JPH10322147A - 高周波電力増幅器およびこれを用いた移動体通信装置 - Google Patents

高周波電力増幅器およびこれを用いた移動体通信装置

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JPH10322147A
JPH10322147A JP9201153A JP20115397A JPH10322147A JP H10322147 A JPH10322147 A JP H10322147A JP 9201153 A JP9201153 A JP 9201153A JP 20115397 A JP20115397 A JP 20115397A JP H10322147 A JPH10322147 A JP H10322147A
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drain
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Kazuya Nishibori
堀 一 弥 西
Tadahiro Sasaki
忠 寛 佐々木
Yoshiaki Kitaura
浦 義 昭 北
Mayumi Moritsuka
塚 真由美 森
Atsushi Kameyama
山 敦 亀
Masami Nagaoka
岡 正 見 長
Keiji Wakimoto
本 啓 嗣 脇
Toshiki Seshimo
下 敏 樹 瀬
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 移動体通信装置に用いられる高周波電力増幅
器を構成するMESFETの消費電力の低減と、通信装
置の連続使用状態の長時間化を図る。 【解決手段】 MESFET36をPポケットのLDD
構造39のGaAs半導体素子により構成し、このME
SFETを移動体通信装置50の高周波電力増幅器30
に用いることにより、消費電流を低減させてバッテリ1
8の連続使用状態の長時間化を図る。また、高周波電力
増幅器40がMESFET43のドレインとゲートとの
間に設けられるゲートバイアス調整用フィードバック手
段44/45を備え、増幅器40に電力を供給するバッ
テリ18の放電電圧の充満電位と終止電位の差が大きい
場合でも終止電位付近での長時間の電力の供給を可能に
して長時間の連続使用を可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、低電源電圧でも低
歪みかつ大電力を生成し得る高周波電力増幅器およびこ
れを用いた移動体通信装置に係り、特に回路内の消費電
力を低減させると共に、充満電位と終止電位に差がある
バッテリにおいて直接バッテリーから供給される充満電
位と終止電位の差が大きくても動作可能な高周波電力増
幅器の回路構成と、この高周波電力増幅器に用いられる
低電圧でも動作可能なGaAs( ガリウム砒素) MES
FET(Metal Schottky type Field Effect Transisto
r )構造と、この構造のパワーアンプを用いて送受信を
行なう移動体通信装置に関する。
【0002】
【従来の技術】移動体通信装置では、一次電池を交換せ
ずにまたは二次電池を再充電せずに通話できる時間とし
て定義される連続通話時間の長いことが大きな商品価値
を有する。通信装置の電源電圧はどのような電池を使用
するかで決まるので、連続通話時間を長くするためには
電池の改良もさることながら、通信装置内の回路の消費
電流を低減することが必要である。そのためには、通信
装置の中でも消費電流の大きい高周波電力増幅器の消費
電流を下げることが重要である。
【0003】例えば、PHS(Personal Handyphone Sy
stem)と呼ばれている簡易型携帯端末の場合、このPH
S内の高周波電力増幅器の電力変換効率が30%のと
き、PHSの出力電力は0.18Wなので、この高周波
電力増幅器の消費電力は0.6W(=0.18W/0.
3)となる。したがって、電源として電圧が3Vのリチ
ウムイオン2次電池を使用した場合は、高周波電力増幅
器の消費電流は200mA(=0.6W/3V)とな
る。ここで、高周波電力増幅器の電力変換効率が50%
になれば、同様の計算によりその消費電流は120mA
となり、高周波電力増幅器の消費電流は80mA低減さ
れることになる。このことは、PHS全体の消費電流を
約800mAとすると、PHS全体の消費電流としても
1割低減されることになる。この消費電流の低減はその
まま、PHSすなわち移動体通信装置の連続通話時間の
延長となって現われる。
【0004】このように、移動体通信装置においては、
内蔵される高周波電力増幅器の電力変換効率の向上が重
要であるが、高周波電力増幅器の電力変換効率はそこに
含まれるトランジスタ、特に増幅器が多段増幅方式の場
合は最終段で使用されるトランジスタの電力変換効率で
ほとんど決定される。トランジスタの電力変換効率は消
費電力に対する出力電力の比として定義されるドレイン
効率が指標となる。従って、トランジスタのドレイン効
率を向上させるためには消費電力を、すなわち消費電流
を低減することが重要である。
【0005】ところで、L帯と呼ばれる1〜2GHzの
周波数帯域を中心に移動体通信装置ではGaAs基板上
に形成したショットキーゲート型電界効果トランジスタ
(以下、MESFET―MEtal Schottky type Field Ef
fect Transistor ―と略記する。)を複数の受動素子と
共に同一半導体チップ上にマイクロ波用モノリシック集
積回路(以下、MMIC―Micro-wave Monolithic Inte
grated Circuit―と略記する。)の形態で高周波電力増
幅器を実現することが、端末の小型化が可能なことから
従来から行なわれている。
【0006】図14は、従来の移動体通信装置の高周波
電力増幅器で用いられているMESFETの構成を示す
断面図である。図14において、高周波電力増幅器は、
半絶縁性のGaAs基板1と、この基板1の表面に形成
されたは高濃度n型ソース領域2と、この高濃度n型ソ
ース領域2と共にソースとして機能する中間濃度n型ソ
ース領域3と、前記基板1の表面に形成された高濃度n
型ドレイン領域4と、この高濃度n型ドレイン領域4と
共にドレインとして機能する中間濃度n型ドレイン領域
5と、前記基板1の表面で前記中間濃度n型ソース領域
3と中間濃度n型どれ員領域5との間に設けられた低濃
度のn型のチャネル6と、このチャネル6上に形成され
た窒化タングステンからなるゲート長が0.8マイクロ
メートル程度のショットキーゲート電極7と、このゲー
ト電極7の側壁に形成された一対のスペーサ8と、高濃
度n型ソース領域2から高濃度n型ドレイン領域4の下
部側にわたって形成されたp型の埋め込み層9と、を備
えている。
【0007】このような埋め込み層9を備えたMESF
ETにおいては、この埋め込み層9が高濃度ソース・ド
レイン領域間の基板電流を有効に抑制し、特にゲート長
が1マイクロメートル程度以下になると顕著になるショ
ートチャネル効果を低減し、素子の微細化に伴う相互コ
ンダクタンスの低下を抑制することができる。
【0008】図15は、上記構成に係る従来のMESF
ETを用いた従来の移動体通信装置としての携帯用通信
機器を示している。図15において、従来の移動体通信
装置10は、アンテナ11と、受信および送信を切り換
えるスイッチ12と、スイッチ12が受信モードにある
ときアンテナ11を介して無線送信されてきた高周波信
