JPH10309667A - スラリ循環装置、ワイヤソー及び記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ワークの切削中において、スラリ中に含まれる
遊離砥粒の割合をほぼ一定にすることが可能なスラリ循
環装置、スラリ循環装置を備えたワイヤソー及びスラリ
循環装置を動作させるためのプログラムを記録した記録
媒体を提供すること。 【解決手段】制御部はワーク２１に関する情報に基づい
て、そのワークのスライス加工終了後のスラリ中に含ま
れる切粉含有率を予測算出する。予測算出された切粉含
有率が予め設定した規定値以下の場合は一定量のスラリ
が、そして、予測算出された切粉含有率が予め設定した
規定値を超える場合はすべてのスラリが、スラリ貯留タ
ンク３６からスラリ廃液タンク３９に排出され、新しい
スラリがスラリ補充タンク４５からスラリ貯留タンク３
６に補充される。従って、ワーク２１のスライス加工中
に切粉含有率が規定値以上になることはない。故に、ス
ラリ中に含まれる遊離砥粒の割合をほぼ一定にすること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤを用いて、
半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料のワー
クを切削加工するためのワイヤソーに装設されるスラリ
循環装置、そのスラリ循環装置を備えたワイヤソー及び
スラリ循環装置を動作させるためのプログラムを記録し
た記録媒体に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーにおいては、複数の加工用ロ
ーラが所定間隔おきに配設され、それらのローラの外周
には複数の環状溝が所定ピッチで形成されている。ま
た、各加工用ローラ間において、環状溝には１本のワイ
ヤが順に巻回されている。そして、ワイヤが走行されな
がら、そのワイヤ上に遊離砥粒を含む水性または油性の
スラリが供給され、この状態でワイヤに対しワークが押
し付け接触されて、そのワークが切削されてウェハ状に
スライス加工される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ワークがワ
イヤによってスライス加工される際、ワークから切粉が
削り出されてスラリに混入する。そして、ワークのスラ
イス加工に伴ってスラリに混入する切粉が増加して、ス
ラリに含まれる遊離砥粒が相対的に減少する。その結
果、ワークに対する切削能力が低下して切削効率が低下
するとともに、加工後におけるスライス面の形状精度も
低下する。そのため、新しいスラリを一定量の割合で交
換したり、すべてのスラリを交換したりして、スラリに
含まれる遊離砥粒の割合を水または油に対して常時ほぼ
一定に維持しておく必要がある。

【０００４】しかしながら、従来、スラリの交換は、作
業者の勘や経験に頼られていたため、常時スラリに含ま
れる遊離砥粒の割合をほぼ一定に維持することは困難で
あった。

【０００５】本発明は、このような従来の技術に存在す
る問題点に着目してなされたもので、その目的は、ワー
クの切削中において、スラリ中に含まれる遊離砥粒の割
合をほぼ一定にすることが可能なスラリ循環装置、スラ
リ循環装置を備えたワイヤソー及びスラリ循環装置を動
作させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供す
ることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
おいては、分散液に遊離砥粒を分散させて調合したスラ
リをスラリ貯留タンクからワークの切削加工部に供給し
た後、そのスラリを前記スラリ貯留タンクに回収して再
び切削加工部に供給するスラリ循環装置において、スラ
リ寿命を予測算出する予測算出手段と、予測算出手段の
算出結果に基づいて、スラリ貯留タンク内のスラリを新
しいスラリと交換するスラリ交換手段とを備えた。

【０００７】請求項２に記載の発明においては、請求項
１に記載のスラリ循環装置において、予測算出手段の算
出結果に基づいて、スラリ交換手段は、予め定めたスラ
リ量を交換する定量交換またはスラリ貯留タンク内のす
べてのスラリを交換する全量交換を実行する。

【０００８】請求項３に記載の発明においては、請求項
２に記載のスラリ循環装置において、スラリの全量交換
は、予測算出手段によって予測算出された算出結果が規
定値を超えている場合に実行する。

【０００９】請求項４に記載の発明においては、請求項
１に記載のスラリ循環装置において、予測算出手段の算
出結果に基づいて、スラリ交換手段は、予め定められた
基準量と基準量の単位との積で算出される算出量交換ま
たはすべてのスラリを交換する全量交換を実行する。

【００１０】請求項５に記載の発明においては、請求項
４に記載のスラリ循環装置において、全量交換は、基準
量の単位が設定値を超える場合に実行する。請求項６に
記載の発明においては、請求項１に記載のスラリ循環装
置において、予測算出手段の算出結果に基づいて、スラ
リ交換手段は、交換すべきスラリ量を予測算出して実行
する算出量交換またはすべてのスラリを交換する全量交
換を実行する。

【００１１】請求項７に記載の発明においては、請求項
６に記載のスラリ循環装置において、全量交換は、算出
された交換量が設定量を超えている場合に実行する。請
求項８に記載の発明においては、請求項２、請求項４及
び請求項６のいずれか１項に記載のスラリ循環装置にお
いて、スラリ交換手段は、スラリ貯留タンクからスラリ
廃液タンクへスラリを排出するスラリ排出手段と、新し
いスラリをスラリ補充タンクからスラリ貯留タンクへ補
充するスラリ補充手段とを含む。

【００１２】請求項９に記載の発明においては、請求項
８に記載のスラリ循環装置において、スラリ排出手段が
スラリ補充手段に先だって動作する。請求項１０に記載
の発明においては、請求項８に記載のスラリ循環装置に
おいて、スラリ排出手段とスラリ補充手段とが同時に動
作する。

【００１３】請求項１１に記載の発明においては、請求
項２、請求項４及び請求項６のいずれか１項に記載のス
ラリ循環装置において、予測算出手段は、ワークに関す
る情報から切削加工前に、切削加工後のスラリ寿命を予
測算出し、この算出結果に基づいてスラリ交換手段が作
用する。

【００１４】請求項１２に記載の発明においては、請求
項２、請求項４及び請求項６のいずれか１項に記載のス
ラリ循環装置において、予測算出手段は、ワークに関す
る情報から切削加工時或いは切削加工後に、切削加工後
のスラリ寿命を予測算出し、この算出結果に基づいてス
ラリ交換手段が作用する。

【００１５】請求項１３に記載の発明においては、請求
項１１または請求項１２に記載のスラリ循環装置におい
て、予測算出手段は、バーコードリーダを含み、そのバ
ーコードリーダがワークに貼付されたバーコードを読み
込むことによって、ワークに関する情報を得る。

