JPH10277469A - 部材接着方法及び部材接着装置 - Google Patents
部材接着方法及び部材接着装置Info
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Abstract
部材接着方法及び部材接着装置に関し、部材の反り及び
接着強度のむらを防止する。 【解決手段】 接着材塗布手段33を、ベース103の
塗布開始位置から一定距離離れた位置の第一の位置X1
に位置付けた後、接着材塗布手段33の接着材排出動作
を開始するとともに、移動手段30により、接着材塗布
手段33を、第一の位置X1から移動を開始する。次
に、ベース103の塗布終了位置X3において、接着材
塗布手段33の接着材排出動作を終了し、ベース103
の塗布終了位置X3から一定距離離れた位置の第二の位
置X4で移動を停止する。これにより、ブロック103
の塗布開始端X2から塗布終了端X3まで、等速移動す
る。このため、ブロック103の塗布開始端と塗布終了
端での接着材層のむらを防止できる。
Description
着するための部材接着方法及び部材接着装置に関し、特
に、薄い部材を高精度に、ベースに接着するための部材
接着方法及び部材接着装置に関する。
薄膜磁気ヘッドを、ワークに接着する工程がある。この
薄膜磁気ヘッドの接着では、後のラップ工程のために、
高い位置精度と、均一な接着強度とが、要求される。し
かしながら、薄膜磁気ヘッドは、極めて薄いため、接着
材の影響を受け、このような要求を満足するのが困難で
ある。
で、部材をベースに接着する技術が求められている。
型磁気ヘッドの説明図である。
ッドは、基板81上に形成された磁気抵抗素子82と、
書き込み素子85とを有する。磁気抵抗素子82は、図
25(B)に示すように、磁気抵抗膜83と、一対の導
体膜84からなる。磁気抵抗素子82は、外部磁界によ
り抵抗値が変化する素子である。この磁気抵抗素子82
は、磁気ディスクのトラック90の磁気力に応じた大き
さの電流を出力する読取素子である。
素子のため、書き込み素子を別に設ける必要がある。書
き込み素子85は、インダクティブヘッドで構成されて
いる。書き込み素子85は、下部磁極86と、下部磁極
86とギャップを持って対向する上部磁極88とを有す
る。これら磁極86、88の間には、これら磁極86、
88を励磁するコイル87が、設けられている。コイル
87の周囲には、非磁性絶縁層89が、設けられてい
る。
磁気抵抗素子82の磁気抵抗膜83の抵抗値が、各ヘッ
ドで一定である必要がある。しかし、磁気ヘッドの薄膜
製造工程において、この抵抗値を一定に作成すること
は、困難である。このため、磁気ヘッドの薄膜を形成し
た後、磁気抵抗膜83の高さ(幅)hを、一定に加工し
て、抵抗値を一定に揃えている。
ドの製造工程を説明する図である。
0に、薄膜技術により、多数の複合型磁気ヘッド101
を形成する。次に、図26(B)に示すように、ウェハ
ー100をカットして、ローバー101を作成する。こ
のローバー101は、1列の磁気ヘッド102から成
る。
抵抗膜83の高さを一定にラップ加工する。しかし、ロ
ーバー101は、極めて薄く、例えば、0.3ミリメー
トル程度である。このため、これをラップ加工治具に直
接取り付けることが困難である。このため、図26
(C)に示すように、取り付け治具(ベース)103
に、ローバー101を熱溶融性ワックスにより接着す
る。
バー101を、ラップ定盤104の上に置いて、ラップ
加工する。これにより、磁気抵抗膜82の高さを一定に
する。その後、図27(B)に示すように、ローバー1
01の下面101−1にスライダーを形成する。
け治具103に取り付けたまま、ローバー101を各磁
気ヘッド102にカットする。そして、図27(D)に
示すように、取り付け治具103を加熱して、熱溶融性
ワックスを溶かしながら、各磁気ヘッド102を取り出
す。
からなるローバー101を作成して、ローバー101単
位に、ラップ加工するため、多数の磁気ヘッド102の
磁気抵抗膜を一度にラップ加工できる。
単位に、ラップ加工するため、ローバー101を、取り
付け治具103に、精度良く接着する必要がある。即
