JPH1051174A - 空所内に存在する電磁界を遮蔽するための装置 - Google Patents
空所内に存在する電磁界を遮蔽するための装置Info
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- JPH1051174A JPH1051174A JP9119351A JP11935197A JPH1051174A JP H1051174 A JPH1051174 A JP H1051174A JP 9119351 A JP9119351 A JP 9119351A JP 11935197 A JP11935197 A JP 11935197A JP H1051174 A JPH1051174 A JP H1051174A
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- H05K9/00—Screening of apparatus or components against electric or magnetic fields
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K9/00—Screening of apparatus or components against electric or magnetic fields
- H05K9/0007—Casings
- H05K9/0015—Gaskets or seals
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K5/00—Casings, cabinets or drawers for electric apparatus
- H05K5/06—Hermetically-sealed casings
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S277/00—Seal for a joint or juncture
- Y10S277/92—Seal including electromagnetic shielding feature
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電磁放射線を遮蔽する装置、それも特に空所
内に存在する電界および／または磁界が、特に、閉鎖可
能な空所開口からの放射線漏れにより漏出するのを防止
する装置を提供する。 【解決手段】 前記開口を、有利には、取外し可能な、
電磁放射線不透過性の複数プレート体によって閉鎖可能
にし、その場合に、プレート体に、有利にはプレート体
外周区域に、および／または閉鎖される必要のある空所
壁開口の開口縁部区域に、有利には、弾性変形可能な電
気導体から成る高周波シール部材１６，１６′を有する
高周波シールユニットが配置され、この高周波シールユ
ニットによって、プレート体が、空所壁（２）上に、高
周波シール部材１６，１６′を介して空所壁（２）と導
電接続されて載置され、更に、２つの隣接シール部材１
６，１６′の間隔ａが、遮蔽される要のある最小放射線
波長λのλ／４以下であるようにした。
内に存在する電界および／または磁界が、特に、閉鎖可
能な空所開口からの放射線漏れにより漏出するのを防止
する装置を提供する。 【解決手段】 前記開口を、有利には、取外し可能な、
電磁放射線不透過性の複数プレート体によって閉鎖可能
にし、その場合に、プレート体に、有利にはプレート体
外周区域に、および／または閉鎖される必要のある空所
壁開口の開口縁部区域に、有利には、弾性変形可能な電
気導体から成る高周波シール部材１６，１６′を有する
高周波シールユニットが配置され、この高周波シールユ
ニットによって、プレート体が、空所壁（２）上に、高
周波シール部材１６，１６′を介して空所壁（２）と導
電接続されて載置され、更に、２つの隣接シール部材１
６，１６′の間隔ａが、遮蔽される要のある最小放射線
波長λのλ／４以下であるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高周波の交流電磁
界放射線を遮蔽するための装置であって、この装置を介
して、有利には、空所内の高周波放射線が被覆可能な空
所開口から漏れるのを防止可能である形式のものに関す
る。
界放射線を遮蔽するための装置であって、この装置を介
して、有利には、空所内の高周波放射線が被覆可能な空
所開口から漏れるのを防止可能である形式のものに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】高周波交流電磁界を包囲する空所からの
電磁界漏出の所期の遮蔽および防止のための措置および
装置は、公知である。特に、定期的に開閉する必要のあ
る空所開口、例えば扉の開口の構造設計の場合、留意す
べき点は、開口を覆う遮蔽部材が、空所を仕切る空所壁
と良好な電気接触状態を維持するようにし、かつまた空
所壁と、開口を閉じる遮蔽部材との間から、例えば残留
細隙を介して高周波の漏出が生じないようにすることで
