JPH1040853A - イオンインプランタ装置 - Google Patents
イオンインプランタ装置Info
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- JPH1040853A JPH1040853A JP8192173A JP19217396A JPH1040853A JP H1040853 A JPH1040853 A JP H1040853A JP 8192173 A JP8192173 A JP 8192173A JP 19217396 A JP19217396 A JP 19217396A JP H1040853 A JPH1040853 A JP H1040853A
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ソース部の真空度を測定するイオンゲージ部
とイオンゲージポート部との接続不良による真空トラブ
ルの発生、イオンゲージ部の交換作業におけるイオンゲ
ージ部又はイオンゲージポート部の破損や接続不良の発
生、イオンゲージポート部の交換作業における長時間の
交換工数の発生やコストの増大等を防止することが可能
なイオンインプランタ装置を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 ゲートバルブ部10の取り付け部18と
イオンゲージポート部18のイオンゲージポート24一
端とが、カップリング26により取り外し可能に接続さ
れ、SUS製のイオンゲージポート24他端とイオンゲ
ージ部12のガラス製のイオンゲージ取り付け口22と
が、SUS製のナット28を用いたねじ込み式により、
即ちSUS製のイオンゲージポート24他端部に切った
雄ねじ34とSUS製のナット28の雌ねじ36とをね
じ込むことにより接続されている。
とイオンゲージポート部との接続不良による真空トラブ
ルの発生、イオンゲージ部の交換作業におけるイオンゲ
ージ部又はイオンゲージポート部の破損や接続不良の発
生、イオンゲージポート部の交換作業における長時間の
交換工数の発生やコストの増大等を防止することが可能
なイオンインプランタ装置を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 ゲートバルブ部10の取り付け部18と
イオンゲージポート部18のイオンゲージポート24一
端とが、カップリング26により取り外し可能に接続さ
れ、SUS製のイオンゲージポート24他端とイオンゲ
ージ部12のガラス製のイオンゲージ取り付け口22と
が、SUS製のナット28を用いたねじ込み式により、
即ちSUS製のイオンゲージポート24他端部に切った
雄ねじ34とSUS製のナット28の雌ねじ36とをね
じ込むことにより接続されている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、イオンインプラン
タ装置(Ion Implanter )に関する。
タ装置(Ion Implanter )に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体プロセスにおいてp型又はn型の
不純物原子をウェーハ中に添加するドーピング装置とし
ては、従来、熱拡散装置が主流であった。しかし、イオ
ンのエネルギーを変化させることにより不純物の深さ方
向の分布を制御することができること、またイオンの個
数を電流値として計測することにより不純物の濃度を精
密に測定することができること等の利点があるため、従
来の熱拡散装置に代わって、イオンインプランタ装置が
中心的な装置となってきている。
不純物原子をウェーハ中に添加するドーピング装置とし
ては、従来、熱拡散装置が主流であった。しかし、イオ
ンのエネルギーを変化させることにより不純物の深さ方
向の分布を制御することができること、またイオンの個
数を電流値として計測することにより不純物の濃度を精
密に測定することができること等の利点があるため、従
来の熱拡散装置に代わって、イオンインプランタ装置が
中心的な装置となってきている。
【0003】このイオンインプランタ装置は、ウェーハ
に注入する所望のイオンを生成するソース部、このソー
ス部で生成したイオンを輸送するビームライン系、ウェ
ーハを搬送すると共に、ビームライン系により輸送して
きたイオンをウェーハに注入処理するエンドステーショ
ン部などから構成される。ここで、イオンは空気中では
生成、輸送することが不可能であるため、イオンインプ
ランタ装置の各構成部は高真空に保持する必要がある。
このため、例えばソース部においても、拡散ポンプによ
って真空排気され、その真空度をイオンゲージにより常