ち、取り付け治具103に対する、位置や、反りにミク
ロン単位の精度が、要求される。
術の説明図である。
人手により、加熱した熱溶融性ワックスを塗布した後、
ローバー101を取り付けて、接着していた。
のも知られている。図28(A)に示すように、塗布機
構により、ベース103に、点状に接着材105を自動
塗布する。そして、その上に、部材101を置く。
をベース103の開始端から終了端に移動することによ
り、ベース103に、線状に接着材106を自動塗布す
る。そして、その上に、部材101を置く。
ーのように、1ミリメートル以下の極めて薄い部材を接
着する場合には、部材が、接着材に倣ってしまう。この
ため、従来の人手による方法では、接着材層厚にむらが
あり、部材の反りが大きく、接着強度にむらがあるとい
う問題があった。
では、点状の接着材による接着材層厚のむらにより、部
材の反りが大きく、接着強度にむらがあるという問題が
あった。
法では、図28(B)に示すように、ベース103の開
始端と終了端で、接着材層のむらが生じやすい。このた
め、部材の反りが大きく、しかも、接着強度にむらがあ
るという問題があった。
に、部材を単に置くため、部材が、接着材に倣い、部材
が反り、しかも、位置精度も低いという問題があった。
のむらを防止するための部材接着方法及びその装置を提
供することにある。
上するための部材接着方法及びその装置を提供すること
にある。
段を用いて、ベースに接着材を塗布した後、前記接着材
を介してベースに部材を接着する部材接着方法である。
そして、第1に、接着材塗布手段を、前記ベースの塗布
開始位置から一定距離離れた位置の第一の位置に位置付
ける。第2に、前記接着材塗布手段の接着材排出動作を
開始するとともに、移動手段により、前記接着材塗布手
段を、前記第一の位置から移動を開始する。第3に、ベ
ースの塗布終了位置において、前記接着材塗布手段の接
着材排出動作を終了する。第4に、前記ベースの塗布終
了位置から一定距離離れた位置の第二の位置で移動を停
止する。
れた第1の位置から移動を開始し、且つ接着材排出動作
を開始するため、ベース開始端において、等速移動す
る。このため、ベース開始端での接着材層のむらを防止
することができる。又、ベースの終了位置で接着材排出
動作を停止した後、ベースの終了端から一定距離離れた
第二の位置で移動を停止するため、ベース終了端におい
て、等速移動する。このため、ベースの終了端での接着
材層のむらを防止できる。
とができる。これにより、薄い部材を接着しても、部材
の反りや、部材の接着強度のむらを防止することができ
る。
記ベースに前記接着材を塗布する。そして、リンキング
機構により、前記部材を、前記ベースに加圧しながら、
前記部材を、前記ベースに対して、往復移動する。更
に、加圧機構により、前記部材を前記ベースに加圧しな
がら、前記部材を位置決めする。
ンキング機構により、部材をベースに加圧しながら、往
復移動するため、接着材層の気泡等の異物を除去するこ
とができ、ベースに部材をより密着させることができ
る。従って、部材の反りや、部材の接着強度のむらを防
止することができる。
位置決めするため、ベースに対し、部材の位置精度を向
上できる。更に、接着工程を自動化でき、作業者の安全
を確保できる。
材接着装置の正面図、図2は本発明の一実施の形態の部
材接着装置の上面図、図3は図2のブロック予備加熱台
の構成図、図4は図2のローバー予備加熱台の構成図で
ある。
ーバー101をブロック(ベース)103に接着するロ
ーバー接着装置を示す。
加熱台11は、ブロック103を予備加熱するためのも
のである。ローバー予備加熱台12は、ローバー101
を予備加熱するためのものである。第1のセット機構2
は、ブロック103をセットする。塗布機構3は、第1
のセット機構2にセットされたブロック103上に、熱
溶融性ワックスを塗布する。
接着されたブロック103をセットする。リンキング機
構5は、第2のセット機構4にセットされたブロック1
03上のローバー101を往復移動する。押さえ機構1
3は、第2のセット機構4にセットされたブロック10
3を押さえる。
経たブロック103をセットする。加圧・位置決め機構
7は、第3のセット機構6にセットされたブロック10
