JPH09253181A - オゾン殺菌装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オゾンセンサの劣化をコスト上昇を伴わず
にチェックし、安全性の高い動作を確保することができ
るようにしたオゾン殺菌装置を提供すること。 【解決手段】 第１オゾンセンサ１３は高濃度のオゾ
ンに暴露されるが第２オゾンセンサ１８は通常高濃度の
オゾンに暴露されることがないことを利用し、オゾン殺
菌装置１の運転を開始する際に第１信号Ｖ１と第２信号
Ｖ２とのレベル比較を行うことによって第１オゾンセン
サ１３の特性に不具合が生じたか否かをチェックする。
また、運転開始直前の第１信号Ｖ１と第２信号Ｖ２との
レベル差の絶対値が所定値以上である場合には一定時間
オゾン分解運転を実行し、この後、第１信号Ｖ１と第２
信号Ｖ２とのレベル差の絶対値を再度チェックし、オゾ
ン分解運転の前後におけるレベル差の絶対値の縮小が見
られない場合にのみ第１オゾンセンサ１３の異常と判別
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、殺菌処理時には殺
菌ブース内の空気のオゾン濃度を上げ、殺菌処理が終了
した場合には殺菌ブース内の空気のオゾン濃度を下げる
ようにしたオゾン殺菌装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種のオゾン殺菌装置は、殺菌ブース
とオゾン発生器とを有し、殺菌ブースに隣接して設けら
れたチャンバにより殺菌ブース内の空気を吸い込みチャ
ンバ内に吸い込まれた空気にオゾン発生器からのオゾン
を混合して殺菌ブースに排気することを繰り返すことに
よって、殺菌ブース内のオゾン濃度を殺菌処理に必要な
レベルにまで上げ、殺菌ブース内で殺菌処理を行うよう
になっている。そして、殺菌処理が終了したならば、殺
菌ブースより高濃度のオゾン含有空気を再びチャンバ内
に吸い込みオゾン分解触媒にてオゾンを分解した後殺菌
ブースへ排気するという処理を繰り返し、殺菌ブースの
オゾン濃度を人体に影響無いレベル、例えば０．１ppm
未満の環境基準値、まで下げる後処理が行われる。そし
てオゾン濃度が人体に影響ないレベルまで下がったかど
うかはチャンバ内に設けられたオゾンセンサにより検出
される。したがって、このオゾンセンサは、オゾン分解
運転の終了判定のために極めて低濃度のオゾン（０．１
ppm 未満）に反応しなければならないが、この様な低濃
度検出可能なオゾンセンサは現在のところコスト面、形
状面から実用上半導体式オゾンセンサに限られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、オゾンセン
サの出力を装置の安全運転に役立てるため、例えば運転
開始時にはオゾンセンサの出力に基づき装置内のオゾン
濃度が環境基準以下となっていることを確認した上で装
置の運転を開始させ、運転終了時にはオゾンセンサの出
力に基づき装置内のオゾン濃度が環境基準以下となるま
でオゾン分解運転を行い、装置内のオゾン濃度が環境基
準以下となったことが確認された場合に装置の運転を終
了させる安全機構が考えられる。

【０００４】上述の安全機構は、運転開始前にあっては
オゾンセンサはオゾン濃度が極めて低い通常の環境下に
あるため当然オゾン濃度が環境基準以下の筈であり、こ
の時、環境基準以上のオゾン濃度レベル値を検出すると
いうことはこのオゾンセンサの異常を意味すると考えら
れるとの前提に基づいたものである。運転終了時このオ
ゾンセンサを頼りに環境基準以下になる迄オゾンを分解
することにより安全を確保する必要上、オゾンセンサの
検出値が異常でないことを予め確認しておく意味で、運
転開始時にオゾンセンサが環境基準（０．１ppm 未満）
内のオゾン濃度を出力していることを確認してから運転
を開始する様に構成しているのである。このように、オ
ゾン殺菌装置の運転の安全性を確保するためにはオゾン
センサは欠くことのできないものであり、その信頼性が
強く要求されている。

【０００５】しかしながら、オゾン殺菌装置において実
用化されている半導体式のオゾンセンサは、そのオゾン
検出メカニズム上、原理的に高濃度（約１０ppm 以上）
のオゾンに暴露されるとその特性が復帰しなくなるとい
う性質を有している。一方、このセンサは殺菌処理モー
ドでの運転中チャンバ内において高濃度（約２００ppm
）のオゾンに暴露されることになる。したがって、半
導体式オゾンセンサは装置を使用しているうちに特性が
劣化し、真のオゾン濃度よりも高い検出値を出力するよ
うになる。この結果、オゾン殺菌装置内におけるオゾン
濃度の管理に支障を来し、例えば上述の如き安全機構を
採用した場合には、オゾンセンサの出力が真の値よりも
高濃度側にずれてしまうことによってオゾン殺菌装置の
運転の開始及び終了ができないという不具合を生じる虞
がある。