号を受信するレシーバ13と、レシーバ13で受信され
た高周波信号に所定周波数の信号を重畳して直交復調し
ベースバンド信号を生成するシンセサイザ14と、生成
されたベースバンド信号を処理するベースバンド信号処
理部15と、送信すべきベースバンド信号を変調する直
交変調器16と、生成された高周波信号を増幅するパワ
ーアンプ20と、を備えている。
【0009】さらに、移動体通信装置10は、前記スイ
ッチ12、レシーバ13、シンセサンザ14、ベースバ
ンド信号処理部15および直交変調器16に駆動電圧を
供給するバッテリ18と、このバッテリ18より電力の
供給を受け前記パワーアンプが必要とする電圧にまで昇
圧して供給する昇圧回路付レギュレータ19と、を備え
ている。前記バッテリ18は、リチウム(Li)イオン
電池を用いており、その充満電位は3.4V、終止電位
は2.4V程度であり、公称電位は3V前後である。バ
ッテリ18とレギュレータ19とにより、電源回路17
が構成されている。
【0010】上記移動体通信装置10に使用されている
回路のうち、スイッチ12、レシーバ13、シンセサイ
ザ14、ベースバンド信号処理部15、直交変調器16
は、電源電圧3V前後のバッテリの公称電位と同電位で
駆動されている。これに対して、所定の周期で間欠的に
送信される信号を所望の値まで増幅するパワーアンプ2
0は、電源電圧6V前後であるため、レギュレータ19
内部の昇圧回路を用いてバッテリ18の電圧の昇圧を行
ない、6V前後でパワーアンプ20を動作させていた。
図6は、バッテリから供給することができる電圧とその
供給継続時間との関係を示しており、時間経過と共に供
給電圧の低下が起こり、時間T2をすぎた時点で、パワ
ーアンプは正常動作することができなくなる。このよう
に、携帯用通信機器等の従来の移動体通信装置において
は、連続通話時間はパワーアンプ20の電源電圧の制限
に基づいて制限されていた。また、パワーアンプ20の
機能を必要としない連続待ち受け状態においても、パワ
ーアンプのために設けられている昇圧回路付レギュレー
タ19の消費電力のために、このレギュレータ19を設
けない場合に比較して、昇圧回路におけるL,C,Rの
受動素子部分の損失と、DC−AC変換の際のスイッチ
ングにロスが生じるために、連続待ち受け時間が短くな
らざるを得ないという問題を残していた。
【0011】また、パワーアンプ用の昇圧回路付レギュ
レータ19の収納容積のために、携帯用情報端末を小型
化できないという問題もあった。さらに、昇圧回路は、
内部にトランス機能を持ち、DC電位をAC的に変換
し、その振幅分を先のDC成分に加算する事によりDC
電位の昇圧を行なう。このため、内蔵されているトラン
ス部分がノイズ発生源になる可能性が高く、受信部分に
対するノイズ対策が必要となり実装が複雑となり、ま
た、収納容積が大きくなるという問題があった。
【0012】また、時分割多重接続/時分割分散(以下
TDMA/TDD―Time DivisionMultiple Access /T
ime Division Demultiple―)方式を用いた従来のPH
S用パワーアンプ回路は、所定の周期例えば、1.9G
Hzで間欠的に送信される信号を所望の値まで増幅する
機能を有するが、その仕様において線形性が重要視さ
れ、A級または、AB級動作を用いていた。従来のパワ
ーアンプ20の回路構成を図16に示す。図16におい
て、パワーアンプ20は、整合回路21および22と、
整合回路21がそのゲートに接続され、前記電源回路1
7がそのドレインに接続されたMESFET23と、を
備え、電源回路とドレインとの接続点には前記整合回路
22が接続されている。この場合の静特性のドレイン電
流Idとドレイン電圧Vdの関係と負荷線の関係を図1
7に示す。これら図17より明らかなように、ゲートバ
イアス電位が固定でドレイン電圧が減少していくと歪み
が大きく、また、出力電力が低下することが分かる。こ
のため、パワーアンプにかかる電源電圧が低下すると、
線形性の低下と出力電力の低下により使用できなくなり
その結果として通話時間が限定されてしまうという問題
があった。
【0013】また、パワーアンプ用半導体素子として
は、L帯の高周波での特性を考慮するとGaAs(ガリ
ウム砒素)が使用されてきた。このGaAs(ガリウム
砒素)MESFETの構成としては、高周波での特性が
特に優れており、また、プロセスの信頼性も高いBPL
DD(Buried P-layer Lightly Doped Drain)構造が用
いられてきた。図18には、BPLDD構造におけるド
レイン電流Idとドレイン電圧Vdとの関係が示されて
いる。しかし、この特性から明らかなように、ドレイン
電圧が大きい方ではブレークダウン付近の歪みが影響
し、また、ドレイン電圧の低い側ではニー電圧付近の歪
みが影響するため、負荷線の掛け方によっては線形性の
悪化または出力電力の低下が発生して、充分な出力が得
られないという問題があった。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、移動
体通信装置の高周波電力増幅器を構成するMESFET
として、埋め込み層を備えたMESFET(以下、「埋
め込み型MESFET」という。)は優れた効果を有す
るが、移動体通信装置の連続通話時間の長時間化または
移動体通信装置に内蔵される高周波電力増幅器の低消費
電力化という観点からは、さらなる改良が求められてい
る。他方、発明者らの最近の研究により、埋め込み型M
ESFETには移動体通信装置の高周波電力増幅器に用
いた場合にキンクに起因する無駄な電流消費が生じてい
ることがわかった。この無駄な電流消費により、埋め込
み型MESFETを用いた従来の高周波電力増幅器は消
費電流の低減が不充分となり、そのような高周波電力増
幅器を搭載した移動体通信装置の連続通話時間を長くす
ることができないという問題があった。
【0015】一般にMESFETの飽和領域では、ドレ
イン電圧に対してドレイン電流はほぼ一定な状態で推移
する。キンクとはこのドレイン電流が一時的な増加を示
すことである。このキンクはドレインコンダクタンスで
はピークとなって現われる。埋め込み型MESFETに
このようなキンクが現われることは計算機シミュレーシ
ョンにより既に報告されていて、チャネル下部の埋め込
み層にインパクトイオン化で生成されたホールが蓄積す
ることが原因であると言われている。図4は横軸に大信
号動作時にドレイン端子に加わる最大ドレイン電圧をと
り、縦軸にドレイン電流の直流成分(すなわち消費電
流)をとったグラフである。尚、このグラフは電源電圧
が3V、局部発信周波数が1.9MHzでπ/4QPS
K変調をした場合の特性を示している。図中で□印でプ
ロットされた曲線が図14に図示した埋め込み型MES
FETの特性である。この特性図より埋め込み型MES
FETにおいては、最大ドレイン電圧は入力電力の増大
とともに大きくなるが、最大ドレイン電圧が5V付近で
急激に消費電流が増大していることがわかる。これはこ
の電圧付近にキンクが存在することに関係している。こ
のキンクによる消費電流は高周波電力増幅器の動作にと
っては無意味なものであり、これが、高周波電力増幅器
を内蔵した移動体通信装置の連続通話時間の長時間化を
阻害する要因となっている。
【0016】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
ので、消費電力の少ない高周波電力増幅器及び連続通話
時間の長い移動体通信装置を提供することを目的とす