3を位置決めし、ローバー101をブロック103に加
圧する。X軸位置決め機構14は、第3のセット機構6
のローバー101及びブロック103をX軸方向に位置
決めする。Y軸位置決め機構15は、第3のセット機構
6のローバー101をY軸方向に位置決めする。
機構3、リンキング機構5及び加圧・位置決め機構7を
制御する。中継レール70は、第2のセット機構4と第
3のセット機構6との間で、ブロック103をガイドす
る。
1は、ブロック101が置かれる波形の置き台112
と、置き台112を加熱するヒーター111と、熱電対
110とを有する。図4に示すように、ローバ−予備加
熱台11は、ローバー101が置かれる波形の置き台1
22と、置き台122を加熱するヒーター120と、熱
電対121とを有する。
ロック103は、予めブロック予備加熱台11に、置い
ておき、加熱しておく。又、ローバー101は、予めロ
ーバー予備加熱台12に、置いておき、加熱しておく。
を、ブロック予備加熱台11から取り出し、第1のセッ
ト機構2に、セットする。そして、制御部10のスイッ
チを押し、塗布機構3を動作する。塗布機構3は、第1
のセット機構2にセットされたブロック103に、熱溶
融性ワックス(接着材)を塗布する。
予備加熱したローバー101をセットする。作業者は、
ローバー101がセットされたブロック103を、第2
のセット機構4に、セットする。そして、制御部10の
スイッチを押し、リンキング機構5を、動作する。リン
キング機構5は、第2のセット機構4にセットされたブ
ロック103上のローバー101を、ブロック103に
対し、往復移動する。この時、押さえ機構13は、第2
のセット機構4にセットされたブロック103を、移動
しないように、押さえる。
トされたブロック103を、中継レール70に沿って、
第3のセット機構6に搬送する。そして、制御部10の
スイッチを押し、加圧・位置決め機構7を、動作する。
加圧・位置決め動作では、X軸位置決め機構14が、ブ
ロック103及びローバー101のX軸方向の位置決め
を行い、Y軸位置決め機構15が、ブロック103に対
するローバー101のY軸方向の位置決めを行う。そし
て、加圧機構7が、ブロック103に対し、ローバー1
01を押しつけ、加圧する。
後に、ローバー101をブロック103に加圧して、往
復移動するリンキング動作を行うので、接着材層の異物
を除去し、ローバー101を、ブロック103に密着す
ることができる。又、ローバー101を、ブロック10
3に、位置決めして、加圧するので、高い位置精度で接
着することができる。
を、自動化しているので、高い精度で、ローバー101
をブロック103に接着できる。しかも、接着材に、熱
溶融性接着材を用いても、安全に作業することができ
る。
る。図5は、図1の塗布機構の正面図、図6は、図1の
塗布機構の横面図、図7は、図5のディスペンサの構成
図である。
33は、支持部材35に支持されている。支持部材35
は、空圧シリンダ32により、図の矢印Y方向(上下方
向)に移動される。支持部材35の下降位置は、ストッ
パ31により、規制される。空圧シリンダ32は、支持
部材34により、支持されている。X軸ロボット30
は、支持部材34を、図の矢印X方向(左右方向)に駆
動する。
保持するL字形状のブロック保持部20と、ブロック保
持部20に保持されたブロック103を加熱するヒータ
21とを有する。
ダ32により、上下方向に駆動され、X軸ロボット30
により、左右方向に駆動される。
外筒33ー2と、内筒33ー4とを有する。ヒータ33
ー3は、外筒33ー2と内筒33ー4との間に、設けら
れている。容器33ー5には、熱溶融性ワックスを収容
する。容器33ー5の先端には、ノズル33ー1が設け
られている。容器33ー5内には、空気導入口33ー6
から、空気が送り込まれる。
内の熱溶融性ワックスが、ヒータ33ー3により、溶か
される。そして、空気導入口33ー6からの空気の送り
込みにより、容器33ー5内のワックスが、ノズル33
ー1から排出される。
図である。制御部10は、シーケンサ回路で構成されて
いる。制御部10は、塗布機構3の空圧シリンダ32
と、X軸ロボット30と、ディスペンサ33とを、シー
