JPH1049926A - 光磁気記録媒体の再生方法及び光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体の再生方法及び光磁気記録媒体

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Abstract

(57)【要約】 【課題】面内磁化状態にある部分の記録磁区情報がマス
クされ、集光された光ビームのビーム径内に隣接する記
録ビットが入る場合においても、高い信号品質で個々の
記録ビットを分離して再生することを可能とする。 【解決手段】本来垂直磁化状態である再生層1と、記録
層4とが静磁結合してなる光磁気記録媒体であって、再
生層1に隣接して面内磁化膜2が形成され、再生層1と
面内磁化膜2とが交換結合することにより、再生層1に
面内磁化マスクを形成する。小さい記録ビット径、及び
小さい記録ビット間隔で記録再生を行った場合において
も、十分な信号品質を得ることが可能な超解像光磁気記
録媒体を実現する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光磁気記録再生装
置に適用される光磁気ディスク、光磁気テープ、光磁気
カード等の光磁気記録媒体、及びその再生方法に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、書き換え可能な光記録媒体と
して、光磁気記録媒体が実用化されている。このような
光磁気記録媒体では、光磁気記録媒体上に集光された半
導体レーザから出射される光ビームのビーム径に対し
て、記録用磁区である記録ビット径及び記録ビット間隔
が小さくなってくると、再生特性が劣化してくるという
欠点が生じている。
【0003】このような欠点は、目的とする記録ビット
上に集光された光ビームのビーム径内に隣接する記録ビ
ットが入るために、個々の記録ビットを分離して再生す
ることができなくなることが原因である。
【0004】上記の欠点を解消するために、特開平6−
150418号公報において、室温において面内磁化状
態であり、温度上昇と共に垂直磁化状態となる再生層と
記録層との間に非磁性中間層を設け、再生層と記録層と
が静磁結合した構造の磁気的超解像光磁気記録媒体が提
案されている。
【0005】これにより、面内磁化状態にある部分の記
録磁区情報がマスクされ、集光された光ビームのビーム
径内に隣接する記録ビットが入る場合においても、個々
の記録ビットを分離して再生するという磁気的超解像再
生が可能となることが示されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
特開平6−150418号公報では、室温において面内
磁化状態であり、温度上昇と共に垂直磁化状態となる磁
気特性を実現するため、再生層が室温においてREri
ch組成の希土類遷移金属合金を用いる必要がある。こ
れに対して、記録層は良好な記録特性を得るため、その
キュリー温度近傍においてTMrich組成の希土類遷
移金属合金を用いることが望ましい。ここで、REri
ch組成とは、希土類金属(RE)の副格子モーメント
の大きさと遷移金属(TM)の副格子モーメントの大き
さとが釣り合う補償組成に対して、希土類金属の副格子
モーメントの大きさがより大きくなる組成を意味してお
り、TMrich組成とは、補償組成に対して、遷移金
属の副格子モーメントの大きさがより大きくなる組成を
意味している。
【0007】このような理由から、特開平6−1504
18号公報においては、RErich組成の再生層とT
Mrich組成の記録層とが、各層のトータル磁化の向
きを一致させるべく静磁結合することにより、各層の副
格子モーメントの向きが反平行となり、従来の光磁気記
録媒体と比較して、再生極性が反転するという問題を有
している。
【0008】本発明は、上記従来の問題点を解決するた
めになされたものであり、その目的は、再生極性を反転
させることなく、同様な磁気的超解像再生を実現させる
ことにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、垂直磁化膜からなる再生層と垂直磁化膜からなる記
録層とが静磁結合した光磁気記録媒体において、再生層
に隣接して面内磁化膜が形成され、前記面内磁化膜のキ
ュリー温度以下の温度において、前記再生層の磁化方向
を膜面に対して垂直方向から面内方向に変えて情報再生
時のマスキングとしてなることを特徴とする光磁気記録
媒体の再生方法である。
【0010】請求項2に記載の発明は、垂直磁化膜から
なる再生層と垂直磁化膜からなる記録層とが静磁結合し
た光磁気記録媒体において、再生層に隣接して面内磁化
膜が形成されるとともに、前記再生層が、希土類金属と
遷移金属との合金からなり、室温以上の温度において希
土類副格子モーメントと遷移金属副格子モーメントとが
つりあう補償組成に対して、遷移金属副格子モーメント
をより多く含有する組成であり、前記面内磁化膜のキュ
リー温度以下の温度において、前記再生層の磁化方向を
膜面に対して垂直方向から面内方向に変え、前記再生層
の面内磁化を情報再生のマスキングとすることを特徴と
する光磁気記録媒体である。
【0011】請求項3に記載の発明は、請求項2に記載
の光磁気記録媒体において、前記面内磁化膜のキュリー
温度が、60℃以上200℃以下であることを特徴とす
る光磁気記録媒体である。
【0012】請求項4に記載の発明は、請求項2または
3に記載の光磁気記録媒体において、前記面内磁化膜
が、GdFe、GdFeAl、GdFeTi、GdFe
Ta、GdFePt、GdFeAu、GdFeCu、G
dFeAlTi、GdFeAlTa合金のいずれかの合
金からなることを特徴とする光磁気記録媒体でる。
【0013】上記構成によれば、再生層の温度上昇して
いない部分において、再生層を安定して面内磁化状態と
し、安定して面内磁化マスクによるフロントマスクを形
成することが可能となるとともに、再生時に再生極性が
反転することのない磁気的超解像再生が可能となる。
【0014】また特に、請求項4の記録媒体によればに
よれば再生層を安定した面内磁化状態にできる。
【0015】請求項5に記載の発明は、請求項2または
3に記載の光磁気記録媒体において、前記再生層は、一
般式(1)、及び、条件(2)を満足する組成であるこ
とを特徴とする光磁気記録媒体。
【0016】 GdX1(FeY1Co1-Y11-X1 ・・・(1) 0.12≦X1≦0.26 0.60≦Y1≦1.00 ・・・(2) 上記構成によれば、請求項2及び請求項3に記載の光磁
気記録媒体において、上記再生極性が反転しない磁気的
超解像再生が可能となるとともに、再生層の磁気特性が
最適化され、安定して再生信号を得ることが可能とな
る。
【0017】請求項6に記載の発明は、請求項2または
3に記載の光磁気記録媒体において、前記面内磁化膜
は、一般式(3)、及び、条件(4)を満足する組成で
あることを特徴とする光磁気記録媒体。
【0018】 (GdX2Fe1-X2Y2Al1-Y2 ・・・(3) 0≦X2≦0.14、又は、0.32≦X2≦1.00 0.30≦Y2≦1.00 ・・・(4) 上記構成によれば、請求項2及び請求項3に記載の光磁
気記録媒体において、上記再生極性が反転しない磁気的
超解像再生が可能となるとともに、面内磁化膜の磁気特
性が最適化され、安定して再生信号を得ることが可能と
なる。
【0019】請求項7に記載の発明は、垂直磁化膜から
なる再生層と垂直磁化膜からなる記録層とが静磁結合し
た光磁気記録媒体において、再生層に隣接して面内磁化
膜が形成され、前記面内磁化膜のキュリー温度以下の温
度において、前記再生層の磁化方向を膜面に対して垂直
方向から面内方向に変え、前記再生層の面内磁化により
情報再生時の第1マスキングを行うとともに、前記再生
層のキュリー温度以上の温度における領域部分を第2マ
スキングとしたことを特徴とする光磁気記録媒体の再生
方法である。
【0020】請求項8に記載の発明は、垂直磁化膜から
なる再生層と垂直磁化膜からなる記録層とが静磁結合し
た光磁気記録媒体において、再生層に隣接して面内磁化
膜が形成されるとともに、前記再生層が、希土類金属と
遷移金属との合金からなり、室温以上の温度において希
土類副格子モーメントと遷移金属副格子モーメントとが
つりあう補償組成に対して、遷移金属副格子モーメント
をより多く含有する組成であり、前記面内磁化膜のキュ