る。また、上述のような携帯用通信機器等の移動体通信
装置においては、充電可能なバッテリを使用してきたた
めに、バッテリの充満電位と終止電位との間に差が生じ
ることとなり、このため、通信機器内部に使用されてい
る回路で比較的高電圧で動作していたパワーアンプはそ
のある基準電圧以下では動作することができなくなり、
連続通話時間と連続待ち受け時間を制限してしまうとい
う問題があった。本発明は、上記事情を考慮してなされ
たものであって、携帯用通信機器におけるバッテリの充
満電位および終止電位の両者の差が大きい場合でも、連
続通話時間と連続待ち受け時間を長くすることができ、
なおかつ、低電源電圧では動作不可能であったものを可
能とすることができる高周波電力増幅器およびこれを用
いた移動体通信装置を提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、入力信号が供給される信号入力端子と、
出力信号を出力する信号出力端子と、前段のドレインと
後段のゲートの間に設けられた段間整合回路を介して連
結され、各々のソースに基準電位が供給され、各々のド
レインに電源電位が供給された複数段の電界効果トラン
ジスタと、前記信号入力信号と初段の前記電界効果トラ
ンジスタのゲートの間に設けられた入力整合回路と、最
終段の前記電界効果トランジスタのドレインと前記信号
出力端子の間に設けられた出力整合回路とを有する高周
波電力増幅器が、前記最終段の電界効果トランジスタが
半絶縁性基板と、この基板の表面に設けられた第1導電
型のチャネル領域と、このチャネル領域上に設けられ、
前記基板との間でショットキー接合を有するゲート電極
と、前記チャネル領域を介して前記基板表面に離間して
設けられた第1導電型のソース領域及びドレイン領域
と、これらソース領域及びドレイン領域の少なくとも一
方の前記チャネル領域近傍に設けられ、前記ソース領域
及びドレイン領域のいずれか一方にのみ接する第2導電
型領域と、を備えていることを特徴としている。
【0018】また、前記ソース領域及びドレイン領域の
少なくとも一方が前記チャネル領域に接する第1領域と
前記チャネル領域と離間し前記第1領域と連接する第2
領域とを有し、前記第1領域の不純物濃度が前記第2領
域の不純物濃度より低いことが望ましい。
【0019】また、前記第2導電型領域が、前記第1領
域の下部に設けられていることが望ましい。
【0020】また、本発明は、入力信号が供給される信
号入力端子と、出力信号を出力する信号出力端子と、前
段のドレインと後段のゲートの間に設けられた段間整合
回路を介して連結され、各々のソースに基準電位が供給
され、各々のドレインに電源電位が供給された複数段の
電界効果トランジスタと、前記信号入力端子と初段の前
記電界効果トランジスタのゲート間に設けられた入力整
合回路と、最終段の前記電界効果トランジスタのドレイ
ンと前記信号出力端子の間に設けられた出力整合回路と
を有する高周波電力増幅器が、前記最終段の電界効果ト
ランジスタが半絶縁性基板と、この基板の表面に設けら
れた第1導電型のチャネル領域と、このチャネル領域上
に設けられ、前記基板との間でショットキー接合を有す
るゲート電極と、このゲート電極に対して前記基板に自
己整合的に形成された一対の第1導電型の第1領域と、
前記ゲート電極に対して前記第1領域の下部に自己整合
的に形成された一対の第2導電型領域と、前記ゲート電
極の側壁に形成された一対のスペーサと、前記ゲート電
極及びスペーサに対して前記基板に自己整合的に形成さ
れ、前記第1領域より不純物濃度の高い第1導電型で、
前記第1領域と共にそれぞれソース領域及びドレイン領
域として機能する一対の第2領域と、を備えていること
を特徴としている。
【0021】また、前記第2導電型領域が、前記ソース
領域またはドレイン領域との間に形成されるビルトイン
ポテンシャルにより空乏化していることが望ましい。
【0022】さらに本発明は、アンテナと、このアンテ
ナから受信した信号を復調する高周波受信回路と、前記
アンテナから送信すべき信号を変調する変調回路と、こ
の変調回路の出力を増幅して前記アンテナに出力する高
周波電力増幅器とを有する移動体通信装置において、前
記高周波電力増幅器が上述した高周波電力増幅器である
ことを特徴としている。
【0023】また、本発明は、充満電位と終止電位との
間に差を生じるバッテリに接続されて、所定の周期で間
欠的に送信される高周波信号を受信して所望の値にまで
増幅する高周波電力増幅器において、前段のインピーダ
ンス整合回路がそのゲートに接続され、前記バッテリと
後段のインピーダンス整合回路とがそのドレインに接続
されたMESFETと、前記前記バッテリと前記ドレイ
ンとの間に接続されて前記バッテリの充満電位と終止電
位の間の電位に基づくゲートバイアスを検出するゲート
バイアス手段と、このゲートバイアス手段により検出さ
れた前記ゲートバイアスを前記前段の整合回路に供給す
ることにより出力電力を所望の値に保持するように前記
MESFETのゲートバイアスを可変とするフィードバ
ック手段と、を備えることを特徴としている。
【0024】さらに、上記構成において、高周波電力増
幅器が、前記ドレインに供給される電圧の値は、比較的
低電圧である2Vないし1Vであり、前記バッテリの終
止電位がこの低電圧であっても、前記所望の値の出力電
力を供給できることを特徴とする。
【0025】また、本発明に係る移動体通信装置は、高
周波電力を送受するアンテナと、前記アンテナにより受
信した高周波電力を復調する高周波受信回路と、前記ア
ンテナから送信すべき信号を変調する変調回路と、この
変調回路の出力を増幅して前記アンテナに出力する高周
波電力増幅器と、を備えるものにおいて、前記高周波電
力増幅器が、充満電位と終止電位との間に差を生じるバ
ッテリに接続されて、所定の周期で間欠的に送信される
高周波信号を受信して所望の値にまで増幅すると共に、
前段のインピーダンス整合回路がそのゲートに接続さ
れ、かつ、前記バッテリと後段のインピーダンス整合回
路とがそのドレインに接続されたMESFETと、前記
前記バッテリと前記ドレインとの間に接続されて前記バ
ッテリの充満電位と終止電位の間の電位に基づくゲート
バイアスを検出するゲートバイアス手段と、このゲート
バイアス手段により検出された前記ゲートバイアスを前
記前段の整合回路に供給することにより出力電力を所望
の値に保持するように前記MESFETのゲートバイア
スを可変とするフィードバック手段と、を備えることを
特徴としている。
【0026】また、上記構成において、本発明に係る移
動体通信装置は、前記MESFETのゲートバイアスが
可変とされたことにより、前記バッテリを少なくとも含
む電源回路に昇圧回路または降圧回路機能を設けること
なく、低電源電圧バッテリから直接に比較的低電圧の増
幅用の電力が供給されることを特徴としている。また、
ソースが接地され、ゲートに高周波入力信号が供給さ
れると共にこのゲートが直流電位を供給するための端子
との間に高抵抗を介して接続され、ドレインが高周波信
号を出力すると共にインダクタ素子を介して高電位電源
に接続された電界効果トランジスタにより構成された高
周波電力増幅器において、前記電界効果トランジスタ
が、半絶縁性基板と、この基板の表面に設けられた第1
導電型のチャネル領域と、このチャネル領域上に設けら
れ、前記基板との間でショットキー接合を有するゲート
電極と、前記チャネル領域を介して前記基板表面に離間
して設けられた第1導電型のソース領域およびドレイン
