DE19734243A1 - Bandsäge und Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück - Google Patents

Description

Gegenstand der Erfindung ist eine Bandsäge zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück, umfassend ein über ein Rollensy­ stem umlaufendes Sägeband, das einen Bandrücken und eine dem Bandrücken gegenüberliegende, mit Schneidbelag versehene Schneidkante aufweist, sowie ein Vorschubsystem, das eine Re­ lativbewegung zwischen Werkstück und Schneidkante bewirkt, wo­ bei das Sägeband unter Ausbildung eines Trennspaltes in das Werkstück eindringt. Gegenstand der Erfindung ist auch ein Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück, ins­ besondere zum Abtrennen von Halbleiterscheiben.

Stäbe oder Blöcke aus Halbleitermaterial, wie beispielsweise Silicium, werden in industriellem Maßstab in scheibenförmige Einheiten geteilt, die überwiegend als Grundmaterial für die Herstellung elektronischer Bauelemente benötigt werden. Zum Abt rennen von Scheiben von solchen Werkstücken werden übli­ cherweise Innenloch-, Gatter- und Drahtsägen eingesetzt. Nur für Einzelschnitte zum Zerteilen großer Gußblöcke und zum Ab­ trennen von Kristallendstücken sind auch Bandsägen in Ge­ brauch. Das Innenloch- und Drahtsägen wird im Kapitel "Sili­ con" in Vol. A23 von Ullmanns's Encyclopedia of Industrial Chemistry, VCH Verlagsgesellschaft Weinheim 1993, auf den Sei­ ten 734, 735, 739 und 740 behandelt. Eine Darstellung des Bandsägens ist beispielsweise enthalten in Dubbel, Taschen­ buch für den Maschinenbau, Springer-Verlag Berlin, 18. Aufla­ ge, Seite T87 und T88.

Zur Herstellung von Halbleiterscheiben mit relativ großen Durchmessern von 200 und 300 mm werden derzeit überwiegend Drahtsägen eingesetzt, weil der Schnittverlust beim Drahtsägen geringer ist, als der beim Innenlochsägen. Die Verwendung von Innenlochsägen hat gegenüber der Verwendung von Drahtsägen je­ doch den Vorteil, daß das Werkstück vor dem Trennvorgang stirnseitig bearbeitet werden kann. Die nach dem Trennvorgang entstandene Halbleiterscheibe weist dadurch eine Referenzebene für weitere materialabtragende Bearbeitungsschritte auf. Diese stirnseitige Bearbeitung des Werkstücks ist beispielsweise in der DE-3613132 A1 beschrieben. Da es sich beim Bandsägen um eine Methode handelt, bei der Halbleiterscheiben wie beim In­ nenlochsägen sequentiell erzeugt werden, kann der Vorteil ei­ ner stirnseitigen Bearbeitung des Werkstücks auch in Verbin­ dung mit dem Bandsägen genutzt werden. Allerdings müssen bis­ her wegen der hohen Schnittkräfte, die beim Abtrennen von Halbleiterscheiben mit einer Bandsäge auftreten, Sägebänder mit relativ großem Querschnitt verwendet werden. Diese Säge­ bänder verursachen jedoch einen hohen Schnittverlust, der das Abtrennen von Halbleiterscheiben mit Bandsägen unwirtschaft­ lich macht. Sehr dünne Sägebänder, mit denen der Schnittver­ lust vermindert werden könnte, verfügen nur über eine geringe Steifigkeit, die für einen präzisen Schnitt mit einer aus wirtschaftlichen Gründen notwendigerweise hohen Vorschubge­ schwindigkeit nicht ausreicht.

Die vorliegende Erfindung löst die Aufgabe, eine Bandsäge be­ reitzustellen, die insbesondere zum Abtrennen von Halbleiter­ scheiben geeignet ist, und ein Trennverfahren anzugeben, mit dem die oben geschilderten Probleme vermieden werden.

