JPH10313144A

JPH10313144A - 波長可変レーザ装置

Info

Publication number: JPH10313144A
Application number: JP12256097A
Authority: JP
Inventors: Daiji Nishizawa; 代治西沢; Yasuyuki Miyauchi; 康行宮内; Mitsuru Ogose; 満生越
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 1997-05-13
Filing date: 1997-05-13
Publication date: 1998-11-24

Abstract

(57)【要約】【課題】２１０ｎｍ〜３７０ｎｍの波長領域に対して
実用的な出力のＣＷレーザ光を得ることによって、２１
０ｎｍ〜１０００ｎｍの広範囲の波長領域全域にわたっ
て、実用的な出力のＣＷ光が得られる波長可変レーザ装
置を提供すること。【解決手段】波長可変レーザ装置１０〜１２は、アル
ゴンイオンレーザ１１０と色素レーザ１２０と、第２高
調波発生装置１３０とからなる。波長可変レーザ装置２
０〜２２は、ＹＡＧ−２ωレーザ２１０と色素レーザ２
２０と第２高調波発生装置２３０とからなる。波長可変
レーザ装置３０は、ＹＡＧ−２ωレーザ２１０とチタン
サファイアレーザ３２０と第２高調波発生装置３３０と
からなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、波長可変レーザ装
置に係り、特に紫外波長域から緑色波長域まで、更には
赤外波長域までの波長領域にわたって波長が可変であ
り、且つＣＷ（連続波：Continuous Wave）レーザ光を
発生する波長可変レーザ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的に、レーザ光の波長が可変であ
り、且つＣＷ光を発生するレーザとして、チタンサファ
イアレーザや色素レーザが知られている。これらチタン
サファイアレーザや色素レーザは、可視波長域又は赤外
波長域で発振してＣＷ光を発生する。上記チタンサファ
イアレーザは内部に例えば対面した２枚の平面鏡からな
る共振器を備え、この共振器内部にチタンサファイアロ
ッドと複屈折フィルタとが設けられている。また、上記
色素レーザは内部に共振器を備え、この共振器内部に色
素ノズルと複屈折フィルタが設けられている。上記色素
ノズル内では、例えばローダミン６Ｇ等の有機色素分子
が高速で通過する。

【０００３】上記チタンサファイアレーザや色素レーザ
にアルゴンイオンレーザから出射されたレーザ光が入射
されると、内部に設けられたチタニウム原子（イオン）
や有機色素分子が基底状態から励起状態に励起される。
励起状態に励起された原子（分子）は誘導放出によっ
て、アルゴンイオンレーザから出射されるレーザ光より
長い波長のレーザ光であって、種々の波長成分を有する
レーザ光、つまり広いスペクトル幅を有する誘導放出光
を放出する。この誘導放出によって放出された誘導放出
光は、内部に備えられた共振器内で共振することにな
る。

【０００４】誘導放出光は、共振器内部に設けられた複
屈折フィルタを透過するが、複屈折フィルタの特性によ
って偏光方向や波長毎に複屈折フィルタを通過する際の
透過率が異なる。つまり、複屈折フィルタを通過する誘
導放出光は、偏光方向や波長毎に異なる光量で出射され
ることになる。

【０００５】共振器は各々をなす平面鏡に入射する誘導
放出光全てに対して共振条件を満足する訳ではなく、例
えば、各々の平面鏡に垂直に入射する誘導放出光に対し
てのみ共振条件を満足する。従って、上述したような、
複屈折フィルタを通過した誘導放出光のみが共振器をな
す平面鏡に垂直に入射するように配置されているとする
と、共振器の共振条件を満足する偏光方向と波長とを有
する誘導放出光のみが共振器内で共振され、増幅されて
レーザ光として出射されることになる。

【０００６】また、複屈折フィルタの回転等により誘導
放出光の透過条件を変化させることによって、出射され
る波長を変化させることができる。さらに、上記色素レ
ーザにおいては、色素ノズルを通過する有機色素分子の
種類を換えることによって異なった波長領域のレーザ光
を得ることができる。上記アルゴンイオンレーザを励起
光源としたチタンサファイアレーザは、実用的な出力を
有するＣＷ光のレーザ光が得られる波長領域が約６８０
〜１１００ｎｍである。また、アルゴンイオンレーザを
励起光源とした色素レーザは、実用的な出力を有するＣ
Ｗ光のレーザ光が得られる波長領域が約３７０〜９００
ｎｍである。

【０００７】また、例えば繰り返し数１０Ｈｚでパルス
発振するＹＡＧレーザから出射される赤外光、例えば波
長１０６４ｎｍのレーザ光を、β-BaB₂O₄やKTiOPO₄等の
非線形光学結晶を通過させ、ＳＨＧ（Second Harmonic
Generation）によって発生する第２高調波光を前述した
アルゴンイオンレーザから出射されるレーザ光の代わり
に用い、上述したチタンサファイアレーザによってパル
ス発振ながら波長が可変なレーザ光を得る装置が知られ
ている。更に、上記チタンサファイアレーザから出射さ
れるレーザ光を非線形光学結晶へ通過させ、ＳＨＧによ
って発生する第２高調波光、ＴＨＧ（Third Harmonic G
eneration）によって発生する第３高調波光、又は４Ｈ
Ｇ（Fourth Harmonic Generation）によって発生する第
４高調波光によって、パルス発振ではあるが波長が可変
な短波長のレーザ光を得る装置もある。

【０００８】上記の繰り返し数１０Ｈｚでパルス発振す
るＹＡＧレーザの第２高調波光により励起したチタンサ
ファイアレーザのＳＨＧは、実用的な出力が得られる波
長領域が約３４０〜５５０ｎｍであり、このチタンサフ
ァイアレーザのＴＨＧでは、実用的な出力が得られる波
長領域が約２３０〜３７０ｎｍであり、さらにそのチタ
ンサファイアレーザの４ＨＧでは、実用的な出力が得ら
れる波長領域が約２１０〜２８０ｎｍである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の波長可
変レーザ装置では、５種類の波長可変レーザ装置を組み
合わせて波長が２１０ｎｍの紫外領域から波長が１００
０ｎｍの赤外領域にわたる広い波長領域のレーザ光を得
ている。このような広い波長領域のレーザ光は種々の分
野の研究、例えば生体にレーザ光を照射してその生体の
反応を調べる研究等に必須となる。

【００１０】ところで、従来の装置では、３７０〜１０
００ｎｍの波長領域に対してはＣＷ光であって実用的な
出力が得られるが、２１０〜３７０ｎｍの波長領域に対
しては、パルス光のレーザ光しか得られない。レーザ光
はＣＷ光とパルス光に大別されるが、上記の光生物学等
の研究分野に於いてはパルス光では所望の結果が得られ
ない場合が多い。さらに、パルス光では必要な出力が得
られない場合もある。

