に対してスタイラス４，３４
の軸線方向に相対移動可能に連結された構造としてもよ
く、あるいは、プリロード用ばね７，２７，３７の両端
部が可動部材３，３３及び固定部材２，３２の双方に対
してスタイラス４，３４の軸線方向に固定された構造と
してもよい。

【００３６】さらに、スタイラス４，３４に特開平6-22
1806号で開示された超音波共振形タッチセンサを適用し
たが、これに限定されるものではなく、例えば、公開昭
64-69910号に示される圧電センサを適用するものでもよ
く、あるいは、特開平6-34311 号に示されるセンサ（被
測定物と測定球との間の静電容量から接触を検出するセ
ンサ）に適用してもよい。

【００３７】また、前記第１及び第２の実施の形態で
は、固定部材側の係合部材５を固定部材２に固定されＶ
溝５Ａを有するブロックから構成し、可動部材側の係合
部材６を可動部材３に固定された球状部から構成した
が、本発明では、ブロックを可動部材３に固定し、球状
部を固定部材２に固定した構成でもよい。あるいは、特
公昭58-17402号に示される通り、固定部材２及び可動部
材３のいずれか一方に設けられた剛球と、固定部材２及
び可動部材３のいずれか他方に設けられた円筒棒とから
係合部材を構成するものでもよく、さらには、特公昭60
-48681号に示される通り、固定部材２及び可動部材３の
いずれか一方に設けられた剛球と、固定部材２及び可動
部材３のいずれか他方に設けられた円錐面とから係合部
材を構成するものでもよい。

【００３８】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、本体側に
固定された固定部材と、この固定部材に対して近接離隔
可能に配置され先端に接触子を有するスタイラスが取り
付けられた可動部材と、この可動部材と前記固定部材と
を一元的に係合するために前記固定部材と前記可動部材
との双方に分割して配置された係合部材と、前記固定部
材と前記可動部材とを係合させるために前記可動部材を
前記固定部材に近接する方向に付勢するプリロード用ば
ねとを備え、このプリロード用ばねは、前記可動部材と
前記固定部材とを近接方向に引っ張る引張コイルばねで
あり、その両端部は、前記可動部材と前記固定部材とが
近接離隔するに際して前記スタイラスの軸周り方向の摩
擦状態変化が発生しないように連結部材で前記可動部材
と前記固定部材とにそれぞれ連結された構造としたか
ら、座屈変形並びに捻じれ挙動が生じることがなく、そ
の上、ばねの端部にスタイラスの軸線と直交する分力が
作用するとしても、その分力でスタイラスの軸周り方向
に力が作用することがないから、スタイラスの着座精度
が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態にかかるタッチ信号
プローブの全体構成を示す断面図である。

【図２】係合部材の詳細な構成を示す斜視図である。

【図３】本発明の第２の実施の形態にかかるタッチ信号
プローブの全体構成を示す断面図である。

【図４】本発明の第３の実施の形態にかかるタッチ信号
プローブの一部を破断した斜視図である。

【図５】第３の実施の形態において、プリロード用ばね
の装着構造を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 本体を構成するケーシング ２，32 固定部材 ３，33 可動部材 ４，34 スタイラス ４Ｂ,34B 接触子 ５，35 固定部材側の係合部材 ６，36 可動部材側の係合部材 ７，27，37 プリロード用ばね ９，10，30 連結部材

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】本体側に固定された固定部材と、この固定
   部材に対して近接離隔可能に配置され先端に接触子を有
   するスタイラスが取り付けられた可動部材と、この可動
   部材と前記固定部材とを一元的に係合するために前記固
   定部材と前記可動部材との双方に分割して配置された係
   合部材と、前記固定部材と前記可動部材とを係合させる
   ために前記可動部材を前記固定部材に近接する方向に付
   勢するプリロード用ばねとを備えたタッチ信号プローブ
   において、前記プリロード用ばねは、前記可動部材と前
   記固定部材とを近接方向に引っ張る引張コイルばねであ
   り、その両端部は、前記可動部材と前記固定部材とが近
   接離隔するに際して前記スタイラスの軸周り方向の摩擦
   状態変化が発生しないように連結部材により前記可動部
   材と前記固定部材とにそれぞれ連結されていることを特
   徴とするタッチ信号プローブ。
2. 【請求項２】請求項１記載のタッチ信号プローブにおい
   て、前記引張コイルばねは、前記可動部材が前記固定部
   材に着座静止している状態において、その軸線が前記ス
   タイラスの軸線と一致するように配置されたことを特徴
   とするタッチ信号プローブ。
3. 【請求項３】請求項１記載のタッチ信号プローブにおい
   て、前記引張コイルばねは複数あり、これらの引張コイ
   ルばねは、その軸線が前記スタイラスの軸線周りに等間
   隔となるように配置されたことを特徴とするタッチ信号
   プローブ。
4. 【請求項４】請求項１から３のいずれかに記載のタッチ
   信号プローブにおいて、前記引張コイルばねの少なくと
   も一端部は前記固定部材及び前記可動部材の少なくとも
   一方に前記スタイラスの軸線方向に相対移動可能に連結
   されていることを特徴とするタッチ信号プローブ。