Gegenstand der Erfindung ist eine Bandsäge zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück, umfassend ein über ein Rollensy­ stem umlaufendes Sägeband, das einen Bandrücken und eine dem Bandrücken gegenüberliegende, mit Schneidbelag versehene Schneidkante aufweist, sowie ein Vorschubsystem, das eine Re­ lativbewegung zwischen Werkstück und Schneidkante bewirkt, wo­ bei das Sägeband unter Ausbildung eines Trennspaltes in das Werkstück eindringt, gekennzeichnet durch eine Stützscheibe, die den Bandrücken abstützt und von einer Halteeinrichtung ge­ halten wird. Gegenstand der Erfindung ist auch ein Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück mit einer Band­ säge, wobei ein umlaufendes Sägeband, das einen Bandrücken und eine dem Bandrücken gegenüberliegende, mit Schneidbelag verse­ hene Schneidkante aufweist, unter Ausbildung eines Trennspal­ tes in ein Werkstück eindringt, und dadurch gekennzeichnet ist, daß das Sägeband am Bandrücken von einer Stützscheibe ab­ gestützt wird, und ein an den Bandrücken angrenzender Teil der Stützscheibe mit in den Trennspalt eindringt.

Die zumindest teilweise mit in den Trennspalt eindringende Stützscheibe stabilisiert das Sägeband, so daß auch Sägebänder mit kleiner Querschnittsdicke verwendet werden können und der Schnittverlust niedrig gehalten werden kann. Die Stützscheibe ermöglicht darüber hinaus, das Sägeband in der vorgesehenen Schneidebene zu halten, so daß ein möglichst ebener Schnitt­ verlauf erreicht wird. Durch die Stützscheibe sind außerdem hohe Vorschubdrücke möglich, die eine weitere Verbesserung der Wirtschaftlichkeit des Verfahrens bewirken.

Die Erfindung wird nachfolgend an Hand von Figuren näher er­ läutert. Es sind nur solche Merkmale dargestellt, die zum Ver­ ständnis der Erfindung beitragen. Insbesondere wurde auf die Darstellung dem Fachmann bekannter Merkmale, wie des Antriebs, der Lagerung, der Kühl-, Reinigungs-, Meß- und Steuereinrich­ tungen verzichtet. Die Figuren sind schematisch und nicht maß­ stäblich gezeichnet. Die gewählte Anzahl und Lage der Kompo­ nenten, beispielsweise der Umlenkrollen und des Werkstücks dient zur Veranschaulichung und darf nicht im Sinne einer Be­ schränkung der Erfindung aufgefaßt werden.

Fig. 1 zeigt die Vorderansicht einer erfindungsgemäßen Bandsäge;

Fig. 2 zeigt die Draufsicht auf einen horizontalen Schnitt entlang der Schnittlinie A-A in Fig. 1; in der linken Hälfte der Fig. 2 sind die Stützscheibe und das Sägeband zur Ver­ deutlichung nur teilweise dargestellt;

Fig. 3 zeigt einen vertikalen Schnitt durch das Werkstück während des Trennvorganges.

Zunächst wird auf Fig. 1 Bezug genommen, in der eine bevor­ zugte Ausbildungsform einer Bandsäge 1 beispielhaft gezeigt ist. Das Sägeband 2 der Bandsäge wird über drei Umlenkrollen 3 mit horizontaler Achse geführt. Die Umlenkrollen, von denen mindestens eine, beispielsweise die Umlenkrolle 3a angetrieben ist, sind in einem Maschinengestell 4 gelagert. Es ist zweck­ mäßig, daß mindestens eine der Umlenkrollen als Spannrolle ausgebildet, das heißt, verschiebbar gelagert ist, so daß das Sägeband durch eine entsprechende Bewegung der Spannrolle ge- und entspannt werden kann. Deshalb ist die Umlenkrolle 3a auf einer Schwinge 5 angeordnet dargestellt.

