JPH10315049A - 砥粒付ソーワイヤの製造方法 - Google Patents
砥粒付ソーワイヤの製造方法Info
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- JPH10315049A JPH10315049A JP13199997A JP13199997A JPH10315049A JP H10315049 A JPH10315049 A JP H10315049A JP 13199997 A JP13199997 A JP 13199997A JP 13199997 A JP13199997 A JP 13199997A JP H10315049 A JPH10315049 A JP H10315049A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D61/00—Tools for sawing machines or sawing devices; Clamping devices for these tools
- B23D61/18—Sawing tools of special type, e.g. wire saw strands, saw blades or saw wire equipped with diamonds or other abrasive particles in selected individual positions
- B23D61/185—Saw wires; Saw cables; Twisted saw strips
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D65/00—Making tools for sawing machines or sawing devices for use in cutting any kind of material
Abstract
(57)【要約】
【課題】長時間にわたって長尺の砥粒付ソーワイヤを製
造することができ、偏肉状態のない高品質の砥粒付ソー
ワイヤの製造方法を提供すること。 【解決手段】塗布ダイス２０のダイスボディー３３の内
周に所定長にわたって超硬質材からなるダイスチップ部
３４をフラットに設け、プーリ２７，２５および駆動力
伝達ベルト２８を介して心線方向を軸として塗布ダイス
２０を回転させながら心線４１に塗料４２を塗布する。
造することができ、偏肉状態のない高品質の砥粒付ソー
ワイヤの製造方法を提供すること。 【解決手段】塗布ダイス２０のダイスボディー３３の内
周に所定長にわたって超硬質材からなるダイスチップ部
３４をフラットに設け、プーリ２７，２５および駆動力
伝達ベルト２８を介して心線方向を軸として塗布ダイス
２０を回転させながら心線４１に塗料４２を塗布する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、砥粒付ソーワイヤ
の製造方法に関し、特に、長時間にわたって長尺の砥粒
付ソーワイヤを製造することができ、偏肉状態のない高
品質の砥粒付ソーワイヤの製造方法に関するものであ
る。
の製造方法に関し、特に、長時間にわたって長尺の砥粒
付ソーワイヤを製造することができ、偏肉状態のない高
品質の砥粒付ソーワイヤの製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、シリコンウェーハでは大口径化が
進んでおり、同時に多数枚のウエハースライスが可能で
あり高スルートップが期待できることから、遊離砥粒方
式によるワイヤソーを用いたウエハースライスが広く行
われている。また、その改良のために、砥粒をワイヤに
固着させたことを特徴とする砥粒付ソーワイヤも利用さ
れている。
進んでおり、同時に多数枚のウエハースライスが可能で
あり高スルートップが期待できることから、遊離砥粒方
式によるワイヤソーを用いたウエハースライスが広く行
われている。また、その改良のために、砥粒をワイヤに
固着させたことを特徴とする砥粒付ソーワイヤも利用さ
れている。
【０００３】図４は、この砥粒付ソーワイヤの断面を示
す。図に示すように、この砥粒付ソーワイヤ４０は、高
抗張力を有する金属線、例えば、黄銅メッキピアノ線，
特殊合金鋼線，超高強度合金線あるいはアモルファス合
金線等、または、高抗張力を有する非金属繊維、例え
ば、炭素繊維あるいはアラミド繊維等からなる心線４１
と、心線４１の外周に塗布された塗料４２とから構成さ