リー温度以下の温度において、前記再生層の磁化方向を
膜面に対して垂直方向から面内方向に変え、前記再生層
の面内磁化により情報再生時の第1マスキングを行うと
ともに、前記再生層のキュリー温度以上の温度における
領域部分を第2マスキングとしたことを特徴とする光磁
気記録媒体である。
【0021】請求項9に記載の発明は、請求項8に記載
の光磁気記録媒体において、前記再生層のキュリー温度
が、160℃以上220℃以下であり、かつ、前記面内
磁化膜のキュリー温度が、60℃以上140℃以下であ
ることを特徴とする光磁気記録媒体である。
【0022】上記構成によれば、上記再生極性が反転し
ない磁気的超解像再生が可能となるとともに、ダブルマ
スクによる磁気的超解像再生が実現し、さらに分解能の
高い再生を行うことが可能となる。
【0023】請求項10に記載の発明は、請求項8また
は9に記載の光磁気記録媒体において、前記再生層は、
一般式(5)、及び、条件(6)を満足する組成である
ことを特徴とする光磁気記録媒体である。
【0024】 GdX4(FeY4Co1-Y41-X4 ・・・(5) 0.12≦X4≦0.18 0.85≦Y4≦1.00 ・・・(6) 上記構成によれば、請求項8または9に記載の光磁気記
録媒体において、上記再生極性が反転しない磁気的超解
像再生が可能となるとともに、再生層の磁気特性が最適
化されることにより、安定してダブルマスクを利用した
超解像再生を実現することが可能となる。
【0025】請求項11に記載の発明は、請求項8また
は9に記載の光磁気記録媒体において、前記面内磁化膜
は、一般式(7)、及び、条件(8)を満足する組成で
あることを特徴とする光磁気記録媒体である。
【0026】 (GdX5Fe1-X5Y5Al1-Y5 ・・・(7) 0.10≦X5≦0.14、又は、0.33≦X5≦1.00 0.35≦Y5≦0.95 ・・・(8) 上記構成によれば、請求項8または9に記載の光磁気記
録媒体において、上記再生極性が反転しない磁気的超解
像再生が可能となるとともに、面内磁化膜の磁気特性が
最適化されることにより、安定してダブルマスクを利用
した超解像再生を実現することが可能となる。
【0027】
【発明の実施の形態】
実施の形態1 以下、本発明の実施の形態1を図面を用いて詳細に説明
する。
【0028】図1に本発明の超解像再生動作原理を説明
する光磁気記録媒体の平面図と断面図を、図2に従来の
超解像再生動作原理を説明する光磁気記録媒体の平面図
と断面図を示す。
【0029】まず、従来の超解像再生動作について説明
する。従来の超解像光磁気記録媒体は図2に示すよう
に、室温で面内磁化状態であり温度上昇に伴い垂直磁化
状態となる希土類金属と遷移金属との合金からなる再生
層1と、室温に補償温度を有する希土類金属と遷移金属
との合金からなる記録層4との間に非磁性中間層3が形
成され、再生層1と記録層4とが静磁結合した構成であ
る。
【0030】光ビーム5が再生層側から集光照射され情
報の再生が行われる。光ビーム5の照射に伴い媒体には
光ビーム5の強度分布に対応したガウシアン分布状の温
度分布が形成される。ここで、ディスク移動に伴い、再
生層の温度の高い領域は後方に移動し、光ビームスポッ
ト100に対して等温線101が形成される。再生層1
は、この温度分布に対応して、第1の温度範囲(等温線
101の外側)で面内磁化状態となり、第2の温度範囲
(等温線101の内側)で垂直磁化状態となり、第1の
温度範囲がフロントマスクを形成することになる。ここ
で、第2の温度範囲において、再生層1のトータル磁化
の向きが記録層4から発生する漏洩磁界の向きを向き、
等温線101の内側の再生層1の垂直磁化成分のみが情
報として再生されることにより、超解像再生動作が実現
する。再生層1において、記録層4の磁化状態が転写さ
れるのは、磁区102と磁区103の二つになるが、光
ビームスポット100内に存在する磁区102のみが再
生される。
【0031】ここで、再生層1においては、室温で面内
磁化状態であり温度上昇に伴い垂直磁化状態となる特性
を実現するため、希土類金属(RE)副格子モーメント
の大きさと遷移金属(TM)副格子モーメントの大きさ
とが同じ大きさになる補償組成に対して、RE副格子モ
ーメントを多く含有していることが必要であり、再生層
1のTM副格子モーメントの向きとトータル磁化の向き
とが反平行となる。一方、記録層4においては、良好な
記録特性を得るべく、室温に補償温度を有する希土類遷
移金属合金が用いられており、温度上昇過程において、
TM副格子モーメントの大きさがRE副格子モーメント
より大きくなるため、記録層4のTM副格子モーメント
の向きとトータル磁化の向きとは平行となる。従って、
記録層4のTM副格子モーメントの向きと漏洩磁界の向
きとは平行となり、その漏洩磁界に対して再生層1のT
M副格子モーメントの向きは、反平行となるようにそろ
えられることになる。記録層のみ存在する従来の光磁気
記録媒体に対して、再生の極性、すなわち、TM副格子
モーメントの向きが反転することになり、従来の光磁気
記録媒体との互換性を取る際、この極性反転を考慮して
記録再生を行うことが必要である。
【0032】一方、図1に示す本発明の超解像光磁気記
録媒体において、再生層1は単独で存在する場合垂直磁
化状態であるが、面内磁化膜2と再生層1とが交換結合
した範囲において、再生層1が垂直磁化状態から面内磁
化状態へと変化するため、再生層1として、補償組成に
対して、TM副格子モーメントを多く含有している垂直
磁化膜を採用することが可能となる。この場合、図2に
示す従来の超解像光磁気記録媒体と同様に、静磁結合に
より、磁区102が再生されることにより超解像再生が
実現する。
【0033】しかし、再生層1と記録層4が共に、補償
組成に対してTM副格子モーメントを多く含有する組成
であるため、再生層1のTM副格子モーメントの向きと
記録層4のTM副格子モーメントの向きとが平行とな
り、再生の極性が反転する事なく、記録層のみ存在する
従来の光磁気記録媒体と容易に互換性を得ることができ
る。
【0034】本発明の実施の形態1について図3に基づ
いて更に詳しく説明すれば以下の通りである。本実施の
形態1では、光磁気記録媒体として光磁気ディスクを適
用した場合について説明する。
【0035】本実施の形態1に係る光磁気ディスクは、
図3に示すように、基板6、透明誘電体層7、再生層
1、面内磁化膜2、非磁性中間層3、記録層4、保護層
8、オーバーコート層9が、この順にて積層されたディ
スク本体を有している。
【0036】このような光磁気ディスクでは、その記録
方式としてキュリー温度記録方式が用いられており、半
導体レーザから出射される光ビーム5が対物レンズによ
り再生層1に絞り込まれ、極カー効果として知られてい
る光磁気効果によって情報が記録再生されるようになっ
ている。上記極カー効果とは、入射表面に垂直な磁化の
向きにより、反射光の偏光面の回転の向きが逆方向にな
る現象である。
【0037】基板6は、例えばポリカーボネート等の透
明な基材からなり、ディスク状に形成される。
【0038】透明誘電体層7は、AlN、SiN、Al
SiN等の酸素を含まない材料で構成されることが望ま
しく、その膜厚は、入射するレーザ光に対して、良好な
干渉効果が実現し、媒体のカー回転角が増大すべく設定
される必要があり、再生光の波長をλ、透明誘電体層7
の屈折率をnとした場合、透明誘電体層7の膜厚は(λ
/4n)程度に設定される。例えば、レーザ光の波長を
680nmとした場合、透明誘電体層7の膜厚を40n
m〜100nm程度に設定すれば良い。
【0039】再生層1は、希土類遷移金属合金からなる
磁性膜であり、再生極性の反転が起こらないように、室
温からそのキュリー温度まで、補償組成に対してTM副
格子モーメントを多く含有する組成に設定され、再生層
1が単独で存在する場合、膜面に対して垂直方向に磁化
を有する垂直磁化膜である。また、再生層1の膜厚は、
良好な再生信号を得るため10nm以上80nm以下と
することが望ましい。
【0040】面内磁化膜2は、そのキュリー温度まで膜
面に対して面内方向に磁化を有する面内磁化膜であり、
再生層1と交換結合することにより、再生層1の磁化方
向を垂直方向から面内方向へと変える特性を有してい
る。再生層1において、良好な面内磁化マスクを形成す
るため、面内磁化膜2のキュリー温度は、60℃以上2
20℃以下に設定されることが望ましい。また、面内磁
化膜2の膜厚は、良好な再生信号を得るため2nm以上
