JPH10290827A - オゾン殺菌装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 酸素供給制御電磁弁が故障しても殺菌ブース
内の圧力が異常上昇しないようにすること。 【解決手段】 検出オゾン濃度が上限値以上となったか
否かをステップ４１で判別し、上限値以上と判別された
場合においてオゾン流量センサ６Ｂの検出値が零でない
とステップ４６で判別された場合、第１の電磁弁５Ｃを
故障と判別し、ステップ４８で第２の電磁弁５Ｄを閉じ
て酸素の供給を停止する。この結果、第１の電磁弁５Ｃ
がオープン故障しても殺菌ブース内の圧力が異常上昇す
るのを防止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、酸素ボンベ等から
供給される酸素を用いて又は空気を用いて発生させたオ
ゾンガスを所要の濃度にして殺菌ブースへ送り込むよう
に構成されたオゾン殺菌装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のオゾン殺菌装置は、殺菌時、殺菌
装置本体が殺菌ブースより空気を吸い込み、殺菌装置本
体内部に設けられたオゾン発生器にて発生したオゾンを
混合して殺菌ブースへ排気するという動作を繰り返して
殺菌ブース内のオゾン濃度を上げる。このオゾン濃度は
検出手段により常時監視されており、オゾン濃度が予め
定められた所定値まで上昇するとオゾン発生器の運転が
停止される。これと並行して、殺菌効果を高めるため、
加湿器により水蒸気を発生させ殺菌ブース内の相対湿度
を約８０％以上に保つようにしている。このようにして
殺菌ブース内で殺菌を行った後、殺菌ブースより高濃度
のオゾン含有空気を吸い込み、そこに含まれるオゾンを
オゾン分解触媒にて分解して殺菌ブースへ排気するとい
う動作を繰り返し、殺菌ブース内のオゾン濃度を人体に
影響無い範囲まで下げるようにしている。

【０００３】このように、従来のオゾン殺菌装置にあっ
ては、殺菌運転中オゾン発生器において発生させたオゾ
ンを混合させるため、殺菌ブースから吸い込む空気の体
積よりも殺菌ブースへ戻す空気の体積の方が大きくな
り、殺菌ブース内の空気の体積が増加することになる
が、殺菌ブースはビニール等柔軟性に富む材料でできて
いるため、通常運転開始時には「たるみ」があり、この
「たるみ」が伸びることにより内容積が増加し、通常の
運転ではオゾンの供給が行われても殺菌ブース内の圧力
は上昇しないようになっている。

【０００４】一方、殺菌ブースは取り扱いを容易にする
ため気密ジッパにより開閉する構造となっており、この
気密ジッパは内圧が上昇しても十分その気密性を保持で
きる仕様となっている。しかし、殺菌ブースへ送り込む
空気の体積の方が殺菌ブースから吸い込む空気の体積よ
り大きくなる場合には殺菌ブース内に大気圧以上の圧力
がかかってしまい、オゾン洩れの危険性が存在するの
で、より高い安全性を確保するためには殺菌ブース内の
圧力を外部と同じ大気圧に保つことが好ましい。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、外部よりオ
ゾン発生器に供給する酸素の供給量を制御するため、酸
素用電磁弁が設けられており、外部の酸素供給源からの
酸素は酸素用電磁弁を介してオゾン発生器に供給される
構成となっている。オゾン殺菌運転が正常に行われてい
る場合には、殺菌ブース内のオゾン濃度が常時監視され
ており、オゾン濃度が予め定められた値にまで上昇した
ならばオゾン発生器の運転が停止され、これと同時に酸
素用電磁弁が閉じられる構成となっている。

【０００６】したがって、若し酸素用電磁弁がオープン
状態で故障してしまうと、オゾン濃度が所定値に達した
後も殺菌ブース内に酸素が供給されつづけることにな
り、殺菌ブース内の圧力が上昇しつづけ、最悪の場合、
殺菌ブースが破裂するという不具合が生じる虞がある。

【０００７】本発明の目的は、従来技術における上述の
問題点を解決することができる、部品故障時においても
殺菌ブース内の圧力の異常上昇を防止することができる
ようにしたオゾン殺菌装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の請求項１の発明の特徴は、オゾン発生器に酸素供給源
から第１の電磁弁を介して酸素を供給するように構成す
ると共に前記オゾン発生器の下流側に設けられたオゾン
流量計まで酸素が流れてきたことを検出してから前記オ
ゾン発生器の運転を開始し、発生したオゾンが殺菌ブー
スに送られるように構成されているオゾン殺菌装置にお
いて、前記第１の電磁弁の下流側に前記オゾン発生器へ
の酸素供給を制御するための第２の電磁弁を設け、前記
オゾン流量計の検出値が所定値を越えたことに応答して
前記第２の電磁弁を閉じるようにした点にある。オゾン
発生器へ供給される気体は、酸素のみに限定されず、空
気であってもよいことは勿論である。