【００１１】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、紫外波長域から緑色波長域までの波長領域にわた
って波長が可変であり、実用的な出力のＣＷレーザ光を
得ることができる波長可変レーザ装置を提供することを
主たる目的とする。また、紫外波長域から緑色波長域ま
での波長領域にわたって実用的な出力のＣＷレーザ光を
得ることによって、紫外波長域から赤外波長域までの広
い波長領域にわたって波長が可変であり、実用的な出力
のＣＷレーザ光を得ることができる波長可変レーザ装置
を提供することを主たる目的とする。さらに、上記の目
的を達成すると同時に、色素溶液等、波長可変レーザ装
置の消耗品の寿命を長くすることも本発明の目的の１つ
である。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、ＣＷレーザ光を出射するＹＡＧ第２高調
波レーザと、前記ＹＡＧ第２高調波レーザから出射され
るＣＷレーザ光により励起され、出射するＣＷレーザ光
の波長が可変な色素レーザと、前記色素レーザから出射
されるＣＷレーザ光の波長を第２高調波発生によって半
分に変換してＣＷレーザ光を出射する第２高調波発生装
置とを具備することを特徴とする。また、本発明は、Ｃ
Ｗレーザ光を出射するＹＡＧ第２高調波レーザと、前記
ＹＡＧ第２高調波レーザから出射されるＣＷレーザ光に
より励起され、出射するＣＷレーザ光の波長が可変なチ
タンサファイアレーザと、前記チタンサファイアレーザ
から出射されるＣＷレーザ光の波長を第２高調波発生に
よって半分に変換する第２高調波発生装置とを具備する
ことを特徴とする。また、本発明は、ＣＷレーザ光を出
射するＹＡＧ第２高調波レーザと、前記ＹＡＧ第２高調
波レーザから出射されるＣＷレーザ光により励起され、
出射するＣＷレーザ光の波長が可変な色素レーザと、前
記色素レーザから出射されるＣＷレーザ光の波長を第２
高調波発生によって半分に変換してＣＷレーザ光を出射
する第２高調波発生装置とからなる第１の波長可変レー
ザ装置と、ＣＷレーザ光を出射するＹＡＧ第２高調波レ
ーザと、前記ＹＡＧ第２高調波レーザから出射されるＣ
Ｗレーザ光により励起され、出射するＣＷレーザ光の波
長が可変なチタンサファイアレーザと、前記チタンサフ
ァイアレーザから出射されるＣＷレーザ光の波長を第２
高調波発生によって半分に変換する第２高調波発生装置
とからなる第２の波長可変レーザ装置とを具備すること
を特徴とする。更に、本発明は、ＣＷレーザ光を出射す
るアルゴンイオンレーザと、前記アルゴンイオンレーザ
から出射されるＣＷレーザ光により励起され、出射する
ＣＷレーザ光の波長が可変な色素レーザと、該色素レー
ザから出射されるＣＷレーザ光の波長を第２高調波発生
によって半分に変換する第２高調波発生装置とからなる
第３の波長可変レーザ装置を更に具備することを特徴と
する。また、本発明は、前記第１及び第２の波長可変レ
ーザ装置が各々複数設けられ、複数の前記第１及び第２
の波長可変レーザ装置各々から出射されるＣＷレーザ光
の波長を異なる波長に固定して離散的に波長を可変とし
たことを特徴とする。また、本発明は、前記第１から第
３の波長可変レーザ装置が各々複数設けられ、複数の前
記第１から第３の波長可変レーザ装置各々から出射され
るＣＷレーザ光の波長を異なる波長に固定して離散的に
波長を可変としたことを特徴とする。また、本発明は、
前記第１及び第２の波長可変レーザ装置が各々複数設け
られ、複数の前記第１及び第２の波長可変レーザ装置の
うち少なくとも２つの波長可変レーザ装置から出射され
る波長可変なＣＷレーザ光を同時発生することを特徴と
する。また、本発明は、前記第１から第３の波長可変レ
ーザ装置が各々複数設けられ、複数の前記第１から第３
の波長可変レーザ装置のうち少なくとも２つの波長可変
レーザ装置から出射される波長可変なＣＷレーザ光を同
時発生することを特徴とする。また、本発明は、前記Ｙ
ＡＧ第２高調波レーザに代えてＹＶＯ₄第２高調波レー
ザを備えてもよい。また、本発明は、前記アルゴンイオ
ンレーザに代えてクリプトンイオンレーザを備えてもよ
い。また、本発明は、ＣＷレーザ光を出射するアルゴン
イオンレーザ（クリプトンイオンレーザを含む、以下同
様）と、前記アルゴンイオンレーザから出射されるＣＷ
レーザ光により励起され、出射するＣＷレーザ光の波長
が可変な色素レーザとからなる第４の波長可変レーザ装
置を具備することを特徴とする。また、本発明は、ＣＷ
レーザ光を出射するＹＡＧ第２高調波レーザ（ＹＶＯ₄
第２高調波レーザを含む、以下同様）と、該ＹＡＧ第２
高調波レーザから出射されるＣＷレーザ光により励起さ
れ、出射するＣＷレーザ光の波長が可変な色素レーザと
からなる第５の波長可変レーザ装置を具備することを特
徴とする。また、本発明は、ＣＷレーザ光を出射するＹ
ＡＧ第２高調波レーザ（ＹＶＯ₄第２高調波レーザを含
む、以下同様）と、該ＹＡＧ第２高調波レーザから出射
されるＣＷレーザ光により励起され、出射するＣＷレー
ザ光の波長が可変なチタンサファイアレーザとからなる
第６の波長可変レーザ装置を具備することを特徴とす
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態による波長可変レーザ装置について説明する。
図１は本発明の一実施形態による波長可変レーザ装置
を、生体の反応を測定する装置に適用した全体構成を示
すブロック図である。図１において、１０〜６０は波長
可変レーザ装置であり、全てＣＷレーザ光を出射する。
各波長可変レーザ装置１０〜６０はそれぞれ下記の波長
領域のレーザ光を出射する。

【００１４】波長可変レーザ装置１０〜１２：２０５〜４５０ｎｍ波長可変レーザ装置２０〜２２：２７５〜４６０ｎｍ波長可変レーザ装置３０〜３２：３４０〜５５０ｎｍ波長可変レーザ装置４０：３７０〜９００ｎｍ波長可変レーザ装置５０：５５０〜９２０ｎｍ波長可変レーザ装置６０：６８０〜１１００ｎｍ