ある。この種の細隙は、特に、存在する電磁界放射線の
波長λのλ／４の細隙寸法の場合に、スリットアンテナ
として作用し、遮蔽の要ある放射線が、このスリットア
ンテナを介して、極めて効果的に漏出することが可能で
る。
電磁界漏出の所期の遮蔽および防止のための措置および
装置は、公知である。特に、定期的に開閉する必要のあ
る空所開口、例えば扉の開口の構造設計の場合、留意す
べき点は、開口を覆う遮蔽部材が、空所を仕切る空所壁
と良好な電気接触状態を維持するようにし、かつまた空
所壁と、開口を閉じる遮蔽部材との間から、例えば残留
細隙を介して高周波の漏出が生じないようにすることで
ある。この種の細隙は、特に、存在する電磁界放射線の
波長λのλ／４の細隙寸法の場合に、スリットアンテナ
として作用し、遮蔽の要ある放射線が、このスリットア
ンテナを介して、極めて効果的に漏出することが可能で
る。
【０００３】遮蔽の要ある高周波交流電磁界は、例えば
対象表面の陰極スパッタリング被覆に用いられるマグネ
トロンの操作時に発生する。この種のマグネトロンの場
合、高周波交流電磁界により、スパッタされる陰極と陰
極に配属された陽極との間に放電が維持される。この種
の陰極スパッタリング装置の典型的な使用周波数は、最
大約４０ＭＨｚである。陰極スパッタリング被覆は、真
空条件下で実施されるので、そのための空所、すなわち
処理室は、しばしばゴムシールを用いて空密にはされる
が、ゴムシールは、そのままでは高周波密の性質はもた
ない。
対象表面の陰極スパッタリング被覆に用いられるマグネ
トロンの操作時に発生する。この種のマグネトロンの場
合、高周波交流電磁界により、スパッタされる陰極と陰
極に配属された陽極との間に放電が維持される。この種
の陰極スパッタリング装置の典型的な使用周波数は、最
大約４０ＭＨｚである。陰極スパッタリング被覆は、真
空条件下で実施されるので、そのための空所、すなわち
処理室は、しばしばゴムシールを用いて空密にはされる
が、ゴムシールは、そのままでは高周波密の性質はもた
ない。
【０００４】特に、スパッタ陰極の手入れや保守、例え
ば交換のために必要な、処理室に設けられたいる閉鎖可
能な開口は、何度も開閉するうちには、かならずしも高
周波密とはならなくなる。その結果、その処理室から電
磁放射線が漏出して、妨害信号として作用し、スパッタ
リングには高い放射線出力を要するため、例えば受信が
著しく妨害されることがある。
ば交換のために必要な、処理室に設けられたいる閉鎖可
能な開口は、何度も開閉するうちには、かならずしも高
周波密とはならなくなる。その結果、その処理室から電
磁放射線が漏出して、妨害信号として作用し、スパッタ
リングには高い放射線出力を要するため、例えば受信が
著しく妨害されることがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、電磁
放射線を遮蔽する装置、それも特に空所内に存在する電
界および／または磁界が、特に、閉鎖可能な空所開口か
らの放射線漏れにより漏出するのを防止する装置を提供
することにある。
放射線を遮蔽する装置、それも特に空所内に存在する電
界および／または磁界が、特に、閉鎖可能な空所開口か
らの放射線漏れにより漏出するのを防止する装置を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この課題は、本発明によ
り次のようにすることで解決された。すなわち、交流電
磁界が漏出せぬように閉鎖を要する空所開口を、電磁放
射線不透過性の遮蔽プレート体、例えば蓋で被覆し、か
つまたプレート体と外側の空所壁との間に、高周波（Ｈ
Ｆ）シールユニットを配置するようにし、この高周波シ
ールユニットが、事実上、導電性の弾性変形可能な材料
から成り、この材料を介して、プレート体と空所壁と
が、互いに導電接触するようにしたのである。高周波シ
ールユニットは、個別の高周波シール部材から成り、こ
れらの個別高周波シール部材が、高周波放射線に対しシ
ールを要する閉鎖可能の空所開口の外周区域に配置され
ている。その場合、隣接する２個の高周波シール部材の
最大間隔は、遮蔽を要する電磁放射線波長λのλ／４以
下、有利にはλ／４０以下とする。効果的遮蔽が可能な
高周波シールユニットは、次のように構成することで可
能になる。すなわち、高周波シール部材を、有利には、
プレート体、例えば蓋に設けた周溝内に配置し、しかも
高周波シール部材が、案内内に支承され、かつシール用
の蓋と、シールを要する空所、例えばケーシングとの間
の幾何的製作公差の範囲内で、高周波シール部材のシー
ル位置を調節可能にするのである。高周波シール部材の
端側から、それぞれ突出している導体線条は、空所の蓋
と空所壁との接触面に密着している。高周波シール部材
を、弾性的に、かつまた移動可能性が制限されるように
構成することによって、有利には、ケーシングの壁と蓋
とが、何度も開閉した後でも、高周波シール部材を介し
て電気接触状態が確実に維持されるようにする。あるい
はまた、高周波シール部材を、周溝なしのプレート体上
に直接に配置するようにする。
り次のようにすることで解決された。すなわち、交流電
