JPH10313214A - アンテナおよびその製造方法 - Google Patents

アンテナおよびその製造方法

Info

Publication number
JPH10313214A
JPH10313214A JP12254197A JP12254197A JPH10313214A JP H10313214 A JPH10313214 A JP H10313214A JP 12254197 A JP12254197 A JP 12254197A JP 12254197 A JP12254197 A JP 12254197A JP H10313214 A JPH10313214 A JP H10313214A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
slot plate
antenna
aluminum alloy
solid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP12254197A
Other languages
English (en)
Inventor
Saburo Kitaguchi
三郎 北口
Masao Fuji
雅雄 藤
Masahiro Uematsu
正博 植松
Shinji Takahashi
伸治 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Original Assignee
Nippon Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Steel Corp filed Critical Nippon Steel Corp
Priority to JP12254197A priority Critical patent/JPH10313214A/ja
Publication of JPH10313214A publication Critical patent/JPH10313214A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Waveguide Aerials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スロット板と基板の接合が精度よく確実に行
える導波管アンテナの提供を行う。 【解決手段】 スロット板および基板としてMg系のア
ルミニウム合金を用い、アルミニウム合金の固液共存域
あるいは固液共存域付近の温度にて加熱・加圧してスロ
ット板と基板との接合面を拡散接合する。あるいは、ス
ロット板および基板の一方にMg系のアルミニウム合金
を用い、他方にSi系のアルミニウム合金を用いる。さ
らにあるいは、一方にCu系のアルミニウム合金を用
い、他方にSi系のアルミニウム合金を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、アルミニウム合金
からなるアンテナに関し、特に導波管を形成するスロッ
ト板と基板からなるアンテナおよびその製造方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】導波管タイプのアンテナのうち、船舶、
バス、乗用車等の移動体に搭載されるものは、小型で軽
量なものが望ましい。本出願人の製造販売する衛星放送
受信用アンテナはクロススロットタイプの導波管アンテ
ナを用いており、アンテナは移動体上で衛星を追尾して
回転する。放送衛星だけでなく、通信衛星を追尾するア
ンテナも同様に軽量なものが望まれるであろう。
【0003】その軽量化のために基板にアルミダイカス
トを用いている。導波管構造のアンテナでは溝構造の放
射導波管と給電導波管が主要部となっているため、本来
ならば精度をだすために一体構造で加工することが望ま
しいが、複雑な設計となるため、溝構造の基板とスロッ
ト板を別々に製造し、両者を接合して一体化している。
そして、その接合方法としては、レーザ溶接等による方
法が用いられてきた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】導波管構造が比較的大
きなアンテナを製作するときは、レーザ溶接あるいはろ
う付けによる接合によっても導波管形状精度が得られて
いた。しかし、アンテナの受信する周波数がさらに高く
なり導波管の小型化が進むと、レーザ溶接では溶融過剰
による垂れ落ちの発生、点状局所溶接での局所間の隙間
の発生が問題となる。
【0005】図1は、導波管構造のクロススロットタイ
プのスロットアレーアンテナの例を示す斜視図である。
なお、同図では内部を示すために、表面のスロット板は
一部を切り欠いて描いている。図2は、図1のアンテナ
のA−A’矢視方向における部分断面図である。このス
ロット板1ではクロススロット用の穴が多数形成されて
おり、一方基板2にはその穴に対応するように溝が設け
られており、スロット板1と基板2とで導波管が形成さ
れるものである。この基板2は、アルミダイカストで一