80nm以下とすることが望ましい。
【0041】非磁性中間層3は、AlN、SiN、Al
SiN等の誘電体、または、Al、Ti、Ta等の非磁
性金属合金からなり、再生層1と記録層4とが良好に静
磁結合すべく、その膜厚が1〜80nmに設定されてい
る。
【0042】記録層4は、希土類遷移金属合金からなる
垂直磁化膜からなり、再生層1に十分な大きさの漏洩磁
界を及ぼすべく、その膜厚が、15〜180nmの範囲
に設定されている。
【0043】保護層8は、AlN、SiN、AlSiN
等の誘電体、または、Al、Ti、Ta等の非磁性金属
合金からなり、再生層1や面内磁化膜2や記録層4に用
いる希土類遷移金属合金の酸化を防止する目的で形成さ
れるものであり、その膜厚が5nm〜60nmの範囲に
設定されている。
【0044】オーバーコート層9は、紫外線硬化樹脂ま
たは熱硬化樹脂をスピンコートにより塗布して、紫外線
を照射するか、または、加熱するかによって形成され
る。
【0045】実施例1 (1)光磁気ディスクの形成方法 上記構成の光磁気ディスクの形成方法について説明す
る。
【0046】まず、Alターゲットと、GdFeCo合
金ターゲットと、GdFeAl合金ターゲットと、Dy
FeCo合金ターゲットとをそれぞれ備えたスパッタ装
置内に、プリグルーブ及びプリピットを有しディスク状
に形成されたポリカーボネート製の基板6を基板ホルダ
ーに配置する。スパッタ装置内を1×10-6Torrま
で真空排気した後、アルゴンと窒素の混合ガスを導入
し、Alターゲットに電力を供給して、ガス圧4×10
-3Torrの条件で、基板6にAlNからなる透明誘電
体層7を膜厚80nmで形成した。
【0047】次に、再度、スパッタ装置内を1×10-6
Torrまで真空排気した後、アルゴンガスを導入し、
GdFeCo合金ターゲットに電力を供給して、ガス圧
4×10-3Torrとし、上記透明誘電体層7上に、G
0.20(Fe0.84Co0.160.80からなる再生層1を膜
厚40nmで形成した。その再生層1は、室温において
補償組成に対してTM副格子モーメントをより多く含有
する組成であり、単独で存在する場合、室温からそのキ
ュリー温度(300℃)まで常に、膜面に対して垂直方
向に磁化を有する垂直磁化膜であった。
【0048】次に、GdFeAl合金ターゲットに電力
を供給して、ガス圧4×10-3Torrとし、上記再生
層1上に、(Gd0.10Fe0.900.75Al0.25からなる
面内磁化膜2を膜厚20nmで形成した。その面内磁化
膜2は、室温からそのキュリー温度(140℃)まで、
膜面に対して面内方向に磁化を有する面内磁化膜であっ
た。
【0049】次に、アルゴンと窒素の混合ガスを導入
し、Alターゲットに電力を供給して、ガス圧4×10
-3Torrの条件で、面内磁化膜2上にAlNからなる
非磁性中間層3を膜厚5nmで形成した。
【0050】次に、再度、スパッタ装置内を1×10-6
Torrまで真空排気した後、アルゴンガスを導入し、
GdDyFeCo合金ターゲットに電力を供給して、ガ
ス圧4×10-3Torrとし、上記非磁性中間層3上
に、Dy0.23(Fe0.72Co0.280.77からなる記録層
4を膜厚40nmで形成した。その記録層4は、25℃
に補償温度を有し、キュリー温度が275℃であった。
【0051】次に、アルゴンと窒素の混合ガスを導入
し、Alターゲットに電力を供給して、ガス圧4×10
-3Torrの条件で、記録層4上にAlNからなる保護
層8を膜厚20nmとして形成した。
【0052】次に、上記保護層8上に、紫外線硬化樹脂
をスピンコートにより塗布して、紫外線を照射すること
によりオーバーコート層9を形成した。
【0053】(2)記録再生特性 上記ディスクを、波長680nmの半導体レーザを用い
た光ピックアップでレーザパワーを2.5mWとして測
定したCNR(信号対雑音比)のマーク長(Mark
length)依存性を図4に示す。比較のため、再生
層1として、室温において面内磁化状態であり、120
℃の温度で垂直磁化状態となる特性を有し、そのキュリ
ー温度が320℃であるGdFeCoを用いたディスク
におけるCNRのマーク長依存性を比較例1、また現在
市販されている記録層のみ有する光磁気ディスクにおけ
るCNRのマーク長依存性を比較例2として同図に示
す。また、ここで示すCNRのマーク長依存性は、マー
ク長に対応する長さの記録磁区をマーク長の2倍の長さ
の記録磁区ピッチで連続形成した時の信号対雑音比を表
すものである。
【0054】図4において、比較例2のCNRは、マー
ク長0.3μmにおいてゼロとなっていることがわか
る。これは、隣接記録磁区が一つの光ビーム内に入り、
一つ一つの記録磁区を分離して再生できなくなったこと
による。これに対して、実施例1の超解像光磁気ディス
クにおいて、比較例1と同程度のCNRが得られている
ことがわかる。これは、実施例1において比較例1と同
様な面内磁化マスクが形成され磁気的超解像再生が実現
していることを意味している。
【0055】次に、それぞれのディスクにおいて、マー
ク長0.5μmの時に得られた再生信号波形の様子を図
5に示す。記録磁区の位置に対応して再生信号強度が変
化するが、実施例1の信号強度が従来の光磁気ディスク
である比較例2と同位相で変化しているのに対して、従
来の超解像光磁気記録媒体である比較例1の信号強度は
比較例2と逆位相で変化していることがわかる。このよ
うに、本実施の形態1においては、従来の超解像光磁気
記録媒体である比較例1のように再生信号極性が反転す
ることなく、従来の光磁気ディスクである比較例2と容
易に互換の取れる再生信号を得ることが可能である。
【0056】次に、表1は、実施例1における再生層1
の膜厚を変えて、マーク長0.4μmでのCNRを測定
した結果を示すものである。ここで、実施例1における
CNR測定において、それぞれの再生層1の膜厚に対し
て、再生パワーを2.5mWに設定したとき、CNRが
最大となるように、記録条件を変えて記録を行ってい
る。
【0057】
【表1】
【0058】マーク長0.4μmでの比較例2のCNR
は、29.5dBであり、表1から、再生層1の膜厚が
10nm以上80nm以下の範囲において、実施例1の
CNRが比較例2のCNRより高くなっていることがわ
かる。実施例1の構成において、再生層1の膜厚を薄く
した場合、ほとんどの光が再生層1を透過し、超解像再
生の効果が小さくなり、さらに、再生層1と記録層4と
の間に働く静磁結合力が再生層1の膜厚に比例する力で
あり、再生層1の膜厚を薄くした場合、静磁結合力が極
めて小さくなり、十分な大きさの静磁結合力が得られな
ってしまう。このような理由から、実施例1における再
生層1の膜厚を8nmと薄くした場合、実施例1のCN
Rが比較例2のCNRよりも低くなってしまう。また、
実施例1において、再生層1の膜厚を100nmと厚く
した場合、再生層1が本来もっている垂直磁化状態にな
ろうとする力が大きくなるため、面内磁化膜2との交換
結合により、再生層1が面内磁化状態になるべき部分、
すなわち、温度上昇していない部分において、再生層1
が垂直磁化状態となり良好な超解像再生が実現しなくな
り、実施例1のCNRが比較例2のCNRよりも低くな
ってしまう。以上のような理由から、再生層1の膜厚は
10nm以上80nm以下である必要がある。
【0059】次に、表2は、実施例1における面内磁化
膜2の膜厚を変えて、マーク長0.4μmでのCNRを
測定した結果を示すものである。ここで、実施例1にお
けるCNR測定において、それぞれの面内磁化膜2の膜
厚に対して、再生パワーを2.5mWに設定したとき、
CNRが最大となるように、記録条件を変えて記録を行
っている。
【0060】
【表2】
【0061】表2からわかるように、面内磁化膜2の膜
厚が1nmの場合、実施例1のCNRが27.5dBと
なり、実施例2におけるCNR(29.5dB)より低
くなっている。これは、面内磁化膜2の膜厚が薄すぎる
ため、再生層1の磁化方向を面内磁化状態とすることが
できなかったことによる。再生層1の磁化状態は本来垂
直磁化状態であるが、面内磁化膜2と交換結合すること
により面内磁化状態となるため、再生層1の面内磁化状
態を実現し、超解像再生を可能とするためには、面内磁
化膜2の膜厚を2nm以上とする必要がある。また、面
内磁化膜2の膜厚が100nmの場合においても、実施
例1のCNRが比較例2のCNRよりも低くなってしま
