JPH10283965A - 走査電子顕微鏡における試料の帯電除去方法および走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡における試料の帯電除去方法および走査電子顕微鏡Info
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- JPH10283965A JPH10283965A JP9092269A JP9226997A JPH10283965A JP H10283965 A JPH10283965 A JP H10283965A JP 9092269 A JP9092269 A JP 9092269A JP 9226997 A JP9226997 A JP 9226997A JP H10283965 A JPH10283965 A JP H10283965A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 適確に試料の帯電の状態を検知し、それに基
づいて試料室の真空度の制御を行うことができる走査電
子顕微鏡における試料の帯電除去方法および走査電子顕
微鏡を実現する。 【解決手段】 帯電除去のモードの時には、画像処理回
路１６で、反射電子検出信号の２値化を行う。この２値
化した信号は、帯電有無判定回路１８に送られて帯電の
有無の判定が行われる。試料に帯電が存在する場合に
は、圧力調整回路１９でリーク弁調整器２０を制御し、
リーク弁１２によって試料室５内の真空度を帯電が除去
できる値にまで変化させる。
づいて試料室の真空度の制御を行うことができる走査電
子顕微鏡における試料の帯電除去方法および走査電子顕
微鏡を実現する。 【解決手段】 帯電除去のモードの時には、画像処理回
路１６で、反射電子検出信号の２値化を行う。この２値
化した信号は、帯電有無判定回路１８に送られて帯電の
有無の判定が行われる。試料に帯電が存在する場合に
は、圧力調整回路１９でリーク弁調整器２０を制御し、
リーク弁１２によって試料室５内の真空度を帯電が除去
できる値にまで変化させる。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、非導電性試料であって
も、像の観察を良好に行うことができる走査電子顕微鏡
における試料の帯電除去方法および走査電子顕微鏡に関
する。
も、像の観察を良好に行うことができる走査電子顕微鏡
における試料の帯電除去方法および走査電子顕微鏡に関
する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡では、電子ビームを試料
に細く集束すると共に、試料上の電子ビームの照射位置
を２次元的に走査している。そして、試料から発生した
２次電子や後方散乱電子（反射電子）を検出し、検出信
号を電子ビームの走査と同期した陰極線管に輝度変調信
号として供給し、陰極線管上に試料の走査象を表示して
いる。
に細く集束すると共に、試料上の電子ビームの照射位置
を２次元的に走査している。そして、試料から発生した
２次電子や後方散乱電子（反射電子）を検出し、検出信
号を電子ビームの走査と同期した陰極線管に輝度変調信
号として供給し、陰極線管上に試料の走査象を表示して
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような走査電子顕
微鏡において、試料が非導電性材料の場合、試料表面が
帯電し、像の観察が不可能となる。そのため、試料が入
れられた試料室内を３〜２７０Ｐａ（パスカル）程度の
低真空とし、非導電性試料の帯電現象を中和消滅させる
ようにしている。
微鏡において、試料が非導電性材料の場合、試料表面が
帯電し、像の観察が不可能となる。そのため、試料が入
れられた試料室内を３〜２７０Ｐａ（パスカル）程度の
低真空とし、非導電性試料の帯電現象を中和消滅させる
ようにしている。
【０００４】しかしながら、試料の帯電を検知する方法
が確立していないために、オペレータの経験と勘にたよ
って試料室の真空度の制御を行わねばならず、装置の操
作性が極めて悪いばかりか、オペレータによってはなか
なか試料の帯電を消滅させることができず、像の観察自
体が行えないこともある。
が確立していないために、オペレータの経験と勘にたよ