【０００９】この構成によると、第１の電磁弁が開放故
障した場合、オゾン濃度が所定値に達した後も酸素供給
源から酸素又は空気の供給が継続して行われるから殺菌
ブース内の圧力が上昇する前にオゾン流量計を利用して
このことが検知され、酸素供給経路に設けられた第２の
電磁弁が閉じられる。この結果、殺菌ブースの破裂を防
止することができる。

【００１０】第２の電磁弁を閉じてもオゾン流量センサ
の酸素検出値が零にならない場合には適宜の警報を出力
し、操作者にその旨の通報が行われるように構成するこ
とが望ましい。

【００１１】また、何等かの手段により第１の電磁弁の
開放故障を検出した場合、第２の電磁弁を閉じて酸素等
の供給を停止するのに加えて、同時にブザーを鳴動させ
る等して警報を出す構成も可能である。すなわち、第２
の電磁弁が故障しているか否かに拘らず第１の電磁弁の
故障が検出された時点で警報を出力し、より的確に装置
の故障に対処できるようにしてもよい。

【００１２】なお、酸素供給用の第１の電磁弁が開放故
障した時に酸素供給を停止するための第２の電磁弁を酸
素供給源から見て第１の電磁弁の下流に設ける理由は以
下の通りである。すなわち、もしも酸素供給口から異物
が入り込んだ場合には下流側より上流側の酸素供給制御
用電磁弁が故障する確率の方が高いため、このような構
成にすれば第１の電磁弁が故障しても第２の電磁弁が正
常に作動して酸素供給経路を遮断できる可能性が高いか
らである。

【００１３】請求項２の発明の特徴は、オゾン発生器に
酸素供給源から第１の電磁弁を介して酸素を供給するよ
うに構成すると共に前記オゾン発生器の下流側に設けら
れたオゾン流量計まで酸素が流れてきたことを検出して
から前記オゾン発生器の運転を開始し、発生したオゾン
が殺菌ブースに送られるように構成されているオゾン殺
菌装置において、前記第１の電磁弁の開閉制御による前
記オゾン流量計の検出結果の応答値に基づいて前記第１
の電磁弁の故障の有無を判別するようにした点にある。

【００１４】オゾン殺菌装置の運転開始前に、酸素供給
用の電磁弁路が故障していないことを確認する構成とす
ることもできる。しかし、装置の運転を開始した直後に
オゾン流量センサの検出値が第１の電磁弁のオン、オフ
動作に対応して所要の変化をしているか否かをチェック
し、これにより第１の電磁弁の故障判定を行う。第１の
電磁弁を故障と判定した場合、オゾン発生器は運転せ
ず、警報を発生し操作者に本体装置への酸素供給用の電
磁弁を閉じるように促してもよい。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態の一例につき詳細に説明する。図１は、請求項
１の発明によるオゾン殺菌装置の実施の形態の一例の概
略構成を示す斜視図であり、オゾン殺菌装置１は装置本
体２と殺菌ブース３とを備えて成り、装置本体２と殺菌
ブース３とは一対のダクト４Ａ、４Ｂによって接続され
ている。殺菌ブース３において３Ｂはビニール製のカバ
ーであり、カバー３Ｂが支柱組立体３Ａによって支持さ
れることにより、殺菌ブース３が構成されている。５は
酸素ボンベであり、外部酸素ホース５Ａを介して酸素ボ
ンベ５からの酸素が装置本体２に供給されている。

【００１６】図２には、殺菌ブース３と共に装置本体２
の詳細構成が示されている。装置本体２内にはオゾン発
生器６と、殺菌時には殺菌ブース３内の空気にオゾン発
生器６からのオゾンを混入して所定のオゾン濃度の殺菌
用環境を殺菌ブース３内に生じさせると共に殺菌終了後
は殺菌ブース３内の空気のオゾン濃度を所定の低レベル
状態に戻すようオゾン分解処理を行うための処理チャン
バ７とを備えている。オゾン発生器６及び処理チャンバ
７は、超音波加湿装置８、湿度検出器９、電源１０及び
オゾン殺菌装置１の動作を制御するための制御装置１１
と共に装置外板２Ａにより形成された保護空間２Ｂ内に
収納されている。装置外板２Ａにはモータ１２によって
駆動される冷却ファン１３が取り付けられており、装置
外板２Ａ内に設けられている各種の装置類から出る熱を
外部へ放出する構成となっている。制御装置１１はマイ
クロコンピュータから成り、そこにセットされる制御プ
ログラムにしたがってオゾン殺菌装置１の運転制御が行
われる。