【００１５】しかしながら、例えば、光生物学の研究に
必要な波長領域２１０〜１０００ｎｍにおいて、各波長
域で最大のＣＷレーザ出力を得るために、以下に示す波
長可変レーザの組み合わせを構成することができる。

【００１６】波長可変レーザ装置１０〜１２：２１０〜２７５ｎｍ波長可変レーザ装置２０〜２２：２７５〜３４０ｎｍ波長可変レーザ装置３０〜３２：３４０〜３７０ｎｍ波長可変レーザ装置４０：３７０〜５５０ｎｍ波長可変レーザ装置５０：５５０〜６８０ｎｍ波長可変レーザ装置６０：６８０〜１０００ｎｍ

【００１７】各々の波長可変レーザ装置１０〜６０は、
それぞれ光ファイバ１０ａ〜６０ａによってレーザ光振
分装置２００に接続される。上記レーザ光振分装置２０
０は波長可変レーザ装置１０〜６０各々から出射され、
各光ファイバ１０ａ〜６０ａを介して入射されるレーザ
光を光ファイバ５ａ〜５ａ−Ｎそれぞれへ振り分ける。
このレーザ光振分装置２００は図示しない制御装置によ
ってその振分動作が制御される。例えば、波長可変レー
ザ装置１０から出射されたレーザ光のみを光ファイバ５
ａ−１〜５ａ−Ｎ全てへ振り分けたり、波長可変レーザ
装置１０から出射されたレーザ光を光ファイバ５ａ−２
のみへ振り分け、波長可変レーザ装置２０から出射され
たレーザ光を光ファイバ５ａ−１のみへ振り分けたりす
る。

【００１８】上記光ファイバ５ａ−１〜５ａ−Ｎ各々に
は照射光学ユニット５−１〜５−Ｎが接続されている。
この照射光学ユニット５−１〜５−Ｎは、内部に測定対
象である生体（例えば、植物プランクトン）を格納し、
光ファイバ５ａ−１〜５ａ−Ｎを介して入射されるレー
ザ光を上記生体に照射するためのものである。この照射
光学ユニット５−１〜５−Ｎは、格納される生体毎に分
類され、光ファイバ５ａ−１〜５ａ−Ｎに対して着脱容
易な構成を有する。

【００１９】次に、図１に示された波長可変レーザ装置
１０〜６０各々について説明する。図２は、図１中の波
長可変レーザ装置１０〜１２の構成を示す構成図であ
る。図２において、１１０はアルゴンイオンレーザ、１
２０はリング型（単一周波数型）色素レーザ、１３０は
第２高調波発生装置である。上記アルゴンイオンレーザ
１１０は、凹面が対面して配され共振器をなす全反射鏡
１１２と半透過性の凹面鏡１１４を有し、凹面鏡１１２
と凹面鏡１１４との間に、アルゴンガス等が封入された
レーザ管１１６が配される。このレーザ管１１６は図示
を省略しているがレーザ管１１６内で放電を発生させる
ための電極が設けられている。

【００２０】上記単一周波数型色素レーザ１２０は、リ
ング型共振器をなす凹面全反射鏡１２６，１２７，１２
８と平面半透過鏡１２５とを有し、この内の凹面全反射
鏡１２６，１２７の間に、色素ノズル１２１が配され
る。また、凹面全反射鏡１２６と平面半透過鏡１２５と
の間に光学ダイオード１２４が配され、更に凹面全反射
鏡１２８と平面半透過鏡１２５との間にエタロン１２２
と複屈折フィルタ１２３とが配される。

【００２１】上記色素ノズル１２１内には有機色素分子
が高速で流れており、上述したアルゴンイオンレーザ１
１０から出射されるレーザ光が折り返し凹面鏡１４１を
経由して入射される。上記複屈折フィルタ１２３は、色
素ノズル１２１から誘導放出によって放出された誘導放
出光の内、特定の偏光方向と波長を有する誘導放出光を
選択するためのものであり、また上記エタロン１２２は
複屈折フィルタ１２３で選択した誘導放出光の波長域を
更に狭帯化するための光学素子である。更に光学ダイオ
ード１２４は、このリング型共振器内での光の進行方向
を選択するための光学素子である。

【００２２】また、上記第２高調波発生装置１３０は半
透過性の平面鏡１３１，１３２と、凹面全反射鏡１３
３，１３４とを有し、平面鏡１３１には上記単一周波数
型色素レーザ１２０から出射されるレーザ光が入射され
る。上記平面鏡１３１，１３２及び凹面全反射鏡１３
３，１３４は、平面鏡１３１から入射されたレーザ光又
は平面鏡１３１が反射したレーザ光が凹面全反射鏡１３
４へ入射され、凹面全反射鏡１３４が反射したレーザ光
が凹面全反射鏡１３３へ入射され、凹面全反射鏡１３３
が反射したレーザ光が平面鏡１３２へ入射され、平面鏡
１３２が反射したレーザ光が平面鏡１３１へ入射される
ように配置される。

【００２３】また、上記凹面全反射鏡１３３と平面鏡１
３２との間には、例えばβ-BaB₂O₄やKH₂PO₄等の顕著な
２次の非線形光学特性を発現する非線形光学結晶（以
下、ＳＨＧ結晶と称する）１３５が配される。このＳＨ
Ｇ結晶１３５は結晶内部で、基本波光（単一周波数型色
素レーザ１２０から出射され、折り返し鏡１４２，１４
３を経由して平面鏡１３１へ入射するレーザ光）と第２
高調波光（真空中で基本波光の半分の波長を有するレー
ザ光）とが一般的に知られた位相整合条件を満足するよ
うに、その結晶軸が基本波光の進行方向に対して所定の
角度をなすように配置される。尚、前述した平面鏡１３
２は基本波光に対して高反射率を有し、第２高調波光に
対しては透過率が大きいことが好ましい。

【００２４】上記構成において、アルゴンイオンレーザ
１１０に設けられたレーザ管１１６に備えられた電極に
電圧を印加してレーザ管１１６内で放電を発生させる
と、レーザ管１１６内のガスが励起され、紫外又は青色
域の光を発生する。この光は凹面鏡１１２と凹面鏡１１
４とからなる共振器内で共振され誘導放出が増幅され、
位相が整ったＣＷレーザ光が凹面鏡１１４から出射され
る。