体形成されており、溝の側壁の上面部3が接合部位とな
って、スロット板1と接合される。
【0006】図3は、レーザ溶接による点状局所溶接の
状況を示すものである。点状局所溶融溶接部5では、導
波管構造が小型化してくると、図に示すように溶融過剰
部4が発生し、導波管形状が精度よく形成されなくなっ
てしまうという問題が生じる。また、接合面に隙間が生
じると電波漏れを生じてしまう。さらに、レーザ溶接で
は、接合に伴う熱変形を防止することも困難になってき
ている。
【0007】また、ろう付けでは、ろう材のはみ出しが
抑制できないという問題が生じ、ろう材が接合界面より
はみだすと、導波管通路断面積が理論形状にならないと
いう問題が生じる。本発明は、このような問題が生じな
いアンテナおよびその製造方法を提供することを目的と
するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
に、本発明によれば、アンテナは、スロット板および基
板の一方にMg系のアルミニウム合金を用い、接合され
る面のアルミナを除去する処理を行い、アルミニウム合
金の固液共存域あるいは固液共存域付近の温度にて加熱
し、加圧することにより製造するものである。
【0009】また、別の方法によれば、スロット板およ
び基板の一方にMg系のアルミニウム合金を用い、他方
にSi系のアルミニウム合金を用い、接合される面のア
ルミナを除去する処理を行い、アルミニウム合金の固液
共存域あるいは固液共存域付近の温度にて加熱し、加圧
することによりアンテナが製造される。さらにまた別の
方法によれば、スロット板および基板の一方にCu系の
アルミニウム合金を用い、他方にSi系のアルミニウム
合金を用い、接合される面のアルミナを除去する処理を
行い、アルミニウム合金の固液共存域あるいは固液共存
域付近の温度にて加熱し、加圧して、アンテナを製造す
るものである。
【0010】本発明によれば、スロット板と基板を導波
管の理論形状を維持して接合し、一体化することがで
き、したがって導波管形状が精度よく形成されたアンテ
ナを提供することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
を用いて説明する。アンテナの構造は、図1に示すもの
と同じである。スロット板1と基板2には、アルミニウ
ム合金を用いている。アルミニウム合金としては、スロ
ット板1と基板2の両方にMg系アルミニウム合金、あ
るいは一方がMg系で他方がSi系アルミニウム合金、
さらにあるいは一方がCu系で他方がSi系アルミニウ
ム合金を用いる。スロット板1と基板2の両方にMg系
アルミニウム合金を使用する場合は、同種の合金、すな
わち化学成分の等しい合金を用いてもよいし、あるいは
異種の合金、すなわち化学成分の異なる合金の組み合わ
せでもよい。アルミニウム合金は、加工性、耐蝕性に優
れると共に、合金成分であるMg等が、後述する加熱時
に拡散元素となって接合界面にMgO系の反応生成物等
を形成する。
【0012】まず、これら合金からなるスロット板1と
基板2の表面に形成されているアルミナAl2 3 を除
去するために、スロット板1と基板2を接合面に除去溶
液を塗布して、化学的表面処理を行う。除去溶液を用い
てアルミニウム合金表面のAl2 3 層を適度に除去す
ることにより、接合界面における反応生成物の形成が容
易になる。接合に必要なAl2 3 との反応生成物を形
成しやすくするためにはアルミニウム合金表面のAl2
3 層を適度に均等除去する必要がある。Al 2 3
が厚いとMg、CuあるいはSiの表層への拡散が阻害
されるからである。
【0013】この化学的表面処理を施した後、スロット
板1と基板2を重ね合せ、両者を接合面に垂直な方向か
ら加圧しながら固定する。固定は、接合面に均等に加重
されるように、図4に示すような固定器具の加圧治具を
用いるのが好ましい。図4の(a)は、斜視図であり、
(b)は、その部分断面図である。治具の構成材料は、
アルミニウム合金より熱膨張率の小さな高強度材料、た
とえばFe(鉄)を用いる。これは、加熱前の室温時に
図4に示す楔(くさび)にて所定の面圧を与え、後述す
るその後の加熱過程においてアルミニウム合金と固定加
圧治具材料の熱膨張率の差が接合面に対して加圧効果を
生じさせるになり、接合面の密着性を高め拡散に必要な
加圧力を増長するためである。
【0014】図4において、10は底板で、11はスペ
ーサで、9ははり固定用柱で、8は楔用はりである。ス
ロット板1と基板2を合わせたものをスペーサを介して
押さえ板6で押さえ、かつ楔形状部材7を楔用はり8と
押さえ板6の間に入れ固定する。押さえ板は不要であれ
ば用いなくてもよい。なお、図4に示したアンテナは基
板2の底面に突起部2aがあるので、スペーサ11に
は、この突起部2aに対応する部分に開口部11aが形
成されている。また、楔は全体に楔形状をしていなくて
も、楔としての機能を果たすものであれば一部が楔形状
のものも含まれる。このような加圧治具を用いることに
より、接合面に均等に加重を与えることができると同時
に熱変形が防止できる。