うことがわかる。再生層1と記録層4との間に働く静磁
結合力は、面内磁化膜2の膜厚が厚くなることにより小
さくなって行く。そのため、面内磁化膜2の膜厚を10
0nmと厚くした場合、十分な大きさの静磁結合力が得
られなくなり、実施例1のCNRが比較例2のCNRよ
りも低くなってしまう。以上のような理由により、面内
磁化膜2の膜厚は2nm以上80nm以下である必要が
ある。
【0062】次に、表3は、実施例1における非磁性中
間層3の膜厚を変えて、マーク長0.4μmでのCNR
を測定した結果を示すものである。ここで、実施例1に
おけるCNR測定において、それぞれの非磁性中間層3
の膜厚に対して、再生パワーを2.5mWに設定したと
き、CNRが最大となるように、記録条件を変えて記録
を行っている。
【0063】
【表3】
【0064】表3からわかるように、非磁性中間層3の
膜厚が0.5nmの場合、実施例1のCNRが25.0
dBとなり、実施例2におけるCNR(29.5dB)
より低くなっている。これは、非磁性中間層3の膜厚が
薄すぎるため、良好な静磁結合状態が得られなかったこ
とによるものと考えられる。良好な静磁結合状態を得る
ためには、非磁性中間層3の膜厚が1nm以上に設定す
る必要がある。また、非磁性中間層3の膜厚が100n
mの場合においても、実施例1のCNRが比較例2のC
NRよりも低くなってしまうことがわかる。再生層1と
記録層4との間に働く静磁結合力は、非磁性中間層3の
膜厚が厚くなることにより小さくなって行く。そのた
め、非磁性中間層3の膜厚を100nmと厚くした場
合、十分な大きさの静磁結合力が得られなくなり、実施
例1のCNRが比較例2のCNRよりも低くなってしま
う。以上のような理由により、非磁性中間層3の膜厚は
1nm以上80nm以下である必要がある。
【0065】次に、表4は、実施例1における記録層4
の膜厚を変えて、0.4μmでのCNRを測定した結果
を示すものである。ここで、実施例1におけるCNR測
定において、それぞれの記録層4の膜厚に対して、再生
パワーを2.5mWに設定したとき、CNRが最大とな
るように、記録条件を変えて記録を行っている。
【0066】
【表4】
【0067】表4からわかるように、記録層4の膜厚を
10nmと薄くした場合、実施例1のCNRが比較例2
のCNRよりも低くなってしまう。これは、記録層4の
膜厚が薄くなることにより、記録層4から発生する漏洩
磁界が小さくなり、十分な大きさの静磁結合力が得られ
なったことに起因する。また、記録層4の膜厚を200
nmと厚くした場合においても、実施例1のCNRが比
較例2のCNRよりも低くなってしまう。この場合、記
録層4からの漏洩磁界が大きくなり過ぎていることにC
NR低下の原因がある。記録層4からの漏洩磁界が大き
くなると、本来、面内磁化状態となるべき温度上昇して
いない部分の再生層1に対しても大きな漏洩磁界が働
き、良好なフロントマスクの形成が困難となり、実施例
1のCNRが比較例2のCNRよりも低くなってしま
う。以上のような理由から、記録層4の膜厚は15nm
以上180nm以下である必要がある。
【0068】実施例2 実施例1においては、再生層1としてGd0.20(Fe
0.84Co0.160.80を用い、面内磁化膜2として(Gd
0.10Fe0.900.75Al0.25を用い、記録層4としてD
0.23(Fe0.72Co0.280.77を用いた場合の結果に
ついて示しているが、これ以外の組成・材料においても
同様な超解像再生を実現することが可能である。
【0069】表5は、実施例1の構成において、再生層
1をGdX(FeYCo1-Y1-Xとし、XとYを変えて、
マーク長0.4μmでのCNRを測定した結果を示すも
のである。ここで、CNR測定において、それぞれの再
生層1に対して、再生パワー2.5mWに設定したと
き、CNRが最大となるように、記録条件を変えて記録
を行っている。
【0070】
【表5】
【0071】表5からわかるように、0.12≦X≦
0.26、0.60≦Y≦1.00の範囲において、比
較例2のCNR(29.5dB)より高いCNRの得ら
れていることがわかる。X<0.12の範囲において
は、Gd含有率の低下に伴うトータル磁化の増加によ
り、再生層1が再生温度近傍(図1の等温線101の内
側)において面内磁化状態となり、再生特性が劣化して
しまう。X>0.26の範囲においては、再生層1の補
償温度が再生温度近傍まで上昇し、再生層1のトータル
の磁化が小さくなることにより、記録層4との静磁結合
が小さくなり、再生特性が劣化してしまう。また、Y<
0.6の範囲においては、Co含有量の増加に伴い、再
生層1が再生温度近傍(図1の等温線101の内側)に
おいて面内磁化状態となり、再生特性が劣化してしま
う。
【0072】すなわち、再生層1をGdX(FeYCo
1-Y1-Xとした場合、0.12≦X≦0.26であり、
0.60≦Y≦1.00の範囲であることが必要であ
る。
【0073】次に、表6は、実施例1の構成において、
面内磁化膜2を(GdXFe1-XYAl1-Yとし、XとY
を変えて、マーク長0.4μmでのCNRを測定した結
果を示すものである。ここで、CNR測定において、そ
れぞれの面内磁化膜2に対して、再生パワー2.5mW
に設定したとき、CNRが最大となるように、記録条件
を変えて記録を行っている。また、表6にそれぞれの面
内磁化膜2のキュリー温度を併せて記載する。
【0074】
【表6】
【0075】表6からわかるように、0≦X≦0.14
または0.32≦X≦1.00、0.30≦Y≦1.0
0の範囲において、比較例2のCNR(29.5dB)
より高いCNRの得られていることがわかる。0.14
<X<0.32の範囲においては、トータル磁化の減少
により、面内磁化膜2が垂直磁化状態となり、再生層1
の磁化方向を膜面にたいして面内方向へ向けるという面
内磁化膜2の働きを実現することができなくなる。ま
た、Y<0.30の範囲においては、Al含有量の増加
に伴い、面内磁化膜2のキュリー温度が低下し、同様に
再生層1の磁化方向を膜面にたいして面内方向へ向ける
という面内磁化膜2の働きを実現することができなくな
る。
【0076】すなわち、面内磁化膜2を(GdX
1-XYAl1-Yとした場合、0≦X≦0.14または
0.32≦X≦1.00、0.30≦Y≦1.00の範
囲であることが必要である。また、面内磁化膜2のキュ
リー温度としては、60℃以上220℃以下である必要
のあることがわかる。
【0077】また、面内磁化膜2としてGdFeAl以
外の材料を使用することも可能である。表7は、面内磁
化膜2として、膜厚20nmの(Gd0.10Fe0.90
0.750.25を用いた時のマーク長0.4μmでのCNR
を測定した結果を示すものである。ここで、CNR測定
において、それぞれの面内磁化膜2に対して、再生パワ
ー2.5mWに設定したとき、CNRが最大となるよう
に、記録条件を変えて記録を行っている。また、表7に
それぞれの面内磁化膜2のキュリー温度を併せて記載す
る。ここで、Zとしては、Ti、Ta、Pt、Au、C
u、Al0.5Ti0.5、Al0.5Ta0.5を用いた。
【0078】
【表7】
【0079】表7より、Zとして、Ti、Ta、Pt、
Au、Cu、Al0.5Ti0.5、Al0.5Ta0.5を用いた
すべての場合において、比較例1よりも高いCNRが得
られていることがわかる。面内磁化膜2のキュリー温度
が60℃〜220℃の範囲にあればよく、他に、NdF
eTi、NdFeTa、DyFeTi、DyFeTa、
NdFe、NdFeAl、DyFe、DyFeAlから
なる面内磁化膜を用いることが可能である。
【0080】次に、表8は、記録層4をDyX(FeY
1-Y1-Xとして、XとYを変えて、マーク長0.4μ
mでのCNRを測定した結果を示すものである。ここ
で、CNR測定において、それぞれの記録層4に対し
て、再生パワー2.5mWに設定したとき、CNRが最
大となるように、記録条件を変えて記録を行っている。
また、表8にそれぞれの記録層4の補償温度とキュリー
温度を併せて記載する。
【0081】
【表8】
【0082】表8からわかるように、0.18≦X≦
0.26、0.60≦Y≦0.90の範囲において、比
較例2のCNR(29.5dB)より高いCNRの得ら
れていることがわかる。X<0.18の範囲において
は、Dy含有率の低下に伴い、室温における記録層4の
磁化が大きくなり、同時に、室温において大きな漏洩磁
