JPH1058369A

JPH1058369A - 搬送ヘッド装置

Info

Publication number: JPH1058369A
Application number: JP21557296A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Kishi; 和男岸
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1996-08-15
Filing date: 1996-08-15
Publication date: 1998-03-03

Abstract

(57)【要約】【課題】簡易な構成で異なる種類の対象物を効率よく
搬送できる搬送ヘッド装置を提供する。【解決手段】移動機構に支持されたベース部２０にＸ
ＹＺ方向のフローティングユニット部５０を設け、この
フローティングユニット部５０に第１、第２の吸着パッ
ド機構６０、７０を設けた。搬送ヘッド装置を対象物側
に前進させることで、対象物と接触するかどうかをセン
サ２４で検出し、対象物が陰極線管１０か平板１２かを
識別する。そして、陰極線管１０なら第１の吸着パッド
機構６０を作動して吸着保持し、平板１２のなら第２の
吸着パッド機構７０を作動して吸着保持する。この際、
フローティング機能で誤差や衝撃を吸収する。また、搬
送時には、フローティング機能をロックして対象物を安
定状態で保持し、迅速な搬送を可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば製造ライン
や検査ライン上で搬送される各種ワークを所定の処理装
置等に対して投入、取り出しを行うための移載装置等の
搬送ヘッド装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、コンベア装置等によって搬送
される各種のワーク（対象物）を取り出して、所定の処
理を行うための載置場所に移載する搬送装置が各種提案
され、実用されている。例えば、陰極線管の製造ライン
では、陰極線管のファンネル部の曲面に吸着する構造の
吸着パッドを設けた搬送ヘッドを有し、この搬送ヘッド
を各種のアクチュエータによってラインと処理装置との
間で往復移動させるような搬送装置が提供されている。

【０００３】ところで、この種の自動化したシステムに
おいては、ライン上を搬送されるワークは、通常は同一
種類のものが多く、全く形態の異なるものを混在して流
すことは稀である。したがって、上述のような搬送ヘッ
ドを有する搬送装置においても、例えば陰極線管用の装
置であれば、専ら陰極線管を保持する構造を想定した搬
送ヘッドを設けたものとなっている。すなわち、例えば
上述した吸着パッドを用いた場合、その構造上、１つの
搬送ヘッドで扱うことができる対象物の範囲としては、
例えば陰極線管の大きさ（呼びサイズ）の違いに対応で
きる程度であり、大幅に形状の異なるものは扱うことは
できなかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このため、従来の搬送
装置において、大幅に異なる形態のワークを扱う場合、
それぞれのワークに対応した複数の搬送ヘッドを設ける
とともに、各ワークの種類の識別を供給側（例えばコン
ベア装置側）で行い、ワークの種類に応じて搬送ヘッド
を選択して作動させ、ワークの保持等を行うことが必要
となる。しかしながら、この場合、複数の搬送ヘッドを
選択的に作動できる１台の搬送装置を用いるか、それぞ
れ異なる搬送ヘッドを具えた複数の搬送装置を用いるこ
ととなり、設備の大型化やコストの増大を招くという欠
点がある。また、供給側でワークを識別して搬送ヘッド
を起動するため、ラインインデックス時間が長くなり、
また、信頼性が低くなるという欠点がある。

【０００５】また、以上のような異なる種類のワークを
扱う他の方法として、多関節ロボットを用いることも可
能であるが、この場合はさらにコスト増大となってしま
い、また、ソフトウエア処理のために処理時間がさらに
長くなる等の欠点がある。そこで本発明の目的は、簡易
な構成で異なる種類の対象物を効率よく搬送できる搬送
ヘッド装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、移動機構によって移動され、対象物を保持し
て所定の位置に搬送する搬送ヘッド装置において、前記
移動機構に取り付けられるベース部と、前記ベース部
に、前記対象物と接離する方向にフローティング構造で
支持されたフローティングユニット部と、前記フローテ
ィングユニット部に設けられ、それぞれ異なる種類の対
象物をホールドする複数のホールド手段と、前記フロー
ティングユニット部の変位状態に基づいて、異なる種類
の対象物を識別する識別手段と、前記識別手段の識別結
果に基づいて前記ホールド手段を選択的に制御する制御
手段とを有することを特徴とする。