れている。ここで、塗料４２は、金属以外の材料、例え
ば、ポリアミドイミド樹脂等の有機材料あるいはガラス
等の無機材料等からなるバインダ４２Ａと、バインダ４
２Ａ内に分散された砥粒４２Ｂとからなる。砥粒４２Ｂ
の材質としては、一般的には、ＧＣ砥粒，アルミナある
いは炭化珪素等が用いられている。
す。図に示すように、この砥粒付ソーワイヤ４０は、高
抗張力を有する金属線、例えば、黄銅メッキピアノ線，
特殊合金鋼線，超高強度合金線あるいはアモルファス合
金線等、または、高抗張力を有する非金属繊維、例え
ば、炭素繊維あるいはアラミド繊維等からなる心線４１
と、心線４１の外周に塗布された塗料４２とから構成さ
れている。ここで、塗料４２は、金属以外の材料、例え
ば、ポリアミドイミド樹脂等の有機材料あるいはガラス
等の無機材料等からなるバインダ４２Ａと、バインダ４
２Ａ内に分散された砥粒４２Ｂとからなる。砥粒４２Ｂ
の材質としては、一般的には、ＧＣ砥粒，アルミナある
いは炭化珪素等が用いられている。
【０００４】図５は、従来の砥粒付ソーワイヤの製造装
置を示す。図に示すように、この砥粒付ソーワイヤの製
造装置は、固定台（図示せず）により固定された塗布ダ
イス５０と、塗布ダイス５０に充填されるバインダ４２
Ａと砥粒４２Ｂとが混練された塗料４２とからなる。
置を示す。図に示すように、この砥粒付ソーワイヤの製
造装置は、固定台（図示せず）により固定された塗布ダ
イス５０と、塗布ダイス５０に充填されるバインダ４２
Ａと砥粒４２Ｂとが混練された塗料４２とからなる。
【０００５】この製造装置を用いて砥粒付ソーワイヤ４
０を製造するには、まず、心線送出装置（図示せず）か
ら送出された心線４１を、塗料４２が充填された塗布ダ
イス５０に挿通し、心線４１にバインダ４２Ａと砥粒４
２Ｂが混練された塗料４２をダイスチップ部５１の内径
に基づく厚さで塗布し、焼付装置（図示せず）によって
焼き付けることにより行う。
０を製造するには、まず、心線送出装置（図示せず）か
ら送出された心線４１を、塗料４２が充填された塗布ダ
イス５０に挿通し、心線４１にバインダ４２Ａと砥粒４
２Ｂが混練された塗料４２をダイスチップ部５１の内径
に基づく厚さで塗布し、焼付装置（図示せず）によって
焼き付けることにより行う。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
砥粒付ソーワイヤの製造方法によれば、以下に述べるよ
うな問題がある。 （１）砥粒が本来研磨剤であるため、心線と塗布ダイス
に僅かな心ズレがあった場合、塗布ダイスの一部分、特
に、ダイスチップ部を削ってしまい、塗布ダイスの局部
磨耗が激しくなって長時間にわたっての作業ができない
という問題がある。その結果、長尺の砥粒付ソーワイヤ
を製造することができないという問題も生じる。 （２）また、心線と塗布ダイスを真に同心に合わせよう
としても心線の振動や雰囲気気流による心線ブレを皆無
にすることができないので、塗布膜厚に偏りが生じて偏
肉状態となり、砥粒付ソーワイヤの品質の低下が避けら
れないという問題がある。
砥粒付ソーワイヤの製造方法によれば、以下に述べるよ
うな問題がある。 （１）砥粒が本来研磨剤であるため、心線と塗布ダイス
に僅かな心ズレがあった場合、塗布ダイスの一部分、特
に、ダイスチップ部を削ってしまい、塗布ダイスの局部
磨耗が激しくなって長時間にわたっての作業ができない
という問題がある。その結果、長尺の砥粒付ソーワイヤ
を製造することができないという問題も生じる。 （２）また、心線と塗布ダイスを真に同心に合わせよう
としても心線の振動や雰囲気気流による心線ブレを皆無
にすることができないので、塗布膜厚に偏りが生じて偏
肉状態となり、砥粒付ソーワイヤの品質の低下が避けら
れないという問題がある。
【０００７】
【発明の目的】従って、本発明の目的は、長時間にわた
って長尺の砥粒付ソーワイヤを製造することができ、偏
肉状態のない高品質の砥粒付ソーワイヤの製造方法を提
供することにある。
って長尺の砥粒付ソーワイヤを製造することができ、偏
肉状態のない高品質の砥粒付ソーワイヤの製造方法を提
供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、有機，無機材料等のバインダと砥粒を混
練した塗料を充填した塗布ダイスに心線を挿通して前記
心線の表面に前記塗料を塗布し焼付固着して前記砥粒付
のソーワイヤを製造する砥粒付ソーワイヤの製造方法に
