JPH10281093A - ターボ分子ポンプ用磁気軸受装置の組立方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】組立分解が簡便で回転軸系の動バランスの調整
も容易な磁気軸受装置の組立方法を提供する。 【解決手段】ハウジングＨの機械室Ｍ内に、２軸能動形
ラジアル磁気軸受７、８と、ラジアル制御センサ１０、
１１とを取付け、次に、この機械室Ｍ内に、ロータ１を
固着したロータシャフト４を反ロータ側部位を下にし
て、ロータ室Ｒ側から機械室Ｍ内に挿入し、その後、シ
ャフト４の反ロータ側端部にスラスト軸支部１２を繋着
して組立てるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ロ−タを回転駆動
するロ−タシャフトを非接触で５軸制御可能に軸支する
タ−ボ分子ポンプ用磁気軸受装置の組立方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来、タ−ボ分子ポンプ（以下、ＴＭＰ
と略称する）のシャフトに適用されている軸受構造とし
ては、ロ−タ（動翼）をロ−タ室内で一体に高速回転す
るロ−タシャフトを、該シャフトに回転動力を与える機
械室内においてオイルベアリングにより軸支するように
するのが最も一般的である。ところで、この種ロ−タ等
の回転部材を超高速回転する回転機構においては、一般
に軸受構造として摩擦抵抗の少ない安定した軸承状態の
下でシャフトに円滑な高速回転が保証され、さらに軸受
寿命が長くトラブルを発生し難いメインテナンスフリ−
のものが要求されると同時に、特にＴＭＰの場合では炭
化水素等による雰囲気の汚染がないクリ−ンな真空を得
べく油潤滑を必要としないで済むものが希求されてい
る。

【０００３】かかる点より、最近ではＴＭＰ用の軸受装
置として、従来使用されてきた接触形のボ−ルベアリン
グ等に代えて、非接触形のもの特に磁気軸受を利用して
シャフトを浮上軸支するようにしたものも案出されてき
ている。しかして、現状においてＴＭＰに用いられてい
るこの種の磁気軸受装置の概要について述べると、以下
のような種類のものが列挙される。まず、従来のＴＭＰ
と駆動方式を共通するロ−タをロ−タシャフトで直接回
転せしめるようにしたタイプのＴＭＰに関しては、不完
全磁気軸受ではあるが最も構造簡易なものとして、ラジ
アル方向は従来と同じくボ−ルベアリングで軸支させる
一方、アキシャル方向のみロ−タシャフトを軸端のスラ
スト磁気軸受（スラスト制御センサを備えた能動形スラ
スト磁気軸受または永久磁石）で磁気浮上させるように
した１軸制御可能なものがある。また、より高級なもの
としては、ロ−タシャフトを完全に浮上させてこれをラ
ジアル方向の２軸とアキシャル方向の１軸で３軸制御可
能に軸支するようにしたものも既に提案されている。す
なわち、このものはロ−タシャフトを支承するラジアル
制御センサを備えた１個の２軸能動形ラジアル磁気軸受
と軸端におけるスラスト磁気軸受（この場合永久磁石を
使用するのが通例である）とにより、ロ−タシャフトを
これら３軸方向から制御可能に軸支するようにしたもの
である。次に又、従来の一般的なＴＭＰと駆動方式を異
にし、その固定シャフトの外周に別体の外輪ロ−タを配
置し、この外輪ロ−タを固定シャフトの軸心まわりに非
接触で回転させるようにしたいわゆる外輪回転形タイプ
のＴＭＰに関しては、その外輪ロ−タを固定シャフトに
対し非接触に保持して軸支するために、さらに高級な５
軸制御可能な磁気軸受装置を使用している例もある。す
なわち、この場合にはその外輪ロ−タの軸受部を、各ラ
ジアル制御センサを備えた２個の２軸能動形ラジアル磁
気軸受とスラスト制御センサを備えた１個の能動形スラ
スト磁気軸受とによって、ラジアル方向の４軸とアキシ
ャル方向の１軸の計５軸の方向から制御し、より完全な
軸受制御をなし得るものとしている。