【０００６】本発明の目的は、したがって、殺菌ブース
内のオゾン濃度を測定するためのオゾンセンサの特性の
劣化の有無をコスト上昇を伴わずにチェックすることが
でき、オゾンセンサの特性に劣化が生じた場合にはオゾ
ンセンサの交換を促すことができるようにしたオゾン殺
菌装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の請求項１の発明の特徴は、殺菌ブースと、オゾン発生
器と、殺菌時には前記殺菌ブース内の空気に前記オゾン
発生器からのオゾンを混入して所定のオゾン濃度の殺菌
用環境を前記殺菌ブース内に生じさせると共に殺菌終了
後は前記殺菌ブース内の空気のオゾン濃度を所定の低レ
ベル状態に戻すようオゾン分解処理を行うための処理チ
ャンバとを備えたオゾン殺菌装置において、前記殺菌ブ
ース内のオゾン濃度を検出するための第１オゾンセンサ
を含み前記殺菌ブース内のオゾン濃度に応じたレベルの
第１信号を出力する第１回路と、前記オゾン殺菌装置に
おけるオゾン漏れを検出するための第２オゾンセンサを
含み該第２オゾンセンサの近傍のオゾン濃度に応じたレ
ベルの第２信号を出力する第２回路と、前記第１及び第
２信号に応答し前記オゾン殺菌装置の運転を開始する際
に前記第１及び第２信号のレベル差を検出する検出手段
と、該検出手段に応答し前記レベル差が所定値以上であ
る場合には警報を出力する警報出力手段とを備えた点に
ある。

【０００８】第１オゾンセンサは高濃度のオゾンに暴露
されるが第２オゾンセンサは通常高濃度のオゾンに暴露
されることがない。したがって、オゾン殺菌装置の運転
を開始する際に第１信号と第２信号とのレベル比較を行
うことによって第１オゾンセンサの特性に不具合が生じ
たか否かをチェックすることができ、そのレベル差が所
定値以上となったとき警報出力手段によって警報を出力
し、第１オゾンセンサの特性の劣化を操作者に知らせそ
の点検を促すことができる。

【０００９】請求項２の発明の特徴は、殺菌ブースと、
オゾン発生器と、殺菌時には前記殺菌ブース内の空気に
前記オゾン発生器からのオゾンを混入して所定のオゾン
濃度の殺菌用環境を前記殺菌ブース内に生じさせると共
に殺菌終了後は前記殺菌ブース内の空気のオゾン濃度を
所定の低レベル状態に戻すよう前記殺菌ブース内の空気
をオゾン分解処理するための処理チャンバとを備えたオ
ゾン殺菌装置において、前記殺菌ブース内のオゾン濃度
を検出するための第１オゾンセンサを含み前記殺菌ブー
ス内のオゾン濃度に応じたレベルの第１信号を出力する
第１回路と、前記オゾン殺菌装置におけるオゾン漏れを
検出するための第２オゾンセンサを含み該第２オゾンセ
ンサの近傍のオゾン濃度に応じたレベルの第２信号を出
力する第２回路と、前記第１及び第２信号に応答し前記
オゾン殺菌装置の運転を開始する際に前記第１及び第２
信号のレベル差が所定値以上である場合には前記オゾン
殺菌装置の運転開始に先立って前記チャンバにおいてオ
ゾン分解運転を一定時間行わせるための第１制御手段
と、該第１制御手段によるオゾン分解運転終了後におけ
る前記第１信号と前記第２信号とのレベル差が前記運転
開始等のレベル差より縮小しているか否かを判定する判
定手段と、該判定手段に応答しレベル差の縮小がないと
判定された場合に警報を出力する警報出力手段とを備え
た点にある。

【００１０】この構成によると、運転開始直前の第１信
号と第２信号とのレベル差が所定値以上である場合には
一定時間オゾン分解運転が実行される。この後、あらた
めて第１信号と第２信号とのレベル差がチェックされ、
このオゾン分解運転の前後におけるレベル差の縮小が見
られない場合にのみ第１オゾンセンサの異常と判断さ
れ、警報が出力される。したがって、第１オゾンセンサ
の劣化の有無をより正確に判定できる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態の一例について説明する。