おいて、前記塗布ダイスを前記心線を中心に回転させな
がら前記塗料を前記心線に塗布することを特徴とする砥
粒付ソーワイヤの製造方法を提供するものである。
成するために、有機，無機材料等のバインダと砥粒を混
練した塗料を充填した塗布ダイスに心線を挿通して前記
心線の表面に前記塗料を塗布し焼付固着して前記砥粒付
のソーワイヤを製造する砥粒付ソーワイヤの製造方法に
おいて、前記塗布ダイスを前記心線を中心に回転させな
がら前記塗料を前記心線に塗布することを特徴とする砥
粒付ソーワイヤの製造方法を提供するものである。
【０００９】以上の構成において、前記塗布ダイスは、
ダイヤモンド，焼結ダイヤモンド等の超硬質材料で構成
される所定長のダイスチップ部を有することが望まし
い。また、前記塗布ダイスは、２段以上に設けられるこ
とが望ましい。更に、前記塗布ダイスは、それぞれの回
転方向を交互に反転させることが望ましい。
ダイヤモンド，焼結ダイヤモンド等の超硬質材料で構成
される所定長のダイスチップ部を有することが望まし
い。また、前記塗布ダイスは、２段以上に設けられるこ
とが望ましい。更に、前記塗布ダイスは、それぞれの回
転方向を交互に反転させることが望ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら、
本発明の実施の形態を詳細に説明する。
本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１１】図１は、本発明の砥粒付ソーワイヤの製造
方法が適用される砥粒付ソーワイヤの製造装置を示す。
図に示すように、この砥粒付ソーワイヤの製造装置は、
心線４１を送出する心線送出装置１０と、心線送出装置
１０から送出されダンサーロール１０Ａによって張力を
調節された心線４１を洗浄する心線洗浄装置１１と、心
線洗浄装置４２で洗浄した心線４１を乾燥する乾燥装置
１２と、乾燥装置１２で乾燥した心線４１にバインダ４
２Ａと砥粒４２Ｂを混練した塗料４２を循環して供給す
る塗料循環供給装置１３と、塗料循環供給装置１３によ
って供給された塗料４２を心線４１に塗布する回転ダイ
ス塗布装置１４と、回転ダイス塗布装置１４によって塗
料４２が塗布された砥粒付ソーワイヤ４０を焼き付ける
焼付装置１５と、焼付装置１５によって焼き付け固着さ
れた砥粒付ソーワイヤ４０を巻き取る巻取装置１６とか
ら構成される。
方法が適用される砥粒付ソーワイヤの製造装置を示す。
図に示すように、この砥粒付ソーワイヤの製造装置は、
心線４１を送出する心線送出装置１０と、心線送出装置
１０から送出されダンサーロール１０Ａによって張力を
調節された心線４１を洗浄する心線洗浄装置１１と、心
線洗浄装置４２で洗浄した心線４１を乾燥する乾燥装置
１２と、乾燥装置１２で乾燥した心線４１にバインダ４
２Ａと砥粒４２Ｂを混練した塗料４２を循環して供給す
る塗料循環供給装置１３と、塗料循環供給装置１３によ
って供給された塗料４２を心線４１に塗布する回転ダイ
ス塗布装置１４と、回転ダイス塗布装置１４によって塗
料４２が塗布された砥粒付ソーワイヤ４０を焼き付ける
焼付装置１５と、焼付装置１５によって焼き付け固着さ
れた砥粒付ソーワイヤ４０を巻き取る巻取装置１６とか
ら構成される。
【００１２】図２は、回転ダイス塗布装置１４の詳細な
構成を示す。図に示すように、回転ダイス塗布装置１４
は、塗料４２が塗布された心線４１をしごいて所定の径
にする塗布ダイス２０と、塗布ダイス２０を保持するダ
イアダプタ２１と、ダイアダプタ２１を介して塗布ダイ
ス２０を固定するシャフト２２と、ダイアダプタ２１と
シャフト２２を覆うカバー２２Ａと、シャフト２２の外
周に設けられたベアリング２３と、ベアリング２３を介
してシャフト２２の回転を可能にするハウジング２４
と、シャフト２２の一端に回転自在に固定されたプーリ
２５と、回転数が線速等に応じて変えられるように任意
に設定できるモータ２６と、モータ２６の出力軸に固定
されたプーリ２７と、モータ２６の駆動力をプーリ２７
とプーリ２５を介してシャフト２２に伝達する駆動力伝
達ベルト２８とから構成されている。
構成を示す。図に示すように、回転ダイス塗布装置１４
は、塗料４２が塗布された心線４１をしごいて所定の径
にする塗布ダイス２０と、塗布ダイス２０を保持するダ
イアダプタ２１と、ダイアダプタ２１を介して塗布ダイ
ス２０を固定するシャフト２２と、ダイアダプタ２１と
シャフト２２を覆うカバー２２Ａと、シャフト２２の外
周に設けられたベアリング２３と、ベアリング２３を介