磁界が漏出せぬように閉鎖を要する空所開口を、電磁放
射線不透過性の遮蔽プレート体、例えば蓋で被覆し、か
つまたプレート体と外側の空所壁との間に、高周波（Ｈ
Ｆ）シールユニットを配置するようにし、この高周波シ
ールユニットが、事実上、導電性の弾性変形可能な材料
から成り、この材料を介して、プレート体と空所壁と
が、互いに導電接触するようにしたのである。高周波シ
ールユニットは、個別の高周波シール部材から成り、こ
れらの個別高周波シール部材が、高周波放射線に対しシ
ールを要する閉鎖可能の空所開口の外周区域に配置され
ている。その場合、隣接する２個の高周波シール部材の
最大間隔は、遮蔽を要する電磁放射線波長λのλ／４以
下、有利にはλ／４０以下とする。効果的遮蔽が可能な
高周波シールユニットは、次のように構成することで可
能になる。すなわち、高周波シール部材を、有利には、
プレート体、例えば蓋に設けた周溝内に配置し、しかも
高周波シール部材が、案内内に支承され、かつシール用
の蓋と、シールを要する空所、例えばケーシングとの間
の幾何的製作公差の範囲内で、高周波シール部材のシー
ル位置を調節可能にするのである。高周波シール部材の
端側から、それぞれ突出している導体線条は、空所の蓋
と空所壁との接触面に密着している。高周波シール部材
を、弾性的に、かつまた移動可能性が制限されるように
構成することによって、有利には、ケーシングの壁と蓋
とが、何度も開閉した後でも、高周波シール部材を介し
て電気接触状態が確実に維持されるようにする。あるい
はまた、高周波シール部材を、周溝なしのプレート体上
に直接に配置するようにする。
【０００７】別の利点は、特に、プラスのプラズマが作
用する処理室のシールの場合に得られる。これらの正の
プラズマは、例えば、真空条件下で層または工作物にプ
ラズマ活性化蒸着するプラス・スパッタリング、プラズ
マコーティング、プラズマエッチングなどのＰＶＤ技術
の場合に使用される。プラズマ処理中に必要な真空圧の
発生および維持のために、処理室の入口開口は、例えば
弾性変形可能な材料製の従来の真空シール部材（Ｏリン
グ）でシールする。真空シール部材は、その場合、蓋に
設けられた周溝内に配置される。本発明により可能にな
った特別の利点は、真空シール部材と高周波シール部材
とを、入口開口の被覆用に備えられたプレート体か、ま
たは処理室壁に形成された共同利用される周溝内に、一
緒に配置できることである。この目的のために、本発明
によれば、真空シールユニットは、溝内にはめ込まれた
成形シール条材を介して取外し可能に固定され、しかも
この成形シール条材内には、高周波シール部材を受容す
る案内も設けられている。真空シール部材と高周波シー
ルユニットとを、有利には同じ周溝に集成配置すること
により、有利には構成面の手間が省け、空密かつ高周波
密な処理室の安価な製造が可能になる。
用する処理室のシールの場合に得られる。これらの正の
プラズマは、例えば、真空条件下で層または工作物にプ
ラズマ活性化蒸着するプラス・スパッタリング、プラズ
マコーティング、プラズマエッチングなどのＰＶＤ技術
の場合に使用される。プラズマ処理中に必要な真空圧の
発生および維持のために、処理室の入口開口は、例えば
弾性変形可能な材料製の従来の真空シール部材（Ｏリン
グ）でシールする。真空シール部材は、その場合、蓋に
設けられた周溝内に配置される。本発明により可能にな
った特別の利点は、真空シール部材と高周波シール部材
とを、入口開口の被覆用に備えられたプレート体か、ま
たは処理室壁に形成された共同利用される周溝内に、一
緒に配置できることである。この目的のために、本発明
によれば、真空シールユニットは、溝内にはめ込まれた
成形シール条材を介して取外し可能に固定され、しかも
この成形シール条材内には、高周波シール部材を受容す
る案内も設けられている。真空シール部材と高周波シー
ルユニットとを、有利には同じ周溝に集成配置すること
により、有利には構成面の手間が省け、空密かつ高周波
密な処理室の安価な製造が可能になる。
【０００８】真空シールユニットは、また、互いに平行
に延びる２つの周回するシール部材から成るようにする
ことができる。その場合、高周波シール部材は、これら
真空シール部材の間に配置する。高周波シール部材は、
それによって有利には機械的損傷および腐食による損傷
が防止される。
に延びる２つの周回するシール部材から成るようにする
ことができる。その場合、高周波シール部材は、これら
真空シール部材の間に配置する。高周波シール部材は、
それによって有利には機械的損傷および腐食による損傷
が防止される。
【０００９】高周波シール部材および／または真空シー
ル部材は、交換可能な成形シール条材によって周溝内に
固定される。このため、既存の高周波処理室や、更にな
お排気可能な処理室にも、本発明による高周波シールユ
ニットを、場合によっては真空シール部材と組合わせ
て、後装着することができる。
ル部材は、交換可能な成形シール条材によって周溝内に
固定される。このため、既存の高周波処理室や、更にな
お排気可能な処理室にも、本発明による高周波シールユ