【００１７】処理チャンバ７は、吸込み用のダクト４Ａ
と吹出し用のダクト４Ｂとによって殺菌ブース３と連通
しており、ダクト４Ａを介して殺菌ブース３内の空気を
処理チャンバ７内に吸い込み、処理チャンバ７内で処理
された空気をダクト４Ｂを介して殺菌ブース３内に吹き
出すことができる構成となっている。

【００１８】処理チャンバ７の内部には、吸込み通路７
Ａ、オゾン分解室７Ｂ、吹出し通路７Ｃ、吸込み通路７
Ａからの吸い込み空気を吹出し通路７Ｃに送るための連
通路７Ｄが形成されている。オゾン分解室７Ｂ内にはオ
ゾン分解触媒７Ｅが配置され、吹出し通路７Ｃ内にはモ
ータ７Ｆにより駆動される送風ファン７Ｇが配置されて
いる。吸込み通路７Ａと連通路７Ｄとの間には第１ダン
パ７Ｈが設けられており、オゾン分解室７Ｂにはダクト
４Ａに対向する位置に第２ダンパ７Ｉが設けられてい
る。

【００１９】超音波加湿装置８は、加湿水タンク８Ａと
加湿器電源８Ｂと超音波加湿器８Ｃとから成る公知の構
成のものであり、超音波加湿器８Ｃにおいて霧状にされ
た水の微粒子が加湿ホース８Ｄを介して吹出し通路７Ｃ
内に送り込まれる構成となっている。一方、オゾン発生
器６には高圧電源６Ａから高圧電圧が供給されており、
内部酸素ホース５Ｂを介して外部酸素ホース５Ａから供
給される酸素を用いてオゾンを発生させ、ここで発生し
たオゾンはオゾン流量センサ６Ｂを有するオゾンホース
６Ｃを介して吹出し通路７Ｃの出口付近に送り込まれ
る。オゾン発生器６への酸素供給経路を構成する内部酸
素ホース５Ｂの途中には、第１の電磁弁５Ｃと、その下
流側に設けられた第２の電磁弁５Ｄとが設けられてお
り、第１の電磁弁５Ｃと第２の電磁弁５Ｄが共に開状態
となった場合に酸素ボンベ５から酸素がオゾン発生器６
に供給され、この供給酸素に基づいてオゾンが発生せし
められる構成である。符号５Ｒで示されているのは酸素
レギレータである。なお、オゾン発生器６においてオゾ
ンを発生させるためには、酸素ボンベ５からの酸素が必
ず必要であるという訳ではなく、酸素ボンベ５からの酸
素に代えてオゾン発生器６に空気を送り、これによりオ
ゾンを発生させるようにすることも公知であり、この構
成を採用してもよいことは勿論である。

【００２０】第１ダンパ７Ｈ及び第２ダンパ７Ｉは制御
装置１１によって開閉制御される。殺菌ブース３内で殺
菌を行う場合には第１ダンパ７Ｈが開かれ第２ダンパ７
Ｉが閉じられる。この状態で送風ファン７Ｇがモータ７
Ｆにより回転せしめられ、殺菌ブース３内の空気が吸込
み通路７Ａから連通路７Ｄを通って吹出し通路７Ｃに送
り込まれ、ここで、超音波加湿装置８からの加湿空気及
びオゾン発生器６からのオゾンが混入されて殺菌ブース
３に戻る。この結果、殺菌ブース３内のオゾン濃度を殺
菌に必要な所要の高濃度（例えば２００ｐｐｍ程度））
とすることができる。

【００２１】一方、殺菌ブース３において殺菌処理が終
了したならば、第１ダンパ７Ｈを閉じ、第２ダンパ７Ｉ
を開いて終了運転が行われる。この状態では、殺菌ブー
ス３からの空気はオゾン分解室７Ｂに導かれ、ここでオ
ゾン分解触媒７Ｅによりその空気中に含まれるオゾンが
分解され、オゾン濃度の低下した空気は送風ファン７Ｇ
によって吹出し通路７Ｃに導かれ殺菌ブース３に戻るこ
とになる。このようにして殺菌ブース３内の空気を処理
チャンバ７に循環させることによりそのオゾン濃度を人
体に影響のない環境基準値にまで低下させる。

【００２２】オゾン殺菌装置１の殺菌ブース３内におけ
る空気のオゾン濃度をチェックすることができるように
するため、本実施の形態においては、吸込み通路７Ａ内
の入口付近に第１オゾンセンサ１４が設けられている。
しかし、第１オゾンセンサ１４の配設位置はこの実施の
形態の構成に限定されるものではなく、その他の適宜の
位置に設けてもよい。第１オゾンセンサ１４は殺菌ブー
ス３からダクト４Ａを介して処理チャンバ７内に送られ
てくる空気のオゾン濃度を検出することができ、上述の
如くしてオゾン分解運転を行った結果殺菌ブース３内の
オゾン濃度が人体に影響ない範囲である環境基準値（例
えば０．１ｐｐｍ未満）になったか否かを第１オゾンセ
ンサ１４を用いてチェックすることができる。なお、符
号９Ａで示されるのは、吸込み通路７Ａ内の空気の湿度
を検出するための湿度センサであり、湿度センサ９Ａは
湿度検出器９に接続されている。符号１５で示されるの
は、装置本体２の装置外板２Ａ内でのオゾン洩れを検出
するための第２オゾンセンサである。