【００２５】アルゴンイオンレーザ１１０から出射され
たレーザ光は折り返し鏡１４１を経由して単一周波数型
色素レーザ１２０内の色素ノズル１２１に入射し、色素
ノズル１２１内の有機色素分子を励起する。励起された
有機色素分子は広いスペクトル幅を有する光を放出す
る。有機色素分子から放出された光のうち、複屈折フィ
ルタ１２３で選択され、更にエタロン１２２で狭帯域化
された波長の光のみが平面鏡１２５及び凹面全反射鏡１
２６，１２７，１２８からなる共振器の共振条件を満た
して増幅されてレーザ発振が起こり、平面鏡１２５から
レーザ光が出射される。この平面鏡１２５から出射され
るレーザ光の波長は、複屈折フィルタ１２３の回転によ
って変化させることができる。この単一周波数型色素レ
ーザ１２０から出射されるレーザ光は単一周波数で発振
するＣＷ光となる。

【００２６】単一周波数型色素レーザ１２０から出射さ
れたレーザ光は、折り返し鏡１４２，１４３を経由して
第２高調波発生装置１３０内の平面鏡１３１へ入射し、
平面鏡１３１，１３２及び凹面全反射鏡１３３，１３４
からなる共振器内で共振し、共振器内にパワーが蓄積さ
れる。前述した位相整合条件が満足されている状態にお
いては、発生する第２高調波光のパワーは基本波光のパ
ワーの二乗に比例するため、高効率波長変換を行うため
には基本波光のパワーが高いことが重要である。ＳＨＧ
結晶１３５からは基本波光の半分の波長を有する第２高
調波光が出射される。この第２高調波光は平面鏡１３２
から出射される。

【００２７】ところで、実際には、実用的な出力を得る
ためには単一周波数型色素レーザ１２０及び第２高調波
発生装置１３０内の平面鏡や凹面全反射鏡、ＳＨＧ結晶
等を取り替える必要がある。平面鏡や凹面全反射鏡、Ｓ
ＨＧ結晶等を取り替えずに実用的な出力が得られる波長
域幅は約２０〜３０ｎｍ程度である。この波長域幅を越
えて生体の反応を測定する場合には、波長可変レーザ装
置１０のみでは単一周波数型色素レーザ１２０及び第２
高調波発生装置１３０内の平面鏡や凹面全反射鏡、ＳＨ
Ｇ結晶等を取り換えなければならず、時間的に実用的で
はない。

【００２８】ここで、上記の問題を解決するために、ほ
ぼ同一の構成を有する波長可変レーザ装置１０〜１２を
設けている。波長可変レーザ装置１０〜１２が異なる点
は、各々が備えている単一周波数型色素レーザ１２０内
の色素ノズル１２１を流れる有機色素分子の種類がそれ
ぞれ異なるとともに、異なる光学特性を有するエタロン
１２２、光学ダイオード１２４、及び平面鏡１２５を備
えている点である。また、第２高調波発生装置１３０に
おいては、異なる反射・透過特性を有する平面鏡１３
１，１３２を用い、更に位相整合条件を満足するため
に、ＳＨＧ結晶１３５の結晶軸と基本波光の進行方向と
のなす角が異なる角度に設定されている点である。

【００２９】従って、平面鏡や凹面全反射鏡等を取り換
えずに連続して波長可変な波長域を波長可変レーザ装置
１０〜１２毎に個別に設定することによって２１０〜２
７５ｎｍの波長域にわたって、実用的であって連続的に
波長可変が行える。例えば、波長可変レーザ装置１０の
波長域を２１０〜２３２ｎｍ、波長可変レーザ装置１１
の波長域を２３２〜２５４ｎｍ、波長可変レーザ装置１
２の波長域を２５４〜２７５ｎｍとそれぞれ設定すれば
２１０〜２７５ｎｍの波長域にわたって、実用的であっ
て連続的に波長可変が行える。

【００３０】次に、図１中の波長可変レーザ装置２０〜
２２について説明する。図３は、図１中の波長可変レー
ザ装置２０〜２２の構成を示す構成図である。図３にお
いて、２１０はＹＡＧ第２高調波レーザ（以下、ＹＡＧ
−２ωレーザと称する）、２２０は単一周波数型色素レ
ーザ、２３０は第２高調波発生装置である。尚、図３に
おいては図２に示された構成部材と同一の構成部材につ
いては同一の符号を付し、その説明を省略する。

【００３１】図３に示された波長可変レーザ装置２０〜
２２が図２に示された波長可変レーザ装置１０〜１２と
異なる点は、アルゴンイオンレーザ１１０の代わりにＹ
ＡＧ−２ωレーザ２１０が設けられている点である。ま
た、単一周波数型色素レーザ２２０が図２中の単一周波
数型色素レーザ１２０と異なる点は、図２に示された色
素ノズル１２１中を高速で流れる有機色素分子の種類が
異なる点である。また、第２高調波発生装置２３０が図
２中の第２高調波発生装置１３０と異なる点は、ＳＨＧ
結晶１３５の代わりにＳＨＧ結晶２３２が設けられてい
る点である。このＳＨＧ結晶２３２がＳＨＧ結晶１３５
と異なる点は、第２高調波発生装置２３０に入射するレ
ーザ光と図２に示された第２高調波発生装置１３０に入
射するレーザ光との波長が異なるため、位相整合条件を
満足するような構成となっていることである。例えば、
ＳＨＧ結晶２３２とＳＨＧ結晶１３５は結晶軸が入射す
るレーザ光に対して異なる方向に設定される。

【００３２】次に、ＹＡＧ−２ωレーザ２１０について
説明する。ＹＡＧ−２ωレーザ２１０は、凹面全反射鏡
２１１，２１２によって共振器が形成されている。この
共振器内には、半透過特性を有する平面鏡２１３，２１
４が設けられ、この平面鏡２１３，２１４内にＹＡＧロ
ッド２１９が配置されている。平面反射鏡２１３，２１
４にはレーザダイオード（図示省略）から出射されるレ
ーザ光が入射され、ＹＡＧロッド２１９を励起する。

【００３３】また、２１５は平面全反射鏡であり、光軸
を折り曲げるために設けられる。２１６は半透過特性を
有する平面鏡であり、ＹＡＧロッド２１９から出射され
るＹＡＧ基本波光の波長に対しては高反射率を有し、後
述のＳＨＧ結晶２１８から出射されるＹＡＧ第２高調波
光の波長に対しては低反射率を有するものが用いられ
る。平面反射鏡２１６と凹面全反射鏡２１２との間に
は、集束レンズ２１７とＳＨＧ結晶２１８とが配置され
る。

【００３４】集束レンズ２１７は、ＳＨＧ結晶２１８内
におけるＹＡＧ基本波光のパワー密度を高め、波長変換
効率を高くするためのものである。上記ＳＨＧ結晶２１
８には、例えばLiB₃O₅等の非線形光学結晶が用いられ
る。この場合も、ＹＡＧロッド２１９から出射されるＹ
ＡＧ基本波光とＳＨＧ結晶内で発生する第２高調波光が
位相整合条件を満足するようにＳＨＧ結晶２１８が配さ
れる。

