JPH1041340A - 熱圧着装置 - Google Patents
熱圧着装置Info
- Publication number
- JPH1041340A JPH1041340A JP19427596A JP19427596A JPH1041340A JP H1041340 A JPH1041340 A JP H1041340A JP 19427596 A JP19427596 A JP 19427596A JP 19427596 A JP19427596 A JP 19427596A JP H1041340 A JPH1041340 A JP H1041340A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating tool
- moving block
- holding force
- heating
- thermocompression bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加熱ツールが高温になっても加熱ツールに十
分な保持力を作用させ得る熱圧着装置を提供することを
目的とする。 【解決手段】 ワークに向かって進退する移動ブロック
２０と、移動ブロックの端部に設けられ且つ熱源を備え
た加熱ツール２５と、ねじ部３７，３８を備え加熱ツー
ルと移動ブロックとを連結する連結手段と、連結手段を
介して加熱ブロックを移動ブロックへ付勢する向きの保
持力を発生する弾性手段とを備え、加熱ツールの発熱に
より連結手段が伸張した際にも加熱ツールに最低保持力
以上の保持力が作用するように、弾性手段の変形量が設
定されている。
分な保持力を作用させ得る熱圧着装置を提供することを
目的とする。 【解決手段】 ワークに向かって進退する移動ブロック
２０と、移動ブロックの端部に設けられ且つ熱源を備え
た加熱ツール２５と、ねじ部３７，３８を備え加熱ツー
ルと移動ブロックとを連結する連結手段と、連結手段を
介して加熱ブロックを移動ブロックへ付勢する向きの保
持力を発生する弾性手段とを備え、加熱ツールの発熱に
より連結手段が伸張した際にも加熱ツールに最低保持力
以上の保持力が作用するように、弾性手段の変形量が設
定されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のワークを熱
圧着する熱圧着装置に関するものである。
圧着する熱圧着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】回路モジュールの製造プロセスでは、基
板などのワークに、ＡＣＦ（異方性導電体）やＴＣＰ
（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）等の他
のワークを熱圧着するために、熱圧着装置が用いられ
る。
板などのワークに、ＡＣＦ（異方性導電体）やＴＣＰ
（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）等の他
のワークを熱圧着するために、熱圧着装置が用いられ
る。
【０００３】ところで、従来の熱圧着装置においては、
次にような手法で加熱ツールが支持されていた。図４
は、従来の熱圧着装置における加熱ツールの支持構造を
示す断面図である。
次にような手法で加熱ツールが支持されていた。図４
は、従来の熱圧着装置における加熱ツールの支持構造を
示す断面図である。
【０００４】図４において、１は上下方向Ｎ１に昇降す
る移動ブロック、２は移動ブロック１の下部に支持され
熱源としてのヒータ３を内蔵する加熱ツールであり、加
熱ツール２の下端面は、ワークを熱圧着するための加圧
面２ａとなっている。
る移動ブロック、２は移動ブロック１の下部に支持され
熱源としてのヒータ３を内蔵する加熱ツールであり、加
熱ツール２の下端面は、ワークを熱圧着するための加圧
面２ａとなっている。
【０００５】そして、加熱ツール２には、移動ブロック
１側からシリンダ等の進退手段から加圧力が付与され、
それが加圧面２ａからワークに作用するものであり、加
熱ツール２は、常時移動ブロック１に密着し移動ブロッ
ク１側へ相当程度の保持力で持ち上げられていなければ
ならない。そこで、従来の熱圧着装置では、ボルト４の
頭部を強いトルクで締め付け、ボルト４の下部にあるね
じ部４ｂを加熱ツール２に強い締付力でしっかりとねじ
込んでいた。
１側からシリンダ等の進退手段から加圧力が付与され、
それが加圧面２ａからワークに作用するものであり、加