領域と、これらソース領域およびドレイン領域のうち少
なくとも一方のチャネル領域近傍に設けられて前記ソー
ス領域およびドレイン領域のうちいずれか一方のみに接
する第2の導電型領域と、を備えると共に、前記電界効
果トランジスタは、2.4V以下の電源電圧を有し、か
つ、前記ゲート電極は、0V以上の直流電位の供給を受
けることを特徴としている。
【0027】また、上記構成において、複数段の単位電
力増幅器を備え、少なくとも最終段の単位電力増幅器
は、前記電界効果トランジスタを備えることを特徴とす
る。
【0028】また、アンテナと、このアンテナから受信
した信号を復調する高周波受信回路と、前記アンテナか
ら送信すべき信号を変調する変調回路と、この変調回路
の出力を増幅して前記アンテナに出力する高周波電力増
幅器とを有する移動体通信装置において、前記高周波電
力増幅器が上記構成の高周波電力増幅器であることを特
徴としてえる。
【0029】このような本発明の高周波電力増幅器によ
れば、複数段のMESFETのうち最終段のMESFE
Tにはチャネル領域下部にp層が存在しないため、チャ
ネル下部にホールが蓄積してキンクの発生要因となるこ
とはない。従って、本発明の高周波電力増幅器の最終段
のMESFETはドレイン効率が従来より大幅に向上
し、従来の高周波電力増幅器と比べて高い電力変換効率
の高周波電力増幅器を得ることができる。また、この高
い電力変換効率を有する高周波電力増幅器を用いた本発
明の移動体通信装置は、連続通話時間を長くすることが
可能となる。
【0030】また、本発明によれば、バッテリの充満電
位と終止電位の間に差を生じるバッテリに接続されて、
所定の周期で間欠的に送信される信号を所望の値まで増
幅するパワーアンプにおいて、バッテリの充満電位と終
止電位の間の電位を供給されて、パワーアンプの出力電
力が所望の値を保つ為にパワーアンプのゲートバイアス
は可変となっている。
【0031】また、本発明によれば、バッテリの時間経
過による電圧の低下、すなわち、充満電位と終止電位の
間のすべての電位において、同バッテリに接続されてい
て、出力電力が所望の値を出力でき、また、たとえば2
V以下の低電圧でも動作することができるパワーアンプ
のデバイス構造を有している。
【0032】また、本発明によれば、昇圧回路または降
圧回路機能を用いることなく、低電源電圧バッテリから
直接に比較的低電圧を供給されたパワーアンプ回路構成
を用いるか、または所定の周期で間欠的に送信される信
号を所望の値まで増幅するパワーアンプを用いるかして
いる。また、本発明に係る移動体通信装置は、上記パワ
ーアンプと同電位の比較的低電位を供給されるレシー
バ、シンセサイザー、ベースバンド信号処理部、直交変
調器とスイッチを有し、かつ、昇圧回路無しに低電源電
圧バッテリとして公称1.2Vから2.4Vまでを供給
するNi−水素電池を用いることができる。
【0033】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る高周波増幅回
路およびこれを用いた移動体通信装置の好適な実施形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。
【0034】図1は、本発明の第1実施形態に係る移動
体通信装置の要部を説明するブロック図である。図1に
おいて、移動体通信装置10Aは、アンテナ11と、ア
ンテナ11を介して送受信される高周波信号を切り換え
るスイッチ12と、低雑音増幅器(LNA―Low Noise
Amplifier ―)25と、直交変調器としての変調用ミキ
サー16と、ベースバンド信号処理部としてのディジタ
ルブロック15と、シンセサイザとしての電圧制御発振
器(VCO―Voltage Control Oscillator―)14と、
復調用ミキサー26と、本発明に係る高周波増幅器30
と、を備えている。
【0035】前記ディジタルブロック15は、送信時に
おいては図示しないマイクロホンなどから入力した送信
すべきアナログ信号をディジタル信号に変換し、このデ
ィジタル信号を信号処理技術によりその帯域を圧縮する
と共に、受信時においては受信したディジタル信号を信
号処理技術によりその帯域を伸長し、これをアナログ信
号に変換し、図示しないスピーカを駆動する信号を出力
するものである。
【0036】送信すべき信号を変調するミキサー16
は、ディジタルブロック15から入力される帯域圧縮さ
れたディジタル信号を電圧制御発振器14からの1.9
MHzの局部発振信号を用いてπ/4シフトQPSK変
調などを行ない、この変調出力をMMIC(マイクロ波
モノリシック集積回路)として実現されている高周波電
力増幅器30へ出力する。高周波電力増幅器30により
送信電力まで増幅された信号は、送受信を切り替えるス
イッチ12を介してアンテナ11へ伝搬し、このアンテ
ナ11が励振することにより信号が送信される。
【0037】他方、受信の際には、アンテナ11が受信
した信号がスイッチ12を介して低雑音増幅器25に入
力され、この低雑音増幅器25により所望の信号レベル
に増幅された後、復調用ミキサー26に出力される。こ
のミキサー26は電圧制御発振器14からの局部発振信
号を用いて受信信号を検波・復調し、これをディジタル
ブロック15に出力する。
【0038】なお、図1における図示は省略するが、こ
の移動体通信装置はキー入力をするためのキーボード、
1次電池または2次電池などを電源とする電源回路など
も備えている。また、この実施形態においては高周波電
力増幅器30をMMICで実現しているが、スイッチ1
2、低雑音増幅器25等もこのMMICに搭載して集積
回路として構成してもよい。
【0039】図2は、上記高周波電力増幅器30の細部
を示す回路図である。ミキサー16からの変調された送
信信号は入力端子31aに供給される。この送信信号は
インピーダンス整合をとる周知のインピーダンス整合回
路32を介して前段のMESFET33のゲートに供給
される。このMESFET33のソースは、接地されて
おり、ドレインにはチョークコイル34を介して例えば
3Vの電源電位が供給されている。なお、この電源電位
は移動体通信装置に搭載する例えばリチウムイオン2次
電池の供給電圧に対応している。また、MESFET3
3のドレインは前段と後段の間のインピーダンス整合を
とる周知の段間整合回路35を介して後段のMESFE
T35のゲートに接続されている。このMESFET3
6は、前段のMESFET33と同様に、ソースは接地
され、ドレインにはチョークコイル37を介して電源電
位が供給されている。また、後段のMESFET36の
ドレインはインピーダンス整合をとる周知のインピーダ
ンス整合回路38を介してスイッチ12に接続される出
力端子31bに接続されている。
【0040】なお、図2においては高周波電力増幅器3
0を2段のMESFET33および36により構成した
例を示したが、必要に応じて3段以上の多段構成にして
もよい。この場合は前段のMESFET33のドレイン
と後段のMESFET36のゲートの間に所望の数のM
ESFETを直前のMESFETのドレインと当該ME
SFETのゲートを接続するように設ければよい。ま
た、このとき必要に応じて直前のMESFETのドレイ
ンと当該MESFETのゲートの間に段間整合回路を設
けるようにしてもよい。
【0041】次に、図3を用いて後段のMESFET3
6の構造を説明する。図3において図14と同一符号を
付した構成要素は、従来のMESFET23の構成要素
と同一または相当するものを示している。図3におい