Der Bandlauf kann durch Führungen, die seitlich vom Werkstück angebracht sind, beeinflußt und stabilisiert werden. Als Füh­ rungen können beispielsweise zusätzliche Führungsrollen ange­ bracht werden (nicht dargestellt), mit deren Hilfe das Säge­ band senkrecht zur Laufrichtung bewegt oder aus der momentanen Laufebene gekippt werden kann. Die dargestellte Bandsäge ist mit Führungen 6 und 7 ausgestattet, zwischen denen das Säge­ band läuft. Zur Beeinflussung des Bandlaufs kann das Sägeband mit einem Fluidstrom, beispielsweise mit Wasser und/oder Luft, nach dem hydrostatischen oder hydrodynamischen, aerostatischen oder aerodynamischen Prinzip beaufschlagt werden. Hierzu sind in den Backen der Führungen Zufuhrkanäle mit in Sägeband-Rich­ tung weisenden Austrittsöffnungen vorgesehen und die Führungs­ flächen der Backen entsprechend ausgebildet (nicht darge­ stellt). Bei einer Abweichung vom vorgesehen Schnittverlauf, der von Sensoren registriert wird, wird die Bandlage durch un­ symmetrisches Beaufschlagen des Sägebandes mit dem Fluidstrom verändert und der Bandlauf in gewünschter Weise korrigiert. Eine Steuerung der Bandlage durch Beaufschlagen des Sägebandes mit einem Fluidstrom kann sowohl in den Führungen als auch im Trennspalt erfolgen.

Die Bandsäge umfaßt weiterhin ein Vorschubsystem 8, auf das ein zylinderförmiges Werkstück 9 mit im wesentlichen senkrech­ ter Achse montiert ist. Das Werkstück wird mit einer linearen Bewegung gegen die Schneidkante des Sägebandes geführt. Die Form des Werkstückes und die Zahl der Werkstücke, die auf dem Vorschubsystem montiert sind, können von den gemachten Angaben abweichen. Ebenso kann das Vorschubsystem auch so ausgebildet sein, daß das Werkstück mit einer Schwenkbewegung gegen die Schneidkante des Sägebandes geführt wird oder daß der Vor­ schubbewegung eine Drehbewegung überlagert wird oder daß das Werkstück in Ruhe bleibt und das Sägeband gegen das Werkstück bewegt wird. Auf jeden Fall bewirkt das Vorschubsystem eine Relativbewegung zwischen Werkstück und Schneidkante.

Die in Fig. 1 dargestellte Bandsäge kann auch in einer hori­ zontalen Bauform bereitgestellt werden. Diese Bauform ergibt sich beispielsweise, wenn Fig. 1 als Draufsicht auf die Band­ säge interpretiert wird, und das Vorschubsystem 8 als unter­ halb der Umlenkrollen 3 angeordnet angesehen wird. Bei Verwen­ dung dieser Bauform mit vertikal ausgerichteten Umlenkrollen ist insbesondere vorteilhaft, daß eine geringe Bauhöhe der Bandsäge verwirklicht werden kann und der beim Abtrennen von Scheiben produzierte Sägeschlamm vom Sägeband aus dem Trenn­ spalt vollständiger abgeführt wird, weil er durch sein Eigen­ gewicht im unteren Bereich des Sägespaltes bleibt. Auch eine zur Vertikalen geneigte Anordnung (z. B. um 30°) der Um­ lenkrollenachsen und des Vorschubs ist für diesen Zweck geeig­ net und kann für die günstige Bauhöhe und Zugänglichkeit vor­ teilhaft sein.

Es ist bevorzugt, über dem Werkstück einen bewegbaren Schei­ benhalter 10 vorzusehen, der die abzutrennende Scheibe an der dem Sägeband gegenüberliegenden Seite abstützt. Der Scheiben­ halter 10 wird auf das Werkstück 9 aufgesetzt und bevorzugt durch Vakuumwirkung mit ihm verbunden. Er bewegt sich während des Trennvorganges mit dem Werkstück mit und kann anschließend zum Entnehmen und zur Ablage der Scheibe vom Werkstück wegbe­ wegt werden. In Fig. 2 ist das Werkstück in zwei verschiede­ nen Positionen dargestellt, nämlich vor und nach dem Abtrennen einer Scheibe.