【００２３】このように、オゾン殺菌装置１が殺菌運転
中にあっては上述の如くしてオゾン発生器６から供給さ
れるオゾンの混合が行われるため、殺菌ブース３から吸
い込む空気の体積より装置本体２から殺菌ブース３へ戻
す空気の体積の方が大きい。この結果、殺菌ブース３内
の空気の体積が増加するが、殺菌ブース３はビニール製
であり柔軟な材質であるから、通常運転開始時には「た
るみ」があり、この「たるみ」が伸びることにより内容
積が増加し、殺菌ブース３内の圧力は上昇しないように
なっている。しかし、第１の電磁弁５Ｃのオープン故障
が生じると殺菌ブース３内のオゾン濃度が所定値に達し
た後も酸素がつづけて供給されることになる。このよう
な場合においては殺菌ブース３の初期のたるみのみでは
殺菌ブース３内の体積の増加を吸収できず殺菌ブース３
内の圧力が大気圧以上に上昇し、オゾン洩れ及び殺菌ブ
ース３の破裂の問題を生じる可能性がある。

【００２４】第１の電磁弁５Ｃが開放となるような故障
が生じた場合、酸素ボンベ５から酸素がオゾン発生器６
に供給されつづけ、これにより殺菌ブース３内の圧力が
異常上昇し、最悪の場合殺菌ブース３が破裂するという
不具合が発生するのを防止することができるようにする
ため、制御装置１１はオゾン発生器６の出力側に設けら
れたオゾン流量計を利用して第１の電磁弁５Ｃの開放故
障を検知し、第１の電磁弁５Ｃの開放故障が検知された
場合には、第１の電磁弁５Ｃの下流側に付加的に設けら
れた第２の電磁弁５Ｄを閉じることによりオゾン発生器
６への酸素の供給を断つことができるように構成されて
いる。

【００２５】以下、図３に示すフローチャートを参照し
ながら請求項１の発明に従う構成の実施の形態の一例に
ついて説明する。先ず、ステップ４１において、第１オ
ゾンセンサ１４の出力に基づき、そこでの検出オゾン濃
度が所定の上限濃度以上か否かが判別される。ステップ
４１において検出オゾン濃度が所定の上限濃度以上でな
いとステップ４１の判別結果はＮＯとなり、ステップ４
２に入る。ステップ４２では、第１オゾンセンサ１４の
出力に基づき、そこでの検出オゾン濃度が所定下限濃度
以下か否かが判別される。ステップ４２において検出オ
ゾン濃度が所定の下限濃度以下でない場合にはステップ
４２の判別結果はＮＯとなり、オゾン濃度制御が終了
し、他の制御へ進む。すなわち、第１オゾンセンサ１４
による検出オゾン濃度が所定の上限濃度と下限濃度との
間にある場合には、そのまま他の制御に進む。

【００２６】第１オゾンセンサ１４による検出オゾン濃
度が所定の上限濃度以上であるとステップ４１での判別
結果はＹＥＳとなり、ステップ４３に入る。ステップ４
３ではオゾン発生器６をオフとし、ステップ４４で第１
の電磁弁５Ｃを閉じる。このときステップ４５で規定時
間だけ待つ。この規定時間は、第１の電磁弁５Ｃを閉じ
ることによってオゾン発生器６への酸素の供給が断た
れ、これによりオゾン流量センサ６Ｂでの検出値が零を
示すことになるのに必要時間よりは長い適宜の時間に設
定される。このとき第２の電磁弁５Ｄは開いたままであ
る。ステップ４６でオゾン流量センサ６Ｂの検出値が零
であるか否かが判別される。ここで、オゾン流量センサ
６Ｂの検出値が零である場合にはステップ４６の判別結
果はＹＥＳとなり、オゾン濃度制御を終了し、他の制御
に入る。すなわち、第１の電磁弁５Ｃを閉じることによ
りオゾン流量センサ６Ｂの検出値が零となった場合には
第１の電磁弁５Ｃが正常に作動していると判断されるの
で、そのまま他の制御に入る。