【０００４】ＴＭＰに利用されている既知の磁気軸受装
置には以上のようなものがあるが、しかし、これらのも
のでは次のような点で改善すべき問題点ないしは不都合
がある。まず、前者に掲げた汎用タイプのＴＭＰにおけ
る磁気軸受装置については、１軸制御系のものは勿論の
こと、３軸制御系のものでもロ−タシャフトを位置決め
する制御精度が不完全であり、このためシャフトの超高
速化を企図する上では未だ十分信頼性に欠けるという問
題があることである。一方、後者に掲げた外輪回転形タ
イプのＴＭＰで適用されている５軸制御系のものについ
ては、コスト的には高くついても、磁気軸受装置自体と
しては優秀な軸受性能を発揮できる特徴がある。しか
し、この種外輪回転形タイプのものでは、構造上その外
輪ロ−タを固定シャフトに対してオ−バ−ハングさせな
ければならない制約等からポンプサイズや内部構造の面
で大型複雑化を免れないし、また外輪ロ−タの動バラン
スの設定が難かしくなり、ポンプ全体の組立ても非常に
面倒なものとなるなどの克服しがたい不都合を内在して
いる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このように
一長一短ある従来技術を基に、ＴＭＰに適用すべきより
現実的でしかもそのコスト増に見合うより多くの利点を
有する磁気軸受装置を新たに提供する目的でなされたも
のである。すなわち、本発明は基本的には、ＴＭＰに既
述の外輪回転形タイプのものがもつ諸欠点を蒙らないと
ころのロ−タをロ−タシャフトで直接回転する駆動方式
を踏襲しているとともに、このタイプのＴＭＰのロ−タ
シャフトをより完全な位置決め精度を可能にする５軸制
御可能な磁気軸受により浮上軸支させるようにし、さら
に併せてこの磁気軸受を組込んだＴＭＰの機械室内の構
成を改良工夫して、その組立、分解の便や一層の制御精
度の向上が図れるようにした優秀な軸受性能と組立分解
等の簡便性の双方に資する磁気軸受装置の組立方法を提
供せんとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、ロ−タ室内でロ−タシャフトにロ
−タを固着している一方、このロ−タシャフトを回転駆
動する機械室内において、該シャフトの長手方向に間隔
をおいたシャフトまわりに配置され各々該シャフトをラ
ジアル方向に浮上する２個の２軸能動形ラジアル磁気軸
受と、この各２軸能動形ラジアル磁気軸受近傍の前記シ
ャフトまわりに配置されて該シャフトの軸心のラジアル
変位を検出するとともにこの変位量に応じてそれぞれ前
記２軸能動形ラジアル磁気軸受の磁気浮力を可変するラ
ジアル制御センサと、前記シャフトの反ロ−タ側端部に
着脱可能に繋着されるスラスト軸支部を挟んで配置され
該シャフトをアキシャル方向に浮上する能動形スラスト
磁気軸受と、前記シャフトのスラスト軸支部における反
ロ−タ側端に対面して配置され該シャフトのアキシャル
変位を検出するとともにこの変位量に応じて前記能動形
スラスト磁気軸受の磁気浮力を可変するスラスト制御セ
ンサとを設けて、前記ロ−タシャフトを５軸制御で軸支
させるとともに、このロ−タシャフトの外径を反ロ−タ
側部位に至る程径小なものに形成したターボ分子ポンプ
用磁気軸受装置の組立方法を提供するものであり、前記
ハウジングの機械室内に、前記２軸能動形ラジアル磁気
軸受と、前記ラジアル制御センサとを取付け、次に、こ
の機械室内に、前記ロータを固着した前記ロータシャフ
トを反ロータ側部位を下にして、ロータ室側から機械室
内に挿入し、その後、前記シャフトの反ロータ側端部に
スラスト軸支部を繋着して組立てたことを特徴とする。

