JPH10287966A - オイル薄膜の形成方法およびその薄膜を用いた蒸着製品の製造方法 - Google Patents
オイル薄膜の形成方法およびその薄膜を用いた蒸着製品の製造方法Info
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- JPH10287966A JPH10287966A JP35332897A JP35332897A JPH10287966A JP H10287966 A JPH10287966 A JP H10287966A JP 35332897 A JP35332897 A JP 35332897A JP 35332897 A JP35332897 A JP 35332897A JP H10287966 A JPH10287966 A JP H10287966A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】基材フィルム上に常に必要最低量のオイルの薄
膜を形成する方法およびその薄膜を用いた蒸着製品の製
造方法等を提供する。 【解決手段】真空蒸着装置１に設けられたオイル蒸発器
３内の圧力を測定し、該圧力をもとにオイル蒸発器に付
設した加熱装置の熱出力を制御する。このオイル蒸発器
内の温度を制御することによって、オイル蒸発器内の圧
力を設定した圧力に制御し、一定量のオイル薄膜を基材
２上に蒸着する。
膜を形成する方法およびその薄膜を用いた蒸着製品の製
造方法等を提供する。 【解決手段】真空蒸着装置１に設けられたオイル蒸発器
３内の圧力を測定し、該圧力をもとにオイル蒸発器に付
設した加熱装置の熱出力を制御する。このオイル蒸発器
内の温度を制御することによって、オイル蒸発器内の圧
力を設定した圧力に制御し、一定量のオイル薄膜を基材
２上に蒸着する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばコンデンサ
用金属蒸着フィルム等を製造する際に利用されるオイル
マージンの形成、あるいは蒸着金属膜の腐蝕防止のため
の保護オイルの形成等に適したオイル薄膜の形成方法お
よびその薄膜を用いた蒸着製品の製造方法に関するもの
である。
用金属蒸着フィルム等を製造する際に利用されるオイル
マージンの形成、あるいは蒸着金属膜の腐蝕防止のため
の保護オイルの形成等に適したオイル薄膜の形成方法お
よびその薄膜を用いた蒸着製品の製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来より、真空蒸着機内でオイルを基材
上に蒸着する方法として、特公平８ー２６４４９号公報
に記載されたものが提案されている。この方法は、コン
デンサ用金属蒸着フィルムのマージンを形成するために
基材フィルム上にオイルを蒸着し、フィルム上に細幅の
オイルの薄膜を形成する方法である。又、特開昭５９ー
２２７１１５号公報や特公昭６３ー１５７３７号公報に
は、蒸着金属膜の腐蝕を防止するために蒸着金属膜上に
オイルを蒸着する方法が提案されている。これらの方法
はマージン形成、あるいは蒸着金属膜の腐蝕防止という
目的には優れた方法であるが、通常オイルは分子量分布
をもっているため、蒸着時にオイル蒸発器の温度を経験
的に徐々に上げていくか、できるだけ分子量分布の揃っ
た高価な拡散ポンプ用オイルを用い、経験的に温度設定
をする方法でオイル薄膜のオイル量を制御しようとして
いた。
上に蒸着する方法として、特公平８ー２６４４９号公報
に記載されたものが提案されている。この方法は、コン
デンサ用金属蒸着フィルムのマージンを形成するために
基材フィルム上にオイルを蒸着し、フィルム上に細幅の
オイルの薄膜を形成する方法である。又、特開昭５９ー
２２７１１５号公報や特公昭６３ー１５７３７号公報に
は、蒸着金属膜の腐蝕を防止するために蒸着金属膜上に
オイルを蒸着する方法が提案されている。これらの方法
はマージン形成、あるいは蒸着金属膜の腐蝕防止という
目的には優れた方法であるが、通常オイルは分子量分布
をもっているため、蒸着時にオイル蒸発器の温度を経験
的に徐々に上げていくか、できるだけ分子量分布の揃っ
た高価な拡散ポンプ用オイルを用い、経験的に温度設定
をする方法でオイル薄膜のオイル量を制御しようとして
いた。
【０００３】オイル薄膜のオイル量が少ないとマージン
が形成されなかったり、腐蝕防止能が不十分になり、一
方オイル量が多いと金属蒸着フィルムをコンデンサ素子