【００１６】請求項１４に記載の発明においては、請求
項１〜請求項１３のいずれか１項に記載のスラリ循環装
置において、スラリ寿命は、スラリ中の切粉含有率を表
す。請求項１５に記載の発明においては、複数の加工用
ローラ間にワイヤを所定ピッチで巻回し、そのワイヤを
走行させながら、ワイヤ上に遊離砥粒を含むスラリを供
給するとともに、ワイヤに対しワークを接触させて、切
削加工を行うようにしたワイヤソーにおいて、請求項１
〜請求項１４のいずれか１項に記載のスラリ循環装置を
備えた。

【００１７】請求項１６に記載の発明においては、請求
項１〜請求項１４のいずれか１項に記載のスラリ循環装
置において、コンピュータに予測算出手段及びスラリ交
換手段の動作を実行させるためのプログラムを記録し
た。

【００１８】なお、以下に述べる発明の実施の形態にお
いて、特許請求の範囲または課題を解決するための手段
に記載の「予測算出手段」は制御部５１に相当し、同じ
く「スラリ交換手段」はスラリ排出手段及びスラリ補充
手段に相当し、同じく「スラリ排出手段」はスラリ供給
ポンプ３８、供給配管路３７、分岐配管路３７ａ、第１
バルブ３８ａ及び第２バルブ３８ｂに相当し、同じく
「スラリ補充手段」は補充配管路４６、スラリ補充ポン
プ４７及び第３バルブ４７ａに相当し、同じく「コンピ
ュータ」はＣＰＵ５１ａ、ＲＯＭ５１ｂ、ＲＡＭ５１ｃ
に相当する。

【００１９】

【発明の実施の形態】

［第１の実施形態］以下、本発明を具体化した第１の実
施形態について図面を用いて説明する。

【００２０】先ず、始めにワイヤソーの構成について説
明する。図１及び図２に示すように、切断機構１１は装
置基台１２上に装設されている。この切断機構１１は平
行に延びる加工用駆動ローラ１３及び加工用被動ローラ
１４を備え、それらの外周には環状溝１３ａ，１４ａが
所定ピッチで形成されている。なお、図面においては理
解を容易にするために、環状溝１３ａ，１４ａの数を実
際よりも少なく描いてある。

【００２１】１本の線材よりなるワイヤ１５は前記加工
用ローラ１３，１４の各環状溝１３ａ，１４ａに連続的
に巻回されている。ワイヤ走行用モータ１６は装置基台
１２上に配設され、このモータ１６により加工用駆動ロ
ーラ１３が回転されると、ワイヤ１５を介して加工用被
動ローラ１４が回転される。そして、これらの加工用ロ
ーラ１３，１４の回転によって、ワイヤ１５が所定の走
行速度で走行される。このワイヤ１５の走行は、一定量
前進（例えば１０ｍ）及び一定量後退（例えば９ｍ）を
繰り返し、全体として歩進的に前進するように行われ
る。

【００２２】ワーク支持機構１９は前記切断機構１１の
上方に位置するように、装置基台１２上に立設されたコ
ラム２０に上下動可能に支持され、その下部には硬脆材
料よりなるワーク２１が着脱自在にセットされる。ワー
ク昇降用モータ２２はコラム２０上に配設され、このモ
ータ２２により図示しないボールスクリュー等を介して
ワーク支持機構１９が上下動される。スラリ供給機構３
４は切断機構１１の上方に対向配置され、加工用ローラ
１３，１４と平行に延び、ワーク２１の前後両側に位置
する複数のスラリ供給パイプ３５を備えている。

【００２３】そして、このワイヤソーの運転時には、ワ
イヤ１５が切断機構１１の加工用ローラ１３，１４間で
走行されながら、ワーク支持機構１９が切断機構１１に
向かって下降される。このとき、スラリ供給機構３４の
スラリ供給パイプ３５からワイヤ１５上へ、遊離砥粒を
含む水性または油性のスラリが供給されるとともに、そ
のワイヤ１５に対しワーク２１が押し付け接触され、砥
粒のラッピング作用によってワーク２１がウェハ状に切
削加工される。故に、切削加工部１７は、加工用ローラ
１３，１４、ワイヤ１５及びスラリ供給パイプ３５で構
成されている。

【００２４】リール機構２３は前記装置基台１２上に装
設され、ワイヤ１５を繰り出すための繰出しリール２４
と、ワイヤ１５を巻き取るための巻取りリール２５とを
備えている。回転方向及び回転速度が変更可能なサーボ
モータよりなる一対のリール回転用モータ２６，２７は
装置基台１２に配設され、それらのモータ軸には図示し
ない伝達機構を介してリール２４，２５がそれぞれ連結
されている。

【００２５】トラバース機構２８は前記リール機構２３
に隣接して装置基台１２上に装設され、繰出しリール２
４からのワイヤ１５の繰出し及び巻取りリール２５への
ワイヤ１５の巻取りを、上下にトラバースしながら案内
する。そして、前記リール機構２３の両リール２４，２
５の回転により、繰出しリール２４から切断機構１１へ
ワイヤ１５が繰り出されるとともに、加工後のワイヤ１
５が巻取りリール２５に巻き取られる。

【００２６】張力付与機構２９及びガイド機構３０は、
前記リール機構２３と切断機構１１との間に配設されて
いる。そして、切断機構１１の加工用ローラ１３，１４
間に巻回されたワイヤ１５の両端が、ガイド機構３０の
各ガイドローラ３１を介して張力付与機構２９に掛装さ
れている。この状態で、張力付与機構２９により、加工
用ローラ１３，１４間のワイヤ１５に所定の張力が付与
される。

【００２７】張力低減機構３２は前記リール機構２３と
張力付与機構２９との間に配設され、一対の回転ローラ
３３を備えている。そして、これらの回転ローラ３３に
はワイヤ１５が掛装され、両回転ローラ３３が回転され
ることによって、張力付与機構２９からリール機構２３
の各リール２４，２５側へ波及するワイヤ１５の張力が
低減される。

【００２８】次に、前記スラリ供給機構３４の構成につ
いて説明する。図３に示すように、ワイヤソーの下部に
位置するスラリ貯溜タンク３６は遊離砥粒を含む水性ま
たは油性のスラリを貯溜している。このスラリは、ワイ
ヤソーの外部で調合され、油性または水性の分散液にＳ
ｉＣ等の遊離砥粒が分散されている。スラリ貯溜タンク
３６とスラリ供給パイプ３５との間には、配管路として
の供給配管路３７が接続されている。供給ポンプ３８は
供給配管路３７中に配設され、スラリ貯溜タンク３６内
のスラリが、この供給ポンプ３８の動作により、供給配
管路３７を介してスラリ供給パイプ３５からワイヤ１５
上に供給される。