In Vorschubrichtung hinter dem Sägeband ist erfindungsgemäß eine Stützscheibe 11 angeordnet, die den Bandrücken 12 ab­ stützt, wobei eine Durchbiegung des Sägebandes während des Trennvorganges vermieden wird (Fig. 2). Die Stützscheibe ist vorzugsweise an den Seitenarmen 14 einer Halteeinrichtung 13 befestigt. Die Halteeinrichtung ist mit dem Maschinengestell 4 justierbar und gegebenenfalls gezielt bewegbar verbunden. Die Stützscheibe wird in der Halteeinrichtung bevorzugt unter Vor­ spannung gehalten, damit ihre Ebenheit während des Trennvor­ gangs gewährleistet ist. Die Vorspannung wird vorteilhaft bei der Montage der Stützscheibe eingestellt, indem die beiden Seitenarme 14 der Halteeinrichtung 13 vor dem Befestigen der Stützscheibe gespannt werden. Die Führungen 6 und 7 sind vor­ zugsweise ebenfalls an der Halteeinrichtung befestigt.

Da das Sägeband 2 während des Trennvorganges an der Stütz­ scheibe 11 entlanggleitet, sollte ein Schmierfilm zwischen dem Stützkörper und dem Bandrücken vorhanden sein. Das Schmiermit­ tel, beispielsweise Graphitpaste, kann auf den Bandrücken vor Eintritt des Sägebandes in das Werkstück aufgetragen werden. Die Stützscheibe besteht ganz oder teilweise aus einem Materi­ al, das vorzugsweise aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Stahl, andere Metalle einschließlich Grauguß, Graphit, Kunst­ stoff und Verbundmaterial umfaßt. Die Stützscheibe kann in Komponenten mit unterschiedlichen Materialeigenschaften unter­ teilt sein, um sie an die Beanspruchungen anpassen zu können. Bevorzugt ist, daß zumindest der Grundkörper der Stützscheibe aus Metallblech, insbesondere hochfestem Stahlblech, gefertigt ist. Besonders bevorzugt ist, die an der Stützscheibe anlie­ gende Fläche des Bandrückens konvex und die am Bandrücken an­ liegende Fläche der Stützscheibe konkav auszubilden. Der Ban­ drücken läuft dadurch in einer Führung. Die Führung des Säge­ bandes an der Stützscheibe kann zusätzlich oder alternativ da­ zu auch durch das Anbringen von Anschrägungen der am Bandrüc­ ken anliegenden Fläche der Stützscheibe verbessert werden. Be­ sonders bevorzugt sind über die Führungslänge abwechselnde An­ schrägungen, durch die der der Bandrücken abwechselnd von oben und unten geführt wird (nicht dargestellt).

Die Stützscheibe kann darüber hinaus von Ausnehmungen 15 un­ terbrochen sein, um die Versorgung der aufeinander gleitenden Flächen von Stützscheibe und Bandrücken mit Schmiermittel zu verbessern. Auch Durchbrüche in der Stützscheibe können von Vorteil für die Führung des Sägebandes sein. Die Länge, auf der die Stützscheibe und der Bandrücken aufeinandergleiten, ist frei wählbar und hängt im wesentlichen von der Breite der Stützscheibe ab. Wirksam ist vor allem eine Abstützung des Sä­ gebandes im mittleren Bereich zwischen den Führungen 6 und 7. Bevorzugt ist, daß diese Länge das in das Werkstück eindrin­ gende Teilstück des Bandrückens umfaßt. Die Breite der Stütz­ scheibe (in Vorschubrichtung) ist erfindungsgemäß nicht be­ grenzt, so daß eine sehr hohe Steifigkeit erzielt werden kann. Die Stützscheibe kann aber auch aus einem schmalen, hochfesten Band bestehen.

Besonders geringe Reibung tritt auf, wenn sich das Sägeband auf einer Eisfläche abstützt. Hierzu kann der Scheibenhalter mit einer Kühleinrichtung versehen werden, so daß dem Trenn­ spalt zugeführtes Wasser gefriert und eine Eisschicht an der Stützscheibe entsteht. Das Verwachsen der Stützscheibe im Trennspalt kann durch Oszillationsbewegungen und durch eine sehr glatte Oberfläche der Stützscheibe verhindert werden.