熱ツール２は、常時移動ブロック１に密着し移動ブロッ
ク１側へ相当程度の保持力で持ち上げられていなければ
ならない。そこで、従来の熱圧着装置では、ボルト４の
頭部を強いトルクで締め付け、ボルト４の下部にあるね
じ部４ｂを加熱ツール２に強い締付力でしっかりとねじ
込んでいた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４
（ａ）に示すように、室温においていくら強大な締付力
でボルト４を締め付けても、加熱ツール２が高温（数百
℃）になると、図４（ｂ）に示すように、加熱ツール２
を移動ブロック１に保持する保持力が低下して、緩みを
生じてしまう。これは、加熱ツール２が高温になったこ
とで、ボルト４が元の長さＬから変形量αだけ伸びたた
めである。このように、従来の熱圧着装置では、加熱ツ
ールの保持力が不足するという問題点があった。
（ａ）に示すように、室温においていくら強大な締付力
でボルト４を締め付けても、加熱ツール２が高温（数百
℃）になると、図４（ｂ）に示すように、加熱ツール２
を移動ブロック１に保持する保持力が低下して、緩みを
生じてしまう。これは、加熱ツール２が高温になったこ
とで、ボルト４が元の長さＬから変形量αだけ伸びたた
めである。このように、従来の熱圧着装置では、加熱ツ
ールの保持力が不足するという問題点があった。
【０００７】そこで本発明は、加熱ツールが高温になっ
ても加熱ツールを十分な保持力で移動ブロックに保持さ
せ得る熱圧着装置を提供することを目的とする。
ても加熱ツールを十分な保持力で移動ブロックに保持さ
せ得る熱圧着装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の熱圧着装置は、
ワークに向かって進退する移動ブロックと、移動ブロッ
クの端部に設けられ且つ熱源を備えた加熱ツールと、ね
じ部を備え加熱ツールと移動ブロックとを連結する連結
手段と、連結手段を介して加熱ブロックを移動ブロック
へ付勢する向きの保持力を発生する弾性手段とを備え、
加熱ツールの発熱により連結手段が伸張した際にも加熱
ツールに最低保持力以上の保持力が作用するように、弾
性手段の変形量が設定されている。
ワークに向かって進退する移動ブロックと、移動ブロッ
クの端部に設けられ且つ熱源を備えた加熱ツールと、ね
じ部を備え加熱ツールと移動ブロックとを連結する連結
手段と、連結手段を介して加熱ブロックを移動ブロック
へ付勢する向きの保持力を発生する弾性手段とを備え、
加熱ツールの発熱により連結手段が伸張した際にも加熱
ツールに最低保持力以上の保持力が作用するように、弾
性手段の変形量が設定されている。
【０００９】
【発明の実施の形態】請求項１記載の熱圧着装置は、ワ
ークに向かって進退する移動ブロックと、移動ブロック
の端部に設けられ且つ熱源を備えた加熱ツールと、ねじ
部を備え加熱ツールと移動ブロックとを連結する連結手
段と、連結手段を介して加熱ブロックを移動ブロックへ
付勢する向きの保持力を発生する弾性手段とを備え、加
熱ツールの発熱により連結手段が伸張した際にも加熱ツ
ールに最低保持力以上の保持力が作用するように、弾性
手段の変形量が設定されているので、加熱ツールが高温
となり連結手段が伸びても、室温時に弾性手段に上述の
変形量すなわち連結手段の熱膨張量よりも十分に大きな
変形量が設定されているので、弾性手段のばね力により
加熱ツールを十分保持することができる。
ークに向かって進退する移動ブロックと、移動ブロック
の端部に設けられ且つ熱源を備えた加熱ツールと、ねじ
部を備え加熱ツールと移動ブロックとを連結する連結手
段と、連結手段を介して加熱ブロックを移動ブロックへ
付勢する向きの保持力を発生する弾性手段とを備え、加
熱ツールの発熱により連結手段が伸張した際にも加熱ツ
ールに最低保持力以上の保持力が作用するように、弾性
手段の変形量が設定されているので、加熱ツールが高温
となり連結手段が伸びても、室温時に弾性手段に上述の
変形量すなわち連結手段の熱膨張量よりも十分に大きな
変形量が設定されているので、弾性手段のばね力により
加熱ツールを十分保持することができる。
【００１０】次に図面を参照しながら、本発明の実施の
形態を説明する。図１は、本発明の一実施の形態におけ
る熱圧着装置の斜視図である。図１において、５は基台
であり、基台５上に設けられたＸテーブル６、Ｙテーブ
ル７、θテーブル８によって、保持部９が、ＸＹθ方向
移動自在となっている。この保持部９は、第１のワーク