【００２７】一方、ステップ４６での判別結果がＮＯの
場合、すなわち、第１の電磁弁５Ｃを閉じてもオゾン流
量センサ６Ｂの検出値が零とならない場合には、ステッ
プ４６の判別結果はＮＯとなり、ステップ４７で第１の
電磁弁５Ｃが不良であることを示す不良フラグをセット
し、ステップ４８で第２の電磁弁５Ｄを閉じる制御が実
行される。そして、ステップ４９に入り、ここで規定時
間だけ待つ。この規定時間は第２の電磁弁５Ｄを閉じる
ことによりオゾン流量センサ６Ｂの検出値に影響が出て
くるのに必要な時間より長い適宜の時間に設定される。

【００２８】次いで、ステップ５０でオゾン流量センサ
６Ｂの検出値が零か否かが判別される。ここで、オゾン
流量センサ６Ｂの検出値が零である場合にはステップ５
０の判別結果はＹＥＳとなり、オゾン濃度制御を終了
し、他の制御に進む。一方、ステップ５０の判別結果が
ＮＯとなると、ステップ５１で警報ブザー（図示せず）
をオンとして操作者に第１の電磁弁５Ｃと第２の電磁弁
５Ｄが共に不良であることを知らせ、他の制御に入るこ
とになる。

【００２９】このように、検出オゾン濃度が上限値以上
の場合には、第１の電磁弁を閉じたあと、所定の規定時
間待ってオゾン流量センサ６Ｂの検出値が零となったか
否かをチェックし、若し、オゾン流量センサ６Ｂの検出
値が零とならなかった場合には第１の電磁弁５Ｃの開放
故障であると判断して第２の電磁弁５Ｄを閉じる構成で
ある。この場合にも、その後、オゾン流量センサ６Ｂの
検出値が零となったか否かをチェックし、若し、オゾン
流量センサ６Ｂの検出値が零とならなかった場合には第
２の電磁弁５Ｄも開放故障であると判断して警報を出力
する構成である。

【００３０】次に、ステップ４２の判別結果がＹＥＳの
場合の動作について説明する。この場合には、ステップ
５２で第１の電磁弁５Ｃを開き、ステップ５３で規定時
間だけ待つ。この規定時間は、第１の電磁弁５Ｃを開く
ことによってオゾン発生器６に酸素が供給され、これに
より発生したオゾンがオゾン流量センサ６Ｂに達してオ
ゾン流量センサ６Ｂがこれに従う検出値を示すのに必要
な時間よりは長い適宜の時間に設定される。

【００３１】ステップ５４では、オゾン流量センサ６Ｂ
の検出値が規定値に達しているか否かが判別される。ス
テップ５４で、オゾン流量センサ６Ｂの検出値が規定値
に達していると判別されると、ステップ５４の判別結果
はＹＥＳとなり、ステップ５５においてオゾン発生器６
をオンとし、このオゾン濃度制御を終了して他の制御に
入る。

【００３２】一方、ステップ５４でオゾン流量センサ６
Ｂの検出値が規定値に達していないと判別されると、ス
テップ５４の判別結果はＮＯとなり、ステップ５６で第
１の電磁弁５Ｃの不良を示す不良フラグをセットし、こ
のオゾン濃度制御を終了して他の制御に入る。

【００３３】上記構成では、第２の電磁弁５Ｄを閉じて
も（ステップ４８）オゾン流量センサ６Ｂの検出値が零
にならなかった場合に警報ブザーをオンとするようにし
たが、ステップ４６で第１の電磁弁５Ｃが開放故障と判
定された時点で、第２の電磁弁５Ｄを閉じると同時に警
報ブザーをオンとし、第２の電磁弁５Ｄの故障の如何に
拘らず警報ブザーを鳴動させるようにしてもよい。第１
の電磁弁５Ｃが開放故障と判定された場合には、いずれ
にせよ、これに対処しなければならないからである。

【００３４】なお、酸素供給用の第１の電磁弁５Ｃが開
放故障した時に酸素供給を停止するための第２の電磁弁
５Ｄを酸素供給源から見て第１の電磁弁５Ｃの下流に設
ける理由は以下の通りである。すなわち、もしも酸素供
給口より異物が入り込んだ場合には下流側より上流側の
酸素供給制御用電磁弁が故障する確率の方が高いためこ
のような構成にすれば、第１の電磁弁５Ｃが故障しても
第２の電磁弁５Ｄが正常に作動して酸素供給を遮断でき
る可能性が高いからである。

【００３５】この構成によれば、第１の電磁弁５Ｃによ
る酸素供給制御用電磁弁が故障した場合にオゾンが充満
した殺菌ブースが破裂するという重大な不具合を、第２
の電磁弁５Ｄをその下流側に１個追加するだけで防止で
きる。

【００３６】図３では、第１の電磁弁５Ｃの故障判定を
オゾン殺菌装置１の運転中に行う構成を示した。しか
し、第１の電磁弁５Ｃの故障判定はオゾン殺菌装置１の
運転開始前に行うこともできる。