【００２９】第１バルブ３８ａは、供給配管路３７中に
配設され、第１バルブ３８ａの開閉量に応じてスラリ供
給パイプ３５に供給するスラリ量が調整される。第２バ
ルブ３８ｂは、供給配管路３７から分岐した分岐配管路
３７ａ中に配設され、第１バルブ３８ａが全閉の際に、
この第２バルブ３８ｂを全開にすることにより、供給配
管路３７中に存在するスラリが分岐配管路３７ａを介し
てワイヤソーの外部に位置するスラリ廃液タンク３９に
排出される。

【００３０】熱交換器４０は、供給ポンプ３８の下流側
において、縦方向に延びる供給配管路３７を取り巻くよ
うに縦方向を指向して配設されている。そして、スラリ
が、この熱交換器４０内の供給配管路３７中を下部から
上部に向かって通過する際に冷却される。流量計４１は
供給配管路３７中において、熱交換器４０の下流側に配
設され、この流量計４１により供給配管路３７内を流れ
るスラリの流量が測定される。

【００３１】スラリ回収タンク４２は前記切断機構１１
の下方に配設され、このスラリ回収タンク４２とスラリ
貯溜タンク３６との間には、配管路としての回収配管路
４３が接続されている。回収ポンプ４４は回収配管路４
３中に配設され、ワイヤ１５上からスラリ回収タンク４
２内に落下したスラリが、この回収ポンプ４４の動作に
より、回収配管路４３を介してスラリ貯溜タンク３６に
戻される。

【００３２】ワイヤソーの外部に位置するスラリ補充タ
ンク４５は、遊離砥粒を含む水性または油性の補充用ス
ラリを貯溜してなり、このスラリ補充タンク４５とスラ
リ貯留タンク３６との間には、配管路としての補充配管
路４６が接続されている。新しいスラリは、このスラリ
補充タンク４５の外部で予め調合されてからスラリ補充
タンク４５に供給される。補充ポンプ４７は補充配管路
４６中に配設され、スラリ補充タンク４５内のスラリ
が、この補充ポンプ４７の動作により、補充配管路４６
及び第３バルブ４７ａを介してスラリ貯留タンク３６に
供給される。

【００３３】次に、前記スラリ循環装置の制御回路図に
ついて説明する。図４に示すように、制御回路５０は制
御部５１、各タンク３６，３９，４２，４５の液面レベ
ルセンサ３６ａ，３９ａ，４２ａ，４５ａ、バーコード
リーダ５２、供給ポンプ３８、回収ポンプ４４、補充ポ
ンプ４７、第１バルブ３８ａ、第２バルブ３８ｂ、第３
バルブ４７ａで構成されている。各液面レベルセンサ３
６ａ，３９ａ，４２ａ，４５ａは、それぞれの各タンク
３６，３９，４２，４５に備えられ、制御部５１に液面
レベルの信号を送出する。

【００３４】流量計４１は、供給配管路３７内を流れる
スラリの流量を測定し、その測定結果を制御部５１に送
出する。制御部５１はＣＰＵ（Central Processing Uni
t）５１ａ、ＲＯＭ（Read OnlyMemory）５１ｂ、ＲＡＭ
（Randam Access Memory）５１ｃ，入力キー５１ｄ等で
構成されている。ＣＰＵ５１ａは制御回路５０全体の制
御を行う。ＲＯＭ５１ｂは制御回路５０の制御を行うた
めのプログラムを記憶している。ＲＡＭ５１ｃはフラッ
シュメモリ等で構成され、プログラム実行時に発生する
一時的なデータを記憶する。入力キー５１ｄは入力に必
要なテンキー等を備えている。

【００３５】各液面レベルセンサ３６ａ，３９ａ，４２
ａ，４５ａは、各タンク内のスラリ量を監視している。
バーコードリーダ５２はワーク２１の表面等に添付され
ているバーコードを読み取る。

【００３６】供給ポンプ３８、回収ポンプ４４及び補充
ポンプ４７は、制御部５１からの制御信号に基づいて動
作するように構成されている。第１バルブ３８ａ、第２
バルブ３８ｂ及び第３バルブ４７ａも制御部５１からの
制御信号に基づいて開閉動作するように構成されてい
る。

【００３７】次に、前記のように構成されたワイヤソー
の動作を説明する。さて、このワイヤソーにおいては、
ワイヤ１５がリール機構２３の繰出しリール２４から繰
り出され、切断機構１１の加工用ローラ１３，１４間に
おいて歩進的に往復走行された後、巻取りリール２５に
巻き取られる。そして、スラリ供給機構３４のスラリ供
給パイプ３５から、加工用ローラ１３，１４間のワイヤ
１５上に、遊離砥粒を含むスラリが供給されながら、ワ
ーク支持機構１９の下降により、ワイヤ１５に対してワ
ーク２１が押し付け接触される。これにより、ワーク２
１が所定の厚さに切削加工される。

【００３８】次に、スラリ貯留タンク３６内のスラリを
交換する方法について、図５に示すフローチャートを用
いて説明する。なお、この図５をはじめ、図６〜図１１
に示すフローチャートは制御部５１のＲＯＭ５１ｂに記
憶されているプログラムに基づいて、ＣＰＵ５１ａの制
御のもとに進行する。

【００３９】Ｓ１においては、先ず、ワーク２１のスラ
イス加工に先だってワーク２１に関する情報（例えば、
直径、長さ、スライスの厚み（換言すればワイヤのピッ
チ幅相当）、定数等）がワーク２１の表面に貼付された
バーコードをバーコードリーダ５２で読み込むことによ
り、制御部５１に入力される。

【００４０】Ｓ２においては、ワーク２１に関する情報
に基づいて、スライス加工後のスラリ寿命を表す具体的
手段としてスラリ中に含まれる切粉含有率が予測算出さ
れる。なお、このＳ２における切粉含有率の予測算出方
法については後述する。

【００４１】Ｓ３においては、予測算出された切粉含有
率が予め設定された規定値以下か否かが判断される。切
粉含有率が予め設定した規定値以下の場合はＳ８に移行
して、スライス加工が実行される。切粉含有率が予め設
定した規定値を超える場合はＳ４に移行する。

【００４２】Ｓ４においては、一定量のスラリを新たな
スラリと交換（定量交換）した場合におけるスラリ中の
切粉含有率が予測算出される。なお、このＳ４における
切粉含有率の予測算出方法については後述する。