って試料室の真空度の制御を行わねばならず、装置の操
作性が極めて悪いばかりか、オペレータによってはなか
なか試料の帯電を消滅させることができず、像の観察自
体が行えないこともある。
【０００５】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、適確に試料の帯電の状態を検知
し、それに基づいて試料室の真空度の制御を行うことが
できる走査電子顕微鏡における試料の帯電除去方法およ
び走査電子顕微鏡を実現するにある。
もので、その目的は、適確に試料の帯電の状態を検知
し、それに基づいて試料室の真空度の制御を行うことが
できる走査電子顕微鏡における試料の帯電除去方法およ
び走査電子顕微鏡を実現するにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に基づく
走査電子顕微鏡における試料の帯電除去方法は、試料に
電子ビームを照射すると共に、試料上で電子ビームを走
査し、試料から得られた信号に基づいて試料の走査像を
表示するようにした走査電子顕微鏡において、試料から
得られた信号を２値化し、２値化信号に基づいて試料の
帯電の有無を判定し、帯電ありと判定された場合には、
試料が入れられた試料室の真空度を変化させるようにし
たことを特徴としている。
走査電子顕微鏡における試料の帯電除去方法は、試料に
電子ビームを照射すると共に、試料上で電子ビームを走
査し、試料から得られた信号に基づいて試料の走査像を
表示するようにした走査電子顕微鏡において、試料から
得られた信号を２値化し、２値化信号に基づいて試料の
帯電の有無を判定し、帯電ありと判定された場合には、
試料が入れられた試料室の真空度を変化させるようにし
たことを特徴としている。
【０００７】請求項１の発明では、試料から得られた信
号を２値化し、２値化信号に基づいて試料の帯電の有無
を判定し、帯電ありと判定された場合には、試料が入れ
られた試料室の真空度を変化させる。
号を２値化し、２値化信号に基づいて試料の帯電の有無
を判定し、帯電ありと判定された場合には、試料が入れ
られた試料室の真空度を変化させる。
【０００８】請求項２の発明に基づく走査電子顕微鏡に
おける試料の帯電除去方法は、請求項１の発明におい
て、複数の２値化画像を取得し、それぞれの画像の間の
像のシフトに基づき帯電の有無を判定することを特徴と
している。
おける試料の帯電除去方法は、請求項１の発明におい
て、複数の２値化画像を取得し、それぞれの画像の間の
像のシフトに基づき帯電の有無を判定することを特徴と
している。
【０００９】請求項２の発明では、複数の２値化画像を
取得し、それぞれの画像の間の像のシフトに基づき帯電
の有無を判定する。請求項３の発明に基づく走査電子顕
微鏡における試料の帯電除去方法は、請求項１の発明に
おいて、２値化画像を取得し、その画像の内の白レベル
の像の割合に基づき帯電の有無を判定することを特徴と
している。
取得し、それぞれの画像の間の像のシフトに基づき帯電
の有無を判定する。請求項３の発明に基づく走査電子顕
微鏡における試料の帯電除去方法は、請求項１の発明に
おいて、２値化画像を取得し、その画像の内の白レベル
の像の割合に基づき帯電の有無を判定することを特徴と
している。
【００１０】請求項３の発明では、２値化画像を取得
し、その画像の内の白レベルの像の割合に基づき帯電の
有無を判定する。請求項４の発明に基づく走査電子顕微
鏡は、試料に電子ビームを照射すると共に、試料上で電
子ビームを走査し、試料から得られた信号に基づいて試
料の走査像を表示するようにした走査電子顕微鏡におい
て、試料から得られた信号を２値化する手段、２値化信
号に基づいて試料の帯電の有無を判定する判定手段、判
定手段の信号に基づいて試料室の真空度を制御する手段
とから成ることを特徴としている。
し、その画像の内の白レベルの像の割合に基づき帯電の
有無を判定する。請求項４の発明に基づく走査電子顕微
鏡は、試料に電子ビームを照射すると共に、試料上で電
子ビームを走査し、試料から得られた信号に基づいて試
料の走査像を表示するようにした走査電子顕微鏡におい
て、試料から得られた信号を２値化する手段、２値化信
号に基づいて試料の帯電の有無を判定する判定手段、判
定手段の信号に基づいて試料室の真空度を制御する手段