ニットを、場合によっては真空シール部材と組合わせ
て、後装着することができる。
【００１０】個々の高周波シール部材は、弾性変形可能
な材料内に埋め込まれた細い可とう的な個別の導体を有
している。これらの個別の導体は、それぞれ両端部が、
弾性的な基体から突出し、それぞれ処理室壁および処理
室の蓋に密着している。その場合、必要とあれば、処理
室壁上および／または処理室の蓋上に生成される電気絶
縁性酸化物層が、導体端部によって突き破られ、処理室
壁と処理室の蓋との間に導電接触が生じる。このため、
本発明による高周波シールユニットは、薄い酸化物層に
覆われた処理室壁またはプレート体の場合にも効果的に
使用できる。本発明の対象のこのほかの構成は、請求項
２以下の各項に記載されている。
な材料内に埋め込まれた細い可とう的な個別の導体を有
している。これらの個別の導体は、それぞれ両端部が、
弾性的な基体から突出し、それぞれ処理室壁および処理
室の蓋に密着している。その場合、必要とあれば、処理
室壁上および／または処理室の蓋上に生成される電気絶
縁性酸化物層が、導体端部によって突き破られ、処理室
壁と処理室の蓋との間に導電接触が生じる。このため、
本発明による高周波シールユニットは、薄い酸化物層に
覆われた処理室壁またはプレート体の場合にも効果的に
使用できる。本発明の対象のこのほかの構成は、請求項
２以下の各項に記載されている。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下で、本発明の対象を、図１〜
図１１に示した特に有利な複数実施例につき詳説する。
図１１に示した特に有利な複数実施例につき詳説する。
【００１２】図１に示した事実上長方形の、空所、例え
ばケーシングまたは処理室の蓋４は、その外縁区域に、
成形シール条材６と、真空シール部材１４ａ，１４ｂ
と、高周波シール部材１６，１６′，１６″，．．．
（図４のａ，ｂ参照）とを受容する周溝５を有してい
る。真空シールユニット１４ａ，１４ｂは、有利には円
形横断面の、弾性変形可能なゴム製リングから成ってい
る。これらのゴム製リングは、それらの周面が、一方の
側では処理室壁２に密着し、他方の側では処理室の蓋４
に密着している（図５〜図８）。真空シールユニット１
４ａ，１４ｂは、周溝５内に取外し可能に取付け可能な
成形シール条材６，２２，３０，３６，４２によって、
周溝５内に保持されている。成形シール条材６，２２，
３０，３６，４２は、開口側に沿ってそれぞれ一体に構
成され、それぞれ互いに平行に、かつまた周溝５に対し
平行に延びる傾斜部３２ａ，３２ｂ；３８ａ，３８ｂ；
４４ａ，４４ｂ；５０ａ，５０ｂ（図５〜図８参照）を
有している。これらの傾斜部に対し、真空シール部材１
４ａ，１４ｂが、軽く圧着され、それによって、真空シ
ール部材は、周溝５内で側方へずり落ちたり、脱落した
りすることが防止され、処理室壁２と処理室の蓋４とに
対し空間的に不動の位置に固定される。
ばケーシングまたは処理室の蓋４は、その外縁区域に、
成形シール条材６と、真空シール部材１４ａ，１４ｂ
と、高周波シール部材１６，１６′，１６″，．．．
（図４のａ，ｂ参照）とを受容する周溝５を有してい
る。真空シールユニット１４ａ，１４ｂは、有利には円
形横断面の、弾性変形可能なゴム製リングから成ってい
る。これらのゴム製リングは、それらの周面が、一方の
側では処理室壁２に密着し、他方の側では処理室の蓋４
に密着している（図５〜図８）。真空シールユニット１
４ａ，１４ｂは、周溝５内に取外し可能に取付け可能な
成形シール条材６，２２，３０，３６，４２によって、
周溝５内に保持されている。成形シール条材６，２２，
３０，３６，４２は、開口側に沿ってそれぞれ一体に構
成され、それぞれ互いに平行に、かつまた周溝５に対し
平行に延びる傾斜部３２ａ，３２ｂ；３８ａ，３８ｂ；
４４ａ，４４ｂ；５０ａ，５０ｂ（図５〜図８参照）を
有している。これらの傾斜部に対し、真空シール部材１
４ａ，１４ｂが、軽く圧着され、それによって、真空シ
ール部材は、周溝５内で側方へずり落ちたり、脱落した
りすることが防止され、処理室壁２と処理室の蓋４とに
対し空間的に不動の位置に固定される。
【００１３】高周波真空シール部材１６，１
６′，．．．；２４，２４′，．．．；３４，３
４′，．．．；４０，４０′，．．．；４６，４
６′，．．．は、シール条材６，２２，３０，３６，４
２内に設けられた案内１２，１２′（図３のｂ）内には
め込まれ、これらの案内内に、処理室壁２に対し押しず
らす方向へ摩擦接続式に支承される。高周波シール部材
１６、１６′は、止めピン１８，１８′（図８〜図１
１）によって、意図せぬ脱落を防止されている。高周波
シール部材１６，１６′，．．．；２４，２
４′，．．．；３４，３４′，．．．；４０，４
０′，．．．；４６，４６′，．．．は、導体、例えば
導電性金属線条を埋め込んだエラストマ製の通常の高周
波シールから成っている。金属線条は、処理室壁２上と
処理室の蓋４に向かい合った端面のところで、エラスト
マ材料、例えばシリコンから自由突出し、処理室の蓋４
で処理室壁２を閉じた場合、これら金属線条が、一方で