【００３５】上記構成において、図示しないレーザダイ
オードから出射されたレーザ光が平面鏡２１３，２１４
各々を介してＹＡＧロッド２１９に入射するとＹＡＧロ
ッド２１９からは、約１０６４ｎｍの波長を有する光が
放出される。この光のうち、平面鏡２１３に入射して凹
面全反射鏡２１１の方向へ反射された光は凹面全反射鏡
２１１によって反射され、平面鏡２１３を介して再びＹ
ＡＧロッド２１９に入射する。

【００３６】また、ＹＡＧロッド２１３から平面鏡２１
４へ出射された光は平面鏡２１４において反射され平面
全反射鏡２１５及び平面鏡２１６によって反射され、集
束レンズ２１７によって集束されてＳＨＧ結晶２１８へ
入射し、ＳＨＧ結晶２１８を透過した光は凹面全反射鏡
２１２によって反射され、上述した経路を逆方向に辿る
ことになる。このように、凹面全反射鏡２１１，２１２
内でＹＡＧロッド２１９から出射された光が往復・共振
し、光が増幅される。

【００３７】また、上記集束レンズ２１７によって集束
されたＹＡＧ基本波光がＳＨＧ結晶２１８に入射すると
波長が半分の第２高調波光が発生する。発生した第２高
調波光は凹面全反射鏡２１２の方向へ出射され、反射さ
れて再びＳＨＧ結晶２１８へ入射し、集束レンズ２１７
及び平面鏡２１６を介してＹＡＧ−２ωレーザ２１０の
外部へ出射される。つまりＹＡＧ−２ωレーザ２１０
は、ＹＡＧレーザの発振波長である１０６４ｎｍの半分
の波長５３２ｎｍのＣＷレーザ光を出射する。

【００３８】ＹＡＧ−２ωレーザ２１０から出射された
ＣＷレーザ光は単一周波数型色素レーザ２２０内に設け
られた色素ノズルに入射し、図２を用いて波長可変レー
ザ装置１０〜１２を説明した動作と同様の動作が行われ
る。波長が５５０ｎｍから６８０ｎｍの範囲にわたって
可変なＣＷレーザ光が単一周波数型色素レーザ２２０か
ら出射される。また、単一周波数型色素レーザ２２０か
ら出射されたＣＷレーザ光は第２高調波発生装置２３０
へ入射され、非線形光学作用によって単一周波数型色素
レーザ２２０から出射されるＣＷレーザ光の波長の半分
の波長を有するＣＷレーザ光が出射される。

【００３９】波長可変レーザ装置２１，２２は上記のＹ
ＡＧ−２ωレーザ２１０と、単一周波数型色素レーザ２
２０と第２高調波発生装置１３０の組み合わせからなる
波長可変レーザ装置２０と同一の構成からなる。波長可
変レーザ装置２０〜２２においても、波長可変レーザ装
置１０〜１２と同一の理由によって、各々から出射され
るレーザ光の波長域が異なるように設定されている。波
長可変レーザ装置２０〜２２においては平面鏡や凹面全
反射鏡、ＳＨＧ結晶等を取り替えずに実用的な出力が得
られる波長域幅が約２０〜３０ｎｍである。従って、例
えば、波長可変レーザ装置２０の波長域を２７５〜２９
７ｎｍ、波長可変レーザ装置２１の波長域を２９７〜３
１９ｎｍ、波長可変レーザ装置２２の波長域幅を３１９
〜３４０ｎｍとそれぞれ設定すれば２７５〜３４０ｎｍ
の波長域にわたって、実用的であって連続的に波長可変
が行える。

【００４０】次に、図１中の波長可変レーザ装置３０〜
３２について説明する。図４は、図１中の波長可変レー
ザ装置３０〜３２の構成を示す構成図である。図４にお
いて、２１０はＹＡＧ−２ωレーザ、３２０は単一周波
数型チタンサファイアレーザ、３３０は第２高調波発生
装置である。尚、図４においては図２，３に示された構
成部材と同一の構成部材については同一の符号を付し、
その説明を省略する。

【００４１】図４に示された波長可変レーザ装置３０が
図３に示された波長可変レーザ装置１０と異なる点は、
単一周波数型色素レーザ２２０の代わりに単一周波数型
チタンサファイアレーザ３２０が設けられている点であ
る。ここで、単一周波数型チタンサファイアレーザ３２
０が、単一周波数型色素レーザ２２０と異なる点は色素
ノズル１２１の代わりにチタンサファイアロッド３２１
が配されている点と、ＹＡＧ−２ωレーザ２１０から出
射されたレーザ光が入射されるとともに共振器の一部を
なす半透過特性を有する平面鏡３２２が凹面全反射鏡１
２６の代わりに設けられた点だけである。

【００４２】また、第２高調波発生装置３３０が図３中
の第２高調波発生装置２３０と異なる点は、ＳＨＧ結晶
２３２の代わりにＳＨＧ結晶３３２が設けられている点
である。このＳＨＧ結晶３３２がＳＨＧ結晶２３２と異
なる点は、第２高調波発生装置３３０に入射するレーザ
光と図３に示された第２高調波発生装置２３０に入射す
るレーザ光との波長が異なるため、位相整合条件を満足
するような構成となっていることである。例えば、ＳＨ
Ｇ結晶３３２とＳＨＧ結晶２３２は結晶軸が入射するレ
ーザ光に対して異なる方向に設定される。

【００４３】波長可変レーザ装置３１，３２は波長可変
レーザ装置３０とほぼ同一の構成であり、上記のＹＡＧ
−２ωレーザ２１０と単一周波数型チタンサファイアレ
ーザ３２０と第２高調波発生装置３３０との組み合わせ
からなる。波長可変レーザ装置３０〜３２においても、
波長可変レーザ装置１０〜１２と同一の理由によって、
各々から出射されるレーザ光の波長域が異なるように設
定されている。波長可変レーザ装置３０〜３２において
は平面鏡や凹面全反射鏡、ＳＨＧ結晶等を取り替えずに
実用的な出力が得られる波長域幅が約２０〜５０ｎｍで
ある。従って、例えば、波長可変レーザ装置３０の波長
域を３４０〜３５０ｎｍ、波長可変レーザ装置３１の波
長域を３５０〜３６０ｎｍ、波長可変レーザ装置３２の
波長域幅を３６０〜３７０ｎｍとそれぞれ設定すれば３
４０〜３７０ｎｍの波長域にわたって、実用的であって
連続的に波長可変が行える。