【００１２】図１は、本発明によるオゾン殺菌装置の実
施の形態の一例を示す概略構成図である。オゾン殺菌装
置１は、殺菌ブース２と、オゾン発生器３と、殺菌時に
は殺菌ブース２内の空気にオゾン発生器３からのオゾン
を混入して所定のオゾン濃度の殺菌用環境を殺菌ブース
２内に生じさせると共に殺菌終了後は殺菌ブース２内の
空気のオゾン濃度を所定の低レベル状態に戻すようオゾ
ン分解処理を行うための処理チャンバ４とを備えてい
る。オゾン発生器３及び処理チャンバ４は、超音波加湿
装置５、湿度検出器６、電源７及びオゾン殺菌装置１の
動作を制御するための制御装置８と共に装置外板９によ
り形成された保護空間１０内に収納されている。装置外
板９にはモータ１１によって駆動される冷却ファン１２
が取り付けられており、装置外板９内に設けられている
各種の装置類から出る熱を外部へ放出する構成となって
いる。

【００１３】処理チャンバ４は、吸込みダクト部４Ａと
吹出しダクト部４Ｂとによって殺菌ブース２と連通して
おり、吸込みダクト部４Ａを介して殺菌ブース２内の空
気を処理チャンバ４内に吸い込み、処理チャンバ４内で
処理された空気を吹出しダクト部４Ｂを介して殺菌ブー
ス２内に吹き出すことができる構成となっている。

【００１４】処理チャンバ４の内部には、吸込み通路４
Ｃ、オゾン分解室４Ｄ、吹出し通路４Ｅ、吸込み通路４
Ｃからの吸い込み空気を吹出し通路４Ｅに送るための連
通路４Ｆが形成されている。オゾン分解室４Ｄ内にはオ
ゾン分解触媒４Ｇが配置され、吹出し通路４Ｅ内にはモ
ータ４Ｈにより駆動される送風ファン４Ｉが配置されて
いる。吸込み通路４Ｃと連通路４Ｆとの間には第１ダン
パ４Ｊが設けられており、オゾン分解室４Ｄには吸込み
ダクト部４Ａに対向する位置に第２ダンパ４Ｋが設けら
れている。

【００１５】超音波加湿装置５は、加湿水タンク５Ａと
加湿器電源５Ｂと超音波加湿器５Ｃとから成る公知の構
成のものであり、超音波加湿器５Ｃにおいて霧状にされ
た水の微粒子が加湿ホース５Ｄを介して吹出し通路４Ｅ
内に送り込まれる構成となっている。一方、オゾン発生
器３には高圧電源３Ａから高圧電圧が供給されており、
酸素ホース３Ｂを介して外部から供給される酸素を用い
てオゾンを発生させ、ここで発生したオゾンはオゾンホ
ース３Ｃを介して吹出し通路４Ｅの出口付近に送り込ま
れる。

【００１６】第１ダンパ４Ｊ及び第２ダンパ４Ｋは制御
装置８によって開閉制御される。殺菌ブース２内で殺菌
を行う場合には第１ダンパ４Ｊが開かれ第２ダンパ４Ｋ
が閉じられる。この状態で送風ファン４Ｉがモータ４Ｈ
により回転せしめられ、殺菌ブース２内の空気が吸込み
通路４Ｃから連通路４Ｆを通って吹出し通路４Ｅに送り
込まれ、ここで、超音波加湿装置５からの加湿空気及び
オゾン発生器３からのオゾンが混入されて殺菌ブース２
に戻る。この結果、殺菌ブース２内のオゾン濃度を殺菌
に必要な所要の高濃度（例えば２００ｐｐｍ程度））と
することができる。

【００１７】一方、殺菌ブース２において殺菌処理が終
了したならば、第１ダンパ４Ｊを閉じ、第２ダンパ４Ｋ
を開いて終了運転が行われる。この状態では、殺菌ブー
ス２からの空気はオゾン分解室４Ｄに導かれ、ここでオ
ゾン分解触媒４Ｇによりその空気中に含まれるオゾンが
分解され、オゾン濃度の低下した空気は送風ファン４Ｉ
によって吹出し通路４Ｅに導かれ殺菌ブース２に戻るこ
とになる。このようにして殺菌ブース２内の空気を処理
チャンバ４に循環させることによりそのオゾン濃度を人
体に影響のない環境基準値にまで低下させる。