は、処理室の蓋４および処理室壁２のところに圧着さ
れ、他方では、接触面１７，１７′または２０，２０′
のところに圧着される。接触面上に形成される絶縁酸化
物層は、金属線条により局所的に突き破られ、処理室壁
２と処理室の蓋４との間には導電接続が生じる。
６′，．．．；２４，２４′，．．．；３４，３
４′，．．．；４０，４０′，．．．；４６，４
６′，．．．は、シール条材６，２２，３０，３６，４
２内に設けられた案内１２，１２′（図３のｂ）内には
め込まれ、これらの案内内に、処理室壁２に対し押しず
らす方向へ摩擦接続式に支承される。高周波シール部材
１６、１６′は、止めピン１８，１８′（図８〜図１
１）によって、意図せぬ脱落を防止されている。高周波
シール部材１６，１６′，．．．；２４，２
４′，．．．；３４，３４′，．．．；４０，４
０′，．．．；４６，４６′，．．．は、導体、例えば
導電性金属線条を埋め込んだエラストマ製の通常の高周
波シールから成っている。金属線条は、処理室壁２上と
処理室の蓋４に向かい合った端面のところで、エラスト
マ材料、例えばシリコンから自由突出し、処理室の蓋４
で処理室壁２を閉じた場合、これら金属線条が、一方で
は、処理室の蓋４および処理室壁２のところに圧着さ
れ、他方では、接触面１７，１７′または２０，２０′
のところに圧着される。接触面上に形成される絶縁酸化
物層は、金属線条により局所的に突き破られ、処理室壁
２と処理室の蓋４との間には導電接続が生じる。
【００１４】図９に示した実施例には、実質的に、方形
接触面１７，１７′を有する高周波シール部材１６，１
６′が備えられ、成形シール条材６（図８および図９）
内に間隔ａをおいて連続的に配置されている。隣接する
高周波シール部材１６，１６′の、選定を要する間隔ａ
は、発生している遮蔽を要する電磁放射線の最小波長λ
に応じて決定する。高い減衰能を有する良好な遮蔽特性
は、間隔ａが、遮蔽を要する放射線波長λの＜λ／４の
場合に得られる。一連の実験によって、ａ＜λ／４０の
値の場合、極めて効果的な、ほとんど電磁放射線を透過
しない高周波シールユニット配置が得られることがこと
が判明した。
接触面１７，１７′を有する高周波シール部材１６，１
６′が備えられ、成形シール条材６（図８および図９）
内に間隔ａをおいて連続的に配置されている。隣接する
高周波シール部材１６，１６′の、選定を要する間隔ａ
は、発生している遮蔽を要する電磁放射線の最小波長λ
に応じて決定する。高い減衰能を有する良好な遮蔽特性
は、間隔ａが、遮蔽を要する放射線波長λの＜λ／４の
場合に得られる。一連の実験によって、ａ＜λ／４０の
値の場合、極めて効果的な、ほとんど電磁放射線を透過
しない高周波シールユニット配置が得られることがこと
が判明した。
【００１５】図１１に示した高周波シールユニットの場
合、高周波シール部材２４，２４′が、溝５に沿って延
びる直方体の形状を有し、この直方体が、２個の止着ピ
ン２６，２６′によって、案内２８内に保持される。
合、高周波シール部材２４，２４′が、溝５に沿って延
びる直方体の形状を有し、この直方体が、２個の止着ピ
ン２６，２６′によって、案内２８内に保持される。
【００１６】止めピン１８，１８′（図９）または２
６，２６′（図１１）によって保持する代わりに、高周
波シール部材３４（図５）を、成形シール条材３０内に
摩擦接続式に保持することもできる。その場合には、成
形シール条材内に断面部１５を形成しておき、断面部１
５が、高周波シール部材３４の外周に形成された対応断
面部に係止されるようにする。
６，２６′（図１１）によって保持する代わりに、高周
波シール部材３４（図５）を、成形シール条材３０内に
摩擦接続式に保持することもできる。その場合には、成
形シール条材内に断面部１５を形成しておき、断面部１
５が、高周波シール部材３４の外周に形成された対応断
面部に係止されるようにする。
【００１７】図５に示したように、シール条材３２ａ，
３２ｂに断面部１５を形成する代わりに、図６に示した
実施例では、成形シール条材３６に円錐形断面部４１が
設けられ、この断面部４１内へ高周波シール部材４０が
ホッパ状に突入し、成形シール条材３６からの脱落が防
止されている。
３２ｂに断面部１５を形成する代わりに、図６に示した
実施例では、成形シール条材３６に円錐形断面部４１が
設けられ、この断面部４１内へ高周波シール部材４０が
ホッパ状に突入し、成形シール条材３６からの脱落が防
止されている。
【００１８】高周波シール部材３４，４０の場合のよう
な摩擦接続式の係止の代わりに、図７に示すように、高
周波シール部材４６を、成形シール条材４２に相応に形
成した断面の受容部に形状接続式にはめ込むこともでき
る。これによって、シール条材４２からの高周波シール
部材４６の脱落は、効果的に阻止され、付加的な止めピ
ンは全く不要となる。
な摩擦接続式の係止の代わりに、図７に示すように、高
周波シール部材４６を、成形シール条材４２に相応に形
成した断面の受容部に形状接続式にはめ込むこともでき
る。これによって、シール条材４２からの高周波シール
部材４６の脱落は、効果的に阻止され、付加的な止めピ
