JPH1053859A

JPH1053859A - 金属化フィルムの製造装置及びその製造方法

Info

Publication number: JPH1053859A
Application number: JP8210952A
Authority: JP
Inventors: Shigeo Okuno; 茂男奥野; Shigeo Okabe; 繁雄岡部; Masahiro Kawai; 正弘河合; Nobuji Suzuki; 述二鈴木; Hidekazu Wada; 英一和田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1996-08-09
Filing date: 1996-08-09
Publication date: 1998-02-24
Anticipated expiration: 2016-08-09
Also published as: JP3596184B2

Abstract

(57)【要約】【課題】保安機構となる分割ヒューズパターンを高速
蒸着中で形成可能な金属化フィルムの製造装置およびそ
の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】油等の金属の蒸着を防止する物質をメッ
シュ加工により任意のパターン模様が形成された回転ス
クリーンシリンダー４を通してプラスチックフィルム１
の蒸着面側に付着させ、その直後に蒸着金属を付着させ
ることによって蒸着工程中で保安機構となる金属化フィ
ルムを製造することにより分割ヒューズパターン形成が
高速蒸着中で可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は力率改善用の電力用
コンデンサ、電気機器用のコンデンサ、各種電源回路用
のコンデンサ、及び通信機器等に使用される金属化フィ
ルムコンデンサの金属化フィルムの製造装置、およびそ
の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、コンデンサ用の金属化フィルムを
製造する方法として、真空蒸着機内でプラスチックフィ
ルム１（高分子フィルム）が冷却ロール３と接する位置
で蒸着金属６が蒸着される直前に油付着装置を通し、保
安機構となる複数個の分割したマージン部を原反長手方
向に形成する方法が知られている（特開昭５７−１５２
１２２号公報参照）。この方法に用いられる装置は、図
９に示すようにオイル２２の入ったオイルタンク５とそ
の外側で回転する回転シャッター２１とから構成されて
おり、オイルタンク５内のオイル２２が加熱気化されオ
イルタンク５の開孔部３１を通り、回転シャッター２１
の開孔部３０と重なった際にプラスチックフィルム１に
オイル２２が付着し、かつ、回転シャッター２１はプラ
スチックフィルム１の送給速度に同期して回転している
ため、一定幅、一定間隔でオイル２２を付着させること
ができるというものである。

【０００３】またこの他に、図７に示すように、特定の
ロール円周上に凸部３２を形成した凸版ロール１７を用
い、凸部３２の表面にオイル２２等の金属の蒸着を防止
する物質を付着させ、それをプラスチックフィルム１上
に転写させて未蒸着部分を形成する方法（特開平６−１
５８２７１号公報参照）や、図８に示すように、ロール
円周上に凹部３３を形成した凹版ロール２０を用い、凹
部３３の窪みにオイル２２等の金属の蒸着を防止する物
質を付着させ、それをプラスチックフィルム１上に転写
させて未蒸着部分を形成する方法（特開平４ー３４６６
５２号公報参照）が知られている。

【０００４】さらに、図６に示すように原反長手方向に
平行な一定幅、一定間隔のマージン部をオイルマスキン
グ法やテープマージン法により蒸着工程で形成した後、
後工程でレーザーによるトリミングや放電加工等によっ
てフィルムの長手方向に複数個の分割電極、及びヒュー
ズ部を形成する方法等も存在した。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
様な構成で未蒸着部分を形成する方法では種々の課題が
あった。