に測定するようになっている。
に注入する所望のイオンを生成するソース部、このソー
ス部で生成したイオンを輸送するビームライン系、ウェ
ーハを搬送すると共に、ビームライン系により輸送して
きたイオンをウェーハに注入処理するエンドステーショ
ン部などから構成される。ここで、イオンは空気中では
生成、輸送することが不可能であるため、イオンインプ
ランタ装置の各構成部は高真空に保持する必要がある。
このため、例えばソース部においても、拡散ポンプによ
って真空排気され、その真空度をイオンゲージにより常
に測定するようになっている。
【0004】従来のイオンインプランタ装置(例えばバ
リアン社製350D)のソース部におけるゲートバルブ
部とイオンゲージ部との接続部を、図2を用いて説明す
る。ここで、図2(a)はゲートバルブ部とイオンゲー
ジ部との接続部の外観を示す図であり、図2(b)はそ
の接続部を分解した状態を示す図である。
リアン社製350D)のソース部におけるゲートバルブ
部とイオンゲージ部との接続部を、図2を用いて説明す
る。ここで、図2(a)はゲートバルブ部とイオンゲー
ジ部との接続部の外観を示す図であり、図2(b)はそ
の接続部を分解した状態を示す図である。
【0005】図2に示されるように、通称V2ゲートバ
ルブアセンブリと呼ばれるゲートバルブ部40と真空度
を測定するイオンゲージ部42とがイオンゲージポート
部44によって接続されている。ここで、ゲートバルブ
部40及びイオンゲージポート部44は共にAl(アル
ミニウム)製であり、イオンゲージ部42の容器46及
びイオンゲージ取り付け口48は共にガラス製である。
ルブアセンブリと呼ばれるゲートバルブ部40と真空度
を測定するイオンゲージ部42とがイオンゲージポート
部44によって接続されている。ここで、ゲートバルブ
部40及びイオンゲージポート部44は共にAl(アル
ミニウム)製であり、イオンゲージ部42の容器46及
びイオンゲージ取り付け口48は共にガラス製である。
【0006】また、ゲートバルブ部40とイオンゲージ
ポート部14との接続部においては、Al製のゲートバ
ルブ部40とイオンゲージポート部18のAl製のイオ
ンゲージポート50一端とが溶接によって一体的に接続
されている。
ポート部14との接続部においては、Al製のゲートバ
ルブ部40とイオンゲージポート部18のAl製のイオ
ンゲージポート50一端とが溶接によって一体的に接続
されている。
【0007】また、イオンゲージポート部44とイオン
ゲージ部42との接続部においては、Al製のイオンゲ
ージポート50他端とイオンゲージ部42のガラス製の
イオンゲージ取り付け口48とが、Al製のナット52
を用いたねじ込み式によって接続されている。
ゲージ部42との接続部においては、Al製のイオンゲ
ージポート50他端とイオンゲージ部42のガラス製の
イオンゲージ取り付け口48とが、Al製のナット52
を用いたねじ込み式によって接続されている。
【0008】即ち、イオンゲージポート50他端とイオ
ンゲージ取り付け口48との間にOリング54及びAl
製のシール押さえ56を介在させ、Al製のイオンゲー
ジポート50他端部に切った雄ねじ58とAl製のナッ
ト52の雌ねじ60とをねじ込むことにより、シール押
さえ56をイオンゲージ取り付け口48に締め付けると
共に、このシール押さえ56を介してOリング54をイ
オンゲージポート50他端に押しつけ、イオンゲージポ
ート50他端とイオンゲージ取り付け口48とを密着さ
せている。
ンゲージ取り付け口48との間にOリング54及びAl
製のシール押さえ56を介在させ、Al製のイオンゲー
ジポート50他端部に切った雄ねじ58とAl製のナッ
ト52の雌ねじ60とをねじ込むことにより、シール押
さえ56をイオンゲージ取り付け口48に締め付けると
共に、このシール押さえ56を介してOリング54をイ
オンゲージポート50他端に押しつけ、イオンゲージポ
ート50他端とイオンゲージ取り付け口48とを密着さ
せている。
【0009】このようにして、Al製のゲートバルブ部
40とイオンゲージポート部18のAl製のイオンゲー
ジポート50とは溶接により一体的に接続され、Al製
のイオンゲージポート50他端とイオンゲージ部42の
ガラス製のイオンゲージ取り付け口48とはAl製のナ
ット52を用いたねじ込み式によって接続されることに
より、ゲートバルブ部40とイオンゲージ部42とのイ
オンゲージポート部44を介しての接続がなされてい
る。
40とイオンゲージポート部18のAl製のイオンゲー
ジポート50とは溶接により一体的に接続され、Al製
のイオンゲージポート50他端とイオンゲージ部42の
ガラス製のイオンゲージ取り付け口48とはAl製のナ