【００４３】Ｓ５においては、Ｓ４で予測算出された切
粉含有率が予め設定された規定値以下か否かが判断され
る。予測算出された切粉含有率が予め設定した規定値以
下の場合はＳ６に移行する。切粉含有率が予め設定した
規定値を超える場合はスラリ貯留タンク３６内における
遊離砥粒の量が切削に不適なレベルまで低下しているこ
とを示し、Ｓ７に移行して、スラリ貯留タンク３６内に
おけるすべてのスラリが新たなスラリと交換（全量交
換）される。なお、このＳ７における全量交換の動作に
ついては後述する。

【００４４】Ｓ６においては、スラリ貯留タンク３６内
におけるスラリの一定量を交換する定量交換が実行され
る。なお、このＳ６における定量交換の動作については
後述する。

【００４５】Ｓ８においては、ワーク２１にスライス加
工が実行される。次に、前記Ｓ２及びＳ４におけるスラ
リ中に含まれる切粉含有率（％）の予測算出方法につい
て説明する。

【００４６】前記Ｓ１において、ワーク２１に関するバ
ーコードの情報には、ワーク２１の直径（Ｄ）、長さ
（Ｌ）、スライスの厚み、すなわちワイヤ１５のピッチ
幅（Ｐ）、定数（Ｋ）が書き込まれている。

【００４７】ここで、切粉量をＭとすると、 Ｍ＝Ｋ＊Ｄ＊Ｌ／Ｐ ………（式１） で示される。なお、＊は積を示す。

【００４８】次に、スラリ中に含まれる切粉含有率を
Ｔ、スラリの全量をＶとすると、 Ｔ＝Ｍ／（Ｖ＋Ｍ）＊１００ ………（式２） で示される。

【００４９】ここで、スラリの全量（Ｖ）に対して、切
粉量（Ｍ）の割合は、 Ｍ＜＜Ｖ ………（式３） で示されるため、式２は、 Ｔ＝Ｍ／（Ｖ＋Ｍ）＊１００≒Ｍ／Ｖ＊１００ ………（式４） で示すことができる。

【００５０】故に、Ｓ２において、スライス加工後にス
ラリ中に含まれる切粉含有率は、式４によって示すこと
ができる。次に、スラリの定量をＸとし、定量交換した
場合の切粉含有率をＴＭとすると、 ＴＭ＝（Ｍ−（Ｘ／Ｖ）＊Ｍ）／Ｖ＊１００ ＝（１−Ｘ／Ｖ）／Ｖ＊Ｍ＊１００ ………（式５） で示される。

【００５１】故に、定量交換した場合のスラリ中に含ま
れる切粉含有率は、式５によって示すことができる。次
に、スラリ貯留タンク３６内のスラリを前記定量交換す
るときの動作（図５におけるＳ６の動作）について、図
６に示すフローチャートを用いて説明する。

【００５２】Ｓ１１においては、第１バルブ３８ａが全
閉にされるとともに、第２バルブ３８ｂが全開にされ
る。すると、供給ポンプ３８によって、スラリ貯留タン
ク３６内におけるスラリの排出が開始され、スラリ廃液
タンク３９へ移送される。このとき、流量計４１によっ
て供給配管路３７内を流れるスラリの流量が測定され
る。

【００５３】Ｓ１２においては、流量計４１を流れるス
ラリの流量が予め設定した定量になったか否かが判断さ
れる。設定した定量になると、流量計４１は、定量のス
ラリが流量計４１を流れた旨の信号を制御部５１に送出
する。

【００５４】Ｓ１３においては、第１バルブ３８ａが全
開にされるとともに、第２バルブ３８ｂが全閉にされ
て、スラリ廃液タンク３９への排出が停止される。Ｓ１
４においては、第３バルブ４７ａが全開にされ、スラリ
補充ポンプ４７が起動される。すると、スラリ補充ポン
プ４７によって、スラリ補充タンク４５内における新し
いスラリの補充が開始され、スラリ貯留タンク３６へ移
送される。

【００５５】Ｓ１５においては、スラリ貯留タンク３６
に設けられた液面レベルセンサ３６ａからのセンサ信号
が送出されてくるまで、換言すればスラリ貯留タンク３
６内においてスラリが所定量になるまで補充される。

【００５６】Ｓ１６においては、スラリ補充ポンプ４７
が停止されるとともに、第３バルブ４７ａが全閉にされ
る。その結果、スラリ貯留タンク３６内のスラリは、定
量をスラリ廃液タンク３９に排出し、その排出した定量
だけスラリ補充タンク４５から補充されて、スラリの定
量交換が実行される。

【００５７】次に、スラリ貯留タンク３６内のスラリが
全量交換されるときの動作（図５におけるＳ７の動作）
について説明する。なお、この制御も制御部５１のＲＯ
Ｍ５１ｂに記憶されているプログラムに基づいて、ＣＰ
Ｕ５１ａの制御のもとに行われている。

【００５８】スラリの全量交換は、先ず、スラリ貯留タ
ンク３６内のすべてのスラリを供給ポンプ３８によっ
て、スラリ廃液タンク３９に排出させる。このとき、ス
ラリ貯留タンク用液面レベルセンサ３６ａによって、ス
ラリ貯留タンク３６内には、すべてのスラリがなくなっ
た旨の信号が制御部５１に送出される。これに基づい
て、補充ポンプ４７が起動される。

【００５９】すると、第３バルブ４７ａが全開にされ
て、スラリ補充タンク４５内の新しいスラリを補充ポン
プ４７によって、スラリ貯留タンク３６に補充させる。
そして、スラリ貯留タンク用液面レベルセンサ３６ａに
よって、スラリ貯留タンク３６内には、所定量のスラリ
が貯留された旨の信号が制御部５１に送出される。

【００６０】すると、制御部５１から補充ポンプ４７に
停止の旨を示す信号が送出されて、補充ポンプ４７が停
止されるとともに、第３バルブ４７ａが全閉にされる。
その結果、スラリ貯留タンク３６内のスラリは、すべて
スラリ廃液タンク３９に排出され、スラリ補充タンク４
５から新しいスラリが補充される。

【００６１】以上、詳述したように第１の実施形態によ
れば、次のような効果を得ることができる。 ・ワーク２１の情報に基づいて、切削加工前に、そのワ
ーク２１のスライス加工終了後のスラリ中に含まれる切
粉含有率が予測算出される。そして、予測算出された切
粉含有率が予め設定した規定値以下の場合には、ワーク
２１のスライス加工が実行される。予測算出された切粉
含有率が予め設定した規定値を超える場合は、スラリの
定量交換を実行した場合の切粉含有率が予測算出され
る。そして、この切粉含有率が規定値以下の場合は、定
量交換することでスラリ中に含まれる切粉含有率を規定
値以下にすることができると判断して、定量交換を実行
させる。