て、MESFET36は、半絶縁性のGaAs(ガリウ
ム砒素)基板1と、高濃度n型ソース領域2と、高濃度
n型ソース領域2と共にソースとして機能する中間濃度
n型ソース領域3と、高濃度n型ドレイン領域4と、高
濃度n型ドレイン領域4と共にドレインとして機能する
中間濃度n型ドレイン領域5と、低濃度のn型のチャネ
ル6と、窒化タングステンからなるゲート長が0.8マ
イクロメートル程度のショットキーゲート電極7と、ゲ
ート電極7の側壁に形成された一対のスペーサ8と、よ
り構成されている。
【0042】図14に示した埋め込み型MESFET2
3と異なる点は、図3の構造においては埋め込み層がチ
ャネル6の下部には形成されておらず、ソースとドレイ
ンの一方にのみ接する2つのp型領域39および39に
分割されている点である。なおこの構造において、中間
濃度n型ソース領域3、中間濃度n型ドレイン領域5お
よびp型領域39および39はゲート電極7に対して自
己整合的に形成されており、高濃度n型ソース領域2お
よび高濃度n型ドレイン領域4はゲート電極7とスペー
サ8に対して自己整合的に形成されている。
【0043】この構造によれば、チャネル下部にp型領
域が存在しないため、ここにホールが蓄積してキンクの
発生要因となることが無くなり、ドレイン効率が従来と
比較して大幅に向上する。このことは、図4に示したグ
ラフからも明らかである。なお、図4中で〇印でプロッ
トされた曲線が図3に図示した構造のMESFETの特
性である。このように消費電流の大きい最終段(2段
目)のトランジスタのドレイン効率が向上した結果、高
周波電力増幅器全体の消費電流は低減される。なお、発
明者らの実験によれば図3に示すMESFETのドレイ
ン効率は50%程度であり、図14に示した従来の埋め
込み型MESFETの約30%より格段に高くなる。そ
の結果として、図2に示した高周波電力増幅器の消費電
流は200mAから150mAに低減された。また、こ
れにより図1に示した移動体通信装置の連続通話時間を
上述したように約1割延長させることができる。
【0044】なお、この図3の構造において、p型領域
39の不純物濃度は、キャリア(正孔)がpn接合のビ
ルトインポテンシャルにより完全に空乏化する程度がよ
い。それ以上に濃度を増やすと基板電流を低減する効果
は飽和し、一方で寄生容量の増大を招いて性能の劣化に
つながる。また、図3に示したMESFET36の構造
は中間濃度領域3および5を設けた構造となっている。
これらの中間濃度領域3および5を設ける場合には、設
けない場合に比べてより基板電流を低減できることがわ
かっている。
【0045】さらに、これらの中間濃度領域をソース側
にのみ設け、ドレイン側には設けず、ゲート電極端から
チャネル領域がそのままスペーサの幅に相当する0.3
マイクロメートル程度伸びて高濃度ドレイン領域に接続
する構造でもよい。このようにすると、MESFETの
ドレイン耐圧を向上させることができる。この場合、ド
レイン側の寄生抵抗は増大するものの、高周波電力増幅
器におけるトランジスタ動作ではソース抵抗が重要であ
るため特に支障はない。
【0046】また本実施形態においては、多段構成の高
周波増幅器の最終段(2段目)のMESFETを図3に
図示したような構造としたが、最終段以外のMESFE
Tについては、これらの消費電流は元々小さいので、図
3の構造を採用する必要は必ずしもない。むしろ高周波
電力増幅器全体の利得を重視して、図14に図示した埋
め込み型MESFETを用いることが望ましい。このよ
うに電力増幅器内のトランジスタでMESFETを使い
分ければ、低消費電力かつ高利得の高周波電力増幅器を
得ることができる。
【0047】次に、本発明の第2実施形態に係る高周波
増幅器の構成について図5ないし図8を参照しながら説
明する。まず、第2実施形態に係る高周波増幅器(パワ
ーアンプ)の構成を図5に示す。図5において、パワー
アンプ40は、アンテナ11側のインピーダンス整合回
路41と、ベースバンド側のインイーダンス整合回路4
2と、そのゲートが整合回路41に接続されると共にそ
のドレインが整合回路42に接続されるMESFET4
3と、このMESFET43のドレインと前記整合回路
42との接続点とバッテリ18との間に介装されたゲー
トバイアス回路44と、前記MESFET43のドレイ
ン電圧変動差に応じてゲートバイアス回路44の出力に
よりMESFET43のゲート電圧を変動させるフィー
ドバック回路45と、により構成されている。このよう
な構成により、充満電位と終止電位の間に差を生じるバ
ッテリ18に接続されていても、所定の周期で間欠的に
送信される信号を所望の値まで増幅する本発明のパワー
アンプにより、充満電位から終止電位へと次第に減少す
る電位を供給されても、ドレイン電圧の変動差に応じて
フィードバック回路45とゲートバイアス回路44によ
りゲートバイアス点を変動させ、パワーアンプの出力電
力および線形性を所望の値に保つことができる。その結
果、図6に示すように、バッテリ18の充満電位46と
終止電位47の差が大きくて、しかも、従来のパワーア
ンプ回路のようにゲートバイアスが固定されているため
に、線形性が著しく減少したり、または、出力電力が著
しく低下するような不具合を、本発明を用いることによ
り防ぐことができ、従来の携帯用通信機器の連続通話時
間T2までの継続時間t2 に比較して、本発明を採用す
ることにより連続通話時間T1までの継続時間t1 のよ
うに延長することが可能となる。また、その結果、従来
はパワーアンプ用電源として6Vから4V必要であった
ドレイン電圧を2V〜1Vまでに低減させることがで
き、消費電力を少なくすると共に従来と同程度の連続し
よう時間であればバッテリーを小型化して携帯性をより
向上させるという効果がある。
【0048】また、本発明のパワーアンプ用FET構造
としてバッテリの充満電位と終止電位の間のすべての電
位において、同一のバッテリが接続されていて、所望の
電力値を出力できるパワーアンプの半導体素子(デバイ
ス)構造を図7に示す。図7は上述した図3の半導体素
子36の構造とほとんど同一の構成を有しており、異な
る点はMESFET43の高濃度ソース領域2の表面に
ソース接点48が設けられ、また、ドレイン高濃度領域
4の表面にドレイン接点49が設けられている構成だけ
である。このような構造をとることにより、比較的低電
圧である2V以下においても線形性および出力電力を保
持することができる。
【0049】また、本発明の第2実施形態に係る図5の
高周波増幅器(パワーアンプ)40の回路構成を用いる
と共に、このパワーアンプ40のデバイス構造として図
7に示すMESFET43を用いた移動体通信装置とし
ての携帯通信機器を図8に示す。図8において、本発明
の第2実施形態に係る携帯通信機器10Bは、従来のよ
うにバッテリ18用のレギュレータ内部に昇圧回路また
は降圧回路機能を具備することなく、所定の周期で間欠
的に送信される信号を所望の値まで増幅するパワーアン
プ40と、このパワーアンプ40と同電位の比較的電位
を供給されるレシーバ13と、シンセサイザ14と、ベ
ースバンド信号処理部15、直交変調器16と、スイッ
チ12と、を備え、かつ、低電源電圧バッテリ18とし
て公称1.2Vから2.4Vまでを供給するニッケル
(Ni)−水素電池を用いている。従来のように、1つ
で3.4Vのリチウム(Li)イオン電池を2個直列接
続して公称6Vとした場合、およびリチウム(Li)イ
オン電池を1個用いて公称3Vの場合の放電容量が50
0mA/h程度であったのに比較して、上述のような第