【００４４】次に、図１中の波長可変レーザ装置４０に
ついて説明する。図５は、図１中の波長可変レーザ装置
４０の構成を示す構成図である。図５に示された波長可
変レーザ装置４０は図２に示されたＣＷ光のレーザ光を
発生するアルゴンイオンレーザ１１０と、ファブリペロ
ー型（マルチ周波数型）色素レーザ４２０とからなる。
色素レーザ４２０は、平面全反射鏡４２１、折り返し鏡
４２３、及び半透過特性を有する平面鏡４２２とからな
る共振器を有し、平面全反射鏡４２１と折り返し鏡４２
３との間には色素ノズル４２４が設けられ、折り返し鏡
４２３と平面鏡４２２との間には複屈折フィルタ４２５
が設けられる。

【００４５】図５において、アルゴンイオンレーザ１１
０から出射されたレーザ光は色素レーザ４２０中の色素
ノズル４２４に入射し、色素レーザ４２０からレーザ光
が出射される。色素レーザ４２０から出射されるＣＷレ
ーザ光の波長は、複屈折フィルタ４２５を回転させるこ
とによって選択でき、３７０〜５５０ｎｍの波長範囲に
おいて実用的な出力を得ることができる。尚、この波長
範囲をカバーするためには数回の色素交換を伴う。ま
た、色素レーザ４２０から出射されるレーザ光はＣＷ光
である。

【００４６】次に、図１中の波長可変レーザ装置５０に
ついて説明する。図６は、図１中の波長可変レーザ装置
５０の構成を示す構成図である。図６に示された波長可
変レーザ装置５０は、図３，４に示されたＹＡＧ−２ω
レーザ２１０と、図５に示された色素レーザ４２０と同
様の色素レーザ５２０とからなる。色素レーザ５２０が
色素レーザ４２０と異なる点は、図５中の色素ノズル４
２４内を流れる有機色素分子とは異なる種類の有機色素
分子が内部を流れる点である。

【００４７】図６において、ＹＡＧ−２ωレーザ２１０
から出射されたレーザ光（波長が５３２ｎｍであってＣ
Ｗのレーザ光）は色素レーザ５２０中の色素ノズル５２
４に入射し、前述した動作と同様の動作によって、色素
レーザ５２０からレーザ光が出射される。色素レーザ５
２０から出射されるレーザ光の波長は、複屈折フィルタ
５２５を回転させることによって選択でき、その可変範
囲は、５５０〜６８０ｎｍの範囲である。また、色素レ
ーザ５２０から出射されるレーザ光はＣＷ光である。

【００４８】次に、図１中の波長可変レーザ装置６０に
ついて説明する。図７は、図１中の波長可変レーザ装置
６０の構成を示す構成図である。図７に示された波長可
変レーザ装置６０は、図３，４に示されたＹＡＧ−２ω
レーザ２１０と、ファブリペロー型（マルチ周波数型）
チタンサファイアレーザ６２０とからなる。チタンサフ
ァイアレーザ６２０は半透過特性を有する平面鏡６２
１，６２２からなる共振器を備え、平面鏡６２１，６２
２の間にはチタンサファイアロッド６２３と複屈折フィ
ルタ６２４とが配される。

【００４９】図７において、ＹＡＧ−２ωレーザ２１０
から出射されたレーザ光（波長が５３２ｎｍであってＣ
Ｗのレーザ光）はチタンサファイアレーザ６２０中の平
面鏡６２１に入射し、前述した動作と同様の動作によっ
て、チタンサファイアレーザ６２０からレーザ光が出射
される。チタンサファイアレーザ６２０から出射される
レーザ光の波長は、複屈折フィルタ６２４を回転させる
ことによって選択でき、その可変範囲は、６８０〜１０
００ｎｍの範囲である。また、チタンサファイアレーザ
６２０から出射されるレーザ光はＣＷ光である。

【００５０】以上、本発明の一実施形態による波長可変
レーザ装置について説明した。本発明の一実施形態によ
る波長可変レーザ装置は、各々が波長可変であり、ＣＷ
のレーザ光を発生することができる波長可変レーザ装置
１０〜６０からなる。各々の波長可変レーザ装置１０〜
６０は以下に示す波長領域で有効に動作、つまり実用的
な出力が得られるように動作するため、本発明の波長可
変レーザ装置は波長が２１０ｎｍ〜１０００ｎｍの広い
波長範囲のＣＷ光のレーザ光を必要とする研究分野にお
いては極めて重要となる。

【００５１】波長可変レーザ装置１０〜１２：２１０〜２７５ｎｍ波長可変レーザ装置２０〜２２：２７５〜３４０ｎｍ波長可変レーザ装置３０〜３２：３４０〜３７０ｎｍ波長可変レーザ装置４０：３７０〜５５０ｎｍ波長可変レーザ装置５０：５５０〜６８０ｎｍ波長可変レーザ装置６０：６８０〜１０００ｎｍ

【００５２】特に、波長可変レーザ装置１０〜１２，２
０〜２２，３０〜３２は３７０ｎｍより短い波長域にお
いて波長が可変なＣＷレーザ光を得ることができるた
め、生体の反応を調べる研究分野に限られず、種々の研
究分野、例えば光学的物性を調べる基礎研究等において
光源として用いられることが考えられ、極めて重要な技
術である。

【００５３】また、上記実施形態においては、一時に波
長可変レーザ装置１０〜１２，２０〜２２，３０〜３２
の内の１つのみからレーザ光を発生させ、単一波長のレ
ーザ光が発生するように動作させてもよい。この場合、
単一の波長のレーザ光に対する生体の反応が２１０〜３
７０ｎｍの波長領域にわたって調べられることになる。

【００５４】また、一時に波長可変レーザ装置１０〜１
２，２０〜２２，３０〜３２の内の複数からレーザ光を
発生させるように動作させてもよい。この場合、複数波
長のレーザ光を生体に照射した場合の生体の反応が２１
０〜３７０ｎｍの波長領域にわたって調べられることに
なる。

【００５５】また、各波長可変レーザ装置１０〜１２，
２０〜２２，３０〜３２を発振波長が異なるように、且
つ固定の波長となるように設定し、一度に１つの波長可
変レーザ装置のみからレーザ光を発生するようにして、
離散的に波長が可変となるよう動作させてもよい。例え
ば、

【００５６】波長可変レーザ装置１０：２２０ｎｍ波長可変レーザ装置１１：２４０ｎｍ波長可変レーザ装置１２：２６０ｎｍ波長可変レーザ装置２０：２８０ｎｍ波長可変レーザ装置２１：３００ｎｍ波長可変レーザ装置２２：３２０ｎｍ波長可変レーザ装置３０：３４０ｎｍ波長可変レーザ装置３１：３６０ｎｍ波長可変レーザ装置３２：３７０ｎｍと設定すれば、離散的ではあるが連続して波長を可変と
することができる。このような動作をさせた場合には、
例えば波長に対する生体の反応傾向を素早く得ることが
できる。

