JP3421194B2 - 波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置 - Google Patents

波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、波長可変レーザー
における波長選択可能なレーザー発振装置に関し、さら
に詳細には、励起レーザー源として連続発振レーザー
（ＣＷ−レーザー）を用い、連続発振レーザー光を励起
レーザ光としてレーザー共振器内に入射する波長可変レ
ーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置に関す
る。
【０００２】
【発明の背景および発明が解決しようとする課題】従
来、励起レーザー源としてＣＷ−レーザーを用い、連続
発振レーザー光を励起レーザ光としてレーザー共振器内
に入射する波長可変レーザー装置として、例えば、ＣＷ
−レーザー励起チタン・サファイア（Ｔｉ：Ａｌ2Ｏ3）
レーザーが知られている。
【０００３】しかしながら、このＣＷ−レーザー励起チ
タン・サファイア・レーザーにおいては、連続発振レー
ザー光を励起レーザー光として用いているので、励起レ
ーザー光のパワーが低く、レーザー共振器内の損失を極
めて少なくしないとレーザー発振しないものであり、ま
たレーザー発振したとしても波長同調速度が非常に遅い
という問題点があった。
【０００４】本発明は、従来の技術が有する上記したよ
うな問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とす
るところは、励起レーザー光として連続発振レーザー光
を用いながら、波長同調を高速で行うことを可能にした
波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振
装置を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による波長可変レーザーにおける波長選択可
能なレーザー発振装置は、所定範囲の波長域においてレ
ーザー発振可能な波長可変レーザー媒質と、上記波長可
変レーザー媒質からの出射光が入射される複屈折性の光
音響光学結晶と、上記波長可変レーザー媒質と上記光音
響光学結晶とを内部に順次に配設した単一のレーザー共
振器であって、上記光音響光学結晶によって所定の方向
に回折された回折光のみを反射して往復するように対向
して配置された所定の透過率を有する出射側ミラーと光
を透過させずに反射する全反射ミラーとにより構成され
た単一のレーザー共振器と、上記光音響光学結晶に装着
され、上記光音響光学結晶に音響波を入力するための音
響波入力手段と、上記レーザー共振器内に励起レーザー
光を入射する連続発振レーザーとを有し、上記出射側ミ
ラーから出射されるレーザー光を上記レーザー共振器か
らの出射レーザー光とするようにしたものである。
【０００６】また、本発明による波長可変レーザーにお
ける波長選択可能なレーザー発振装置は、所定範囲の波
長域においてレーザー発振可能な波長可変レーザー媒質
と、上記波長可変レーザー媒質からの出射光が入射され
る複屈折性の光音響光学結晶と、上記波長可変レーザー
媒質と上記光音響光学結晶とを内部に順次に配設した単
一のレーザー共振器であって、上記光音響光学結晶によ
って所定の方向に回折された回折光のみを反射して往復
するように対向して配置された光を透過させずに反射す
る全反射ミラーにより構成された単一のレーザー共振器
と、上記光音響光学結晶に装着され、上記光音響光学結
晶に音響波を入力するための音響波入力手段と、上記レ
ーザー共振器内に励起レーザー光を入射する連続発振レ
ーザーとを有し、上記光音響光学結晶から出射される非
回折光を上記レーザー共振器からの出射レーザー光とす
るようにしたものである。
【０００７】また、本発明による波長可変レーザーにお
ける波長選択可能なレーザー発振装置は、前記レーザー
共振器内に配設され、前記光音響光学結晶から出射され
る回折光の分散を補正する光学素子を有するようにして
もよい。
【０００８】ここで、上記連続発振レーザーは、連続発
振固体レーザー、連続発振半導体レーザーあるいは連続
発振Ａｒイオン・レーザー、連続発振Ｎｄ固体レーザー
の第２高調波などにより構成することができる。
【０００９】また、上記レーザー共振器は、Ｚホールド
型のレーザー共振器やＸホールド型のレーザー共振器と
して構成することができる。
【００１０】また、上記波長可変レーザー媒質は、その
入射端面がブルースターカットされ、上記レーザー共振
器内の光路に対して上記入射端面がブルースターアング
ルにより配置されるようにしてもよい。
【００１１】また、上記波長可変レーザー媒質は、その
入射端面が無反射コーティングされ、上記レーザー共振