Der Scheibenhalter 10 kann auch eingesetzt werden, um die Stützscheibe vor und bei ihrem Eindringen in den Trennspalt zu führen. Zu diesem Zweck ist der Scheibenhalter vergrößert aus­ gebildet, so daß er die Scheibe und einen Teil des Sägebandes und der Stützscheibe abdeckt. Der die Stützscheibe führende Teil des Scheibenhalters ist in diesem Fall um die Scheiben­ dicke nach unten verlängert und bildet eine zur Stützscheibe weisende Führungsfläche (Fig. 3). Die Stützscheibe kann zusätz­ lich von der dem Sägeband gegenüberliegenden Seite her geführt werden. Dafür ist eine unter die Stützscheibe verfahrbare Füh­ rung 20 vorgesehen. Diese Art der Führung der Stützscheibe ist insbesondere in der Anschnittphase von Vorteil.

Fig. 3 zeigt in Querschnittsansicht das Sägeband 2, das sich bereits in einem Trennspalt 16 befindet und eine Scheibe 17 vom Werkstück 9 abtrennt. Der Rücken 12 des Sägebandes wird dabei durch die Stützscheibe 11 abgestützt. Auf der dem Ban­ drücken 12 gegenüberliegenden Seite des Sägebandes 2 befindet sich eine mit Schneidbelag versehene Schneidkante 18. Der mit Saugöffnungen 19 versehene Scheibenhalter 10 und der Trenn­ spalt 16 bilden Führungsflächen zum Führen der Stützscheibe 11 und des Sägebandes 2 aus. Die Formgebung des Bandquerschnitts unterliegt keinen Einschränkungen. Eine Verbreiterung des Sä­ gebandes im Bereich des Bandrückens, wirkt sich allerdings vorteilhaft auf die Führung des Sägebandes aus. Zur Führung und Steuerung des Bandlaufes können, wie bereits erwähnt, auch die beidseitig vom Werkstück angeordneten Führungen herangezo­ gen werden. Eine präzise Steuerung und Korrektur des Bandlaufs im Trennspalt wird jedoch bevorzugt durch eine Bewegung des Werkstücks oder durch Beaufschlagen der Stützscheibe und/oder des Sägebandes mit einem Fluidstrom im Trennspalt bewirkt. So­ bald eine Abweichung von einem gewünschten Schnittverlauf festgestellt wird, wird diese durch eine kompensierende Bewe­ gung des Werkstücks oder durch Beaufschlagen der Ober- oder Unterseite der Stützscheibe und/oder des Sägebandes mit dem Fluidstrom korrigiert. Der Bandrücken wird dabei durch die Stützscheibe gehalten, so daß die Schneidkante relativ zum Bandrücken bewegt wird.

Ein besonderer Vorteil, der mit der Anwendung der Stützscheibe verbunden ist, ergibt sich daraus, daß mit Hilfe der Stütz­ scheibe dem Sägeband eine oszillierende Bewegung in Vor­ schubrichtung aufgeprägt werden kann, wodurch sich auch die Trennleistung weiter verbessert. Hierzu wird die Halteeinrich­ tung mit der Stützscheibe so gelagert, daß sie in Vor­ schubrichtung beweglich ist und es wird ein Oszillationsan­ trieb an der Halteeinrichtung angebracht.

Die Halteeinrichtung 13 und die seitlichen Gleitführungen 6 und 7 können am Maschinengestell 4 angebracht sein, wie es in Bild 1 und 2 gezeigt ist. Die Halteeinrichtung 13 kann so ge­ staltet werden, daß eine abgetrennte Scheibe an der Stütz­ scheibe entlang abgenommen werden kann. Dies ist in Bild 2 dargestellt. Auch eine Scheiben-Entnahme mit Überquerung des Sägebandes ist möglich.