してシャフト２２の回転を可能にするハウジング２４
と、シャフト２２の一端に回転自在に固定されたプーリ
２５と、回転数が線速等に応じて変えられるように任意
に設定できるモータ２６と、モータ２６の出力軸に固定
されたプーリ２７と、モータ２６の駆動力をプーリ２７
とプーリ２５を介してシャフト２２に伝達する駆動力伝
達ベルト２８とから構成されている。
【００１３】なお、以上のように構成される回転ダイス
塗布装置１４は、一枚のプレート３０に設けられてお
り、このプレート３０はブラケット３１に載置固定さ
れ、ブラケット３１は所定の高さを有するスタンド３２
に固定されている。
塗布装置１４は、一枚のプレート３０に設けられてお
り、このプレート３０はブラケット３１に載置固定さ
れ、ブラケット３１は所定の高さを有するスタンド３２
に固定されている。
【００１４】図３は、塗布ダイス２０の内部構造および
この塗布ダイス２０によって心線４１に塗料４２を塗布
する状態を示す。図に示すように、塗布ダイス２０のダ
イスボディー３３の内周にはダイスチップ部３４が設け
られている。このダイスチップ部３４には、ダイヤモン
ドあるいは焼結ダイヤモンド等の超硬質材が用いられて
おり、所定長のフラット部３４Ａを有する。このフラッ
ト部３４Ａの長さＬは、ダイスチップ部３４の内径をｄ
としたとき、Ｌ＝（０．５〜１２）ｄの範囲で設定され
るのが望ましい。この塗布ダイス２０には、前述した塗
料循環供給装置１３によって塗料４２が充填されてお
り、この塗布ダイス２０のダイスチップ部３４に心線４
１を挿通し、心線４１の心線方向を中心として塗布ダイ
ス２０を回転させながら塗料４２を塗布する。
この塗布ダイス２０によって心線４１に塗料４２を塗布
する状態を示す。図に示すように、塗布ダイス２０のダ
イスボディー３３の内周にはダイスチップ部３４が設け
られている。このダイスチップ部３４には、ダイヤモン
ドあるいは焼結ダイヤモンド等の超硬質材が用いられて
おり、所定長のフラット部３４Ａを有する。このフラッ
ト部３４Ａの長さＬは、ダイスチップ部３４の内径をｄ
としたとき、Ｌ＝（０．５〜１２）ｄの範囲で設定され
るのが望ましい。この塗布ダイス２０には、前述した塗
料循環供給装置１３によって塗料４２が充填されてお
り、この塗布ダイス２０のダイスチップ部３４に心線４
１を挿通し、心線４１の心線方向を中心として塗布ダイ
ス２０を回転させながら塗料４２を塗布する。
【００１５】以下、本発明の実施の形態に係る砥粒付ソ
ーワイヤの製造方法を図１〜図３を参照しながら説明す
る。
ーワイヤの製造方法を図１〜図３を参照しながら説明す
る。
【００１６】まず、心線４１を心線送出装置１０から送
出し、この送出された心線４１を心線洗浄装置１１で洗
浄し、洗浄した心線４１を乾燥装置１２で乾燥させ、乾
燥した心線４１を塗料循環供給装置１３によって塗料４
２が充填された回転ダイス塗布装置１４の塗布ダイス２
０に挿通する。
出し、この送出された心線４１を心線洗浄装置１１で洗
浄し、洗浄した心線４１を乾燥装置１２で乾燥させ、乾
燥した心線４１を塗料循環供給装置１３によって塗料４
２が充填された回転ダイス塗布装置１４の塗布ダイス２
０に挿通する。
【００１７】このとき、モータ２６は駆動しており、プ
ーリ２７，２５および駆動力伝達ベルト２８を介して心
線方向を軸として塗布ダイス２０を回転させながら心線
４１に塗料４２を塗布する。ここで、心線４１と塗布ダ
イス２０に僅かな心ズレがあった場合でも、砥粒４２Ｂ
が固着された心線４１が塗布ダイス２０のダイスボディ
ー３３の内周に所定長にわたってフラットに設けられた
ダイスチップ部３４に接触するが、ダイスチップ部の材
質であるダイヤモンドあるいは焼結ダイヤモンド等は超
硬質材であるため、砥粒４２ｂの接触によって塗布ダイ
ス２０のダイスチップ部３４が削られるということは少
ない。また、塗布ダイス２０自体を回転させるようにし
たので、心線４１の振動や雰囲気気流による心線ブレに
よる塗布膜厚の偏肉状態がなくなる。なお、塗布ダイス
２０の回転方向は特に限定されるものではなく左右どち
らの方向でも良い。
ーリ２７，２５および駆動力伝達ベルト２８を介して心
線方向を軸として塗布ダイス２０を回転させながら心線
４１に塗料４２を塗布する。ここで、心線４１と塗布ダ
イス２０に僅かな心ズレがあった場合でも、砥粒４２Ｂ
が固着された心線４１が塗布ダイス２０のダイスボディ
ー３３の内周に所定長にわたってフラットに設けられた