【０００６】回転シャッター２１を用いた方法の場合、
保安機構付の金属化フィルムコンデンサとする際、コン
デンサの特性上、原反長手方向に蒸着膜電極を分割する
のみならず、分割電極内で矩形の島状非金属化部（ヒュ
ーズ部）も同時形成する必要がある場合があり、この場
合、回転シャッター２１により分割部及びヒューズ部を
形成しようとすると、原反幅方向に対し細いヒューズ部
のみが回転シャッター２１の中継部となる。このため高
速での蒸着を実施する際、回転シャッター２１が変形し
やすく分割及びヒューズ部が不鮮明になりやすいため、
蒸着スピードを高速化できないという問題があった。ま
た、回転シャッター２１の変形防止のため変形しにくい
材質のものを使ったり、厚みを上げるといった手段をと
ると、重量的な問題から作業性が悪くなるといった問題
点があった。さらに、この場合、長手方向のマージン部
をオイルマスキング法、又はテープマージン法等で別箇
所で形成する必要があるので、その際の調整が作業性悪
化に大きな影響を及ぼしていた。

【０００７】また、凸部ロール１７を用いた方法では、
蒸着工程中に凸部３２にオイル２２等の金属の蒸着を防
止する物質を付着させ未蒸着部のマージン部を形成する
際、すなわち、プラスチックフィルム１の長手方向に島
状分割電極を形成し、さらにその島状分割電極にヒュー
ズ機能を付加させる際には、凸版ロール１７の回転円心
力でオイル２２等が飛散して蒸着膜が班点状になった
り、マージンのかすれが発生するために、蒸着スピード
をあげられないといった問題点があった。

【０００８】また、凹版ロールを用いた方法ではスピー
ドはあげられるものの、凹版ロール２０（パターンロー
ル）のコストが高いうえに、切り替え時の凹版ロール２
０の脱着も重量的な問題から容易に行いにくいといった
問題点があった。

【０００９】また、蒸着時に長手方向のマージン部のみ
を形成して、後工程でレーザーによるトリミングや放電
加工等によってプラスチックフィルム１の長手方向に複
数個の島状分割電極を形成する方法では、他の方法に比
べて１工程多いため経済的、時間的ロスが大きかった。

【００１０】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、蒸着金属の付着を防止するオイルを高速でかつ十分
に付着させることができる金属化フィルムの製造装置お
よびその製造方法を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第１の金属化フィルムの製造装置は、蒸着
金属がフィルムに付着することを防止する金属付着防止
剤を気化させる気化手段と、蒸着パターンを設けたスク
リーンとを備え、前記気化手段により気化された金属付
着防止剤を前記スクリーンを通して直接前記フィルムに
付着させるものである。

【００１２】また、本発明の第２の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンがメッシュ状であるものである。

【００１３】また、本発明の第３の金属化フィルムの製
造装置は、メッシュの穴径が直径１０μｍ〜１ｍｍであ
るものである。

【００１４】また、本発明の第４の金属化フィルムの製
造装置は、気化された金属付着防止剤がフィルムに達す
るまでの間、前記金属付着防止剤の気化状態を保つ保温
手段を備えたものである。

【００１５】また、本発明の第５の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンをフィルムの送り速度と同期させ
て動かす駆動手段を備えたものである。

【００１６】また、本発明の第６の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンが円筒形であるものである。

【００１７】また、本発明の第７の金属化フィルムの製
造装置は、フィルムをスクリーンの円筒面に沿って送る
ものである。

【００１８】また、本発明の第８の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンと気化された金属付着防止剤噴出
口との間隔を調整する間隔調整手段を備えたものであ
る。

【００１９】また、本発明の第９の金属化フィルムの製
造装置は、フィルムを挟んでスクリーンと反対側に、前
記フィルムの通路を規制する圧胴ロールを備えたもので
ある。

【００２０】また、本発明の第１０の金属化フィルムの
製造装置は、圧胴ロールの曲面に沿ってフィルムを送る
ものである。

【００２１】また、本発明の第１１の金属化フィルムの
製造装置は、圧胴ロールとスクリーンとの間隔を調整す
る間隔調整手段を備えたものである。

【００２２】また、本発明の第１２の金属化フィルムの
製造装置は、スクリーンの蒸着パターンが、保安機構を
構成する分割マージンとヒューズ部とを有するものであ
る。

【００２３】また、本発明の金属化フィルムの製造方法
は、蒸着金属がフィルムに付着することを防止する金属
付着防止剤を気化させる第１の工程と、前記気化手段に
より気化された前記金属付着防止剤を、蒸着パターンを
設けたスクリーンを通して直接前記フィルムに付着させ
る第２の工程と、前記蒸着金属を前記フィルムに付着さ
せる第３の工程とからなるものである。