【0015】図5は、多段構成の加圧治具の例を示す。
ここでは押さえ板を二重にした場合の例である。次に、
固定した状態でスロット板1と基板2を加圧治具ごと、
真空中あるいはAr雰囲気中で必要な拡散が行われる拡
散時間の間、加熱炉中にて加熱する。加熱温度は、固液
共存域あるいはその固液共存域付近に設定する。これ
は、接合界面での軟化効果を利用し密着性がより高めら
れ、Mg等の拡散が促進され表層のAl2 3 と酸化物
系の反応生成物を形成し、高い接合強度が得られるから
である。結果として、加熱炉中にてスロット板1と基板
2の接合面で拡散接合して、一体構造化されることにな
る。
【0016】冷却は、炉内を自然冷却することにより行
う。しかし、炉内にArガスを注入し冷却速度を早めて
もよい。本発明を用いれば、アンテナの小型化が実現で
きるので、移動体搭載用、特に自動車等における放送衛
星あるいは通信衛星からの電波の受信、自動車間での電
波の送受信等、広い実用上の応用に、本発明のアンテナ
は利用できる。もちろん、移動体用でないアンテナとし
ても利用できることは言うまでもない。
【0017】
【実施例】以下に実施例について説明する。以下のすべ
ての実施例において、アンテナは、その基板のサイズが
図6に示すように縦横の長さが夫々40mmと39mm
で、高さが10mmの平面アンテナである。6つの溝を
有し各溝幅は5mmで側壁の幅は1mmで、深さは3m
mである。但し、両端の側壁の幅は2mmである。スロ
ット板の厚さは、0.5mmである。
【0018】JIS称呼5052の化学的成分は、Si
が0.09重量%、Feが0.23重量%、Cuが0.
02重量%、Mnが0.01重量%以下、Mgが2.4
重量%、Crが0.21重量%、Znが0.01重量%
以下のものである。5052の固液共存域、言い換える
ならば固体と液体が共存する際の理論上の溶解温度範囲
は、607℃から649℃である。
【0019】JIS称呼6061の化学的成分は、Si
が0.66重量%、Feが0.24重量%、Cuが0.
32重量%、Mnが0.04重量%、Mgが1.02重
量%、Crが0.16重量%、Znが0.05重量%、
Tiが0.03のものである。6061の固液共存域、
すなわち理論上の溶解温度範囲は、582℃から652
℃である。
【0020】JIS称呼2017の化学的成分は、Si
が0.47重量%、Feが0.32重量%、Cuが3.
92重量%、Mnが0.66重量%、Mgが0.49重
量%、Crが0.03重量%、Znが0.09重量%、
残りがZrとTiで0.04重量%である。2017の
固液共存域、すなわち理論上の溶解温度範囲は、513
℃から640℃である。
【0021】JIS称呼ADC−12の化学的成分は、
Siが11.3重量%、Feが0.71重量%、Cuが
1.86重量%、Mnが0.40重量%、Mgが0.1
3重量%、Crが1.86重量%、Znが0.66重量
%、Tiが0.02のものである。ADC−12の固液
共存域、すなわち理論上の溶解温度範囲は、515℃か
ら580℃である。
【0022】また、化学的表面処理のための溶液として
は、酸濃度を極力薄くしたHNO3(硝酸)3ml、H
F(フッ化水素酸)2ml、H2 SO4 (硫酸)3ml
を200mlのH2 O(水)にいれた溶液を用いた。そ
して、この溶液に60秒間浸した後に、固定器具に固定
した。加熱は、加圧治具ごと真空炉に入れ行った。冷却
は、炉内にArガスを注入し冷却した。
【0023】実施例1 スロット板1と基板2の材料として同種のMg系合金と
してJIS称呼5052を用い、600℃で180分
間、加熱した。結果は、良好で、剥離試験で7kgfの
引張り荷重をかけてもスロット板と基板は剥がれること
はなかった。
【0024】実施例2 スロット板1と基板2の材料として同種のMg系合金と
してJIS称呼5052を用い、610℃で180分
間、加熱した。結果は、良好で、剥離試験で7kgfの
引張り荷重をかけてもスロット板と基板は剥がれること
はなかった。
【0025】実施例3 スロット板1と基板2の材料として同種のMg系合金と
してJIS称呼5052を用い、580℃で180分
間、加熱した。結果は、良好で、剥離試験で7kgfの
引張り荷重をかけてもスロット板と基板は剥がれること
はなかった。
【0026】実施例4 溝のある基板2同士を接合した場合で、材料として同種
のMg系合金としてJIS称呼6061を用い、590
℃で180分間、加熱した。結果は、良好で、剥離試験
で7kgfの引張り荷重をかけてもスロット板と基板は
剥がれることはなかった。
【0027】実施例5 スロット板1と基板2の材料として同種のMg系合金と
してJIS称呼6061を用い、580℃で180分
間、加熱した。結果は、良好で、剥離試験で7kgfの
引張り荷重をかけてもスロット板と基板は剥がれること
はなかった。
【0028】実施例6 スロット板1と基板2の材料として異種のMg系合金を
用い、一方にJIS称呼5052を、他方にJIS称呼
6061を用い、580℃で180分間、加熱した。結
果は、良好で、剥離試験で7kgfの引張り荷重をかけ