【００６２】しかし、定量交換しても切粉含有率が規定
値を超えると判断された場合は、スラリの定量交換を実
行するよりもスラリの全量交換を実行した方が、ワーク
２１の切削効率やスラリのコスト的にも経済的であるた
め、全量交換を実行させる。このため、ワーク２１のス
ライス加工中に切粉含有率が規定値以上になることはな
い。従って、ワーク２１の切削中において、スラリに含
まれる遊離砥粒の割合をほぼ一定にすることができる。
その結果、ワイヤソーの切削能力が低下することはな
い。

【００６３】・スラリ貯留タンク３６内のスラリをスラ
リ廃液タンク３９に排出する際にも、ワイヤ１５にスラ
リを供給するための供給ポンプ３８が用いられている。
すなわち、第１バルブ３８ａと第２バルブ３８ｂとの開
閉を制御部５１からの制御信号にて制御することによ
り、スラリの交換が行われる。このため、スラリ貯留タ
ンク３６内のスラリをスラリ廃液タンク３９に排出する
ための専用のポンプを設ける必要はない。

【００６４】［第２の実施形態］次に、本発明を具体化
した第２の実施形態について、図７に示すフローチャー
トを用いて説明する。なお、前記第１の実施形態と同様
な方法で算出される切粉含有率の算出方法についての説
明は省略する。

【００６５】Ｓ２１〜Ｓ２３においては、前記第１の実
施形態におけるＳ１〜Ｓ３と同様な処理を行われる。そ
して、Ｓ２３において、算出された切粉含有率が規定値
以下の場合は、Ｓ３１に移行してスライス加工が実行さ
れる。算出された切粉含有率が規定値を超える場合は、
Ｓ２４に移行する。

【００６６】Ｓ２４においては、スラリ交換単位の加算
が行われる。このスラリ交換単位の加算は「１」から順
次行われ、スラリ交換単位「１」は、予め定めた定量に
より交換される回数「１」に相当する。

【００６７】Ｓ２５においては、Ｓ２４において、スラ
リ交換単位の加算された値が設定値以下か否かが判断さ
れる。この設定値は、作業者によって予め設定される。
加算された値が設定値以下の場合は、Ｓ２６に移行す
る。加算された値が設定値を超える場合は、Ｓ３０に移
行して、スラリの全量交換が実行される。

【００６８】Ｓ２６においては、基準量（定量に相当す
る）と前記Ｓ２４におけるスラリ交換単位の加算された
値との積から交換すべきスラリ量が算出される。すなわ
ち、初めてＳ２４におけるスラリ交換単位の加算が実行
された場合では、スラリ交換単位が「１」であるため、
交換すべきスラリ量は基準量となる。

【００６９】Ｓ２７においては、前記Ｓ２６で算出され
たスラリ量でスラリの交換を実行した場合に、予測され
る切粉含有率を算出する。Ｓ２８においては、前記Ｓ２
７で予測算出した切粉含有率が予め設定した規定値以下
か否かが判断される。切粉含有率が予め設定した規定値
以下の場合は、Ｓ２９に移行して、前記Ｓ２４でのスラ
リ交換単位の加算された値と、基準量との積に従った算
出量でスラリ交換が実行される。切粉含有率が予め設定
した規定値を超える場合は、Ｓ２４に戻って、スラリ交
換単位の加算が行われて「２」となる。そして、Ｓ２６
において、交換するスラリ量を基準量の２倍にし、再
度、Ｓ２７において、切粉含有率が予測算出される。す
なわち、Ｓ２４に戻る度にスラリ交換単位を加算して交
換すべきスラリ量を増加させる。そして、Ｓ２５におけ
るスラリ交換単位が設定値以下で、且つＳ２８における
切粉含有率が規定値以下になった場合のみＳ２９に移行
する。また、スラリ交換単位が設定値（例えば「５」）
を超える場合は、Ｓ３０に移行する。

【００７０】Ｓ３０においては、スラリ貯留タンク３６
内のスラリをすべて交換する全量交換が行われる。すな
わち、スラリの算出量交換を実行するよりもスラリの全
量交換を実行した方が、ワーク２１の切削効率やスラリ
のコスト的にも経済的であるため、全量交換が実行され
る。なお、スラリの全量交換は、前記第１の実施形態の
全量交換と同様に行われる。

【００７１】Ｓ３１においては、ワーク２１のスライス
加工が実行される。Ｓ３２においては、前記Ｓ２４にお
けるスラリ交換単位の加算された値がクリアされて、次
回のワーク２１のスライス加工に備える。そして、この
処理が終了する。

【００７２】以上、詳述したように第２の実施形態によ
れば、第１の実施形態の効果に加えて、次のような効果
を得ることができる。 ・スラリ交換するための基準量を設けて、切粉含有率が
規定値以下になるまで、その基準量を加算することで交
換すべきスラリ量を算出している。このため、交換すべ
きスラリ量は、基準量の倍数で算出される。従って、前
記第１の実施形態における定量が基準量と設定値との積
になるように、基準量と設定値を設定すれば、定量に満
たない場合であっても、スラリの交換を実行させること
ができる。故に、前記第１の実施形態よりも、さらに経
済的なスラリ交換を行うことができる。

【００７３】［第３の実施形態］次に、本発明を具体化
した第３の実施形態について、図８に示すフローチャー
トを用いて説明する。なお、前記第１の実施形態と同様
な方法で算出される切粉含有率の算出方法についての説
明は省略する。

【００７４】Ｓ４１、Ｓ４２及びＳ４３においては、前
記第１の実施形態におけるＳ１〜Ｓ３と同様の処理が行
われる。そして、Ｓ４３において、切粉含有率が規定値
以下の場合には、Ｓ４８に移行し、切粉含有率が規定値
を超える場合には、Ｓ４４に移行する。

【００７５】Ｓ４４においては、切粉含有率に応じたス
ラリ交換量が算出される。尚、このＳ４４における算出
方法については後述する。Ｓ４５においては、前記Ｓ４
４で算出されたスラリ交換量が予め設定した設定量以下
か否かが判断される。スラリ交換量が予め設定した設定
量以下の場合には、Ｓ４６に移行し、スラリ交換量が設
定した設定量を超える場合には、Ｓ４７に移行する。

【００７６】Ｓ４６においては、前記Ｓ４４で算出され
たスラリの交換量をスラリ貯留タンク３６からスラリ廃
液タンク３９に排出させるとともに、スラリ補充タンク
４５から排出量と同量の新しいスラリをスラリ貯留タン
ク３６に補充させる。