【００２４】

【発明の実施の形態】上記構成により、本発明の第１の
金属化フィルムの製造装置は、気化された金属付着防止
剤をスクリーンを通して直接フィルムに付着させること
により、マージン部等のパターン模様を高速で、かつ鮮
明に形成することができる。

【００２５】また、本発明の第２の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンの強度を保つことができ、スクリ
ーンを回転させたときの歪を防止することができる。

【００２６】また、本発明の第３の金属化フィルムの製
造装置は、目詰まりなく、かつ精度よくパターン模様を
形成することができる。

【００２７】また、本発明の第４の金属化フィルムの製
造装置は、保温手段により、金属付着防止剤がフィルム
に到達するまでの間気化状態を保つことができ、鮮明な
パターン模様を形成することができる。

【００２８】また、本発明の第５の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンとフィルムの送り速度が同期する
ので、パターン模様のズレやにじみを防止することがで
きる。

【００２９】また、本発明の第６の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンが円筒形であるので、スクリーン
を回転させやすく、また、フィルムに傷をつけることが
ない。

【００３０】また、本発明の第７の金属化フィルムの製
造装置は、フィルムを円筒面に沿って送ることにより、
特別にフィルムを押さえつける手段を用いずとも、スク
リーンとフィルムとの密着性を保つことができる。

【００３１】また、本発明の第８の金属化フィルムの製
造装置は、使用するオイルの種類や送り速度、パターン
模様の種類等の条件の変化に対応して、最適なスクリー
ンと金属付着防止剤の噴出口との間隔を得ることができ
る。

【００３２】また、本発明の第９の金属化フィルムの製
造装置は、圧胴ロールによってフィルムのばたつきを防
止し、精度よくパターン模様を形成することができる。

【００３３】また、本発明の第１０の金属化フィルムの
製造装置は、圧胴ロールの曲面に沿ってフィルムを送る
ことにより、フィルムが圧胴ロールに密着し、スクリー
ンとフィルムとの間隔を精度よく保つことができる。

【００３４】また、本発明の第１１の金属化フィルムの
製造装置は、圧胴ロールとスクリーンとの間隔を調整す
る間隔調整手段により、スクリーンとフィルムとの間隔
の調整ができることとなる。

【００３５】また、本発明の第１２の金属化フィルムの
製造装置は、後工程をなんら必要とせず、分割マージン
とヒューズ部とを形成できる。

【００３６】また、本発明の金属化フィルムの製造方法
は、気化された金属付着防止剤をスクリーンを通して直
接フィルムに付着させることにより、マージン部等のパ
ターン模様を高速で、かつ鮮明に形成することができ
る。

【００３７】以下、本発明の一実施の形態について、図
面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施の形態に
おける金属化フィルムの製造装置を示す図、図２は同装
置により製造された金属化フィルムの一例を示す図、図
３は同装置のスクリーンシリンダーを示す図、図４は同
スクリーン部分の拡大図、図５は同スクリーンシリンダ
ーの内部の配管およびオイルノズルの説明図である。

【００３８】図において、１はプラスチックフィルム、
２は気化されたオイルガスであり、オイルタンク５から
オイルガス流路８を通って、スクリーンが形成されたス
クリーンシリンダー４内からプラスチックフィルム１に
向かって噴き出される。７は蒸発源であり、金属を熱し
蒸着金属６としてプラスチックフィルム１に蒸着させる
ものである。３は冷却ロール、１５はオイルノズル、２
５は巻き出しロール、２６はパターン部である。

【００３９】また、９はマージン部、１０は分割マージ
ン部、１１は蒸着膜（Ａｃｔｉｖｅ部）、１２はヒュー
ズ部、１３は窓マージン部、１４は蒸着膜（ヘビーエッ
ジ部）である。