とから成ることを特徴としている。
【００１１】請求項４の発明では、試料から得られた信
号を２値化する手段、２値化信号に基づいて試料の帯電
の有無を判定する判定手段、判定手段の信号に基づいて
試料室の真空度を制御する手段とから成り、試料から得
られた信号を２値化し、２値化信号に基づいて試料の帯
電の有無を判定し、帯電ありと判定された場合には、試
料が入れられた試料室の真空度を変化させる。
号を２値化する手段、２値化信号に基づいて試料の帯電
の有無を判定する判定手段、判定手段の信号に基づいて
試料室の真空度を制御する手段とから成り、試料から得
られた信号を２値化し、２値化信号に基づいて試料の帯
電の有無を判定し、帯電ありと判定された場合には、試
料が入れられた試料室の真空度を変化させる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明を実施するた
めの走査電子顕微鏡の一例を示している。図中１は電子
光学鏡筒であり、鏡筒１の上部には電子銃２が設けられ
ている。電子銃２から発生し加速された電子ビームＥＢ
は、コンデンサレンズ３と対物レンズ４とによって細く
集束される。
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明を実施するた
めの走査電子顕微鏡の一例を示している。図中１は電子
光学鏡筒であり、鏡筒１の上部には電子銃２が設けられ
ている。電子銃２から発生し加速された電子ビームＥＢ
は、コンデンサレンズ３と対物レンズ４とによって細く
集束される。
【００１３】鏡筒１の下部には、試料室５が配置されて
いるが、鏡筒１と試料室５との間には、オリフィス６が
設けられ、鏡筒１内部と試料室５内部とで真空度の差が
形成されるように構成されている。
いるが、鏡筒１と試料室５との間には、オリフィス６が
設けられ、鏡筒１内部と試料室５内部とで真空度の差が
形成されるように構成されている。
【００１４】試料室５の内部には、試料７が配置され、
また、試料室７の上部には、ドーナツ状の後方散乱電子
（反射電子）検出器８が設けられている。図示していな
いが、鏡筒１内部には、走査コイルが設けられており、
走査コイルに走査信号を供給することにより、倍率に応
じて試料７の所定の２次元領域は電子ビームＥＢによっ
て走査される。
また、試料室７の上部には、ドーナツ状の後方散乱電子
（反射電子）検出器８が設けられている。図示していな
いが、鏡筒１内部には、走査コイルが設けられており、
走査コイルに走査信号を供給することにより、倍率に応
じて試料７の所定の２次元領域は電子ビームＥＢによっ
て走査される。
【００１５】鏡筒１内部と試料室５内部は、ロータリー
ポンプ９と拡散ポンプ１０によって排気され、また、試
料室５はロータリーポンプ１１によっても排気される。
試料室５にはリーク弁１２が取り付けられており、試料
室５内部は、このリーク弁１２を介して適宜な真空度に
制御される。また、試料室５内部の真空度を測定するた
め、真空計１３が設けられている。
ポンプ９と拡散ポンプ１０によって排気され、また、試
料室５はロータリーポンプ１１によっても排気される。
試料室５にはリーク弁１２が取り付けられており、試料
室５内部は、このリーク弁１２を介して適宜な真空度に
制御される。また、試料室５内部の真空度を測定するた
め、真空計１３が設けられている。
【００１６】反射電子検出器８によって検出された信号
は、増幅器１４によって増幅された後、反射電子制御回
路１５に供給される。反射電子制御回路１５は、反射電
子信号の振幅の調整や、ノイズの除去等を行う。制御回
路１５の出力信号は、画像処理回路１６に供給される。
は、増幅器１４によって増幅された後、反射電子制御回
路１５に供給される。反射電子制御回路１５は、反射電
子信号の振幅の調整や、ノイズの除去等を行う。制御回
路１５の出力信号は、画像処理回路１６に供給される。
【００１７】画像処理回路１６は、信号のデジタル化を
行い、内部のフレームメモリーに信号を記憶させると共
に、画像の積算処理をして信号のＳＮ比を向上させる。
また、この処理回路１６は画像信号の２値化処理を行
う。画像処理回路１６からの信号は陰極線管１７に供給
され、陰極線管１７には試料７の走査反射電子像が表示
される。
行い、内部のフレームメモリーに信号を記憶させると共