【００５７】勿論波長可変レーザ装置４０〜６０に関
しても波長可変レーザ装置１０〜３２と同様に複数から
レーザ光を発生させるように動作させてもよく、上述し
たように、発振波長が異なるように、且つ固定の波長と
なるように設定し、一度に１つの波長可変レーザ装置の
みからレーザ光を発生するようにして、離散的に波長が
可変となるよう動作させても良い。

【００５８】以上、本発明の一実施形態による波長可変
レーザ装置について説明したが、本発明は上述した実施
形態に限定されず、本発明の範囲内で任意に変更が可能
である。例えば、前述の実施形態においては、波長可変
レーザ装置２０〜２２，３０〜３２，５０，６０内で
は、ＹＡＧ−２ωレーザ２１０を用いていたが、代わり
にＹＶＯ₄−２ωレーザを用いても良いことは明らかで
ある。さらに、波長可変レーザ装置１０〜１２，４０を
なすアルゴンイオンレーザ１１０内のレーザ管１１６に
封入されるガスはクリプトンガス等であってもよい。ま
た、前述した波長可変レーザ装置２０，３０，５０，６
０と同様な波長可変レーザ装置を数個用い、出射される
各々のレーザ光の波長を固定して出射されるレーザ光の
出力を向上させるようにしてもよい。

【００５９】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明による波
長可変レーザ装置によれば、ＣＷレーザ光を出射するＹ
ＡＧ第２高調波レーザと、前記ＹＡＧ第２高調波レーザ
から出射されるＣＷレーザ光により励起され、出射する
ＣＷレーザ光の波長が可変な色素レーザと、前記色素レ
ーザから出射されるＣＷレーザ光の波長を第２高調波発
生によって半分に変換してＣＷレーザ光を出射する第２
高調波発生装置とを備えたので、紫外波長域の波長領域
で波長が可変であり、実用的な出力を有するＣＷレーザ
光を得ることができるという効果がある。また、ＣＷレ
ーザ光を出射するＹＡＧ第２高調波レーザと、前記ＹＡ
Ｇ第２高調波レーザから出射されるＣＷレーザ光により
励起され、出射するＣＷレーザ光の波長が可変なチタン
サファイアレーザと、前記チタンサファイアレーザから
出射されるＣＷレーザ光の波長を第２高調波発生によっ
て半分に変換する第２高調波発生装置とを備えたので、
紫外波長域から緑色波長域付近までの波長領域にわたっ
て波長が可変であり、実用的な出力を有するＣＷレーザ
光を得ることができるという効果がある。また、ＣＷレ
ーザ光を出射するＹＡＧ第２高調波レーザと、前記ＹＡ
Ｇ第２高調波レーザから出射されるＣＷレーザ光により
励起され、出射するＣＷレーザ光の波長が可変な色素レ
ーザと、前記色素レーザから出射されるＣＷレーザ光の
波長を第２高調波発生によって半分に変換してＣＷレー
ザ光を出射する第２高調波発生装置とからなる第１の波
長可変レーザ装置と、ＣＷレーザ光を出射するＹＡＧ第
２高調波レーザと、前記ＹＡＧ第２高調波レーザから出
射されるＣＷレーザ光により励起され、出射するＣＷレ
ーザ光の波長が可変なチタンサファイアレーザと、前記
チタンサファイアレーザから出射されるＣＷレーザ光の
波長を第２高調波発生によって半分に変換する第２高調
波発生装置とからなる第２の波長可変レーザ装置とを備
えたので、紫外波長域から緑色波長域までの波長領域に
わたって波長が可変であり、実用的な出力を有するＣＷ
レーザ光を得ることができるという効果がある。また、
ＣＷレーザ光を出射するアルゴンイオンレーザと、前記
アルゴンイオンレーザから出射されるＣＷレーザ光によ
り励起され、出射するＣＷレーザ光の波長が可変な色素
レーザと、該色素レーザから出射されるＣＷレーザ光の
波長を第２高調波発生によって半分に変換する第２高調
波発生装置とからなる第３の波長可変レーザ装置を更に
備えたので、更に波長の短い領域で波長が可変であり、
実用的な出力を有するＣＷレーザ光を得ることができる
という効果がある。また、前記第１及び第２の波長可変
レーザ装置が各々複数設けられ、複数の前記第１及び第
２の波長可変レーザ装置各々から出射されるＣＷレーザ
光の波長を異なる波長に固定して離散的に波長を可変と
したり、前記第１から第３の波長可変レーザ装置が各々
複数設けられ、複数の前記第１から第３の波長可変レー
ザ装置各々から出射されるＣＷレーザ光の波長を異なる
波長に固定して離散的に波長を可変としたので、離散的
ではあるが連続的に波長を変えることができ、例えば、
生体の研究測定において、測定対象の波長に対する反応
の傾向を得ることができるという効果がある。また、前
記第１及び第２の波長可変レーザ装置が各々複数設けら
れ、複数の前記第１及び第２の波長可変レーザ装置のう
ち少なくとも２つの波長可変レーザ装置から出射される
波長可変なＣＷレーザ光を同時発生させたり、前記第１
から第３の波長可変レーザ装置が各々複数設けられ、複
数の前記第１から第３の波長可変レーザ装置のうち少な
くとも２つの波長可変レーザ装置から出射される波長可
変なＣＷレーザ光を同時発生させたりしたので、波長が
可変であり、異なる複数の波長を同時に出射することが
できるという効果がある。また、前記ＹＡＧ第２高調波
レーザに代えてＹＶＯ₄第２高調波レーザを備え、ま
た、前記アルゴンイオンレーザに代えてクリプトンイオ
ンレーザを備える場合もある。また、ＣＷレーザ光を出
射するアルゴンイオンレーザと、前記アルゴンイオンレ
ーザから出射されるＣＷレーザ光により励起され、出射
するＣＷレーザ光の波長が可変な色素レーザとからなる
第４の波長可変レーザ装置、ＣＷレーザ光を出射するＹ
ＡＧ第２高調波レーザと、該ＹＡＧ第２高調波レーザか
ら出射されるＣＷレーザ光により励起され、出射するレ
ーザ光の波長が可変な色素レーザとからなる第５の波長
可変レーザ装置、ＣＷレーザ光を出射するＹＡＧ第２高
調波レーザと、該ＹＡＧ第２高調波レーザから出射され
るＣＷレーザ光により励起され、出射するレーザ光の波
長が可変なチタンサファイアレーザとからなる第６の波
長可変レーザ装置を更に備えたので、紫外波長域から赤
外波長域までの広い波長領域にわたって波長が可変であ
り、実用的な出力のＣＷレーザ光を得ることができると
いう効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態による波長可変レーザ装
置を、生体の反応を測定する装置に適用した全体構成を
示すブロック図である。