界が記録層4から発生することにより、再生層1におい
て、良好な面内磁化マスクが形成されなくなることによ
り、超解像再生が実現しなくなる。X>0.26の範囲
においては、記録層4の補償温度が再生温度近傍まで上
昇し、再生温度近傍において、記録層4の磁化が小さく
なることにより、記録層4から発生する漏洩磁界も小さ
くなり、再生層1への磁化状態の転写が実現しなくな
り、CNRが劣化してしまう。また、Y<0.60の範
囲においては、Co含有量の増加に伴い、温度変化にと
もなう記録層4の保磁力変化が急峻となり、再生温度近
傍において、記録層4の保磁力が小さくなり過ぎること
により、記録情報の維持自体が困難となる。Y>0.9
0の範囲においては、Co含有量の減少に伴い、記録層
4のキュリー温度が低下し、記録層4の磁化が小さくな
ることにより、記録層4から発生する漏洩磁界も小さく
なり、再生層1への磁化状態の転写が実現しなくなり、
CNRが劣化してしまう。
【0083】すなわち、記録層4をDyX(FeYCo
1-Y1-Xとした場合、0.18≦X≦0.26、0.6
0≦Y≦0.90の範囲であることが必要である。
【0084】また、表8に併記した補償温度とキュリー
温度を見ると、記録層4として、補償温度が−100℃
以上60℃以下であり、かつ、キュリー温度が160℃
以上320℃以下であることが必要である。
【0085】さらに、記録層4として、補償温度が−1
00℃以上60℃以下であり、キュリー温度が160℃
以上320℃以下である条件を満足するTbFeCo、
TbDyFeCo、GdDyFeCo、GdTbFeC
o、GdTbDyFeCo等の合金を使用することが可
能である。
【0086】実施の形態2 以下、本発明の実施の形態2を図面を用いて詳細に説明
する。
【0087】図6に本発明の超解像再生動作原理を説明
する光磁気記録媒体の平面図と断面図を示す。本発明の
超解像光磁気記録媒体においては、図6に示すように、
再生層1は単独で存在する場合垂直磁化状態であるが、
面内磁化膜2と再生層1とが交換結合した範囲におい
て、再生層1が垂直磁化状態から面内磁化状態へと変化
するため、再生層1として、補償組成に対して、TM副
格子モーメントを多く含有している垂直磁化膜を採用す
ることが可能となる。この場合、従来の超解像光磁気記
録媒体と同様に、静磁結合により、磁区102が再生さ
れることにより超解像再生が実現する。しかし、再生層
1と記録層4が共に、補償組成に対してTM副格子モー
メントを多く含有する組成であるため、再生層1のTM
副格子モーメントの向きと記録層4のTM副格子モーメ
ントの向きとが平行となり、再生の極性が反転する事な
く、記録層のみ存在する従来の光磁気記録媒体と容易に
互換性を得ることができる。以上は実施の形態1と共通
する構成、効果である。
【0088】本実施の形態2に係る超解像光磁気記録媒
体においては、さらに、たとえば再生層1のキュリー温
度が160℃以上220℃以下に設定されており、再生
層1がキュリー温度以上に温度上昇した範囲、すなわ
ち、等温線105の内側において、再生層1の磁化が存
在せず、この範囲からの再生信号が存在しないようにし
たものである。上記により、本実施の形態2において
は、再生層1が面内磁化状態である部分(等温線101
の外側)においてフロントマスクが形成され、再生層1
がキュリー温度以上に温度上昇した部分(等温線105
の内側)においてリアマスクが形成されることにより、
ダブルマスクによる超解像再生が実現し、図6に示すよ
うに図1よりもさらに小さな記録磁区をより小さなピッ
チで記録した場合においても良好な超解像再生を実現す
ることができることとなる。
【0089】次に、本発明の実施の形態2について図7
に基づいて説明すれば以下の通りである。本実施の形態
では、光磁気記録媒体として光磁気ディスクを適用した
場合について説明する。
【0090】本実施の形態に係る光磁気ディスクは、図
7に示すように、基板6、透明誘電体層7、再生層1、
面内磁化膜2、非磁性中間層3、記録層4、保護層8、
オーバーコート層9が、この順にて積層されたディスク
本体を有している。本実施の形態の光磁気ディスクの構
成は、図3に示す光磁気ディスクと同一である。
【0091】このような光磁気ディスクでは、その記録
方式としてキュリー温度記録方式が用いられており、半
導体レーザから出射される光ビーム5が対物レンズによ
り再生層1に絞り込まれ、極カー効果として知られてい
る光磁気効果によって情報が記録再生されるようになっ
ている。上記極カー効果とは、入射表面に垂直な磁化の
向きにより、反射光の偏光面の回転の向きが逆方向にな
る現象である。
【0092】基板6は、例えばポリカーボネート等の透
明な基材からなり、ディスク状に形成される。
【0093】透明誘電体層7は、AlN、SiN、Al
SiN等の酸素を含まない材料で構成されることが望ま
しく、その膜厚は、入射するレーザ光に対して、良好な
干渉効果が実現し、媒体のカー回転角が増大すべく設定
される必要があり、再生光の波長をλ、透明誘電体層7
の屈折率をnとした場合、透明誘電体層7の膜厚は(λ
/4n)程度に設定される。例えば、レーザ光の波長を
680nmとした場合、透明誘電体層7の膜厚を40n
m〜100nm程度に設定すれば良い。
【0094】再生層1は、希土類遷移金属合金からなる
磁性膜であり、再生極性の反転が起こらないように、室
温からそのキュリー温度まで、補償組成に対してTM副
格子モーメントを多く含有する組成に設定され、再生層
1が単独で存在する場合、膜面に対して垂直方向に磁化
を有する垂直磁化膜である。また、再生層1の膜厚は、
良好な再生信号を得るため12nm以上80nm以下と
することが望ましい。さらに、本実施の形態において
は、再生層1において、ダブルマスクを実現するため、
再生層1のキュリー温度が160℃以上220℃以下に
設定されている。
【0095】面内磁化膜2は、そのキュリー温度まで膜
面に対して面内方向に磁化を有する面内磁化膜であり、
再生層1と交換結合することにより、再生層1の磁化方
向を垂直方向から面内方向へと変える特性を有してい
る。再生層1において、良好な面内磁化マスクを形成す
るため、面内磁化膜2のキュリー温度は、60℃以上1
40℃以下に設定されることが望ましい。また、面内磁
化膜2の膜厚は、良好な再生信号を得るため2nm以上
60nm以下とすることが望ましい。
【0096】非磁性中間層3は、AlN、SiN、Al
SiN等の誘電体、または、Al、Ti、Ta等の非磁
性金属合金からなり、再生層1と記録層4とが良好に静
磁結合すべく、その膜厚が1〜60nmに設定されてい
る。
【0097】記録層4は、希土類遷移金属合金からなる
垂直磁化膜からなり、再生層1に十分な大きさの漏洩磁
界を及ぼすべく、その膜厚が、15〜200nmの範囲
に設定されている。
【0098】保護層8は、AlN、SiN、AlSiN
等の誘電体、または、Al、Ti、Ta等の非磁性金属
合金からなり、再生層1や面内磁化膜2や記録層4に用
いる希土類遷移金属合金の酸化を防止する目的で形成さ
れるものであり、その膜厚が5nm〜60nmの範囲に
設定されている。
【0099】オーバーコート層9は、紫外線硬化樹脂ま
たは熱硬化樹脂をスピンコートにより塗布して、紫外線
を照射するか、または、加熱するかによって形成され
る。
【0100】実施例3 (1)光磁気ディスクの形成方法 上記構成の光磁気ディスクの形成方法について説明す
る。
【0101】まず、Alターゲットと、GdFeCo合
金ターゲットと、GdFeAl合金ターゲットと、Gd
DyFeCo合金ターゲットとをそれぞれ備えたスパッ
タ装置内に、プリグルーブ及びプリピットを有しディス
ク状に形成されたポリカーボネート製の基板6を基板ホ
ルダーに配置する。スパッタ装置内を1×10-6Tor
rまで真空排気した後、アルゴンと窒素の混合ガスを導
入し、Alターゲットに電力を供給して、ガス圧4×1
-3Torrの条件で、基板6にAlNからなる透明誘
電体層7を膜厚80nmで形成した。
【0102】次に、再度、スパッタ装置内を1×10-6
Torrまで真空排気した後、アルゴンガスを導入し、
GdFeCo合金ターゲットに電力を供給して、ガス圧
4×10-3Torrとし、上記透明誘電体層7上に、G
0.16(Fe0.95Co0.050.84からなる再生層1を膜
厚40nmで形成した。その再生層1は、室温において
補償組成に対してTM副格子モーメントをより多く含有