としての基板（液晶パネル）１０の下面中央部を吸着し
ている。したがって、Ｘテーブル６、Ｙテーブル７、θ
テーブル８を駆動すれば、基板１０を自在に位置決めで
きる。そして、基板１０の縁部には、第２のワークとし
ての電子部品１１が搭載されており、この熱圧着装置
は、電子部品１１を基板１０に熱圧着するものである。
形態を説明する。図１は、本発明の一実施の形態におけ
る熱圧着装置の斜視図である。図１において、５は基台
であり、基台５上に設けられたＸテーブル６、Ｙテーブ
ル７、θテーブル８によって、保持部９が、ＸＹθ方向
移動自在となっている。この保持部９は、第１のワーク
としての基板（液晶パネル）１０の下面中央部を吸着し
ている。したがって、Ｘテーブル６、Ｙテーブル７、θ
テーブル８を駆動すれば、基板１０を自在に位置決めで
きる。そして、基板１０の縁部には、第２のワークとし
ての電子部品１１が搭載されており、この熱圧着装置
は、電子部品１１を基板１０に熱圧着するものである。
【００１１】また基台５の後部には、Ｘ方向と平行な上
下一対の台部１２が設けてあり、下方の台部１２には、
基板１０の縁部下面を下受けする下受台１３が立設され
ている。そして、上方の台部１２の上部には、圧着ヘッ
ド１４を昇降させる進退機構としてのシリンダ１５が配
設されている。シリンダ１５を駆動すると、圧着ヘッド
１４を電子部品１１へ向けて下降させ、電子部品１１を
基板１０に熱圧着できる。
下一対の台部１２が設けてあり、下方の台部１２には、
基板１０の縁部下面を下受けする下受台１３が立設され
ている。そして、上方の台部１２の上部には、圧着ヘッ
ド１４を昇降させる進退機構としてのシリンダ１５が配
設されている。シリンダ１５を駆動すると、圧着ヘッド
１４を電子部品１１へ向けて下降させ、電子部品１１を
基板１０に熱圧着できる。
【００１２】次に、図２〜図３を参照しながら、圧着ヘ
ッド１４の詳細な構造を説明する。図２において、１６
は上方の台部１２に垂直に立設された支持板であり（図
１も参照）、支持板１６の前面には、垂直なガイドレー
ル１７が固定されている。そして、圧着ヘッド１４全体
を保持するフレーム１９の背面に設けられたスライダ１
８が、ガイドレール１７とスライド自在に係合してい
る。さらに、フレーム１９の頂部には、シリンダ１５の
ロッド１５ａが連結されている。
ッド１４の詳細な構造を説明する。図２において、１６
は上方の台部１２に垂直に立設された支持板であり（図
１も参照）、支持板１６の前面には、垂直なガイドレー
ル１７が固定されている。そして、圧着ヘッド１４全体
を保持するフレーム１９の背面に設けられたスライダ１
８が、ガイドレール１７とスライド自在に係合してい
る。さらに、フレーム１９の頂部には、シリンダ１５の
ロッド１５ａが連結されている。
【００１３】したがって、シリンダ１５を駆動すると、
フレーム１９ごと圧着ヘッド１４全体を昇降させること
ができる。
フレーム１９ごと圧着ヘッド１４全体を昇降させること
ができる。
【００１４】２０は、フレーム１９の内部に、中間プレ
ート２１を挟んで装備される移動ブロックである。ま
た、２２は中間プレート２１を介してフレーム１９に移
動ブロック２０の上部を固定する中空ボルト、２３は中
間プレート２１の下部に移動ブロック２０の下部を固定
する固定ボルトである。そして、固定ボルト２３と中間
プレート２１との間には、球面軸受２４が装着されてい
る。これら、中間プレート２１、中空ボルト２２、固定
ボルト２３及び球面軸受２４を調整することにより、フ
レーム１９に対して移動ブロック２０の上下方向位置や
水平方向及び垂直方向の傾きを微調整できるようになっ
ている。
ート２１を挟んで装備される移動ブロックである。ま
た、２２は中間プレート２１を介してフレーム１９に移
動ブロック２０の上部を固定する中空ボルト、２３は中
間プレート２１の下部に移動ブロック２０の下部を固定
する固定ボルトである。そして、固定ボルト２３と中間
プレート２１との間には、球面軸受２４が装着されてい
る。これら、中間プレート２１、中空ボルト２２、固定
ボルト２３及び球面軸受２４を調整することにより、フ
レーム１９に対して移動ブロック２０の上下方向位置や
水平方向及び垂直方向の傾きを微調整できるようになっ
ている。
【００１５】そして、移動ブロック２０の下部には、位
置決めピン２６によって位置出しされた状態で加熱ツー
ル２５が支持されている。２５ａは加熱ツール２５の加
圧面、２７は熱源としてのヒータである。また、移動ブ
ロック２０の下面と加熱ツール２５の上面との間には、
