JPH105650A - 塗布装置 - Google Patents

塗布装置

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JPH105650A
JPH105650A JP16269796A JP16269796A JPH105650A JP H105650 A JPH105650 A JP H105650A JP 16269796 A JP16269796 A JP 16269796A JP 16269796 A JP16269796 A JP 16269796A JP H105650 A JPH105650 A JP H105650A
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JP
Japan
Prior art keywords
rod
rotary member
shaped
coating
shaped rotary
Prior art date
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Pending
Application number
JP16269796A
Other languages
English (en)
Inventor
Morinori Togashi
盛典 富樫
Shigekazu Kieda
茂和 木枝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP16269796A priority Critical patent/JPH105650A/ja
Publication of JPH105650A publication Critical patent/JPH105650A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】容器内の塗布液濃度の不均一,棒状回転体の振
動、および棒状回転体表面への異物付着による塗布面膜
厚の不均一を低減する。 【解決手段】棒状回転体3の支持部材として、棒状回転
体3の回転軸に平行かつ棒状回転体3に接触し、棒状回
転体3の回転中心軸を通過する垂直面に対して対称にな
る位置に棒状回転体支持ローラ4を複数設置し、さらに
支持ローラ4は互いに接触しないように配置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は連続走行ウエブおよ
び非連続性基板に棒状回転体を用いて塗布液を塗布する
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図3および図4は従来の塗布方法を説明
するために、特開平2−258081 号および特開平6−15129
2 号公報に開示された塗布装置の説明図である。1はあ
る一定の粘性を有する塗布液2が入った容器であり、こ
の塗布液2の界面に棒状回転体3が設置されている。塗
布液2は通常、固形成分の他に揮発成分も含まれてお
り、揮発成分がなくなることにより塗布液は固化する。
一方、棒状回転体3を支持するために棒状回転体支持部
材9あるいは10が容器1の中に固定されている。また
容器1の上には棒状回転体3と対向するように回転ロー
ラ5が配置され、回転ローラ5と棒状回転体3との間に
基板6が挿入される。基板6の挿入および、回転ローラ
5と棒状回転体3との間からの基板6の取り出しに際し
ては、基板6を搬送ローラ7を用いて転がしながら行
う。回転ローラ5は棒状回転体3に対して押圧しながら
回転して基板6を搬送する。これにより、棒状回転体3
が回転しながら棒状回転体3の周面に塗布液2を付着さ
せ、その付着した液2が基板6の面に塗布される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来の塗布装置
によれば、棒状回転体支持部材9あるいは10は容器1
内の中央に固定されているため、容器1内の塗布液2を
棒状回転体3を挟んでほぼ2分し、容器1内の塗布液2
全体の混合および撹拌を妨げ、容器1内に塗布液2の濃
度差を生じさせるという問題点があった。
【0004】また棒状回転体3と棒状回転体支持部材9
との接触面が一致しない場合、棒状回転体3の水平およ
び垂直方向の振動を押さえることができなくなり、基板
6の塗布面に棒状回転体の振動周期に対応する塗布むら
が生じて均一な膜厚にならないという問題点があった。
【0005】さらに棒状回転体3の回転により塗布液2
が基板6に塗布される際に、棒状回転体3と棒状回転体
支持部材9および10の凹部間隙に固化した塗布液等の
異物が堆積あるいは棒状回転体3の表面に付着し、棒状
回転体3の表面が汚れることによって、基板6の塗布面
に塗布むらが生じて均一な膜厚にならないという問題点
があった。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明では、塗布液が入った容器の前記塗布液の界面
付近に棒状回転体があり、棒状回転体を前記塗布液が入
った容器内で支持するための棒状回転体支持部材を有
し、前記棒状回転体の回転によって塗布液を引き上げて
基板に塗布する塗布装置において、前記棒状回転体支持
部材を可動式にした塗布装置を構成する。
【0007】また上記課題を解決するために本発明で
は、前記塗布装置において、前記棒状回転体支持部材と
して、棒状回転体の回転軸に平行かつ前記棒状回転体に