に、画像の積算処理をして信号のＳＮ比を向上させる。
また、この処理回路１６は画像信号の２値化処理を行
う。画像処理回路１６からの信号は陰極線管１７に供給
され、陰極線管１７には試料７の走査反射電子像が表示
される。
【００１８】画像処理回路１６で２値化された信号は、
帯電有無判定回路１８に供給される。判定回路１８で
は、２値化された信号に基づいて試料の帯電の有無を判
定する。判定回路１８によって判定された結果の信号
は、真空圧力調整回路１９に供給される。真空圧力調整
回路１９は、試料７の帯電の有無によって、リーク弁１
２の調整器２０を制御する。このような構成の動作を次
に説明する。
帯電有無判定回路１８に供給される。判定回路１８で
は、２値化された信号に基づいて試料の帯電の有無を判
定する。判定回路１８によって判定された結果の信号
は、真空圧力調整回路１９に供給される。真空圧力調整
回路１９は、試料７の帯電の有無によって、リーク弁１
２の調整器２０を制御する。このような構成の動作を次
に説明する。
【００１９】試料７の反射電子像を観察する場合、電子
銃２からの電子ビームＥＢをコンデンサレンズ３、対物
レンズ４によって試料７上に細く集束すると共に、試料
７上で電子ビームを２次元的に走査する。試料７から発
生した反射電子は、検出器８によって検出される。
銃２からの電子ビームＥＢをコンデンサレンズ３、対物
レンズ４によって試料７上に細く集束すると共に、試料
７上で電子ビームを２次元的に走査する。試料７から発
生した反射電子は、検出器８によって検出される。
【００２０】検出器８の検出信号は、増幅器１４によっ
て増幅され、制御回路１５によって振幅の調整やノイズ
除去等の処理が行われる。制御回路１５の出力信号は、
画像処理回路１６に供給され、画像処理回路１６内のフ
レームメモリーで、画像の積算処理等が行われる。その
後フレームメモリーによって記憶された信号は、読み出
されて陰極線管１７に供給されることから、陰極線管１
７には試料の反射電子像が表示される。
て増幅され、制御回路１５によって振幅の調整やノイズ
除去等の処理が行われる。制御回路１５の出力信号は、
画像処理回路１６に供給され、画像処理回路１６内のフ
レームメモリーで、画像の積算処理等が行われる。その
後フレームメモリーによって記憶された信号は、読み出
されて陰極線管１７に供給されることから、陰極線管１
７には試料の反射電子像が表示される。
【００２１】ここで、鏡筒１内部はロータリーポンプ
９、拡散ポンプ１０によって比較的高い真空に排気され
ているが、試料室５内部は、リーク弁１２によって適宜
リークされ、試料室５内部は低い真空度に維持される。
この結果、非導電性試料であっても帯電を防止すること
ができる。なお、鏡筒１内部と試料室５内度とは、オリ
フィス６によって真空度の差が保たれている。
９、拡散ポンプ１０によって比較的高い真空に排気され
ているが、試料室５内部は、リーク弁１２によって適宜
リークされ、試料室５内部は低い真空度に維持される。
この結果、非導電性試料であっても帯電を防止すること
ができる。なお、鏡筒１内部と試料室５内度とは、オリ
フィス６によって真空度の差が保たれている。
【００２２】さて、非導電性試料の観察における帯電に
ついて考察すると、試料表面の電子ビーム照射による領
域においては、入ってくる電子流Ｉｐと出ていく電子流
Ｉｏ（Ｉｏ＝Ｉｓ＋Ｉｒ＋Ｉａｂ）がある。ここで、Ｉ
ｓは２次電子流、Ｉｒは反射電子流、Ｉａｂは吸収電子
流である。
ついて考察すると、試料表面の電子ビーム照射による領
域においては、入ってくる電子流Ｉｐと出ていく電子流
Ｉｏ（Ｉｏ＝Ｉｓ＋Ｉｒ＋Ｉａｂ）がある。ここで、Ｉ
ｓは２次電子流、Ｉｒは反射電子流、Ｉａｂは吸収電子
流である。
【００２３】試料表面が導電性を有する場合は、Ｉｐ＝
Ｉｏとなり、試料表面の電位の変化はない。しかし、試
料表面に導電性がない場合は、帯電（チャージアップ）
し、試料表面の電位が変化する。この時、Ｉｐ＞Ｉｏで
あれば、試料は負に帯電し、Ｉｐ＜Ｉｏの時は正に帯電
する。なお、一般には、負の帯電が画像に対して影響が
大きくなる。
Ｉｏとなり、試料表面の電位の変化はない。しかし、試
料表面に導電性がない場合は、帯電（チャージアップ）
し、試料表面の電位が変化する。この時、Ｉｐ＞Ｉｏで