上方から多孔質材２９、断熱材２８の順に熱を遮断する
ための部材が介装されている。多孔質材２９としては、
ステンレス鋼やセラミックス等からなるものが好適であ
る。
置決めピン２６によって位置出しされた状態で加熱ツー
ル２５が支持されている。２５ａは加熱ツール２５の加
圧面、２７は熱源としてのヒータである。また、移動ブ
ロック２０の下面と加熱ツール２５の上面との間には、
上方から多孔質材２９、断熱材２８の順に熱を遮断する
ための部材が介装されている。多孔質材２９としては、
ステンレス鋼やセラミックス等からなるものが好適であ
る。
【００１６】３０は中間プレート２１を貫通し移動ブロ
ック２０の前面中程に装着されるジョイントであり、ジ
ョイント３０には、気体供給部としてのエア供給源３１
から配管３２を介して圧縮空気が供給される。そして、
移動ブロック２０の内部には、ジョイント３０の先端部
から移動ブロック２０の下面と多孔質材２９の上面との
境目に至る流路３３が形成されている。また流路３３の
下端部は、拡径部３３ａとなっており、多孔質材２９内
にまんべんなく圧縮空気が供給されるようになってい
る。
ック２０の前面中程に装着されるジョイントであり、ジ
ョイント３０には、気体供給部としてのエア供給源３１
から配管３２を介して圧縮空気が供給される。そして、
移動ブロック２０の内部には、ジョイント３０の先端部
から移動ブロック２０の下面と多孔質材２９の上面との
境目に至る流路３３が形成されている。また流路３３の
下端部は、拡径部３３ａとなっており、多孔質材２９内
にまんべんなく圧縮空気が供給されるようになってい
る。
【００１７】さて、熱圧着を行う際には、ヒータ２７に
より発生する熱で、加熱ツール２５は、数百℃という高
温になっている。このとき、エア供給源３１から圧縮空
気を供給すると、この圧縮空気は、配管３２、ジョイン
ト３０、流路３３を介して多孔質材２９内を通過し、外
部へ排出される。
より発生する熱で、加熱ツール２５は、数百℃という高
温になっている。このとき、エア供給源３１から圧縮空
気を供給すると、この圧縮空気は、配管３２、ジョイン
ト３０、流路３３を介して多孔質材２９内を通過し、外
部へ排出される。
【００１８】したがって、加熱ツール２５側から移動ブ
ロック２０側へ伝わろうとする熱は、断熱材２８を通過
しても、多孔質材２９から次々に外部へ流れ出す圧縮空
気に奪われて外部へ排出されるため、殆ど移動ブロック
２０へ伝達されない。なおこのとき断熱材２８が、熱的
に飽和していても圧縮空気によって熱が遮断されること
に変わりなく、問題なく対処できる。このため、移動ブ
ロック２０を低温に保持した状態を維持することがで
き、加圧面２５ａの位置精度を高く保持できる。
ロック２０側へ伝わろうとする熱は、断熱材２８を通過
しても、多孔質材２９から次々に外部へ流れ出す圧縮空
気に奪われて外部へ排出されるため、殆ど移動ブロック
２０へ伝達されない。なおこのとき断熱材２８が、熱的
に飽和していても圧縮空気によって熱が遮断されること
に変わりなく、問題なく対処できる。このため、移動ブ
ロック２０を低温に保持した状態を維持することがで
き、加圧面２５ａの位置精度を高く保持できる。
【００１９】さて、断熱材２８が、多孔質材２９と加熱
ツール２５との間に介装されているのは、次の意味があ
る。上述したように、圧縮空気の流通によって、移動ブ
ロック２０と加熱ツール２５には、相当の温度差があ
る。このため、断熱材２８を上述のように配置し、上記
温度差による温度勾配を断熱材２８で持たせて、その結
果、加熱ツール２５の熱変形を極力抑制するのである。
なお、圧縮空気を流通させると、通常騒音が発生する
が、本形態では、多孔質材２９を介して圧縮空気を排出
させることとしているので、多孔質材２９が一種のサイ
レンサとしての役割を果たし、作業環境を悪化させない
ようにすることもできる。
ツール２５との間に介装されているのは、次の意味があ
る。上述したように、圧縮空気の流通によって、移動ブ
ロック２０と加熱ツール２５には、相当の温度差があ
る。このため、断熱材２８を上述のように配置し、上記
温度差による温度勾配を断熱材２８で持たせて、その結
果、加熱ツール２５の熱変形を極力抑制するのである。
なお、圧縮空気を流通させると、通常騒音が発生する
が、本形態では、多孔質材２９を介して圧縮空気を排出
させることとしているので、多孔質材２９が一種のサイ
レンサとしての役割を果たし、作業環境を悪化させない
ようにすることもできる。