ット52を用いたねじ込み式によって接続されることに
より、ゲートバルブ部40とイオンゲージ部42とのイ
オンゲージポート部44を介しての接続がなされてい
る。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のイオンインプランタ装置のソース部におけるゲート
バルブ部40とイオンゲージ部42とのイオンゲージポ
ート部44を介しての接続には、幾つかの問題があっ
た。
来のイオンインプランタ装置のソース部におけるゲート
バルブ部40とイオンゲージ部42とのイオンゲージポ
ート部44を介しての接続には、幾つかの問題があっ
た。
【0011】ゲートバルブ部40とイオンゲージポート
部18のAl製のイオンゲージポート50一端との接続
部は、機械的に余り強くないAl材同士の溶接によるた
め、壊れ易いという問題があった。イオンゲージポート
50の材質をステンレススチールなどの高硬度の金属に
することも考えられるが、Al材とステンレススチール
材等との溶接は容易ではない。
部18のAl製のイオンゲージポート50一端との接続
部は、機械的に余り強くないAl材同士の溶接によるた
め、壊れ易いという問題があった。イオンゲージポート
50の材質をステンレススチールなどの高硬度の金属に
することも考えられるが、Al材とステンレススチール
材等との溶接は容易ではない。
【0012】また、イオンゲージポート部44とイオン
ゲージ部42との接続部は、Al製のイオンゲージポー
ト50他端部の雄ねじ58とAl製のナット52の雌ね
じ60とのねじ込み式であるため、繰り返し使用してい
ると、ねじ山の摩滅によってねじが緩んでくる。このた
め、イオンゲージポート50他端とイオンゲージ取り付
け口48との密着性が完全でなくなり、真空リーク等の
真空トラブルが発生するという問題があった。
ゲージ部42との接続部は、Al製のイオンゲージポー
ト50他端部の雄ねじ58とAl製のナット52の雌ね
じ60とのねじ込み式であるため、繰り返し使用してい
ると、ねじ山の摩滅によってねじが緩んでくる。このた
め、イオンゲージポート50他端とイオンゲージ取り付
け口48との密着性が完全でなくなり、真空リーク等の
真空トラブルが発生するという問題があった。
【0013】また、この真空トラブルの発生を防止しよ
うとして、緩んだねじを更に強く締めると、イオンゲー
ジ部42のガラス製のイオンゲージ取り付け口48を破
壊してしまうという問題があった。
うとして、緩んだねじを更に強く締めると、イオンゲー
ジ部42のガラス製のイオンゲージ取り付け口48を破
壊してしまうという問題があった。
【0014】また、こうしたイオンゲージ部42のイオ
ンゲージ取り付け口48の破壊やイオンゲージ自体の故
障等によりイオンゲージ部42を交換する必要が生じた
場合、イオンゲージポート部44がゲートバルブ部40
と一体的に接続されて取り外しができないため、イオン
ゲージ部42の交換作業におけるイオンゲージポート部
44からの取り外し及び交換後の取り付けがその位置関
係から容易ではなく、イオンゲージ部42又はイオンゲ
ージポート部44の破損を招いたり、両者の接続不良を
引き起こしたりし易いという問題があった。
ンゲージ取り付け口48の破壊やイオンゲージ自体の故
障等によりイオンゲージ部42を交換する必要が生じた
場合、イオンゲージポート部44がゲートバルブ部40
と一体的に接続されて取り外しができないため、イオン
ゲージ部42の交換作業におけるイオンゲージポート部
44からの取り外し及び交換後の取り付けがその位置関
係から容易ではなく、イオンゲージ部42又はイオンゲ
ージポート部44の破損を招いたり、両者の接続不良を
引き起こしたりし易いという問題があった。
【0015】更に、イオンゲージポート50他端部の雄
ねじ58の摩滅やその他のイオンゲージポート部44の
破損が生じた場合も、イオンゲージポート50一端がゲ
ートバルブ部40と一体的に接続されて取り外しができ
ないため、イオンゲージポート部42だけでなくゲート
バルブ部40ごと良品との交換を行う必要が生じ、必要
以上にコストの増大を招くという問題があった。また、
その交換作業においては、装置の構造上、拡散ポンプを
取り外してからゲートバルブ部40を取り外さなければ
ならない等、ゲートバルブ部40の脱着には約10時間
という長時間の交換工数を要するという問題があった。
ねじ58の摩滅やその他のイオンゲージポート部44の
破損が生じた場合も、イオンゲージポート50一端がゲ
ートバルブ部40と一体的に接続されて取り外しができ
ないため、イオンゲージポート部42だけでなくゲート
バルブ部40ごと良品との交換を行う必要が生じ、必要