【０００７】このような磁気軸受装置の組立方法であれ
ば、ロ−タシャフトのスラスト軸支部を離脱した状態で
は、ロ−タシャフトがロ−タと一体に機械室内に挿脱可
能であるから、その組立分解作業が非常に簡便なものと
され、さらに、ロ−タシャフトとロ−タと一体にして動
バランスを調整修正した後、この回転軸系をそのまま組
込んで組み立てることも容易であるから、ＴＭＰ回転軸
系に動バランスをとることが簡単確実になし得るという
利点をもっている。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。第１図は、本発明に係る磁気軸受装置を備えた
ＴＭＰの構成例を示し、図において、上方の外枠ケ−ス
Ｃ内にロ−タ室（真空室）Ｒを、下方のモ−タハウジン
グＨ内に機械室Ｍを設けている。しかして、まずロ−タ
室Ｒ内では、ロ−タ１の外周から突設されるロ−タ翼
（動翼）２とケ−スＣ内周から突設されるステ−タ翼
（静翼）３とを交互に配置して所要のタ−ビン翼列を構
成しているとともに、機械室Ｍからロ−タ室Ｒ内に延出
されているロ−タシャフト４の上端部４Ａに締着ボルト
５ａで該ロ−タ１を一体回転可能に固着している。一
方、このロ−タシャフト４を所定の軸心まわりに回転駆
動する機械室Ｍの内部には、該ロ−タシャフト４に回転
動力を与えるビルドインモ−タ６と、各制御センサを具
備してロ−タシャフト４をラジアル方向とアキシャル方
向の５軸で非接触でかつ位置制御可能に軸支する能動形
磁気軸受（２個のラジアル磁気軸受７、８と１個のスラ
スト磁気軸受９）と、さらにロ−タシャフト４を直接軸
支し得るタッチベアリング１４、１５とを設けている。
この機械室Ｍ内部の構成を詳説すると、まず機械室Ｍを
その軸心方向に貫通しているロ−タシャフト４の長手方
向中途部におけるシャフト４まわりにビルドインモ−タ
６を配設している。このモ−タ６は、ハウジングＨの内
面に固定されたモ−タステ−タ６ａとロ−タシャフト４
の外面に固定され該シャフト４と一体回転するモ−タロ
−タ６ｂとからなる。この駆動用モ−タ６を上下に挟む
ロ−タシャフト４の長手方向に間隔をおいたシャフト４
まわりに、その近傍に各ラジアル制御センサ１０、１１
を付帯してシャフト４をラジアル方向に浮上する上下一
組の２軸能動形ラジアル磁気軸受７、８を配置してい
る。この２軸能動形ラジアル磁気軸受７、８は、第３図
に示すように、各々ロ−タシャフト４を垂直に切る平面
上でその軸心Ｏと交叉しかつ互いに直交する２軸
（ｘ ₁₂、ｙ₁₂）、（ｘ₃₄、ｙ₃₄）の方向に２対の電磁コ
イルを対向状に配置して構成されるもので、これらのコ
イルに通電される高周波電流に応じてロ−タシャフト４
に対する磁気浮力を可変することができ、ロ−タシャフ
ト４の軸心Ｏを前記２軸の方向から自在に調整できるよ
うになっている。そして、このラジアル磁気軸受７、８
は、ロ−タシャフト４の対面するラジアル軸支部４ｃ、
４ｄとの間にある微小な隙間（例えば片側0.1mm 程度）
を設定してハウジングＨ側に位置決め固定されている。
また、この上下の２軸能動形ラジアル磁気軸受７、８近
傍のロ−タシャフト４まわりに、これら両ラジアル磁気
軸受７、８を間に挟むようにして前記ラジアル制御セン
サ１０、１１を配置している。このラジアル制御センサ
１０、１１は、それぞれの位置におけるロ−タシャフト
４の軸心Ｏの前記２軸（ｘ ₁₂、ｙ₁₂）、（ｘ₃₄、ｙ₃₄）
方向におけるラジアル変位を検出するとともに、この検
出変位信号をＴＭＰの電源ユニット（図示せず）に内蔵
されている前記ラジアル磁気軸受７、８の各電磁コイル
に対する給電手段にフィ−ドバックし、それぞれ対応す
る前記ラジアル磁気軸受７、８の２軸方向の磁気浮力を
その検出変位量に応じて可変してロ−タシャフト４の軸
心を制御するためのものである。より具体的には、前記
ラジアル磁気軸受７、８の各電磁コイルと対応する位相
位置に、各々シャフト４の対面するラジアルセンシング
部４ｂ、４ｅとの近接容量変化で前記２軸（ｘ₁₂、
ｙ₁₂）、（ｘ₃₄、ｙ₃₄）方向の各ラジアル変位を感知す
る渦電流式センサ等を配置してなるものである。さら
に、この機械室Ｍに挿通するロ−タシャフト４の反ロ−
タ側端部に、このシャフト４と別体に形成され該シャフ
ト４に着脱可能に繋着されるスラスト軸支部１２を設け
ているとともに、このスラスト軸支部１２を上下から近
接挟持するようにしてシャフト４をアキシャル方向に浮
上するための能動形スラスト磁気軸受（電磁コイル）
９、９を配置している。すなわち、前記スラスト軸支部
１２は中心に軸貫通孔を穿った鍔状部材からなり、この
鍔状部材をロ−タシャフト４の下端の小径軸端部４Ｂに
嵌挿しさらにキャップナット５ｂを螺着してロ−タシャ
フト４の下端部から直立状に突設され、前記ナット５ｂ
を介してロ−タシャフト４の軸端部４Ｂに着脱可能に繋
着されている。そして、前記スラスト磁気軸受９は、こ
のスラスト軸支部１２を組立状態の下でその上下円周部
においてある微小な隙間（例えば片側0.30mm程度）を設
定して上下一対に近接配置されている。この能動形スラ
スト磁気軸受９は、やはりロ−タシャフト４の前記スラ
スト軸支部１２を挟んで対設される電磁コイルに通電し
その電流変化によってロ−タシャフト４に対する磁気浮
力を可変することができ、第３図に示すように、ロ−タ
シャフト４をアキシャル方向の１軸（ｚ）方向に自在に
位置調整できるようになっている。また、この能動形ス
ラスト磁気軸受９には、該スラスト磁気軸受９の磁気浮
力をロ−タシャフト４のアキシャル変位に応じて可変す
べくスラスト制御センサ１３を付帯して設けている。こ
のスラスト制御センサ１３は、ロ−タシャフト４に繋着
されている前記スラスト軸支部９の反ロ−タ側端、即ち
前記キャップナット５ｂの下端と対面するモ−タハウジ
ングＨの底蓋部内面上で該ナット下端面に近接配置され
る。このスラスト制御センサ１３には、前記ラジアル制
御センサ７、８と同様の渦電流式センサ等が利用される
とともに、該センサ１３は前記スラスト軸支部１２を挟
んだ状態で前記スラスト磁気軸受９を内蔵している軸受
ブロックＢの下端に固設されたホルダ１６の上に位置決
め保持されている。そして、このスラスト制御センサ１
３は、ロ−タシャフト４の前記１軸（ｚ）方向における
アキシャル変位を検出するとともに、前記ラジアル制御
センサ７、８と同じくその検出変位信号をＴＭＰの電源
ユニットに内蔵されたスラスト磁気軸受９の各電磁コイ
ルに対する給電手段にフィ−ドバックし、そのアキシャ
ル（ｚ）方向の磁気浮力をその検出変位量に応じて可変
してロ−タシャフト４のスラストを制御できるようにし
ている。