する組成であり、単独で存在する場合、室温からそのキ
ュリー温度(200℃)まで常に、膜面に対して垂直方
向に磁化を有する垂直磁化膜であった。
【0103】次に、GdFeAl合金ターゲットに電力
を供給して、ガス圧4×10-3Torrとし、上記再生
層1上に、(Gd0.39Fe0.610.73Al0.27からなる
面内磁化膜2を膜厚20nmで形成した。その面内磁化
膜2は、室温からそのキュリー温度(110℃)まで、
膜面に対して面内方向に磁化を有する面内磁化膜であっ
た。
【0104】次に、アルゴンと窒素の混合ガスを導入
し、Alターゲットに電力を供給して、ガス圧4×10
-3Torrの条件で、面内磁化膜2上にAlNからなる
非磁性中間層3を膜厚5nmで形成した。
【0105】次に、再度、スパッタ装置内を1×10-6
Torrまで真空排気した後、アルゴンガスを導入し、
GdDyFeCo合金ターゲットに電力を供給して、ガ
ス圧4×10-3Torrとし、上記非磁性中間層3上
に、(Gd0.50Dy0.500.23(Fe0.80Co0.20
0.77からなる記録層4を膜厚40nmで形成した。その
記録層4は、25℃に補償温度を有し、キュリー温度が
275℃であった。
【0106】次に、アルゴンと窒素の混合ガスを導入
し、Alターゲットに電力を供給して、ガス圧4×10
-3Torrの条件で、記録層4上にAlNからなる保護
層8を膜厚20nmとして形成した。
【0107】次に、上記保護層8上に、紫外線硬化樹脂
をスピンコートにより塗布して、紫外線を照射すること
によりオーバーコート層9を形成した。
【0108】(2)記録再生特性 上記ディスクを、波長680nmの半導体レーザを用い
た光ピックアップでレーザパワーを2.8mWとして測
定したCNR(信号対雑音比)のマーク長(Mark
length)依存性を実施例3として図8に示す。比
較のため、本発明の実施の形態1に記載の実施例1のC
NRのマーク長依存性と、現在市販されている記録層の
み有する光磁気ディスクにおけるCNRのマーク長依存
性を比較例2として同図に示す。また、ここで示すCN
Rのマーク長依存性は、マーク長に対応する長さの記録
磁区をマーク長の2倍の長さの記録磁区ピッチで連続形
成した時の信号対雑音比を表すものである。
【0109】図8において、短いマーク長において、実
施例3のCNRが比較例2のCNRより高くなっている
のは、実施例1同様に超解像再生が実施例3において実
現していることを意味している。また、マーク長0.4
μm以上において、実施例1のCNRが実施例3のCN
Rより高くなっているが、これは、実施例3の再生層1
のキュリー温度が実施例1の再生層1のキュリー温度よ
り低くなっているため、再生信号が小さくなってしまっ
たことによる。一方、マーク長0.4μm以下において
は、実施例3のCNRが実施例1のCNRより高くなっ
ている。これは、本実施の形態2に係る実施例3におい
て、ダブルマスクが実現し、より高い分解能での超解像
再生が実現していることを意味している。より短いマー
ク長、すなわち、より大きな記録密度を実現するために
は、実施の形態1よりも実施の形態2が有利となること
がわかる。
【0110】また、図9は、実施例1と実施例3につい
て、マーク長0.3μmにおけるCNRの再生パワー依
存性を示すものである。実施例1においては、再生パワ
ーの上昇とともにCNRが徐々に増加し、再生パワー
2.0mW以上においてCNRが飽和している。これに
対して、実施例3においては、再生パワー2.4mWま
では実施例1と同様な変化を示すが、再生パワー2.4
mW以上において、さらにCNRの上昇が観測される。
これは、実施例3において、再生パワー2.4mW以上
でリアマスクが形成され、ダブルマスクによる超解像再
生が実現していることを意味している。
【0111】また、本実施の形態2において得られる再
生信号波形は、実施の形態1と同様であり、本発明の形
態2においても従来の超解像光磁気記録媒体である比較
例1のように再生信号極性が反転することなく、従来の
光磁気ディスクである比較例2と容易に互換の取れる再
生信号を得ることが可能である。
【0112】次に、表9は、実施例3における再生層1
の膜厚を変えて、マーク長0.3μmでのCNRを測定
した結果を示すものである。ここで、実施例3における
CNR測定において、それぞれの再生層1の膜厚に対し
て、再生パワーを2.8mWに設定したとき、CNRが
最大となるように、記録条件を変えて記録を行ってい
る。また、本実施の形態2においては、図9に示すよう
にCNRの再生パワー依存性と同様な再生特性、すなわ
ち、リアマスク形成に伴い2mW以上の再生パワーでC
NRの上昇が観測される。表9に、再生パワーを2.8
mWとした場合のCNRと再生パワーを2mWとした場
合のCNRとの差を△CNRとして記載する。△CNR
>0の場合、本実施の形態2記載のダブルマスクによる
超解像再生が実現していることを意味する。
【0113】
【表9】
【0114】マーク長0.3μmにおいて、比較例1で
はCNRが0dBとなり全く再生信号が得られていない
のに対して、表9から、再生層1の膜厚が12nm以上
80nm以下の範囲において、再生信号が検出され0よ
り大きいCNRが存在し、超解像再生が実現しているこ
とがわかる。また、マーク長0.3μmにおいてCNR
が得られるすべての範囲において、△CNR>0とな
り、本実施の形態2記載のダブルマスクによる超解像再
生が実現していることが確認された。実施例3の構成に
おいて、再生層1の膜厚を薄くした場合、ほとんどの光
が再生層1を透過し、超解像再生の効果が小さくなり、
さらに、再生層1と記録層4との間に働く静磁結合力が
再生層1の膜厚に比例する力であり、再生層1の膜厚を
薄くした場合、静磁結合力が極めて小さくなり、十分な
大きさの静磁結合力が得られなってしまう。このような
理由から、実施例3における再生層1の膜厚を10nm
と薄くした場合、比較例2同様、CNRが0dBとな
り、再生信号が得られなくなる。また、実施例3におい
て、再生層1の膜厚を100nmと厚くした場合、再生
層1が本来もっている垂直磁化状態になろうとする力が
大きくなるため、面内磁化膜2との交換結合により、再
生層1が面内磁化状態になるべき部分、すなわち、温度
上昇していない部分において、再生層1が垂直磁化状態
となり超解像再生が実現しなくなり、比較例2同様、C
NRが0dBとなり、再生信号が得られなくなる。以上
のような理由から、再生層1の膜厚は12nm以上80
nm以下である必要がある。
【0115】次に、表10は、実施例3における面内磁
化膜2の膜厚を変えて、マーク長0.3μmでのCNR
を測定した結果を示すものである。ここで、実施例3に
おけるCNR測定において、それぞれの面内磁化膜2の
膜厚に対して、再生パワーを2.8mWに設定したと
き、CNRが最大となるように、記録条件を変えて記録
を行っている。また、本実施の形態2においては、図9
に示すようにCNRの再生パワー依存性と同様な再生特
性、すなわち、リアマスク形成に伴い2mW以上の再生
パワーでCNRの上昇が観測される。表10に、再生パ
ワーを2.8mWとした場合のCNRと再生パワーを2
mWとした場合のCNRとの差を△CNRとして記載す
る。△CNR>0の場合、本実施の形態2記載のダブル
マスクによる超解像再生が実現していることを意味す
る。
【0116】
【表10】
【0117】マーク長0.3μmにおいて、比較例1で
はCNRが0dBとなり全く再生信号が得られていない
のに対して、表10から、面内磁化膜2の膜厚が2nm
以上60nm以下の範囲において、再生信号が検出され
0より大きいCNRが存在し、超解像再生が実現してい
ることがわかる。また、マーク長0.3μmにおいてC
NRが得られるすべての範囲において、△CNR>0と
なり、本実施の形態2記載のダブルマスクによる超解像
再生が実現していることが確認された。面内磁化膜2の
膜厚が1nmの場合、CNRが0dBとなり、再生信号
が得られなくなる。これは、面内磁化膜2の膜厚が薄す
ぎるため、再生層1の磁化方向を面内磁化状態とするこ
とができなかったことによる。再生層1の磁化状態は本
来垂直磁化状態であるが、面内磁化膜2と交換結合する
ことにより面内磁化状態となるため、再生層1の面内磁
化状態を実現し、超解像再生を可能とするためには、面
内磁化膜2の膜厚を2nm以上とする必要がある。ま
た、面内磁化膜2の膜厚が80nmの場合においても、