【００７７】Ｓ４７においては、スラリの全量交換が行
われる。つまり、前記Ｓ４５において、スラリの交換量
が設定した設定量を超えているため、スラリの全量交換
が行われる。なお、スラリの全量交換は、前記第１の実
施形態の全量交換と同様に行われる。

【００７８】Ｓ４８においては、ワーク２１にスライス
加工が実行されて、この処理を終了する。次に、前記Ｓ
４４におけるスラリの交換量を算出方法について説明す
る。

【００７９】前記第１の実施形態の式５を変形すると、
スラリの交換量（Ｘ）は、 Ｘ＝（１−ＴＭ＊Ｖ／（Ｍ＊１００））＊Ｖ ………（式６） で示される。

【００８０】ここで、スラリの交換量（Ｘ）は、この第
３の実施形態におけるスラリ交換量のことである。以
上、詳述したように第３の実施形態によれば、前記第１
及び第２の実施形態の効果に加えて、次のような効果を
得ることができる。

【００８１】・ワーク２１の情報に基づいて、そのワー
ク２１のスライス加工終了後のスラリ中に含まれる切粉
含有率が予測算出する。予測算出された切粉含有率が予
め設定した規定値を超える場合には、交換すべきスラリ
交換量が式６にて算出される。そして、算出されたスラ
リ交換量がスラリ貯留タンク３６からスラリ廃液タンク
３９に排出させて、スラリ補充タンク４５からスラリ貯
留タンク３６に補充することにより、スラリ貯留タンク
３６内の切粉含有率を常時規定値以下にしている。ま
た、算出されたスラリ交換量が設定量を超えている場合
には、スラリ貯留タンク３６内のスラリがすべてスラリ
廃液タンク３９に排出され、スラリ補充タンク４５の新
しいスラリがスラリ貯留タンク３６に補充されて、スラ
リの全量交換が行われる。つまり、交換すべきスラリ量
がワーク２１に関する情報に基づいて予測算出されるた
め、スラリの交換に際してスラリが無駄に交換されたり
することはない。従って、前記第１及び第２の実施形態
よりも、さらに経済的なスラリ交換を行うことができ
る。

【００８２】［第４の実施形態］次に、本発明を具体化
した第４の実施形態について、図９に示すフローチャー
トを用いて説明する。なお、前記第１の実施形態と同様
な方法で算出される切粉含有率の算出方法についての説
明は省略する。また、図９のフローチャートにおいて、
前記図５のフローチャートと同一の処理については同一
の符号を付して、その説明を省略する。

【００８３】この第４の実施形態は、前記第１の実施形
態において、ワーク２１のスライス加工を実行するタイ
ミングが異なる。すなわち、Ｓ１においては、先ず、ワ
ーク２１のスライス加工に先だってワーク２１に関する
情報（例えば、直径、長さ、スライスの厚み（換言すれ
ばワイヤのピッチ幅相当）、定数等）がワーク２１の表
面等に貼付されたバーコードをバーコードリーダ５２で
読み込むことにより、制御部５１に入力される。

【００８４】Ｓ５１においては、ワーク２１のスライス
加工が実行される。Ｓ２〜Ｓ７においては、前記第１の
実施形態と同様に処理が実行される。以上、この第４の
実施形態によれば、前記第１〜第３の実施形態の効果に
加えて、次のような効果を得ることができる。

【００８５】・ワーク２１に関する情報の入力が終了す
ると、すぐにワーク２１のスライス加工が実行される。
そして、ワーク２１のスライス加工中に、このワーク２
１のスライス加工後の切粉含有率が予測算出される。そ
の結果、Ｓ３において切粉含有率が規定値を超える場合
は、加工後すぐにスラリ交換が実行され、スラリ状態を
適正にしておくことができる。なお、この第４の実施形
態の場合、Ｓ３での規定値の設定を前記第１の実施形態
での設定値よりも低めに設定してある。これにより、次
ワーク２１のスライス加工をすぐに開始することができ
る。

【００８６】［第５の実施形態］この第５の実施形態に
おいては、第４の実施形態と同様に、第２の実施形態に
おいて、ワーク２１のスライス加工を実行するタイミン
グが異なる。

【００８７】すなわち、図１０に示すフローチャートに
おいて、Ｓ２１の処理が終了した後、Ｓ５２において、
ワーク２１のスライス加工が実行される。Ｓ２２〜Ｓ３
０及びＳ３２においては、前記第２の実施形態と同様に
処理が実行される。

【００８８】以上、この第５の実施形態によれば、前記
第２の実施形態の効果に加えて、前記第４の実施形態の
効果と同様な効果を得ることができる。 ［第６の実施形態］この第６の実施形態においては、第
４の実施形態と同様に、第３の実施形態において、ワー
ク２１のスライス加工を実行するタイミングが異なる。

【００８９】すなわち、図１１に示すフローチャートに
おいて、Ｓ４１の処理が終了した後、Ｓ５３において、
ワーク２１のスライス加工が実行される。Ｓ４２〜Ｓ４
７においては、前記第３の実施形態と同様に処理が実行
される。

【００９０】以上、この第６の実施形態によれば、前記
第２の実施形態の効果に加えて、前記第４の実施形態の
効果と同様な効果を得ることができる。なお、前記各実
施形態は次のように変更して具体化することも可能であ
る。

【００９１】・スラリ寿命を表すために、切粉含有率に
限らず、ワーク２１に対する仕事量に比例するものであ
れば、他のいかなる算出手段を用いることもできる。ま
た、ワーク２１の情報としては、加工スケジュールにお
けるワーク加工数等を含めることもできる。

【００９２】・図３に２点鎖線で示すように、供給ポン
プ３８の直近下流側からスラリ廃液タンク３９まで分岐
する廃液配管路４８を設け、分岐した廃液配管路４８中
に第４バルブ４９ａを備える。このように構成すれば、
スラリ貯留タンク３６内のスラリをより素早くスラリ廃
液タンク３９に移送することができる。

【００９３】・図３に２点鎖線で示すように、スラリ回
収タンク４２の底面からスラリ廃液タンク３９まで接続
する廃液配管路４８を設け、その廃液配管路４８中に第
５バルブ４９ｂを備える。このように構成すれば、スラ
リ回収タンク４２内のスラリをより素早くスラリ廃液タ
ンク３９に移送することができる。