ンは全く不要となる。
【００１９】シール条材６は、互いに間隔をおいて配置
された複数貫通穴８（図３のａ）を介して、ねじ９（図
４のｂ）により溝５（図４のｂ，図８）内に取付けるこ
とができる。これによって、真空シールユニットと、こ
れに集成される高周波シールユニットとの迅速な交換ま
たは更新が、既存の、例えば周溝を有する処理室壁また
は処理室の蓋の場合にも可能となる。
された複数貫通穴８（図３のａ）を介して、ねじ９（図
４のｂ）により溝５（図４のｂ，図８）内に取付けるこ
とができる。これによって、真空シールユニットと、こ
れに集成される高周波シールユニットとの迅速な交換ま
たは更新が、既存の、例えば周溝を有する処理室壁また
は処理室の蓋の場合にも可能となる。
【図１】真空シールユニットと、高周波シールユニット
と、成形シール条材とを有する長方形の、処理室の蓋
を、シールユニット側から見た平面図である。
と、成形シール条材とを有する長方形の、処理室の蓋
を、シールユニット側から見た平面図である。
【図２】図１のシールユニットおよび成形シール条材の
部分拡大図である。
部分拡大図である。
【図３】（ａ）は、図２のＡ−Ａ線に沿った断面図、
（ｂ）は、図２のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
（ｂ）は、図２のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【図４】（ａ）は、図３の（ａ）の成形シール条材と、
この成形シール条材に配属された真空シール部材および
高周波シール部材との拡大断面図、（ｂ）は、図３の
（ｂ）の成形シール条材と、この成形シール条材に配属
された真空シール部材および取付けねじとの拡大断面図
である。
この成形シール条材に配属された真空シール部材および
高周波シール部材との拡大断面図、（ｂ）は、図３の
（ｂ）の成形シール条材と、この成形シール条材に配属
された真空シール部材および取付けねじとの拡大断面図
である。
【図５】本発明の第２実施例の、溝内に配置された真空
シールユニットおよび高周波シールユニットの断面図で
ある。
シールユニットおよび高周波シールユニットの断面図で
ある。
【図６】本発明の第３実施例の、溝内に配置された真空
シールユニットおよび高周波シールユニットの断面図で
ある。
シールユニットおよび高周波シールユニットの断面図で
ある。
【図７】本発明の第４実施例の、溝内に配置された真空
シールユニットおよび高周波シールユニットの断面図で
ある。
シールユニットおよび高周波シールユニットの断面図で
ある。
【図８】本発明の第５実施例の、溝内に配置された真空
シールユニットおよび高周波シールユニットの断面図で
ある。
シールユニットおよび高周波シールユニットの断面図で
ある。
【図９】図８に示した成形シール条材と、高周波シール
ユニットの内の２個の成形シール部材との背面図であ
る。
ユニットの内の２個の成形シール部材との背面図であ
る。
【図１０】成形シール条材と、この成形シール条材には
め込まれた高周波シール部材との別の実施例の断面図で
ある。
め込まれた高周波シール部材との別の実施例の断面図で
ある。
【図１１】図１０の成形シール条材と、この成形シール
条材にはめ込まれた高周波シール部材との背面図であ
る。
条材にはめ込まれた高周波シール部材との背面図であ
る。
２ 処理室壁、 ４ 処理室の蓋、 ５ 溝、 ６，２
２，３０，３２，３６，４２ 成形シール条材、 ８，
２８ 貫通穴、 １０ 側面、 １３ 金属線条、１４
真空シールユニット、 １５ 断面部、 １６，２
４，３４，４０，４６ 高周波シールユニット、 １
７，２０ 接触面、 １８，２６ 止めピン、３８，５
０ 傾斜部
２，３０，３２，３６，４２ 成形シール条材、 ８，
２８ 貫通穴、 １０ 側面、 １３ 金属線条、１４
真空シールユニット、 １５ 断面部、 １６，２
４，３４，４０，４６ 高周波シールユニット、 １
７，２０ 接触面、 １８，２６ 止めピン、３８，５
０ 傾斜部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヨハネス クンツ ドイツ連邦共和国 ハッセルロート リン グシュトラーセ 46 (72)発明者 オルトリッヒ メデク ドイツ連邦共和国 マインタール アン デア ブライヒェ ５
Claims (4)
- 【請求項１】 空所内に存在する電磁界を遮蔽するため
の装置、特に、高周波の交流電界および／または交番磁
界を、電磁放射線の透過する空所開口から漏出せぬよう
に遮蔽するための装置において、 前記開口が、有利には、取外し可能な電磁放射線不透過
性の複数プレート体（４）によって閉鎖可能であり、し
かもプレート体（４）の、有利には外周区域に、および
／または閉鎖される必要のある空所壁開口の開口縁部区
域に、有利には、弾性変形可能な電気導体から成る高周
波シール部材（１６，１６，１６′、．．．；２４，２
４′，．．．；３４，３４′，．．．；４０，４
０′，．．．；４６，４６′，．．．）を有する高周波
シールユニットが配置されており、この高周波シールユ
