JPH0350977Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、真空装置内へ多数の電流導入端子、
ガス導入管又は液体導入管等を導入して封止する
封止装置に関するものである。

（従来の技術） 従来、真空装置内へ電流導入端子、ガス導入
管、液体導入管等の導入部材を導入して封止する
構造としては、ハーメチツクシールによるものが
あり、この場合は、多極の電流導入端子を一体に
して封止するようにしている。しかし、これ以外
の場合は、単軸によるＯリング封止、つまり、一
つの導入部材毎に個別にそれぞれＯリングによつ
た封止が行われている。

（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、ハーメチツクシールは破損し易
く、また、破損すると修理は困難である。

一方、Ｏリングによる単軸シールは複数の端子
や管を導入するには真空装置に複数の導入口を開
け、それぞれを個別に封止しなければならなかつ
た。

本考案は、以上述べたハーメチツクシール及び
単軸Ｏリングシールの問題点を除去し、単一の導
入口により、複数の電流導入端子、ガス導入管或
いは液体導入管などの異種の複数の導入部材を混
成して導入し、的確にシールできる多軸真空封止
装置を提供することを目的とする。

（問題点を解決するための手段） 本考案は、上記問題点を解決するために、真空
装置内へ複数の導入部材を導入して封止する装置
において、単一導入口を有する真空槽と、複数の
貫通穴を有すると共に、外周に雄ネジが設けら
れ、前記真空槽の単一導入口を塞ぐように位置す
る封止体と、異種の複数の導入部材を混成して前
記複数の貫通穴に貫通し、該異種の複数の導入部
材の周りに位置する締付けワツシヤとＯリングを
有するＯリングシール部と、前記異種の複数の導
入部材が貫通する穴を有し、前記締付けワツシヤ
に当接する締付け板と、該締付け板の周縁部にフ
ランジ部が当接すると共に、前記封止体の外周の
雄ネジに螺合する円筒部の内周に設けられる雌ネ
ジを有し、該雌ネジを前記雄ネジに螺合すること
により締付けワツシヤにより前記Ｏリングを前記
導入部材の周りに締付けて前記Ｏリングシール部
を一体的に締め付ける締付けネジを設けるように
したものである。

（作用） 本考案によれば、真空槽の単一導入口を封止す
る封止体を設け、その封止体には異種の複数の導
入部材が貫通し、その異種の複数の導入部材の周
りに位置する締付けワツシヤとＯリングを有する
Ｏリングシール部と、前記異種の複数の導入部材
が貫通する穴を有し、前記締付けワツシヤに当接
する締付け板と、該締付け板の周縁部にフランジ
部が当接すると共に、前記封止体の外周の雄ネジ
に螺合する円筒部の内周に設けられる雌ネジを有
し、該雌ネジを前記雄ネジに螺合することにより
締付けワツシヤにより前記Ｏリングを前記導入部
材の周りに締付けて前記Ｏリングシール部を一体
的に締め付けることができるようにしたので、複
数の導入部材を一度に封止することができる。ま
た、導入部材は異種のものを的確に封止すること
ができる。更に、使用途中で導入部材の構成を容
易に変更することができる。

（実施例） 以下、本考案の実施例について図面を参照しな
がら詳細に説明する。

第１図は本考案の一実施例を示す多軸真空封止
装置の断面図であり、第２図の−線断面を示
している。第２図はその多軸真空封止装置の平面
図である。

図中、１はその外周に雄ネジが設けられる封止
体、２はＯリング、３はＯリング上に設けられる
締付けワツシヤ、４はＯリング締付け板、５はフ
ランジ部５ａと円筒部５ｂとを有し、その円筒部
５ｂの内周面に雌ネジを有する締付けネジ、６は
単一導入口を有する真空槽である。