CNRが0dBとなり、再生信号が得られなくなる。再
生層1と記録層4との間に働く静磁結合力は、面内磁化
膜2の膜厚が厚くなることにより小さくなって行く。そ
のため、面内磁化膜2の膜厚を80nmと厚くした場
合、十分な大きさの静磁結合力が得られなくなるため、
再生信号が得られなくなるものと考えられる。実施例3
の場合、実施例1に比べて、再生層1のキュリー温度が
低く設定されており、そのため、再生層1の磁化が小さ
くなることにより、記録層4との静磁結合が弱くなるた
め、面内磁化膜2の膜厚の上限は実施例1に比べて薄く
なる。以上のような理由により、面内磁化膜2の膜厚は
2nm以上60nm以下である必要がある。
【0118】次に、表11は、実施例3における非磁性
中間層3の膜厚を変えて、マーク長0.3μmでのCN
Rを測定した結果を示すものである。ここで、実施例3
におけるCNR測定において、それぞれの非磁性中間層
3の膜厚に対して、再生パワーを2.8mWに設定した
とき、CNRが最大となるように、記録条件を変えて記
録を行っている。また、本実施の形態2においては、図
9に示すようにCNRの再生パワー依存性と同様な再生
特性、すなわち、リアマスク形成に伴い2mW以上の再
生パワーでCNRの上昇が観測される。表11に、再生
パワーを2.8mWとした場合のCNRと再生パワーを
2mWとした場合のCNRとの差を△CNRとして記載
する。△CNR>0の場合、本実施の形態2記載のダブ
ルマスクによる超解像再生が実現していることを意味す
る。
【0119】
【表11】
【0120】マーク長0.3μmにおいて、比較例1で
はCNRが0dBとなり全く再生信号が得られていない
のに対して、表11から、非磁性中間層3の膜厚が1n
m以上60nm以下の範囲において、再生信号が検出さ
れ0より大きいCNRが存在し、超解像再生が実現して
いることがわかる。また、マーク長0.3μmにおいて
CNRが得られるすべての範囲において、△CNR>0
となり、本実施の形態2記載のダブルマスクによる超解
像再生が実現していることが確認された。非磁性中間層
3の膜厚が0.5nmの場合、CNRが0dBとなり、
再生信号が得られなくなる。これは、非磁性中間層3の
膜厚が薄すぎるため、良好な静磁結合状態が得られなか
ったことによるものと考えられる。良好な静磁結合状態
を得るためには、非磁性中間層3の膜厚が1nm以上に
設定する必要がある。また、非磁性中間層3の膜厚が8
0nmの場合においても、CNRが0dBとなり、再生
信号が得られなくなる。再生層1と記録層4との間に働
く静磁結合力は、非磁性中間層3の膜厚が厚くなること
により小さくなって行く。そのため、非磁性中間層3の
膜厚を80nmと厚くした場合、十分な大きさの静磁結
合力が得られなくなり、再生信号が得られなくなるもの
と考えられる。実施例3の場合、実施例1に比べて、再
生層1のキュリー温度が低く設定されており、そのた
め、再生層1の磁化が小さくなることにより、記録層4
との静磁結合が弱くなるため、非磁性中間層3の膜厚の
上限は実施例1に比べて薄くなる。以上のような理由に
より、非磁性中間層3の膜厚は1nm以上60nm以下
である必要がある。
【0121】次に、表12は、実施例3における記録層
4の膜厚を変えて、0.3μmでのCNRを測定した結
果を示すものである。ここで、実施例3におけるCNR
測定において、それぞれの記録層4の膜厚に対して、再
生パワーを2.8mWに設定したとき、CNRが最大と
なるように、記録条件を変えて記録を行っている。ま
た、本実施の形態2においては、図9に示すようにCN
Rの再生パワー依存性と同様な再生特性、すなわち、リ
アマスク形成に伴い2mW以上の再生パワーでCNRの
上昇が観測される。表12に、再生パワーを2.8mW
とした場合のCNRと再生パワーを2mWとした場合の
CNRとの差を△CNRとして記載する。△CNR>0
の場合、本実施の形態2記載のダブルマスクによる超解
像再生が実現していることを意味する。
【0122】
【表12】
【0123】マーク長0.3μmにおいて、比較例1で
はCNRが0dBとなり全く再生信号が得られていない
のに対して、表12から、記録層4の膜厚が15nm以
上200nm以下の範囲において、再生信号が検出され
0より大きいCNRが存在し、超解像再生が実現してい
ることがわかる。また、マーク長0.3μmにおいてC
NRが得られるすべての範囲において、△CNR>0と
なり、本実施の形態2記載のダブルマスクによる超解像
再生が実現していることが確認された。記録層4の膜厚
を15nmと薄くした場合、CNRが0dBとなり、再
生信号が得られなくなる。これは、記録層4の膜厚が薄
くなることにより、記録層4から発生する漏洩磁界が小
さくなり、十分な大きさの静磁結合力が得られなったこ
とに起因する。また、記録層4の膜厚を250nmと厚
くした場合においてもCNRが0dBとなり、再生信号
が得られなくなる。この場合、記録層4からの漏洩磁界
が大きくなり過ぎていることにCNR低下の原因があ
る。記録層4からの漏洩磁界が大きくなると、本来、面
内磁化状態となるべき温度上昇していない部分の再生層
1に対しても大きな漏洩磁界が働き、良好なフロントマ
スクの形成が困難となり、再生信号が得られなくなる。
実施例3の場合、実施例1に比べて、再生層1のキュリ
ー温度が低く設定する必要があり、そのため、再生層1
の磁化が小さくなることにより、記録層4との静磁結合
が弱くなるため、記録層4の適性範囲は実施例1に比べ
て異なるものとなる。以上のような理由から、記録層4
の膜厚は15nm以上200nm以下である必要があ
る。
【0124】実施例4 実施例3においては、再生層1としてGd0.16(Fe
0.95Co0.050.84を用い、面内磁化膜2として(Gd
0.39Fe0.610.73Al0.27を用い、記録層4として
(Gd0.50Dy0.500.23(Fe0.80Co0.200.77
用いた場合の結果について示しているが、これ以外の組
成・材料においても同様な超解像再生を実現することが
可能である。
【0125】表13は、実施例3の構成において、再生
層1をGdX(FeYCo1-Y1-Xとし、XとYを変え
て、マーク長0.3μmでのCNRを測定した結果を示
すものである。ここで、CNR測定において、それぞれ
の再生層1に対して、再生パワー2.8mWに設定した
とき、CNRが最大となるように、記録条件を変えて記
録を行っている。また、本実施の形態2においては、図
9に示すようなCNRの再生パワー依存性と同様な再生
特性、すなわち、リアマスク形成に伴い2mW以上の再
生パワーでCNRの上昇が観測される。表13に、再生
パワーを2.8mWとした場合のCNRと再生パワーを
2.0mWとした場合のCNRとの差を△CNRとして
記載する。△CNR>0の場合、本実施の形態2のダブ
ルマスクによる超解像再生が実現していることを意味す
る。さらに表13に、再生層1のキュリー温度を併せて
記載する。
【0126】
【表13】
【0127】比較例1においては、マーク長0.3μm
においてCNRが0となり全く再生信号が得られないの
に対して、本実施の形態2においては、表13からわか
るように、0.12≦X≦0.18、0.85≦Y≦
1.00の範囲において、0以上のCNRが得られてお
り、比較例1より大きなCNRが得られていることがわ
かる。X<0.12の範囲において、本実施の形態2の
CNRが比較例1と同様0となるが、これは、Gd含有
率の低下に伴うトータル磁化の増加により、再生層1が
再生温度近傍(図1の等温線101の内側)において面
内磁化状態となり、再生信号が得られなくなるものであ
る。また、X>0.18の範囲において、比較例1のC
NR(0dB)より大きなCNRが得られているが、△
CNR=0となり、本実施の形態2に係る超解像再生が
実現しなくなる。これは、Xの増加、すなわち、Gd含
有率の増加に伴いキュリー温度が上昇し、リアマスク
(図6の等温線105の内側)が形成されなかったこと
によるものである。また、Y<0.85範囲においも、
比較例1のCNR(0dB)より大きなCNRが得られ
ているが、△CNR=0となる。これは、Co含有量の
増加に伴いキュリー温度が上昇し、リアマスク(図6の
等温線105の内側)が形成されなかったことによるも
のである。すなわち、本実施の形態2に係る超解像再生
を実現するためには、再生層1をGdX(FeY
1-Y1-Xとした場合、0.12≦X≦0.18、0.