てもスロット板と基板は剥がれることはなかった。
【0029】実施例7 スロット板1と基板2の材料としてSi系合金を用い、
一方にJIS称呼ADC−12を、他方にCu系合金の
JIS称呼2017を用い、500℃で180分間、加
熱した。結果は、良好で、若干のフリッタ発生があった
ものの、剥離試験で7kgfの引張り荷重をかけてもス
ロット板と基板は剥がれることはなかった。
【0030】実施例8 スロット板1と基板2の材料としてMg系合金としてJ
IS称呼6061と、Si系合金としてJIS称呼AD
C−12を用い、510℃で180分間、加熱した。結
果は、良好で、小フリッタの発生があったものの、剥離
試験で7kgfの引張り荷重をかけてもスロット板と基
板は剥がれることはなかった。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
アンテナ構成材間の接合面がすべて一様に拡散接合さ
れ、十分な強度を持つ接合されたアンテナを得ることが
できる。従って、小型化にも十分対応できるアンテナを
提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態であるスロットアレーアン
テナの斜視図である。
【図2】本発明の一実施形態であるスロットアレーアン
テナの一部断面図である。
【図3】従来のレーザ溶接の状況を示す図である。
【図4】本発明に係るアンテナを固定するための固定治
具を示す斜視図とその一部断面図である。
【図5】本発明に係るアンテナを固定するための固定治
具の他の例を示す斜視図とその側面図である。
【図6】本発明の実施例において、用いた基板の構造を
示す図である。
【符号の説明】
1 スロット板 2 基板 3 接合部位 4 溶融過剰部 5 点状局所溶融溶接部 6 押さえ板 7 楔(くさび) 8 楔用はり 9 はり固定柱 10 底板 11 スペーサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 伸治 東京都千代田区大手町2丁目6番3号 新 日本製鐵株式会社内

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スロット板と、溝が形成された基板とを
    接合してなるアンテナであって、上記スロット板および
    上記基板としてMg系のアルミニウム合金を用い、該ア
    ルミニウム合金の固液共存域あるいは固液共存域付近の
    温度にて加熱・加圧して上記スロット板と上記基板との
    接合面が拡散接合されてなることを特徴とするアンテ
    ナ。
  2. 【請求項2】 スロット板と、溝が形成された基板とを
    接合してなるアンテナであって、上記スロット板および
    上記基板の一方にMg系のアルミニウム合金を用い、他
    方にSi系のアルミニウム合金を用い、該アルミニウム
    合金の固液共存域あるいは固液共存域付近の温度にて加
    熱・加圧して上記スロット板と上記基板との接合面が拡
    散接合されてなることを特徴とするアンテナ。
  3. 【請求項3】 スロット板と、溝が形成された基板とを
    接合してなるアンテナであって、上記スロット板および
    上記基板の一方にCu系のアルミニウム合金を用い、他
    方にSi系のアルミニウム合金を用い、該アルミニウム
    合金の固液共存域あるいは固液共存域付近の温度にて加
    熱・加圧して上記スロット板と上記基板との接合面が拡
    散接合されてなることを特徴とするアンテナ。
  4. 【請求項4】 スロット板と、溝が形成された基板とを
    接合してなるアンテナの製造方法であって、 上記スロット板および上記基板の一方にMg系のアルミ
    ニウム合金を用い、接合される面のアルミナを除去する
    処理を行い、上記アルミニウム合金の固液共存域あるい
    は固液共存域付近の温度にて加熱し、加圧することによ
    り上記スロット板と上記基板とを接合することを特徴と
    するアンテナの製造方法。
  5. 【請求項5】 上記スロット板と上記基板のMg系のア
    ルミニウム合金が同種のものであることを特徴とする請
    求項1に記載のアンテナの製造方法。
  6. 【請求項6】 上記スロット板と上記基板のMg系のア
    ルミニウム合金が異種のものであることを特徴とする請
    求項1に記載のアンテナの製造方法。
  7. 【請求項7】 スロット板と、溝が形成された基板とを
    接合してなるアンテナの製造方法であって、 上記スロット板および上記基板の一方にMg系のアルミ
    ニウム合金を用い、他方にSi系のアルミニウム合金を
    用い、接合される面のアルミナを除去する処理を行い、
    上記アルミニウム合金の固液共存域あるいは固液共存域
    付近の温度にて加熱し、加圧することにより上記スロッ
    ト板と上記基板とを接合することを特徴とするアンテナ
    の製造方法。
  8. 【請求項8】 スロット板と、溝が形成された基板とを