【００２０】なお図２において、３４はロッド１５ａか
ら移動ブロック２０へ作用する圧力を計測する圧力セン
サである。以上述べたように、移動ブロック２０は低温
のまま保持されるので、圧力センサ３４の計測値の信頼
性も向上する。
ら移動ブロック２０へ作用する圧力を計測する圧力セン
サである。以上述べたように、移動ブロック２０は低温
のまま保持されるので、圧力センサ３４の計測値の信頼
性も向上する。
【００２１】次に図３を参照しながら、移動ブロック２
０に対する多孔質材２９、断熱材２８及び加熱ツール２
５の支持機構について説明する。図３に示すように、移
動ブロック２０の側部には、凹部２０ａ，２０ｂが形成
されている。
０に対する多孔質材２９、断熱材２８及び加熱ツール２
５の支持機構について説明する。図３に示すように、移
動ブロック２０の側部には、凹部２０ａ，２０ｂが形成
されている。
【００２２】そして、３５，３６は凹部２０ａ，２０ｂ
から多孔質材２９及び断熱材２８を貫通するカラーであ
る。カラー３５，３６には、ボルト３７，３８がスライ
ド自在に挿通され、ボルト３７，３８の下部は、加熱ツ
ール２５の上部にねじしめされている。また、ボルト３
７，３８の上部には、弾性手段としての皿ばね３９，４
０を挟んで座金４１，４２が装着され、座金４１，４２
の上部では、ボルト３７，３８の頂部にナット４３，４
４が螺合してある。カラー３５，３６は、ナット４３，
４４のねじ込み量を制限するものであり、ナット４３，
４４がこのカラー３５，３６によってねじ込みが制限さ
れる位置までねじ込むと、皿ばね３９，４０は、後述す
る初期設定変形量δまで圧縮変形されるようになってい
る。変形した皿ばね３９，４０の弾性力はボルト３７，
３８を介して加熱ツール２５を移動ブロック２０側へ付
勢する保持力となる。
から多孔質材２９及び断熱材２８を貫通するカラーであ
る。カラー３５，３６には、ボルト３７，３８がスライ
ド自在に挿通され、ボルト３７，３８の下部は、加熱ツ
ール２５の上部にねじしめされている。また、ボルト３
７，３８の上部には、弾性手段としての皿ばね３９，４
０を挟んで座金４１，４２が装着され、座金４１，４２
の上部では、ボルト３７，３８の頂部にナット４３，４
４が螺合してある。カラー３５，３６は、ナット４３，
４４のねじ込み量を制限するものであり、ナット４３，
４４がこのカラー３５，３６によってねじ込みが制限さ
れる位置までねじ込むと、皿ばね３９，４０は、後述す
る初期設定変形量δまで圧縮変形されるようになってい
る。変形した皿ばね３９，４０の弾性力はボルト３７，
３８を介して加熱ツール２５を移動ブロック２０側へ付
勢する保持力となる。
【００２３】これにより、多孔質材２９、断熱材２８を
挟んで加熱ツール２５が移動ブロック２０の下部に最低
保持力以上の力で保持されている。本形態では、ボルト
３７，３８が連結部材を、ナット４３，４４が変形量設
定手段に相当し、ボルト３７，３８及びナット４３，４
４の２つの部材が連結手段に相当する。なお連結手段と
しては、図４に示したような頭部を有するボルトでもよ
い。
挟んで加熱ツール２５が移動ブロック２０の下部に最低
保持力以上の力で保持されている。本形態では、ボルト
３７，３８が連結部材を、ナット４３，４４が変形量設
定手段に相当し、ボルト３７，３８及びナット４３，４
４の２つの部材が連結手段に相当する。なお連結手段と
しては、図４に示したような頭部を有するボルトでもよ
い。
【００２４】次に、皿ばね３９，４０に、室温時に設定
される初期設定変形量δについて説明する。ここで、皿
ばね３９，４０の合成バネ定数をＫとし、加熱ツール２
５の最低保持力をＦｍｉｎとする。そして、加熱ツール
２５の設定温度をＴとして、ボルト３７，３８の設定温
度Ｔにおける室温からの変形量αを、ボルト３７，３８
の膨張係数（既知）を参照して決定する。
される初期設定変形量δについて説明する。ここで、皿
ばね３９，４０の合成バネ定数をＫとし、加熱ツール２
５の最低保持力をＦｍｉｎとする。そして、加熱ツール
２５の設定温度をＴとして、ボルト３７，３８の設定温
度Ｔにおける室温からの変形量αを、ボルト３７，３８
の膨張係数（既知）を参照して決定する。
【００２５】以上の各値から、次式を満たすように、初
期設定変形量δを決定する。
期設定変形量δを決定する。
【００２６】
【数１】
【００２７】そして、室温時に、皿ばね３９，４０が初
期設定変形量δだけ縮むように、ナット４３，４４を締
め込み、座金４１，４２を下降させておけばよい。本実