2実施形態の高周波増幅器50を用いることにより、そ
の低電源電圧の効果は以下のようになる。1つで1.2
Vのニッケル(Ni)−水素電池を2個用いた場合の1
個の放電容量を2000mAhと大きくすることがで
き、携帯通信機器の連続通話時間を延長する事が可能と
なる。また、従来のように昇圧回路付レギュレータに消
費される電力を必要としないこと、および電源電圧を2
V以下に統一して設定できること等を理由として、パワ
ーアンプを使用しない場合の連続待ち受け時間について
も、延長することが可能となる。
【0050】また、レギュレータ内部の昇圧回路を不要
とすることにより、従来の昇圧回路で問題であったL,
C,Rの受動素子部分の損失と、DC−AC変換の際の
スイッチングにロスが無くなり、低消費電力効果が大き
い。また、従来のレギュレータ内部の昇圧回路は、内部
にトランス機能を有しており、DC電位をAC的に変換
してその振幅分を先のDC成分に加算することによりD
C電位の昇圧を行なっていた。しかしながら、このよう
な内蔵されているトランス部分がノイズ発生源になる可
能性が高くなると共に、受信部に対するノイズ対策が必
要となるため実装が複雑かつ大きくなるという問題を有
していたが、本発明の第2実施形態に係る高周波増幅器
によればこれらの問題も解決することができる。
【0051】次に、この発明の第3実施形態に係る高周
波電力増幅器について、図9ないし図13を参照しなが
ら説明する。図9に示すように、第3実施形態に係る高
周波電力増幅器50は、入力端子51a吐出力端子51
b間に、2段のソース接地FET53,56と、3段の
整合回路52,55,59と、を備えている。3段の整
合回路は、入力端子51aと初段のFET53との間に
設けられた入力整合回路53と、初段のFET53と最
終段のFET56との間に設けられた段間整合回路55
と、最終段のFET56と出力端子51b間に設けられ
た出力整合回路59と、により構成されている。初段の
FET53のゲートとソース間には第1の抵抗54が介
挿され、最終段のFET56のゲートとソース間にも第
2の抵抗57が介挿され、第2の抵抗57とFET56
のゲートとの接続点には第3の抵抗58を介してゲート
バイアス制御端が接続されている。
【0052】第3実施形態に係る高周波電力増幅器50
に用いられるFETは後述するPポケットFETであ
る。各FET53,56のドレインはインダクタを介し
て電源電圧Vddに与えられる。また、最終段FET5
6のゲート端子は高抵抗58を介してゲート電圧制御端
子に接続されている。この第3実施形態で用いた主な回
路パラメータを示す。初段FET(Q1)53の総ゲー
ト幅は1mm、最終段FET(Q2)56の総ゲート幅
は4mm、初段の安定化抵抗54(Rst1 ),最終段の
安定化抵抗57(Rst2 )は共に100Ω、最終段のゲ
ートバイアス供給用高抵抗58(Rg2)は640Ωであ
る。FET53,56のしきい値電圧は、Q1,Q2共
に−0.3Vである。さらに、本発明の目的が達成され
るためには、電源電圧Vdd、及び、最終段FET56
のゲートに印加されるゲートバイアス電位Vgは次の範
囲で用いられるべきである。
【0053】Vdd≦2.4V Vg≧0V この第3実施形態の効果を実証するために、Vdd及
び、Vgをパラメータとして高周波電力増幅器50の非
線形パラメータを実測し、その結果を用いて、隣接チャ
ネル漏洩電力が−58dBcとなる時の振幅歪の大きさ
を計算により導出した。振幅歪の大きさとしては、仮に
振幅歪のみが存在した場合の隣接チャネル漏洩電力とし
て表した。その結果を図10および図11に示す。図1
0はVddと振幅歪のみによる隣接チャネル漏洩電力で
あり、図11はVgと振幅歪のみによる隣接チャネル漏
洩電力である。
【0054】まず、図10より明らかなように、「Vd
d≦2.4V」においては、振幅歪のみによる隣接チャ
ネル漏洩電力が実際の隣接チャネル漏洩電力の基準値
(−58dBc)よりも大きい(悪い)ことが分かる。
これは、振幅歪と位相歪が相殺し合っていることを意味
している。なお、図10のグラフにおいて、Vgは0V
である。また、図11より明らかなように、ゲート電圧
が高い程、振幅歪は大きくなるが、位相歪との相殺量が
増えるため隣接チャネルの漏洩電力は基準値を満たすこ
とが分かる。なお、図11においては、Vddは2Vで
ある。
【0055】電源電圧を従来よりも下げ、かつ、ゲート
バイアス電位を従来よりも上げることにより、振幅歪が
大きくなるにも拘わらず、振幅歪と位相歪が相殺し合っ
て隣接チャネル漏洩電力は基準値を維持しているものと
考察される。このように、本発明の特徴は、従来は線形
性維持の為に避けていたVddを下げることと、Vgを
上げることとを敢えて行なうことによって、振幅歪を増
大させつつも振幅歪と位相歪を相殺させることにより良
好な隣接チャネル漏洩電力を実現している所にある。
【0056】さて、図10,図11に示した測定の範囲
で最も本発明の効果が達成されているのは、 Vdd=2V Vg=120mV の時である。この時の出力電力は21dBmであり、2
Vという低い電源電圧において、PHS携帯端末送信用
の高周波電力増幅器として必要な値を得ることができ
た。
【0057】次に、本第3実施形態に係る高周波電力増
幅器に用いられるPポケットタイプのFET56の構造
を図12を用いて説明する。図12に示されるMESF
ET56は、半絶縁性のGaAs(ガリウム砒素)基板
1と高濃度n型ソース領域2と、高濃度n型ソース領域
2と共にソースとして機能する中間濃度n型ソース領域
3と、高濃度n型ドレイン領域4と、高濃度n型ドレイ
ン領域4と共にドレインとして機能する中間濃度n型ド
レイン領域5と、低濃度のn型チャネル6と、ソースと
ドレインの一方にのみ接するp型領域39及び39と、
タングステン9が積層された窒化タングステンからなる
ゲート長が0.8μm程度のショットキーゲート電極7
と、ゲート電極の両側壁に形成されたスペーサ8と、か
ら構成されている。この第3実施形態におけるMESF
ET56が、図3に示した第1実施形態におけるFET
36と異なる点は、ゲート電極7の表面にタングステン
9が積層されているかいないかである。
【0058】次に、図10,図11の結果を導き出する
ために行なった測定および解析の手順の一例について、
図13のフローチャートを用いて説明する。まず、ステ
ップST1において、隣接チャネルの漏洩電力が基準値
(−58dBc)となる入力電力を測定する。次に、ス
テップST2において、2波入力による混変調歪率を測定
する。ステップST3においては、1波入力による位相特
性を測定し、ステップST4により位相特性をスプライン
関数によりモデル化する。次に、ステップST5におい
て、振幅歪みをパラメータとして設定する。このパラメ
ータは、最初は振幅歪みがないものとして例えば「0」
と設定し、後のステップST7において計算結果と測定結
果とが一致しないときにパラメータを順次変更するよう
にしている。
【0059】ステップST6においては、上記ステップST
4でモデル化された位相特性と、上記ST5で設定された
振幅歪のパラメータと、を用いて2波入力の混変調歪を
計算する。その際、2波入力の入力電力は上記ステップ
ST1において測定された結果を用いる。次に、ステップ
ST7において、上記ステップST6の計算結果が上記ステ
ップST2の混変調歪率の測定結果と一致するか否かを判
断する。このとき、計算結果と測定結果とが一致してい
ない場合には、ステップST5において設定されたパラメ
