JPH10296718A - 帯鋸および加工片からの薄片切断方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 とくに半導体ウエーハを切断するのに適する
帯鋸を提供しかつ従来技術における問題を回避する加工
片からの薄片切断方法を提供することにある。 【構成】 加工片から薄片を切断する帯鋸において、プ
ーリ装置を介して回転しかつ帯片背部および該帯片背部
の反対に置かれかつ切断カバーを備えている切断刃を有
している鋸帯片、ならびに加工片と切断刃との間の相対
的な運動行う供給装置からなる加工片から薄片を切断す
るための帯鋸であり、前記鋸帯片が前記加工片に貫通
し、かくして切断ギヤツプを形成し、前記帯鋸が、前記
帯片背部を支持しかつ保持装置によつて保持される支持
板を有している。本発明はまた、この帯鋸を使用して加
工片から薄片を切断する方法に関し、帯片背部に隣接す
る支持板の部分がまた、切断ギヤツプを貫通する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プーリ装置を介して回
転しかつ帯片背部および該帯片背部の反対に置かれかつ
切断カバーを備えている切断刃を有している鋸帯片、な
らびに加工片と切断刃との間の相対的な運動を行う供給
装置からなり、前記鋸帯片が前記加工片に貫通し、かく
して切断ギヤツプを形成する、加工片から薄片を切断す
る帯鋸に関する。本発明はまた、加工片から薄片を切断
するための、とくに半導体ウエーハを切断するための加
工片からの薄片切断方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、シリコンのごとき、半導体材料
のロツドまたはブロツクは工業用規模のウエーハ状ユニ
ツトに分割され、これらのユニツトは電子部品の製造の
基礎材料として顕著に必要とされている。環状鋸、フレ
ーム鋸およびワイヤ鋸がかかる加工片から薄片を切断す
るのに通常使用されている。同様に、帯鋸も使用される
が、大きな鋳造物を分割するための工業的切断および結
晶の端片を切断するためのみに使用されている。環状鋸
およびワイヤ鋸は、ウルマンの工業化学エンサイクロペ
デイア(Ullmann's Encyclopedia)の第Ａ２３巻の「シリ
コン」と題する章、ＶＣＨ フエアラーグスゲゼルシヤ
フト ヴアインハイム １９９３ (VCHVerlagsgesellsc
haft Weinheim 1993)のページ７３４，７３５，７３９
および７４０において取り扱われている。帯鋸の説明
は、例えば、シユプリンガーフエアラーク ベルリン(S
pringer-Verlag Berlin)の、デユベルの(in Dubbel) 、
「機械構造に関するハンドブツク」第１８版、ページＴ
８７およびＴ８８に認められる。

【０００３】ワイヤ鋸は、ワイヤ鋸を使用するときの鋸
くずが環状鋸を使用するときの鋸くずより少ないので、
２００および３００ｍｍの比較的大径を有する半導体ウ
エーハの製造に現在顕著に使用されている。他方で、環
状鋸の使用は、加工片の端部が切断作業の前に機械加工
され得るというワイヤ鋸の使用を超える利点を有してい
る。結果として、切断作業後製造される半導体ウエーハ
は、さらに他の材料−研磨加工工程用の基準面を有して
いる。加工片の端部のこの機械加工は、例えば、ドイツ
連邦共和国特許公開ＤＥ３６１３１３２Ａ１に記載され
ている。帯鋸作業は半導体ウエーハが、環状鋸における
場合と同様に連続して製造され得る方法であり、加工片
の端部を機械加工する利点はまた帯鋸作業に関連して利
用される。

【０００４】

【発明が解決すべき課題】しかしながら、帯鋸を使用し
て半導体ウエーハ切断するとき生起する高い切断力のた
めに、これまでは比較的大きな断面を有する鋸帯片を使
用する必要があつた。しかしながら、これらの鋸帯片は
高いレベルの鋸くずを生じ、帯鋸を使用して半導体ウエ
ーハを切断するのを不経済にした。鋸くずを減少するの
に使用され得る非常に薄い鋸帯片は、単に、経済的な理
由で必要である高い送り率での精密な切断を発生するに
は不十分な低い強度を有するだけである。