【００３７】図４及び図５には、そのように構成した場
合の故障検出のための作動を説明するためのフローチャ
ートの一例が示されている。図４はそのフローチャート
の前半を示し、図５はそのフローチャートの後半を示し
ている。

【００３８】先ず、ステップ６１で第１の電磁弁５Ｃ及
び第２の電磁弁５Ｄを共に閉じ、規定時間だけ待つ。こ
の規定時間は、第１及び第２の電磁弁５Ｃ、５Ｄの開閉
によって流量センサ６Ｂの位置の気体流量が変化する迄
の一定時間を意味している。この規定時間の意味は図３
のステップ４５の説明に関して説明した趣旨と同じであ
り、この意味は、後述するステップ６７、６９、７５に
現れる規定時間に対しても適用される。ステップ６２で
は、オゾン流量センサ６Ｂの検出値が零か否かが判別さ
れる。ステップ６２においてオゾン流量センサ６Ｂの検
出値が零であると判別されると、すなわち、第１又は第
２の電磁弁５Ｃ、５Ｄの少なくとも一方が正常であると
判別されると、ステップ６２の判別結果はＹＥＳとな
り、ステップ６３に入る。ステップ６２の判別結果がＮ
Ｏであると、第１の電磁弁５Ｃの不良を示すフラグ及び
第２の電磁弁５Ｄの不良を示すフラグが共にセットされ
る。

【００３９】ステップ６３では、第１の電磁弁５Ｃを開
いて規定時間だけ待つ。この規定時間の意味は、図３の
ステップ５２の説明に関して説明した趣旨と同じであ
り、この意味は、後述するステップ６５、７１、７３に
現れる規定時間に対しても適用される。ステップ６４で
は、オゾン流量センサ６Ｂの検出値が零か否かが判別さ
れる。ステップ６４においてオゾン流量センサ６Ｂの検
出値が零であると判別されると、第２の電磁弁５Ｄが正
常であると考えられる。この場合にはステップ６４の判
別結果はＹＥＳとなり、ステップ６５に入る。ステップ
６４の判別結果がＮＯであると、ステップ７８において
第２の電磁弁５Ｄの不良を示すフラグがセットされる。

【００４０】ステップ６５では、第２の電磁弁５Ｄを開
いて規定時間だけ待つ。ステップ６６では、オゾン流量
センサ６Ｂの検出値が規定の濃度を示す規定値に達した
か否かが判別される。ステップ６６において、オゾン流
量センサ６Ｂの検出値が規定の濃度を示す規定値に達し
たと判別されると、ステップ６６の判別結果はＹＥＳと
なり、ステップ６７に入る。一方、ステップ６６の判別
結果がＮＯであるとステップ７９に入り、ここで、第１
の電磁弁５Ｃの不良を示すフラグ及び第２の電磁弁５Ｄ
の不良を示すフラグが共にセットされる。

【００４１】ステップ６７では第２の電磁弁５Ｄを閉じ
て規定時間だけ待つ。そして、ステップ６８でオゾン流
量センサ６Ｂの検出値が零か否かが判別される。ステッ
プ６８においてオゾン流量センサ６Ｂの検出値が零であ
ると判別されると、第２の電磁弁５Ｄが正常に作動して
いると考えられる。この場合にはステップ６８の判別結
果はＹＥＳとなり、ステップ６９に入る。一方、ステッ
プ６８の判別結果がＮＯとなると、ステップ８０に入
り、ここで第２の電磁弁５Ｄの不良を示すフラグがセッ
トされる。

【００４２】ステップ６９では第１の電磁弁５Ｃを閉じ
て規定時間だけ待つ。そして、ステップ７０でオゾン流
量センサ６Ｂの検出値が零か否かが判別される。ステッ
プ７０においてオゾン流量センサ６Ｂの検出値が零であ
ると判別されると、第１の電磁弁５Ｃが正常に作動して
いると考えられる。この場合にはステップ７０の判別結
果はＹＥＳとなり、ステップ７１に入る。一方、ステッ
プ７０の判別結果がＮＯとなると、ステップ８１に入
り、ここで第１の電磁弁５Ｃの不良を示すフラグ及び第
２の電磁弁５Ｄの不良を示すフラグが共にセットされ
る。

【００４３】ステップ７１では、第２の電磁弁５Ｄを開
いて規定時間だけ待つ。そして、ステップ７２で、オゾ
ン流量センサ６Ｂの検出値が零か否かが判別される。ス
テップ７２においてオゾン流量センサ６Ｂの検出値が零
であると判別されると、ステップ７２の判別結果はＹＥ
Ｓとなり、ステップ７３に入る。ステップ７２の判別結
果がＮＯとなった場合にはステップ８２に入り、ここ
で、第１の電磁弁５Ｃの故障を示す不良フラグがセット
される。

