JPH10299688A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3825538B2 (ja) * 1997-08-29 2006-09-27 樫山工業株式会社 高真空ポンプ
JPH11281799A (ja) 1998-03-27 1999-10-15 Ebara Corp 電子線照射装置
JP3874993B2 (ja) * 2000-05-18 2007-01-31 アルプス電気株式会社 ターボ分子ポンプ
DE10056144A1 (de) * 2000-11-13 2002-05-23 Pfeiffer Vacuum Gmbh Gasreibungspumpe
JP2002202193A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 温度制御装置
JP4529552B2 (ja) * 2004-06-16 2010-08-25 株式会社島津製作所 磁気軸受式ターボ分子ポンプ
JP2017034811A (ja) * 2015-07-30 2017-02-09 ファナック株式会社 ロータの温度測定可能な電動機制御装置およびそれを備えた電動機
CN114233674B (zh) * 2021-12-31 2024-04-02 北京中科科仪股份有限公司 一种磁悬浮分子泵过载保护方法、装置及存储介质

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02204696A (ja) * 1989-01-31 1990-08-14 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ装置
JP2680883B2 (ja) * 1989-02-22 1997-11-19 株式会社島津製作所 磁気軸受ターボ分子ポンプ
JPH02252996A (ja) * 1989-03-24 1990-10-11 Shimadzu Corp 磁気軸受ターボ分子ポンプ
JP3069704B2 (ja) * 1989-12-08 2000-07-24 セイコー精機株式会社 ターボ分子ポンプの制動制御装置
JPH07238897A (ja) * 1994-02-25 1995-09-12 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ
JP3486000B2 (ja) * 1995-03-31 2004-01-13 日本原子力研究所 ねじ溝真空ポンプ
JP3510007B2 (ja) * 1995-06-13 2004-03-22 日本原子力研究所 分子ポンプ
JP3057486B2 (ja) * 1997-01-22 2000-06-26 セイコー精機株式会社 ターボ分子ポンプ

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