【０００７】以上のような本発明の搬送ヘッド装置で
は、移動機構によって対象物と対向する位置に配置され
た状態で、対象物側に移動される。この際、対象物と接
することで、フローティングユニット部が変位し、この
状態を例えば機械的に検出することにより、識別手段が
対象物の種類を識別する。そこで、この識別結果に基づ
いて、対象物に対応するホールド手段を選択して作動さ
せ、最適なホールド手段により対象物をホールドする。
このように、搬送ヘッド装置の移動動作中に、対象物の
識別と、ホールド手段の選択と、対象物のホールドとを
一連動作で行うことできるので、異なる種類の対象物を
迅速かつ安定的に搬送できる。

【０００８】

【発明の実施の形態】次に、本発明による搬送ヘッド装
置の実施の形態例について説明する。まず、本例におい
て、搬送ヘッド装置が設けられる陰極線管のパネル表面
処理システムについて説明する。図８は、このパネル表
面処理システムにおけるワーク供給装置の概要を示す側
面図であり、図９は、同ワーク供給装置の概要を示す平
面図である。

【０００９】陰極線管のパネル面に表面処理を施す場
合、大量の陰極線管を連続的にパネル表面処理装置に投
入する必要がある。しかしながら、パネル表面処理装置
の処理速度に合わせて常に連続して陰極線管を処理装置
に投入することは、全体の作業バランス等に起因して、
事実上不可能である。そこで、本例のシステムでは、図
８、図９に示すように、陰極線管の投入が間に合わない
場合には、ダミー処理のための平板を処理装置に投入
し、この平板に表面処理を施すようにしている。

【００１０】このように平板にダミー処理を行うことに
より、表面処理に用いられる処理材が、対象となる陰極
線管のパネル面以外に飛散するのを防ぎ、マスキングを
施すことができる。図８、図９において、図示しないパ
ネル表面処理装置による正規の処理対象である陰極線管
１０と、ダミー処理のための平板１２とは、共通の架台
１４に装着された状態で、架台１４が図示しない供給側
搬送機構によって間欠的に搬送されることにより、搬送
ヘッド装置による取り出し位置まで順次搬送されるよう
になっている。

【００１１】図１は、本例の搬送ヘッド装置の構造を示
す概略側面図であり、図２は、本例の搬送ヘッド装置を
図１の矢線Ｘ方向に見た構造を示す概略側面図である。
また、図３は、本例の搬送ヘッド装置を図１の矢線Ｚ方
向に見た構造を示す上面図である。本例の搬送ヘッド装
置は、上述した陰極線管のファンネル部の曲面を吸着保
持する第１の吸着パッド機構と、平板の平坦面を吸着保
持する第２の吸着パッド機構とを具えたものであり、陰
極線管と平板とを搬送ヘッド装置自体が、その連続動作
中に識別し、第１の吸着パッド機構と第２の吸着パッド
機構とを選択的に作動させて、陰極線管または平板を保
持するようになっている。

【００１２】そして、この搬送ヘッド装置自体は、図示
しない移動機構によって支持されており、この移動機構
の駆動によって、ワーク（陰極線管および平板）の供給
ラインとパネル表面処理装置との間を往復移動されるこ
とで、ワークを供給ラインから取り出して、表面処理の
処理装置に投入するとともに、この処理後に、ワークを
処理装置から取り出してその他のラインに戻すように動
作する。以下、搬送ヘッド装置の詳細について説明す
る。この搬送ヘッド装置は、上述した移動機構に固設し
た状態で支持されるベース部２０（ハウジング２０Ａを
含む）と、このベース部２０に対して３軸方向にフロー
ティング構造で保持される２枚のプレート３０、４０に
よるフローティングユニット部５０と、前記２枚のプレ
ート３０、４０のうち、ワーク側のプレート４０に設け
られたホールド手段としての第１、第２の吸着パッド機
構６０、７０とを有するものである。