【０００５】本発明の目的は、とくに半導体ウエーハを
切断するのに適する帯鋸を提供しかつ上述した問題がそ
れによつて回避される切断方法を特徴付けることを達成
することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、加工片
から薄片を切断する帯鋸において、プーリ装置を介して
回転しかつ帯片背部および該帯片背部の反対に置かれか
つ切断カバーを備えている切断刃を有している鋸帯片、
ならびに加工片と切断刃との間の相対的な運動行う供給
装置からなり、前記鋸帯片が前記加工片に貫通し、かく
して切断ギヤツプを形成し、前記帯鋸が、前記帯片背部
を支持しかつ保持装置によつて保持される支持板を有し
ていることである。本発明の要旨はまた、帯鋸を使用し
て加工片から薄片を切断する加工片からの薄片切断方法
において、帯片背部および該帯片背部と反対に置かれか
つ切断カバーを備えている切断刃を有している回転鋸帯
片が切断ギヤツプを形成するように加工片を貫通し、前
記鋸帯片が前記帯片背部で支持板によつて支持され、そ
して前記帯片背部に隣接する、前記支持板の１部分が同
様に前記切断ギヤツプを貫通することである。

【０００７】同様に少なくとも部分的に切断ギヤツプを
貫通する支持板が鋸帯片を安定化し、その結果小さい断
面厚さを有する鋸帯片を同様に使用することができ、か
つ鋸くずを低レベルに保持することが可能である。支持
板はさらに、計画された切断平面における鋸帯片の保持
を可能にし、その結果できるかぎり平らな切断路が達成
される。支持板はそのうえ、その方法の経済的な実行可
能性をさらに改善する高い送り圧力の達成を可能にす
る。

【０００８】本発明を以下で図を参照してより詳細に説
明する。本発明を理解するのに寄与する図のみが示され
ている。とくに、駆動、取り付け、冷却、清掃、測定お
よび制御装置のごとき当該技術に熟練した者に知られて
いる特徴の例示は行われていない。各図は概略的でかつ
正確な縮尺で描かれてはいない。選択された構成要素
の、例えば、偏向プーリおよび加工片の数および位置
は、図示のためにのみ役立ちかつ本発明を限定するもの
として解釈されるべきでない。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１は最初の基準点として採られ
ている。この図は例として帯鋸１の好適な実施例を示し
ている。帯鋸の鋸帯片２は水平軸を有する３つの偏向プ
ーリ３を介して案内される。そのうちの少なくとも１
つ、例えば、偏向プーリ３ａが駆動される偏向プーリは
機枠４内に取り付けられる。少なくとも１つの偏向プー
リが緊張プーリとして設計される、すなわち移動可能に
取り付けられるのが適切であり、その結果鋸帯片は緊張
プーリの対応する運動によつて緊張および弛緩され得
る。偏向プーリ３ａはしたがつて揺動体５に配置されて
示される。

【００１０】帯片通路は加工片の両側に配置されるガイ
ドによつて影響を及ぼされかつ安定化され得る。ガイド
としては、例えば、追加のガイドプーリ（図示せず）を
使用することができ、これらのガイドプーリによつて鋸
帯片が走行方向に対して垂直に動かされ得るかまたは現
行の走行面から傾斜され得る。図示された帯鋸はガイド
６および７を備えており、それらの間で鋸帯片が走行す
る。帯片通路に影響を及ぼすために、鋸帯片は流体静力
学または流体力学、空気静力学または空気力学原理にし
たがつて作動している流体、例えば水および／または空
気の流れの作用に従わされ得る。このために、送りダク
トが、ガイドの顎部分に、鋸帯片の方向に向いている出
口開口を備え、そして顎部分の案内面が対応する設計か
らなる（図示せず）。センサによつて記録される、計画
された切断路からのずれの場合に、帯片の位置は鋸帯片
への流体の流れの非対称の印加によつて変更されかつ帯
片通路は所望の方法に補正される。鋸帯片へ流体の流れ
を印加することにより帯片の位置を制御することはガイ
ドおよび切断ギヤツプの双方において行われる。

