JPH1032155A - 生産管理装置および該装置を用いた生産管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【解決手段】多品種の半導体集積回路を混合して生産す
るのに好適な生産管理装置および生産管理方法。少なく
とも生産ロット毎に付与され、前記生産ロットの属性を
表すロット情報と、少なくとも製造手段毎に付与される
製造処理条件情報から次に行う製造処理の内容を規定す
る生産情報を人間が介在し選択的に予約する生産情報予
約手段と、前記生産情報予約手段により作成された前記
生産情報を管理するとともに、生産情報通知手段からの
要求に基づく、前記予約生産情報とは異なる新たな生産
情報の管理を行う生産情報管理手段と、前記各生産情報
により指定された生産ロットを、所定の製造手段で所定
の製造処理を施すために必要な情報を作業者、および製
造手段に通知する生産情報通知手段とを具備する。 【効果】状況の変化に素早く対応したロット処理スケジ
ューリング結果を得ることができ、効率よい生産形態が
実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、単一の
生産ラインにおいて多品種の集積回路を混合して生産す
る半導体プロセス等に用いて好適な生産管理装置および
該装置を用いた生産管理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、近年では、コンピュータ
と生産設備とをリンクさせ、生産計画から生産工程まで
をこのコンピュータによって一元的に管理するシステム
が各種開発されている。このようなシステムは、例え
ば、メモリＩＣ等の集積回路を生産するプロセスにも適
用されている。ここで言うプロセスとは、集積回路が形
成されるウエハ上に絶縁膜を堆積させるＣＶＤ工程や、
半導体表面に不純物を導入させる拡散工程などである。
これら工程では、多品種に対応した生産ロットが混在し
た状態で半導体製造装置に搬入され、前処理、炉処理お
よび後処理が順次施される。

【０００３】また、前記各工程では、各品種に対応した
生産ロット毎のウエハが半導体製造装置において一括し
て処理されるため、この半導体製造装置でなされる一連
の処理は、バッチ処理と総称されている。このバッチ処
理は、各生産ライン毎に配設される半導体製造装置にお
いて各々行われる。従って、生産ライン全体では、異な
った処理条件のバッチ処理が複数同時に行われるため、
並列処理として見なせる。そこで、このような並列処理
を効率良く実行させる生産管理システムが実現されてい
る。

【０００４】前述した生産管理システムでは、半導体製
造装置においてなされるバッチ処理が複数同時に存在す
る場合、どのバッチ処理を優先して実行するかを選択す
る必要がある。このような場合、ホストコンピュータ
は、同一処理条件の生産ロットをまとめるバッチ化と、
どの装置で、どの生産ロットを、どのタイミングで処理
するかを決定するロット処理スケジューリングを実施し
ている。

【０００５】ロット処理スケジューリングでは、どの生
産ロットを、どの装置に、割り付けるかを、その時点で
の各生産ロットと各装置の状態をみて判断している。

【０００６】さらに、前述のロット処理スケジューリン
グ以外に、生産ロットの自動搬送から半導体製造装置の
オンライン制御まで、一連の処理を自動で行う高度に自
動化されたシステムも実現されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した生
産ラインの各半導体製造装置では、突発的な故障が発生
する。また、ロット処理スケジューリングの対象工程内
には、時々刻々と生産ロットが到着する。各装置で突発
的に発生する故障の発生を予測することは困難であり、
当然のことながら故障が発生した時点から修理が終了す
るまでの期間、各装置では生産ロットの処理を行うこと
はできない。

【０００８】また、生産ラインに配設される各半導体製
造装置におけるロット処理は、非同期的に行われるのが
一般的である。例外として、部分的にインライン化され
た装置において、同期的に処理が行われているケースは
あるものの、生産ライン全体から眺めて見れば、非同期
的処理であると言える。このような生産環境において、
前工程から自工程に生産ロットが到着するタイミングを
見積もることは難しい。いつ自工程に生産ロットが来る
かどうか正確に分からないのである。

【０００９】しかしながら、前述した従来の生産管理シ
ステムにおいては、ロット処理スケジューリングを実行
する際、その時の半導体製造装置の稼働状態はどうかと
いった確認と、いま対象となる生産ロットは何があるか
を確認しているだけであり、近い将来発生するかもしれ
ない装置の故障や、少し待つとさらに優先的に処理を行
わなければならない生産ロットが到着するかもしれない
といったことまでは考慮されていない。

【００１０】すなわち、ロット処理スケジューリングか
ら得られる結果は、あくまでもスケジューリングを実行
した際に最適と判断した予定であり、将来変化するであ
ろう製造装置の都合や生産ロットの都合に関わる情報
が、生産管理システムに十分反映されていない。従っ
て、ロット処理スケジューリングの結果、すなわち生産
ロット、処理装置の決定が、時が経つにつれて、不適当
なものとなってくる。

【００１１】そして、ロット処理スケジューリングの結
果が、実際の装置の状況および実際の生産ロットの状況
と合わなくなり、ロット処理スケジューリング通りの処
理ができなくなるという問題や、その後のロット処理ス
ケジューリングの結果に対しても悪影響を与えることに
なってしまうという問題がある。その結果、効率的なロ
ット処理を行うことができず、製造ライン全体の生産能
力を低下させてしまうという問題がある。