【００９４】・ワーク２１に関する情報をバーコードに
代えて、ワーク２１の情報を示す一覧表であっても良
い。なお、この場合のワーク２１に関する情報は、作業
者が制御部５１の入力キー５１ｄにて入力すれば良い。

【００９５】・供給ポンプ３８、回収ポンプ４４及び補
充ポンプ４７の各ポンプを２台備え、各ポンプを交互運
転させても良い。このように構成すれば、各ポンプの寿
命が延命されるとともに、万一各ポンプ３８，４４，４
７のうち一方のポンプが故障しても他方のポンプでワイ
ヤソーを稼働させることができる。しかも、故障したポ
ンプはワイヤソーを稼働させながら修理することも可能
である。

【００９６】・制御部５１に代えて、制御盤に供給ポン
プ３８、回収ポンプ４４、補充ポンプ４７及び第１〜第
３バルブ３８ａ、３８ｂ、４７ａを操作する手動スイッ
チ及びスラリ貯留タンク３６、スラリ廃液タンク３９、
スラリ回収タンク４２、スラリ補充タンク４５に備えら
れている各液面レベルセンサ３６ａ、３９ａ、４２ａ、
４５ａの動作時に警報が鳴る警報スピーカで構成させ
て、作業者が制御盤に設けられた手動スイッチを操作す
ることにより、スラリの算出量交換及び全量交換を行わ
せても良い。

【００９７】・スラリの算出量交換及び全量交換におい
て、スラリ貯留タンク３６からスラリ廃液タンク３９に
排出することと、スラリ補充タンク４５からスラリ貯留
タンク３６に補充することとを同時に行わせても良い。

【００９８】さらに、前記各実施形態から把握される請
求項以外の技術的思想について、その効果とともに以下
に記載する。 ・請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載のスラリ循
環装置において、スラリ交換手段は新しいスラリを一時
的に貯留するためのスラリ補充タンクを有するスラリ循
環装置。

【００９９】このように構成すれば、新しいスラリと供
給しているスラリとを素早く交換することができる。 ・請求項２、請求項４及び請求項６に記載のスラリ循環
装置において、スラリの全量交換は、スラリ貯留タンク
内に貯留されているスラリ量を検出するためのセンサの
出力から全量交換を制御する情報を得ているスラリ循環
装置。

【０１００】このように構成すれば、スラリ貯留タンク
内のスラリを所定量に保つことができる。ところで、本
明細書において、記録媒体とは、読み出しが可能な半導
体記憶装置、磁気記憶装置の記録媒体、光磁気記憶装置
の記録媒体など、コンピュータのプログラムを記録でき
るものならどのようなものでもよい。具体的には、半導
体ＲＯＭ、フロッピーディスク、ハードディスク、光デ
ィスク、光磁気ディスク、相変化ディスク、磁気テープ
などを含むものとする。

【０１０１】

【発明の効果】本発明は、以上のように構成されている
ため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発明
によれば、スラリ寿命を予測算出することによって、ス
ラリ交換時期が予知でき、タイミング良くスラリ交換を
行うことができる。このため、ワークの切削中におい
て、スラリ中に含まれる遊離砥粒の割合をほぼ一定にす
ることができ、高い切削効率とスライス面の精度とを維
持することができる。

【０１０２】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の効果に加えて、状況に応じて定量交換ま
たは全量交換が行われるため、確実に切粉含有率を規定
値以下に維持することができる。

【０１０３】請求項３に記載の発明によれば、請求項２
に記載の発明の効果に加えて、切粉含有率が規定値を超
える場合は全量交換が実行されるため、切削加工部に供
給したすべてのスラリを新しいスラリに交換することが
できる。

【０１０４】請求項４に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の効果に加えて、基準量を一単位とした算
出量交換または全量交換を実行することができる。請求
項５に記載の発明によれば、請求項４に記載の発明の効
果に加えて、基準量の単位が設定値を超える場合は全量
交換が実行されるため、切粉含有率の予測算出結果に応
じたスラリ交換を行うことができる。

【０１０５】請求項６に記載の発明によれば、請求項１
に記載の発明の効果に加えて、交換すべきスラリ量が算
出されて、算出量交換または全量交換が実行されるた
め、切粉含有率の予測算出結果に応じたスラリ交換を行
うことができる。

【０１０６】請求項７に記載の発明によれば、請求項６
に記載の発明の効果に加えて、算出量交換が設定量を超
えている場合は全量交換が実行されるため、切削加工部
に供給したすべてのスラリを新しいスラリに交換するこ
とができる。

【０１０７】請求項８に記載の発明によれば、請求項
２、請求項４及び請求項６のいずれか１項に記載の発明
の効果に加えて、スラリ排出手段とスラリ補充手段とで
スラリの全量交換が実行されるため、切削加工部に供給
したすべてのスラリを排出させ、新しいスラリを補充す
ることができる。

【０１０８】請求項９に記載の発明によれば、請求項８
に記載の発明の効果に加えて、スラリ排出手段の動作が
実行された後にスラリ補充手段の動作が実行されるた
め、切削加工部に供給したすべてのスラリを排出させた
後、新しいスラリを補充することができる。

【０１０９】請求項１０に記載の発明によれば、請求項
８に記載の発明の効果に加えて、スラリ排出手段の動作
とスラリ補充手段の動作とが同時に実行されるため、ス
ラリの交換を素早く実行させることができる。

【０１１０】請求項１１に記載の発明によれば、請求項
２、請求項４及び請求項６のいずれか１項に記載の発明
の効果に加えて、切粉含有率が切削加工する前に予測算
出されるため、ワークの切削中にスラリ中に含まれる遊
離砥粒の割合が急増して、ワークの切削効率が低下する
ことはなく、常に一定の切れ味でワークをスライス加工
することができる。

【０１１１】請求項１２に記載の発明によれば、請求項
２、請求項４及び請求項６のいずれか１項に記載の発明
の効果に加えて、スラリ寿命の予測算出結果をワークの
切削加工時或いは切削加工後に得ることができる。この
ため、ワークの切削加工が終了した後に、その算出量に
基づくスラリ交換を実行し、スラリ状態を適正にしてお
くことができる。これにより、次ワークの切削加工をす
ぐに開始することができる。

【０１１２】請求項１３に記載の発明によれば、請求項
１１または請求項１２に記載の発明の効果に加えて、ワ
ークに関する情報をバーコードリーダによって、簡便且
つ確実に得ることができる。

【０１１３】請求項１４に記載の発明によれば、ワーク
の情報に基づいて、容易にワーク寿命を予測算出するこ
とができる。請求項１５に記載の発明によれば、スラリ
寿命予測に基づく、スラリ交換を自動的に行わせること
ができ、ワークの切削中において、スラリ中に含まれる
遊離砥粒の割合をほぼ一定にすることが可能なスラリ循
環装置を備えたワイヤソーを提供することができる。