【０００９】したがって、これら２個のラジアル磁気軸
受７、８とスラスト磁気軸受９とにより、ロ−タシャフ
ト４は、第３図のように、間隔をおいた２平面における
ラジアル方向の各２軸（ｘ₁₂、ｙ₁₂）、（ｘ₃₄、ｙ₃₄）
と、アキシャル方向の１軸（ｚ）計５軸で制御可能に軸
支されている。また、前記タッチベアリング１４、１５
は、停電などの緊急時やロ−タシャフト４を磁気浮上す
る必要のない運転停止時などにシャフト４を軸支させる
ためのものであって、前記モ−タ６、前記ラジアル磁気
軸受７、８および前記ラジアル制御センサ１０、１１を
間に挟むロ−タ側と反ロ−タ側とで、各ロ−タシャフト
４の所定のベアリング支承部４ａ、４ｆに対面して配設
されている。そして、上方ロ−タ側のタッチベアリング
１４は、前記モ−タハウジングＨ側に固定されてシャフ
ト４をラジアル方向に支承し、下方反ロ−タ側のタッチ
ベアリング１５は前記軸受ブロックＢに固持されてシャ
フト４をラジアル方向とアキシャル方向に支承する役割
を担っている。なお、これらタッチベアリング１４、１
５とロ−タシャフト４との間の間隙は、前記ラジアル磁
気軸受７、８および前記スラスト磁気軸受９の各設定間
隙よりも小さく設定され、ＴＭＰの停止時などでは該タ
ッチベアリング１４、１５がロ−タシャフト４を直接軸
支するようになっている。