【００１３】ベース部２０とプレート３０との間には、
エアシリンダ９０が設けられ、ベース部２０に対してプ
レート３０の昇降を行うようになっている。また、ベー
ス部２０とプレート３０は、ベース部２０側のハウジン
グ２０Ａにボール軸受け部２２を設けるとともに、プレ
ート３０にシャフト３２を設け、シャフト３２をボール
軸受け部２２に嵌合挿入させて、その貫通端部に抜け止
め用のストッパ３４を取り付けている。すなわち、シャ
フト３２は、ボール軸受け部２２に軸方向に一定距離だ
け移動できるので、プレート３０はベース部２０に対し
てＺ方向に移動可能である。この構造により、Ｚ方向の
フローティング機能を有することとなる。

【００１４】また、このようなボール軸受け部２２とシ
ャフト３２との機構は、図３に示すように、対称位置に
４箇所設けられている。そして、４つのシャフト３２の
うち、１つのシャフト３２の貫通端部には、ドグ３６が
設けられており、ベース部２０側には、このドグ３６を
所定位置で検出する陰極線管判別センサ２４が設けられ
ている。これにより、ベース部２０とプレート３０とが
所定の間隔に接近した状態を検出できるようになってい
る。また、プレート３０には、図４に示すように、ボー
ルキャスタ部３８が設けられており、これらのボールキ
ャスタ部３８によってプレート４０がＸＹ平面方向に移
動自在に嵌合保持されている。

【００１５】つまり、ボールキャスタ部３８は、プレー
ト３０側からプレート４０の縁部を回り込むようにして
プレート４０の反対側に延設された断面Ｌ字型の支持片
３８Ａを設け、この支持片３０Ａとプレート３０との互
いに対向する面に一対のボールガイド３８Ｂを対向配置
し、各ボールガイド３８Ｂ間に、プレート４０の縁部に
設けた受け部材３８Ｃに嵌合したものである。そして、
このようなボールキャスタ部３８は、図３に示すよう
に、プレート３０の各コーナ部に４箇所設けられてお
り、プレート４０は、４つのボールキャスタ部３８で支
持され、プレート３０と平行状態で保持され、ＸＹ平面
方向に移動自在に組み付けられている。

【００１６】また、プレート３０とプレート４０との間
には、上述のボールキャスタ部３８によるＸＹ平面方向
の移動範囲を一定の範囲で規制する規制機構４２が設け
られている。この規制機構４２は、図５に示すように、
プレート３０側に設けた規制ピン４２Ａと、プレート４
０に形成された孔に圧入された焼き入れブッシュ４２Ｂ
とを組み合わせたものであり、規制ピン４２Ａがブッシ
ュ４２Ｂ内に挿入されることにより、プレート３０、４
０同士の脱落を止めるとともに、規制ピン４２Ａとブッ
シュ４２Ｂとの間の隙間の範囲で、プレート３０とプレ
ート４０とがＸＹ平面方向に相対移動できる構造となっ
ている。この構造により、ＸＹ方向のフローティング機
能を有することとなる。

【００１７】また、プレート３０とプレート４０との間
には、上述のＸＹ方向のフローティング機能を無効と
し、プレート３０とプレート４０とのＸＹ方向の相対位
置をロックするためのロック機構４４が設けられてい
る。このロック機構４４は、図６に示すように、プレー
ト３０に設けたシリンダ４４Ａと、このシリンダ４４Ａ
のシリンダロッドに取り付けたリンク４４Ｂと、このリ
ンク４４Ｂの両端部に設けた一対のロックピン４４Ｃと
を有し、このロックピン４４Ｃの先端部をプレート３０
に形成した貫通孔４４Ｄよりプレート４０側に突出さ
せ、プレート４０に形成したロック孔４４Ｅに嵌合させ
るようにしたものである。