器内の光路に対して上記入射端面が垂直に配置されるよ
うにしてもよい。
【００１２】また、上記レーザー共振器を構成する対向
するミラーの一方を、上記波長可変レーザー媒質の端面
に形成された鏡面コーティングにより構成するようにし
てもよい。
【００１３】従って、本発明による波長可変レーザーに
おける波長選択可能なレーザー発振装置においては、波
長可変レーザー媒質からの出射光を光音響光学結晶へ入
射し、この光音響光学結晶に音響波入力手段により音響
波を入力することにより、波長可変レーザー媒質からの
出射光の波長を選択するようにしたので、レーザー発振
の際の波長同調を高速に行うことができるようになっ
て、この波長可変レーザーにおける波長選択可能なレー
ザー発振装置からの出射レーザー光の高速かつランダム
な波長選択が可能となり、その結果、出射レーザー光の
波長可変速度を高速化することができる。
【００１４】ここで、本発明による波長可変レーザーに
おける波長選択可能なレーザー発振装置の波長選択は、
ＴｅＯ2結晶などの複屈折性をもつ光音響光学結晶中に
音響波を発生させると、当該結晶に入射された光の中で
当該音響波の周波数に応じた特定波長の回折光の偏光面
は、非回折光の偏光面と直交するようになるばかりでな
く、当該回折光の出射角度が非回折光の出射角度と大き
く異なるように偏角する点に着目してなされたものであ
る。
【００１５】図１は、音響波による特定波長の光の偏光
作用を用いた波長選択作用を示す概念図であるが、複屈
折の性質を有する光音響光学結晶１００中に、波長λ
ｉ、角周波数ωｉの入射光１０２を入射するものとす
る。さらに、光音響光学結晶１００中に、周波数ωａの
音響波１０４を与えると、回折光１０６が得られること
になる。
【００１６】上記の光音響光学結晶１００で回折される
光線成分たる回折光１０６に対して、全反射ミラー１１
０と所定の透過性を有する出射側ミラー１１２とを配置
すると、全反射ミラー１１０と出射側ミラー１１２とに
より両者の間を回折光１０６が往復するレーザー共振器
が構成されることになる。
【００１７】ここで、回折光１０６の波長は、光音響光
学結晶１００中に発生される音響波１０４の周波数によ
って決定されるので、例えば、光音響光学結晶１００に
対してＲＦ電源により駆動される圧電素子を添着し、Ｒ
Ｆ電源により圧電素子を駆動させて当該圧電素子に歪み
を生じさせることにより、当該歪みに応じた周波数の音
響波１０４を光音響光学結晶１００に入力する場合に
は、ＲＦ電源の周波数の制御によりレーザー波長の可変
制御が可能となる。
【００１８】また、回折光１０６への回折効率は音響波
強度により決定されるので、ＲＦ電源の入力強度の制御
よりレーザー共振器の損失を制御し、ひいてはレーザー
出力の可変制御が可能となる。
【００１９】しかしながら、回折角α１０９は、回折光
１０６の波長に対して完全に一定ではないので、回折光
１０６に対する全反射ミラー１１０の垂直反射により、
レーザー共振器を構成できる波長範囲は狭く、広い波長
領域でレーザー発振させるためには全反射ミラー１１０
の配置角度を少しづつ調整しなければならないので、実
用上その調整作業が煩雑になる恐れがある。このため、
全反射ミラー１１０の配置角度を変えることなく可変波
長範囲を広げるためには、何らかの手段により回折角α
１０９のぶれを補正する必要がある。
【００２０】この回折角α１０９のぶれを補正する手段
としては、例えば、三角プリズムなどの光の波長を分散
させる光学素子を用いて、波長λ１、λ２のぶれ角Δα
をもつ光線が三角プリズム通過後にほぼ平行に進行する
ように設定することができる。これにより、回折光１０
６を全反射ミラー１１０に常時垂直に入射させることが
できるようになり、広波長域用のレーザー共振器を構成
できる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面に基づいて、本
発明による波長可変レーザーにおける波長選択可能なレ
ーザー発振装置の実施の形態を詳細に説明するものとす
る。
【００２２】図２には、本発明の第１の実施の形態によ
る波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
振装置の概略構成説明図が示されている。
【００２３】この波長可変レーザーにおける波長選択可
能なレーザー発振装置は、レーザー共振器内を往復する
光の光路がアルファベットの「Ｚ」字形状になる、所
謂、Ｚホールド型のレーザー共振器を用いており、この
Ｚホールド型のレーザー共振器は、所定の透過性（例え
ば、入射された光の９８％反射し、２％透過する。）を
有する出射側ミラー１０と入射された光を全反射（１０
０％反射）する全反射ミラー１２とを有して構成されて
いる。
【００２４】さらに、Ｚホールド型のレーザー共振器
は、励起レーザー光Ａを入射するとともに出射側ミラー