に巻回する際、芯抜けと呼ばれる不都合な現象や、プレ
ス性が悪化したり、コンデンサのフィルム同士の密着が
不十分で電圧をかけた時コンデンサが唸りを発するとい
う困った現象がおきる。
が形成されなかったり、腐蝕防止能が不十分になり、一
方オイル量が多いと金属蒸着フィルムをコンデンサ素子
に巻回する際、芯抜けと呼ばれる不都合な現象や、プレ
ス性が悪化したり、コンデンサのフィルム同士の密着が
不十分で電圧をかけた時コンデンサが唸りを発するとい
う困った現象がおきる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前述の問題
発生をなくすため、基材フィルム上に常に必要最低量の
オイルの薄膜を形成する方法およびその薄膜を用いた蒸
着製品の製造方法等を提供せんとするものである。
発生をなくすため、基材フィルム上に常に必要最低量の
オイルの薄膜を形成する方法およびその薄膜を用いた蒸
着製品の製造方法等を提供せんとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、真空蒸着装置
に設けられたオイル蒸発器内の圧力を測定し、該圧力を
もとにオイル蒸発器に付設した加熱装置の熱出力を制御
し、該オイル蒸発器内の温度を制御することによって、
該前記オイル蒸発器内の圧力を設定圧力に制御し、一定
量のオイル薄膜を基材上に蒸着することを特徴とするオ
イル薄膜の形成方法である。
に設けられたオイル蒸発器内の圧力を測定し、該圧力を
もとにオイル蒸発器に付設した加熱装置の熱出力を制御
し、該オイル蒸発器内の温度を制御することによって、
該前記オイル蒸発器内の圧力を設定圧力に制御し、一定
量のオイル薄膜を基材上に蒸着することを特徴とするオ
イル薄膜の形成方法である。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態について図面を参照しながら詳しく説明する。
態について図面を参照しながら詳しく説明する。
【０００７】図１は、マージンを形成するためのオイル
薄膜を形成する方法について説明するための概略図であ
り、本発明方法に用いられる真空蒸着装置の断面図を示
している。尚、本発明は本実施態様例に限定されるもの
ではない。
薄膜を形成する方法について説明するための概略図であ
り、本発明方法に用いられる真空蒸着装置の断面図を示
している。尚、本発明は本実施態様例に限定されるもの
ではない。
【０００８】図において、真空蒸着装置１は、円筒形を
した密封耐圧容器であり、図示しない真空発生装置から
容器内ガスが吸引されることにより、容器内圧力が約
０．１〜１×１０-5Ｔｏｒｒ程度の真空度が維持できる
ようになっている。容器内には、巻き出しロール１ｂ、
冷却ロール１ｃ、巻取ロール１ｄが設けられており、容
器内または容器外に設けられた図示しない駆動装置によ
り、基材フィルム２が巻き出しロール１ｂから冷却ロー
ル１ｃを経て、巻取ロール１ｄに巻き取られるようにな
っている。
した密封耐圧容器であり、図示しない真空発生装置から
容器内ガスが吸引されることにより、容器内圧力が約
０．１〜１×１０-5Ｔｏｒｒ程度の真空度が維持できる
ようになっている。容器内には、巻き出しロール１ｂ、
冷却ロール１ｃ、巻取ロール１ｄが設けられており、容
器内または容器外に設けられた図示しない駆動装置によ
り、基材フィルム２が巻き出しロール１ｂから冷却ロー
ル１ｃを経て、巻取ロール１ｄに巻き取られるようにな
っている。
【０００９】また、真空蒸着装置１内には、基材２とオ
イル蒸発器３および金属蒸発源８等が設置されている。
図では基材２は連続したフィルム状物を示しているが、
これに限定されるものではなく、表面にオイル薄膜を形
成する対象物であれば特に限定されない。本発明でいう
基材とは、天然、半合成、合成高分子樹脂をフィルム状
に成形したもので、中でも合成高分子樹脂からなる高分
子フィルムが耐熱性、機械特性、電気特性、物理特性、
物理化学特性の点からより好ましい。上記好ましい合成
高分子樹脂として、ポリオレフィン樹脂、ポリエステル
樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカ
ーボネイト樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン
樹脂、ポリアリレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン
樹脂等を用いることができる。特にポリプロピレン、ポ
リエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレー
ト、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネイト、
ポリスチレンが機械特性、電気特性の点からより好まし
い。中でもポリプロピレン、およびポリエチレンテレフ
タレートが交流耐電圧（ＡＣ耐電圧）が高いことから特
に好ましい。
イル蒸発器３および金属蒸発源８等が設置されている。
図では基材２は連続したフィルム状物を示しているが、
これに限定されるものではなく、表面にオイル薄膜を形
成する対象物であれば特に限定されない。本発明でいう
基材とは、天然、半合成、合成高分子樹脂をフィルム状
に成形したもので、中でも合成高分子樹脂からなる高分
子フィルムが耐熱性、機械特性、電気特性、物理特性、
物理化学特性の点からより好ましい。上記好ましい合成
高分子樹脂として、ポリオレフィン樹脂、ポリエステル
樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカ
ーボネイト樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン
樹脂、ポリアリレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン
樹脂等を用いることができる。特にポリプロピレン、ポ
リエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレー
ト、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネイト、
ポリスチレンが機械特性、電気特性の点からより好まし
い。中でもポリプロピレン、およびポリエチレンテレフ
タレートが交流耐電圧（ＡＣ耐電圧）が高いことから特
に好ましい。
【００１０】金属蒸着源８から蒸発される金属は、Ａ
ｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｃ
ｏ、Ｎｉあるいはこれらの合金など導電性を有するもの
であれば特に限定されるものではないが、Ａｌ、Ｚｎ、
Ｃｕ、Ｓｎなどが耐コロナ劣化性が少なく好ましい。中
でもＡｌ−Ｚｎの合金が耐湿性、耐コロナ劣化性、およ
び自己回復特性の点でより好ましい。
ｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｃ
ｏ、Ｎｉあるいはこれらの合金など導電性を有するもの
であれば特に限定されるものではないが、Ａｌ、Ｚｎ、
Ｃｕ、Ｓｎなどが耐コロナ劣化性が少なく好ましい。中
でもＡｌ−Ｚｎの合金が耐湿性、耐コロナ劣化性、およ
び自己回復特性の点でより好ましい。
【００１１】マージン部をオイルで充満させるため、お
よび電気特性の点からオイルはシリコーンオイルが好ま
しい。中でも電気特性の点からジメチルポリシロキサ
ン、またはメチルフェニルシリコーンオイルが好まし
く、なかでもメチル・フェニル・ジメチルポリシロキサ
ンがマージンを形成する点、および電気特性などから優
れている。
よび電気特性の点からオイルはシリコーンオイルが好ま
しい。中でも電気特性の点からジメチルポリシロキサ
ン、またはメチルフェニルシリコーンオイルが好まし
く、なかでもメチル・フェニル・ジメチルポリシロキサ
ンがマージンを形成する点、および電気特性などから優
れている。
【００１２】オイル蒸発器３は、内部に注入された例え
ば、メチルフェニルジメチルポリシロキサン、パーフル
オロポリエーテル等のオイルを、加熱し、表面に多数設
けられている極小の円形あるいは矩形の開口部から近く
を通過する基材フィルム２上に蒸着させるものである。
オイル４は、オイル蒸発器３内に入れられており、オイ
ル蒸発器３自身をヒーターとするか、あるいはオイル蒸
発器３内に設けられたヒーターによって加熱され、一部
オイル蒸発器３内で蒸気になっている。
ば、メチルフェニルジメチルポリシロキサン、パーフル
オロポリエーテル等のオイルを、加熱し、表面に多数設
けられている極小の円形あるいは矩形の開口部から近く
を通過する基材フィルム２上に蒸着させるものである。
オイル４は、オイル蒸発器３内に入れられており、オイ
ル蒸発器３自身をヒーターとするか、あるいはオイル蒸
発器３内に設けられたヒーターによって加熱され、一部
オイル蒸発器３内で蒸気になっている。