【００１０】しかして、かかる構成要素からなる磁気軸
受装置では、図示の如く、その機械室Ｍ内でロ−タシャ
フト４まわりに上方ロ−タ側から、順に、前記タッチベ
アリング１４、前記ラジアル制御センサ１０、前記ラジ
アル磁気軸受７、前記モ−タステ−タ６ａ、前記ラジア
ル磁気軸受８、前記ラジアル制御センサ１１および前記
タッチベアリング１５が配置され、さらにロ−タシャフ
ト４の下方反ロ−タ側端部に繋着された前記スラスト軸
支部１２に前記スラスト磁気軸受９と前記スラスト制御
センサ１３が配置されている。そして、この磁気軸受装
置を設けた機械室Ｍ内をその軸心方向に挿通しているロ
−タシャフト４には、前記ベアリング支承部４ａ，４
ｆ、前記ラジアルセンシング部４ｂ，４ｅおよび前記ラ
ジアル軸支部４ｃ，４ｄにそれぞれ該シャフト４と別体
のリング部材を一体回転可能に外嵌固定してこれら各部
に所要の隙間寸法を与えているとともに、第２図に示す
ように、ロ−タシャフト４に固設されるこれらのリング
部材および前記モ−タロ−タ６ｂの外径寸法に、Ｄ１＞
Ｄ２≧Ｄ３≧Ｄ４≧Ｄ５≧Ｄ６＞Ｄ７なる関係を与える
ようにしている。すなわち、ロ−タシャフト４の長手方
向各部における外径をロ−タ側から反ロ−タ側に至る程
径小なものに形成している（機械室Ｍ内のシャフト挿通
空間も上広下狭になっている）。そして、このロ−タシ
ャフト４は、その下端部に繋着される鍔状の前記スラス
ト軸支部１２を前記ナット５ｂの螺合を解除して離脱し
た状態では、前記ロ−タ１を取り付けたままで該ロ−タ
１と一体にロ−タ室Ｒ側から機械室Ｍ内に挿脱できるよ
うにようになっている。

【００１１】さらに、このような組立条件を満たすこと
を前提として、前記ラジアル制御センサ１０、１１はロ
−タシャフト４の軸心Ｏからできるだけ離れて円周位置
に配置するようにされており、このため前記ラジアルセ
ンシング部４ｂ，４ｅは前述のように、別体のリング部
材を嵌着してそれら各部位の外径寸法が径大（Ｄ２、Ｄ
６）なものになるように工夫している。