クエンス制御する。
の空圧シリンダ55と、モータ50と、ブロックを押し
つけるためのXシリンダ130とを、シークエンス制御
する。制御部10は、後述する加圧・位置決め機構7の
X軸シリンダ140と、Y軸シリンダ150と、Z軸シ
リンダ73と、強制空冷機構76とを、シークエンス制
御する。
図10は、図5の塗布動作の説明図、図11は、図5の
塗布状態の説明図、図12は、比較例の説明図である。
を説明する。
されると、原点復帰動作を開始する。
を、原点に復帰させる。次に、制御部10は、X軸ロボ
ット30を、原点に復帰させる。
されると、塗布動作を開始する。制御部10は、X軸ロ
ボット30を制御して、ディスペンサ33を、下降位置
X1に位置つける。この下降位置X1は、ブロック10
3の塗布開始位置X2から一定距離ΔL離れた位置であ
る。
を制御して、ディスペンサ33を下降させる。
を制御して、塗布を開始する。即ち、ディスペンサ33
の容器33ー5に、空気を送って、ノズル33ー1か
ら、熱溶融性ワックスを排出させる。これとともに、制
御部10は、X軸ロボット30を制御して、ディスペン
サ33を、ブロック103の塗布終了位置に向かって、
移動させる。
からの位置信号により、ディスペンサ33が、ブロック
103の塗布終了位置X3に、到達したことを検出す
る。そして、制御部10は、ディスペンサ33を制御し
て、塗布を停止する。即ち、ディスペンサ33の容器3
3ー5への空気の送りを停止する。これにより、ノズル
33ー1からの熱溶融性ワックスの排出は、停止する。
からの位置信号により、ディスペンサ33が、上昇位置
X4に、到達したことを検出すると、X軸ロボット30
の移動を停止する。この上昇位置X4は、ブロック10
3の塗布終了位置X3から一定距離ΔL離れた位置であ
る。
を制御して、ディスペンサ33を上昇させる。そして、
ステップS2に戻る。
始端X2から一定距離離れた下降位置X1から、移動を
開始し、ブロック103の塗布終了端X3から一定距離
離れた上昇位置X4で、移動を停止するため、ブロック
103の塗布開始端X2から塗布終了端X3まで、等速
移動する。
塗布終了端での接着材層のむらを防止できる。従って、
図11に示すように、均一な厚みの接着材層107を形
成することができる。ここで、ノズル33−1の高さ
は、ノズル33−1からの接着材の表面張力で、接着材
の先端が、ブロック103に触れる程度が好ましい。
の周囲に、撥水性チューブ33−7(例えば、商品名
「テフロン」樹脂で構成されたチューブ)を設ける。図
12の比較例に示すように、ノズル33−1のみである
と、排出した熱溶融性ワックスが、表面張力の影響によ
り、ノズルの外周面への液上がりを生じる。しかも、排
出した熱溶融性ワックスは、温度変化により、ノズル先
端で硬化する。このため、図12に示すように、接着材
層108の厚みにむらができる。
33−1の周囲に、撥水性チューブ33−7を設けるこ
とにより、ノズル先端での表面張力の影響を減少する。
これにより、ノズルの外周面への液上がりを防止でき
る。又、温度変化による粘性変化を減少することができ
る。これにより、図11に示すように、接着材層107
の厚みのむらを防止することができる。
加熱しているので、ブロック103に塗布した接着材が
硬化することがなく、安定な接着材の塗布動作が可能と
なる。
図、図14は、図1のリンキング機構の横面図、図15
は、図13のリンキングヘッドの拡大図である。
グヘッド56は、アーム54に固定されている。アーム
54は、空圧シリンダ55により、図の矢印Y方向(上
下方向)に移動される。アーム54及び空圧シリンダ5
5は、リニアガイド53に支持されている。アーム54
の上には、重り57が設けられる。ステップモータ50
は、エンコーダ板51を回転させる。エンコーダ板51
は、連結アーム51−1により、リニアガイド53に接
続されている。センサ52は、エンコーダ板51の位置
を検出する。従って、ステップモータ50の回転によ
り、リンキングヘッド56は、図の矢印X方向(左右方
向)に駆動される。
セットされたブロック103を、移動しないように、押
さえる押さえ部材131と、これを駆動する空圧シリン
ダ130とを有する。