【００１８】オゾン殺菌装置１の殺菌ブース２内におけ
る空気のオゾン濃度をチェックすることができるように
するため、本実施の形態においては、吸込み通路４Ｃ内
の入口付近に第１オゾンセンサ１３が設けられている。
しかし、第１オゾンセンサ１３の配設位置はこの実施の
形態の構成に限定されるものではなく、その他の適宜の
位置に設けてもよい。第１オゾンセンサ１３は殺菌ブー
ス２から吸込みダクト部４Ａを介して処理チャンバ４内
に送られてくる空気のオゾン濃度を検出することがで
き、上述の如くしてオゾン分解運転を行った結果殺菌ブ
ース２内のオゾン濃度が人体に影響ない範囲である環境
基準値（例えば０．１ｐｐｍ未満）になったか否かを第
１オゾンセンサ１３を用いてチェックすることができ
る。このような用途に適する第１オゾンセンサ１３とし
て、本実施の形態においては、オゾン濃度に従ってその
抵抗値が変化する半導体式のオゾンセンサが使用されて
いる。なお、符号６Ａで示されるのは、吸込み通路４Ｃ
内の空気の湿度を検出するための湿度センサであり、湿
度センサ６Ａは湿度検出器６に接続されている。

【００１９】図２には、吸込みダクト部４Ａ及び吹出し
ダクト部４Ｂによる殺菌ブース２と処理チャンバ４との
間の連結構造が拡大して詳細に示されている。吸込みダ
クト部４Ａは、殺菌ブース２と一体に設けられた第１連
結口２１と処理チャンバ４と一体に設けられた吸込側連
結口４Ｘとをフレキシブルパイプ１４で連結して成って
いる。フレキシブルパイプ１４の一端は第１連結口２１
ときつく嵌合されている。一方、フレキシブルパイプ１
４の他端は装置外板９の内側にまで延びるようにして吸
込側連結口４Ｘと嵌合しており、フレキシブルパイプ１
４と吸込側連結口４Ｘとの嵌合部は容易に離脱すること
がないよう締付バンド１５によってフレキシブルパイプ
１４の外側から締め付けられている。吹出しダクト部４
Ｂは、殺菌ブース２と一体に設けられた第２連結口２２
と処理チャンバ４と一体に設けられた吹出側連結口４Ｙ
とをフレキシブルパイプ１６で連結して成っている。フ
レキシブルパイプ１６の一端は第２連結口２２ときつく
嵌合されている。一方、フレキシブルパイプ１６の他端
は装置外板９の内側にまで延びるようにして吹出側連結
口４Ｙと嵌合しており、フレキシブルパイプ１６と吹出
側連結口４Ｙとの嵌合部は容易に離脱することがないよ
う締付バンド１７によってフレキシブルパイプ１６の外
側から締め付けられている。

【００２０】吸込みダクト部４Ａ及び吹出しダクト部４
Ｂは上述の如く構成されているため、締付バンド１５及
び又は１７による締め付けが弛んだとしても、フレキシ
ブルパイプ１４と吸込側連結口４Ｘとの間、又はフレキ
シブルパイプ１６と吹出側連結口４Ｙとの間から漏れた
オゾンは装置外板９によって形成される保護空間１０内
に収容されるので、オゾン殺菌装置１の外部のオゾン濃
度を直ちに上昇させることがなく安全である。オゾンの
比重は空気のそれより大きいため、漏れたオゾンは装置
外板９に沿って下方に移動することになる。装置外板９
の下部にはオゾン漏れを検出するための第２オゾンセン
サ１８が設けられている（図１参照）。第２オゾンセン
サ１８もまた半導体式のオゾンセンサとなっており、こ
の第２オゾンセンサ１８によってオゾン漏れを容易に検
知することができる。第２オゾンセンサ１８により漏れ
オゾンの発生が検知された場合、その旨の警報を発し、
強制的にオゾン分解運転に入るように構成されている
が、この構成は公知であるから、ここではその詳細な説
明を省略する。

【００２１】次に、図３を参照して図１に示したオゾン
殺菌装置１の制御系統の要部の構成について説明する。

【００２２】オゾン殺菌装置１の制御系統は、安定化電
源回路２１の正出力端子２１Ａと負出力端子２１Ｂとの
間から供給される安定化低電圧ＶＣにより駆動されるマ
イクロコンピュータ装置２２を備えている。半導体式の
第１オゾンセンサ１３の一端はアースに接続されその他
端は抵抗器２３を介して正出力端子２１Ａに接続されて
いる。第１オゾンセンサ１３と抵抗器２３とは、第１オ
ゾンセンサ１３と抵抗器２３との接続点から吸込み通路
４Ｃ内を通過する殺菌ブース２からの空気のオゾン濃度
に応じたレベルの第１電圧信号Ｖ１を出力するための第
１電圧発生回路２４を構成しており、第１電圧信号Ｖ１
はマイクロコンピュータ装置２２に入力されている。