【００１２】また、前述した従来の生産管理システムに
あっては、特に最近の新設生産ラインにおいては、コン
ピュータによるロット処理スケジューリング以外に、半
導体製造装置までの自動搬送、オンライン装置制御まで
実現したものが多く、高度に自動化されている。つま
り、自動化前提のシステムとして構築されている訳であ
り、作業者が介在する場合についてはあまり考慮されて
いない。

【００１３】しかしながら、既存の生産ラインに手を加
えてシステムを構築するような場合においては、半導体
製造装置までの自動搬送の導入や、すべての半導体製造
装置を上位コンピュータとの通信機能、オンライン制御
機能を有する最新の装置に置き換えることは、生産ライ
ンのレイアウト上の制限、莫大な投資が必要などの理由
により不可能である。従って、このような場合には、作
業者が介在することを前提としたシステムでなければな
らない。

【００１４】作業者が介在する場合の基本的な作業形態
としては、生産管理システムからの情報提供、あるいは
指示に基づいて、作業者が処理すべき生産ロットを、半
導体製造装置まで運搬し、各装置でのオペレーションを
行う、ということになる。

【００１５】このような作業者とシステムが共存する環
境においては、システムは、一方的に作業内容を決めて
しまい、それを作業者に強制するのではなく、作業者自
身の効率も考えた、作業者の作業支援を行うためのツー
ルとして振る舞うことが重要なこととなってくる。この
ように、作業者が介在する環境において、効率的な生産
を行うためには、作業者のことを十分に考えたシステム
でなければならず、従来のような自動化前提のシステム
では、作業者が介在する作業形態に対しては十分に対応
できない、効率的な生産を行うための環境を提供できな
いという問題がある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】

（手段項１）少なくとも生産ロット毎に付与され、前記
生産ロットの属性を表すロット情報と、少なくとも製造
手段毎に付与される、前記製造手段の製造処理条件情報
から、次に行う製造処理の内容を規定する生産情報を人
間が介在して選択的に予約する生産情報予約手段と、前
記生産情報予約手段により作成された前記生産情報を管
理するとともに、生産情報通知手段からの要求に基づ
く、前記予約生産情報とは異なる新たな生産情報の管理
を行う生産情報管理手段と、前記各生産情報により指定
された生産ロットを、所定の製造手段で所定の製造処理
を施すために必要な情報を作業者、および製造手段に通
知する生産情報通知手段により、作業者が介在するため
に状況の変化に柔軟に対応ができる。

【００１７】（手段２）前記生産情報管理手段は、前記
生産情報予約手段により作成された前記予約生産情報の
管理を行い、前記生産情報通知手段からの予約生産情報
通知要求に応答するとともに、前記生産情報通知手段か
らの前記予約生産情報とは異なる新たな生産情報の要求
に応答することを特徴とし、多岐に渡る突発的な状況変
化に対応できる。

【００１８】（手段３）生産情報管理手段が管理する前
記予約生産情報は、少なくとも、生産ロットの指定情
報、使用する装置の指定情報、生産情報の予約された時
刻の指定情報、および予約生産情報の処理実績の指定情
報から構成されることを特徴とする。

【００１９】（手段４）前記生産情報通知手段は、前記
予約生産情報の要求を行うモードと、予約のない生産情
報の要求を行うモードとを兼ね備えることを特徴とす
る。

【００２０】（手段５）少なくとも生産ロット毎に付与
され、前記生産ロットの属性を表すロット情報と、少な
くとも製造手段毎に付与される、前記製造手段の製造処
理条件情報から、次に行う製造処理の内容を規定する生
産情報を人間が介在し選択的に予約する第１の過程と、
前記生産情報予約手段により作成された前記生産情報を
管理するとともに、生産情報通知手段からの要求に基づ
く、前記予約生産情報とは異なる新たな生産情報の管理
を行う第２の過程と、前記各生産情報により指定された
生産ロットを、所定の製造手段で所定の製造処理を施す
ために必要な情報を作業者、および製造手段に通知する
第３の過程と、を具備することを特徴とする。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
具体例について説明する。

【００２２】Ａ．実施例の構成。

【００２３】図１はこの発明の一実施例である生産管理
システムの概略構成を示すブロック図である。なお、こ
の図に示す実施例は、半導体プロセス工場に適用した場
合のシステム構成を示すものである。図において、１は
システム各部を監視および制御するホストコンピュータ
であり、ホストコンピュータ１の内部には、生産情報管
理手段２と、ロット情報管理ファイルＬｆ、装置情報管
理ファイルＭｆ、予約生産情報管理ファイルＹｆが存在
する。

【００２４】３は、それぞれ各生産ライン毎に配設され
る半導体製造装置であり、生産ロットに対して所定の半
導体プロセス処理を施す。

【００２５】４は、各半導体製造装置毎に配設される生
産情報通知手段である。基本的には、１：１または１：
多で半導体製造装置３と対応している。また、４ａのよ
うに半導体製造装置３ａと通信回線で接続されているも
のと、４ｂのように半導体製造装置３ｂと通信回線で接
続されていないものとの２種類がある。生産情報通知手
段４は、イサーネットＥＮを介してホストコンピュータ
１と接続されている。

