CN209970665U - 一种应用于精密测量的旋转平台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种应用于精密测量的旋转平台，包括：平台基座，平台基座上安装有旋转台轴体，旋转台轴体顶部贯穿平台基座，吸盘固定在旋转台轴体上，旋转台轴体底部与力矩电机连接，力矩电机动子固定在旋转台轴体上，力矩电机定子固定在平台基座底部设置的底座上，圆光栅组件安装在力矩电机的一侧，平台基座的外侧安装有四个以平台基座圆心为中心呈圆周阵列分布的支架，每个支架上均安装气缸，气缸伸缩杆正对吸盘设置，气浮轴承固定在气缸伸缩杆上且贴合于旋转台轴体外侧面设置。本应用于精密测量的旋转平台，结构简单、摩擦系数小、运动精度高。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种运动平台，具体涉及一种应用于精密测量的旋转平台。
背景技术
转台用滚动轴承作为支撑系统时，大多采用的是角接触轴承，因为角接触轴承结构简单，可以通过改变预紧力的大小来改变间隙。角接触轴承通常是成对使用的，有正向和反向两种配置方式，两种安装方式各有优缺点，需要根据实际的情况选择合理的安装方式。但轴承之间存在接触，有摩擦损耗，精度较低，因此无法满足精密测量的场合。
液体静压轴承是依靠供油装置强制地把压力润滑油液送人轴与轴承间隙中,利用液体静压支承载荷的一种滑动轴承,这种轴承处于完全液体摩擦状态。由于该轴承是靠外部压力作为支承，因此在任何转速下都有高的承载能力且油膜刚度高，通常要比轴本身的刚度高多倍。但是液体静压轴承需要在转台内部设计完整的油路，导致转台的体积比较大，而且需要配备液压站作为供油系统，额外增加了制造成本。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提出了一种应用于精密测量的旋转平台，结构简单、摩擦系数小、运动精度高。
为实现上述技术方案，本实用新型提供了一种应用于精密测量的旋转平台，包括：平台基座，所述平台基座上安装有旋转台轴体，所述旋转台轴体顶部贯穿平台基座，吸盘固定在旋转台轴体上，所述旋转台轴体底部与力矩电机连接，力矩电机动子固定在旋转台轴体上，力矩电机定子固定在平台基座底部设置的底座上，力矩电机定子安装在力矩电机动子的外侧且将力矩电机动子包裹，圆光栅组件安装在力矩电机的一侧，所述平台基座的外侧安装有四个以平台基座圆心为中心呈圆周阵列分布的支架，每个支架上均安装气缸，所述气缸伸缩杆正对吸盘设置，气浮轴承固定在气缸伸缩杆上且贴合于旋转台轴体外侧面设置。
在上述技术方案中，实际工作时，通过旋转台轴体下端的力矩电机定子驱动力矩电机动子旋转，进而可以驱动旋转台轴体的转动，安装在平台基座外侧四个位置的气浮轴承通过调节气缸的伸缩大小位置，即可调节气浮面与轴体结合面的气膜大小，实现旋转台轴体在轴向方向的无摩擦转动，通过圆光栅组件与力矩电机的配合可以实现这个旋转台轴体的全闭环控制，提高旋转台轴体旋转的精度。
优选的，所述圆光栅组件包括圆光栅和读数头，所述圆光栅固定在旋转台轴体底部且正对力矩电机动子设置，所述读数头固定在平台基座底部的底座上且正对圆光栅设置。通过圆光栅与读书头之间的配合可以精确反馈旋转台轴体的旋转角度，并控制力矩电机的自动启停，从而实现旋转台轴体的精确控制。
优选的，所述吸盘为双面吸附吸盘，双面吸附吸盘通过自身的真空吸附力与旋转台轴体同轴心连接。双面吸附吸盘可以针对性吸附异形曲面的结构件，并通过自身的可调结构，可控制吸附体的吸附面积，简单且实用。
本实用新型提供的一种应用于精密测量的旋转平台的有益效果在于：本应用于精密测量的旋转平台结构简单，操作方便，通过力矩电机与安装在平台基座外侧四个气浮轴承的配合可以实现旋转台轴体在轴向方向的无摩擦转动，并通过圆光栅组件与力矩电机的配合可以实现这个旋转台轴体高精密旋转，提高旋转平台的运动精度。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构示意图。
图2为本实用新型的主视图。
图3为图2的A-A剖视图。
图中：1、平台基座；2、支架；3、气缸；4、气浮轴承；5、吸盘；11、旋转台轴体；12、底座；13、力矩电机定子；14、力矩电机动子；15、圆光栅组件。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。本领域普通人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本实用新型的保护范围。
实施例：一种应用于精密测量的旋转平台。