【００２３】高濃度のオゾンに暴露される第１オゾンセ
ンサ１３の特性が劣化したか否かをチェックするための
基準となる信号を第２オゾンセンサ１８によるオゾン検
知出力を利用して得るため、第２オゾンセンサ１８を含
む第２電圧発生回路２６が設けられている。第２電圧発
生回路２６は、第２オゾンセンサ１８と抵抗器２５とを
直列に接続して成る回路として構成されており、第２オ
ゾンセンサ１８と抵抗器２５との直列回路には安定化電
源回路２１からの安定化電圧ＶＣが印加されている。こ
の結果、第２オゾンセンサ１８と抵抗器２５との接続点
からは第２オゾンセンサ１８の周囲のオゾン濃度に応じ
たレベルの第２電圧信号Ｖ２が出力される。

【００２４】本実施の形態においては、第１オゾンセン
サ１３と第２オゾンセンサ１８とは同一の型式のオゾン
センサであり、抵抗器２３の値と抵抗器２５の値とは等
しくなるように設定されている。すなわち、第１オゾン
センサ１３及び第２オゾンセンサ１８のいずれもが同一
濃度のオゾン雰囲気中にあれば、第１電圧信号Ｖ１のレ
ベルと第２電圧信号Ｖ２のレベルとが等しくなるように
構成されている。

【００２５】マイクロコンピュータ装置２２の出力端子
２２Ａと安定化電源回路２１の正出力端子２１Ａとの間
には抵抗器２７と警報用の発光ダイオード２８とが直列
に接続されており、出力端子２２Ａから出力される警報
信号ＡＬに応答して発光ダイオード２８が点灯する構成
となっているが、これについては後で詳しく説明する。
なお、マイクロコンピュータ装置２２には、第１電圧信
号Ｖ１、第２電圧信号Ｖ２のほか、オゾン殺菌装置１の
運転制御に必要な種々の入力信号ＩＳが入力されてお
り、これらの入力信号ＩＳに基づく演算結果に従う出力
信号ＯＳがオゾン殺菌装置１の運転制御のために出力さ
れている。しかし、これらの信号ＩＳ、ＯＳは従来のこ
の種の装置において用いられる信号と同じであり、これ
らの信号ＩＳ、ＯＳによるオゾン殺菌装置１の通常運転
それ自体は公知のものであるから、ここではそれらにつ
いての詳しい説明は省略する。

【００２６】次に図４を参照して図３に示した制御系統
によるオゾン殺菌装置１の運転制御にて説明する。図４
は図３のマイクロコンピュータ装置２２内のメモリ（図
示せず）に格納されておりマイクロコンピュータ装置２
２において実行される制御プログラムを示すフローチャ
ートである。この制御プログラムはオゾン殺菌装置１の
図示しない電源スイッチを投入することに応答して起動
され、実行される。制御プログラムが起動されると、先
ず、ステップ３１で初期化処理が行われ、ステップ３２
で第１電圧信号Ｖ１と第２電圧信号Ｖ２とが入力され、
ステップ３３で第１電圧信号Ｖ１と第２電圧信号Ｖ２と
のレベル差｜Ｖ１−Ｖ２｜が検出される。ステップ３４
では第１電圧信号Ｖ１と第２電圧信号Ｖ２とのレベル差
｜Ｖ１−Ｖ２｜が所定値Ｋ以下であるか否かが判別され
る。

【００２７】オゾン殺菌装置１の運転開始の際には殺菌
ブース２及び処理チャンバ４内のオゾン濃度は環境基準
値以下になっている筈であり、第１オゾンセンサ１３の
特性が高濃度オゾンに暴露されることによる劣化を生じ
ていなければ、第１電圧信号Ｖ１のレベルは所定の環境
基準値未満の低レベルとなっており、一方、第２オゾン
センサ１８によるオゾン検出結果を示す第２電圧信号Ｖ
２のレベルもまた所定の環境基準値未満の低レベルとな
っている筈であり、第１電圧信号Ｖ１のレベルは第２電
圧信号Ｖ２のレベルと略等しく、その差｜Ｖ１−Ｖ２｜
の値は所定値Ｋ以下となっている。ここで、第２オゾン
センサ１８は通常の使用状態では高濃度オゾンに暴露さ
れることがないため、特性の劣化の問題は殆ど生じるこ
とがなく、極めて信頼性の高い出力を期待することがで
きる。