【００４４】ステップ７３では、第１の電磁弁５Ｃを開
いて規定時間だけ待つ。そして、ステップ７４でオゾン
流量センサ６Ｂの検出値が規定値に達したか否かが判別
される。ステップ７４でオゾン流量センサ６Ｂの検出値
が規定値に達したと判別されると、ステップ７４の判別
結果はＹＥＳとなり、ステップ７５に入る。一方、ステ
ップ７４の判別結果がＮＯとなった場合には、ステップ
８３に入り、ここで第１の電磁弁５Ｃの故障を示す不良
フラグがセットされる。

【００４５】ステップ７５では、第１の電磁弁５Ｃを閉
じて規定時間だけ待つ。そして、ステップ７６でオゾン
流量センサ６Ｂの検出値が規定値に達したか否かが判別
される。ステップ７６でオゾン流量センサ６Ｂの検出値
が規定値に達したと判別されると、ステップ７６の判別
結果はＹＥＳとなり、この故障検出のための動作が終了
する。ステップ７６の判別結果がＮＯであると、ステッ
プ８４に入り、ここで第１の電磁弁５Ｃの故障を示す不
良フラグがセットされ、この故障検出のための動作が終
了する。

【００４６】以上の説明から判るように、第１及び第２
の電磁弁５Ｃ、５Ｄを図４、図５に示す順序で開閉制御
し、そのときのオゾン流量センサ６Ｂの検出値をチェッ
クすることにより、第１及び第２の電磁弁５Ｃ、５Ｄの
それぞれについて故障か否かを判定することができる。

【００４７】以上、第１の電磁弁５Ｃの故障チェックの
ために第２の電磁弁５Ｄを設け、これらの電磁弁を開閉
することによってオゾン発生器６の出力側に生じるオゾ
ン濃度の変化をオゾン流量センサ６Ｂによって検出し、
両電磁弁５Ｃ、５Ｄの故障の有無をそれぞれ判定する構
成について説明した。しかし、第２の電磁弁５Ｄの追加
なしに第１の電磁弁５Ｃの故障チェックを行うことも可
能である。

【００４８】この構成につき、図６を参照して説明する
が、以下の説明においては図２に示した第２の電磁弁５
Ｄは開いたままとして説明する。ステップ９１で先ず第
１の電磁弁５Ｃを閉じて規定時間だけ待つ。これは、第
１の電磁弁５Ｃを閉じることによりオゾン発生器６に対
して酸素の供給を断つことによる影響がオゾン流量セン
サ６Ｂに現れるまで待つことである。ステップ９２で
は、オゾン流量センサ６Ｂの検出値が零か否かが判別さ
れる。第１の電磁弁５Ｃが実際に閉じられていれば、オ
ゾン流量センサ６Ｂの検出値が零になるはずである。す
なわち、第１の電磁弁５Ｃが閉じていればステップ９２
の判別結果はＹＥＳとなり、第１の電磁弁５Ｃが開いて
いればステップ９２の判別結果はＮＯとなる。ステップ
９２の判別結果がＮＯとなった場合にはステップ９７に
入り、ここで第１の電磁弁５Ｃが故障である旨を示す不
良フラグがセットされ、故障検出動作が終了する。

【００４９】一方、ステップ９２の判別結果がＹＥＳの
場合にはステップ９３に入り、ここで第１の電磁弁５Ｃ
を開いて規定時間だけ待つ。これは、第１の電磁弁５Ｃ
を開くことによりオゾン発生器６に対して酸素の供給を
再開することによる影響がオゾン流量センサ６Ｂに現れ
るまで待つことである。ステップ９４では、オゾン流量
センサ６Ｂの検出値が規定値に達したか否かが判別され
る。第１の電磁弁５Ｃが実際に開かれていればオゾン流
量センサ６Ｂの検出値が規定値に達するはずである。す
なわち、第１の電磁弁５Ｃが実際に開いていればステッ
プ９４の判別結果はＹＥＳとなり、第１の電磁弁５Ｃが
閉じていればステップ９４の判別結果はＮＯとなる。ス
テップ９４の判別結果がＮＯの場合にはステップ９７に
入る。ステップ９４の判別結果がＹＥＳの場合にはステ
ップ９５に入る。

【００５０】ステップ９１〜９４を実行すれば、第１の
電磁弁５Ｃが開放故障の場合にはステップ９２の判別結
果がＮＯとなり、一方第１の電磁弁５Ｃが閉成故障の場
合にはステップ９４の判別結果がＮＯとなるので、これ
だけでも第１の電磁弁５Ｃの故障チェックを行うことが
できる。

