JPH10313040A - 試料搬出入装置 - Google Patents
試料搬出入装置Info
- Publication number
- JPH10313040A JPH10313040A JP10435098A JP10435098A JPH10313040A JP H10313040 A JPH10313040 A JP H10313040A JP 10435098 A JP10435098 A JP 10435098A JP 10435098 A JP10435098 A JP 10435098A JP H10313040 A JPH10313040 A JP H10313040A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- vacuum
- opening
- sample
- processing
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】各処理室の相互汚染がなく、保守性が良い連続
で複数の処理が行える複数真空処理装置を得る。 【解決手段】試料を処理開始から終了まで、又は一つ以
上の処理の間、真空に保持し、複数の真空室で処理を行
う装置であって、真空室の試料の移動を、真空室を移動
および結合できる真空室を介して行う。
で複数の処理が行える複数真空処理装置を得る。 【解決手段】試料を処理開始から終了まで、又は一つ以
上の処理の間、真空に保持し、複数の真空室で処理を行
う装置であって、真空室の試料の移動を、真空室を移動
および結合できる真空室を介して行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料を真空で連続
して複数処理する真空処理装置に係わり、特に半導体製
造装置に関するものである。
して複数処理する真空処理装置に係わり、特に半導体製
造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の複数処理装置は、例えば、セミ・
コンダクタ・ワールド（Semi Conductor World）１９８
９、８、３８〜４０頁に記載されているように各処理室
は、真空にされた搬送室等で連結されていた。
コンダクタ・ワールド（Semi Conductor World）１９８
９、８、３８〜４０頁に記載されているように各処理室
は、真空にされた搬送室等で連結されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術の放射状
連結は、各処理室が放射状に連結されているため、試料
の大口径化に伴う設置場所の拡がり、又は、連結される
処理室の数にも制限があった。
連結は、各処理室が放射状に連結されているため、試料
の大口径化に伴う設置場所の拡がり、又は、連結される
処理室の数にも制限があった。
【０００４】また、上記従来技術の直線状連結は、各処
理室が放射状に連結されているため、処理前後の試料の
位置が離れ操作性が悪く、各処理室の大きさにより、各
室の標準化が困難であった。
理室が放射状に連結されているため、処理前後の試料の
位置が離れ操作性が悪く、各処理室の大きさにより、各
室の標準化が困難であった。
【０００５】さらに、上記従来技術は、各処理室が真空
の搬送室等で常に連結されているため、各処理室の保守
スペースが不十分で移動等も困難であり、また、各真空
処理室間が連結されるための相互汚染も問題があった。
の搬送室等で常に連結されているため、各処理室の保守
スペースが不十分で移動等も困難であり、また、各真空
処理室間が連結されるための相互汚染も問題があった。
【０００６】本発明の目的は、各処理室の相互汚染がな
く、保守性が良い連続で複数の処理が行えるようにする
ことにある。
く、保守性が良い連続で複数の処理が行えるようにする
ことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、移動可能な真空室で、試料の真空状態を保持し、各
真空室の真空を独立させたものである。
に、移動可能な真空室で、試料の真空状態を保持し、各
真空室の真空を独立させたものである。
【０００８】このようにすれば、真空に保持された各真
空室を独立させ、その間を移動可能な真空室により、試
料を必要な時、真空に保持し搬出入できるようになるの
で、各処理室の保守性が向上し、各真空処理室の真空レ
ベルを単独に構成、制御可能であるため、各処理室間の
相互汚染が防止することができる。
空室を独立させ、その間を移動可能な真空室により、試
料を必要な時、真空に保持し搬出入できるようになるの
で、各処理室の保守性が向上し、各真空処理室の真空レ
ベルを単独に構成、制御可能であるため、各処理室間の
相互汚染が防止することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１お
よび図２により説明する。
よび図２により説明する。
【００１０】図１において、システムの構成は、試料を
大気中から真空中へ、および真空中から大気中へ戻すた