Zur Herstellung eines den Schneidbelag tragenden Bandes wird beispielsweise eine Bandschlaufe durch Kaltwalzen in die vor­ gesehene Form gebracht, oder es wird ein Band auf den vorgese­ henen Umfang zu einer Bandschlaufe ausgewalzt und anschließend auf die gewünschte Dicke und Form nachbearbeitet (in der Regel durch Schleifen). Eine geeignete Bandschlaufe kann auch durch Zusammenschweißen eines endlichen Bandes und gegebenenfalls anschließende Bearbeitung, beispielsweise durch Schleifen, hergestellt werden. Durch das erfindungsgemäße Abstützen sind die Anforderungen an die Steifigkeit des Sägebandes wesentlich vermindert.

Die Stützscheibe stützt den Bandrücken des Sägebandes ab, wo­ durch eine nachteilige Durchbiegung des Sägebandes während des Trennvorganges vermieden wird. Im Verlauf des Trennvorganges dringt der an den Bandrücken angrenzende Teil der Stützscheibe in den Trennspalt ein.

Das Abtrennen einer Scheibe von einem Werkstück wird vorzugs­ weise mit dem Überschleifen der Stirnseite des Werkstücks mit einer gegebenenfalls mit der Bandsäge kombinierten Schleifein­ heit (nicht dargestellt) begonnen. Dann wird das Werkstück mit Hilfe der Vorschubeinrichtung vor die Schneidkante des Säge­ bandes bewegt. In dieser Phase wird der Scheibenhalter mit dem Werkstück verbunden. Es ist bevorzugt, die anschließende ge­ meinsame Bewegung von Werkstück und Scheibenhalter zu koppeln. Während des anschließenden Trennvorganges erzeugt der Schneid­ belag des Sägebandes den Trennspalt. Der Trennspalt nimmt die Stützscheibe auf. In der Phase, in der die Stützscheibe noch nicht im Trennspalt geführt ist, wirkt der vergrößert ausge­ bildete Scheibenhalter auf der Oberseite des Sägebandes als Führung, während auf der Unterseite des Sägebandes vorüberge­ hend eine Führung an die Stützscheibe angelegt werden kann. Nach dem Schnitt wird die abgetrennte Scheibe von der Stütz­ scheibe abgestreift. Hierbei kann die Bewegung der Scheibe vorteilhaft durch den Scheibenhalter erfolgen. Das Werkstück wird in die Ausgangslage zurückbewegt und für den nächsten Ab­ trennvorgang nach oben getaktet.

Die Abstützung des Bandrückens im Trennspalt ermöglicht es, auch sehr schmale Bänder bis hin zu Drähten mit einseitiger Beschichtung einzusetzen. Die Querschnittsdicke des Sägebandes kann in weiten Bereichen gewählt werden. Für die Herstellung von Halbleiterscheiben sind Querschnittsdicken von 20 µm bis 400 µm, insbesondere von 50 µm bis 100 µm bevorzugt.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens ist vorgesehen, eine Schwenkbewegung des Werkstücks oder der Um­ lenkrollen der Vorschubbewegung beim Abtrennvorgang zu überla­ gern. Diese Schwenkbewegung erfolgt um eine Achse, die im we­ sentlichen senkrecht zur Schneidebene steht und hat zum Ziel, die Eingriffslänge zwischen Sägeband und Werkstück zu verkür­ zen. Die Schwenkbewegung kann, wie es aus der Beschreibung der FR-1.569.176 hervorgeht, gegebenenfalls auch oszillierend aus­ geführt werden. Unter der Eingriffslänge ist die Länge der mit Schneidbelag versehenen Schneidkante zu verstehen, die zum je­ weiligen Zeitpunkt mit dem Werkstück in Kontakt steht. Die Eingriffslänge steigt ohne Schwenkbewegung während des Abtren­ nens einer Scheibe bis zu einer Länge an, die dem Durchmesser des Werkstücks entspricht, und verringert sich entsprechend wieder, bis die Scheibe abgetrennt ist. Bevorzugt ist, die je­ weils maximal mögliche Eingriffslänge durch die überlagerte Schwenkbewegung zu unterschreiten, besonders bevorzugt um min­ destens 30%. Wird die Eingriffslänge auf diese Weise gering gehalten, ist die Kontaktzeit der im Eingriff stehenden Dia­ mantkörner des Schneidbelags mit dem Werkstück verkürzt und der Abtransport des entstehenden Sägeschlammes erleichtert. Die Geschwindigkeit der Vorschubbewegung kann dem Abtragvor­ gang angepaßt und bei den verbesserten Abtrags- und Abtrans­ portbedingungen entsprechend gesteigert werden. Bevorzugt ist, daß die Vorschubgeschwindigkeit nicht konstant ist, sondern den Bedingungen beim Abtrag und beim Abtransport des entste­ henden Sägeschlammes angepaßt wird.