【図２】図１中の波長可変レーザ装置１０〜１２の構
成を示す構成図である。

【図３】図１中の波長可変レーザ装置２０〜２２の構
成を示す構成図である。

【図４】図１中の波長可変レーザ装置３０〜３２の構
成を示す構成図である。

【図５】図１中の波長可変レーザ装置４０の構成を示
す構成図である。

【図６】図１中の波長可変レーザ装置５０の構成を示
す構成図である。

【図７】図１中の波長可変レーザ装置６０の構成を示
す構成図である。

【符号の説明】

１０〜６０波長可変レーザ装置１１０アルゴンイオンレーザ（クリプトン
イオンレーザ）２１０ＹＡＧ第２高調波レーザ（ＹＶＯ₄
第２高調波レーザ）１２０，２２０単一周波数型色素レーザ４２０，５２０マルチ周波数型色素レーザ３２０単一周波数型チタンサファイアレー
ザ１３０，２３０，３３０第２高調波発生装置６２０マルチ周波数型チタンサフ
ァイアレーザ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＣＷレーザ光を出射するＹＡＧ第２高調
波レーザと、前記ＹＡＧ第２高調波レーザから出射されるＣＷレーザ
光により励起され、出射するＣＷレーザ光の波長が可変
な色素レーザと、前記色素レーザから出射されるＣＷレーザ光の波長を第
２高調波発生によって半分に変換してＣＷレーザ光を出
射する第２高調波発生装置とを具備することを特徴とす
る波長可変レーザ装置。
【請求項２】ＣＷレーザ光を出射するＹＡＧ第２高調
波レーザと、前記ＹＡＧ第２高調波レーザから出射されるＣＷレーザ
光により励起され、出射するＣＷレーザ光の波長が可変
なチタンサファイアレーザと、前記チタンサファイアレーザから出射されるＣＷレーザ
光の波長を第２高調波発生によって半分に変換する第２
高調波発生装置とを具備することを特徴とする波長可変
レーザ装置。
【請求項３】ＣＷレーザ光を出射するＹＡＧ第２高調
波レーザと、前記ＹＡＧ第２高調波レーザから出射され
るＣＷレーザ光により励起され、出射するＣＷレーザ光
の波長が可変な色素レーザと、前記色素レーザから出射
されるＣＷレーザ光の波長を第２高調波発生によって半
分に変換してＣＷレーザ光を出射する第２高調波発生装
置とからなる第１の波長可変レーザ装置と、ＣＷレーザ光を出射するＹＡＧ第２高調波レーザと、前
記ＹＡＧ第２高調波レーザから出射されるＣＷレーザ光
により励起され、出射するＣＷレーザ光の波長が可変な
チタンサファイアレーザと、前記チタンサファイアレー
ザから出射されるＣＷレーザ光の波長を第２高調波発生
によって半分に変換する第２高調波発生装置とからなる
第２の波長可変レーザ装置とを具備することを特徴とす
る波長可変レーザ装置。
【請求項４】ＣＷレーザ光を出射するアルゴンイオン
レーザと、前記アルゴンイオンレーザから出射されるＣＷレーザ光
により励起され、出射するＣＷレーザ光の波長が可変な
色素レーザと、該色素レーザから出射されるＣＷレーザ光の波長を第２
高調波発生によって半分に変換する第２高調波発生装置
とからなる第３の波長可変レーザ装置を更に具備するこ
とを特徴とする請求項３記載の波長可変レーザ装置。
【請求項５】前記第１及び第２の波長可変レーザ装置
が各々複数設けられ、複数の前記第１及び第２の波長可
変レーザ装置各々から出射されるＣＷレーザ光の波長を
異なる波長に固定して離散的に波長を可変としたことを
特徴とする請求項３記載の波長可変レーザ装置。
【請求項６】前記第１から第３の波長可変レーザ装置
が各々複数設けられ、複数の前記第１から第３の波長可
変レーザ装置各々から出射されるＣＷレーザ光の波長を
異なる波長に固定して離散的に波長を可変としたことを
特徴とする請求項４記載の波長可変レーザ装置。
【請求項７】前記第１及び第２の波長可変レーザ装置
が各々複数設けられ、複数の前記第１及び第２の波長可
変レーザ装置のうち少なくとも２つの波長可変レーザ装
置から出射される波長可変なＣＷレーザ光を同時発生す
ることを特徴とする請求項３記載の波長可変レーザ装
置。
【請求項８】前記第１から第３の波長可変レーザ装置
が各々複数設けられ、複数の前記第１から第３の波長可
変レーザ装置のうち少なくとも２つの波長可変レーザ装
置から出射される波長可変なＣＷレーザ光を同時発生す
ることを特徴とする請求項４記載の波長可変レーザ装
置。
【請求項９】前記ＹＡＧ第２高調波レーザに代えてＹ
ＶＯ₄第２高調波レーザを備えたことを特徴とする請求
項１乃至請求項８の何れかに記載の波長可変レーザ装
置。
【請求項１０】前記アルゴンイオンレーザに代えてク
リプトンイオンレーザを備えたことを特徴とする請求項
４，６，８記載の波長可変レーザ装置。
【請求項１１】ＣＷレーザ光を出射するアルゴンイオ
ンレーザ（クリプトンイオンレーザを含む、以下同じ）
と、前記アルゴンイオンレーザから出射されるＣＷレーザ光
により励起され、出射するＣＷレーザ光の波長が可変な
色素レーザとからなる第４の波長可変レーザ装置を具備
することを特徴とする請求項３，４，６，８，１０記載
の波長可変レーザ装置。
【請求項１２】ＣＷレーザ光を出射するＹＡＧ第２高
調波レーザ（ＹＶＯ ₄第２高調波レーザを含む、以下同
じ）と、該ＹＡＧ第２高調波レーザから出射されるＣＷレーザ光
により励起され、出射するＣＷレーザ光の波長が可変な
色素レーザとからなる第５の波長可変レーザ装置を具備
することを特徴とする請求項１１記載の波長可変レーザ
装置。
【請求項１３】ＣＷレーザ光を出射するＹＡＧ第２高
調波レーザ（ＹＶＯ ₄第２高調波レーザを含む、以下同
じ）と、該ＹＡＧ第２高調波レーザから出射されるＣＷレーザ光
により励起され、出射するＣＷレーザ光の波長が可変な
チタンサファイアレーザとからなる第６の波長可変レー
ザ装置を具備することを特徴とする請求項１２記載の波
長可変レーザ装置。