【００１１】帯鋸は、そのうえ、実質上垂直な軸線を有
する筒状加工片９がそれに取り付けられる、送り装置８
を備えている。加工片は鋸帯片の切断刃に向かって直線
的に案内される。加工片の形状および送り装置に取り付
けられる加工片の数は与えられる詳細から異なることが
できる。また、送り装置は加工片が枢動運動により鋸帯
片の切断刃に向かって案内されるように設計されるか、
または回転運動が送り運動に重畳されるか、さもなけれ
ば加工片が固定のままでありそして鋸帯片が加工片に向
かって動かされることも可能である。いずれにしても、
送り装置は加工片と切断刃との間の相対的運動を行う。

【００１２】図１に示した帯鋸はまた水平構造として設
けられることができる。この構造は、例えば、図１が帯
鋸の平面図として理解されかつ送り装置８が偏向プーリ
３の下に配置されると仮定される場合に製造される。垂
直に整列された偏向プーリを備えたこの構造が使用され
る場合には、帯鋸の構造的高さを低く達成することがで
きかつウエーハを切断するときに発生される鋸くずが、
その固有の重量が鋸ギヤツプの下方領域に残ることを意
味するので、切断ギヤツプから鋸帯片によつてより完全
に除去され得るという特別な利点を有している。偏向プ
ーリの軸線および垂線に対して傾斜される送りの配置
（例えば、３０°まで）はまたこの目的に適しかつ所望
の構造的高さおよび接近性を達成するのに好都合である
かも知れない。

【００１３】加工片の上方に可動のウエーハホルダを設
けるのが好適であり、このウエーハホルダは鋸帯片から
反対側に切断されるべきウエーハを支持する。ウエーハ
ホルダ１０は加工片９上に置かれそして好ましくは真空
作用によつて加工片に接合されている。切断作業の間
中、ウエーハホルダは加工片とともに動きかつ次いでウ
エーハを取り除きかつ下に置くために加工片から離して
動かされ得る。図２は２つの異なる位置、すなわちウエ
ーハが切断される前および後の加工片を示している。

【００１４】本発明によれば、帯片背部１２を支持する
支持板１１は、鋸帯片の後ろに、切断作業の間中鋸帯片
が屈曲するのを阻止する、送り方向に配置される（図
２）。支持板は好ましくは保持装置１３の側方アーム１
４に取り付けられる。保持装置は機枠４を使用して調整
されることができ、適切ならば、制御された方法で動く
ように接続され得る。支持板は好ましくは予め負荷され
た方法において保持装置に保持され、その結果その平坦
性は切断作業の間中保証される。予備負荷は支持板を取
り付ける前に保持装置１３の側方アーム１４を緊張させ
ることにより支持板を取り付けるとき好都合に設定され
る。ガイド６および７は好ましくは同様に保持装置に取
り付けられる。

【００１５】鋸帯片２が切断作業の間中支持板１１に沿
って摺動するので、潤滑フイルムが支持体と帯片背部と
の間に存在する。潤滑剤、例えば、グラフアイトペース
トが、鋸帯片が加工片に入る前に帯片背部に塗布されて
もよい。支持板は、全体的にまたは部分的に、鋼、鋳鉄
を含む他の金属、グラフアイト、プラスチツクおよび複
合材料からなるグループから好ましくは選択される材料
からなる。支持板は、これを必要条件に合わせるため
に、異なる材料特性を有する成分に分割されてもよい。
少なくとも支持板の基礎本体は金属シート、とくに高強
度のシート鋼から作られるのが好ましい。支持板に対し
て支持する帯片背部の表面が凸状設計からなりかつ支持
板に対して支持する帯片背部が凹状設計からなるのがと
くに好適である。帯片背部はしたがつてガイド内で走行
する。支持板上での鋸帯片の案内は追加的にまたは代替
的に帯片背部に対して支持する支持板の表面に面取りを
加えることにより同様に改善され得る。ガイドの長さに
わたつて順に交替する面取りがとくに好適であり、その
結果帯片背部は上方および下方から交互に案内される
（図示せず）。