    接合してなるアンテナの製造方法であって、 上記スロット板および上記基板の一方にCu系のアルミ
    ニウム合金を用い、他方にSi系のアルミニウム合金を
    用い、接合される面のアルミナを除去する処理を行い、
    上記アルミニウム合金の固液共存域あるいは固液共存域
    付近の温度にて加熱し、加圧することにより上記スロッ
    ト板と上記基板とを接合することを特徴とするアンテナ
    の製造方法。
  9. 【請求項9】 スロット板と、溝が形成された基板とを
    接合してなるアンテナの製造に用いられるアンテナの固
    定器具であって、 上記スロット板および上記基板を重ね合わせたアンテナ
    部材を載せる底板と、 該底板の面に平行なはり部と、 上記底板と上記はり部の距離を一定に保ち、上記はり部
    を固定するはり固定部とを有して、上記はり部と上記ア
    ンテナ部材の間に楔形状部材を入れて固定するためのア
    ンテナの固定器具。
JP12254197A 1997-05-13 1997-05-13 アンテナおよびその製造方法 Withdrawn JPH10313214A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12254197A JPH10313214A (ja) 1997-05-13 1997-05-13 アンテナおよびその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12254197A JPH10313214A (ja) 1997-05-13 1997-05-13 アンテナおよびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10313214A true JPH10313214A (ja) 1998-11-24

Family

ID=14838434

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12254197A Withdrawn JPH10313214A (ja) 1997-05-13 1997-05-13 アンテナおよびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10313214A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100399193B1 (en) * 2002-03-13 2003-09-26 Microface Co Ltd Waveguide slot antenna and manufacturing method thereof
JP2003318643A (ja) * 2002-04-25 2003-11-07 Japan Radio Co Ltd 導波管スロットアレーアンテナ
WO2007091470A1 (ja) 2006-02-06 2007-08-16 Mitsubishi Electric Corporation 高周波モジュール
JP2011044784A (ja) * 2009-08-19 2011-03-03 Mitsubishi Electric Corp アンテナ装置及びアンテナ装置の製造方法
WO2011152556A1 (ja) 2010-06-04 2011-12-08 古河スカイ株式会社 アルミニウム合金材の接合方法
JP2013116474A (ja) * 2011-12-01 2013-06-13 Furukawa-Sky Aluminum Corp アルミニウム合金材の接合方法、アルミニウム合金接合体の製造方法、ならびに、アルミニウム合金接合体
KR102001668B1 (ko) * 2019-04-24 2019-07-18 주식회사 극동통신 레이더용 도파관 슬롯 배열 안테나의 제조방법
JPWO2021192239A1 (ja) * 2020-03-27 2021-09-30

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100399193B1 (en) * 2002-03-13 2003-09-26 Microface Co Ltd Waveguide slot antenna and manufacturing method thereof
JP2003318643A (ja) * 2002-04-25 2003-11-07 Japan Radio Co Ltd 導波管スロットアレーアンテナ
WO2007091470A1 (ja) 2006-02-06 2007-08-16 Mitsubishi Electric Corporation 高周波モジュール
US8040286B2 (en) 2006-02-06 2011-10-18 Mitsubishi Electric Corporation High frequency module
JP2011044784A (ja) * 2009-08-19 2011-03-03 Mitsubishi Electric Corp アンテナ装置及びアンテナ装置の製造方法