接触し、前記棒状回転体の回転中心軸を通過する垂直面
に対して対称になる位置に棒状回転体支持ローラを複数
設置した塗布装置を構成する。
【0008】さらに上記課題を解決するために本発明で
は、前記塗布装置において、前記棒状回転体支持ローラ
が互いに接触しないように配置した塗布装置を構成す
る。
【0009】
【発明の実施の形態】
(実施例1)図1に本発明の塗布装置の一実施例の説明
図を示す。棒状回転体3の支持部材として、棒状回転体
3の回転軸に平行かつ棒状回転体3に接触し、棒状回転
体3の回転中心軸を通過する垂直面に対して対称になる
位置に棒状回転体支持ローラ4が2つ設置されている。
さらに棒状回転体支持ローラ4は互いに接触しないよう
に配置されている。棒状回転体支持ローラ4は塗布液に
対して耐触性の強い材質で作られている。この塗布装置
によれば、容器内の塗布液は従来の塗布装置のように2
分されることはなく、棒状回転体支持ローラ4の回転に
より塗布液2が容器1内で混合および撹拌され、かつ棒
状回転体3の回転軸に平行かつ棒状回転体3に接触する
ように配置された2つの棒状回転体支持ローラ4は棒状
回転体3の水平および垂直方向の振動を低減することが
でき、さらに棒状回転体支持ローラが互いに接触しない
ように配置することで固化した塗布液等が棒状回転体支
持ローラ4の表面に堆積および付着することを防ぐこと
ができ、その結果として基板6の塗布面には塗布むらの
ない均一な塗布膜が得られる。
【0010】(実施例2)図2に本発明の塗布装置の別
の実施例の説明図を示す。棒状回転体3の支持部材とし
て、棒状回転体3の回転軸に平行かつ棒状回転体3に接
触し、棒状回転体3の回転中心軸を通過する垂直面に対
して対称になる位置に棒状回転体支持ローラ8が3つ設
置されている。さらに支持ローラ8は互いに接触しない
ように配置されている。棒状回転体支持ローラ8は塗布
液に対して耐触性の強い材質で作られている。棒状回転
体支持ローラの数を3つにすることで、2つの場合に比
べて棒状回転体3の水平方向の振動をより低減すること
ができる。その他の効果については実施例1と同様であ
るため省略する。
【0011】
【発明の効果】本発明によれば、容器内の塗布液の混合
が促進でき、また棒状回転体の振動を低減することがで
き、さらに固化した塗布液が棒状回転体に付着すること
を防止することができ、基板の塗布面には塗布むらのな
い均一な塗布膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の塗布装置の一実施例の説明図。
【図2】本発明の塗布装置の別の実施例の説明図。
【図3】従来の塗布装置の説明図。
【図4】従来の塗布装置の説明図。
【符号の説明】
1…塗布液の容器、2…塗布液、3…棒状回転体、4…
棒状回転体支持ローラ、5…回転ローラ、6…基板、7
…搬送ローラ。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】塗布液が入った容器の前記塗布液の界面付
    近に棒状回転体があり、前記棒状回転体を前記塗布液が
    入った容器内で支持するための棒状回転体支持部材を有
    し、前記棒状回転体の回転によって塗布液を引き上げて
    基板に塗布する塗布装置において、前記棒状回転体支持
    部材を可動式にしたことを特徴とする塗布装置。
  2. 【請求項2】請求項1において、前記棒状回転体支持部
    材として、棒状回転体の回転軸に平行かつ前記棒状回転
    体に接触し、前記棒状回転体の回転中心軸を通過する垂
    直面に対して対称になる位置に棒状回転体支持ローラを
    複数設置した塗布装置。
  3. 【請求項3】請求項2において、前記棒状回転体支持ロ
    ーラが互いに接触しないように配置した塗布装置。
JP16269796A 1996-06-24 1996-06-24 塗布装置 Pending JPH105650A (ja)

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JP16269796A JPH105650A (ja) 1996-06-24 1996-06-24 塗布装置

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JP16269796A JPH105650A (ja) 1996-06-24 1996-06-24 塗布装置

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JPH105650A true JPH105650A (ja) 1998-01-13

Family

ID=15759588

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JP16269796A Pending JPH105650A (ja) 1996-06-24 1996-06-24 塗布装置

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JP2010075777A (ja) * 2008-09-24 2010-04-08 Toray Ind Inc 塗布方法および塗布装置
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