【００１６】そのうえ、支持板は、互いに沿って摺動す
る支持板および帯片背部の表面への潤滑剤の供給を改善
するために、凹所１５によつて中断され得る。また、鋸
帯片を案内するために支持板に開口を設けるのが好都合
かも知れない。支持板および帯片背部が互いに沿ってそ
の上を摺動する長さは所望のごとく選択されることがで
きかつ実質上支持板の幅に依存する。鋸帯片がガイド６
と７との間の中央領域に支持されるのが最も有効であ
る。この長さは加工片に侵入する帯片背部のその部分を
取り囲むのが好ましい。支持板の幅（送り方向におい
て）は本発明によつて制限されず、その結果非常に高い
堅牢性を達成することができる。しかしながら、支持板
はまた、狭い、高い強度の細片からなつてもよい。

【００１７】鋸帯片が氷の表面上で支持されるならばと
くに摩擦は小さい。このために、ウエーハホルダは冷却
装置を備えることが可能で、その結果切断ギヤツプに供
給される水は凍りそして支持板上に氷の層を形成する。
支持板は振動運動によつてかつ支持板の非常に滑らかな
表面によつて切断ギヤツプの成長が阻止されることがで
きる。

【００１８】ウエーハホルダ１０はまた、切断ギヤツプ
への支持板の侵入前およびその間中支持板を案内するの
に使用され得る。このために、ウエーハホルダは拡大さ
れた設計からなり、その結果ウエーハホルダはウエーハ
および鋸帯片のおよび支持板の部分を被覆する。支持板
を案内するウエーハホルダのその部分はこの場合に支持
板の厚さによつて下方に延長されかつ支持板に対して向
かい合うガイド面を形成する（図３）。支持板は追加的
に鋸帯片に対して反対の側から案内されることもでき
る。支持板の下で動かされ得るガイド２０がこのために
設けられる。支持板のこの案内方法はとくに始動切断段
階において好都合である。

【００１９】図３は、すでに切断ギヤツプ１６に置かれ
かつ加工片９からウエーハ１７を切断している、鋸帯片
２の断面図を示している。鋸帯片の背部１２は本方法に
おいて支持板１１によつて支持される。帯片背部１２と
反対に置かれる鋸帯片２のその側に切断被覆を備えてい
る切断刃１８が置かれる。吸い込み開口１９を備えてい
るウエーハホルダ１０、および切断ギヤツプ１６は支持
板１１および鋸帯片２を案内するための案内面を形成す
る。帯片の断面形状には制限がない。しかしながら、帯
片背部の領域において鋸帯片を幅広にすることは鋸帯片
の案内に好都合な作用を有する。既述のごとく、加工片
の両側に配置されたガイドがまた帯片通路を案内かつ制
御するのに使用され得る。しかしながら、切断ギヤツプ
中の帯片通路の精密な制御および補正は好ましくは加工
片を動かすことによるかまたは支持板へおよび／または
切断ギヤツプ中の鋸帯片へ流体の流れを印加することに
より引き起こされる。所望の切断路かのずれが検出され
るとすぐに、このずれは加工片の補完的な運動によつて
または支持板のおよび／または鋸帯片の頂部または底部
へ流体の流れを印加することによつて補正される。帯片
背部は、この場合に、支持板によつて保持され、その結
果切断刃は帯片背部に対して動かされる。