ニットによって、プレート体（４）が、高周波シール部
材（１６，１６′，．．．；２４，２４′，．．．；３
４，３４′，．．．；４０，４０′，．．．；４６，４
６′，．．．）を介して空所壁（２）と導電接続されて
空所壁（２）上に載置されており、更に、２つの隣接す
る高周波シール部材（１６，１６′）の間隔ａが、遮蔽
される必要ある最小放射線波長λのλ／４以下であるこ
とを特徴とする、空所内に存在する電磁界を遮蔽するた
めの装置。 - 【請求項２】 プレート体（４）の、有利には外周区域
に、および／または空所壁開口の開口縁部区域に、それ
自体閉じられた周溝（５）が設けられており、この周溝
（５）内に、少なくとも１つの真空シール部材（１４
ａ，１４ｂ）が配置され、この真空シール部材（１４
ａ，１４ｂ）を介して空所壁開口が空密に閉鎖可能であ
る、請求項１記載の装置。 - 【請求項３】 高周波シールユニット（１６，１
６′，．．．；２４，２４′，．．．；３４，３
４′，．．．；４０，４０′，．．．；４６，４
６′，．．．）と、真空シールユニット（１４ａ，１４
ｂ）とを、一緒に成形シール条材（６，２２，３０，３
６，４２）によって固定可能であり、この成形シール条
材が、有利には周溝（５）内に配置され、かつプレート
体（４）と有利には取外し可能に結合されている、請求
項１または２記載の装置。 - 【請求項４】 高周波シール部材（１６，１
６′，．．．；２４，２４′，．．．；３４，３
４′，．．．；４０，４０′，．．．；４６，４
６′，．．．）が、摩擦接続（３４，４０）または形状
接続（４６）によって成形シール条材（３０；３６，４
２）内に保持されている、請求項１から３までのいずれ
か１項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19618766A DE19618766A1 (de) | 1996-05-10 | 1996-05-10 | Anordnung zur Abschirmung von hochfrequenter elektromagnetischer Strahlung |
| DE19618766.4 | 1996-05-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1051174A true JPH1051174A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=7793888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9119351A Pending JPH1051174A (ja) | 1996-05-10 | 1997-05-09 | 空所内に存在する電磁界を遮蔽するための装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5898127A (ja) |
| EP (1) | EP0806890A3 (ja) |
| JP (1) | JPH1051174A (ja) |
| KR (1) | KR970078797A (ja) |
| DE (1) | DE19618766A1 (ja) |
| TW (1) | TW338877B (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6262363B1 (en) * | 1998-12-31 | 2001-07-17 | Lucent Technologies, Inc. | Electromagnetic shielding method and apparatus |
| WO2002050463A2 (en) * | 2000-12-19 | 2002-06-27 | Tokyo Electron Limited | Seal for process tube |
| US20020073545A1 (en) * | 2000-12-19 | 2002-06-20 | Adc Telecommunications, Inc. | Enhanced heat transfer for housings |
| US7870701B2 (en) * | 2005-12-07 | 2011-01-18 | Raytheon Company | Radiation limiting opening for a structure |
| US7381906B2 (en) * | 2006-03-01 | 2008-06-03 | Sony Ericsson Mobile Communications Ab | Shielding device |
| DE102007032045B4 (de) | 2007-07-10 | 2009-05-14 | Abb Ag | Dichtungsanordnung |