施の形態ではカラー３５，３６によってねじ込みが阻止
される位置までナット４３，４４をねじ込むことによ
り、皿ばね３９，４０を初期設定量δだけ縮ませたこと
を作業者が確認できるようになっているので組立調整の
作業性を向上させている。
期設定変形量δだけ縮むように、ナット４３，４４を締
め込み、座金４１，４２を下降させておけばよい。本実
施の形態ではカラー３５，３６によってねじ込みが阻止
される位置までナット４３，４４をねじ込むことによ
り、皿ばね３９，４０を初期設定量δだけ縮ませたこと
を作業者が確認できるようになっているので組立調整の
作業性を向上させている。
【００２８】
【発明の効果】本発明の熱圧着装置は、ワークに向かっ
て進退する移動ブロックと、移動ブロックの端部に設け
られ且つ熱源を備えた加熱ツールと、ねじ部を備え加熱
ツールと移動ブロックとを連結する連結手段と、連結手
段を介して加熱ブロックを移動ブロックへ付勢する向き
の保持力を発生する弾性手段とを備え、加熱ツールの発
熱により連結手段が伸張した際にも加熱ツールに最低保
持力以上の保持力が作用するように、弾性手段の変形量
が設定されているので、加熱時に連結手段が伸びても弾
性手段のばね力により十分な保持力を得ることができ
る。
て進退する移動ブロックと、移動ブロックの端部に設け
られ且つ熱源を備えた加熱ツールと、ねじ部を備え加熱
ツールと移動ブロックとを連結する連結手段と、連結手
段を介して加熱ブロックを移動ブロックへ付勢する向き
の保持力を発生する弾性手段とを備え、加熱ツールの発
熱により連結手段が伸張した際にも加熱ツールに最低保
持力以上の保持力が作用するように、弾性手段の変形量
が設定されているので、加熱時に連結手段が伸びても弾
性手段のばね力により十分な保持力を得ることができ
る。
【図１】本発明の一実施の形態における熱圧着装置の斜
視図
視図
【図２】本発明の一実施の形態における熱圧着装置の断
面図
面図
【図３】本発明の一実施の形態における熱圧着装置の断
面図
面図
【図４】従来の熱圧着装置における加熱ツールの支持構
造を示す断面図
造を示す断面図
２０ 移動ブロック ２５ 加熱ツール ３７，３８ ボルト ３９，４０ 皿ばね ４３，４４ ナット
Claims (3)
- 【請求項１】ワークに向かって進退する移動ブロック
と、前記移動ブロックの端部に設けられ且つ熱源を備え
た加熱ツールと、ねじ部を備え前記加熱ツールと前記移
動ブロックとを連結する連結手段と、前記連結手段を介
して前記加熱ブロックを前記移動ブロックへ付勢する向
きの保持力を発生する弾性手段とを備え、前記加熱ツー
ルの発熱により前記連結手段が伸張した際にも前記加熱
ツールに最低保持力以上の前記保持力が作用するよう
に、前記弾性手段の変形量が設定されていることを特徴
とする熱圧着装置。 - 【請求項２】ワークに向かって進退する移動ブロック
と、前記移動ブロックの端部に設けられ且つ熱源を備え
た加熱ツールと、一端部が前記加熱ツールに一体的に結
合された連結部材と、前記連結部材を介して前記加熱ブ
ロックを前記移動ブロックへ付勢する向きの保持力を発
生する弾性手段と、前記連結部材の他端部に設けられ、
前記加熱ツールの発熱により前記連結部材が伸張した際
にも前記加熱ツールに最低保持力以上の前記保持力が作
用するように、前記弾性手段の変形量を設定する変形量
設定手段を備えたことを特徴とする熱圧着装置。 - 【請求項３】前記変形量設定手段は、前記連結部材の他
端部に形成されたねじ部に螺合するナットであることを
特徴とする請求項２記載の熱圧着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19427596A JP3246340B2 (ja) | 1996-07-24 | 1996-07-24 | 熱圧着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19427596A JP3246340B2 (ja) | 1996-07-24 | 1996-07-24 | 熱圧着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1041340A true JPH1041340A (ja) | 1998-02-13 |
| JP3246340B2 JP3246340B2 (ja) | 2002-01-15 |
Family