EP2578345A1 (en) * 2010-06-04 2013-04-10 Furukawa-Sky Aluminium Corp. Method of joining aluminum alloys
WO2011152556A1 (ja) 2010-06-04 2011-12-08 古河スカイ株式会社 アルミニウム合金材の接合方法
EP2578345A4 (en) * 2010-06-04 2013-12-04 Furukawa Sky Aluminum Corp PROCESS FOR CONNECTING ALUMINUM ALLOYS
US9174303B2 (en) 2010-06-04 2015-11-03 Furukawa-Sky Aluminum Corp. Method of bonding aluminum alloy materials to each other
JP2013116474A (ja) * 2011-12-01 2013-06-13 Furukawa-Sky Aluminum Corp アルミニウム合金材の接合方法、アルミニウム合金接合体の製造方法、ならびに、アルミニウム合金接合体
KR102001668B1 (ko) * 2019-04-24 2019-07-18 주식회사 극동통신 레이더용 도파관 슬롯 배열 안테나의 제조방법
JPWO2021192239A1 (ja) * 2020-03-27 2021-09-30
WO2021192239A1 (ja) * 2020-03-27 2021-09-30 三菱電機株式会社 金属接合体、半導体装置、導波管及び被接合部材の接合方法
CN115297986A (zh) * 2020-03-27 2022-11-04 三菱电机株式会社 金属接合体、半导体装置、波导管及被接合构件的接合方法
CN115297986B (zh) * 2020-03-27 2023-09-29 三菱电机株式会社 金属接合体、半导体装置、波导管及被接合构件的接合方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4699310A (en) Method of bonding alumina to metal
US5901901A (en) Semiconductor assembly with solder material layer and method for soldering the semiconductor assemly
JPS61154764A (ja) 構造部材の金属結合の方法及び結合材料
JPH10313214A (ja) アンテナおよびその製造方法
JP2860037B2 (ja) 半導体装置用放熱基板の製造方法
CN107431051B (zh) 带有散热片的功率模块用基板的制造方法
KR20110106455A (ko) 판형 열교환기
JP2000239838A (ja) 固相拡散接合されたスパッタリングターゲット組立体およびその製造方法
EP0932472B1 (en) Method for joining rhenium to columbium
WO2004061936A1 (en) Low stress semiconductor die attach
EP0197397B1 (en) A method for bonding ceramics to a metal
US6511759B1 (en) Means and method for producing multi-element laminar structures
GB2061155A (en) Pressure-bonding metal and/or ceramic members by using an interposed silver foil
KR20030096234A (ko) 중공 적층체 및 그것을 사용한 히트싱크
JPH0959770A (ja) スパッタリング用ターゲットおよびその製造方法
CN113745169A (zh) 多腔槽ltcc基板与封装盒体焊接结构及方法
JP2003124409A (ja) ヒートシンク及びその製造方法
JPH11260949A (ja) セラミックパッケージ及びその製造方法
JPH10196899A (ja) 配管回路の形成方法
GB2069391A (en) Forming metal articles
US3964093A (en) Bonding of dissimilar workpieces to a substrate
WO2023013048A1 (ja) 封止構造体及びその製造方法
JP2002151637A (ja) 中空積層体およびそれを用いたヒートシンクの製造方法
JP2002221398A (ja) プレート積層体、プレート積層体を用いた中空積層体および中空積層体を用いたプレート型ヒートパイプ
JPH01169955A (ja) 半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20040803