【００４０】図１に示すような、厚み６μｍのポリプロ
ピレンフィルムの片面に亜鉛をヘビーエッジ状に蒸着す
る真空蒸着機内において、基材のプラスチックフィルム
１が巻出しロール２５から冷却ロール３を通過する手前
で、オイルガス２により、図２に示した保安機構パター
ンを形成した。図２は保安機構パターンの一例である
が、保安機構は基本的に蒸着膜を微小な面積に分割した
ものであり、そのためにはパターンを施したスクリーン
シリンダー４はメッシュ状である必要がある。

【００４１】すなわち、仮にパターン部２６がメッシュ
状ではなく打ち抜いたものであるとすると、長手方向の
マージン部９が形成できず、別方法で形成する必要があ
ると同時に、図２に示したパターンの場合はヒューズ部
１２のみが接続部となることとなり、スクリーンシリン
ダー４は高速回転するために強度的に弱くなる。さらに
スクリーンシリンダー４は連続蒸着機内で使用するため
円筒形である必要があり、平板形状では連続にならない
他、多角形の形状であると基材であるフィルム１を傷つ
けることになりかねない。

【００４２】またメッシュの穴径は１０μｍ〜１ｍｍが
望ましい。１０μｍ未満の場合は目詰まりしやすい問題
があり、また１ｍｍを超えた場合にはヒューズ精度が落
ちるといった問題があるからである。

【００４３】オイルガス２はスクリーンシリンダー４の
外のオイルタンク５にて加熱気化され、ヒーティングし
たオイルガス流路８（ヒーティング部は図示せず）を通
り、気化状態を保持したままオイルガス噴出口１５（以
下オイルノズルという）先端部まで誘導され、オイルノ
ズル先端部よりパターン加工を施したスクリーンシリン
ダー４を通過して基材であるプラスチックフィルム１に
付着される。オイルガス流路８のヒーティングがない場
合、オイルタンク５内にて気化したオイルガス２が液化
してしまうためヒーティングはオイルノズル１５まで行
なった。

【００４４】スクリーンシリンダー４、オイルノズル１
５、オイルタンク５、オイルガス流路８は図５に示した
ような配置とし、スクリーンシリンダー４の巾は基材で
あるプラスチックフィルム１の巾以上とし、オイルノズ
ル１５の巾はスクリーンシリンダー４の巾と同じ長さと
した。オイルノズル１５はその先端部が、円筒形をした
スクリーンシリンダー４の内壁面の曲面に沿う形状と
し、スクリーンシリンダ４の内壁面に当てて蒸着を行っ
た。

【００４５】また基材のプラスチックフィルム１は一部
をスクリーンシリンダー４の円筒表面に沿わせると同時
にスクリーンシリンダー４自体も駆動させ（駆動手段は
図示せず）プラスチックフィルム１と同期をとって送ら
せた。これはスクリーンシリンダー４に駆動をかけずに
蒸着するとプラスチックフィルム１がスクリーンシリン
ダー４の表面ですべりを発生し、パターン精度、鮮明さ
が確保できないためである。

【００４６】そしてプラスチックフィルム１の一部が沿
う部分にオイルノズル１５をスクリーンシリンダー４の
内壁面に当てることで確実なオイル付着を行い鮮明なパ
ターンとすることができた。

【００４７】本実施の形態ではオイルノズル１５をスク
リーンシリンダー４の内面に当てて行ったが、パターン
によってはオイルノズル１５とスクリーンシリンダー４
の内面との間にわずかな空隙をもたせた方が良い場合も
あり、オイルノズル１５には間隔調整手段（図示せず）
を備えると有用である。

【００４８】また保安機構パターンは図２のように帯状
長手方向のマージン部９と金属化フィルムコンデンサに
した場合保安機構となる分割マージン部１０及びヒュー
ズ部１２とからなる。