ID=16321912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19427596A Expired - Lifetime JP3246340B2 (ja) | 1996-07-24 | 1996-07-24 | 熱圧着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3246340B2 (ja) |
-
1996
- 1996-07-24 JP JP19427596A patent/JP3246340B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3246340B2 (ja) | 2002-01-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2006324702A (ja) | 電子部品圧着装置および電子部品圧着方法 | |
| US3669333A (en) | Bonding with a compliant medium | |
| KR0151695B1 (ko) | 와이어 본딩장치 | |
| JP4577941B2 (ja) | チップ実装方法及びその装置 | |
| KR20070028920A (ko) | 열압착 공구 및 이를 포함한 열압착 장치 | |
| JP3246340B2 (ja) | 熱圧着装置 | |
| JP2007311470A (ja) | 圧着装置及び圧着方法 | |
| JP5437221B2 (ja) | ボンディング装置 | |
| JP3255025B2 (ja) | 熱圧着装置 | |
| US7134589B2 (en) | Wire bonder with a downholder for pressing the fingers of a system carrier onto a heating plate | |
| JP3537890B2 (ja) | ワイヤボンディング方法とその装置 | |
| JP3255166B2 (ja) | 熱圧着装置 | |
| JPH03225842A (ja) | ボンディングツール | |
| JPH1041355A (ja) | 熱圧着ツール | |
| JP3246111B2 (ja) | 熱圧着装置と熱圧着方法 | |
| JP4364768B2 (ja) | 熱圧着装置 | |
| JP2010067715A (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
| JP2668330B2 (ja) | 樹脂基板バンプ貼合わせ方法及び装置 | |
| JP2002362933A (ja) | 被加工物の割断方法及び割断装置 | |
| JP3747849B2 (ja) | 電子部品のボンディング装置およびボンディング方法 | |
| KR100190929B1 (ko) | 와이어 본더의 히터 블록 고정 장치 | |
| JP2613496B2 (ja) | ボンディング装置 | |
| JPH04106942A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH02276258A (ja) | ワイヤボンディング装置 | |
| JP3775924B2 (ja) | バンプ付き電子部品の実装方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071102 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081102 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091102 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091102 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111102 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121102 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121102 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131102 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |