JPH10320532A - 欠陥形状認識装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】測定対象物の画像に存在する欠陥の形状を認識
する。 【解決手段】測定対象物の画像に存在する欠陥の形状を
認識する欠陥形状認識装置４ｄであり、領域サイズが任
意に設定可能な複数の分割領域からなるマッチングフィ
ルタ手段における各分割領域内に存在する欠陥画素の数
をカウントする欠陥画素数カウント手段５ｄと、欠陥画
素数カウント手段５ｄによってカウントされた各分割領
域毎の欠陥画素数をしきい値と比較して論理化し、各分
割領域の論理値からなる論理化パターンを得る論理化手
段６ｄと、論理化手段６ｄによって得られた論理化パタ
ーンと、欠陥形状の認識のために予め定められている少
なくとも一つの欠陥形状パターンとを比較し、論理化パ
ターンが欠陥形状パターンのいずれかと一致する場合に
は、一致する欠陥形状パターンに対応する欠陥形状が存
在すると認識する形状認識手段８ｄとを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、測定対象物の画像
に存在する欠陥の形状を認識する欠陥形状認識装置に係
り、特に分割された複数の領域からなるマッチングフィ
ルタによって欠陥の形状を認識する欠陥形状認識装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】欠陥の検査を画像処理装置によって行う
場合に抽出する特徴量の一つに、例えば欠陥の形状が点
状・線状・面状等であると形状認識し、この認識結果を
特徴量とする幾何学的特徴量がある。

【０００３】この幾何学的特徴量の抽出は、パターンマ
ッチング法によって行われるが、従来、このパターンマ
ッチング法に用いられるマッチングフィルタの分割され
た複数の領域の領域サイズは固定されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来のパ
ターンマッチング法においては、マッチングフィルタの
分割領域の領域サイズが固定されているため、要求され
る形状認識に自在に対応するためには、１画素で示す測
定対象物の面積を変化させる等によって画像の分解能を
変化させたり、ハードウェア回路を変えてマッチングフ
ィルタの分割領域の領域サイズを変化させる必要があ
り、これらの方法によって要求される形状認識に自在に
対応するのは困難である。

【０００５】また、マッチングフィルタの分割領域の領
域サイズを適切に設定しなければ、欠陥形状の認識精度
が低下し、これにより欠陥の種類の判定一致率等が低下
するため、欠陥の種類や欠陥の程度を最終的に判定する
欠陥検査を正常に実行することが困難となる。

【０００６】本発明は上記実情を考慮してなされたもの
で、ハードウェア回路を変えることなく、任意に分割領
域の領域サイズを設定できるマッチングフィルタを用い
ることで、欠陥形状の認識精度、欠陥の種類や程度の判
定一致率、操作性を向上させる欠陥形状認識装置を提供
することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、測定対象物の画像に存在する欠
陥の形状を認識する欠陥形状認識装置において、複数の
分割領域からなり、この分割領域の領域サイズを任意に
設定可能なマッチングフィルタ手段と、このマッチング
フィルタ手段における各分割領域内に存在する欠陥画素
の数をカウントする欠陥画素数カウント手段と、欠陥画
素数カウント手段によってカウントされた各分割領域毎
の欠陥画素数をしきい値と比較して各分割領域を論理化
し、当該各分割領域の論理値からなる論理化パターンを
得る論理化手段と、論理化手段によって得られた論理化
パターンと、欠陥形状の認識のために予め定められてい
る少なくとも一つの欠陥形状パターンとを比較し、論理
化パターンが欠陥形状パターンのいずれかと一致する場
合には、一致する欠陥形状パターンに対応する欠陥形状
が存在すると認識する形状認識手段とを具備した欠陥形
状認識装置である。

【０００８】従って、請求項１の発明の欠陥形状認識装
置においては、マッチングフィルタ手段の分割領域の領
域サイズを任意に設定可能としたので、測定対象の画像
の解像度を変えたり、ハードウェア回路の構成を変える
ことなく、分割領域の領域サイズを要求される欠陥形状
の認識に自在に対応させることができる。

【０００９】また、欠陥形状パターンを変えなくても、
認識を要求される欠陥形状を認識することができる。さ
らに、欠陥形状に対して、柔軟に対応した認識を実行す
ることができ、欠陥の大小による影響を受けることがな
いため、欠陥形状の認識精度の低下、欠陥の種類の判定
一致率等の低下を防ぐことができる。

【００１０】ゆえに、欠陥の種類や欠陥の程度を最終的
に判定する欠陥検査を正常に実行することができる。次
に、請求項２の発明は、請求項１記載の欠陥形状認識装
置において、分割領域の領域サイズを示す情報に設定順
序を付した複数のサイズ設定順序情報を記憶するサイズ
設定順序テーブルと、形状認識手段によって論理化パタ
ーンと欠陥形状パターンのいずれかとが一致すると判断
された回数を各欠陥形状パターン毎にカウントし、予め
測定しておいた各欠陥形状パターンに対応する欠陥形状
の数を基準として、カウントした欠陥形状パターン毎の
一致回数が許容範囲に含まれない場合に、サイズ設定順
序テーブルに記憶されている新規のサイズ設定順序情報
に基づいて、欠陥形状毎にマッチングフィルタ手段の分
割領域の領域サイズを自動設定する分割領域設定手段と
を付加した欠陥形状認識装置である。

【００１１】従って、請求項２の発明の欠陥形状認識装
置においては、サイズ設定順序テーブルに記憶されてい
るサイズ設定順序情報にしたがって、最適な分割領域の
領域サイズが自動設定されるため、欠陥形状認識装置の
操作性を向上させることができ、さらに、請求項１の発
明の欠陥形状認識装置と同様の効果を一層向上させるこ
とができる。

【００１２】また、マッチングフィルタ手段の分割領域
の領域サイズが自動設定されるため、特に一方の方向に
延びた欠陥形状の認識を良好に行うことができる。次
に、請求項３の発明は、請求項１記載の欠陥形状認識装
置において、論理化手段において用いられるしきい値に
関する情報に設定順序を付した複数のしきい値設定順序
情報を記憶するしきい値設定順序テーブルと、形状認識
手段によって論理化パターンと欠陥形状パターンのいず
れかとが一致すると判断された回数を各欠陥形状パター
ン毎にカウントし、予め測定しておいた各欠陥形状パタ
ーンに対応する欠陥形状の数を基準として、カウントし
た欠陥形状パターン毎の一致回数が許容範囲に含まれな
い場合に、しきい値設定順序テーブルに記憶されている
新規のしきい値設定順序情報に基づいて、欠陥形状毎に
しきい値を自動設定する分割領域設定手段とを付加した
欠陥形状認識装置である。

【００１３】従って、請求項３の発明の欠陥形状認識装
置においては、しきい値設定順序テーブルに記憶されて
いるしきい値設定順序情報にしたがって、最適なしきい
値が自動設定されるため、欠陥形状認識装置の操作性を
向上させることができ、さらに、請求項１の発明の欠陥
形状認識装置と同様の効果を一層向上させることができ
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。 （第１の実施の形態）本実施の形態による欠陥形状認識
装置は、測定対象物の画像における欠陥部分の画素値を
１、正常部分の画素値を０に論理化した欠陥論理化画像
を入力し、当該欠陥論理化画像の欠陥画素、すなわち画
素値１の画素の少なくとも一つからなる欠陥画素群の形
状を認識する装置である。

【００１５】図１は、本実施の形態による欠陥形状認識
装置の構成の一例を示すブロック図である。また、図２
は、本実施形態による欠陥形状認識装置による欠陥形状
認識動作の処理概要を示す概念図である。図２（ａ）
は、欠陥論理化画像１ａとマッチングフィルタ２ａの関
係を示し、図２（ｂ）は、欠陥形状認識動作の一例を示
している。なお、図２で例示しているマッチングフィル
タ２ａは、ｘ方向３つ×ｙ方向３つの分割領域３ａから
なり、各分割領域３ａはｘ方向２画素×ｙ方向３画素か
らなるものである。

【００１６】欠陥形状認識装置４ａにおいて用いられる
マッチングフィルタ２ａは、欠陥形状認識用の論理フィ
ルタであり、分割領域３ａの領域サイズは、任意に設定
可能である。すなわち、この分割領域３ａは、最小の領
域サイズが欠陥論理化画像１ａの１画素サイズであり、
ｘ方向及びｙ方向の双方において１画素サイズの整数倍
の領域サイズに任意に設定可能となっている。したがっ
て、欠陥論理化画像１ａの１画素サイズを画素面積１と
定めると、分割領域３ａの画素面積は１以上となり、分
割領域３ａの領域サイズが変更されるとマッチングフィ
ルタ２ａのサイズも変更される。

【００１７】分割領域３ａの領域サイズの設定は、ｘ方
向の画素数及びｙ方向の画素数の指定によって行われ
る。欠陥形状認識装置４ａは、欠陥論理化画像１ａを欠
陥画素数カウント部５ａにおいて入力する。

【００１８】欠陥画素数カウント部５ａは、マッチング
フィルタ２ａの分割領域３ａ内の欠陥画素値１の総和、
すなわち欠陥画素数を、各分割領域３ａ毎にカウント
し、結果を論理化部６ａに出力する。

【００１９】論理化部６ａは、各分割領域３ａ毎にカウ
ントされた欠陥画素数と、予め入力済みの任意に設定可
能なしきい値とを比較し、カウントされた欠陥画素数が
しきい値以上となっている分割領域３ａを欠陥とみなす
論理値１、カウントされた欠陥画素数がしきい値に満た
ない分割領域３ａを正常とみなす論理値０として論理化
して、各分割領域３ａの論理値からなる論理化パターン
を作成する。

【００２０】このように論理化部６ａは、論理化によっ
て各分割領域３ａが欠陥領域であるか正常領域であるか
を判断する。欠陥形状パターン・リファレンス・テーブ
ル７は、少なくとも一つの欠陥形状のパターンを記憶し
ており、新規の欠陥形状パターンの記憶や既に記憶され
ている欠陥形状パターンの削除等が可能なようにプログ
ラマブルとなっている。

【００２１】形状認識部８は、論理化パターンと、欠陥
形状パターン・リファレンス・テーブルに記憶されてい
る各欠陥形状パターンとを比較し、論理化パターンと欠
陥形状パターンのいずれかとが一致している場合には、
マッチングフィルタ２ａが指定している位置に存在する
欠陥画素群が当該欠陥形状パターンに対応する欠陥形状
であると判断し、その判断結果を出力する。

【００２２】このように構成された欠陥形状認識装置４
ａによる欠陥形状認識動作を図２を用いて説明する。な
お、ここでは、しきい値２が設定されているとし、欠陥
形状パターン・リファレンス・テーブル７には、点形
状、線形状、面形状の３つの欠陥形状パターンが記憶さ
れているとする。

【００２３】マッチングフィルタ２ａが、図２（ａ）に
示す欠陥論理化画像１ａの位置Ｐ１を指定すると（ｓ１
１）、まず、欠陥画素数カウント部５ａによって、各分
割領域３ａ内の欠陥画素数がカウントされる（ｓ１
２）。

【００２４】次に、論理化部６ａによって、各分割領域
３ａ内の欠陥画素数が、しきい値２以上か否かで論理化
され、各分割領域３ａの論理値からなる論理化パターン
が得られる（ｓ１３）。

【００２５】そして、形状認識部８によって、論理化パ
ターンと、欠陥形状パターン・リファレンス・テーブル
７に記憶されている欠陥形状パターンとが比較される
（ｓ４）。ここでは、論理化パターンが、点形状の欠陥
形状パターンと一致するため、欠陥論理化画像１ａの位
置Ｐ１には点形状の欠陥画素群が存在すると認識される
（ｓ１５）。すなわち、位置Ｐ１を指定するマッチング
フィルタ２ａ内の欠陥画素数は６であるが、しきい値２
に満たない分割領域３ａ内の欠陥画素が無視され、認識
には欠陥画素数が２以上の分割領域３ａが考慮されるた
め、この欠陥画素群は点形状と認識される。

【００２６】同様に、マッチングフィルタ２ａが、図２
（ａ）に示す欠陥論理化画像１ａの位置Ｐ２を指定する
と（ｓ２１）、まず、欠陥画素数カウント部５ａによっ
て、各分割領域３ａの欠陥画素数がカウントされ（ｓ２
２）、論理化部６ａによって、各分割領域３ａの欠陥画
素数が論理化されて論理化パターンが得られ（ｓ２
３）、形状認識部８によって、論理化パターンと、欠陥
形状パターン・リファレンス・テーブル７に記憶されて
いる欠陥形状パターンとが比較され（ｓ４）、論理化パ
ターンが、線形状の欠陥形状パターンと一致するため、
欠陥論理化画像１ａの位置Ｐ１には点形状の欠陥画素群
が存在すると認識される（ｓ２５）。すなわち、位置Ｐ
２を指定するマッチングフィルタ２ａ内の欠陥画素数は
８であるが、欠陥画素数が、しきい値２に満たない分割
領域３ａが無視され、認識には欠陥画素数が２以上の分
割領域３ａが考慮されるため、この欠陥画素群は線形状
と認識される。

【００２７】以上のように、本実施の形態による欠陥形
状認識装置４ａにおいては、マッチングフィルタ２ａの
分割領域３ａの領域サイズが任意に設定可能であるた
め、測定対象の画像の解像度を変えたり、ハードウェア
回路の構成を変えることなく、分割領域３ａの領域サイ
ズを要求される形状認識に自在に対応させることができ
る。

【００２８】また、欠陥形状パターンを変えなくても、
認識を要求される欠陥形状を認識することができる。す
なわち、例えば、多数の欠陥画素からなる欠陥画素群の
形状を認識する場合には、分割領域３ａの領域サイズを
大きくし、少数の欠陥画素からなる欠陥画素群の形状を
認識する場合には、分割領域３ａの領域サイズを小さく
することができる。

【００２９】これにより、欠陥の形状に対して、柔軟に
対応した認識を実行することができ、欠陥の大小による
影響を受けることがないため、欠陥形状の認識精度の低
下、欠陥の種類の判定一致率等の低下を防ぐことができ
る。

【００３０】ゆえに、欠陥の種類や欠陥の程度を最終的
に判定する欠陥検査を正常に実行することができる。ま
た、マッチングフィルタ２ａの分割領域３ａの領域サイ
ズは、ｘ方向の画素数及びｙ方向の画素数によって指定
されるため、このｘ方向の画素数及びｙ方向の画素数に
よって欠陥形状を定義することもできる。

【００３１】なお、本実施の形態による欠陥形状認識装
置４ａのマッチングフィルタ２ａは、ｘ方向３つ×ｙ方
向３つの分割領域３ａからなる場合を例に挙げて説明し
たが、これに限定されるものではなく、他の状態のマッ
チングフィルタによっても同様の作用で同様の効果を得
ることができる。

【００３２】さらに、欠陥形状パターン・リファレンス
・テーブル７は、欠陥形状パターンとして点形状、線形
状、面形状の３つを記憶しているとしたが、これに限定
されるものではなく、様々な欠陥形状パターンを記憶さ
せることができる。

【００３３】加えて、本実施の形態による欠陥形状認識
装置４ａにおいて、マッチングフィルタ２ａによって指
定する欠陥論理化画像１ａの位置を、分割領域３ａが一
つずつずれるように順次移動させ、欠陥論理化画像１ａ
全体に亘って欠陥形状の認識を行い、この認識結果を欠
陥形状パターン毎にカウントすることで、欠陥形状発生
数を求めることができる。

【００３４】その他、本実施の形態による欠陥形状認識
装置４ａは、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形して
実施できる。 （第２の実施の形態）本実施の形態による欠陥形状認識
装置は、第１の実施の形態による欠陥形状認識装置４ａ
に、認識する欠陥形状毎にマッチングフィルタの分割領
域の領域サイズを自動的に設定する機能を付加したもの
である。

【００３５】すなわち、本実施形態による欠陥形状認識
装置は、欠陥形状認識動作を行う前に、分割領域サイズ
設定動作を行って、分割領域の領域サイズを自動的に設
定する。この分割領域サイズ設定動作を行う場合には、
本実施形態による欠陥形状認識装置に、サンプルの欠陥
論理化画像と、このサンプル欠陥論理化画像に発生して
いる欠陥形状パターン毎の欠陥形状発生数を予め測定し
たものとが入力される。

【００３６】図３は、本実施の形態による欠陥形状認識
装置の構成の一例を示すブロック図であり、図１と同様
の部分には同一の符号を付してその説明を省略し、ここ
では異なる部分についてのみ詳しく説明する。

【００３７】サイズ設定順序テーブル９は、分割領域の
領域サイズを指定するために用いられるｘ方向の画素数
及びｙ方向の画素数の組合わせ情報に設定順序を付した
複数のサイズ設定順序情報を記憶している。

【００３８】このサイズ設定順序テーブル９は、新規の
サイズ設定順序情報の記憶や、既に記憶されているサイ
ズ設定順序情報の削除等が可能なようにプログラマブル
となっている。

【００３９】欠陥画素数カウント部５ｂは、サイズ設定
順序テーブル９に記憶されているサイズ設定順序情報に
したがって、マッチングフィルタの分割領域の領域サイ
ズを設定し、各分割領域における欠陥画素数をカウント
する。サイズ設定順序情報の入力は、欠陥形状カウント
部１０ｂからの入力に基づいて行われる。

【００４０】また、この欠陥画素数カウント部５ｂは、
マッチングフィルタによる欠陥論理化画像の指定位置
を、分割領域が一つずつずれるように欠陥論理化画像全
体に亘って順次移動させる。

【００４１】欠陥形状カウント部１０ｂは、形状認識部
８の認識結果を欠陥形状パターン毎にカウントすること
で、欠陥形状発生数をカウントし、出力する。また、欠
陥形状カウント部１０ｂは、分割領域サイズ設定動作を
行う場合には、サンプル欠陥論理化画像に発生している
欠陥形状パターン毎の欠陥形状発生数を予め測定して入
力し、この欠陥形状カウント部１０ｂによってカウント
された欠陥形状発生数と、予め測定しておいた欠陥形状
発生数とを比較し、予め測定しておいた欠陥形状発生数
を基準として、欠陥形状カウント部１０ｂによってカウ
ントされた欠陥形状発生数が許容範囲に含まれるか否か
を判断し、その結果を欠陥画素数カウント部５ｂに出力
する。

【００４２】ここでは、例として、欠陥形状カウント部
１０ｂによってカウントされた欠陥形状発生数が、予め
測定しておいた欠陥形状発生数以上になると許容範囲に
含まれると判断するとする。

【００４３】図４は、本実施の形態による欠陥形状認識
装置４ｂが行う分割領域サイズ設定動作の処理概要を示
す概念図であり、ｘ方向３つ×ｙ方向３つの分割領域か
らなるマッチングフィルタが用いられる場合を例示して
いる。

【００４４】図４（ａ）は、サンプルの欠陥論理化画像
を例示したものであり、欠陥形状認識装置４ｂの欠陥形
状カウント部１０ｂには、このサンプル欠陥論理化画像
１ｂに、点形状の欠陥画素群が一つ発生している旨の情
報が、予め測定しておいた欠陥形状発生数として入力さ
れている。

【００４５】図４（ｂ）は、分割領域サイズ設定動作の
処理の一例を示している。ここで、本実施の形態による
欠陥形状認識装置４ｂのサイズ設定順序テーブル９に
は、例として、ｘ方向画素数１×ｙ方向画素数１の分割
領域を設定する旨を示す情報に設定順序１を付したサイ
ズ設定順序情報と、ｘ方向画素数３×ｙ方向画素数３の
分割領域を設定する旨を示す情報に設定順序２を付した
サイズ設定順序情報とを記憶しているとする。

【００４６】また、論理化部６ａには、例えば、分割領
域の領域サイズがｘ方向画素数１×ｙ方向画素数１の場
合のしきい値を１とし、他の場合のしきい値を３とする
旨の情報が入力されているものとする。

【００４７】まず、欠陥画素数カウント部５ｂは、サイ
ズ設定順序テーブル９から設定順序１のサイズ設定順序
情報、すなわち分割領域の領域サイズをｘ方向画素数１
×ｙ方向画素数１に設定する旨の情報を入力し、この領
域サイズの分割領域からなるマッチングフィルタをサン
プル欠陥論理化画像１ｂ全体に亘って順次移動させる。

【００４８】マッチングフィルタが、順次移動しながら
サンプル欠陥論理化画像１ｂの一部を指定すると（ｓ３
１）、まず、欠陥画素数カウント部５ｂによって、各分
割領域の欠陥画素数がカウントされ（ｓ３２）、論理化
部６ａによって、各分割領域の欠陥画素数がしきい値１
以上か否かで論理化され、論理化パターンが得られる
（ｓ３３）。

【００４９】次に、形状認識部８によって、論理化パタ
ーンと、欠陥形状パターン・リファレンス・テーブル７
に記憶されている各欠陥形状パターンとが比較され（ｓ
４）、論理化パターンが、欠陥形状パターンのいずれか
に一致しているか否かが判断される（ｓ３５）。

【００５０】ここで、形状認識部８によって論理化パタ
ーンと、欠陥形状パターンのいずれかとが一致している
と判断された場合には、欠陥形状カウント部１０ｂによ
って、欠陥形状パターン毎に欠陥形状発生数がカウント
される。ここでは、一致する欠陥形状パターンはないた
め、各欠陥形状発生数はカウントされず０のままであ
る。

【００５１】このような処理をサンプル欠陥論理化画像
１ｂ全体に亘って行った後には、欠陥形状カウント部１
０ｂによって、カウントされた欠陥形状発生数と、予め
測定しておいた欠陥形状発生数とが比較され、カウント
された欠陥形状発生数が許容範囲に含まれるか否かが判
断される（ｓ３６）。ここでは、欠陥形状カウント部１
０ｂにおいてカウントされた欠陥形状発生数は０のまま
であり、予め測定しておいた欠陥形状発生数である点形
状の欠陥形状パターンの欠陥形状発生数は１であるた
め、許容範囲に含まれないと判断され、この結果が欠陥
画素数カウント部５ｂに出力される。

【００５２】欠陥形状カウント部１０ｂから欠陥形状発
生数が許容範囲に含まれない旨の情報を入力した欠陥画
素数カウント部５ｂは、サイズ設定順序テーブル９から
設定順序２のサイズ設定順序情報、すなわち分割領域の
領域サイズをｘ方向画素数３×ｙ方向画素数３に設定す
る旨の情報を入力し、この領域サイズの分割領域からな
るマッチングフィルタをサンプル欠陥論理化画像１ｂ全
体に亘って順次移動させる。

【００５３】マッチングフィルタが、順次移動しながら
サンプル欠陥論理化画像１ｂの一部を指定すると（ｓ４
１）、まず、欠陥画素数カウント部５ｂによって、各分
割領域の欠陥画素数がカウントされ（ｓ４２）、論理化
部６ａによって、各分割領域の欠陥画素数がしきい値３
以上か否かで論理化されて論理化パターンが得られ（ｓ
４３）、形状認識部８によって、論理化パターンと、各
欠陥形状パターンとが比較され（ｓ４）、論理化パター
ンが、欠陥形状パターンのいずれかに一致しているか否
かが判断される（ｓ４５）。

【００５４】ここで、形状認識部８によって論理化パタ
ーンと、各欠陥形状パターンのいずれかとが一致してい
ると判断された場合には、欠陥形状カウント部１０ｂに
よって、該当する欠陥形状パターンの欠陥形状発生数が
カウントされる。ここでは、点形状の欠陥形状パターン
と一致するため、点形状の欠陥形状発生数はカウントさ
れて１となる。

【００５５】このような処理をサンプル欠陥論理化画像
１ｂ全体に亘って行った後には、欠陥形状カウント部１
０ｂによって、カウントされた欠陥形状発生数と、予め
測定しておいた欠陥形状発生数とが比較され、カウント
された欠陥形状発生数が許容範囲に含まれるか否かが判
断される（ｓ４６）。ここでは、点形状の欠陥形状発生
数は１であり、予め測定しておいた欠陥形状発生数であ
る点形状の欠陥形状パターンの欠陥形状発生数も１であ
るため、許容範囲に含まれると判断され、この結果が欠
陥画素数カウント部５ｂに出力される。

【００５６】欠陥画素数カウント部５ｂは、点形状の欠
陥形状パターンの欠陥形状発生数が、許容範囲に含まれ
る旨の情報を入力すると、その後に行われる点形状の欠
陥形状認識動作には、設定順序２のサイズ設定順序情
報、すなわち分割領域の領域サイズがｘ方向画素数３×
ｙ方向画素数３のマッチングフィルタを用いる。

【００５７】以上のように、本実施の形態による欠陥形
状認識装置４ｂにおいては、サイズ設定順序テーブル９
に記憶されているサイズ設定順序情報にしたがって、予
め測定しておいた各欠陥形状パターンの欠陥形状発生数
を基準として、カウントされた欠陥形状発生数が許容範
囲に含まれるようにマッチングフィルタの分割領域の領
域サイズを設定するため、サンプル欠陥論理化画像１ｂ
と、このサンプル欠陥論理化画像１ｂに発生している予
め測定しておいた欠陥形状発生数とを前もって入力する
のみで、最適な分割領域の領域サイズを自動的に設定で
きるため、欠陥形状認識装置４ｂの操作性を向上させる
ことができる。

【００５８】また、最適な分割領域の領域サイズを設定
できるため、第１の実施の形態による欠陥形状認識装置
４ａと同様の効果を一層向上させることができる。さら
に、本実施形態よる欠陥形状認識装置４ｂにおいては、
自動的に分割領域の領域サイズが設定されるため、特に
図５に示すようなｘ方向、ｙ方向に延びる欠陥形状の認
識を良好に行うことができる。

【００５９】なお、本実施の形態による欠陥形状認識装
置は、第１の実施の形態と同様に、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変形して実施できる。 （第３の実施の形態）本実施の形態による欠陥形状認識
装置は、第１の実施の形態による欠陥形状認識装置４ａ
に、認識する欠陥形状毎に各分割領域の欠陥画素数の論
理化に用いるしきい値を自動的に設定する機能を付加し
たものである。

【００６０】すなわち、本実施形態による欠陥形状認識
装置は、欠陥形状認識動作を行う前に、しきい値設定動
作を行って、各分割領域の欠陥画素数の論理化に用いる
しきい値を自動的に設定する。このしきい値設定動作を
行う場合には、本実施形態による欠陥形状認識装置に、
サンプルの欠陥論理化画像と、このサンプル欠陥論理化
画像に発生している欠陥形状パターン毎の欠陥形状発生
数を予め測定したものとが入力される。

【００６１】図６は、本実施の形態による欠陥形状認識
装置の構成の一例を示すブロック図であり、図１と同様
の部分には同一の符号を付してその説明を省略し、ここ
では異なる部分についてのみ詳しく説明する。

【００６２】しきい値設定順序テーブル１１は、欠陥画
素数カウント部によってカウントされた各分割領域毎の
欠陥画素数を論理化するために用いられるしきい値に設
定順序を付した複数のしきい値設定順序情報を記憶して
いる。しきい値は、マッチングフィルタの各分割領域の
個々に対して独自に設定することができ、各分割領域毎
に指定される。

【００６３】このしきい値設定順序テーブル１１は、新
規のしきい値設定順序情報の記憶や既に記憶されている
しきい値設定順序情報の削除等が可能なようにプログラ
マブルとなっている。

【００６４】論理化部６ｃは、欠陥画素数カウント部５
ａによってカウントされた各分割領域毎の欠陥画素数
を、しきい値設定順序テーブルから入力したしきい値設
定順序情報を用いて論理化し、論理化パターンを作成す
る。しきい値設定順序情報の入力は、欠陥形状カウント
部１０ｃからの入力に基づいて行われる。

【００６５】欠陥形状カウント部１０ｃは、欠陥形状パ
ターン毎の欠陥形状発生数をカウントし、予め測定して
おいたサンプル欠陥論理化画像の欠陥形状発生数を基準
として、カウントした欠陥形状発生数が許容範囲に含ま
れるか否かを判断し、その結果を論理化部６ｃに出力す
る。

【００６６】図７は、本実施の形態による欠陥形状認識
装置４ｃが行うしきい値設定動作の処理概要を示す概念
図であり、各分割領域の領域サイズはｘ方向４画素×ｙ
方向４画素であり、ｘ方向３つ×ｙ方向３つの分割領域
からなるマッチングフィルタが用いられた場合を例示し
ている。

【００６７】また、欠陥形状認識装置４ｃの欠陥形状カ
ウント部１０ｃには、サンプル欠陥論理化画像に線形状
の欠陥画素群が一つ発生している旨の情報が、予め測定
しておいた欠陥形状発生数として入力されている。

【００６８】さらに、本実施の形態による欠陥形状認識
装置４ｃのしきい値設定順序テーブル１１には、例とし
て、全ての分割領域のしきい値を３とする旨を示す情報
に設定順序１を付したしきい値設定順序情報と、ｙ方向
の中央の列の分割領域のしきい値を３とし、その他の分
割領域のしきい値を８とする旨を示す情報に設定順序２
を付したしきい値設定順序情報とを記憶しているとす
る。

【００６９】まず、欠陥画素数カウント部５ａは、複数
の分割領域からなるマッチングフィルタを欠陥論理化画
像全体に亘って順次移動させる。マッチングフィルタ
が、順次移動しながら欠陥論理化画像の一部を指定する
と（ｓ５１）、各分割領域の欠陥画素数がカウントされ
る（ｓ５２）。

【００７０】次に、論理化部６ｃに、しきい値設定順序
テーブル１１に記憶されている設定順序１のしきい値設
定順序情報が入力され（ｓ５３）、論理化が行われ、各
分割領域の論理値からなる論理化パターンが得られる
（ｓ５４）。

【００７１】次に、形状認識部８によって、論理化パタ
ーンと、各欠陥形状パターンとが比較され（ｓ４）、論
理化パターンが、欠陥形状パターンのいずれかに一致し
ているか否かが判断される（ｓ５５）。

【００７２】ここでは、一致する欠陥形状パターンはな
いため、各欠陥形状発生数はカウントされず０のままで
ある。このような処理をサンプル欠陥論理化画像全体に
亘って行った後には、欠陥形状カウント部１０ｃによっ
て、カウントされた欠陥形状発生数と、予め測定してお
いた欠陥形状発生数とが比較され、カウントされた欠陥
形状発生数が許容範囲に含まれるか否かが判断される
（ｓ５６）。ここでは、欠陥形状カウント部１０ｃにお
いてカウントされた欠陥形状発生数は０のままであり、
予め測定しておいた欠陥形状発生数である線形状の欠陥
形状パターンの欠陥形状発生数は１であるため、許容範
囲に含まれないと判断され、この結果が論理化部６ｃに
出力される。

【００７３】論理化部６ｃに、欠陥形状カウント部１０
ｃから欠陥形状発生数が許容範囲に含まれていない旨の
情報が入力されると、この論理化部１０ｃに、しきい値
設定順序テーブル１１に記憶されている設定順序２のし
きい値設定順序情報が入力され（ｓ６３）、欠陥画素数
がそれぞれ論理化されて論理化パターンが得られ（ｓ６
４）、形状認識部８によって、論理化パターンと、各欠
陥形状パターンとが比較され（ｓ４）、論理化パターン
が、欠陥形状パターンのいずれかに一致しているか否か
が判断される（ｓ６５）。

【００７４】ここで、形状認識部８によって論理化パタ
ーンと、欠陥形状パターンのいずれかとが一致している
と判断された場合には、欠陥形状カウント部１０ｃによ
って、該当する欠陥形状パターンの欠陥形状発生数がカ
ウントされる。ここでは、線形状の欠陥形状パターンと
一致するため、線形状の欠陥形状発生数はカウントされ
て１となる。

【００７５】このような処理をサンプルの欠陥論理化画
像全体に亘って行った後には、欠陥形状カウント部１０
ｂによって、カウントされた欠陥形状発生数と、予め測
定しておいた欠陥形状発生数とが比較され、許容範囲に
含まれるか否かが判断される（ｓ５６）。ここでは、線
形状の欠陥形状発生数は１であり、予め測定しておいた
欠陥形状発生数である線形状の欠陥形状パターンの欠陥
形状発生数も１であるため、許容範囲に含まれると判断
され、この結果が論理化部６ｃに出力される。

【００７６】論理化部６ｃは、線形状の欠陥形状パター
ンの欠陥形状発生数が、許容範囲に含まれる旨の情報を
入力すると、その後に行われる線形状の欠陥形状認識動
作には、設定順序２のしきい値設定順序情報を用いる。

【００７７】以上のように、本実施の形態による欠陥形
状認識装置４ｃにおいては、しきい値設定順序テーブル
に記憶されているしきい値にしたがって、予め測定して
おいた各欠陥形状パターンの欠陥形状発生数を基準とし
て、カウントされた欠陥形状発生数が許容範囲に含まれ
るようにしきい値を設定するため、サンプル欠陥論理化
画像と、このサンプル欠陥論理化画像に発生している予
め測定しておいた欠陥発生数とを前もって入力するのみ
で、最適なしきい値を自動的に設定でき、欠陥形状認識
装置４ｃの操作性を向上させることができる。

【００７８】また、最適なしきい値を設定できるため、
第１の実施の形態による欠陥形状認識装置４ａと同様の
効果を一層向上させることができる。 （第４の実施の形態）本実施の形態による欠陥形状認識
装置のハードウェア構成の一例を図８に示す。

【００７９】この欠陥形状認識装置４ｄにおいては、入
力画素クロックに合わせて、欠陥論理化画像のｘ方向に
並ぶ画素が順次入力され、ｘ方向における欠陥論理化画
像の最後の画素が入力されると、ｙ方向に一つずれて再
びｘ方向に並ぶ画素が順次入力される。すなわち、本実
施の形態による欠陥形状認識装置４ｄへの欠陥論理化画
像の入力は、ｘ方向に主走査、ｙ方向に副走査して行わ
れる。

【００８０】この欠陥形状認識装置４ｄは、欠陥論理化
画像をマッチングフィルタの領域サイズの自動設定可能
な分割領域と同一サイズの領域（以下、「同一サイズ領
域」という）に区切り、この同一サイズ領域毎の欠陥画
素数をしきい値と比較して論理化し、メモリに記憶す
る。そして、マッチングフィルタの各分割領域に対応す
る同一サイズ領域の論理値を論理化パターンとして読み
出し、欠陥形状の認識を実行する。

【００８１】ｘ方向カウンタ１２は、画素の入力クロッ
クをカウントし、このカウント値をｘ方向コンパレータ
１３に出力する。また、このｘ方向カウンタ１２は、ｘ
方向コンパレータ１３から入力される信号によってクリ
アされる。