【００２０】支持板の使用に関連する特別な利点は、支
持板が送り方向において支持板に振動運動を働かすよう
に使用され得るということから結果として生じ、その結
果切断力がまたさらに改善される。このために、支持板
を備えた保持装置は支持板が送り方向に動き得るように
取り付けられ、そして振動駆動装置が保持装置に取り付
けられる。

【００２１】保持装置１３および横方向摺動ガイド６お
よび７は、図１および図２に示されるごとく、機枠４上
に配置されてもよい。保持装置１３は切断されたウエー
ハが支持板に沿って取り除かれ得るように形作られる。
また、鋸帯片の上方を横切ることによつてウエーハを取
り除くことができる。

【００２２】切断カバーを支持する帯片を製造するため
に、例として、帯片ループが冷間圧延によつて所望の形
状に作られるか、そうでなければ細片が帯片ループを形
成するために圧延されかつ次いで所望の厚さおよび形状
に機械加工される（一般に研削により）。適宜な帯片ル
ープが、任意に続いて機械加工、例えば研削を施すこと
により、定形の細片をともに溶接することにより製造さ
れ得る。鋸帯片の堅牢性に求められる条件は本発明によ
る支持装置によつてかなり低減される。

【００２３】支持板は鋸帯片の帯片背部を支持し、かく
して切断作業中の鋸帯片の不都合な屈曲を阻止する。切
断作業の過程において、帯片背部に隣接する支持板のそ
の部分は切断ギヤツプに侵入する。

【００２４】任意に鋸帯片と結合される研削装置（図示
せず）を使用して加工片の端部上を研削することにより
加工片からウエーハを切断し始めるのが好ましい。加工
片は次いで送り装置を使用して鋸帯片の切断刃の前方に
動かされる。この段階において、ウエーハホルダは加工
片に接続される。続いて加工片とウエーハホルダの共通
運動をともに結合するのが好ましい。次の切断作業の間
中、鋸帯片の切断カバーは切断ギヤツプを生じる。この
切断ギヤツプは支持板を収容する。支持板がまだ切断ギ
ヤツプ内で案内されていない段階において、拡大された
設計からなるウエーハホルダはガイドとして鋸ベルトの
頂部に作用し、一方鋸帯片の底部で案内が支持板に一時
的に印加される。切断後、切断されたウエーハは支持板
から引き離される。この場合に、ウエーハは好都合には
ウエーハホルダによつて動かされる。加工片は最初の位
置に戻されかつ次の切断作業のために上方に向かって進
められる。

【００２５】切断ギヤツプ中の帯片背部の支持は、非常
に狭い帯片でも、１側に被覆を有するワイヤの使用でさ
えも可能にする。鋸帯片の断面厚さは広い範囲内で選択
され得る。２０μｍないし４００μｍ、とくに５０μｍ
から１００μｍの断面厚さが半導体ウエーハの製造には
好適である。

【００２６】本方法の好適な実施例によれば、切断作業
の間中送り運動に重畳されるような加工片のまたは偏向
プーリの枢動運動が行われる。この枢動運動は切断面に
対して実質上垂直である軸線のまわりで実施されかつ鋸
帯片と加工片との間の係合長さを短くする目的を有して
いる。フランス特許明細書ＦＲ−１，５６９，１７６の
説明から明らかであるように、この枢動運動はまた揺動
形状からなつている。係合の長さはその特定の時間で加
工片と接触している切断カバーを備えた切断刃の長さを
意味するものとして理解され得る。枢動運動なしで、係
合の長さはウエーハの切断の間中、加工片の直径に対応
する長さにまで増加し、かつ再びしたがつてウエーハが
切断されるまで降下する。考え得る最大の係合長さが、
各場合に、好ましくは少なくとも３０％まで達成されな
いことを保証するようにこの重畳される枢動運動を使用
するのが好ましい。係合の長さがこの方法において低い
レベルに保持されるならば、加工片と接触する切断カバ
ーのこれらのダイヤモンド粒子の接触時間は減少され、
かくして発生される鋸くずの除去を容易にする。送り運
動の速度は切断作業に適合されることができかつ改善さ
れた切断およびくず除去条件に応じて増加され得る。送
り率は一定でなく、むしろ切断および発生される鋸くず
の除去の間の条件に適合されるのが好ましい。