【００２８】したがって、レベル差｜Ｖ１−Ｖ２｜が所
定値Ｋ以下であると第１オゾンセンサ１３に特性の劣化
は生じておらず、殺菌ブース２内は略環境基準値レベル
になっていると判断され、ステップ３４の判別結果はＹ
ＥＳとなり、ステップ３５において通常制御が行われ
る。すなわち、殺菌ブース２内のオゾン濃度を殺菌に必
要な高レベルにまで上昇させ、殺菌処理が終了したなら
ば殺菌ブース２内のオゾン濃度を人体に影響のない環境
基準値にまで下げるようオゾンの分解運転が行われる。
その後、この制御プログラムの実行が終了する。

【００２９】一方、ステップ３４の判別結果がＮＯとな
るのは、（１）実際に、何等かの理由で殺菌ブース２又
は処理チャンバ４内のオゾン濃度が所定の低レベル以上
の場合、（２）殺菌ブース２又は処理チャンバ４内のオ
ゾン濃度は所定の低レベルより小さいが、第１オゾンセ
ンサ１３が高濃度のオゾンに暴露されることにより特性
劣化を生じ実際のオゾン濃度と異なる濃度に相当するレ
ベルの第１信号Ｖ１を出力している場合、の２通りが考
えられる。このように、ステップ３４の判別結果がＮＯ
となるのはいずれにせよ異常な状態であるから、ステッ
プ４０において警報信号ＡＬを出力し、これにより発光
ダイオード２８（図３参照）を点灯させ、操作者に、オ
ゾン濃度が高い状態又は第１オゾンセンサが異常状態の
何れかであることを知らせ、この制御プログラムの実行
が終了する。

【００３０】したがって、この構成によれば、オゾン殺
菌装置１の運転開始に際して第１電圧信号Ｖ１と第２電
圧信号Ｖ２とのレベル比較を行うことによって運転開始
について何等かの支障が生じているか否かをチェックす
ることができる。すなわち、第１オゾンセンサ１３が殺
菌のために必要な高濃度のオゾンに暴露されることによ
り第１電圧信号Ｖ１のレベルがその時の実際のオゾン濃
度に対する所定のレベルと異なっている場合にも警報が
出力され、第１オゾンセンサ１３の点検を促すことがで
きることになる。この構成は、漏れオゾンを検出するた
めに予め設けられている第２オゾンセンサ１８を利用す
るので、コストの面で有利である。

【００３１】図５には、異常時処理の別の形態を示すフ
ローチャートが示されている。図５のフローチャートに
従う異常時処理は請求項２の発明の実施の形態の一例を
説明するためのものである。請求項２の発明の実施の形
態の場合、図５に示した異常時処理のためのフローチャ
ート部分以外の部分は図１乃至図４に示したものと同じ
である。図５を参照すると、異常時処理に入ると先ずス
テップ５１でオゾン分解運転が開始され、ステップ５２
でオゾン分解運転が開始されてから一定時間（例えば３
０分）が経過したか否かが判別される。一定時間が経過
していない場合にはステップ５２の判別結果はＮＯとな
り、ステップ５２の実行を繰り返す。オゾン分解運転が
開始されてから一定時間が経過するとステップ５２の判
別結果はＹＥＳとなり、ステップ５３においてオゾン分
解運転が停止される。

【００３２】すなわち、オゾン殺菌装置１の運転開始に
際して吸込み通路４Ｃ内のオゾン濃度が何らかの理由で
所定の環境基準値を越えているような場合には、上述の
ようにオゾン分解運転を所定の一定時間行い、そのオゾ
ン濃度を低下させる。

【００３３】しかる後、ステップ５４で再度第１電圧信
号Ｖ１と第２電圧信号Ｖ２とを入力してレベル差を検出
し、ステップ５５では、ステップ３３で検出された第１
回目のレベル差Ｄ１とステップ５４で検出された第２回
目のレベル差Ｄ２とを比較し、オゾン分解運転によって
レベル差が縮小したか否かが判別される。レベル差が縮
小したか否かの判別は、本実施の形態では、Ｄ１−Ｄ２
≧Ｑ（Ｑは所定の一定値）か否かによって行っている。
しかし、レベル差が縮小したか否かの判別方法はこの実
施の形態に限定されるものではなく、有意の縮小があっ
たか否かを他の適宜の方法で判別してもよいことは勿論
である。