【００８２】ｘ方向コンパレータ１３は、マッチングフ
ィルタの分割領域のｘ方向の画素数を示すｘ方向サイズ
設定値を入力する。また、ｘ方向カウンタ１２から、入
力クロックのカウント値を入力し、ｘ方向サイズ設定値
と入力クロックのカウント値とが一致していればその旨
を示すｘ方向一致信号を出力する。

【００８３】ｘ方向アドレスカウンタ１４は、ｘ方向コ
ンパレータ１３から入力されるｘ方向一致信号をカウン
トし、このｘ方向一致信号のカウント数を欠陥数メモリ
１５のアドレスとして記憶する。また、このｘ方向アド
レスカウンタは、欠陥論理化画像のｘ方向の最終画素が
入力された旨を示すライン同期クロックを入力するとク
リアされる。

【００８４】欠陥数メモリ１５は、ｘ方向アドレスカウ
ンタ１４に記憶されているアドレスに、欠陥数アダー１
６からレジスタ１７を介して入力する信号を一時的に記
憶する。すなわち、欠陥数メモリ１５の各アドレスは、
ｘ方向に並ぶ同一サイズ領域に対応しており、欠陥論理
化画像の入力が進む度に、記憶される欠陥画素数が更新
される。

【００８５】欠陥数カウンタ１８は、入力した欠陥論理
化画像の欠陥画素のみをカウントし、欠陥画素のカウン
ト値を欠陥数アダー１６に出力する。また、この欠陥数
カウンタ１８は、ｘ方向コンパレータ１３から入力され
る一致信号を入力するとクリアされる。

【００８６】欠陥数アダー１６は、欠陥数カウンタ１８
から欠陥画素カウント値を入力し、また欠陥数メモリ１
５のｘ方向アドレスカウンタ１４の示すアドレスに記憶
されているカウント済みの欠陥画素カウント値を入力す
る。そして、この欠陥数メモリ１５の該当アドレスに記
憶されている欠陥画素カウント値と、欠陥数カウンタ１
８から入力した欠陥画素カウント値とを加算し、加算結
果をｘ方向一致信号と同期して、レジスタ１７を介して
欠陥数メモリ１５の該当アドレスに出力する。

【００８７】ｙ方向カウンタ１９は、欠陥論理化画像の
ｘ方向の最終画素が入力された旨を示すライン同期クロ
ックの入力数をカウントし、このカウント値をｙ方向コ
ンパレータ２０に出力する。また、このｙ方向カウンタ
１９は、ｙ方向コンパレータ２０からのｙ方向一致信号
によってクリアされる。

【００８８】ｙ方向コンパレータ２０は、ライン同期ク
ロックのカウント値と、マッチングフィルタの分割領域
のｙ方向の画素数を示すｙ方向サイズ設定値とを入力
し、ライン同期信号のカウント値と、ｙ方向サイズ設定
値とが一致すればその旨を示すｙ方向一致信号を出力す
る。

【００８９】ＡＮＤゲート２１は、ｘ方向コンパレータ
１３から入力されるｘ方向一致信号と、ｙ方向コンパレ
ータ２０から入力されるｙ方向一致信号との論理積を求
め、論理積が成り立つとその旨を示すＡＮＤ成立信号を
レジスタ１７及び欠陥数レジスタ２２に出力する。すな
わち、このＡＮＤ成立信号が出力されると、一つの同一
サイズ領域の欠陥画素数のカウントが終了したことにな
る。

【００９０】欠陥数レジスタ２２は、カウントされた同
一サイズ領域の欠陥画素値を記憶する。すなわち、この
ような各構成要素からなる欠陥画素数カウント部５ｄに
おいては、ｘ方向に並んだ同一サイズ領域の欠陥画素数
がｘ方向の順に求められ、ｘ方向に並んだ同一サイズ領
域の欠陥画素数が全て求められると、ｙ方向に一つずれ
て、再びｘ方向に並んだ同一サイズ領域の欠陥画素数が
ｘ方向の順に求められる。

【００９１】論理化コンパレータ６ｄは、しきい値を入
力し、また、欠陥数レジスタ２２に記憶されている同一
サイズ領域の欠陥画素数を入力する。そして、この論理
化コンパレータ６ｄは、しきい値と、同一サイズ領域の
欠陥画素数とを比較し、同一サイズ領域の欠陥画素数が
しきい値以上ならば論理値１を、しきい値に満たなけれ
ば論理値０を欠陥論理値メモリ群２４に出力することで
欠陥の有無を示す論理化を行う。

【００９２】欠陥論理値メモリ群２４は、マッチングフ
ィルタのｙ方向の分割領域の数と同数の欠陥論理値メモ
リ２４１〜２４ｍからなる。また、一つの欠陥論理値メ
モリ２４１〜２４ｍには、欠陥論理化画像のｘ方向に並
ぶ同一サイズ領域の論理値が一行分記憶される。

【００９３】すなわち、例えば、本実施形態による欠陥
形状認識装置４ｄのマッチングフィルタが、ｘ方向ｎ個
×ｙ方向ｍ個の分割領域からなる場合には、ｍ個の欠陥
論理値メモリ２４１〜２４ｍからなり、また、欠陥論理
化画像が、ｘ方向ｉ個×ｙ方向ｊ個の同一サイズ領域に
分割されている場合には、一つの欠陥論理値メモリ２４
１〜２４ｍには、ｉ個の同一サイズ領域の論理値が記憶
される。

【００９４】論理化コンパレータ６ｄから出力された論
理値は、欠陥論理値メモリ２４１に入力される。また、
欠陥論理値メモリ２４１にｉ個の論理値、すなわち、欠
陥論理値メモリ２４１に欠陥論理化画像のｘ方向に並ぶ
同一サイズ領域の一行分の論理値が入力されると、欠陥
論理値メモリ２４１から欠陥論理値メモリ２４ｍ−１の
記憶内容は、それぞれ欠陥論理値メモリ２４２から欠陥
論理値メモリ２４ｍへシフトされる。

【００９５】形状認識部８ｄは、欠陥形状パターンを記
憶しており、欠陥論理値メモリ２４１〜２４ｍから、そ
れぞれマッチングフィルタのｘ方向の分割領域の数であ
るｎ個の論理値を同期させて順次入力し、この入力した
同一サイズ領域の論理値を、マッチングフィルタの分割
領域における論理値とする。

【００９６】そして、この形状認識部８ｄは、欠陥形状
パターンと、マッチングフィルタの分割領域の論理値か
らなる論理化パターンとを比較し、一致する場合には、
形状一致信号を出力する。

【００９７】欠陥形状カウンタ１０ｄは、形状認識部８
ｄから出力された形状一致信号の数をカウントする。以
上のような構成を持つ欠陥形状認識装置４ｄの動作概念
について説明する。

【００９８】この欠陥形状認識装置４ｄにおいては、ま
ず欠陥画素数カウント部５ｄによって、ｘ方向に並ぶ同
一サイズ領域の欠陥画素数が順次出力され、一行分出力
されると、ｙ方向に一つずれて同様にｘ方向に並ぶ同一
サイズ領域の欠陥画素数が順次出力される。