【００１８】すなわち、ロックピン４４Ｃの先端部は、
テーパ状に形成され、シリンダ４４Ａのシリンダロッド
の高さ位置に応じて、ロックピン４４Ｃの先端部とロッ
ク孔４４Ｅとの嵌合位置が変位する。よって、シリンダ
４４Ａを作動させることで、プレート３０とプレート４
０とがＸＹ平面方向で位置決めされ、互いに固定される
構造となっている。また、プレート４０には、陰極線管
１０を吸着保持するための第１の吸着パッド機構６０
と、平板１２を吸着保持するための第２の吸着パッド機
構７０が設けられている。

【００１９】第１の吸着パッド機構６０は、陰極線管１
０のファンネル形状に沿う角度で、かつ陰極線管のファ
ンネル部の長辺方向に両側から吸着する一対の吸着パッ
ド６０Ａ、６０Ｂを具えたものである。すなわち、各吸
着パッド６０Ａ、６０Ｂは、陰極線管１０のファンネル
形状に対応可能であるとともに、任意角度で固定可能な
首振り機構６２Ａ、６２Ｂによって支持されたものであ
る。なお、一方の吸着パッド６０Ａの首振り機構６２Ａ
の基端ブロック部６２ａは、プレート４０に設けたリニ
アガイド部４６により、他方の吸着パッド６０Ｂに接離
する方向に移動可能に設けられている。これにより、陰
極線管１０を吸着した際に、各吸着パッド６０Ａ、６０
Ｂの間隔がわずかに短縮することを可能とし、陰極線管
１０の吸着時における各吸着パッド６０Ａ、６０Ｂの変
形を吸収できる構造となっている。

【００２０】また、このように移動可能な吸着パッド６
０Ａには、図７に示すように、プレート４０に設けた取
り付け片４８に２組のボルト、ナット５２、５４を取り
付けるとともに、一方のボルト、ナット５２にコイルバ
ネ５６を介在させることにより、吸着パッド６０Ａの移
動位置を規制するとともに、吸着を解除した吸着パッド
６０Ａを元の位置に引き戻すための付勢力を付与するよ
うになっている。また、第２の吸着パッド機構７０は、
平板１２を吸着する一対の吸着パッド７０Ａ、７０Ｂを
具えたものである。この吸着パッド７０Ａ、７０Ｂは、
平板１２に対向して突設されたものであるが、第１の吸
着パッド機構６０との干渉を避けるため、プレート４０
の外方向にフランジ状に延長されたプレート７２Ａ、７
２Ｂに設けられている。

【００２１】そして、Ｚ方向のガイドシャフト７４Ａ、
７４Ｂ、およびエアシリンダ７６Ａ、７６Ｂの作動によ
り、プレート７２Ａ、７２Ｂが平板１２の方向に移動
し、吸着パッド７０Ａ、７０Ｂが平板１２に吸着するよ
うになっている。なお、スプリング７８Ａ、７８Ｂのバ
ネ力により、吸着パッド７０Ａ、７０Ｂと平板１２との
接触時の衝撃を吸収できるようになっている。また、プ
レート４０には、架台１４との位置決めを行うための位
置決めピン８０が設けられている。この位置決めピン８
０は、プレート４０に延設された取り付け片８２に、架
台１４の方向に突設した円柱形のものであり、先端が円
錐形に形成されている。