以上にコストの増大を招くという問題があった。また、
その交換作業においては、装置の構造上、拡散ポンプを
取り外してからゲートバルブ部40を取り外さなければ
ならない等、ゲートバルブ部40の脱着には約10時間
という長時間の交換工数を要するという問題があった。
【0016】そこで本発明は、上記課題を考慮してなさ
れたものであり、ソース部の真空度を測定するイオンゲ
ージ部とイオンゲージポート部との接続不良による真空
トラブルの発生、イオンゲージ部の交換作業におけるイ
オンゲージ部又はイオンゲージポート部の破損や接続不
良の発生、イオンゲージポート部の交換作業における長
時間の交換工数の発生やコストの増大等を防止すること
が可能なイオンインプランタ装置を提供することを目的
とする。
れたものであり、ソース部の真空度を測定するイオンゲ
ージ部とイオンゲージポート部との接続不良による真空
トラブルの発生、イオンゲージ部の交換作業におけるイ
オンゲージ部又はイオンゲージポート部の破損や接続不
良の発生、イオンゲージポート部の交換作業における長
時間の交換工数の発生やコストの増大等を防止すること
が可能なイオンインプランタ装置を提供することを目的
とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】上記課題は、以下の本発
明に係るイオンインプランタ装置により達成される。即
ち、請求項1に係るイオンインプランタ装置は、ソース
部のゲートバルブ部とイオンゲージ部とを接続するイオ
ンゲージポート部を有するイオンインプランタ装置であ
って、そのイオンゲージポート部がゲートバルブ部及び
イオンゲージ部から取り外し可能であることを特徴とす
る。
明に係るイオンインプランタ装置により達成される。即
ち、請求項1に係るイオンインプランタ装置は、ソース
部のゲートバルブ部とイオンゲージ部とを接続するイオ
ンゲージポート部を有するイオンインプランタ装置であ
って、そのイオンゲージポート部がゲートバルブ部及び
イオンゲージ部から取り外し可能であることを特徴とす
る。
【0018】このように請求項1に係るイオンインプラ
ンタ装置においては、イオンゲージポート部がゲートバ
ルブ部及びイオンゲージ部から取り外し可能であること
により、イオンゲージ部の破損や故障等によってイオン
ゲージ部を交換する必要が生じた場合に、ゲートバルブ
部からイオンゲージポート部を取り外した後、イオンゲ
ージポート部からイオンゲージ部を取り外すことがで
き、イオンゲージ部の交換後の取り付けも逆の手順で行
うことができるため、イオンゲージ部の脱着が容易にな
り、その交換作業における作業性が向上すると共に、交
換作業時におけるイオンゲージ部やイオンゲージポート
部の破損を招いたり、両者の接続不良による真空リーク
等の真空トラブルを引き起こしたりすることが防止され
る。
ンタ装置においては、イオンゲージポート部がゲートバ
ルブ部及びイオンゲージ部から取り外し可能であること
により、イオンゲージ部の破損や故障等によってイオン
ゲージ部を交換する必要が生じた場合に、ゲートバルブ
部からイオンゲージポート部を取り外した後、イオンゲ
ージポート部からイオンゲージ部を取り外すことがで
き、イオンゲージ部の交換後の取り付けも逆の手順で行
うことができるため、イオンゲージ部の脱着が容易にな
り、その交換作業における作業性が向上すると共に、交
換作業時におけるイオンゲージ部やイオンゲージポート
部の破損を招いたり、両者の接続不良による真空リーク
等の真空トラブルを引き起こしたりすることが防止され
る。
【0019】また、破損等によってイオンゲージポート
部を交換する必要が生じた場合でも、ゲートバルブ部か
らイオンゲージポート部を取り外すことができるため、
ゲートバルブ部ごと良品と交換を行う必要がなくなり、
必要以上のコストの増大を招くことがないばかりか、交
換作業が容易になり、短時間の交換工数で済ますことが
可能になる。
部を交換する必要が生じた場合でも、ゲートバルブ部か
らイオンゲージポート部を取り外すことができるため、
ゲートバルブ部ごと良品と交換を行う必要がなくなり、
必要以上のコストの増大を招くことがないばかりか、交
換作業が容易になり、短時間の交換工数で済ますことが
可能になる。
【0020】上記イオンインプランタ装置において、イ
オンゲージポート部をステンレススチール製とすること
ができる。このようにイオンゲージポート部をステンレ
ススチール製とすることにより、イオンゲージポート部
とイオンゲージ部との接続部がイオンゲージポート部端
部の雄ねじとナットの雌ねじとのねじ込み式であって
も、Al製の場合のようにねじ山の摩滅によってねじが
緩んでくることはなくなるため、イオンゲージポート部