あれば、試料は負に帯電し、Ｉｐ＜Ｉｏの時は正に帯電
する。なお、一般には、負の帯電が画像に対して影響が
大きくなる。
【００２４】実際には、試料表面での２次電子放出効率
δ（Ｉｓ＝δＩｐ）が、この帯電現象に大きな影響を与
えるが、δは電子ビームの入射エネルギー（加速電
圧）、試料傾斜角度、試料構成物質、真空圧力等により
大きく変化する。絶縁体試料での帯電がある画像は、画
像の乱れや、特定領域の輝度が部分的に上がり、良好な
る画像にはならない。
δ（Ｉｓ＝δＩｐ）が、この帯電現象に大きな影響を与
えるが、δは電子ビームの入射エネルギー（加速電
圧）、試料傾斜角度、試料構成物質、真空圧力等により
大きく変化する。絶縁体試料での帯電がある画像は、画
像の乱れや、特定領域の輝度が部分的に上がり、良好な
る画像にはならない。
【００２５】試料室を低真空にした走査電子顕微鏡で、
この画像の乱れや輝度変化を２値化像でとらえ、帯電を
制御する真空圧力調整回路にフィードバックし、試料室
真空圧力を制御することで、帯電を収斂除去できる。２
値化像のしきい値は、画像の階調を０か１にするレベル
制御であり、帯電の度合いにより、０から２５５まで設
定可能である。換言すれば、帯電が激しい場合は、２値
化しやすいが、小さい帯電は２値化しにくいので、しき
い値を変えるか、ある真空圧力マージンを設定する必要
がある。
この画像の乱れや輝度変化を２値化像でとらえ、帯電を
制御する真空圧力調整回路にフィードバックし、試料室
真空圧力を制御することで、帯電を収斂除去できる。２
値化像のしきい値は、画像の階調を０か１にするレベル
制御であり、帯電の度合いにより、０から２５５まで設
定可能である。換言すれば、帯電が激しい場合は、２値
化しやすいが、小さい帯電は２値化しにくいので、しき
い値を変えるか、ある真空圧力マージンを設定する必要
がある。
【００２６】このような考察に基づき、図１の構成で
は、帯電除去のモード（装置起動の初期段階）の時に
は、画像処理回路１６で、反射電子検出信号の２値化を
行う。この２値化した信号は、帯電有無判定回路１８に
送られて帯電の有無の判定が行われる。
は、帯電除去のモード（装置起動の初期段階）の時に
は、画像処理回路１６で、反射電子検出信号の２値化を
行う。この２値化した信号は、帯電有無判定回路１８に
送られて帯電の有無の判定が行われる。
【００２７】試料に帯電が存在する場合には、圧力調整
回路１９でリーク弁調整器２０を制御し、リーク弁１２
によって試料室５内の真空度を帯電が除去できる値にま
で変化させる。この一連の動作を図２のフローチャート
を参照して詳細に説明する。
回路１９でリーク弁調整器２０を制御し、リーク弁１２
によって試料室５内の真空度を帯電が除去できる値にま
で変化させる。この一連の動作を図２のフローチャート
を参照して詳細に説明する。
【００２８】まず、ステップ１で真空度の予備設定を行
う。これは、圧力調整回路１９からの制御によって行う
が、この予備排気は、例えば、１０Ｐａ，３０Ｐ，６０
Ｐａの３つの値から選択して行われる。ステップ２で
は、得られた反射電子信号のデジタル化を画像処理回路
１６によって行う。
う。これは、圧力調整回路１９からの制御によって行う
が、この予備排気は、例えば、１０Ｐａ，３０Ｐ，６０
Ｐａの３つの値から選択して行われる。ステップ２で
は、得られた反射電子信号のデジタル化を画像処理回路
１６によって行う。
【００２９】ステップ３では、デジタル化された信号の
２値化処理が行われるが、このときのしきい値は、適宜
決められる。図３に検出信号と２値化信号の例を示す。
図３（ａ）は検出信号であり、Ｔのレベルがしきい値で
ある。図３（ｂ）はしきい値Ｔによって白レベル（１）
と黒レベル（０）に分けられた信号を示している。この
２値化処理も画像処理回路１６で行われる。この２値化
画像は、複数枚取得され、その２値化信号は、帯電有無
判定回路１８に送られて、帯電の有無が判定される（ス
テップ４）。
２値化処理が行われるが、このときのしきい値は、適宜
決められる。図３に検出信号と２値化信号の例を示す。
図３（ａ）は検出信号であり、Ｔのレベルがしきい値で
ある。図３（ｂ）はしきい値Ｔによって白レベル（１）
と黒レベル（０）に分けられた信号を示している。この
２値化処理も画像処理回路１６で行われる。この２値化