【０１１４】請求項１６に記載の発明によれば、スラリ
寿命予測に基づく、スラリ交換を自動的に行わせること
ができ、ワークの切削中において、スラリ中に含まれる
遊離砥粒の割合をほぼ一定にすることが可能なスラリ循
環装置の動作をコンピュータのプログラムとして記録し
た記録媒体を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態を示すワイヤソーの正面図。

【図２】同じく、そのワイヤソーの平面図。

【図３】同じく、そのワイヤソーのスラリ供給機構を示
す配管図。

【図４】同じく、そのワイヤソーの電気ブロック構成
図。

【図５】同じく、定量交換及び全量交換を示すフローチ
ャート。

【図６】同じく、定量交換動作を示すフローチャート。

【図７】第２の実施形態を示す算出量交換及び全量交換
を示すフローチャート。

【図８】第３の実施形態を示す算出量交換及び全量交換
を示すフローチャート。

【図９】第４の実施形態を示す定量交換及び全量交換を
示すフローチャート。

【図１０】第５の実施形態を示す算出量交換及び全量交
換を示すフローチャート。

【図１１】第６の実施形態を示す算出量交換及び全量交
換を示すフローチャート。

【符号の説明】

１７…切削加工部、３７…スラリ排出手段を構成する供
給配管路、３７ａ…スラリ排出手段を構成する分岐配管
路、３８…スラリ排出手段を構成する供給ポンプ、３８
ａ…スラリ排出手段を構成する第１バルブ、３８ｂ…ス
ラリ排出手段を構成する第２バルブ、４６…スラリ補充
手段を構成する補充配管路、４７…スラリ補充手段を構
成するスラリ補充ポンプ、４７ａ…スラリ補充手段を構
成する第３バルブ、５１…予測算出手段及びスラリ交換
手段としての制御部、５１ａ…コンピュータを構成する
ＣＰＵ、５１ｂ…コンピュータを構成するＲＯＭ、５１
ｃ…コンピュータを構成するＲＡＭ。

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 分散液に遊離砥粒を分散させて調合した
   スラリをスラリ貯留タンクからワークの切削加工部に供
   給した後、そのスラリを前記スラリ貯留タンクに回収し
   て再び切削加工部に供給するスラリ循環装置において、 スラリ寿命を予測算出する予測算出手段と、 予測算出手段の算出結果に基づいて、スラリ貯留タンク
   内のスラリを新しいスラリと交換するスラリ交換手段と
   を備えたスラリ循環装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のスラリ循環装置におい
   て、 予測算出手段の算出結果に基づいて、スラリ交換手段
   は、予め定めたスラリ量を交換する定量交換またはスラ
   リ貯留タンク内のすべてのスラリを交換する全量交換を
   実行するスラリ循環装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のスラリ循環装置におい
   て、 スラリの全量交換は、予測算出手段によって予測算出さ
   れた算出結果が規定値を超えている場合に実行するスラ
   リ循環装置。
4. 【請求項４】 請求項１に記載のスラリ循環装置におい
   て、 予測算出手段の算出結果に基づいて、スラリ交換手段
   は、予め定められた基準量と基準量の単位との積で算出
   される算出量交換またはすべてのスラリを交換する全量
   交換を実行するスラリ循環装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載のスラリ循環装置におい
   て、 全量交換は、基準量の単位が設定値を超える場合に実行
   するスラリ循環装置。
6. 【請求項６】 請求項１に記載のスラリ循環装置におい
   て、 予測算出手段の算出結果に基づいて、スラリ交換手段
   は、交換すべきスラリ量を予測算出して実行する算出量
   交換またはすべてのスラリを交換する全量交換を実行す
   るスラリ循環装置。
7. 【請求項７】 請求項６に記載のスラリ循環装置におい
   て、 全量交換は、算出された交換量が設定量を超えている場
   合に実行するスラリ循環装置。
8. 【請求項８】 請求項２、請求項４及び請求項６のいず
   れか１項に記載のスラリ循環装置において、 スラリ交換手段は、スラリ貯留タンクからスラリ廃液タ
   ンクへスラリを排出するスラリ排出手段と、 新しいスラリをスラリ補充タンクからスラリ貯留タンク
   へ補充するスラリ補充手段とを含むスラリ循環装置。
9. 【請求項９】 請求項８に記載のスラリ循環装置におい
   て、 スラリ排出手段がスラリ補充手段に先だって動作するス
   ラリ循環装置。
10. 【請求項１０】 請求項８に記載のスラリ循環装置にお
    いて、 スラリ排出手段とスラリ補充手段とが同時に動作するス
    ラリ循環装置。
11. 【請求項１１】 請求項２、請求項４及び請求項６のい
    ずれか１項に記載のスラリ循環装置において、 予測算出手段は、ワークに関する情報から切削加工前
    に、切削加工後のスラリ寿命を予測算出し、この算出結
    果に基づいてスラリ交換手段が作用するスラリ循環装
    置。
12. 【請求項１２】 請求項２、請求項４及び請求項６のい
    ずれか１項に記載のスラリ循環装置において、 予測算出手段は、ワークに関する情報から切削加工時或
    いは切削加工後に、切削加工後のスラリ寿命を予測算出
    し、この算出結果に基づいてスラリ交換手段が作用する
    スラリ循環装置。
13. 【請求項１３】 請求項１１または請求項１２に記載の
    スラリ循環装置において、 予測算出手段は、バーコードリーダを含み、そのバーコ
    ードリーダがワークに貼付されたバーコードを読み込む
    ことによって、ワークに関する情報を得るスラリ循環装
    置。
14. 【請求項１４】 請求項１〜請求項１３のいずれか１項
    に記載のスラリ循環装置において、 スラリ寿命は、スラリ中の切粉含有率を表すスラリ循環
    装置。
15. 【請求項１５】 複数の加工用ローラ間にワイヤを所定
    ピッチで巻回し、そのワイヤを走行させながら、ワイヤ
    上に遊離砥粒を含むスラリを供給するとともに、ワイヤ
    に対しワークを接触させて、切削加工を行うようにした
    ワイヤソーにおいて、 請求項１〜請求項１４のいずれか１項に記載のスラリ循
    環装置を備えたワイヤソー。
16. 【請求項１６】 請求項１〜請求項１４のいずれか１項
    に記載のスラリ循環装置において、 コンピュータに予測算出手段及びスラリ交換手段の動作
    を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体。