とイオンゲージ部との密着性が向上し、真空リーク等の
真空トラブルの発生を防止することができる。
オンゲージポート部をステンレススチール製とすること
ができる。このようにイオンゲージポート部をステンレ
ススチール製とすることにより、イオンゲージポート部
とイオンゲージ部との接続部がイオンゲージポート部端
部の雄ねじとナットの雌ねじとのねじ込み式であって
も、Al製の場合のようにねじ山の摩滅によってねじが
緩んでくることはなくなるため、イオンゲージポート部
とイオンゲージ部との密着性が向上し、真空リーク等の
真空トラブルの発生を防止することができる。
【0021】また、真空トラブルの発生を防止しようと
して、必要以上に強くねじを締める必要もなくなるた
め、ガラス製のイオンゲージ部のイオンゲージ取り付け
口を破壊してしまうこともなくなる。また、こうした破
壊の恐れがなくなるため、取り扱いに必要以上の慎重に
なる必要がなくなり、作業性も向上する。
して、必要以上に強くねじを締める必要もなくなるた
め、ガラス製のイオンゲージ部のイオンゲージ取り付け
口を破壊してしまうこともなくなる。また、こうした破
壊の恐れがなくなるため、取り扱いに必要以上の慎重に
なる必要がなくなり、作業性も向上する。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら、
本発明の実施の形態を説明する。図1(a)は本発明の
一実施の形態に係るイオンインプランタ装置のソース部
におけるゲートバルブ部とイオンゲージ部との接続部の
外観を示す図であり、図1(b)はその接続部を分解し
た状態を示す図である。
本発明の実施の形態を説明する。図1(a)は本発明の
一実施の形態に係るイオンインプランタ装置のソース部
におけるゲートバルブ部とイオンゲージ部との接続部の
外観を示す図であり、図1(b)はその接続部を分解し
た状態を示す図である。
【0023】図1に示されるように、ゲートバルブ部1
0と真空度を測定するイオンゲージ部12とはイオンゲ
ージポート部14によって接続されている。ここで、ゲ
ートバルブ部10のゲートバルブアセンブリ16とその
取り付け部18は共にAl製であり、イオンゲージ部1
2の容器20及びイオンゲージ取り付け口22は共にガ
ラス製である。そしてイオンゲージポート部14は基本
的にステンレススチール製(以下、「SUS製」とい
う)である。
0と真空度を測定するイオンゲージ部12とはイオンゲ
ージポート部14によって接続されている。ここで、ゲ
ートバルブ部10のゲートバルブアセンブリ16とその
取り付け部18は共にAl製であり、イオンゲージ部1
2の容器20及びイオンゲージ取り付け口22は共にガ
ラス製である。そしてイオンゲージポート部14は基本
的にステンレススチール製(以下、「SUS製」とい
う)である。
【0024】イオンゲージポート部14両端における接
続部を、更に詳しく説明する。ゲートバルブ部10とイ
オンゲージポート部14との接続部においては、ゲート
バルブ部10のAl製の取り付け部18とイオンゲージ
ポート部18のSUS製のイオンゲージポート24一端
とが、カップリング26によって接続されている。
続部を、更に詳しく説明する。ゲートバルブ部10とイ
オンゲージポート部14との接続部においては、ゲート
バルブ部10のAl製の取り付け部18とイオンゲージ
ポート部18のSUS製のイオンゲージポート24一端
とが、カップリング26によって接続されている。
【0025】また、イオンゲージポート部14とイオン
ゲージ部12との接続部においては、SUS製のイオン
ゲージポート24他端とイオンゲージ部12のガラス製
のイオンゲージ取り付け口22とが、SUS製のナット
28を用いたねじ込み式によって接続されている。
ゲージ部12との接続部においては、SUS製のイオン
ゲージポート24他端とイオンゲージ部12のガラス製
のイオンゲージ取り付け口22とが、SUS製のナット
28を用いたねじ込み式によって接続されている。
【0026】即ち、イオンゲージポート24他端とイオ
ンゲージ取り付け口22との間には、Oリング30及び
Al製のシール押さえ32が介在している。そしてSU
S製のイオンゲージポート24他端部に切った雄ねじ3
4とSUS製のナット28の雌ねじ36とをねじ込むこ
とにより、シール押さえ32をイオンゲージ取り付け口
22に締め付けると共に、このシール押さえ32を介し
てOリング30をイオンゲージポート24他端に押しつ
け、この押し潰したOリング30によってイオンゲージ
ポート24他端とイオンゲージ取り付け口22とを密着
させる。
ンゲージ取り付け口22との間には、Oリング30及び