Claims (18)

1. Bandsäge zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück, umfassend ein über ein Rollensystem umlaufendes Sägeband, das einen Bandrücken und eine dem Bandrücken gegenüberliegende, mit Schneidbelag versehene Schneidkante aufweist, sowie ein Vorschubsystem, das eine Relativbewegung zwischen Werkstück und Schneidkante bewirkt, wobei das Sägeband unter Ausbildung eines Trennspaltes in das Werkstück eindringt, gekennzeichnet durch eine Stützscheibe, die den Bandrücken abstützt und von einer Halteeinrichtung gehalten wird.

2. Bandsäge nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Stützscheibe ganz oder teilweise aus einem Material besteht, das aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Stahl, andere Metalle einschließlich Grauguß, Graphit, Kunststoff und Verbundmateri­ al umfaßt.

3. Bandsäge nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Stützscheibe in der Halteeinrichtung vorge­ spannt ist.

4. Bandsäge nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Stützscheibe mit Ausnehmungen zur Erleichte­ rung der Schmierung des Sägebandes versehen ist.

5. Bandsäge nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Halteeinrichtung mit Führungen verbunden ist, die das Sägeband seitlich des Werkstückes führen.

6. Bandsäge nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Sägeband eine Querschnittsdicke im Bereich von 20 µm bis 400 µm hat.

7. Bandsäge nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Querschnittsdicke des Sägebandes im Bereich des Bandrückens zunimmt und in diesem Bereich annähernd die Weite des Trenn­ spaltes erreicht.

8. Bandsäge nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Stützscheibe an der dem Bandrücken zugewand­ ten Seite konkav geformt und/oder mit Anschrägungen versehen wird.

9. Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück mit einer Bandsäge, wobei ein umlaufendes Sägeband, das einen Bandrücken und eine dem Bandrücken gegenüberliegende, mit Schneidbelag versehene Schneidkante aufweist, unter Ausbildung eines Trennspaltes in ein Werkstück eindringt, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Sägeband am Bandrücken von einer Stützschei­ be abgestützt wird, und ein an den Bandrücken angrenzender Teil der Stützscheibe mit in den Trennspalt eindringt.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Stützscheibe von einem Scheibenhalter geführt wird.

11. Verfahren nach 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Schei­ benhalter zum Abstützen der abzutrennenden Scheibe eingesetzt wird.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch ge­ kennzeichnet, daß eine Abweichung von einem ebenen Schnittver­ lauf durch eine Relativbewegung zwischen der Stützscheibe und dem Werkstück korrigiert wird.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Schnittverlauf durch Beaufschlagen der Stützscheibe und/oder des Sägebandes mit einem Fluidstrom im Trennspalt beeinflußt wird.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Sägeband vor dem Eintritt in das Werk­ stückes im Bereich des Bandrückens mit einem Schmiermittel versehen wird.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Stützscheibe während des Trennvorganges oszillierende Bewegungen ausführt.

16. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 15, dadurch ge­ kennzeichnet, daß eine Eingriffslänge zwischen der mit Schneidbelag versehenen Schneidkante und dem Werkstück vorge­ sehen ist, die eine jeweils maximal mögliche Eingriffslänge unterschreitet.

17. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 16, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Vorschubgeschwindigkeit nicht konstant ist, sondern den Bedingungen beim Abtrag und beim Abtransport des entstehenden Sägeschlammes angepaßt wird.

18. Bandsäge nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Rollensystem Umlenkrollen mit vertikal oder zur Vertikalen geneigt ausgerichteten Achsen umfaßt.