【００２６】５は、生産情報予約手段である。生産情報
予約手段５は、イサーネットＥＮを介してホストコンピ
ュータ１と接続されている。

【００２７】Ｌｆは、ホストコンピュータ１の内部のロ
ット情報管理ファイルである。ロット情報管理ファイル
Ｌｆには、各品種毎のロット情報がデータベースとして
登録されている。このロット情報とは、予め策定された
生産計画に基づいてホストコンピュータ１が生成した各
生産ロット毎の識別データから構成されるものである。
この識別データは、例えば、各生産ロット毎にその種
類、優先度および納期を表すデータ、当該生産ロットに
加える処理条件（以下レシピ）を示すデータ、あるいは
処理の進捗状況を示すデータ等から形成されている。Ｍ
ｆは装置情報管理ファイルである。装置情報管理ファイ
ルＭｆには、各半導体製造装置３毎のレシピ情報が登録
されている。このレシピ情報とは、各半導体製造装置３
ごとに設定されており、各装置毎に登録されているレシ
ピの種類を表すデータ、さらには各装置毎のレシピの使
用可否状態を示すデータ等から形成されている。

【００２８】Ｙｆは予約生産情報管理ファイルである。
この予約生産情報管理ファイルＹｆには、後述する予約
生産情報データＹｓが登録される。予約生産情報データ
Ｙｓとは、作業者が生産情報予約手段５を操作すること
により、生産情報予約手段５から供給される情報であ
り、予定としてこれから処理に着手する生産ロットと、
その生産ロットをどの半導体製造装置３に対して割り付
けるか表したものである。予約生産情報管理ファイルＹ
ｆには、この予約生産情報データＹｓが予約された時間
順に登録される。

【００２９】Ｙｒは予約生産情報要求応答データであ
る。この予約生産情報要求応答データＹｒとは、半導体
製造装置３で処理を開始する時に、作業者が生産情報通
知手段４で所定の操作することにより、生産情報通知手
段４から発信される情報であり、生産情報通知手段４と
対応する前記半導体製造装置３の予約生産情報、すなわ
ち該当半導体製造装置３に対して処理を行う予約として
割り付けられた生産ロットのロット情報の要求を表すも
のである。このように生産情報通知手段４から要求とし
て発信された予約生産情報要求応答データＹｒは、生産
情報管理手段２が受け取り、生産情報管理手段２が予約
生産情報管理ファイルＹｆに登録されている予約生産情
報の中から、該当する情報を探し出して、発信を行った
生産情報通知手段４に対して、予約生産情報応答要求デ
ータＹｒを返信する。この時の予約生産情報要求応答デ
ータＹｒは、該当半導体製造装置３の予約生産情報を表
すものである。なお生産情報管理手段２が予約生産情報
管理ファイルＹｆに登録されている予約生産情報の中か
ら、該当する情報を探し出せなかった場合にも、同様に
予約生産情報要求応答データＹｒを返信する。この時の
予約生産情報要求応答データＹｒは、該当装置の予約生
産情報がないことを表すものとなる。

【００３０】Ｐｒは処理情報要求応答データである。こ
の処理情報要求応答データＰｒとは、半導体製造装置３
で生産ロット処理を開始する時に、作業者が生産情報通
知手段４で所定の操作することにより、生産情報通知手
段４から発信される情報であり、前記生産ロットのロッ
トＩＤおよび前記半導体製造装置３を識別する装置ＩＤ
を内容に含んだ情報であり、該当生産ロットのロット情
報の要求を表すものである。このように生産情報通知手
段４から要求として発信された処理情報要求応答データ
Ｐｒは、生産情報管理手段２が受け取り、生産情報管理
手段２がロット情報管理ファイルＬｆに登録されている
ロット情報、および装置情報管理ファイルＭｆに登録さ
れているレシピ情報の中から、当該生産ロットの該当す
る情報を探し出して、発信を行った生産情報通知手段４
に対して、応答として処理情報要求応答データＰｒを返
信する。なお生産情報管理手段２が、ロット情報管理フ
ァイルＬｆに登録されているロット情報、および装置情
報管理ファイルＭｆに登録されているレシピ情報の中か
ら該当する情報を探し出せなかった場合あるいは当該生
産ロットが当該半導体製造装置３で処理が出来ないと判
断した場合にも、同様に処理情報要求応答データＰｒを
返信する。この時の処理情報要求応答データＰｒは、当
該生産ロットに関する適当なロット情報がないことを表
すものとなる。

【００３１】Ｉｓ１およびＩｓ２は生産イベントデータ
である。生産イベントデータＩｓ１とは、生産情報通知
手段４から供給される情報であり、半導体製造装置３で
処理される各生産ロット毎の処理実績の状況を表すもの
であり、生産ロットが半導体製造装置３において予約生
産情報応答要求データＹｒに基づいた処理が行われる
と、その旨を通知するものである。また、生産イベント
データＩｓ２とは、同じく生産情報通知手段４から供給
される情報であり、半導体製造装置３で処理された各生
産ロット毎の処理実績の状況を表すものである。生産イ
ベントデータＩｓ２は、生産ロットが半導体製造装置３
において処理情報要求応答データＰｒに基づいて処理が
行われると、その旨を通知するものである。これらのデ
ータは、イベント報告毎にイサーネットＥＮを介してホ
ストコンピュータ１に供給される。このようにしてホス
トコンピュータ１に供給されたこれらのデータは、その
度毎にロット情報管理ファイルＬｆに登録されるている
該当生産ロットの進捗情報を更新する。これにより、ホ
ストコンピュータ１は、常にシステム全体の各生産ロッ
ト毎の処理の進捗状態を把握することが可能である。

【００３２】さらに、生産イベントデータＩｓ１によ
り、予約生産情報管理ファイルＹｆに登録されている予
約生産情報データＹｓの中の該当予約生産情報データＹ
ｓを予約が実施されたとして更新登録する。これによ
り、予約生産情報管理ファイルＹｆに登録されている予
約生産情報データＹｓが予約された通り実施されたかど
うかを正確に把握することができる。

【００３３】また、生産イベントデータＩｓ２の生産ロ
ットが、予約生産情報管理ファイルＹｆに登録されてい
る予約生産情報データＹｓの中に含まれる生産ロットに
該当する場合は、予約された通りの処理が行われなかっ
たとして、該当予約生産情報データＹｓを予約生産情報
管理ファイルＹｆから削除する。これは、予約されてい
た該当生産ロットが、生産情報通知手段４からの予約生
産情報要求応答データＹｒを用いた処理により２度処理
されてしまうことを防ぐためである。

【００３４】生産情報通知手段４ａは、半導体製造装置
３ａと通信回線で接続されており、これらの稼動状態を
オンラインでモニタし、これによりリアルタイムで半導
体製造装置３ａで行われる各生産ロット毎の処理実績の
イベントデータＩｓ１およびＩｓ２を出力する。生産情
報通知手段４ｂは、半導体製造装置３ｂとは通信回線で
接続されてはいないが、イベント発生のタイミングで作
業者が所定の入力操作を行うことにより、半導体製造装
置３ｂで行われる各生産ロット毎の処理実績のイベント
データＩｓ１およびＩｓ２を出力する。

【００３５】Ｂ．実施例の動作。

【００３６】１．生産情報予約手段、生産情報管理手段
および生産情報通知手段の動作。

【００３７】次に、前記構成による実施例の動作につい
て図２、図３を参照し、説明する。なおここでは、既に
生産管理システムが稼動している状態にあるものとし、
まず生産情報予約手段５と生産情報管理手段２により、
生産情報が予約される動作について説明する。この動作
は、後述する「生産情報予約ルーチン」から達成され
る。次に、生産情報通知手段４と生産情報管理手段２に
より、処理を行う生産情報が通知される動作について説
明する。この動作は、後述する「生産情報通知ルーチ
ン」から達成される。

【００３８】まずは「生産情報予約ルーチン」の動作に
ついて以下、順次説明を加える。

【００３９】ａ．生産情報予約ルーチン。

【００４０】システム各部の初期設定を経て各生産ライ
ンが稼動している状態で、作業者が前述した生産情報予
約手段５を操作することにより「生産情報予約ルーチ
ン」が起動される。「生産情報予約ルーチン」では、前
述したロット情報管理ファイルＬｆによる生産ロット情
報と、装置情報管理ファイルＭｆによる各半導体製造装
置３のレシピ情報に基づいて、生産ロットのディスパッ
チを行う。すなわち、どの生産ロットを、どの装置で、
どういう順番で、処理をするかを決定する。また、同時
に複数の生産ロットを処理できるバッチ処理装置におい
ては、同一処理条件の生産ロットをまとめるバッチ化を
も行う。この「生産情報予約ルーチン」が起動される
と、図２に示すステップＳａ１が実行される。

【００４１】ステップＳａ１では、ディスパッチ対象の
生産ロットの候補を検索する。この生産ロットの検索
は、前述したロット情報管理ファイルＬｆのデータから
生産ロットの状態をみて行っている。生産ロットの状態
としては、「処理前」「予約済み」「処理済み」などの
識別があり、このステップでは「処理前」の生産ロット
がディスパッチの対象ロットとなる。対象となった該当
生産ロットについては、処理可能な工程、レシピ、優先
度および納期を表すデータを読みだし、全ての対象ロッ
トをリストアップし終えたら、次のステップＳａ２へ進
む。

【００４２】ステップＳａ２は、バッチ処理工程の場合
に適用する。バッチ処理工程では、同一処理条件の生産
ロットを複数同時に処理することができるが、この同時
に処理をする生産ロットの集合を処理バッチ、あるいは
単にバッチと呼び、この処理バッチを構成する作業をバ
ッチ化と呼ぶ。ステップＳａ２では、前のステップＳａ
１でリストアップされた各生産ロットを、各工程別に分
類して、各工程の処理バッチを構成するバッチ化を行
う。

【００４３】次のステップＳａ３では、ステップＳａ２
で構成した処理バッチが複数存在する場合、各処理バッ
チの優先順位を決定する。この優先順位の決定方法は、
その生産ラインの特徴、その時の負荷状況などによっ
て、生産量優先、短納期優先などの各種ルールが考えら
れる。また、バッチ処理でない単一ロット処理工程の場
合には、このステップは、対象ロットの優先順位決定と
いうことになる。

【００４４】次のステップＳａ４では、ステップＳａ３
で優先順位が決定した処理バッチの一覧表示を行う。こ
の一覧表示の具体的な内容は、例えば、バッチを識別す
るために付けられるバッチＩＤやバッチの優先度、バッ
チを構成するロットを表すロットＩＤやレシピ、工程、
ロットごとの優先度やウェハ枚数などの情報から構成さ
れる。これらの情報は、バッチの優先順位でソートされ
て、その結果が生産情報予約手段５に備え付けられたデ
ィスプレイなどの画面に、バッチリストとして、表示さ
れる。

【００４５】ステップＳａ５では、これから処理開始す
るバッチの選択を、ステップＳａ４で一覧表示されるバ
ッチリストの中から選択するかどうかを判断する。ここ
で選択とは、バッチリストの中の任意のバッチを選び出
すことであり、生産管理システムが、決められたルール
に従って最適な結果として作成したバッチに従って処理
を行う事を意味する。なお、バッチ選択に際しては、任
意の工程に処理対象バッチが複数存在する場合、基本的
にいずれのバッチを選択しても構わない。一般的にはス
テップＳａ３で決定したバッチの優先順位に従って、優
先順位の高いバッチが選択されることが普通である。

【００４６】しかし、決められたルールに従って最適な
結果として作成されたバッチが、様々な要因により、必
ずしも最適な結果でない場合が発生することが考えられ
る。例えば、顧客の要求や別の工程の作業上の理由など
から、特定の生産ロットを絡めたバッチの処理を優先さ
せたい場合など、決められたルールから外れた要求が発
生した場合である。

【００４７】このような場合、例えばその時に発生した
突発的、例外的な要因を生産管理システムに対して作業
者がインプットする、あるいは生産管理システムが何ら
かの方法でそれらの情報を自動的に収集することによ
り、その状況に合った新たなルールに基づいて再度生産
管理システムにバッチ化を実行させることも考えられ
る。しかし、生産管理システムが全てのケースに対応す
ることを期待した場合には、その通り全てのケースを想
定したシステムを考えなければならず、想定した以外の
ケースが決して発生しないとは到底考えられない。つま
り、生産管理システムが何から何までをカバーすること
には限界がある。そこで、カバーする範囲から外れた場
合のために、人間が介在できる仕組みを設ける。バッチ
リストの結果に対して、作業者が、バッチリストに示さ
れるバッチではない任意のバッチを構成できる仕組みを
設ける事により、様々な要因が発生する生産ラインの状
況に応じた効率的なロット処理を行うことが可能とな
る。またこのように人間介在型のシステムとすること
で、システム側の負荷が軽くなり、パフォーマンスが向
上する。しかも、システム開発工数も大幅に削減するこ
とが期待できる。

【００４８】バッチリストの中からバッチを「選択」す
る方法で処理を行う場合には、次のステップＳａ６へ進
む。一方、バッチリストに示されるバッチではない任意
のバッチを「作成」して処理を行う場合には、ステップ
Ｓａ７へ進む。これらは、作業者自身が判断し決定を下
す。また、バッチリストとして表示されている内容を、
対象ロットの変化、対象ロットの優先度および進度を表
すデータの変化などの要因のために、内容をリフレッシ
ュする場合には、「再検索」となり、最初のステップＳ
ａ１へ戻る。なおリフレッシュのために最初のステップ
Ｓａ１へ戻る動作に関しては、このように必要なとき
に、作業者が選択的に実行する方法以外にも、任意の時
間で定期的に繰り返す方法や対象ロットの変化、対象ロ
ットの優先度および進度を表すデータの変化などの要因
を自動的に検出して、検出した結果に基づいて繰り返す
方法あるいはこれらの方法を組み合わせた方法などがあ
る。

【００４９】次のステップＳａ６では、バッチリストの
中から、少なくとも任意の１バッチを作業者が選択す
る。選択後、次のステップＳａ８へ進む。

【００５０】ステップＳａ７では、作業者が、ロットリ
ストに示されている生産ロットの中から、自由に任意の
生産ロットを組み合わせてバッチ化を行う。生産ロット
は自由に組み合わせることができるが、同一処理条件の
生産ロットの組み合わせであることが必要である。同一
処理条件でない生産ロットを組み合わせた場合には、そ
のバッチ化はキャンセルされる。バッチ化が完了した
ら、次のステップＳａ８へ進む。

【００５１】ステップＳａ８では、ステップＳａ６ある
いはステップＳａ７で決定したバッチをディスパッチす
ることが可能な半導体製造装置３のリストを検索し、表
示する。このディスパッチ可能な半導体製造装置３のリ
ストの検索は、該当バッチのレシピが処理できるよう登
録されている半導体製造装置３を、前述した装置情報管
理ファイルＭｆのデータをみて行っている。検索、表示
が完了したらステップＳａ９へ進む。

【００５２】ステップＳａ９では、ステップＳａ８で表
示されたディスパッチ可能な半導体製造装置３のリスト
の中から、該当バッチを割り付ける装置を選択し、決定
する。これにより、どのバッチをどの装置で処理するか
という予約生産情報が、前述の予約生産情報管理ファイ
ルＹｆに登録されるとともに、ロット情報管理ファイル
Ｌｆの該当処理バッチを構成する生産ロット毎の状態を
「予約済み」の状態に更新登録する。これにより、該当
生産ロットが再び予約対象ロットとなってしまうことを
防ぐことができる。

【００５３】以上説明した「生産情報予約ルーチン」で
は、従来からのロット処理スケジューリングに対して、
作業者が柔軟に介在できる点を考慮しているために、状
況の全ての変化に素早く対応ができ、効率的なロット処
理の実現が可能となる。

【００５４】ｂ．生産情報通知ルーチン予約。

【００５５】一方、同じく、システム各部の初期設定を
経て各生産ラインが稼動している状態で、作業者が生産
情報通知手段４で所定の操作をすることにより「生産情
報通知ルーチン」が起動される。

【００５６】「生産情報通知ルーチン」では、前述した
予約生産情報管理ファイルＹｆによる各生産ロットの予
約生産情報と、ロット情報管理ファイルＬｆによる生産
ロット情報と、装置情報管理ファイルＭｆによる各半導
体製造装置３の登録レシピ情報に基づいて、生産情報通
知手段４と対応する半導体製造装置３で、実際にロット
処理を行うために必要となる生産情報を、２つのモード
を用いて通知する。この２つのモードとは、１つは前述
した「生産情報予約ルーチン」により、予約生産情報管
理ファイルＹｆに登録された予約生産情報に基づいた方
法であり、もう１つは、予約されていない生産ロットの
処理情報を通知する方法である。この「生産情報通知ル
ーチン」が起動されると、図３に示すステップＳｂ１が
実行される。

【００５７】ステップＳｂ１では、まず、生産情報通知
手段４から、実際にロット処理を行う半導体製造装置３
の装置ＩＤの入力を行う。これは、生産情報通知手段４
が複数の半導体製造装置３を管理している場合に、その
いずれの装置であるかを指定するためである。生産情報
通知手段４と半導体製造装置３が１：１で対応付けられ
ている場合には、装置ＩＤを生産情報通知手段４の内部
記憶手段などに固定値として登録するなどしてこのステ
ップを簡略化することができる。装置ＩＤの入力は、例
えば、生産情報通知手段４に備え付けられたバーコード
リーダで入力を行えば作業性も良い。装置ＩＤの入力が
完了したら、次のステップＳｂ２に進む。

【００５８】ステップＳｂ２では、生産情報の通知方法
を選択する。すなわち、前述した「生産情報予約ルーチ
ン」により予約生産情報管理ファイルＹｆに登録されて
いる予約生産情報の通知に基づいた処理を行うかどうか
を判断し、選択する。通常であれば、予約生産情報に従
った処理を行えば良いので、判断結果は「ＹＥＳ」とな
って、ステップＳｂ３へ進む。しかし、その時の生産ラ
インの状態、工程内の負荷状況、あるいは例外的、突発
的な要因など、例えば、バッチを予約してあった装置が
突然故障してしまい、該当バッチが該当装置で予約した
通り処理できなくなってしまい他の装置で処理をしたい
場合や優先度の極めて高い生産ロットが送品されてきて
直ちにその生産ロットを処理したいなど、予約通りでな
い処理が必要と判断した場合には、判断結果は「ＮＯ」
となって、ステップＳｂ９へ進む。

【００５９】次のステップＳｂ３では、ステップＳｂ１
で入力された該当装置の予約生産情報の問い合わせを行
う。この予約生産情報の問い合わせには、前述の予約生
産情報要求応答データＹｒが用いられ、生産情報管理手
段２に送られる。この時の予約生産情報要求応答データ
Ｙｒの内容は、少なくともステップＳｂ１で入力された
装置ＩＤの情報を含んだものである。生産情報管理手段
２では、この予約生産情報要求応答データＹｒを受け取
ると、予約生産情報管理ファイルＹｆを調べて、該当装
置に対して予約されているバッチの中で、予約された時
間が一番古い情報を探し出して、予約生産情報要求応答
データＹｒにより該当生産情報通知手段４に応答を返
す。この時の予約生産情報要求応答データＹｒの内容
は、少なくともバッチ化されているロットのロットＩＤ
やレシピ、工程、優先度やウェハ枚数を含んだものであ
る。また、該当装置に対して予約されているバッチがな
い場合も、予約生産情報要求応答データＹｒにより応答
を返す。この時の予約生産情報要求応答データＹｒに
は、予約バッチに関する情報はない。あるいは、予約バ
ッチが存在しないことを示すコードが含まれていると、
応答を受け取った側での識別は容易である。応答が返っ
てくると、ステップＳｂ４に進む。

【００６０】次のステップＳｂ４では、前述の予約生産
情報要求応答データＹｒの応答内容を調べる。すなわ
ち、応答で返ってきた予約生産情報要求応答データＹｒ
に予約バッチに関する情報があるかどうかをチェックす
るのである。「有り」の場合には、ステップＳｂ５に進
む。「無し」の場合には、該当装置には予約されている
バッチがないことの表示を行い、最初のステップＳｂ１
に戻る。

【００６１】ステップＳｂ５では、予約バッチの表示を
行う。表示内容は、受け取った予約生産情報要求応答デ
ータＹｒの内容である。すなわち、バッチ化されている
ロットのロットＩＤやレシピ、工程、優先度やウェハ枚
数などである。表示後、ステップＳｂ６へ進む。

【００６２】ステップＳｂ６では、ステップＳｂ５で表
示される予約バッチの処理を実施するかどうかの判断を
する。このステップも、先のステップＳｂ２と同様に、
通常であれば、予約生産情報に従った処理を行えば良い
ので、判断結果は「実施する」となって、ステップＳｂ
７へ進む。しかし、表示された予約バッチに関する内容
が、その時の生産ラインの状態、工程内の負荷状況ある
いは例外的、突発的な要因などから見て、予約バッチよ
りも優先的に処理を行う必要があるバッチが他にあると
判断した場合には、判断結果は「実施しない」となっ
て、最初のステップＳｂ１へ戻る。このように、予約バ
ッチの状況を見てから、予約バッチ処理の実施の判断が
可能である。