Al製のシール押さえ32が介在している。そしてSU
S製のイオンゲージポート24他端部に切った雄ねじ3
4とSUS製のナット28の雌ねじ36とをねじ込むこ
とにより、シール押さえ32をイオンゲージ取り付け口
22に締め付けると共に、このシール押さえ32を介し
てOリング30をイオンゲージポート24他端に押しつ
け、この押し潰したOリング30によってイオンゲージ
ポート24他端とイオンゲージ取り付け口22とを密着
させる。
【0027】このように本実施の形態によれば、ゲート
バルブ部10とイオンゲージポート部14との接続部に
おいて、ゲートバルブ部10の取り付け部18とイオン
ゲージポート部18のイオンゲージポート24一端と
が、カップリング26によって接続されていることによ
り、イオンゲージポート部18及びイオンゲージ部12
がゲートバルブ部10から容易に取り外し可能である。
バルブ部10とイオンゲージポート部14との接続部に
おいて、ゲートバルブ部10の取り付け部18とイオン
ゲージポート部18のイオンゲージポート24一端と
が、カップリング26によって接続されていることによ
り、イオンゲージポート部18及びイオンゲージ部12
がゲートバルブ部10から容易に取り外し可能である。
【0028】このため、破損や故障等が生じたイオンゲ
ージ部12を交換する場合に、ゲートバルブ部10から
イオンゲージポート部18及びイオンゲージ部12を取
り外した後に、イオンゲージポート部18からイオンゲ
ージ部12を取り外すせばよい。また、イオンゲージ部
12の交換後の取り付けも逆の手順で行えばよい。従っ
て、イオンゲージ部12の交換作業における脱着が容易
になり、その作業性が向上するだけでなく、交換作業時
においてイオンゲージ部12やイオンゲージポート部1
4の破損を招いたり、イオンゲージ部12とイオンゲー
ジポート部14との接続不良による真空リーク等の真空
トラブルを引き起こしたりすることを防止することがで
きる。
ージ部12を交換する場合に、ゲートバルブ部10から
イオンゲージポート部18及びイオンゲージ部12を取
り外した後に、イオンゲージポート部18からイオンゲ
ージ部12を取り外すせばよい。また、イオンゲージ部
12の交換後の取り付けも逆の手順で行えばよい。従っ
て、イオンゲージ部12の交換作業における脱着が容易
になり、その作業性が向上するだけでなく、交換作業時
においてイオンゲージ部12やイオンゲージポート部1
4の破損を招いたり、イオンゲージ部12とイオンゲー
ジポート部14との接続不良による真空リーク等の真空
トラブルを引き起こしたりすることを防止することがで
きる。
【0029】また、破損等が生じたイオンゲージポート
部14を交換する場合にも、ゲートバルブ部10からイ
オンゲージポート部18及びイオンゲージ部12を取り
外した後、イオンゲージ部12からイオンゲージポート
部18を取り外すせばよいため、交換作業が容易にな
り、短時間の交換工数で済ますことができる。また、こ
のとき、ゲートバルブ部10ごと良品と交換を行う必要
がなくなるため、交換コストを低減することになる。
部14を交換する場合にも、ゲートバルブ部10からイ
オンゲージポート部18及びイオンゲージ部12を取り
外した後、イオンゲージ部12からイオンゲージポート
部18を取り外すせばよいため、交換作業が容易にな
り、短時間の交換工数で済ますことができる。また、こ
のとき、ゲートバルブ部10ごと良品と交換を行う必要
がなくなるため、交換コストを低減することになる。
【0030】また、本実施の形態によれば、イオンゲー
ジポート部14とイオンゲージ部12との接続部におい
て、SUS製のイオンゲージポート24他端とイオンゲ
ージ部12のガラス製のイオンゲージ取り付け口22と
が、SUS製のナット28を用いたねじ込み式によって
接続されていることにより、即ちSUS製のイオンゲー
ジポート24他端部に切った雄ねじ34とSUS製のナ
ット28の雌ねじ36とをねじ込むことにより接続され
ていることにより、繰り返し使用しても、Al製の場合
のようにねじ山の摩滅によってねじが緩んでくることは
なくなるため、イオンゲージポート24他端とイオンゲ
ージ取り付け口22との密着性が向上し、真空リーク等
の真空トラブルの発生を防止することができる。
ジポート部14とイオンゲージ部12との接続部におい
て、SUS製のイオンゲージポート24他端とイオンゲ
ージ部12のガラス製のイオンゲージ取り付け口22と
が、SUS製のナット28を用いたねじ込み式によって
接続されていることにより、即ちSUS製のイオンゲー
ジポート24他端部に切った雄ねじ34とSUS製のナ
ット28の雌ねじ36とをねじ込むことにより接続され