１０と全反射ミラー１２との間を往復する光Ｂを全反射
する第１中間ミラー１４と、出射側ミラー１０と全反射
ミラー１２との間を往復する光Ｂを全反射する第２中間
ミラー１６とを備えて構成されており、レーザー共振器
内を往復する光Ｂの光路がアルファベットの「Ｚ」字形
状になるように配置されている。
【００２５】レーザー共振器の光路上の第１中間ミラー
１４と第２中間ミラー１６との間には、波長可変レーザ
ー媒質として入射光の入射端面がブルースターカットさ
れたＴｉ：Ａｌ2Ｏ3レーザー結晶１８が、その入射端面
が入射光の反射が０となるブルースターアングルにより
配置されており、励起レーザー光Ａにより縦方向同軸励
起によりレーザー発振が生じるように構成されている。
【００２６】また、レーザー共振器の光路上の第２中間
ミラー１６と全反射ミラー１２との間には、波長選択用
の結晶としての複屈折の性質を有する光音響光学結晶２
０が配設されている。
【００２７】そして、光音響光学結晶２０には、音響波
入力手段として、パーソナル・コンピューター２２によ
り周波数を制御されたＲＦ電源２４により駆動される圧
電素子２６が添着されている。従って、パーソナル・コ
ンピューター２２の制御により任意の周波数に設定され
たＲＦ電源２４により圧電素子２６を駆動して、圧電素
子２６に歪みを生じさせると、この圧電素子２６の歪み
に基づいて、当該歪みに応じた周波数の音響波が光音響
光学結晶２０に入力されることになる。そして、光音響
光学結晶２０は入力された音響波に応じた光Ｄのみを回
折することになる。
【００２８】従って、圧電素子２６は、出射側ミラー１
０から出射させたい出射レーザー光Ｃの波長を備えた光
Ｂのみを、光音響光学結晶２０が所定の方向に回折した
回折光Ｄとして出射し、レーザー発振することができる
ように、パーソナル・コンピューター２２により光音響
光学結晶２０への音響波の入力が制御されることにな
る。
【００２９】さらに、光音響光学結晶２０と全反射ミラ
ー１２との間には、回折光Ｄの分散を補正するための分
散補正用プリズム２８が配設されている。この分散補正
用プリズム２８を用いることにより、出射レーザー光Ｃ
の方向性を一定にすることができる。
【００３０】そして、この波長可変レーザーにおける波
長選択可能なレーザー発振装置においては、レーザー共
振器内へ励起レーザー光Ａを入射するためのレーザーと
して、連続発振レーザー（ＣＷ−レーザー）３２を用い
ている。ＣＷ−レーザー３２としては、具体的には、連
続発振固体レーザー、連続発振半導体レーザーあるいは
連続発振Ａｒイオン・レーザー（ＣＷ−Ａｒイオン・レ
ーザー）などを用いることができる。
【００３１】即ち、波長可変レーザー媒質として、Ｔ
ｉ：Ａｌ2Ｏ3レーザー結晶１８の代わりに、ＬｉＳＡＦ
レーザー結晶、ＬｉＣＡＦレーザー結晶などを用いた場
合には、Ｎｄ：ＹＡＧレーザー、Ｎｄ：ＹＬＦレーザ
ー、Ｎｄ：ＹＵＯ4レーザーなどのＮｄ固体レーザーの
ような固体レーザーの第２高調波を、ＣＷ−レーザー３
２として用いることができる。
【００３２】ＣＷ−レーザー３２によって発生された励
起レーザー光Ａは全反射ミラー３４により全反射集光ミ
ラー３６に反射され、全反射集光ミラー３６により集光
されて第１中間ミラー１４を介してＴｉ：Ａｌ2Ｏ3レー
ザー結晶１８を縦方向同軸励起するように入射される。
【００３３】ここで、励起レーザー光Ａとしてレーザー
共振器内に入射される、ＣＷ−レーザー３２のパワーの
低い連続発振レーザー光によってレーザー発振を生じさ
せるために、光音響光学結晶２０から出射される回折光
Ｄの回折効率のできるだけ高い光音響光学結晶２０を用
いる必要がある。
【００３４】以上の構成において、出射レーザー光Ｃを
得るには、ＣＷ−レーザー３２により入射された励起レ
ーザ光Ａを用いてＴｉ：Ａｌ2Ｏ3レーザー結晶１８を励
起する。また、上記した原理に基づいて、出射側ミラー
１０から出射させたい出射レーザー光Ｃの波長に応じ
て、ＲＦ電源２４の周波数をパーソナル・コンピュータ
ー２２により制御し、圧電素子２６を振動する。
【００３５】上記のようにすると、光音響光学結晶２０
に入射されたＴｉ：Ａｌ2Ｏ3レーザー結晶１８から出射
された広範囲の波長帯域の出射光の中で、ＲＦ電源２４
の周波数に応じた波長の出射光に関しては、所定の方向
に回折されて回折光Ｄとして光音響光学結晶２０から出
射されることになる。さらに、光音響光学結晶２０から
所定の方向に回折されて出射された回折光Ｄは、分散補
正用プリズム２８を介して全反射ミラー１２に入射さ
れ、この全反射ミラー１２によって反射されて、「Ｚ」
字形状の光路によりレーザー共振器内を往復することに
なる。
【００３６】従って、ＲＦ電源２４の周波数に応じた波
長の光のみが増幅されてレーザー発振を生ぜしめ、レー
ザー共振器から当該波長の出射レーザー光Ｃのみを出射