【００１３】圧力計５は、オイル蒸発器３内に連結され
ており、常にオイル蒸発器３内のオイル蒸気圧力を測定
している。圧力計５は、隔膜式、あるいはピラニー式等
の真空計を用いることができるが、圧力計内や連結管内
でオイルが凝縮しないよう工夫することがより好まし
い。圧力計５の出力信号は、圧力制御系７に伝達され、
設定した圧力との差があればオイル蒸発器３の図示しな
いヒーターへ電力を供給するための電源６の出力を制御
し、オイル蒸発器３内のオイル圧力が常に設定した圧力
になるようオイル蒸発器３の温度を制御する。
ており、常にオイル蒸発器３内のオイル蒸気圧力を測定
している。圧力計５は、隔膜式、あるいはピラニー式等
の真空計を用いることができるが、圧力計内や連結管内
でオイルが凝縮しないよう工夫することがより好まし
い。圧力計５の出力信号は、圧力制御系７に伝達され、
設定した圧力との差があればオイル蒸発器３の図示しな
いヒーターへ電力を供給するための電源６の出力を制御
し、オイル蒸発器３内のオイル圧力が常に設定した圧力
になるようオイル蒸発器３の温度を制御する。
【００１４】オイル蒸発器３内のオイル蒸気は、オイル
蒸発器３内のオイル蒸気圧力と真空装置１内の圧力との
差圧によってオイル蒸発器３に設けられた開口部（ノズ
ル）を通じて基材２表面に凝縮する。この時、差圧がほ
ぼ一定になっているため常に一定量のオイル蒸気が開口
部を通って基材２表面へ凝縮する。特にオイルの分子量
が広く分布しているオイルを用いても、常に一定のオイ
ル蒸気圧に制御しているため、一定量のオイルが基材上
に凝縮する特長を有しており、この方法で製造した蒸着
製品は、オイル蒸着量が一定に保たれているため、プレ
ス性や耐湿性が良好で且つ、ばらつきが少ない特徴を有
している。
蒸発器３内のオイル蒸気圧力と真空装置１内の圧力との
差圧によってオイル蒸発器３に設けられた開口部（ノズ
ル）を通じて基材２表面に凝縮する。この時、差圧がほ
ぼ一定になっているため常に一定量のオイル蒸気が開口
部を通って基材２表面へ凝縮する。特にオイルの分子量
が広く分布しているオイルを用いても、常に一定のオイ
ル蒸気圧に制御しているため、一定量のオイルが基材上
に凝縮する特長を有しており、この方法で製造した蒸着
製品は、オイル蒸着量が一定に保たれているため、プレ
ス性や耐湿性が良好で且つ、ばらつきが少ない特徴を有
している。
【００１５】尚、図１では、オイル蒸発器に開口部（ノ
ズル）が設けられているが、両者を別々に設置し蒸気搬
送管で連結してもよい。この場合、オイル蒸発器は真空
室外に設置してもよい。
ズル）が設けられているが、両者を別々に設置し蒸気搬
送管で連結してもよい。この場合、オイル蒸発器は真空
室外に設置してもよい。
【００１６】
実施例１、比較例１ 厚さ１１μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム
に、Ｚｎを抵抗値６Ω／□、製品幅１９ｍｍ、マージン
幅２ｍｍになるように蒸着し、次いでフェニル・メチル
・ジメチルポリシロキサン（東レ・ダウコーニング・シ
リコーン（株）製ＳＨ７０２）をＺｎの上に蒸着した。
に、Ｚｎを抵抗値６Ω／□、製品幅１９ｍｍ、マージン
幅２ｍｍになるように蒸着し、次いでフェニル・メチル
・ジメチルポリシロキサン（東レ・ダウコーニング・シ
リコーン（株）製ＳＨ７０２）をＺｎの上に蒸着した。
【００１７】実施例１ではオイル蒸発器３内の圧力が６
０Ｐａになるようにコントロールした。
０Ｐａになるようにコントロールした。
【００１８】一方、比較例１では従来の方法である経時
的な温度コントロールで行った。これらの金属蒸着フィ
ルムを１９ｍｍ幅にスリットした後、各々の蒸着始め、
中間、蒸着終わりの３部分を選び、８５℃、８５％ＲＨ
の条件で恒温恒湿槽に３時間入れ耐湿性を評価した。そ
の結果を表１に示す。
的な温度コントロールで行った。これらの金属蒸着フィ
ルムを１９ｍｍ幅にスリットした後、各々の蒸着始め、
中間、蒸着終わりの３部分を選び、８５℃、８５％ＲＨ
の条件で恒温恒湿槽に３時間入れ耐湿性を評価した。そ
の結果を表１に示す。
【００１９】この表１の通り、比較例１では、耐湿性が
良好な部分がある反面膜抵抗変化率のばらつきが大きい
が、実施例１では膜抵抗変化率のばらつきが小さく安定
した耐湿性能を示した。
良好な部分がある反面膜抵抗変化率のばらつきが大きい
が、実施例１では膜抵抗変化率のばらつきが小さく安定
した耐湿性能を示した。
【００２０】