【００１２】なお、第１図において、１７と１８はこの
ＴＭＰの吸気口と排気口であり、１９は機械室Ｍ内への
電源導入部を示す。以上の構成を具備してなる磁気軸受
装置の組立て方法について説明する。まず、ロータハウ
ジングＨ内の機械室Ｍに、モータステータ６ａ、ラジア
ル磁気軸受７、８、ラジアル制御センサ１０、１１、タ
ッチベアリング１４、１５、スラスト磁気軸受９を取付
けておく。また、ロータシャフト４に、ベアリング支承
部４ａ、４ｆ、ラジアルセンシング部４ｂ、４ｅおよび
ラジアル軸支部４ｃ、４ｄを構成する別体のリング部材
を一体回転可能に外嵌固定し、ロータシャフト４の上端
部４Ａに締着ボルト５ａでロータ１を一体回転可能に固
着しておく。次に、ロータシャフト４を軸端部４Ｂを下
にして、ロータハウジングＨのロータ室Ｒ側から機械室
Ｍに挿入する。そして、スラスト軸支部１２をロータシ
ャフト４の下端の小径軸端部４Ｂに嵌挿しさらにキャッ
プナット５ｂを螺着して一体回転可能に取付ける。続い
て、ロータハウジングＨの反ロータ室Ｒ側に、スラスト
磁気軸受９を内蔵している軸受ブロックＢ、ホルダ１
６、スラスト制御センサ１３を取付ける。そして最後
に、外枠ケースＣをロータハウジングＨに取付けて、組
立てが完了する。

【００１３】以上の構成を具備してなる磁気軸受装置の
作用、効果について説明すると、まず第１にこの軸受装
置では、その磁気軸受７、８および９の磁気浮力で軸支
されるロ−タシャフト４の位置決め制御精度が非常に高
く、シャフト４を常に最適の非接触状態で軸承できるの
が特徴である。すなわち、このものではロ−タシャフト
４の長手方向に間隔をおいた２個所に配設された２軸能
動形ラジアル磁気軸受７、８とシャフト４の軸端１個所
に配設された能動形スラスト磁気軸受９とで、前述のよ
うに各ラジアル方向の２軸（ｘ₁₂、ｙ₁₂）、（ｘ₃₄、ｙ
₃₄）とアキシャル方向の１軸（ｚ）、計５軸の方向から
それぞれシャフト４の変位を検出し該シャフト４をフィ
−ドバック制御するようにしているから、ロ−タシャフ
ト４のラジアル方向とアキシャル方向の変位並びにその
傾動を的確に修正して該シャフト４を絶えず所定の軸心
位置に収束保持することが可能であり、既存の３軸以下
の制御系のものに比べるとそれだけで制御精度が飛躍的
に改善されるものとなる。そして又、この５軸制御装置
においては、特にそのラジアル制御センサ１０、１１を
ロ−タシャフト４の軸心Ｏから外遠方位置に設けるよう
にしているので、シャフト４の傾動に伴なう微小なラジ
アル変位に対しても各ラジアル制御センサ１０、１１が
鋭敏に感知することができ、このセンシング性能向上に
よりシャフト４の振動などに対する制御精度の一層の向
上を可能ならしめている。

【００１４】また、このものでは第２に、ＴＭＰ全体と
しての組立、分解が非常に簡便なものとなり、さらにロ
−タ１を含む回転系の動バランスの調整修正が容易化さ
れるのが特徴である。すなわち、ロ−タシャフト４はそ
の下端のスラスト軸支部１３を離脱した状態ではロ−タ
１と一体に機械室Ｍ内に挿脱可能なものであるので、組
立時にはロ−タ取付状態でロ−タシャフト４をその収容
空間に挿入するだけでセットできるし、分解時には逆に
軸受装置を組み外すことなく、ロ−タ１ごとシャフト４
を機械室Ｍから抜き取るようにすれば足り、いずれも作
業がきわめて簡単になし得る。そして、このようにロ−
タシャフト４とロ−タ１とが一体に組立分解できるもの
であるから、前記スラスト軸支部１３を除いた回転軸系
の殆どを一体に組立てた状態で、まずその動バランスを
動バランス機で調整修正し、その後この動バランスをと
った組立品をそのまま組込むことができ、ＴＭＰ回転軸
系の動バランスを確保する上で非常に好都合なものとな
る利点がある。