これらの図に示されるように、封止体１の同一
円周上に同一径の異種の複数の導入部材である導
入端子又は管１１〜１６が配置され、封止体１の
各導入端子又は管のそれぞれのＯリングシール部
には、Ｏリング２、その上に下面にテーパが形成
され、Ｏリング締付け板４の締め付けにより、Ｏ
リング２を導入部材１１〜１６の周りに締付ける
締付けワツシヤ３が設けられ、これらの締付けワ
ツシヤ３がＯリング締付け板４により一度に押圧
され、複数のＯリングシール部を一度に封止す
る。このＯリング締付け板４は封止体１の外周部
の雄ネジに締付けネジ５の円筒部５ｂの内周面の
雌ネジが螺合することにより、締付けネジ５によ
り締め付けられる。更に、封止体１は真空槽６に
ボルトにより固着される。この際、他のＯリング
７によりＯリングシールされるが、この点は本考
案の特徴点ではなく、従来の手段を用いることが
できる。

また、導入部材は異種の複数のものを混成させ
て的確に封止することができる。例えば、銅棒等
の電流導入端子と、ステンレスパイプ等に流体、
つまり液体又は気体の導入管を混成させて配置す
ることができる。一例を挙げると、電子ビーム蒸
着装置への電力の供給用導入端子、スパツタリン
グ用ガスを供給する導入管、電子ビーム蒸着装置
の蒸着源の冷却水を供給する導入管などを一括し
て封止することができる。

また、各導入端子又は管の寸法は必ずしも同一
寸法に限定する必要はない。

更に、その場合、Ｏリングシール部を同一円周
上に等間隔に設けることに拘る必要はない。

また、異種の複数の導入端子、管の数は６本に
限定する必要はない。

なお、本考案は上記実施例に限定されるもので
はなく、本考案の趣旨に基づいて種々の変形が可
能であり、これらを本考案の範囲から排除するも
のではない。

（考案の効果） 以上、詳細に説明したように、本考案によれ
ば、次のような効果を奏することができる。

(1) 異種の複数の導入部材を単一の導入口を有す
る真空槽に一度に封止できる。

(2) 導入部材は異種の複数のものを混成させて的
確に封止することができる。例えば、銅棒等の
導入端子とステンレスパイプ等による液体や気
体などの流体の導入管を混成させて配置するこ
とができる。

(3) 使用途中で導入部材の構成を容易に変更でき
る。例えば、導入端子を流体の導入管と入れ換
えたり、流体の導入管のなかでも液体の導入管
と気体の導入管とを入れ換えることができる。
即ち、Ｏリングシール部の寸法を勘案し、Ｏリ
ング締付け板が各シール部に均等に締付けられ
るようにすれば、導入端子又は流体導入管の寸
法が同一でない場合にも適用することができ
る。

従つて、異種の複数の導入部材を一度に、しか
も的確にシールすることができる。つまり、半導
体製造装置等の多軸真空封止を的確、かつ安全に
封止することができ、その実用的効果は著大であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す多軸真空封止
装置の断面図、第２図はその多軸真空封止装置の
平面図である。 １……封止体、２……Ｏリング、３……締付け
ワツシヤ、４……Ｏリング締付け板、５……締付
けネジ、６……真空槽、１１〜１６……導入部
材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 真空装置内へ複数の導入部材を導入して封止す
   る装置において、 (a) 単一導入口を有する真空槽と、 (b) 複数の貫通穴を有すると共に、外周に雄ネジ
   が設けられ、前記真空槽の単一導入口を塞ぐよ
   うに位置する封止体と、 (c) 異種の複数の導入部材を混成して前記複数の
   貫通穴に貫通し、該異種の複数の導入部材の周
   りに位置する締付けワツシヤとＯリングを有す
   るＯリングシール部と、 (d) 前記異種の複数の導入部材が貫通する穴を有
   し、前記締付けワツシヤに当接する締付け板
   と、 (e) 該締付け板の周縁部にフランジ部が当接する
   と共に、前記封止体の外周の雄ネジに螺合する
   円筒部の内周に設けられる雌ネジを有し、該雌
   ネジを前記雄ネジに螺合することにより前記締
   付けワツシヤにより前記Ｏリングを前記導入部
   材の周りに締付けて前記Ｏリングシール部を一
   体的に締め付ける締付けネジを具備する多軸真
   空封止装置。