ータが適正な値でないものとして、ステップST8におい
て、振幅歪みのパラメータを変更する。以下、ステップ
ST6からST8を順次繰り返し、ステップST7において、
計算結果と測定結果とが一致したときの振幅歪がを見出
す。最後に、ステップST9において、上記ステップST7
の結果を用いて振幅歪のみが存在する場合の隣接チャネ
ル漏洩電力を計算する。
【0060】尚、上記ステップST2の2波入力では、同
一電力レベルの互いに周波数の近接した2つの信号を入
力する通常の2波入力とは異なり、片方の入力電力レベ
ルを他方の入力電力レベルよりも10dB小さくした場
合の混変調歪を測定した。このような方法を取った理由
は次の通りである。
【0061】通常の2波入力の時の出力電力の入力電力
依存性(Pin−Pout特性)は隣接チャネル漏洩電
力を測定する時に用いられるπ/4シフトQPSK信号
入力時Pin−Pout特性と異なる。隣接チャネル漏
洩電力と混変調歪を関連付ける為には両者の間でPin
−Pout特性が一致している必要がある。一方、上記
のような10dBオフセット2波入力の場合、Pin−
Pout特性がπ/4シフトQPSK信号入力のものと
ほぼ一致するのである。
【0062】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば電
力変換効率が高く、消費電力の少ない高周波電力増幅器
と、この消費電力の少ない高周波電力増幅器を用いたこ
とにより連続通話時間の長い移動体通信装置とを提供す
ることができる。
【0063】また、本発明によれば、直接バッテリーか
ら供給される充満電位と終止電位の差が大きい場合でも
安定動作可能なパワーアンプ回路を供給することがで
き、なおかつ、比較的低電源電圧で動作可能となり、そ
の結果、連続通話時間と連続待ち受け時間を延長できる
と共に部品点数を減少させることができるため、システ
ムをより小型化できるという効果を奏する。
【0064】さらに、本発明によれば、電源電圧を下げ
ても十分な線形電力が得られる高周波電力増幅器を実現
できるので、PHS等の携帯端末の消費電力を低減する
ことも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る移動体通信装置を
説明するためのブロック図。
【図2】本発明の第1実施形態に係る高周波電力増幅器
を説明するための回路図。
【図3】本発明の第1実施形態に係る高周波電力増幅器
で用いられるMESFETを説明するための断面図。
【図4】本発明の第1実施形態に係る高周波電力増幅器
で用いられるMESFETと従来の高周波電力増幅器で
用いられるMESFETの特性を説明するグラフ。
【図5】本発明の第2実施形態に係る高周波電力増幅器
の構成を示すブロック図。
【図6】本発明の高周波電力増幅器によるバッテリ放電
電位と連続通話時間の関係を従来のものとの比較の元に
示すグラフ。
【図7】第2実施形態に係る高周波電力増幅器のMES
FETの構造を示す断面図。
【図8】第2実施形態に係る移動体通信装置の構成を示
すブロック図。
【図9】本発明の第3実施形態に係る高周波電力増幅器
の構成を示すブロック図。
【図10】振幅歪のみが存在したとした時の隣接チャネ
ル漏洩電力の電源電圧依存性を示す特性図。
【図11】振幅歪のみが存在した場合の隣接チャネル漏
洩電力のゲートバイアス依存性を示す特性図。
【図12】第3実施形態に係る高周波電力増幅器で用い
られるMESFETの構成を示す断面図。
【図13】第3実施形態における振幅歪みを求める手順
を示すフローチャート。
【図14】従来の高周波電力増幅器で用いられるMES
FETを説明する断面図。
【図15】従来の移動体通信装置の構成を示すブロック
図。
【図16】従来の高周波電力増幅器の回路構成を示すブ
ロック図。
【図17】従来のMESFETにおけるドレイン電流と
電圧との関係を示すグラフ。
【図18】従来のMESFETのドレイン電流とドレイ
ン電圧の関係を示すグラフ。
【符号の説明】
1 半絶縁性(GaAs)基板 2 高濃度n型ソース領域 3 中間濃度n型ソース領域 4 高濃度n型ドレイン領域 5 中間濃度n型ドレイン領域 6 チャネル 7 ショットキーゲート電極 8 スペーサ 9 タングステン 11 アンテナ 12 スイッチ 13 レシーバ 14 電力制御発振器(シンセサイザ) 15 ディジタルブロック(ベースバンド信号処理部) 16、26 ミキサー 18 バッテリ 20、30、40 高周波電力増幅器(パワーアンプ) 23、33、36、43 MESFET 32、35、38 インピーダンス整合回路 39 p型領域 40 高周波電力増幅器 44 ゲートバイアス回路 45 フィードバック回路 46 充満電位 47 終止電位 50 移動体通信装置
フロントページの続き (72)発明者 森 塚 真由美 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1 株式会 社東芝研究開発センター内 (72)発明者 亀 山 敦 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1 株式会 社東芝研究開発センター内 (72)発明者 長 岡 正 見 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1 株式会 社東芝研究開発センター内 (72)発明者 脇 本 啓 嗣 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1 株式会 社東芝研究開発センター内 (72)発明者 瀬 下 敏 樹 神奈川県川崎市幸区小向東芝町1 株式会 社東芝研究開発センター内

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】入力信号が供給される信号入力端子と、出
    力信号を出力する信号出力端子と、前段のドレインと後
    段のゲートの間に設けられた段間整合回路を介して連結
    されて各々のソースに基準電位が供給されると共に各々
    のドレインに電源電位が供給された複数段の電界効果ト
    ランジスタと、前記信号入力端子と初段の電界効果トラ
    ンジスタのゲートの間に設けられた入力整合回路と、最
    終段の電界効果トランジスタのドレインと前記信号出力
    端子の間に設けられた出力整合回路とを有する高周波電
    力増幅器において、 前記複数段の電界効果トランジスタのうちの少なくとも
    前記最終段の電界効果トランジスタが、 半絶縁性基板と、 この基板の表面に設けられた第1導電型のチャネル領域
    と、 このチャネル領域上に設けられ、前記基板との間でショ
    ットキー接合を有するゲート電極と、 前記チャネル領域を介して前記基板表面に離間して設け
    られた第1導電型のソース領域及びドレイン領域と、 これらソース領域及びドレイン領域の少なくとも一方の
    前記チャネル領域近傍に設けられ、前記ソース領域及び
    ドレイン領域のいずれか一方にのみ接する第2導電型領
    域と、 を備えることを特徴とする高周波電力増幅器。
  2. 【請求項2】前記ソース領域及びドレイン領域の少なく
    とも一方が前記チャネル領域に接する第1領域と前記チ
    ャネル領域と離間し前記第1領域と連接する第2領域と
    を有し、前記第1領域の不純物濃度が前記第2領域の不
    純物濃度より低いことを特徴とする請求項1に記載の高
    周波電力増幅器。