参照图1至图3所示，一种应用于精密测量的旋转平台，包括：平台基座1，所述平台基座1上安装有旋转台轴体11，所述旋转台轴体11顶部贯穿平台基座1，吸盘5固定在旋转台轴体11顶部，所述吸盘5为双面吸附吸盘，双面吸附吸盘通过自身的真空吸附力与旋转台轴体11同轴心连接，双面吸附吸盘可以针对性吸附异形曲面的结构件，并通过自身的可调结构，可控制吸附体的吸附面积，简单且实用，所述旋转台轴体11底部与力矩电机连接，力矩电机动子14固定在旋转台轴体11上，力矩电机定子13固定在平台基座1底部设置的底座12上，力矩电机定子13安装在力矩电机动子14的外侧且将力矩电机动子14包裹，圆光栅组件15安装在力矩电机的一侧，所述圆光栅组件15包括圆光栅和读数头，所述圆光栅固定在旋转台轴体11底部且正对力矩电机动子14设置，所述读数头固定在平台基座1底部的底座12上且正对圆光栅设置，通过圆光栅与读书头之间的配合可以精确反馈旋转台轴体11的旋转角度，并控制力矩电机的自动启停，从而实现旋转台轴体11的精确控制，所述平台基座1的外侧安装有四个以平台基座1圆心为中心呈圆周阵列分布的支架2，每个支架2上均安装气缸3，所述气缸3伸缩杆正对吸盘5设置，气浮轴承4固定在气缸3伸缩杆上且贴合于旋转台轴体外侧面设置。
本实施例中，实际工作时，通过旋转台轴体11下端的力矩电机定子13驱动力矩电机动子14旋转，进而可以驱动旋转台轴体11的转动，安装在平台基座1外侧四个位置的气浮轴承4通过调节气缸3的伸缩大小位置，即可调节气浮面与轴体结合面的气膜大小，实现旋转台轴体11在轴向方向的无摩擦转动，通过圆光栅组件15与力矩电机的配合可以实现这个旋转台轴体11的全闭环控制，提高旋转台轴体11旋转的精度。
本应用于精密测量的旋转平台结构简单，操作方便，通过力矩电机与安装在平台基座1外侧四个气浮轴承4的配合可以实现旋转台轴体11在轴向方向的无摩擦转动，并通过圆光栅组件15与力矩电机的配合可以实现这个旋转台轴体11高精密旋转，提高旋转平台的运动精度。
以上所述为本实用新型的较佳实施例而已，但本实用新型不应局限于该实施例和附图所公开的内容，所以凡是不脱离本实用新型所公开的精神下完成的等效或修改，都落入本实用新型保护的范围。
Claims (3)
1.一种应用于精密测量的旋转平台，其特征在于包括：平台基座，所述平台基座上安装有旋转台轴体，所述旋转台轴体顶部贯穿平台基座，吸盘固定在旋转台轴体上，所述旋转台轴体底部与力矩电机连接，力矩电机动子固定在旋转台轴体上，力矩电机定子固定在平台基座底部设置的底座上，力矩电机定子安装在力矩电机动子的外侧且将力矩电机动子包裹，圆光栅组件安装在力矩电机的一侧，所述平台基座的外侧安装有四个以平台基座圆心为中心呈圆周阵列分布的支架，每个支架上均安装气缸，所述气缸伸缩杆正对吸盘设置，气浮轴承固定在气缸伸缩杆上且贴合于旋转台轴体外侧面设置。
2.如权利要求1所述的应用于精密测量的旋转平台，其特征在于：所述圆光栅组件包括圆光栅和读数头，所述圆光栅固定在旋转台轴体底部且正对力矩电机动子设置，所述读数头固定在平台基座底部的底座上且正对圆光栅设置。
3.如权利要求1所述的应用于精密测量的旋转平台，其特征在于：所述吸盘为双面吸附吸盘，双面吸附吸盘通过自身的真空吸附力与旋转台轴体同轴心连接。
Priority Applications (1)
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| CN201920785564.9U CN209970665U (zh) | 2019-05-29 | 2019-05-29 | 一种应用于精密测量的旋转平台 |
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Publications (1)
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| CN209970665U true CN209970665U (zh) | 2020-01-21 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112859276A (zh) * | 2021-03-01 | 2021-05-28 | 黑河学院 | 一种光学旋转台 |
| CN114005785A (zh) * | 2021-11-22 | 2022-02-01 | 苏州科韵激光科技有限公司 | 一种旋转平台和晶圆裂片设备 |
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2019
- 2019-05-29 CN CN201920785564.9U patent/CN209970665U/zh not_active Expired - Fee Related
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Granted publication date: 20200121 Termination date: 20210529 |
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