【表１】 実施例２、比較例２ 次に、これらの蒸着フィルムを２枚重ねて巻回し、１２
０℃、６０ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力で５分間プレスし、
０．３μＦの素子を作成した。この素子１０個を用いて
プレス性を評価した。結果を表２に示す。
０℃、６０ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力で５分間プレスし、
０．３μＦの素子を作成した。この素子１０個を用いて
プレス性を評価した。結果を表２に示す。
【００２１】この表から、実施例２は安定して良好なプ
レス性であるに対し、比較例２はプレス性のバラツキが
大きいことが判る。
レス性であるに対し、比較例２はプレス性のバラツキが
大きいことが判る。
【００２２】
【表２】 なお、上記実施例および比較例で用いた評価方法は次の
とおりである。
とおりである。
【００２３】
（１）耐湿性 幅１９ｍｍ（製品幅）、長さ２５ｃｍにカットした金属
蒸着フィルムを、各条件共に５サンプル作成し、タバイ
（株）製恒温恒湿槽（ タイプ： ＰＲ−２Ｇ）中に入
れ、８５℃、８５％ＲＨの条件で３時間放置し、放置前
後の抵抗変化、あるいは蒸着膜の消失程度を目視にて観
察して判断した。
蒸着フィルムを、各条件共に５サンプル作成し、タバイ
（株）製恒温恒湿槽（ タイプ： ＰＲ−２Ｇ）中に入
れ、８５℃、８５％ＲＨの条件で３時間放置し、放置前
後の抵抗変化、あるいは蒸着膜の消失程度を目視にて観
察して判断した。
【００２４】（２）プレス性評価 ２枚の金属蒸着フィルムを重ねて巻回し、プレス成形し
た素子に、（株）島津製作所製の引張試験機（タイプ：
ＡＵＴＯＧＲＡＰＨ ＩＭー１００）で荷重をかけ巻芯
が開いた（成形が崩れた）時の荷重を読みとった。荷重
が大きい程プレス性は良い。
た素子に、（株）島津製作所製の引張試験機（タイプ：
ＡＵＴＯＧＲＡＰＨ ＩＭー１００）で荷重をかけ巻芯
が開いた（成形が崩れた）時の荷重を読みとった。荷重
が大きい程プレス性は良い。
【００２５】（３）蒸着膜抵抗 テスト前後の蒸着膜抵抗の変化は、蒸着始め、中、終わ
りの部分を各５ポイント合計１５ポイントを、東洋メタ
ライジング（株）製 ＯＨＭ ＭＥＴＥＲを用いて測定
した。
りの部分を各５ポイント合計１５ポイントを、東洋メタ
ライジング（株）製 ＯＨＭ ＭＥＴＥＲを用いて測定
した。
【００２６】
【発明の効果】本発明は、真空蒸着装置に設けられたオ
イル蒸発器内の圧力を測定し、該圧力をもとにオイル蒸
発器に付設した加熱装置の熱出力を制御し、該オイル蒸
発器内の温度を制御することによって、前記オイル蒸発
器内の圧力を設定した圧力に制御し、一定量のオイル薄
膜を基材上に蒸着するようにしたので、必要最低限のオ
イル薄膜を安定して形成した蒸着製品を製造できる。
イル蒸発器内の圧力を測定し、該圧力をもとにオイル蒸
発器に付設した加熱装置の熱出力を制御し、該オイル蒸
発器内の温度を制御することによって、前記オイル蒸発
器内の圧力を設定した圧力に制御し、一定量のオイル薄
膜を基材上に蒸着するようにしたので、必要最低限のオ
イル薄膜を安定して形成した蒸着製品を製造できる。
【００２７】そのため、オイル量のばらつきによって生
じる問題（マージンの未形成、蒸着金属の腐食、芯抜
け、プレス不良等）のない、適切なマージンをもった金
属蒸着フィルム、あるいは耐蝕性のある金属蒸着フィル
ムを製造することができる。
じる問題（マージンの未形成、蒸着金属の腐食、芯抜
け、プレス不良等）のない、適切なマージンをもった金
属蒸着フィルム、あるいは耐蝕性のある金属蒸着フィル
ムを製造することができる。
【図１】本発明のオイル薄膜の形成方法に用いられる真
空蒸着装置の概略断面図である。
空蒸着装置の概略断面図である。
１：真空蒸着装置 ２：基材 ３：オイル蒸発器 ４：オイル ５：圧力計 ６：電源 ７：圧力制御系 ８：金属蒸発源
Claims (4)
- 【請求項１】真空蒸着装置に設けられたオイル蒸発器内
の圧力を測定し、該圧力をもとにオイル蒸発器に付設し
た加熱装置の熱出力を制御し、該オイル蒸発器内の温度
を制御することによって、前記オイル蒸発器内の圧力を
設定圧力に制御し、一定量のオイル薄膜を基材上に蒸着
することを特徴とするオイル薄膜の形成方法。 - 【請求項２】請求項１の形成方法によって、薄膜を用い
た蒸着製品を製造することを特徴とする蒸着製品の製造