85≦Y≦1.00の範囲であることが必要である。ま
た、再生層1のキュリー温度が、少なくとも220℃以
下である必要のあることがわかる。
【0128】次に、再生層として、GdFeCo以外の
材料を用いた場合の実施例について記述する。表14
に、各ディスクにおいて使用した再生層1(GdFeA
l、GdFeTi、GdFeTa、GdFePt、Gd
FeAu、GdFeCu)の組成を示し、表15に、表
13同様、マーク長0.3μmにおけるCNR、△CN
Rと再生層1のキュリー温度を記載する。
【0129】
【表14】
【0130】
【表15】
【0131】表15から、(Gd0.16Fe0.84YAl
1-Yを再生層1として用いた場合、Y=0.75におい
てCNRが0となり超解像再生が実現しなかった。これ
は、再生層1のキュリー温度が140℃と低くなり過ぎ
たため、再生層1において良好な垂直磁化状態が実現し
なかったことによる。再生層1を(Gd0.16Fe0.84
YAl1-Yとした場合、0.80≦Y≦1.00の範囲に
おいて、CNR>0かつ△CNR>0となり、本実施の
形態2に記載の超解像再生が実現していることがわか
る。また、表15のキュリー温度を見ると、再生層1の
キュリー温度が少なくとも160℃以上であることが必
要である。
【0132】したがって、本実施の形態2に係る超解像
再生を実現するためには、再生層1のキュリー温度が1
60℃以上220℃以下である必要のあることがわか
る。
【0133】また、表15に示すように、このキュリー
温度範囲にキュリー温度を有するGdFeTi、GdF
eTa、GdFePt、GdFeAu、GdFeCu等
の磁性材料を再生層1として使用することが可能であ
る。
【0134】再生層1としては、これら以外に、キュリ
ー温度が160℃以上220℃以下であるNdGdF
e、NdGdFeCo、DyGdFe、DyGdFeC
o等の磁性材料を用いることも可能である。
【0135】次に、表16は、実施例3の構成におい
て、面内磁化膜2を(GdXFe1-XYAl1-Yとし、X
とYを変えて、表13同様、マーク長0.3μmにおけ
るCNR、△CNRと面内磁化膜2のキュリー温度を記
載する。
【0136】
【表16】
【0137】表16からわかるように、0.10≦X≦
0.14または0.33≦X≦1.00、0.35≦Y
≦0.95の範囲において、CNR>0かつ△CNR>
0となり、本実施の形態2に記載の超解像再生が実現し
ていることがわかる。これらの組成範囲は、実施の形態
1の面内磁化膜2と同様な理由により決定されるが、実
施の形態2においては、ダブルマスクによる超解像再生
を実現するため、再生層1のキュリー温度が実施の形態
1より低く設定されており、実施の形態1より狭い組成
範囲で実施の形態2に係る超解像再生が実現することに
なる。表16に併せて記載しているキュリー温度を見る
と、面内磁化膜2が60℃以上140℃以下のキュリー
温度である場合において、実施の形態2に係る超解像再
生が実現していることがわかる。
【0138】また、実施の形態1と同様に、面内磁化膜
2としてキュリー温度が60℃以上140℃以下のGd
FeTi、GdFeTa、GdFePt、GdFeA
u、GdFeAlTi、GdFeAlTa等の材料を使
用することも可能である。
【0139】次に、実施の形態2に係る記録層4として
は、実施の形態1同様に、補償温度が−100℃以上6
0℃以下であり、キュリー温度が160℃以上320℃
以下であるDyFeCo、TbFeCo、TbDyFe
Co、GdDyFeCo、GdTbFeCo、GdTb
DyFeCo等の合金を使用することが可能である。
【0140】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、垂直磁
化膜からなる再生層と垂直磁化膜からなる記録層とが静
磁結合した光磁気記録媒体において、再生層に隣接して
形成した面内磁化膜により、再生時に再生極性が反転す
ることのない磁気的超解像再生が可能となる再生方法及
び記録媒体が提供できる。
【0141】また、本発明は垂直磁化膜からなる再生層
と垂直磁化膜からなる記録層とが静磁結合した光磁気記
録媒体において、再生層に隣接して面内磁化膜を形成し
て、前記再生層の磁化方向を膜面に対して垂直方向から
面内方向に変え、前記再生層の面内磁化を用いた情報の
マスキングを行うとともに、前記再生層のキュリー温度
以上の温度においても情報をマスキングする再生方法及
び記録媒体を提供する。これにより、再生時に再生極性
が反転することのないダブルマスクを用いた磁気的超解
像再生を実現し、さらに分解能の高い再生を行うことで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係る光磁気ディスクの
再生原理の説明図である。
【図2】従来の光磁気ディスクの再生原理の説明図であ
る。
【図3】本発明の実施の形態1に係る光磁気ディスクの
記録媒体の膜構成図である。
【図4】本発明の実施の形態1に係る光磁気ディスクの
記録再生の特性図である。
【図5】本発明の実施の形態1に係る光磁気ディスクの
再生信号の波形図である。
【図6】本発明の実施の形態2に係る光磁気ディスクの
再生原理の説明図である。
【図7】本発明の実施の形態2に係る光磁気ディスクの
記録媒体の膜構成図である。
【図8】本発明の実施の形態2に係る光磁気ディスクの
記録再生の特性図である。
【図9】本発明の実施の形態2に係る光磁気ディスクの
記録再生の特性図である。
【符号の説明】
1 再生層 2 面内磁化膜 3 非磁性中間層 4 記録層 5 光ビーム

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 垂直磁化膜からなる再生層と垂直磁化膜
    からなる記録層とが静磁結合した光磁気記録媒体におい
    て、再生層に隣接して面内磁化膜が形成され、前記面内
    磁化膜のキュリー温度以下の温度において、前記再生層
    の磁化方向を膜面に対して垂直方向から面内方向に変え
    て情報再生時のマスキングとしてなることを特徴とする
    光磁気記録媒体の再生方法。
  2. 【請求項2】 垂直磁化膜からなる再生層と垂直磁化膜
    からなる記録層とが静磁結合した光磁気記録媒体におい
    て、再生層に隣接して面内磁化膜が形成されるととも
    に、前記再生層が、希土類金属と遷移金属との合金から
    なり、室温以上の温度において希土類副格子モーメント
    と遷移金属副格子モーメントとがつりあう補償組成に対
    して、遷移金属副格子モーメントをより多く含有する組
    成であり、前記面内磁化膜のキュリー温度以下の温度に
    おいて、前記再生層の磁化方向を膜面に対して垂直方向
    から面内方向に変え、前記再生層の面内磁化を情報再生
    のマスキングとすることを特徴とする光磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の光磁気記録媒体におい
    て、前記面内磁化膜のキュリー温度が、60℃以上20
    0℃以下であることを特徴とする光磁気記録媒体。
  4. 【請求項4】 請求項2または3に記載の光磁気記録媒
    体において、前記面内磁化膜が、GdFe、GdFeA
    l、GdFeTi、GdFeTa、GdFePt、Gd
    FeAu、GdFeCu、GdFeAlTi、GdFe
    AlTa合金のいずれかの合金からなることを特徴とす
    る光磁気記録媒体。
  5. 【請求項5】 請求項2または3に記載の光磁気記録媒
    体において、前記再生層は、一般式(1)、及び、条件
    (2)を満足する組成であることを特徴とする光磁気記
    録媒体。 GdX1(FeY1Co1-Y11-X1 ・・・(1) 0.12≦X1≦0.26 0.60≦Y1≦1.00 ・・・(2)
  6. 【請求項6】 請求項2または3に記載の光磁気記録媒
    体において、前記面内磁化膜は、一般式(3)、及び、
    条件(4)を満足する組成であることを特徴とする光磁
    気記録媒体。 (GdX2Fe1-X2Y2Al1-Y2 ・・・(3) 0≦X2≦0.14、又は、0.32≦X2≦1.00 0.30≦Y2≦1.00 ・・・(4)
  7. 【請求項7】 垂直磁化膜からなる再生層と垂直磁化膜
    からなる記録層とが静磁結合した光磁気記録媒体におい
    て、再生層に隣接して面内磁化膜が形成され、前記面内
    磁化膜のキュリー温度以下の温度において、前記再生層
    の磁化方向を膜面に対して垂直方向から面内方向に変
    え、前記再生層の面内磁化により情報再生時の第1マス
    キングを行うとともに、前記再生層のキュリー温度以上
    の温度における領域部分を第2マスキングとしたことを
    特徴とする光磁気記録媒体の再生方法。
  8. 【請求項8】 垂直磁化膜からなる再生層と垂直磁化膜
    からなる記録層とが静磁結合した光磁気記録媒体におい
    て、再生層に隣接して面内磁化膜が形成されるととも
    に、前記再生層が、希土類金属と遷移金属との合金から
    なり、室温以上の温度において希土類副格子モーメント
    と遷移金属副格子モーメントとがつりあう補償組成に対
    して、遷移金属副格子モーメントをより多く含有する組
    成であり、前記面内磁化膜のキュリー温度以下の温度に
    おいて、前記再生層の磁化方向を膜面に対して垂直方向
    から面内方向に変え、前記再生層の面内磁化により情報
    再生時の第1マスキングを行うとともに、前記再生層の
    キュリー温度以上の温度における領域部分を第2マスキ
    ングとしたことを特徴とする光磁気記録媒体。
  9. 【請求項9】 請求項8に記載の光記録媒体において、
    前記再生層のキュリー温度が、160℃以上220℃以
    下であり、かつ、前記面内磁化膜のキュリー温度が、6
    0℃以上140℃以下であることを特徴とする光磁気記
    録媒体。
  10. 【請求項10】 請求項8または9に記載の光磁気記録
    媒体において、 前記再生層は、一般式(5)、及び、条件(6)を満足
    する組成であることを特徴とする光磁気記録媒体。 GdX4(FeY4Co1-Y41-X4 ・・・(5) 0.12≦X4≦0.18 0.85≦Y4≦1.00 ・・・(6)
  11. 【請求項11】 請求項8または9に記載の光磁気記録
    媒体において、前記面内磁化膜は、一般式(7)、及
    び、条件(8)を満足する組成であることを特徴とする
    光磁気記録媒体。 (GdX5Fe1-X5Y5Al1-Y5 ・・・(7) 0.10≦X5≦0.14、又は、0.33≦X5≦1.00 0.35≦Y5≦0.95 ・・・(8)
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