ダイスチップ部３４に接触するが、ダイスチップ部の材
質であるダイヤモンドあるいは焼結ダイヤモンド等は超
硬質材であるため、砥粒４２ｂの接触によって塗布ダイ
ス２０のダイスチップ部３４が削られるということは少
ない。また、塗布ダイス２０自体を回転させるようにし
たので、心線４１の振動や雰囲気気流による心線ブレに
よる塗布膜厚の偏肉状態がなくなる。なお、塗布ダイス
２０の回転方向は特に限定されるものではなく左右どち
らの方向でも良い。
【００１８】そして、塗布ダイス２０の回転によって塗
料４２が均一に塗布された心線４１を焼付装置１５によ
って焼き付けて砥粒付ソーワイヤ４０とし、巻取装置１
６によって砥粒付ソーワイヤ４０を巻き取る。以上によ
り、砥粒付ソーワイヤの製造が完了する。
料４２が均一に塗布された心線４１を焼付装置１５によ
って焼き付けて砥粒付ソーワイヤ４０とし、巻取装置１
６によって砥粒付ソーワイヤ４０を巻き取る。以上によ
り、砥粒付ソーワイヤの製造が完了する。
【００１９】なお、参考例として、サファイヤで成形さ
れた塗布ダイスを回転させながら砥粒付ソーワイヤを製
造した。しかし、砥粒がＳｉＣで粒径が４〜１２μｍ
（平均粒径７〜８μｍ）のものを使用したとき、心線径
０．１６ｍｍのものを約５０ｋｍ製造したときに塗布ダ
イスに磨耗が発生し、それ以上の作業ができなかった。
本発明では、ダイスチップをダイヤモンドとすることに
よって、サファイヤダイスでは５０ｋｍ前後で磨耗が大
となりで作業不可となったものが、１４０ｋｍ製造後も
全く異常がなく、長時間にわたって長尺の砥粒付ソーワ
イヤを製造することができた。
れた塗布ダイスを回転させながら砥粒付ソーワイヤを製
造した。しかし、砥粒がＳｉＣで粒径が４〜１２μｍ
（平均粒径７〜８μｍ）のものを使用したとき、心線径
０．１６ｍｍのものを約５０ｋｍ製造したときに塗布ダ
イスに磨耗が発生し、それ以上の作業ができなかった。
本発明では、ダイスチップをダイヤモンドとすることに
よって、サファイヤダイスでは５０ｋｍ前後で磨耗が大
となりで作業不可となったものが、１４０ｋｍ製造後も
全く異常がなく、長時間にわたって長尺の砥粒付ソーワ
イヤを製造することができた。
【００２０】以上の実施の形態においては、塗布ダイス
が１個の場合を示したが、これに限られるものではな
い。例えば、心線径が極端に細径となった場合や、その
他の作業条件によっては、心線に捩れの発生する場合が
あるが、この場合には、塗布ダイスを２段以上設置して
各々の塗布ダイスを交互に異なる方向に回転させればよ
い。また、心線に塗料を多層に塗布する場合には、循環
塗料供給装置を二重に設置するか、または、塗布ダイス
を二重に設置しても良い。
が１個の場合を示したが、これに限られるものではな
い。例えば、心線径が極端に細径となった場合や、その
他の作業条件によっては、心線に捩れの発生する場合が
あるが、この場合には、塗布ダイスを２段以上設置して
各々の塗布ダイスを交互に異なる方向に回転させればよ
い。また、心線に塗料を多層に塗布する場合には、循環
塗料供給装置を二重に設置するか、または、塗布ダイス
を二重に設置しても良い。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の砥粒付ソー
ワイヤの製造方法によれば、塗布ダイスを心線を中心に
回転させながら塗料を心線に塗布するようにしたので、
長時間にわたって長尺の砥粒付ソーワイヤを製造するこ
とができ、偏肉状態のない高品質の砥粒付ソーワイヤを
製造することができる。
ワイヤの製造方法によれば、塗布ダイスを心線を中心に
回転させながら塗料を心線に塗布するようにしたので、
長時間にわたって長尺の砥粒付ソーワイヤを製造するこ
とができ、偏肉状態のない高品質の砥粒付ソーワイヤを
製造することができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る砥粒付ソーワイヤの
製造方法が適用される砥粒付ソーワイヤの製造装置の全
体図である。
製造方法が適用される砥粒付ソーワイヤの製造装置の全
体図である。
【図２】回転ダイス塗布装置の詳細な構成を示す図であ
る。
る。
【図３】塗布ダイスの内部構造を示す図である。
【図４】砥粒付ソーワイヤの断面を示す。
【図５】従来の砥粒付ソーワイヤの製造方法を示す図で
ある。
ある。