【００２７】以下に本発明の実施の形態を要約する。 １．加工片から薄片を切断する帯鋸において、プーリ装
置を介して回転しかつ帯片背部および該帯片背部の反対
に置かれかつ切断カバーを備えている切断刃を有してい
る鋸帯片、ならびに加工片と切断刃との間の相対的な運
動行う供給装置からなり、前記鋸帯片が前記加工片に貫
通し、かくして切断ギヤツプを形成し、前記帯鋸が、前
記帯片背部を支持しかつ保持装置によつて保持される支
持板を有していることを特徴とする帯鋸。

【００２８】２．前記支持板が、全体的にまたは部分的
に、鋼、鋳鉄を含む他の金属、グラフアイト、プラスチ
ツクおよび複合材料からなるグループから選択される材
料からなることを特徴とする上記１に記載の帯鋸。 ３．前記支持板が前記保持装置内で予め負荷されている
ことを特徴とする上記１または２に記載の帯鋸。 ４．前記支持板が鋸帯片の潤滑を容易にするために凹所
を備えていることを特徴とする上記１ないし３のいずれ
か１項に記載の帯鋸。

【００２９】５．前記保持装置が前記加工片の両側で前
記鋸帯片を案内するガイドに接続されることを特徴とす
る上記１ないし４のいずれか１項に記載の帯鋸。 ６．前記鋸帯片が２０μｍから４００μｍの範囲の断面
厚さを有することを特徴とする上記１ないし５のいずれ
か１項に記載の帯鋸。 ７．前記鋸帯片の断面厚さが帯片背部の領域において増
加しかつこの領域においてほぼ前記切断ギヤツプの幅に
到達することを特徴とする上記６に記載の帯鋸。 ８．前記支持板が、前記帯片背部に面する側で、凹状に
形作られるおよび／または面取りを備えていることを特
徴とする上記１ないし７のいずれか１項に記載の帯鋸。

【００３０】９．帯鋸を使用して加工片から薄片を切断
する加工片からの薄片切断方法において、帯片背部およ
び該帯片背部と反対に置かれかつ切断カバーを備えてい
る切断刃を有している回転鋸帯片が切断ギヤツプを形成
するように加工片を貫通し、前記鋸帯片が前記帯片背部
で支持板によつて支持され、そして前記帯片背部に隣接
する、前記支持板の１部分が同様に前記切断ギヤツプを
貫通することを特徴とする加工片からの薄片切断方法。

【００３１】１０．前記支持板がスライスホルダによつ
て案内されることを特徴とする上記９に記載の加工片か
らの薄片切断方法。 １１．前記スライスホルダが切断されるべき薄片を支持
するのに使用されることを特徴とする上記１０に記載の
加工片からの薄片切断方法。 １２．平らな切断路からのずれが前記支持板と前記加工
片との間の相対的な運動によつて補正されることを特徴
とする上記９ないし１１のいずれか１項に記載の加工片
からの薄片切断方法。

【００３２】１３．前記切断路が前記切断ギヤツプ中の
流体の流れを使用して前記支持板および／または鋸帯片
に作用することにより影響を及ぼされることを特徴とす
る上記９ないし１２のいずれか１項に記載の加工片から
の薄片切断方法。 １４．前記鋸帯片が前記加工片に入る前に前記帯片背部
の領域において潤滑剤を備えていることを特徴とする上
記９ないし１３のいずれか１項に記載の加工片からの薄
片切断方法。 １５．前記支持板が切断作業の間中振動運動を実施する
ことを特徴とする上記９ないし１４のいずれか１項に記
載の加工片からの薄片切断方法。