【００１５】本発明は、好適には上記実施例に示したよ
うに実施されるものであるが、ロ−タ室Ｒや機械室Ｍの
具体的な内部構成は、５軸制御可能な磁気軸受装置を具
備かつ叙述のような特定の配置組立条件を満足するもの
であれば、必ずしも図示例のものに限らないことは勿論
である。

【００１６】

【発明の効果】本発明は、以上に述べたように、ロ−タ
をロ−タシャフトで直接回転する駆動方式のＴＭＰに適
用される磁気軸受装置として、特にそのロ−タシャフト
の制御精度に優れ、しかもその組立分解が簡便で回転軸
系の動バランスの調整も容易となる特徴を兼備したもの
を提供することができたものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るＴＭＰ磁気軸受装置の
断面図。

【図２】この磁気軸受装置の機械室内おける構成部材の
配置と寸法関係を説明するための概略図。

【図３】本発明に係る５軸制御の概要を示す説明図。

【符号の説明】

Ｃ…外枠ケース Ｒ…ロータ室 Ｈ…モータハウジング Ｍ…機械室 １…ロータ ４…ロータシャフト ４ａ、４ｂ、４ｃ、６ｂ、４ｄ、４ｅ、４ｆ…ロータシ
ャフトの長手方向部位 ６…ビルドインモータ ７、８…２軸能動形ラジアル磁気軸受 ９…能動形スラスト磁気軸受 １０、１１…ラジアル制御センサ １２…スラスト軸支部 １３…スラスト制御センサ １４、１５…タッチベアリング

フロントページの続き (72)発明者 西川 秀人 京都市右京区西院追分町25番地 株式会社 島津製作所五条工場内 (72)発明者 古市 靖孝 京都市右京区西院追分町25番地 株式会社 島津製作所五条工場内 (72)発明者 京谷 拓知 大阪市中央区南船場三丁目５番８号 光洋 精工 株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ロ−タ室内でロ−タシャフトにロ−タを固
   着している一方、このロ−タシャフトを回転駆動する機
   械室内において、該シャフトの長手方向に間隔をおいた
   シャフトまわりに配置され各々該シャフトをラジアル方
   向に浮上する２個の２軸能動形ラジアル磁気軸受と、こ
   の各２軸能動形ラジアル磁気軸受近傍の前記シャフトま
   わりに配置されて該シャフトの軸心のラジアル変位を検
   出するとともにこの変位量に応じてそれぞれ前記２軸能
   動形ラジアル磁気軸受の磁気浮力を可変するラジアル制
   御センサと、前記シャフトの反ロ−タ側端部に着脱可能
   に繋着されるスラスト軸支部を挟んで配置され該シャフ
   トをアキシャル方向に浮上する能動形スラスト磁気軸受
   と、前記シャフトのスラスト軸支部における反ロ−タ側
   端に対面して配置され該シャフトのアキシャル変位を検
   出するとともにこの変位量に応じて前記能動形スラスト
   磁気軸受の磁気浮力を可変するスラスト制御センサとを
   設けて、前記ロ−タシャフトを５軸制御で軸支させると
   ともに、このロ−タシャフトの外径を反ロ−タ側部位に
   至る程径小なものに形成したターボ分子ポンプ用磁気軸
   受装置の組立方法であって、 前記ハウジングの機械室内に、前記２軸能動形ラジアル
   磁気軸受と、前記ラジアル制御センサとを取付け、次
   に、この機械室内に、前記ロータを固着した前記ロータ
   シャフトを反ロータ側部位を下にして、ロータ室側から
   機械室内に挿入し、その後、前記シャフトの反ロータ側
   端部にスラスト軸支部を繋着して組立てたことを特徴と
   するターボ分子ポンプ用磁気軸受装置の組立方法。