１０ 心線送出装置 １０Ａ ダンサーロール １１ 心線洗浄装置 １２ 乾燥装置 １３ 塗料循環供給装置 １４ 回転ダイス塗布装置 １５ 焼付装置 １６ 巻取装置 ２０ 塗布ダイス ２１ ダイアダプタ ２２ シャフト ２２Ａ カバー ２３ ベアリング ２４ ハウジング ２５ プーリ ２６ モータ ２７ プーリ ２８ 駆動力伝達ベルト ３０ プレート ３１ ブラケット ３２ スタンド ３３ ダイスボディー ３４ ダイスチップ部 ３４Ａ フラット部 ４０ 砥粒付ソーワイヤ ４１ 心線 ４２ 塗料 ４２Ａ バインダ ４２Ｂ 砥粒 ５０ 塗布ダイス
Claims (4)
- 【請求項１】有機，無機材料等のバインダと砥粒を混練
した塗料を充填した塗布ダイスに心線を挿通して前記心
線の表面に前記塗料を塗布し焼付固着して前記砥粒付の
ソーワイヤを製造する砥粒付ソーワイヤの製造方法にお
いて、 前記塗布ダイスを前記心線を中心に回転させながら前記
塗料を前記心線に塗布することを特徴とする砥粒付ソー
ワイヤの製造方法。 - 【請求項２】前記塗布ダイスは、ダイヤモンド，焼結ダ
イヤモンド等の超硬質材料で構成される所定長のダイス
チップ部を有する請求項１に記載の砥粒付ソーワイヤの
製造方法。 - 【請求項３】前記塗布ダイスは、２段以上に設けられる
請求項１に記載の砥粒付ソーワイヤの製造方法。 - 【請求項４】前記塗布ダイスは、それぞれの回転方向を
交互に反転させる請求項３に記載の砥粒付ソーワイヤの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13199997A JPH10315049A (ja) | 1997-05-22 | 1997-05-22 | 砥粒付ソーワイヤの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13199997A JPH10315049A (ja) | 1997-05-22 | 1997-05-22 | 砥粒付ソーワイヤの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10315049A true JPH10315049A (ja) | 1998-12-02 |
Family
ID=15071197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13199997A Pending JPH10315049A (ja) | 1997-05-22 | 1997-05-22 | 砥粒付ソーワイヤの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10315049A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6463921B2 (en) | 1999-02-04 | 2002-10-15 | Ricoh Company, Ltd. | Abrasive wire for a wire saw and a method of manufacturing the abrasive wire |
| ES2270694A1 (es) * | 2005-04-05 | 2007-04-01 | Frco. Javier Menendez Martinez | Cable de corte. |
| CN102284395A (zh) * | 2011-08-10 | 2011-12-21 | 浙江思博恩新材料科技有限公司 | 金刚线卧式涂覆模组 |
| CN102896592A (zh) * | 2012-09-21 | 2013-01-30 | 南京航空航天大学 | 钎焊超硬磨料串珠磨料有序排布设备及方法 |
-
1997
- 1997-05-22 JP JP13199997A patent/JPH10315049A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6463921B2 (en) | 1999-02-04 | 2002-10-15 | Ricoh Company, Ltd. | Abrasive wire for a wire saw and a method of manufacturing the abrasive wire |
| ES2270694A1 (es) * | 2005-04-05 | 2007-04-01 | Frco. Javier Menendez Martinez | Cable de corte. |
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