【００９９】この欠陥画素数カウント部５ｄによってカ
ウントされた各同一サイズ領域の欠陥画素数は、論理化
コンパレータ６ｄによって論理化され、欠陥論理値メモ
リ群２４に出力される。

【０１００】次に、形状認識部８ｄによって、欠陥論理
値メモリ群２４に記憶された同一サイズ領域の論理値が
入力され、この入力された論理値をマッチングフィルタ
の分割領域の論理値とし、欠陥形状パターンと、マッチ
ングフィルタの分割領域の論理値からなる論理化パター
ンとの比較が行われ、一致する場合には、形状一致信号
が出力される。

【０１０１】そして、形状一致信号の出力回数が、欠陥
形状カウンタ１０ｄによってカウントされ、欠陥形状発
生数が求められる。以上のように、本実施の形態による
欠陥形状認識装置４ｄにおいては、入力されるｘ方向サ
イズ設定値及びｙ方向サイズ設定値を変更することによ
ってマッチングフィルタの分割領域の領域サイズを任意
に設定可能とすることができる。

【０１０２】ゆえに、第１の実施の形態による欠陥形状
認識装置と同様な効果を得ることができる。 （第５の実施の形態）本実施の形態による欠陥形状認識
装置は、第４の実施の形態による欠陥形状認識装置４ｄ
に、ｘ方向サイズ設定値及びｙ方向サイズ設定値を自動
的に設定する機能を付加したものである。

【０１０３】図９は、本実施の形態による欠陥形状認識
装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図であ
り、図３及び図８と同一の部分には同一の符号を付して
その説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ詳
しく説明する。

【０１０４】本実施の形態による欠陥形状認識装置４ｅ
は、第４の実施形態による欠陥形状認識装置４ｄと、分
割領域サイズ制御部２５とから構成される。分割領域サ
イズ設定動作を行う場合には、欠陥形状認識装置４ｄに
サンプル欠陥論理化画像が入力され、分割領域サイズ制
御部２５に予め測定しておいた欠陥形状パターンの欠陥
形状発生数が入力される。

【０１０５】分割領域サイズ制御部２５は、内部にサイ
ズ設定順序テーブル９を備えており、欠陥形状認識装置
４ｄによってカウントされた欠陥形状発生数が、予め測
定しておいた欠陥形状発生数に満たない場合には、この
サイズ設定順序テーブル９にしたがって、ｘ方向サイズ
設定値及びｙ方向サイズ設定値を欠陥形状認識装置４ｄ
に出力する。

【０１０６】この本実施形態による欠陥形状認識装置４
ｅを複数備えることによって、それぞれの欠陥形状認識
装置４ｅでそれぞれ異なる欠陥形状の認識を行うことが
でき、各認識におおいて分割領域の領域サイズを最適に
自動設定することができる。

【０１０７】ゆえに、第２の実施の形態による欠陥形状
認識装置と同様の効果を得ることができる。 （第６の実施の形態）本実施の形態による欠陥形状認識
装置は、論理化する場合に用いるしきい値を自動設定す
る機能を付加したものである。

【０１０８】図１０は、本実施の形態による欠陥形状認
識装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図であ
り、図６及び図８と同一の部分には同一の符号を付して
その説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ詳
しく説明する。

【０１０９】本実施の形態による欠陥形状認識装置４ｆ
においては、しきい値設定動作を行う場合には、欠陥画
素数カウント部５ｄにサンプル欠陥論理化画像が入力さ
れ、欠陥形状カウンタ１０ｄに予め測定しておいた欠陥
形状パターンの欠陥形状発生数が入力される。

【０１１０】欠陥画素数メモリ群２６は、例えば、本実
施形態による欠陥形状認識装置４ｆのマッチングフィル
タが、ｘ方向ｎ個×ｙ方向ｍ個の分割領域からなる場合
には、ｍ個の欠陥画素数メモリ２６１〜２６ｍからな
る。

【０１１１】この欠陥画素数メモリ群２６及び欠陥画素
数メモリ２６１〜２６ｍは、記憶する対象の値が、各同
一サイズ領域の論理値ではなく各同一サイズ領域の欠陥
画素数である点のみが、欠陥論理値メモリ群２４及び欠
陥論理値メモリ２４１〜２４ｍと異なり、他の機能は同
様であるためここでは説明を省略する。

【０１１２】論理化部６ｆは、内部にしきい値設定順序
テーブル１１を備えており、欠陥形状カウンタ１０ｆか
らの入力にしたがって、しきい値を変更する。この論理
化部６ｆは、欠陥画素数メモリ群２６に記憶されている
各同一サイズ領域の欠陥画素数をそれぞれ個別のしきい
値によって論理化して形状認識部８ｆに出力する。

【０１１３】形状認識部８ｆは、欠陥形状パターンを記
憶しており、欠陥画素数メモリ２６１〜２６ｍから、そ
れぞれマッチングフィルタのｘ方向の分割領域の数であ
るｎ個の論理値を同期させて、論理化部６ｆを介して順
次入力し、この入力した同一サイズ領域の論理値を、マ
ッチングフィルタの分割領域における論理値とする。

【０１１４】そして、この形状認識部８ｆは、欠陥形状
パターンと、マッチングフィルタの分割領域の論理値か
らなる論理化パターンとを比較し、一致する場合には、
形状一致信号を出力する。

【０１１５】欠陥形状カウンタ１０ｆは、形状認識部８
ｆから出力された形状一致信号の数をカウントする。ま
た、この欠陥形状カウンタ１０ｆは、カウントした欠陥
形状発生数が、予め測定しておいた欠陥形状発生数に満
たない場合には、その旨を示す情報を論理化部６ｆに出
力する。

【０１１６】以上のような構成を持つ欠陥形状認識装置
４ｆが行うしきい値設定動作について説明する。この欠
陥形状認識装置４ｆにおいては、まずこの欠陥画素数カ
ウント部５ｄによってカウントされた各同一サイズ領域
の欠陥画素数が、欠陥画素数メモリ群２６に出力され
る。

【０１１７】次に、形状認識部８ｆは、欠陥論理値メモ
リ群２６に記憶された同一サイズ領域の欠陥画素数を論
理化部６ｆを介して入力し、この入力した論理値をマッ
チングフィルタの分割領域の論理値とし、欠陥形状パタ
ーンと、マッチングフィルタの分割領域の論理値からな
る論理化パターンとの比較が行われ、一致する場合には
形状一致信号を出力する。

【０１１８】そして、欠陥形状カウンタ１０ｆによっ
て、形状認識部８ｆから出力された形状一致信号の数が
カウントされ、カウントされた欠陥形状発生数が、予め
測定しておいた欠陥形状発生数に満たない場合には、そ
の旨を示す情報が論理化部６ｆに出力される。

【０１１９】論理化部６ｆに、カウントした欠陥形状発
生数が、予め測定しておいた欠陥形状発生数に満たない
旨が入力されると、この論理化部６ｆは、しきい値設定
順序テーブル１１にしたがって、しきい値を設定し直
し、以下カウントした欠陥形状発生数が、予め測定して
おいた欠陥形状発生数以上になるまで、同様の処理が繰
り返される。