方法。 - 【請求項３】請求項１または２の方法によって製造した
金属蒸着フィルム。 - 【請求項４】請求項３の金属蒸着フィルムが用いられて
いるコンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35332897A JP3893710B2 (ja) | 1997-02-12 | 1997-12-22 | オイル薄膜の形成方法およびその薄膜を用いた蒸着製品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2806597 | 1997-02-12 | ||
| JP9-28065 | 1997-02-12 | ||
| JP35332897A JP3893710B2 (ja) | 1997-02-12 | 1997-12-22 | オイル薄膜の形成方法およびその薄膜を用いた蒸着製品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10287966A true JPH10287966A (ja) | 1998-10-27 |
| JP3893710B2 JP3893710B2 (ja) | 2007-03-14 |
Family
ID=26366091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35332897A Expired - Fee Related JP3893710B2 (ja) | 1997-02-12 | 1997-12-22 | オイル薄膜の形成方法およびその薄膜を用いた蒸着製品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3893710B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7368317B2 (en) | 2002-12-06 | 2008-05-06 | Centre National De La Recherche Scientifique-Cnrs | Method of producing an N-type diamond with high electrical conductivity |
| WO2010106410A1 (en) * | 2009-03-16 | 2010-09-23 | Applied Materials, Inc. | Evaporator, coating installation, and method for use thereof |
| JP2010532426A (ja) * | 2007-07-05 | 2010-10-07 | ライボルト オプティクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 基板上に剥離剤の層を施すための方法及び装置 |
-
1997
- 1997-12-22 JP JP35332897A patent/JP3893710B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7368317B2 (en) | 2002-12-06 | 2008-05-06 | Centre National De La Recherche Scientifique-Cnrs | Method of producing an N-type diamond with high electrical conductivity |
| JP2010532426A (ja) * | 2007-07-05 | 2010-10-07 | ライボルト オプティクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 基板上に剥離剤の層を施すための方法及び装置 |
| WO2010106410A1 (en) * | 2009-03-16 | 2010-09-23 | Applied Materials, Inc. | Evaporator, coating installation, and method for use thereof |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3893710B2 (ja) | 2007-03-14 |
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