【００４９】本実施の形態では蒸着スピードを３００ｍ
／分、６００ｍ／分の２段階とし、マージン部９を４ｍ
ｍ、分割マージン部１０の巾、窓マージン部１３の巾を
各々０．５ｍｍ、分割巾を３０ｍｍ、ヒューズ部１２の
巾を０．８ｍｍとして試作した。比較のために同じ保安
機構パターンを形成した回転シャッターを取付けての試
作（比較例１）、及び凸部形状を有するパターンロール
をスクリーンシリンダーの代わりに取り付け、オイルを
転写させる方法で同様の試作（比較例２）を行った。ま
たヘビーエッジ蒸着のため、Ａｃｔｉｖｅ部を１０〜２
０Ω／□、ヘビーエッジ部を３〜５Ω／□の膜抵抗値と
した。

【００５０】

【表１】

【００５１】（表１）は本実施の形態と比較例の、分割
マージン部１０、ヒューズ部１２の蒸着後の鮮明さを目
視で確認した結果である。

【００５２】本実施の形態は６００ｍ／分の高速でも分
割マージン部１０、ヒューズ部１２とも鮮明なマージン
が確認された。

【００５３】今回はプラスチックフィルム１を挟んでス
クリーンシリンダー４の反対側の位置に圧胴ロール１８
を取り付けずに作成したが装置としては圧胴ロール１８
を設置したほうが良い。圧胴ロール１８の設置によりプ
ラスチックフィルム１、スクリーンシリンダー４のばた
つきが抑えられ、より精度のよいものが得られる。また
圧胴ロール１８側にプラスチックフィルム１を沿わせた
場合でも同様の蒸着が達成できた。但し、高精度を要す
る場合はスクリーンシリンダー４側にプラスチックフィ
ルム１を沿わせた方が良く、ある程度の精度で高速蒸着
を実施する場合は圧胴ロール１８側に沿わせた方が良好
な結果となった。

【００５４】そして前述のスクリーンシリンダー４とオ
イルノズル１５の間隔と同様に、パターンによってはス
クリーンシリンダー４と圧胴ロール１８間の空隙を設け
ることが可能となるように間隔調整手段（図示せず）を
設けるとよい。いずれの場合も空隙を設けることでオイ
ルガス２の拡散効果をねらいとするパターンに適する。

【００５５】比較例の回転シャッター方法では回転シャ
ッターの変形が確認され、分割マージン部１０、ヒュー
ズ部１２ともほとんど形成できなかった。回転シャッタ
ーの変形要因としては継ぎ部（ヒューズ部）が０．８ｍ
ｍと細く、軽量化、低コスト化を図るため厚みも十分確
保できなかったためである。また凸部形状では６００ｍ
／分でマージン部に一部蒸着金属が付着しており鮮明さ
に欠けた。これは凸部形状の先端に付着したオイルが高
速回転により飛散したため十分なオイル量がフィルムに
転写されなかったためと考えられる。

【００５６】なお本実施の形態では片面亜鉛蒸着の例を
挙げて説明してきたが蒸着金属としてアルミニウム、ア
ルミニウム−亜鉛の合金の場合、また両面蒸着の場合も
同様の結果であった。

【００５７】このように従来の上記課題は金属化フィル
ムコンデンサ用の金属化フィルムを製造する真空蒸着機
もしくは蒸着工程において、蒸着金属の付着を防止する
目的でオイル等を付着させる手段として、基材であるプ
ラスチックフィルム１の巾以上の巾を有する筒体である
スクリーンシリンダ４の表面よりその内部空洞部まで任
意の形の貫通穴加工部（メッシュ）により任意のパター
ン模様を形成し、かつその筒体を蒸着スピードと同期さ
せ回転させながら、気化したオイルガス２等をその貫通
穴加工部（メッシュ）を通して基材となるプラスチック
フィルム１の被蒸着面に付着させ、その直後にプラスチ
ックフィルム１に蒸着金属を付着させることによってな
る金属化フィルムの製造装置もしくは製造方法によって
解決できる。