【００６３】次のステップＳｂ７では、予約バッチを構
成しているロットのロットＩＤの入力を行う。ここでロ
ットＩＤの入力を行うのは、予約バッチを構成するロッ
トとはたして同じロットであるかどうかを確認するため
である。構成ロット全てのロットＩＤの入力が完了しな
いと次のステップへは決して進まない。また、構成ロッ
ト以外のロットＩＤの入力は受け付けない。この機能に
より、予約バッチとして登録されている全ての生産ロッ
トを、確実に処理することが可能となる。ロットＩＤの
入力は、例えば、生産情報通知手段４に備え付けられた
バーコードリーダで入力を行えば作業性も良い。予約バ
ッチを構成するロット全てのロットＩＤの入力が完了す
ると、次のステップＳｂ８へ進む。

【００６４】ステップＳｂ８では、該当半導体製造装置
３において該当バッチのロット処理が開始したことが報
告される。これは、実際に該当半導体製造装置３で処理
が開始された時に、生産情報通知手段４により行われ
る。この報告は、前述した生産イベントデータＩｓ１に
相当するものであり、予約生産情報要求応答データＹｒ
に基づいた処理バッチが、その予約された通りに処理さ
れたことを報告するものである。この生産イベントデー
タＩｓ１により、前述の予約生産情報管理ファイルＹｆ
に登録されている該当予約生産情報データＹｓが予約通
り実行されたとして更新登録されるとともに、ロット情
報管理ファイルＬｆの、該当処理バッチを構成する各生
産ロットごとの状態を「処理済み」の状態に更新登録す
る。こうすることにより、該当生産ロットが、また予約
対象ロットとなってしまうことを防ぐ事ができる。該当
バッチのロット処理の開始報告が完了すれば、この予約
生産情報による「生産情報通知ルーチン」は終了であ
る。

【００６５】また、一方でステップＳｂ２で判断結果が
「ＮＯ」となり、進んだステップＳｂ９では、予約生産
情報に基づかない処理を行う。

【００６６】ステップＳｂ９では、処理を実施したい生
産ロットのロットＩＤの入力を行う。ここでは、任意の
生産ロットを、作業者の自由な判断で入力することが可
能である。また、入力する生産ロットの数は基本的にい
くつでもよい。つまり、バッチ化が行えるということで
ある。ただし、無数に入力できるわけではなく、生産情
報通知手段４において、物理的に許される範囲内に制限
される。ロットＩＤの入力は、例えば、生産情報通知手
段４に備え付けられたバーコードリーダで入力を行えば
作業性も良い。必要なロットＩＤの入力が完了したら、
次のステップＳｂ１０へ進む。

【００６７】ステップＳｂ１０では、前のステップＳｂ
９で入力されたロットの処理情報の問い合わせを行う。
このロットの処理情報の問い合わせには、前述の処理情
報要求応答データＰｒが用いられ、生産情報管理手段２
に送られる。この時の処理情報要求応答データＰｒの内
容は、少なくともステップＳｂ１で入力された装置ＩＤ
の情報およびステップＳｂ９で入力されたロットＩＤの
情報を含んだものである。生産情報管理手段２では、こ
の処理情報要求応答データＰｒを受け取ると、該当生産
ロット全ての処理情報を、ロット情報管理ファイルＬｆ
による生産ロット情報と、装置情報管理ファイルＭｆに
よる各半導体製造装置３のレシピ情報に基づいて調べ
て、処理情報要求応答データＰｒにより該当生産情報通
知手段４に応答を返す。この時の処理情報要求応答デー
タＰｒの内容は、少なくとも該当生産ロットのロットＩ
Ｄとレシピ、工程、優先度やウェハ枚数を含んだもので
ある。

【００６８】また、調べた結果として、該当生産ロット
の処理情報が適切でなかった場合、例えば該当生産ロッ
トのレシピが指定された装置ＩＤで処理ができないもの
であった場合などは、該当生産ロットは該当装置で処理
不可ということになり、この場合、該当生産ロットに対
しては、処理不可ということを示すコードが付けられた
情報を含んだ処理情報要求応答データＰｒが応答され
る。応答が返ってくると、ステップＳｂ１１に進む。

【００６９】ステップＳｂ１１では、生産ロットの処理
情報の表示を行う。表示内容は、受け取った処理情報要
求応答データＰｒの内容である。すなわち、ロットのロ
ットＩＤやレシピ、工程、優先度やウェハ枚数などであ
る。各生産ロットごとに別々に表示される。表示後、ス
テップＳｂ１１へ進む。

【００７０】次のステップＳｂ１２では、ステップＳｂ
１１で表示される各生産ロットごとの少なくともレシピ
の内容を確認し、処理を実施するかどうか判断する。例
えば、バッチを構成している各生産ロットのレシピは全
て一致していてバッチ化が可能かどうか、処理不可のコ
ードが表示されてはいないかといった内容を確認し判断
する。判断の結果「実施する」となった場合、ステップ
Ｓｂ１３へ進む。また、表示された内容が、不適当であ
ると判断した場合には、判断結果は「実施しない」とな
って、最初のステップＳｂ１へ戻る。このように、処理
を実施しようと思う生産ロットの処理情報の内容を見て
から、実施の判断が可能である。