【００２２】一方、架台１４側には、この位置決めピン
８０に対応して、図９に示すように、各陰極線管１０ま
たは平板１２に対応して、位置決め孔１４Ａが設けられ
ている。そして、搬送ヘッド装置が架台１４に接近する
につれて、まず、位置決めピン８０の先端部が位置決め
孔１４Ａに進入し、先端部のテーパ面によってガイドさ
れ、位置決めピン８０およびプレート４０がＸＹ方向に
移動して、位置出しされる。これにより、プレート４０
の各吸着パッド機構６０、７０と架台１４の陰極線管１
０、平板１２とが正確に位置決めされて対向することと
なる。なお、位置出し状態で、位置決めピン８０と位置
決め孔１４Ａとは、軸方向にスライド移動自在であり、
搬送ヘッド装置の前進、後退を妨げないようになってい
る。

【００２３】次に、以上のような搬送ヘッド装置の動作
について説明する。図１０は、搬送ヘッド装置の動作例
を示すタイミングチャートである。図中の実線が陰極線
管１０を取り出すときの動作を示しており、二点鎖線が
平板１２を取り出すときの動作を示している。まず、前
述した移動機構により、搬送ヘッド装置は、陰極線管１
０の取り出し位置まで移動される（図１０のＳ１）。こ
こで、ＸＹ方向のフローティング機能を有効とした状態
（Ｓ２）で、陰極線管１０側に下降すると（Ｓ３）、位
置決めピン８０と架台１４の位置決め孔１４Ａが挿入さ
れ、プレート４０の各吸着パッド機構６０、７０と架台
１４の陰極線管１０、平板１２とが位置決めされる。

【００２４】次に、搬送ヘッド装置がさらに下降すると
（Ｓ３）、対象物が陰極線管１０であれば、各吸着パッ
ド６０Ａ、６０Ｂが陰極線管１０のファンネル部に接す
る。なお、上述したＺ方向のフローティング機能とエア
シリンダ９０のエア圧力を調整することにより、陰極線
管１０を破損または傷付けることなく、陰極線管１０に
接触することができる。また、ＸＹ方向のフローティン
グ機能およびＺ方向のフローティング機能により、架台
１４の中で陰極線管１０の位置のばらつきをも許容する
ことが可能となる。

【００２５】次に、搬送ヘッド装置がさらに下降し、最
下降位置まで至ると（Ｓ３）、吸着パッド６０Ａ、６０
Ｂが陰極線管１０に押されて、シャフト３２（すなわち
プレート３０、４０）がベース部２０側に後退すると、
１つのシャフト３２に設けたドグ３６がセンサ２４によ
って検出される（Ｓ４）。これにより、対象物が陰極線
管１０であると識別できる。すなわち、対象物が平板１
２であれば、搬送ヘッド装置が下降しても、吸着パッド
６０Ａ、６０Ｂは押されないため、シャフト３２は後退
せず、ドグ３６はセンサ２４に至らない（Ｓ５）。これ
により、対象物が平板１２であると識別できる。

【００２６】そして、対象物が陰極線管１０であると
（Ｓ４）、最下降位置とのアンド条件（Ｓ６）により、
吸着パッド６０Ａ、６０Ｂを作動し、陰極線管１０のフ
ァンネル部を吸着する（Ｓ７）。また、対象物が平板１
２であると（Ｓ５）、最下降位置とのアンド条件（Ｓ
８）により、エアシリンダ７６Ａ、７６Ｂを作動させて
（Ｓ９）、吸着パッド７０Ａ、７０Ｂをさらに平板１２
の位置まで下降させ、平板１２の吸着を行う（Ｓ１
０）。

【００２７】このようにして、陰極線管１０または平板
１２を吸着保持すると、圧力スイッチ等によって吸着を
確認した後、搬送ヘッド装置を上昇させる（Ｓ１１）。
そして、上昇完了後、シリンダ４４Ａを作動し、ロック
ピン４４Ｃをプレート４０のロック孔４４Ｅに嵌合させ
ることで、プレート３０、４０をロックし、ＸＹ方向の
フローティング機能を無効とする（Ｓ１２）。これによ
り、陰極線管１０または平板１２の移動時における揺れ
等を防止し、安定した状態を得ることにより、安全で、
迅速な搬送を行えるようになっている。この後、搬送ヘ
ッド装置を移動し（Ｓ１３）、陰極線管１０または平板
１２を上述した表面処理装置に投入する。