【００３４】ステップ５５でレベル差が縮小したと判別
された場合にはその判別結果はＹＥＳとなり、ステップ
３５に進み、通常運転制御が実行される。これは、オゾ
ン分解運転によりレベル差の縮小が見られることは第１
オゾンセンサ１３の出力値に信頼性が認められることを
意味するからである。

【００３５】一方、ステップ５５の判別結果がＮＯとな
ると、この場合には第１オゾンセンサ１３の特性が劣化
したと判別される。したがって、ステップ５６において
警報信号ＡＬを出力し、これにより発光ダイオード２８
（図３参照）を点灯させ、操作者に第１オゾンセンサ１
３の点検を促す。そして、次のステップ５７においてオ
ゾン殺菌装置１の運転開始を禁止する制御を行い、この
制御プログラムの実行を終了する。

【００３６】図５のフローチャートに従う処理によれ
ば、より確実に第１オゾンセンサ１３の特性の劣化をチ
ェックすることができ、信頼性の高い警報動作を期待す
ることができる。

【００３７】上記で説明したいずれの実施の形態におい
ても、第１オゾンセンサ１３と第２オゾンセンサ１８と
を全く同一タイプの半導体式オゾンセンサとし、（１）
第２オゾンセンサ１８は通常の動作では高濃度のオゾン
に暴露されることはないので特性の劣化は殆ど考えられ
ないこと、及び（２）オゾン殺菌装置１の運転開始前は
第１オゾンセンサ１３及び第２オゾンセンサ１８の各周
囲オゾン濃度は同一であると考えられることを利用し、
第１オゾンセンサ１３と第２オゾンセンサ１８とによる
各検出結果の差が所定値以上であるか否かを第１オゾン
センサ１３の特性の劣化の判定のための基準とした。

【００３８】しかし、第１オゾンセンサ１３と第２オゾ
ンセンサ１８とによる検出結果の比較によるレベル差が
所定値より大きくても、ある一定範囲内であれば第１オ
ゾンセンサ１３の点検を促しつつオゾン殺菌装置の運転
を行うように構成してもよい。この場合オゾン分解運転
を行なう終了運転における分解運転終了判定値は、運転
開始前の第１オゾンセンサ１３による検出値に設定する
ことになる。

【００３９】図６には、上述の如く、第１オゾンセンサ
１３と第２オゾンセンサ１８との検出結果の比較による
レベル差が所定値より大きくても、ある一定範囲内であ
れば第１オゾンセンサ１３の点検を促しつつオゾン殺菌
装置の運転を行うように構成した場合の具体的構成を示
す。図６には、異常時処理のためのフローチャート部分
だけが示されており、図６に示した異常時処理以外の部
分は図１乃至図４に示したものと同じである。図６に示
す異常時処理について説明すると、ステップ３４におい
て｜Ｖ１−Ｖ２｜＞Ｋと判別された場合（図４参照）、
先ずステップ６１において警報信号ＡＬを出力し、操作
者に第１オゾンセンサ１３の点検を促す。次にステップ
６２において｜Ｖ１−Ｖ２｜がＫよりは大きいが運転に
は支障のないと考えられる所定の値Ｌよりも小さいか否
かが判別される。｜Ｖ１−Ｖ２｜＜Ｌであるとステップ
６２の判別結果はＹＥＳとなり、ステップ６３に入る。
ここで分解運転終了判定値をステップ３２で得られた第
１電圧信号Ｖ１のレベルに変換するための処理が実行さ
れ、しかる後、ステップ３５において通常運転制御が実
行される。

【００４０】一方、ステップ６２の判別結果がＮＯとな
ると、この場合には第１オゾンセンサ１３の特性の劣化
と判別され、オゾン殺菌装置１の通常運転を行うことな
く、この制御プログラムの実行が終了する。

【００４１】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、第１オゾンセ
ンサは高濃度のオゾンに暴露されるが第２オゾンセンサ
は通常高濃度のオゾンに暴露されることがないというこ
とを利用し、オゾン殺菌装置の運転を開始する際に第１
信号と第２信号とをレベル比較して第１オゾンセンサの
特性に不具合が生じたか否かをチェックすることがで
き、そのレベル差が所定値以上となったとき警報出力手
段によって警報を出力し、第１オゾンセンサの特性の劣
化を操作者に知らせその点検を促すことができる。この
結果、コスト上昇を伴わずに第１オゾンセンサの劣化を
判定でき、その点検を促すことができる。