ていることにより、繰り返し使用しても、Al製の場合
のようにねじ山の摩滅によってねじが緩んでくることは
なくなるため、イオンゲージポート24他端とイオンゲ
ージ取り付け口22との密着性が向上し、真空リーク等
の真空トラブルの発生を防止することができる。
【0031】また、真空トラブルの発生を防止しようと
して、必要以上に強くねじを締める必要もなくなるた
め、ガラス製のイオンゲージ取り付け口22を破壊して
しまうこともなくなる。また、こうした破壊の恐れがな
くなるため、交換作業において必要以上の慎重に取り扱
う必要がなくなり、その作業性も向上する。
して、必要以上に強くねじを締める必要もなくなるた
め、ガラス製のイオンゲージ取り付け口22を破壊して
しまうこともなくなる。また、こうした破壊の恐れがな
くなるため、交換作業において必要以上の慎重に取り扱
う必要がなくなり、その作業性も向上する。
【0032】なお、上記実施の形態においては、ゲート
バルブ部10とイオンゲージポート部14との接続部に
カップリング26を用いているが、これに限定する必要
はなく、着脱が容易で、且つ真空リーク等の真空トラブ
ルの発生しない気密性が確保できるものであればよい。
バルブ部10とイオンゲージポート部14との接続部に
カップリング26を用いているが、これに限定する必要
はなく、着脱が容易で、且つ真空リーク等の真空トラブ
ルの発生しない気密性が確保できるものであればよい。
【0033】
【発明の効果】以上、詳細に説明した通り、本発明に係
るイオンインプランタ装置によれば、ソース部のゲート
バルブ部とイオンゲージ部とを接続するイオンゲージポ
ート部が、ゲートバルブ部及びイオンゲージ部から取り
外し可能であることにより、イオンゲージ部の交換の際
の脱着が容易になるため、その作業性を向上させること
ができると共に、交換作業時におけるイオンゲージ部や
イオンゲージポート部の破損や、接続不良による真空ト
ラブルの発生を防止することができる。また、イオンゲ
ージポート部の交換も容易に行うことができ、ゲートバ
ルブ部ごと良品と交換を行う必要がなくなるため、短時
間の交換工数で済ますことができると共に、交換コスト
の低減を図ることができる。
るイオンインプランタ装置によれば、ソース部のゲート
バルブ部とイオンゲージ部とを接続するイオンゲージポ
ート部が、ゲートバルブ部及びイオンゲージ部から取り
外し可能であることにより、イオンゲージ部の交換の際
の脱着が容易になるため、その作業性を向上させること
ができると共に、交換作業時におけるイオンゲージ部や
イオンゲージポート部の破損や、接続不良による真空ト
ラブルの発生を防止することができる。また、イオンゲ
ージポート部の交換も容易に行うことができ、ゲートバ
ルブ部ごと良品と交換を行う必要がなくなるため、短時
間の交換工数で済ますことができると共に、交換コスト
の低減を図ることができる。
【0034】また、本発明に係るイオンインプランタ装
置によれば、イオンゲージポート部がステンレススチー
ル製であることにより、イオンゲージポート部とイオン
ゲージ部との接続がねじ込み式であっても、従来のAl
製の場合のようにねじ山の摩滅によってねじが緩んでく
ることはなくなるため、接続部の密着性が向上し、真空
リーク等の真空トラブルの発生を防止することができ
る。
置によれば、イオンゲージポート部がステンレススチー
ル製であることにより、イオンゲージポート部とイオン
ゲージ部との接続がねじ込み式であっても、従来のAl
製の場合のようにねじ山の摩滅によってねじが緩んでく
ることはなくなるため、接続部の密着性が向上し、真空
リーク等の真空トラブルの発生を防止することができ
る。
【図1】図1(a)は本発明の一実施の形態に係るイオ
ンインプランタ装置のソース部におけるゲートバルブ部
とイオンゲージ部との接続部の外観を示す図であり、図
2(b)はその接続部を分解した状態を示す図である。
ンインプランタ装置のソース部におけるゲートバルブ部
とイオンゲージ部との接続部の外観を示す図であり、図
2(b)はその接続部を分解した状態を示す図である。
【図2】図2(a)は従来のイオンインプランタ装置の
ソース部におけるゲートバルブ部とイオンゲージ部との
接続部の外観を示す図であり、図2(b)はその接続部
を分解した状態を示す図である。
ソース部におけるゲートバルブ部とイオンゲージ部との
接続部の外観を示す図であり、図2(b)はその接続部
を分解した状態を示す図である。
10……ゲートバルブ部、12……イオンゲージ部、1
4……イオンゲージポート部、16……ゲートバルブア
センブリ、18……取り付け部、20……イオンゲージ
部の容器、22……イオンゲージ取り付け口、24……
イオンゲージポート、26……カップリング、28……