【００７１】ステップＳｂ１３では、該当半導体製造装
置３において該当バッチのロット処理が開始したことが
報告される。これは、実際に該当半導体製造装置３で処
理が開始された時に生産情報通知手段４により行われ
る。この報告には、前述した生産イベントデータＩｓ２
が用いられ、各生産ロットが処理されたことを報告する
ものである。この生産イベントデータＩｓ２により、ロ
ット情報管理ファイルＬｆの該当生産ロットごとの状態
を「処理済み」の状態に更新登録する。こうすることに
より、処理された該当生産ロットが、また予約対象ロッ
トとなってしまうことを防ぐ事ができる。またこの時、
更新前の該当生産ロットの状態が「予約済み」であった
場合には、前述の予約生産情報管理ファイルＹｆに該当
生産ロットが登録されているはずであるから、該当生産
ロットが含まれる予約生産情報データＹｓを予約生産情
報管理ファイルＹｆから削除する。こうすることによ
り、該当生産ロットが、「生産情報通知ルーチン」によ
り、２度処理されることを防ぐ事ができる。該当生産ロ
ットのロット処理の開始報告の完了にて、このルーチン
は終了となる。

【００７２】以上のように「生産情報通知ルーチン」
は、前述の「生産情報予約ルーチン」で予約したスケジ
ュールに従い処理を行うことのできるモードで計画的な
生産を行える環境を提供するほかに、例外的、突発的に
自由なロット処理が行えるため、刻々と変化する状況に
迅速に柔軟に対応することが可能となり、常に最適なロ
ット処理の実現が可能である。

【００７３】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、従来のロット処理スケジューリングに対して、作業
者が自由に柔軟に介在することができるため、特に既存
の生産ラインのように作業者が介在する生産管理システ
ムにおいて、状況の変化に素早く対応したロット処理ス
ケジューリング結果を得ることができ、このスケジュー
リング結果に従って処理することで効率よい生産形態が
実現できる。

【００７４】また、前述の計画的なロット処理スケジュ
ーリングでの効率的な生産形態に加えて、計画時には予
測不可能な、実際に処理を行う際の生産ラインの状態、
工程内の負荷状況あるいは例外的、突発的な要因など刻
々と変化する状況に対しても、極めて柔軟に対応するこ
とが可能となり、効率よい生産を行う環境の構築が実現
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例の全体構成を示すブロック
図。

【図２】同実施例における生産情報予約ルーチンの動作
を示すフローチャート。

【図３】同実施例における生産情報通知ルーチンの動作
を示すフローチャート。

【符号の説明】

１…ホストコンピュータ ２…生産情報管理手段 ３…半導体製造装置 ４…生産情報通知手段 ５…生産情報予約手段

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも生産ロット毎に付与され、前記
   生産ロットの属性を表すロット情報と、少なくとも製造
   手段毎に付与される、前記製造手段の製造処理条件情報
   から、次に行う製造処理の内容を規定する生産情報を人
   間が介在して選択的に予約する生産情報予約手段と、前
   記生産情報予約手段により作成された前記生産情報を管
   理するとともに、生産情報通知手段からの要求に基づ
   く、前記予約生産情報とは異なる新たな生産情報の管理
   を行う生産情報管理手段と、前記各生産情報により指定
   された生産ロットを、所定の製造手段で所定の製造処理
   を施すために必要な情報を作業者、および製造手段に通
   知する生産情報通知手段とを具備することを特徴とする
   生産管理装置。
2. 【請求項２】前記生産情報管理手段は、前記生産情報予
   約手段により作成された前記予約生産情報の管理を行
   い、前記生産情報通知手段からの予約生産情報通知要求
   に応答するとともに、前記生産情報通知手段からの前記
   予約生産情報とは異なる新たな生産情報の要求に応答す
   ることを特徴とする請求項１記載の生産管理装置。
3. 【請求項３】前記生産情報管理手段が管理する予約生産
   情報は、少なくとも、生産ロットの指定情報、使用する
   装置の指定情報、生産情報の予約された時刻の指定情
   報、および予約生産情報の処理実績の指定情報から構成
   されることを特徴とする請求項１記載の生産管理装置。
4. 【請求項４】前記生産情報通知手段は、前記予約生産情
   報の要求を行うモードと、予約のない生産情報の要求を
   行うモードとを兼ね備えることを特徴とする請求項１記
   載の生産管理装置。
5. 【請求項５】少なくとも生産ロット毎に付与され、前記
   生産ロットの属性を表すロット情報と、少なくとも製造
   手段毎に付与される、前記製造手段の製造処理条件情報
   から、次に行う製造処理の内容を規定する生産情報を人
   間が介在して選択的に予約する第１の過程と、前記生産
   情報予約手段により作成された前記生産情報を管理する
   とともに、生産情報通知手段からの要求に基づく、前記
   予約生産情報とは異なる新たな生産情報の管理を行う第
   ２の過程と、前記各生産情報により指定された生産ロッ
   トを、所定の製造手段で所定の製造処理を施すために必
   要な情報を作業者、および製造手段に通知する第３の過
   程とを具備することを特徴とする生産管理方法。