【００４２】請求項２の発明によれば、運転開始直前の
第１信号と第２信号とのレベル差が所定値以上である場
合には一定時間オゾン分解運転が実行され、この後あら
ためて第１信号と第２信号とのレベル差がチェックさ
れ、このオゾン分解運転の前後におけるレベル差の縮小
が見られない場合にのみ第１オゾンセンサの異常と判断
して警報を出力するようにしたので、第１オゾンセンサ
の劣化の有無をより正確に判定できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるオゾン殺菌装置の実施の形態の一
例を示す概略構成図。

【図２】図１のオゾン殺菌装置の吸込みダクト部及び吹
出しダクト部の構成を拡大して詳細に示す要部拡大詳細
図。

【図３】図１のオゾン殺菌装置の制御系統を示す回路
図。

【図４】請求項１の発明の実施の形態を説明するため
の、図３に示すマイクロコンピュータ装置で実行される
制御プログラムを示すフローチャート。

【図５】請求項２の発明の実施の形態を説明するため
の、図３に示すマイクロコンピュータ装置で実行される
制御プログラムの要部を示すフローチャート。

【図６】本発明の他の実施の形態を説明するための、図
３に示すマイクロコンピュータ装置で実行される制御プ
ログラムの要部を示すフローチャート。

【符号の説明】

１ オゾン殺菌装置 ２ 殺菌ブース ３ オゾン発生器 ４ 処理チャンバ ８ 制御装置 １３ 第１オゾンセンサ １８ 第２オゾンセンサ ２２ マイクロコンピュータ装置 Ｖ１ 第１電圧信号 Ｖ２ 第２電圧信号 ２４ 電圧発生回路 ２８ 発光ダイオード ＡＬ 警報信号

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 殺菌ブースと、オゾン発生器と、殺菌時
   には前記殺菌ブース内の空気に前記オゾン発生器からの
   オゾンを混入して所定のオゾン濃度の殺菌用環境を前記
   殺菌ブース内に生じさせると共に殺菌終了後は前記殺菌
   ブース内の空気のオゾン濃度を所定の低レベル状態に戻
   すようオゾン分解処理を行うための処理チャンバとを備
   えたオゾン殺菌装置において、 前記殺菌ブース内のオゾン濃度を検出するための第１オ
   ゾンセンサを含み前記殺菌ブース内のオゾン濃度に応じ
   たレベルの第１信号を出力する第１回路と、 前記オゾン殺菌装置におけるオゾン漏れを検出するため
   の第２オゾンセンサを含み該第２オゾンセンサの近傍の
   オゾン濃度に応じたレベルの第２信号を出力する第２回
   路と、 前記第１及び第２信号に応答し前記オゾン殺菌装置の運
   転を開始する際に前記第１及び第２信号のレベル差を検
   出する検出手段と、 該検出手段に応答し前記レベル差が所定値以上である場
   合には警報を出力する警報出力手段とを備えたことを特
   徴とするオゾン殺菌装置。
2. 【請求項２】 殺菌ブースと、オゾン発生器と、殺菌時
   には前記殺菌ブース内の空気に前記オゾン発生器からの
   オゾンを混入して所定のオゾン濃度の殺菌用環境を前記
   殺菌ブース内に生じさせると共に殺菌終了後は前記殺菌
   ブース内の空気のオゾン濃度を所定の低レベル状態に戻
   すよう前記殺菌ブース内の空気をオゾン分解処理するた
   めの処理チャンバとを備えたオゾン殺菌装置において、 前記殺菌ブース内のオゾン濃度を検出するための第１オ
   ゾンセンサを含み前記殺菌ブース内のオゾン濃度に応じ
   たレベルの第１信号を出力する第１回路と、 前記オゾン殺菌装置におけるオゾン漏れを検出するため
   の第２オゾンセンサを含み該第２オゾンセンサの近傍の
   オゾン濃度に応じたレベルの第２信号を出力する第２回
   路と、 前記第１及び第２信号に応答し前記オゾン殺菌装置の運
   転を開始する際に前記第１及び第２信号のレベル差が所
   定値以上である場合には前記オゾン殺菌装置の運転開始
   に先立って前記チャンバにおいてオゾン分解運転を一定
   時間行わせるための第１制御手段と、 該第１制御手段によるオゾン分解運転終了後における前
   記第１信号と前記第２信号とのレベル差が前記運転開始
   等のレベル差より縮小しているか否かを判定する判定手
   段と、 該判定手段に応答しレベル差の縮小がないと判定された
   場合に警報を出力する警報出力手段とを備えたことを特
   徴とするオゾン殺菌装置。