【００５８】すなわち、コンデンサ用の金属化フィルム
を製造する蒸着機内において、図１に示すようなロール
配置とし図３に示したスクリーンシリンダー４を取付、
オイルタンク５より供給されるオイル等を気化させた金
属の蒸着を防止するガス状の物質を、メッシュ加工によ
り任意のパターン模様が形成されたスクリーンシリンダ
ー４を通過させてプラスチックフィルム１（誘電体フィ
ルム）に付着させた後、金属を蒸着させることで分割ヒ
ューズパターン及び長手方向の一定幅、一定間隔のマー
ジン部を形成すると同時に、プラスチックフィルム１を
挟んでスクリーンシリンダー４と反対側にプラスチック
フィルム１の通路を規制する圧胴ロール１８を備えてい
るため、蒸着スピードをあげてもプラスチックフィルム
１のばたつきが無く、プラスチックフィルム１とオイル
ノズル１５（オイルガス噴出口）の距離が一定に保て、
パターンの鮮明さが保てる。また切り替え時においても
軽量のスクリーンシリンダー１５を交換すればよく、長
手方向のマージン部１０も同時形成のため切り替え調整
も簡素化でき、作業性が改善されるとともに経済的な設
備とすることが可能である。

【００５９】以上の説明から明らかなように本実施の形
態によれば、蒸着工程中で金属化フィルムとした場合保
安機構となる分割ヒューズパターン、及び長手方向のマ
ージン部を高速蒸着中で形成可能であるために、安全機
能と生産性に優れた金属化フィルムとなる上、スクリー
ンシリンダー４は従来のオイルノズル１５と比べ軽量の
ため脱着・取付が容易な上に経済的に極めて優位である
ためトータルメリットが非常に大きい。

【００６０】なお、メッシュは貫通穴加工を施したもの
でもよく、また繊維状に織られたものであってもよい。

【００６１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の第１の金属化フィルムの製造装置は、気化された金属
付着防止剤をスクリーンを通して直接フィルムに付着さ
せることにより、マージン部等のパターン模様を高速
で、かつ鮮明に形成することができる。

【００６２】また、本発明の第２の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンの強度を保つことができ、スクリ
ーンを回転させたときの歪を防止することができる。

【００６３】また、本発明の第３の金属化フィルムの製
造装置は、目詰まりなく、かつ精度よくパターン模様を
形成することができる。

【００６４】また、本発明の第４の金属化フィルムの製
造装置は、保温手段により、金属付着防止剤がフィルム
に到達するまでの間気化状態を保つことができ、鮮明な
パターン模様を形成することができる。

【００６５】また、本発明の第５の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンとフィルムの送り速度が同期する
ので、パターン模様のズレやにじみを防止することがで
きる。

【００６６】また、本発明の第６の金属化フィルムの製
造装置は、スクリーンが円筒形であるので、スクリーン
を回転させやすく、また、フィルムに傷をつけることが
ない。

【００６７】また、本発明の第７の金属化フィルムの製
造装置は、フィルムを円筒面に沿って送ることにより、
特別にフィルムを押さえつける手段を用いずとも、スク
リーンとフィルムとの密着性を保つことができる。

【００６８】また、本発明の第８の金属化フィルムの製
造装置は、使用するオイルの種類や送り速度、パターン
模様の種類等の条件の変化に対応して、最適なスクリー
ンと金属付着防止剤の噴出口との間隔を得ることができ
る。

【００６９】また、本発明の第９の金属化フィルムの製
造装置は、圧胴ロールによってフィルムのばたつきを防
止し、精度よくパターン模様を形成することができる。

【００７０】また、本発明の第１０の金属化フィルムの
製造装置は、圧胴ロールの曲面に沿ってフィルムを送る
ことにより、フィルムが圧胴ロールに密着し、スクリー
ンとフィルムとの間隔を精度よく保つことができる。

【００７１】また、本発明の第１１の金属化フィルムの
製造装置は、圧胴ロールとスクリーンとの間隔を調整す
ることにより、スクリーンとフィルムとの間隔の調整が
できることとなる。