  3. 【請求項3】前記第2導電型領域が、前記第1領域の下
    部に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の
    高周波電力増幅器。
  4. 【請求項4】入力信号が供給される信号入力端子と、出
    力信号を出力する信号出力端子と、前段のドレインと後
    段のゲートの間に設けられた段間整合回路を介して連結
    されて各々のソースに基準電位が供給されると共に各々
    のドレインに電源電位が供給された複数段の電界効果ト
    ランジスタと、前記信号入力端子と初段の電界効果トラ
    ンジスタのゲートの間に設けられた入力整合回路と、最
    終段の電界効果トランジスタのドレインと前記信号出力
    端子の間に設けられた出力整合回路とを有する高周波電
    力増幅器において、 前記複数段の電界効果トランジスタのうち少なくとも前
    記最終段の電界効果トランジスタが、 半絶縁性基板と、 この基板の表面に設けられた第1導電型のチャネル領域
    と、 このチャネル領域上に設けられ、前記基板との間でショ
    ットキー接合を有するゲート電極と、 このゲート電極に対して前記基板に自己整合的に形成さ
    れた一対の第1導電型の第1領域と、 前記ゲート電極に対して前記第1領域の下部に自己整合
    的に形成された一対の第2導電型領域と、 前記ゲート電極の側壁に形成された一対のスペーサと、 前記ゲート電極及びスペーサに対して前記基板に自己整
    合的に形成され、前記第1領域より不純物濃度の高い第
    1導電型で、前記第1領域と共にそれぞれソース領域及
    びドレイン領域として機能する一対の第2領域とを有す
    ることを特徴とする高周波電力増幅器。
  5. 【請求項5】前記第2導電型領域が、前記ソース領域ま
    たはドレイン領域との間に形成されるビルトインポテン
    シャルにより空乏化していることを特徴とする請求項1
    ないし請求項4のうち何れ1項に記載の高周波電力増幅
    器。
  6. 【請求項6】アンテナと、 このアンテナから受信した信号を復調する高周波受信回
    路と、 前記アンテナから送信すべき信号を変調する変調回路
    と、 この変調回路の出力を増幅して前記アンテナに出力する
    高周波電力増幅器とを有する移動体通信装置において、 前記高周波電力増幅器が請求項1ないし請求項5のうち
    何れか1項に記載の高周波電力増幅器であることを特徴
    とする移動体通信装置。
  7. 【請求項7】充満電位と終止電位との間に差を生じるバ
    ッテリに接続されて、所定の周期で間欠的に送信される
    高周波信号を受信して所望の値にまで増幅する高周波電
    力増幅器において、 前段のインピーダンス整合回路がそのゲートに接続さ
    れ、前記バッテリと後段のインピーダンス整合回路とが
    そのドレインに接続されたMESFETと、前記前記バ
    ッテリと前記ドレインとの間に接続されて前記バッテリ
    の充満電位と終止電位の間の電位に基づくゲートバイア
    スを検出するゲートバイアス手段と、このゲートバイア
    ス手段により検出された前記ゲートバイアスを前記前段
    の整合回路に供給することにより出力電力を所望の値に
    保持するように前記MESFETのゲートバイアスを可
    変とするフィードバック手段と、を備えることを特徴と
    する高周波電力増幅器。
  8. 【請求項8】前記ドレインに供給される電圧の値は、比
    較的低電圧である2Vないし1Vであり、前記バッテリ
    の終止電位がこの低電圧であっても、前記所望の値の出
    力電力を供給できることを特徴とする請求項7に記載の
    高周波電力増幅器。
  9. 【請求項9】高周波電力を送受するアンテナと、前記ア
    ンテナにより受信した高周波電力を復調する高周波受信
    回路と、前記アンテナから送信すべき信号を変調する変
    調回路と、この変調回路の出力を増幅して前記アンテナ
    に出力する高周波電力増幅器と、を備える移動体通信装
    置において、 前記高周波電力増幅器が、充満電位と終止電位との間に
    差を生じるバッテリに接続されて、所定の周期で間欠的
    に送信される高周波信号を受信して所望の値にまで増幅
    すると共に、前段のインピーダンス整合回路がそのゲー
    トに接続され、かつ、前記バッテリと後段のインピーダ
    ンス整合回路とがそのドレインに接続されたMESFE
    Tと、前記前記バッテリと前記ドレインとの間に接続さ
    れて前記バッテリの充満電位と終止電位の間の電位に基
    づくゲートバイアスを検出するゲートバイアス手段と、
    このゲートバイアス手段により検出された前記ゲートバ
    イアスを前記前段の整合回路に供給することにより出力
    電力を所望の値に保持するように前記MESFETのゲ
    ートバイアスを可変とするフィードバック手段と、を備
    えることを特徴とする移動体通信装置。
  10. 【請求項10】前記MESFETのゲートバイアスが可
    変とされたことにより、前記バッテリを少なくとも含む
    電源回路に昇圧回路または降圧回路機能を設けることな
    く、低電源電圧バッテリから直接に比較的低電圧の増幅
    用の電力が供給されることを特徴とする請求項9に記載
    の移動体通信装置。
  11. 【請求項11】ソースが接地され、ゲートに高周波入力
    信号が供給されると共にこのゲートが直流電位を供給す
    るための端子との間に高抵抗を介して接続され、ドレイ
    ンが高周波信号を出力すると共にインダクタ素子を介し
    て高電位電源に接続された電界効果トランジスタにより
    構成された高周波電力増幅器において、 前記電界効果トランジスタが、半絶縁性基板と、この基
    板の表面に設けられた第1導電型のチャネル領域と、こ
    のチャネル領域上に設けられ、前記基板との間でショッ
    トキー接合を有するゲート電極と、前記チャネル領域を
    介して前記基板表面に離間して設けられた第1導電型の
    ソース領域およびドレイン領域と、これらソース領域お
    よびドレイン領域のうち少なくとも一方のチャネル領域
    近傍に設けられて前記ソース領域およびドレイン領域の
    うちいずれか一方のみに接する第2の導電型領域と、を
    備えると共に、 前記電界効果トランジスタは、2.4V以下の電源電圧
    を有し、かつ、前記ゲート電極は、0V以上の直流電位
    の供給を受けることを特徴とする高周波電力増幅器。
  12. 【請求項12】複数段の単位電力増幅器を備え、少なく
    とも最終段の単位電力増幅器は、前記電界効果トランジ
    スタを備えることを特徴とする請求項11に記載の高周
    波電力増幅器。
  13. 【請求項13】アンテナと、このアンテナから受信した
    信号を復調する高周波受信回路と、前記アンテナから送
    信すべき信号を変調する変調回路と、この変調回路の出
    力を増幅して前記アンテナに出力する高周波電力増幅器
    とを有する移動体通信装置において、 前記高周波電力増幅器が請求項11または請求項12に
    記載の高周波電力増幅器であることを特徴とする移動体
    通信装置。
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