ナット、30……Oリング、32……シール押さえ、3
4……雄ねじ、36……雌ねじ、40……ゲートバルブ
部、42……イオンゲージ部、44……イオンゲージポ
ート部、46……イオンゲージ部の容器、48……イオ
ンゲージ取り付け口、50……イオンゲージポート、5
2……ナット、54……Oリング、56……シール押さ
え、58……雄ねじ、60……雌ねじ。
4……イオンゲージポート部、16……ゲートバルブア
センブリ、18……取り付け部、20……イオンゲージ
部の容器、22……イオンゲージ取り付け口、24……
イオンゲージポート、26……カップリング、28……
ナット、30……Oリング、32……シール押さえ、3
4……雄ねじ、36……雌ねじ、40……ゲートバルブ
部、42……イオンゲージ部、44……イオンゲージポ
ート部、46……イオンゲージ部の容器、48……イオ
ンゲージ取り付け口、50……イオンゲージポート、5
2……ナット、54……Oリング、56……シール押さ
え、58……雄ねじ、60……雌ねじ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大坂 浩 鹿児島県国分市野口北5番1号 ソニー国 分株式会社内
Claims (2)
- 【請求項1】 ソース部のゲートバルブ部とイオンゲー
ジ部とを接続するイオンゲージポート部を有するイオン
インプランタ装置であって、 前記イオンゲージポート部が、前記ゲートバルブ部及び
前記イオンゲージ部から取り外し可能であることを特徴
とするイオンインプランタ装置。 - 【請求項2】 請求項1記載のイオンインプランタ装置
において、 前記イオンゲージポート部が、ステンレススチール製で
あることを特徴とするイオンインプランタ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8192173A JPH1040853A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | イオンインプランタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8192173A JPH1040853A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | イオンインプランタ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1040853A true JPH1040853A (ja) | 1998-02-13 |
Family
ID=16286903
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8192173A Pending JPH1040853A (ja) | 1996-07-22 | 1996-07-22 | イオンインプランタ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1040853A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013507739A (ja) * | 2009-10-08 | 2013-03-04 | パーキンエルマー・ヘルス・サイエンシズ・インコーポレーテッド | 結合装置および結合装置の使用法 |
-
1996
- 1996-07-22 JP JP8192173A patent/JPH1040853A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013507739A (ja) * | 2009-10-08 | 2013-03-04 | パーキンエルマー・ヘルス・サイエンシズ・インコーポレーテッド | 結合装置および結合装置の使用法 |
US9349580B2 (en) | 2009-10-08 | 2016-05-24 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Coupling devices and source assemblies including them |
US10978286B2 (en) | 2009-10-08 | 2021-04-13 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Coupling devices and source assemblies including them |
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