させることができる。
【００３７】このように、出射レーザー光Ｃの波長選択
は、パーソナル・コンピューター２２の制御によりＲＦ
電源２４の周波数を選択して、ＲＦ電源２４により圧電
素子２６を振動させることで実現できるので、レーザー
発振の際の波長同調を高速に行うことができるようにな
って、出射レーザー光Ｃの高速かつランダムな波長選択
が可能となり、結果として、出射レーザー光の波長可変
速度を高速化することができる。
【００３８】また、分散補正用プリズム２８が設けられ
ているため、回折光Ｄの回折角度の分散が補正されるこ
とになる。回折光Ｄの回折角度の分散があるとレーザー
共振器内で光の光路が変わることになり、波長可変域に
制限を受けることになるが、分散補正用プリズム２８を
設けることにより、こうした問題点を解消することがで
きる。さらに、それと同時に、波長同調時に起きる出射
レーザー光Ｃの出射方向の変動も補正することができ
る。
【００３９】さらに、レーザー共振器の構成をＺホール
ド型に構成して、励起レーザー光Ａを全反射集光ミラー
３６により集光してＴｉ：Ａｌ2Ｏ3レーザー結晶１８へ
入射するようにしたので、パワーの低いＣＷ−レーザー
３２による励起レーザー光Ａによっても、十分にレーザ
ー発振を生じさせることができる。
【００４０】図３には、本発明の第２の実施の形態によ
る波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
振装置の概略構成説明図が示されているが、図２に示す
本発明の第１の実施の形態による波長可変レーザーにお
ける波長選択可能なレーザー発振装置の構成と同一ある
いは相当する構成には、図１と同一の符号を付して示す
ことにより、その詳細な説明は省略する。
【００４１】この第２の実施の形態に示す波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置は、レー
ザー共振器の構成が、所謂、Ｘホールド型とされている
点についてのみ、第１の実施の形態に示す波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置と相違す
る。
【００４２】この第２の実施の形態に示す波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置に用いた
Ｘホールド型のレーザー共振器においても、励起レーザ
ー光Ａは、全反射集光ミラー３６により集光されてＴ
ｉ：Ａｌ2Ｏ3レーザー結晶１８へ入射されるので、パワ
ーの低いＣＷ−レーザー３２による励起レーザー光Ａに
よっても、十分にレーザー発振を生じさせることができ
る。
【００４３】しかも、このＸホールド型のレーザー共振
器によれば、Ｚホールド型のレーザー共振器に比べて、
レーザー共振器の構成をコンパクトにすることができ
る。
【００４４】図４には、本発明の第３の実施の形態によ
る波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
振装置の概略構成説明図が示されているが、図２に示す
本発明の第１の実施の形態による波長可変レーザーにお
ける波長選択可能なレーザー発振装置の構成と同一ある
いは相当する構成には、図１と同一の符号を付して示す
ことにより、その詳細な説明は省略する。
【００４５】この第３の実施の形態に示す波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置において
は、図１における全反射ミラー１２を出射側ミラー１０
により置換するとともに、図１における出射側ミラー１
０および第１中間ミラー１４を排除し、その代わりに励
起レーザー光Ａが入射される側のＴｉ：Ａｌ2Ｏ3レーザ
ー結晶１８の端面に、励起レーザー光Ａを入射するとと
もにＴｉ：Ａｌ2Ｏ3レーザー結晶１８から出射される光
を反射する鏡面コーティング４０を施した点についての
み、第１の実施の形態に示す波長可変レーザーにおける
波長選択可能なレーザー発振装置と相違する。
【００４６】従って、第３の実施の形態に示す波長可変
レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置にお
いては、鏡面コーティング４０と出射側ミラー１０とに
よりレーザー共振器が構成されることになる。
【００４７】このため、第３の実施の形態に示す波長可
変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置に
よれば、第１実施の形態ならびに第２の実施の形態に示
す波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
振装置よりも構成部品点数を削減することができ、装置
全体を小型化することができるとともに、コスト低減を