画像は、複数枚取得され、その２値化信号は、帯電有無
判定回路１８に送られて、帯電の有無が判定される（ス
テップ４）。
【００３０】この判定は、例えば２つの方法があり、そ
の内の１つは、特定倍率で真空圧力値を変化させたＮ枚
の２値化像の比較を行い、Ｎ枚間で像のシフトがある場
合は帯電と判定する。他の方法は、特定真空圧力値で収
集した２値化像において、白レベル像が全画像面積に対
してある割合で存在すれば、帯電有りと判定する。この
判定により、帯電なしとなった場合は、予備設定値の真
空度で像の観察を行う（ステップ５）。
の内の１つは、特定倍率で真空圧力値を変化させたＮ枚
の２値化像の比較を行い、Ｎ枚間で像のシフトがある場
合は帯電と判定する。他の方法は、特定真空圧力値で収
集した２値化像において、白レベル像が全画像面積に対
してある割合で存在すれば、帯電有りと判定する。この
判定により、帯電なしとなった場合は、予備設定値の真
空度で像の観察を行う（ステップ５）。
【００３１】帯電有無の判定で、帯電ありと認識された
場合、リーク弁調整器２０を制御して、試料室５のリー
ク量を増し、真空度を例えば５Ｐａごとに低くする（ス
テップ６）。この状態で、ステップ２と同様に画像のデ
ジタル化（ステップ７）、ステップ３と同様に画像の２
値化（ステップ８）を行う。
場合、リーク弁調整器２０を制御して、試料室５のリー
ク量を増し、真空度を例えば５Ｐａごとに低くする（ス
テップ６）。この状態で、ステップ２と同様に画像のデ
ジタル化（ステップ７）、ステップ３と同様に画像の２
値化（ステップ８）を行う。
【００３２】このステップ８の後、帯電有無の判定が行
われる（ステップ９）。このステップ９により帯電の除
去が確認された場合、この真空度が読み込まれ記憶され
（ステップ１０）、この真空度に試料室５内が維持され
て像の観察が行われる。像の観察は画像処理回路１６の
フレームメモリーに画像信号を格納することによって行
われる（ステップ１１）。
われる（ステップ９）。このステップ９により帯電の除
去が確認された場合、この真空度が読み込まれ記憶され
（ステップ１０）、この真空度に試料室５内が維持され
て像の観察が行われる。像の観察は画像処理回路１６の
フレームメモリーに画像信号を格納することによって行
われる（ステップ１１）。
【００３３】前記ステップ９で数回の真空度の変化によ
っても帯電が除去されなかった場合、ステップ１２によ
り真空度の予備値が変えられる。例えば、最初の段階で
１０Ｐａであった予備値は、３０Ｐａに変えられ、その
後、ステップ２以降の動作が実行される。
っても帯電が除去されなかった場合、ステップ１２によ
り真空度の予備値が変えられる。例えば、最初の段階で
１０Ｐａであった予備値は、３０Ｐａに変えられ、その
後、ステップ２以降の動作が実行される。
【００３４】このようにして、試料室５内部の真空度は
試料の帯電がなくなる値に自動的に設定され、良好な状
態で反射電子像の観察を行うことができる。以上本発明
の一実施形態を説明したが、本発明はこの実施の形態に
限定されない。例えば、真空度を低くしながら帯電除去
のステップを実行したが、真空度を高くしながら一連の
ステップを実行しても良い。
試料の帯電がなくなる値に自動的に設定され、良好な状
態で反射電子像の観察を行うことができる。以上本発明
の一実施形態を説明したが、本発明はこの実施の形態に
限定されない。例えば、真空度を低くしながら帯電除去
のステップを実行したが、真空度を高くしながら一連の
ステップを実行しても良い。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１〜４の各
発明では、試料から得られた信号を２値化し、２値化信
号に基づいて試料の帯電の有無を判定し、帯電ありと判
定された場合には、試料が入れられた試料室の真空度を
変化させるようにしたので、オペレータの経験や勘に頼
ることなく、帯電現象の認知を自動的に行い、適切な真
空度に試料室内を維持することができる。
発明では、試料から得られた信号を２値化し、２値化信
号に基づいて試料の帯電の有無を判定し、帯電ありと判
定された場合には、試料が入れられた試料室の真空度を
変化させるようにしたので、オペレータの経験や勘に頼
ることなく、帯電現象の認知を自動的に行い、適切な真