【００２８】以上のように、本例の搬送ヘッド装置で
は、大幅に異なる形態の対象物を、搬送ヘッド装置の移
動中に識別して吸着パッドを選択することで、迅速に搬
送作業を行うことができる。また、簡易な構成により、
部品点数が少ないため、高い信頼性を得ることができ
る。また、ＸＹ方向のフローティング機能により、対象
物の配置のバラツキ等を吸収できる。また、ＸＹ方向の
フローティング機能を無効にするロック機構を設けたこ
とで、搬送時の安定状態を得ることができ、迅速な搬送
を行うことも可能となる。

【００２９】また、陰極線管１０のファンネル部を２つ
の吸着パッド６０Ａ、６０Ｂにより保持する構造によ
り、搬送ヘッド装置が全体としてコンパクトな構成とな
り、また、フローティングユニット部によってＸＹ方向
の自由度をもたせる構成により、例えば図９に示すよう
に、密な状態でマス目状に配置された複数の陰極線管や
平板のなかから、隣接する陰極線管に干渉を与えること
なく、任意の陰極線管や平板を容易に取り出したり、投
入したりすることが可能である。なお、本発明は、以上
の具体的構成に限定されることなく、種々の変形が可能
である。

【００３０】例えば、フローティングユニット部の構成
として、ベース部２０とプレート３０との間にＸＹ方向
のフローティング機能を設け、プレート３０とプレート
４０との間にＺ方向のフローティング機能を設けてもよ
い。また、ホールド手段についても、吸着パッド機構に
限らず、把持機構を用いたり、吸着パッド機構と把持機
構とを組み合わせた構成であってもよい。また、対象物
の種類によっては、磁気によるホールド手段を用いるこ
とも可能である。また、対象物としては、陰極線管と平
板の組み合わせに限らず、大幅に形態の異なる複数種類
の対象物を搬送する各種のラインに適用することができ
る。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の搬送ヘッ
ド装置では、移動機構に取り付けられるベース部にフロ
ーティングユニット部を設け、このフローティングユニ
ット部に異なる種類の対象物をホールドする複数のホー
ルド手段と対象物を識別する識別手段とを設け、前記識
別手段の識別結果に基づいて前記ホールド手段を選択的
に制御するようにした。

【００３２】このため、搬送ヘッド装置の移動動作中
に、対象物の識別と、ホールド手段の選択と、対象物の
ホールドとを一連動作で行うことできるので、異なる種
類の対象物を迅速かつ安定的に搬送できるとともに、複
数の搬送ヘッド装置を設けることなく、簡易な構成で実
現できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る搬送ヘッド装置の一例を示す概略
側面図である。