図ることができる。
【００４８】図５には、本発明の第４の実施の形態によ
る波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
振装置の概略構成説明図が示されているが、図２に示す
本発明の第１の実施の形態による波長可変レーザーにお
ける波長選択可能なレーザー発振装置の構成と同一ある
いは相当する構成には、図２と同一の符号を付して示す
ことにより、その詳細な説明は省略する。
【００４９】この第４の実施の形態による波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置において
は、Ｔｉ：Ａｌ2Ｏ3レーザー結晶１８の入射光の入射端
面ををブルースターカットしてブルースターアングルで
配置するのではなく、Ｔｉ：Ａｌ2Ｏ3レーザー結晶１８
を垂直入射カットするとともに無反射コーティング４２
を施し、励起レーザー光Ａが垂直に入射されるように配
置した点において、第１の実施の形態に示す波長可変レ
ーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置と相違
する。
【００５０】このように、Ｔｉ：Ａｌ2Ｏ3レーザー結晶
１８を励起レーザー光Ａが垂直に入射されるように配置
する場合には、ブルースターアングルに配置する場合に
比べてセッティングが容易であり、角度の分散も小さく
広い波長領域を得ることができる。
【００５１】図６には、本発明の第５の実施の形態によ
る波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
振装置の概略構成説明図が示されているが、図２に示す
本発明の第１の実施の形態による波長可変レーザーにお
ける波長選択可能なレーザー発振装置の構成と同一ある
いは相当する構成には、図２と同一の符号を付して示す
ことにより、その詳細な説明は省略する。
【００５２】この第５の実施の形態による波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置において
は、図２における出射側ミラー１０を１００％反射の全
反射ミラー４４により置換し、非回折光Ｅを出射レーザ
ー光Ｃとして出射するようにした点について、第１の実
施の形態に示す波長可変レーザーにおける波長選択可能
なレーザー発振装置と相違する。
【００５３】この第５の実施の形態による波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置によれ
ば、透過性の出射側ミラー１０を用いることがないでの
で、第１の実施の形態に示す波長可変レーザーにおける
波長選択可能なレーザー発振装置と比べて、レーザー共
振器による光の損失を低減させることができ、光音響光
学結晶２０から出射される回折光Ｄと非回折光Ｅとの割
合は、例えば、回折光Ｄが９８％であり、非回折光Ｅが
２％であるように設定することができるようになり、回
折光Ｄの割合を小さくすることができる。従って、第１
の実施の形態に示す波長可変レーザーにおける波長選択
可能なレーザー発振装置よりも、光音響光学結晶２０や
分散補正用プリズム２８のセッティング、パーソナル・
コンピューター２２を用いたＲＦ電源２４による圧電素
子２６の制御などの余裕度を向上することができる。
【００５４】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、励起レーザー光として連続発振レーザー光
を用いながら、波長同調を高速に行うことができるとい
う優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】音響波による特定波長の光の回折作用を用いた
波長選択作用を示す概念図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態による波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置の概略構
成説明図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態による波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置の概略構
成説明図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態による波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置の概略構
成説明図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態による波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置の概略構