保持するL字形状のブロック保持部40と、ブロック保
持部40に保持されたブロック103を加熱するヒータ
41とを有する。
リンダ55により、上下方向に駆動され、ステップモー
タ50により、左右方向に駆動される。
6の先端には、密着用ゴム58が設けられている。密着
用ゴム58は、リンキング動作時に、ブロック103上
のローバー101との滑りを防止する。これにより、リ
ンキングヘッド56は、ブロック103に対し、ローバ
ー101を左右方向に移動する。
56の左右に設けられる。ズレ防止用ツメ59は、リン
キング動作時に、ローバー101のはみ出し量を最小限
に抑えるものである。
フロー図、図17は、図16のリンキング動作の説明図
(その1)、図18は、図16のリンキング動作の説明
図(その2)、図19は、図16のリンキング動作の説
明図(その3)である。
る。
押されると、原点復帰動作を開始する。
5を、原点に復帰させる。次に、制御部10は、ステッ
プモータ50を、原点に復帰させる。
押されると、リンキング動作を開始する。制御部10
は、空圧シリンダ55を制御して、リンキングヘッド5
6を下降させる。これにより、図17及び図18に示す
ように、リンキングヘッド56の密着ゴム58は、ブロ
ック103上のローバー101に密着する。この時の加
圧力は、重り57により、決定される。
50を制御して、リンキングを開始する。即ち、ステッ
プモータ50を回転させ、リンキングヘッド56を左右
に移動する。ブロック103は、押さえ機構13によ
り、押さえられている。このため、リンキングヘッド5
6の移動により、ローバー101のみが左右に移動され
る。このため、ローバー101とブロック103との間
の接着材層の異物を除去することができ、ローバー10
1をブロック103に密着させることができる。リンキ
ング回数は、ステップモータ50の回転数により、決定
される。
50が所定回転数回転したことを検出する。そして、制
御部10は、ステップモータ50の回転を停止し、リン
キング動作を停止する。次に、制御部10は、空圧シリ
ンダ55を制御して、リンキングヘッド54を上昇させ
る。そして、ステップS11に戻る。
材等により、リンキングヘッド56の密着ゴム58に対
し、ローバー101が滑る。しかし、図19に示すよう
に、ズレ防止ズメ59が、ローバー101の左右方向の
ズレを抑制するため、ローバー101のずれを最小限に
抑えることができる。
ローバー101とブロック103との間の接着材層の異
物を除去することができ、ローバー101をブロック1
03に密着させることができる。又、自動的に、リンキ
ング動作するため、リンキング回数が、一定となる。従
って、リンキング動作が一定となり、密着作業が安定す
る。
熱しているので、リンキング動作中の接着材の硬化を防
止することができる。
面図、図21は、図1の加圧・位置決め機構の横面図で
ある。
ド75は、アーム71に固定されている。アーム71
は、ガイド72に沿い、空圧シリンダ73により、図の
矢印Y方向(上下方向)に移動される。加圧ヘッド75
の先端には、密着用ゴム75−1が設けられている。ア
ーム71の上には、重り74が設けられる。冷却機構7
6は、ブロック103に空気を吹き掛けて、強制空冷す
る。
保持するL字形状のブロック保持部60と、X軸方向
で、ブロック103及びローバー101を押さえる押さ
え部材61と、Z軸方向で、ローバー101を押さえる
押さえ部材62が設けられている。
構6にセットされたブロック103及びローバー101
をX軸方向に位置決めする位置決め部材141と、これ
を駆動する空圧シリンダ140とを有する。Z軸位置決
め機構15は、第3のセット機構6にセットされたロー
バー101をZ軸方向に位置決めする位置決め部材15
1と、これを駆動する空圧シリンダ150とを有する。
は、X軸位置決め機構14により、X軸方向に位置決め
される。ローバー101は、ブロック103に対し、Z
軸方向に位置決めされる。そして、加圧ヘッド75は、
空圧シリンダ73により、上下Y方向に移動する。
動作フロー図、図23は、図20の位置決め動作の説明
図、図24は、図20の加圧動作の説明図である。
する。
押されると、原点復帰動作を開始する。