【図２】図１に示す搬送ヘッド装置を別の方向から示す
概略側面図である。

【図３】図１に示す搬送ヘッド装置の上面図である。

【図４】図１に示す搬送ヘッド装置のＸＹフローティン
グ機能部を示す拡大断面図である。

【図５】図１に示す搬送ヘッド装置のＸＹ方向の移動規
制機構部を示す拡大断面図である。

【図６】図１に示す搬送ヘッド装置のＸＹフローティン
グ機能のロック機構部を示す拡大断面図である。

【図７】図１に示す搬送ヘッド装置の吸着パッド変位機
構を示す拡大断面図である。

【図８】パネル表面処理システムにおけるワーク供給装
置を示す側面図である。

【図９】パネル表面処理システムにおけるワーク供給装
置を示す平面図である。

【図１０】図１に示す搬送ヘッド装置の動作例を示すタ
イミングチャートである。

【符号の説明】

１０……陰極線管、１２……平板、１４……架台、１４
Ａ……位置決め孔、２０……ベース部、２２……ボール
軸受け部、２４……陰極線管判別センサ、３０、４０…
…プレート、３２……シャフト、３６……ドグ、３８…
…ボールキャスタ部、４４Ａ……シリンダ、４４Ｃ……
ロックピン、４４Ｅ……ロック孔、５０……フローティ
ングユニット部、６０、７０……吸着パッド機構、６０
Ａ、６０Ｂ、７０Ａ、７０Ｂ……吸着パッド、８０……
位置決めピン。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】移動機構によって移動され、対象物を保
持して所定の位置に搬送する搬送ヘッド装置において、前記移動機構に取り付けられるベース部と、前記ベース部に、前記対象物と接離する方向にフローテ
ィング構造で支持されたフローティングユニット部と、前記フローティングユニット部に設けられ、それぞれ異
なる種類の対象物をホールドする複数のホールド手段
と、前記フローティングユニット部の変位状態に基づいて、
異なる種類の対象物を識別する識別手段と、前記識別手段の識別結果に基づいて前記ホールド手段を
選択的に制御する制御手段と、を有することを特徴とする搬送ヘッド装置。
【請求項２】前記フローティング構造は、ベース部と
フローティングユニット部の一方に前記対象物と接離す
る方向に沿って形成されたガイド部材を設けるととも
に、他方に前記ガイド部材にスライド自在に嵌合する嵌
合部を設けたものである請求項１記載の搬送ヘッド装
置。
【請求項３】前記識別手段は、前記ガイド部材と嵌合
部との相対位置を検出することにより、対象物の形状を
認識するものである請求項２記載の搬送ヘッド装置。
【請求項４】前記フローティングユニット部は、前記
対象物と接離する方向と直交する面に沿って２枚のプレ
ートを平行に配置し、前記ベース部側に配置される第１
のプレートに前記フローティング構造を設けるととも
に、前記対象物側に配置される第２のプレートに前記ホ
ールド手段を設け、前記第１のプレートと第２のプレー
トが、その面方向に相対移動可能にフローティング構造
で組み付けられて構成される請求項１〜３のいずれか１
項記載の搬送ヘッド装置。
【請求項５】前記第１のプレートと第２のプレートの
面方向の相対移動をロックするロック機構を有する請求
項４記載の搬送ヘッド装置。
【請求項６】前記フローティングユニット部は、前記
第２のプレートと前記対象物の配置部との対向位置関係
を位置決めする位置決め機構を有し、この位置決め機構
によって第２のプレートを前記配置部に配置される対象
物の適正な対向位置に位置決めした後、前記ホールド手
段による対象物の保持を行うとともに、前記ロック機構
によって第１のプレートと第２のプレートとをロック
し、対象物の搬送を行うようにした請求項５記載の搬送
ヘッド装置。
【請求項７】前記異なる種類の対象物は、共通の供給
機構によって互いに混在した状態で供給され、本搬送ヘ
ッド装置によって共通の処理装置に搬送されるものであ
る請求項１〜６のいずれか１項記載の搬送ヘッド装置。
【請求項８】前記処理装置は、陰極線管のパネル表面
処理装置であり、前記対象物は、前記パネル表面処理装
置による正規の処理対象である陰極線管と、前記パネル
表面処理装置によるダミー処理のためのダミー部材であ
る請求項７記載の搬送ヘッド装置。
【請求項９】前記ホールド手段は、前記陰極線管のフ
ァンネル部の曲面に吸着する第１の吸着パッド機構と、
前記ダミー部材の平坦面に吸着する第２の吸着パッド機
構とから構成される請求項８記載の搬送ヘッド装置。
【請求項１０】前記吸着パッド機構は、吸着時のパッ
ドの変形を吸収する変位機構を有する請求項９記載の搬
送ヘッド装置。
【請求項１１】前記ホールド手段は、吸着パッド機構
と把持機構とから構成される請求項１〜１０のいずれか
１項記載の搬送ヘッド装置。