成説明図である。
【図６】本発明の第５の実施の形態による波長可変レー
ザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置の概略構
成説明図である。
【符号の説明】
１０ 出射側ミラー １２ 全反射ミラー １４ 第１中間ミラー １６ 第２中間ミラー １８ Ｔｉ：Ａｌ2Ｏ3レーザー結晶 ２０ 光音響光学結晶 ２２ パーソナル・コンピューター ２４ ＲＦ電源 ２６ 圧電素子 ２８ 分散補正用プリズム ３２ ＣＷ−レーザー ３４ 全反射ミラー ３６ 全反射集光ミラー ４０ 鏡面コーティング ４２ 無反射コーティング ４４ 全反射ミラー １００ 光音響光学結晶 １０２ 入射光 １０４ 音響波 １０６ 回折光 １０８ 非回折光 １０９ 回折角α １１０ 全反射ミラー １１２ 出射側ミラー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田代 英夫 宮城県仙台市青葉区長町字越路19−1399 理化学研究所フォトダイナミクス研究 センター内 (56)参考文献 特開 平５−167164（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−104512（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−4579（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−275783（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−352483（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−248586（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−243656（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−32163（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01S 3/00 - 3/30

Claims (13)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 所定範囲の波長域においてレーザー発振
    可能な波長可変レーザー媒質と、 前記波長可変レーザー媒質からの出射光が入射される複
    屈折性の光音響光学結晶と、 前記波長可変レーザー媒質と前記光音響光学結晶とを内
    部に順次に配設した単一のレーザー共振器であって、前
    記光音響光学結晶によって所定の方向に回折された回折
    光のみを反射して往復するように対向して配置された所
    定の透過率を有する出射側ミラーと光を透過させずに反
    射する全反射ミラーとにより構成された単一のレーザー
    共振器と、 前記光音響光学結晶に装着され、前記光音響光学結晶に
    音響波を入力するための音響波入力手段と、 前記レーザー共振器内に励起レーザー光を入射する連続
    発振レーザーとを有し、 前記出射側ミラーから出射されるレーザー光を前記レー
    ザー共振器からの出射レーザー光とすることを特徴とす
    る波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
    振装置。
  2. 【請求項２】 所定範囲の波長域においてレーザー発振
    可能な波長可変レーザー媒質と、 前記波長可変レーザー媒質からの出射光が入射される複
    屈折性の光音響光学結晶と、 前記波長可変レーザー媒質と前記光音響光学結晶とを内
    部に順次に配設した単一のレーザー共振器であって、前
    記光音響光学結晶によって所定の方向に回折された回折
    光のみを反射して往復するように対向して配置された光
    を透過させずに反射する全反射ミラーにより構成された
    単一のレーザー共振器と、 前記光音響光学結晶に装着され、前記光音響光学結晶に
    音響波を入力するための音響波入力手段と、 前記レーザー共振器内に励起レーザー光を入射する連続
    発振レーザーとを有し、 前記光音響光学結晶から出射される非回折光を前記レー
    ザー共振器からの出射レーザー光とすることを特徴とす
    る波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発
    振装置。
  3. 【請求項３】 請求項１または請求項２のいずれか１項
    に記載の波長可変レーザーにおける波長選択可能なレー
    ザー発振装置において、 前記レーザー共振器内に配設され、前記光音響光学結晶