【０１２０】この本実施形態による欠陥形状認識装置４
ｆを複数備えることによって、それぞれの欠陥形状認識
装置４ｆでそれぞれ異なる欠陥形状の認識を行うことが
でき、各認識において論理化に用いるしきい値を最適に
自動設定することができる。ゆえに、第３の実施の形態
による欠陥形状認識装置と同様の効果を得ることができ
る。

【０１２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
マッチングフィルタ手段の分割領域の領域サイズを任意
に設定可能としたので、測定対象の画像の解像度を変え
たり、ハードウェア回路の構成を変えることなく、分割
領域のサイズを要求される欠陥形状の認識に自在に対応
させることができる。

【０１２２】また、欠陥形状パターンを変えなくても、
認識を要求される欠陥形状を認識することができる。さ
らに、欠陥形状に対して、柔軟に対応した認識を実行す
ることができ、欠陥の大小による影響を受けることがな
いため、欠陥形状の認識精度の低下、欠陥の種類の判定
一致率等の低下を防ぐことができる。

【０１２３】ゆえに、欠陥の種類や欠陥の程度を最終的
に判定する欠陥検査を正常に実行することができる。ま
た、別の発明によれば、上記の発明において、サイズ設
定順序テーブルに記憶されているサイズ設定順序情報に
したがって、最適な分割領域の領域サイズを自動設定可
能としたため、欠陥形状認識装置の操作性を向上させる
ことができ、さらに、上記の発明と同様の効果を一層向
上させることができる。

【０１２４】また、マッチングフィルタの分割領域の領
域サイズが自動設定されるため、特に一方の方向に延び
た欠陥形状の認識を良好に行うことができる。さらに、
別の発明によれば、しきい値設定順序テーブルに記憶さ
れているしきい値設定順序情報にしたがって、最適なし
きい値が自動設定されるため、欠陥形状認識装置の操作
性を向上させることができ、さらに、上記の発明の欠陥
形状認識装置と同様の効果を一層向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１の実施の形態による欠陥形状
認識装置の構成の一例を示すブロック図。

【図２】同実施形態による欠陥形状認識装置による欠陥
形状認識動作の処理概要を示す概念図。

【図３】本発明に係る第２の実施の形態による欠陥形状
認識装置の構成の一例を示すブロック図。

【図４】同実施の形態による欠陥形状認識装置が行う分
割領域サイズ設定動作の処理概要を示す概念図。

【図５】分割領域サイズ設定動作により良好に認識が行
える欠陥形状の一例を示す図。

【図６】本発明に係る第３の実施の形態による欠陥形状
認識装置の構成の一例を示すブロック図。

【図７】同実施の形態による欠陥形状認識装置４ｃが行
うしきい値設定動作の処理概要を示す概念図。

【図８】本発明に係る第４の実施の形態による欠陥形状
認識装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図。

【図９】本発明に係る第５の実施の形態による欠陥形状
認識装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図。

【図１０】本発明に係る第６の実施の形態による欠陥形
状認識装置のハードウェア構成の一例を示すブロック
図。

【符号の説明】 １ａ、１ｂ…欠陥論理化画像 ２ａ…マッチングフィルタ ３ａ…分割領域 ４ａ〜４ｆ…欠陥形状認識装置 ５ａ、５ｂ、５ｄ…欠陥画素数カウント部 ６ａ、６ｃ、６ｆ…論理化部 ６ｄ…論理化コンパレータ ７…欠陥形状パターン・リファレンス・テーブル ８、８ｄ…形状認識部 ９…サイズ設定順序テーブル １０ｂ、１０ｃ…欠陥形状カウント部 １０ｄ、１０ｆ…欠陥形状カウンタ １１…しきい値設定順序テーブル １２…ｘ方向カウンタ １３…ｘ方向コンパレータ １４…ｘ方向アドレスカウンタ １５…欠陥数メモリ １６…欠陥数アダー １７…レジスタ １８…欠陥数カウンタ １９…ｙ方向カウンタ ２０…ｙ方向コンパレータ ２１…ＡＮＤゲート ２２…欠陥数レジスタ ２４…欠陥論理値メモリ群 ２５…分割領域サイズ制御部 ２６…欠陥画素数メモリ群

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定対象物の画像に存在する欠陥の形状
   を認識する欠陥形状認識装置において、 複数の分割領域からなり、この分割領域の領域サイズを
   任意に設定可能なマッチングフィルタ手段と、 このマッチングフィルタ手段における前記各分割領域内
   に存在する欠陥画素数をカウントする欠陥画素数カウン
   ト手段と、 前記欠陥画素数カウント手段によってカウントされた各
   分割領域毎の欠陥画素数をしきい値と比較して各分割領
   域を論理化し、当該各分割領域の論理値からなる論理化
   パターンを得る論理化手段と、 前記論理化手段によって得られた論理化パターンと、欠
   陥形状の認識のために予め定められている少なくとも一
   つの欠陥形状パターンとを比較し、前記論理化パターン
   が前記欠陥形状パターンのいずれかと一致する場合に
   は、一致する欠陥形状パターンに対応する欠陥形状が存
   在すると認識する形状認識手段とを具備したことを特徴
   とする欠陥形状認識装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の欠陥形状認識装置におい
   て、 前記分割領域の領域サイズを示す情報に設定順序を付し
   た複数のサイズ設定順序情報を記憶するサイズ設定順序
   テーブルと、 前記形状認識手段によって前記論理化パターンと前記欠
   陥形状パターンのいずれかとが一致すると判断された回
   数を前記各欠陥形状パターン毎にカウントし、予め測定
   しておいた前記各欠陥形状パターンに対応する欠陥形状
   の数を基準として、前記カウントした欠陥形状パターン
   毎の一致回数が許容範囲に含まれない場合に、前記サイ
   ズ設定順序テーブルに記憶されている新規の前記サイズ
   設定順序情報に基づいて、前記欠陥形状毎にマッチング
   フィルタ手段の分割領域の領域サイズを自動設定する分
   割領域設定手段とを付加したことを特徴とする欠陥形状
   認識装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載の欠陥形状認識装置におい
   て、 前記論理化手段において用いられるしきい値に関する情
   報に設定順序を付した複数のしきい値設定順序情報を記
   憶するしきい値設定順序テーブルと、 前記形状認識手段によって前記論理化パターンと前記欠
   陥形状パターンのいずれかとが一致すると判断された回
   数を前記各欠陥形状パターン毎にカウントし、予め測定
   しておいた前記各欠陥形状パターンに対応する欠陥形状
   の数を基準として、前記カウントした欠陥形状パターン
   毎の一致回数が許容範囲に含まれない場合に、前記しき
   い値設定順序テーブルに記憶されている新規の前記しき
   い値設定順序情報に基づいて、前記欠陥形状毎に前記し
   きい値を自動設定する分割領域設定手段とを付加したこ
   とを特徴とする欠陥形状認識装置。