め、ロードアンロード装置１と、そこから試料を真空保
持の状態で受け取り又は受け渡し可能な真空移動装置２
と、その真空移動装置２との間で試料を真空保持状態で
搬出入可能な一つ以上の処理モジュール３ａ〜３ｃでな
る。
大気中から真空中へ、および真空中から大気中へ戻すた
め、ロードアンロード装置１と、そこから試料を真空保
持の状態で受け取り又は受け渡し可能な真空移動装置２
と、その真空移動装置２との間で試料を真空保持状態で
搬出入可能な一つ以上の処理モジュール３ａ〜３ｃでな
る。
【００１１】図２において、真空移動装置２と一つの処
理モジュールの構成について説明する。
理モジュールの構成について説明する。
【００１２】まず、真空移動装置２は、試料を真空状態
に保持する移動真空室４と、試料搬出入時開くゲートバ
ルブ５ａとで真空室を形成する。その移動真空室４に
は、試料の搬出入時に稼働する試料搭載装置１０が取り
付けられている。また、真空移動装置２がロードアンロ
ード装置１および各処理モジュール３ａ〜３ｃ間を移動
するために移動装置１１が設けられると共に、移動真空
室４に設けられたロック室６ａを処理モジュール３又は
ロードアンロード装置の真空室のロック室６ｂと連結す
る結合装置９が設けられている。
に保持する移動真空室４と、試料搬出入時開くゲートバ
ルブ５ａとで真空室を形成する。その移動真空室４に
は、試料の搬出入時に稼働する試料搭載装置１０が取り
付けられている。また、真空移動装置２がロードアンロ
ード装置１および各処理モジュール３ａ〜３ｃ間を移動
するために移動装置１１が設けられると共に、移動真空
室４に設けられたロック室６ａを処理モジュール３又は
ロードアンロード装置の真空室のロック室６ｂと連結す
る結合装置９が設けられている。
【００１３】各処理モジュール３は、試料の処理を行う
処理室８と、搬送アーム１６の収納される真空保持のバ
ッファ室７と、真空移動装置２のロック室６ａと連結さ
れるロック室６ｂより真空室が形成され、各室は、ゲー
トバルブ５ｂおよび５ｃにより連通となる。ロック室６
ｂには、ロック室６ａおよび６ｂを大気に戻すためにＮ
2ガス元１４がバルブ１５を介して接続され、また、真
空引きをするために真空ポンプ１２がバルブ１３を介し
て接続されている。また、ロードアンロード装置１にも
上記の処理モジュール３と同様の機構が設けられる。
処理室８と、搬送アーム１６の収納される真空保持のバ
ッファ室７と、真空移動装置２のロック室６ａと連結さ
れるロック室６ｂより真空室が形成され、各室は、ゲー
トバルブ５ｂおよび５ｃにより連通となる。ロック室６
ｂには、ロック室６ａおよび６ｂを大気に戻すためにＮ
2ガス元１４がバルブ１５を介して接続され、また、真
空引きをするために真空ポンプ１２がバルブ１３を介し
て接続されている。また、ロードアンロード装置１にも
上記の処理モジュール３と同様の機構が設けられる。
【００１４】以上、本実施例によれば、ロードアンロー
ド装置および各処理モジュールの真空室を単独で切り離
して配置していても、試料は、各処理の開始から終了ま
で真空状態で処理することができる。
ド装置および各処理モジュールの真空室を単独で切り離
して配置していても、試料は、各処理の開始から終了ま
で真空状態で処理することができる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、各処理モジュールを単
独で切り離していても、試料は各処理の開始から終了も
しくは一部を真空状態で連続処理できるので、各真空室
間の相互汚染の問題がなく、各処理モジュールが切り離
されているので保守性が良い。
独で切り離していても、試料は各処理の開始から終了も
しくは一部を真空状態で連続処理できるので、各真空室
間の相互汚染の問題がなく、各処理モジュールが切り離
されているので保守性が良い。
【００１６】また、各処理の真空レベル、真空の質およ
び制御は完全に独立できるので、各処理モジュール間の
制御が容易になる。
び制御は完全に独立できるので、各処理モジュール間の
制御が容易になる。
【図１】本発明の一実施例の複数真空処理装置の構成を
表した平面図である。
表した平面図である。
【図２】図１の処理モジュール部の縦断面図である。
１…ロードアンロード室、２…真空移動装置、３…処理
モジュール、４…移動真空室、５ａ〜５ｃ…ゲートバル
ブ、６…ロック室、７…バッファ室、８…処理室、９…
結合装置、１０…試料搭載装置、１１…移動装置、１２
…真空ポンプ、１３…バルブ、１４…Ｎ2ガス元、１５
…バルブ、１６…搬送アーム。
モジュール、４…移動真空室、５ａ〜５ｃ…ゲートバル
ブ、６…ロック室、７…バッファ室、８…処理室、９…
結合装置、１０…試料搭載装置、１１…移動装置、１２
…真空ポンプ、１３…バルブ、１４…Ｎ2ガス元、１５
…バルブ、１６…搬送アーム。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年５月１３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 試料搬出入装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料を処理する例