空度に試料室内を維持することができる。
【図１】本発明を実施するための低真空走査電子顕微鏡
の一例を示す図である。
の一例を示す図である。
【図２】帯電除去の流れを示すフローチャートである。
【図３】検出信号と２値化信号を示す図である。
１ 鏡筒 ２ 電子銃 ３ コンデンサレンズ ４ 対物レンズ ５ 試料室 ６ オリフィス ７ 試料 ８ 反射電子検出器 １２ リーク弁 １５ 反射電子制御回路 １６ 画像処理回路 １７ 陰極線管 １８ 帯電有無判定回路 １９ 圧力調整回路 ２０ リーク弁調整器
Claims (4)
- 【請求項１】 試料に電子ビームを照射すると共に、試
料上で電子ビームを走査し、試料から得られた信号に基
づいて試料の走査像を表示するようにした走査電子顕微
鏡において、試料から得られた信号を２値化し、２値化
信号に基づいて試料の帯電の有無を判定し、帯電ありと
判定された場合には、試料が入れられた試料室の真空度
を変化させるようにした走査電子顕微鏡における試料の
帯電除去方法。 - 【請求項２】 複数の２値化画像を取得し、それぞれの
画像の間の像のシフトに基づき帯電の有無を判定する請
求項１記載の走査電子顕微鏡における試料の帯電除去方
法。 - 【請求項３】 ２値化画像を取得し、その画像の内の白
レベルの像の割合に基づき帯電の有無を判定する請求項
１記載の走査電子顕微鏡における試料の帯電除去方法。 - 【請求項４】 試料に電子ビームを照射すると共に、試
料上で電子ビームを走査し、試料から得られた信号に基
づいて試料の走査像を表示するようにした走査電子顕微
鏡において、試料から得られた信号を２値化する手段、
２値化信号に基づいて試料の帯電の有無を判定する判定
手段、判定手段の信号に基づいて試料室の真空度を制御
する手段とから成る走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9092269A JPH10283965A (ja) | 1997-04-10 | 1997-04-10 | 走査電子顕微鏡における試料の帯電除去方法および走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9092269A JPH10283965A (ja) | 1997-04-10 | 1997-04-10 | 走査電子顕微鏡における試料の帯電除去方法および走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10283965A true JPH10283965A (ja) | 1998-10-23 |
Family
ID=14049682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9092269A Withdrawn JPH10283965A (ja) | 1997-04-10 | 1997-04-10 | 走査電子顕微鏡における試料の帯電除去方法および走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10283965A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008226521A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
| JP2013143364A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料の内部構造を観察する荷電粒子線装置 |
-
1997
- 1997-04-10 JP JP9092269A patent/JPH10283965A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008226521A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
| JP2013143364A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料の内部構造を観察する荷電粒子線装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040706 |