    から出射される回折光の分散を補正して波長に関わらず
    常に一定の方向に出射する光学素子を有することを特徴
    とする波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザ
    ー発振装置。
  4. 【請求項４】 請求項１、請求項２または請求項３のい
    ずれか１項に記載の波長可変レーザーにおける波長選択
    可能なレーザー発振装置において、 前記連続発振レーザーが、連続発振固体レーザーである
    ことを特徴とする波長可変レーザーにおける波長選択可
    能なレーザー発振装置。
  5. 【請求項５】 請求項１、請求項２または請求項３のい
    ずれか１項に記載の波長可変レーザーにおける波長選択
    可能なレーザー発振装置において、 前記連続発振レーザーが、連続発振半導体レーザーであ
    ることを特徴とする波長可変レーザーにおける波長選択
    可能なレーザー発振装置。
  6. 【請求項６】 請求項１、請求項２または請求項３のい
    ずれか１項に記載の波長可変レーザーにおける波長選択
    可能なレーザー発振装置において、 前記連続発振レーザーが、連続発振Ａｒイオン・レーザ
    ーであることを特徴とする波長可変レーザーにおける波
    長選択可能なレーザー発振装置。
  7. 【請求項７】 請求項１、請求項２または請求項３のい
    ずれか１項に記載の波長可変レーザーにおける波長選択
    可能なレーザー発振装置において、 前記連続発振レーザーが、連続発振Ｎｄ固体レーザーの
    第２高調波であることを特徴とする波長可変レーザーに
    おける波長選択可能なレーザー発振装置。
  8. 【請求項８】 請求項１、請求項２、請求項３、請求項
    ４、請求項５、請求項６または請求項７のいずれか１項
    に記載の波長可変レーザーにおける波長選択可能なレー
    ザー発振装置において、 前記レーザー共振器は、Ｚホールド型のレーザー共振器
    であることを特徴とする波長可変レーザーにおける波長
    選択可能なレーザー発振装置。
  9. 【請求項９】 請求項１、請求項２、請求項３、請求項
    ４、請求項５、請求項６または請求項７のいずれか１項
    に記載の波長可変レーザーにおける波長選択可能なレー
    ザー発振装置において、 前記レーザー共振器は、Ｘホールド型のレーザー共振器
    であることを特徴とする波長可変レーザーにおける波長
    選択可能なレーザー発振装置。
  10. 【請求項１０】 請求項１、請求項２、請求項３、請求
    項４、請求項５、請求項６、請求項７、請求項８または
    請求項９のいずれか１項に記載の波長可変レーザーにお
    ける波長選択可能なレーザー発振装置において、 前記波長可変レーザー媒質は入射端面をブルースターカ
    ットされ、前記レーザー共振器内の光路に対して前記入
    射端面がブルースターアングルにより配置されたことを
    特徴とする波長可変レーザーにおける波長選択可能なレ
    ーザー発振装置。
  11. 【請求項１１】 請求項１、請求項２、請求項３、請求
    項４、請求項５、請求項６、請求項７、請求項８または
    請求項９のいずれか１項に記載の波長可変レーザーにお
    ける波長選択可能なレーザー発振装置において、 前記波長可変レーザー媒質は入射端面を無反射コーティ
    ングされ、前記レーザー共振器内の光路に対して前記入
    射端面が垂直に配置されたことを特徴とする波長可変レ
    ーザーにおける波長選択可能なレーザー発振装置。
  12. 【請求項１２】 請求項１、請求項２、請求項３、請求
    項４、請求項５、請求項６、請求項７、請求項８または
    請求項９のいずれか１項に記載の波長可変レーザーにお
    ける波長選択可能なレーザー発振装置において、 前記レーザー共振器を構成する対向するミラーの一方
    は、前記波長可変レーザー媒質の端面に形成された鏡面
    コーティングであることを特徴とする波長可変レーザー
    における波長選択可能なレーザー発振装置。
  13. 【請求項１３】 請求項１、請求項２、請求項３、請求
    項４、請求項５、請求項６、請求項７、請求項８、請求
    項９、請求項１０、請求項１１または請求項１２のいず
    れか１項に記載の波長可変レーザーにおける波長選択可
    能なレーザー発振装置において、 前記光音響光学素子に入力する音響波の強度を変えてレ
    ーザー出力を制御する手段とを有することを特徴とする
    波長可変レーザーにおける波長選択可能なレーザー発振
    装置。
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