えば半導体処理装置等の処理装置に対し、試料を搬出入
する試料搬出入装置に係わり、特に試料を真空で連続し
て処理する例えば半導体処理装置等の処理装置に適用し
て好適な試料搬出入装置に関する。
えば半導体処理装置等の処理装置に対し、試料を搬出入
する試料搬出入装置に係わり、特に試料を真空で連続し
て処理する例えば半導体処理装置等の処理装置に適用し
て好適な試料搬出入装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】本発明の目的は、閉容器により閉じた状態
で搬送した試料を、半導体処理装置の処理室等の室に容
易に、且つより確実に搬出入可能な試料搬出入装置を得
ることにある。
で搬送した試料を、半導体処理装置の処理室等の室に容
易に、且つより確実に搬出入可能な試料搬出入装置を得
ることにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の特徴とするところは、試料を収納可能で、
一側面に当該試料を搬出入可能な第１の開閉部を備えた
搬送可能な閉容器と、前記試料を搬出入する室に設けら
れ、前記試料を搬出入可能で、閉じることによって当該
室を閉じる第２の開閉部と、前記閉容器の前記第１の開
閉部を、前記第２の開閉部に位置決めした状態で前記第
１の開閉部と前記第２の開閉部とを連結する結合手段と
を具備し、前記結合手段により前記第１の開閉部と前記
第２の開閉部とを連結した状態において、前記第１の開
閉部と前記第２の開閉部とを開き、前記閉容器に対し前
記試料を前記第１の開閉部と前記第２の開閉部との開口
を通して、搬出入することを特徴とする試料搬出入装置
にある。また、本発明の好適な実施態様によれば、前記
結合手段は、前記第１の開閉部と前記第２の開閉部との
連結に際し、前記閉容器の一側面と、前記室とを密着連
結する。
に、本発明の特徴とするところは、試料を収納可能で、
一側面に当該試料を搬出入可能な第１の開閉部を備えた
搬送可能な閉容器と、前記試料を搬出入する室に設けら
れ、前記試料を搬出入可能で、閉じることによって当該
室を閉じる第２の開閉部と、前記閉容器の前記第１の開
閉部を、前記第２の開閉部に位置決めした状態で前記第
１の開閉部と前記第２の開閉部とを連結する結合手段と
を具備し、前記結合手段により前記第１の開閉部と前記
第２の開閉部とを連結した状態において、前記第１の開
閉部と前記第２の開閉部とを開き、前記閉容器に対し前
記試料を前記第１の開閉部と前記第２の開閉部との開口
を通して、搬出入することを特徴とする試料搬出入装置
にある。また、本発明の好適な実施態様によれば、前記
結合手段は、前記第１の開閉部と前記第２の開閉部との
連結に際し、前記閉容器の一側面と、前記室とを密着連
結する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】上記のように構成すれば、試料を、第１の
開閉部を備えた搬送可能な閉容器により、閉じた状態で
第２の開閉部を備えた室へ搬送できため、外部雰囲気と
の干渉なく試料を搬送することができる。そして、試料
の室への搬入、或いは室から閉容器への搬出にあたって
は、結合手段によって閉容器の一側面に設けた第１の開
閉部を、第２の開閉部に位置決めした状態で、閉容器の
第１の開閉部と第２の開閉部とを連結する。更に、結合
手段により第１の開閉部と第２の開閉部とを連結した状
態において、第１の開閉部と第２の開閉部とを開き、閉
容器に対し試料を第１の開閉部と第２の開閉部との開口
を通して、搬出入することができる。したがって、室に
対し、閉容器を良好な配置状態を保ったまま試料を搬出
入できるため、試料の搬出入が容易で、且つより確実と
なる。また、結合手段により、前記第１の開閉部と前記
第２の開閉部との連結に際し、前記閉容器の一側面と、
前記室とを密着連結するようにすれば、閉容器内部の空
間と室内部の空間とを、外部雰囲気との干渉なく連結す
ることができ、より良好な雰囲気中で試料を搬出入でき
る。
開閉部を備えた搬送可能な閉容器により、閉じた状態で
第２の開閉部を備えた室へ搬送できため、外部雰囲気と
の干渉なく試料を搬送することができる。そして、試料
の室への搬入、或いは室から閉容器への搬出にあたって
は、結合手段によって閉容器の一側面に設けた第１の開
閉部を、第２の開閉部に位置決めした状態で、閉容器の
第１の開閉部と第２の開閉部とを連結する。更に、結合
手段により第１の開閉部と第２の開閉部とを連結した状
態において、第１の開閉部と第２の開閉部とを開き、閉
容器に対し試料を第１の開閉部と第２の開閉部との開口
を通して、搬出入することができる。したがって、室に
対し、閉容器を良好な配置状態を保ったまま試料を搬出
入できるため、試料の搬出入が容易で、且つより確実と
なる。また、結合手段により、前記第１の開閉部と前記
第２の開閉部との連結に際し、前記閉容器の一側面と、
前記室とを密着連結するようにすれば、閉容器内部の空