【００７２】また、本発明の第１２の金属化フィルムの
製造装置は、後工程をなんら必要とせず、分割マージン
とヒューズ部とを形成できる。

【００７３】また、本発明の金属化フィルムの製造方法
は、気化された金属付着防止剤をスクリーンを通して直
接フィルムに付着させることにより、マージン部等のパ
ターン模様を高速で、かつ鮮明に形成することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態における金属化フィルム
の製造装置を示す図

【図２】同装置により製造された金属化フィルムの一例
を示す図

【図３】同装置のスクリーンシリンダーを示す図

【図４】同スクリーン部分の拡大図

【図５】同スクリーンシリンダーの内部の配管およびオ
イルノズルの説明図

【図６】従来の第１の金属化フィルムの製造装置の説明
図

【図７】従来の第２の金属化フィルムの製造装置の説明
図

【図８】従来の第３の金属化フィルムの製造装置の説明
図

【図９】従来の第４の金属化フィルムの製造装置の説明
図

【符号の説明】

１プラスチックフィルム（基材）２オイルガス３冷却ロール（クーリングキャン）４スクリーンシリンダー５オイルタンク６蒸着金属７蒸発源８オイルガス流路９マージン部（長手方向未蒸着部）１０分割マージン部１１蒸着膜（Ａｃｔｉｖｅ部）１２ヒューズ部１３窓マージン部１４蒸着膜（ヘビーエッジ部）１５オイルノズル２５巻き出しロール２６パターン部（メッシュ状）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者鈴木述二大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者和田英一大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】蒸着金属がフィルムに付着することを防止
する金属付着防止剤を気化させる気化手段と、蒸着パタ
ーンを設けたスクリーンとを備え、前記気化手段により
気化された金属付着防止剤を前記スクリーンを通して直
接前記フィルムに付着させる金属化フィルムの製造装
置。
【請求項２】スクリーンがメッシュ状である請求項１記
載の金属化フィルムの製造装置。
【請求項３】メッシュの穴径が直径１０μｍ〜１ｍｍで
ある請求項２記載の金属化フィルムの製造装置。
【請求項４】気化された金属付着防止剤がフィルムに達
するまでの間、前記金属付着防止剤の気化状態を保つ保
温手段を備えた請求項１記載の金属化フィルムの製造装
置。
【請求項５】スクリーンをフィルムの送り速度と同期さ
せて動かす駆動手段を備えた請求項１記載の金属化フィ
ルムの製造装置。
【請求項６】スクリーンが円筒形である請求項５記載の
金属化フィルムの製造装置。
【請求項７】フィルムをスクリーンの円筒面に沿って送
る請求項６記載の金属化フィルムの製造装置。
【請求項８】スクリーンと気化された金属付着防止剤噴
出口との間隔を調整する間隔調整手段を備えた請求項１
記載の金属化フィルムの製造装置
【請求項９】フィルムを挟んでスクリーンと反対側に、
前記フィルムの通路を規制する圧胴ロールを備えた請求
項１記載の金属化フィルムの製造装置。
【請求項１０】圧胴ロールの曲面に沿ってフィルムを送
る請求項９記載の金属化フィルムの製造装置。
【請求項１１】圧胴ロールとスクリーンとの間隔を調整
する間隔調整手段を備えた請求項９記載の金属化フィル
ムの製造装置。
【請求項１２】スクリーンの蒸着パターンが、保安機構
を構成する分割マージンとヒューズ部とを有する請求項
１記載の金属化フィルムの製造装置。
【請求項１３】蒸着金属がフィルムに付着することを防
止する金属付着防止剤を気化させる第１の工程と、前記
気化手段により気化された前記金属付着防止剤を、蒸着
パターンを設けたスクリーンを通して直接前記フィルム
に付着させる第２の工程と、前記蒸着金属を前記フィル
ムに付着させる第３の工程とからなる金属化フィルムの
製造方法。