【００３３】１６．係合の長さが前記切断カバーを備え
た前記切断刃と前記加工片との間に設けられ、その長さ
は各場合に考え得る最大の係合長さを下回ることを特徴
とする上記９ないし１５のいずれか１項に記載の加工片
からの薄片切断方法。 １７．送り率は一定でなく、むしろ切断および発生され
る鋸くずの除去の間中の条件に適合されことを特徴とす
る上記９ないし１６のいずれか１項に記載の加工片から
の薄片切断方法。

【００３４】１８．前記プーリ装置が垂直に整列される
かまたは垂線に対して傾斜される軸線を備えた偏向プー
リからなることを特徴とする上記１ないし８のいずれか
１項に記載の帯鋸。

【００３５】

【発明の効果】叙上のごとく、本発明は、加工片から薄
片を切断する帯鋸において、プーリ装置を介して回転し
かつ帯片背部および該帯片背部の反対に置かれかつ切断
カバーを備えている切断刃を有している鋸帯片、ならび
に加工片と切断刃との間の相対的な運動行う供給装置か
らなり、前記鋸帯片が前記加工片に貫通し、かくして切
断ギヤツプを形成し、前記帯鋸が、前記帯片背部を支持
しかつ保持装置によつて保持される支持板を有している
構成とし、また、帯鋸を使用して加工片から薄片を切断
する加工片からの薄片切断方法において、帯片背部およ
び該帯片背部と反対に置かれかつ切断カバーを備えてい
る切断刃を有している回転鋸帯片が切断ギヤツプを形成
するように加工片を貫通し、前記鋸帯片が前記帯片背部
で支持板によつて支持され、そして前記帯片背部に隣接
する、前記支持板の１部分が同様に前記切断ギヤツプを
貫通する構成としたので、半導体ウエーハを経済的に切
断する帯鋸および高い送り率で精密な切断を可能にする
加工片からの薄片切断方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による帯鋸を示す正面図である。

【図２】明瞭のために、支持板および鋸帯片の１部分の
みがこの図の左側に示される、図１の線Ａ−Ａの水平断
面平面図である。

【図３】切断作業中の加工片の垂直断面図である。

【符号の説明】

１ 帯鋸 ２ 鋸帯片 ３ 偏向プーリ ６ ガイド ７ ガイド ８ 送り装置 ９ 加工片 １０ ウエーハホルダ １１ 支持板 １２ 帯片背部 １３ 保持装置 １４ 側方アーム １５ 凹所

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ディエター・シュアイフェルト ドイツ連邦共和国 ノイオエティング，ジ エトルングスシュトラーセ 12 (72)発明者 クレメンス・ミュールバウアー ドイツ連邦共和国 ブルクキルヘン，ホー ホカルター ３

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工片から薄片を切断する帯鋸におい
   て、プーリ装置を介して回転しかつ帯片背部および該帯
   片背部の反対に置かれかつ切断カバーを備えている切断
   刃を有している鋸帯片、ならびに加工片と切断刃との間
   の相対的な運動行う供給装置からなり、前記鋸帯片が前
   記加工片に貫通し、かくして切断ギヤツプを形成し、前
   記帯鋸が、前記帯片背部を支持しかつ保持装置によつて
   保持される支持板を有していることを特徴とする帯鋸。
2. 【請求項２】 帯鋸を使用して加工片から薄片を切断す
   る加工片からの薄片切断方法において、帯片背部および
   該帯片背部と反対に置かれかつ切断カバーを備えている
   切断刃を有している回転鋸帯片が切断ギヤツプを形成す
   るように加工片を貫通し、前記鋸帯片が前記帯片背部で
   支持板によつて支持され、そして前記帯片背部に隣接す
   る、前記支持板の１部分が同様に前記切断ギヤツプを貫
   通することを特徴とする加工片からの薄片切断方法。