間と室内部の空間とを、外部雰囲気との干渉なく連結す
ることができ、より良好な雰囲気中で試料を搬出入でき
る。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、試料を、第１の開閉部を備えた搬送可能な閉
容器により、閉じた状態で第２の開閉部を備えた室へ搬
送できため、外部雰囲気との干渉なく試料を搬送するこ
とができる。そして、試料の室への搬入、或いは室から
閉容器への搬出にあたっては、結合手段によって閉容器
の一側面に設けた第１の開閉部を、第２の開閉部に位置
決めした状態で、閉容器の第１の開閉部と第２の開閉部
とを連結する。更に、結合手段により第１の開閉部と第
２の開閉部とを連結した状態において、第１の開閉部と
第２の開閉部とを開き、閉容器に対し試料を第１の開閉
部と第２の開閉部との開口を通して、搬出入することが
できる。
によれば、試料を、第１の開閉部を備えた搬送可能な閉
容器により、閉じた状態で第２の開閉部を備えた室へ搬
送できため、外部雰囲気との干渉なく試料を搬送するこ
とができる。そして、試料の室への搬入、或いは室から
閉容器への搬出にあたっては、結合手段によって閉容器
の一側面に設けた第１の開閉部を、第２の開閉部に位置
決めした状態で、閉容器の第１の開閉部と第２の開閉部
とを連結する。更に、結合手段により第１の開閉部と第
２の開閉部とを連結した状態において、第１の開閉部と
第２の開閉部とを開き、閉容器に対し試料を第１の開閉
部と第２の開閉部との開口を通して、搬出入することが
できる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】したがって、室に対し、閉容器を良好な配
置状態を保ったまま試料を搬出入できるため、試料の搬
出入が容易で、且つより確実となるという効果を奏す
る。また、結合手段により、前記第１の開閉部と前記第
２の開閉部との連結に際し、前記閉容器の一側面と、前
記室とを密着連結するようにすれば、閉容器内部の空間
と室内部の空間とを、外部雰囲気との干渉なく連結する
ことができ、より良好な雰囲気中で試料を搬出入でき
る。
置状態を保ったまま試料を搬出入できるため、試料の搬
出入が容易で、且つより確実となるという効果を奏す
る。また、結合手段により、前記第１の開閉部と前記第
２の開閉部との連結に際し、前記閉容器の一側面と、前
記室とを密着連結するようにすれば、閉容器内部の空間
と室内部の空間とを、外部雰囲気との干渉なく連結する
ことができ、より良好な雰囲気中で試料を搬出入でき
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西畑 廣治 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸工場内 (72)発明者 伊藤 温司 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸工場内
Claims (1)
- 【請求項１】試料を処理開始から終了まで、又は一つ以
上の処理の間、真空に保持し、複数の真空室で処理を行
う装置において、前記真空室の前記試料の移動を、前記
真空室を移動および結合できる真空室を介して行うこと
を特徴とする複数真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10435098A JPH10313040A (ja) | 1998-04-15 | 1998-04-15 | 試料搬出入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10435098A JPH10313040A (ja) | 1998-04-15 | 1998-04-15 | 試料搬出入装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6496998A Division JP2974995B2 (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | 試料搬出入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10313040A true JPH10313040A (ja) | 1998-11-24 |
Family
ID=14378445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10435098A Pending JPH10313040A (ja) | 1998-04-15 | 1998-04-15 | 試料搬出入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10313040A (ja) |
-
1998
- 1998-04-15 JP JP10435098A patent/JPH10313040A/ja active Pending
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