| US8382385B2 (en) * | 2011-01-14 | 2013-02-26 | Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd | Optical transceiver module having an electromagnetic interference (EMI) cancellation device disposed therein, and an EMI cancelation method for use in an optical transceiver module |
| IL219476B (en) * | 2012-04-30 | 2018-06-28 | Israel Aerospace Ind Ltd | seal |
| DE102014103591A1 (de) * | 2014-03-17 | 2015-09-17 | Stefan Lück | Dichtsystem |
| JP5905510B2 (ja) * | 2014-05-29 | 2016-04-20 | ファナック株式会社 | 電子機器ユニットと制御盤筐体のシールド構造 |
| CN111669926B (zh) * | 2020-05-22 | 2021-09-17 | 台达电子企业管理（上海）有限公司 | 电磁场收发装置及无线充电装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2605257A1 (de) * | 1976-02-11 | 1977-08-18 | Continental Gummi Werke Ag | Streifen- oder schnurfoermige dichtung fuer elektrische, elektronische oder funkgeraete und deren bauteile |
| US4384165A (en) * | 1981-09-14 | 1983-05-17 | Motorola, Inc. | Radio frequency shield with force multiplier interconnection fingers for an electromagnetic gasket |
| JPS6427298A (en) * | 1987-07-23 | 1989-01-30 | Uniden Kk | Shielding structure for circuit device on substrate |
| GB2218264A (en) * | 1988-05-05 | 1989-11-08 | Rfi Shielding Limited | Gasket carrier |
| US5170321A (en) * | 1990-12-24 | 1992-12-08 | Motorola, Inc. | Enclosure system for environmental isolation of RF circuitry |
| DE4340108C3 (de) * | 1993-11-22 | 2003-08-14 | Emi Tec Elektronische Material | Abschirmelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
| GB2291938B (en) * | 1994-08-04 | 1998-02-11 | Vero Electronics Ltd | Gaskets for housings |
-
1996
- 1996-05-10 DE DE19618766A patent/DE19618766A1/de not_active Withdrawn
-
1997
- 1997-03-19 EP EP97104668A patent/EP0806890A3/de not_active Withdrawn
- 1997-04-16 TW TW086104918A patent/TW338877B/zh active
- 1997-05-07 KR KR1019970017378A patent/KR970078797A/ko not_active Application Discontinuation
- 1997-05-08 US US08/853,129 patent/US5898127A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-05-09 JP JP9119351A patent/JPH1051174A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW338877B (en) | 1998-08-21 |
| DE19618766A1 (de) | 1997-11-13 |
| US5898127A (en) | 1999-04-27 |
| EP0806890A3 (de) | 1998-04-15 |
| EP0806890A2 (de) | 1997-11-12 |
| KR970078797A (ko) | 1997-12-12 |
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