【００５１】しかし、本実施の形態では、第１の電磁弁
５Ｃを閉、開させたときのオゾン流量センサ６Ｂの検出
値でその故障検出を行うのに加えて、ステップ９５、９
６をさらに実行して、第１の電磁弁５Ｃの故障をより一
層確実にチェックしている。ステップ９５、９６はステ
ップ９１、９２と同一の動作であり、これにより開いて
いる第１の電磁弁５Ｃが閉じられたか否かのチェックが
行われる。ステップ９２、９４、９６の全ての判別結果
がＹＥＳとなったときに、第１の電磁弁５Ｃが正常であ
ると判定される。

【００５２】この構成によれば、第２の電磁弁５Ｄを別
途設けなくても、第１の電磁弁５Ｃの故障チェックを確
実に行うことができる。

【００５３】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、酸素供給制御
用電磁弁が故障した場合にオゾンが充満した殺菌ブース
が破裂するという重大な不具合を、電磁弁をその下流側
に１個追加するだけで防止できる。

【００５４】請求項２の発明によれば、酸素供給制御用
の電磁弁が故障したか否かを、オゾン発生器からのオゾ
ンの出力の有無をオゾン流量計を用いて容易に判別する
ことができるので、極めて低コストにて殺菌ブースへの
オゾンの過大な供給を未然に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１の発明によるオゾン殺菌装置の実施の
形態の一例の概略構成を示す斜視図。

【図２】図１に示した装置本体の詳細構成図。

【図３】請求項１の発明の実施の形態を説明するための
制御装置による制御フローチャート。

【図４】図３で説明した請求項１の発明の実施の形態に
おける故障検出の別の構成を説明するためのフローチャ
ートの一部を示す図。

【図５】図３で説明した請求項１の発明の実施の形態に
おける故障検出の別の構成を説明するためのフローチャ
ートの一部を示す図。

【図６】酸素供給制御電磁弁の故障の有無を別の電磁弁
を用いないで判別するようにした構成を説明するための
フローチャート。

【符号の説明】

１ オゾン殺菌装置 ２ 装置本体 ３ 殺菌ブース ３Ｂ カバー ４Ａ、４Ｂ ダクト ５ 酸素ボンベ ５Ｃ 第１の電磁弁 ５Ｄ第２の電磁弁 ６ オゾン発生器 ６Ｂ オゾン流量センサ １６ ポケット ４１ パイプ ４２ オゾンガス処理装置 ４３ オゾン分解触媒

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 オゾン発生器に酸素供給源から第１の電
   磁弁を介して酸素を供給するように構成すると共に前記
   オゾン発生器の下流側に設けられたオゾン流量計まで酸
   素が流れてきたことを検出してから前記オゾン発生器の
   運転を開始し、発生したオゾンが殺菌ブースに送られる
   ように構成されているオゾン殺菌装置において、 前記第１の電磁弁と直列に前記オゾン発生器への酸素供
   給を制御するための第２の電磁弁を設け、前記オゾン流
   量計の検出値が所定値を越えたことに応答して前記第２
   の電磁弁を閉じるようにしたことを特徴とするオゾン殺
   菌装置。
2. 【請求項２】 オゾン発生器に酸素供給源から第１の電
   磁弁を介して酸素を供給するように構成すると共に前記
   オゾン発生器の下流側に設けられたオゾン流量計まで酸
   素が流れてきたことを検出してから前記オゾン発生器の
   運転を開始し、発生したオゾンが殺菌ブースに送られる
   ように構成されているオゾン殺菌装置において、 前記第１の電磁弁の開閉制御による前記オゾン流量計の
   検出結果の応答値に基づいて前記第１の電磁弁の故障の
   有無を判別するようにしたことを特徴とするオゾン殺菌
   装置。
3. 【請求項３】 前記所定値が前記第１の電磁弁の開放故
   障を示す値に設定されている請求項１のオゾン殺菌装
   置。
4. 【請求項４】 前記第２の電磁弁を閉じても前記オゾン
   流量計の検出値が前記所定値以下にならない場合に警報
   を出力するようにした請求項１のオゾン殺菌装置。
5. 【請求項５】 前記オゾン流量計の検出値が前記所定値
   を越えたことに応答して前記第２の電磁弁を閉じると共
   に警報を出力するようにした請求項１のオゾン殺菌装
   置。
6. 【請求項６】 前記第１の電磁弁が故障と判別された場
   合には前記オゾン発生器の運転を停止するようにした請
   求項２のオゾン殺菌装置。
7. 【請求項７】 前記第１の電磁弁が故障と判別された場
   合には前記オゾン発生器の運転を停止すると共に警報を
   出力するようにした請求項２のオゾン殺菌装置。
8. 【請求項８】 前記第２の電磁弁が前記第１の電磁弁の
   下流側に設けられている請求項１のオゾン殺菌装置。