ダ73を、原点に復帰させる。次に、制御部10は、X
軸空圧シリンダ140を、原点に復帰させる。更に、制
御部10は、Z軸空圧シリンダ150を、原点に復帰さ
せる。
押されると、位置決め動作を開始する。制御部10は、
空圧シリンダ140を制御して、X軸位置決め部材14
1を駆動する。これにより、図23に示すように、X軸
位置決め部材141は、ブロック103及びローバー1
01を、X軸押さえ部材61に押しつける。これによ
り、X軸方向の位置決めを行う。
50を制御して、Z軸位置決め部材151を駆動する。
これにより、図23に示すように、Z軸位置決め部材1
51は、ローバー101を、Z軸押さえ部材62に押し
つける。これにより、ローバー101のブロック103
に対するZ軸方向の位置決めを行う。
3を制御して、加圧ヘッドを下降する。これにより、図
24に示すように、加圧ヘッド75は、ローバー101
を、ブロック103に押しつける。この時の加圧力は、
重り74に決定される。
動して、ブロック103及びローバー101を強制空冷
する。これにより、接着材が冷却され、接着材の硬化が
確実となる。
ると、空圧シリンダ140を制御して、X軸位置決め部
材141の位置決めを解除する。これにより、図23に
示すように、X軸位置決め部材141は、復帰する。更
に、制御部10は、空圧シリンダ150を制御して、Z
軸位置決め部材151の位置決めを解除する。これによ
り、図23に示すように、Z軸位置決め部材151は、
復帰する。
冷却を停止する。そして、空圧シリンダ73を制御し
て、加圧ヘッド75を上昇させる。そして、ステップS
21に戻る。
り、ローバー101をブロック103に対して位置決め
した後、ローバー101をブロック103に接着させ
る。又、冷却しているので、接着材の硬化を確実にする
ことができる。更に、自動的に、加圧・位置決め動作す
るため、位置精度が一定となる。
ような変形が可能である。
材として、磁気ヘッド列で構成されるローバーを例に説
明したが、他の薄い部材の接着にも適用することができ
る。
が、他の接着材にも適用することができる。
が、本発明の主旨の範囲内で種々の変形が可能であり、
これらを本発明の範囲から排除するものではない。
次の効果を奏する。
1の位置から移動を開始し、且つ接着材排出動作を開始
するため、ベース開始端において、等速移動する。この
ため、ベース開始端での接着材層のむらを防止すること
ができる。又、ベースの終了位置で接着材排出動作を停
止した後、ベースの終了端から一定距離離れた第二の位
置で移動を停止するため、ベース終了端において、等速
移動する。このため、ベースの終了端での接着材層のむ
らを防止できる。
とができる。これにより、薄い部材を接着しても、部材
の反りや、部材の接着強度のむらを防止することができ
る。
機構により、部材をベースに加圧しながら、往復移動す
るため、接着材層の気泡等の異物を除去することがで
き、ベースに部材をより密着させることができる。従っ
て、部材の反りや、部材の接着強度のむらを防止するこ
とができる。しかも、加圧機構により、加圧しながら、
位置決めするため、ベースに対し、部材の位置精度を向
上できる。更に、接着工程を自動化でき、作業者の安全
を確保できる。
る。
る。
図である。
図である。
る。
る。
る。
説明図(その1)である。
説明図(その2)である。
説明図(その3)である。
である。
の説明図である。
明図である。
ある。
ある。
Claims (12)
- 【請求項1】 接着材塗布手段を用いて、ベースに接着
材を塗布した後、前記接着材を介してベースに部材を接
着する部材接着方法において、 前記接着材塗布手段を、前記ベースの塗布開始位置から
一定距離離れた位置の第一の位置に位置付けるステップ
と、 前記接着材塗布手段の接着材排出動作を開始するととも
に、移動手段により、前記接着材塗布手段を、前記第一
の位置から移動を開始するステップと、 前記ベースの塗布終了位置において、前記接着材塗布手
段の接着材排出動作を終了するステップと 前記ベースの塗布終了位置から一定距離離れた位置の第
二の位置で移動を停止するステップを有することを特徴
とする部材接着方法。 - 【請求項2】 請求項1の部材接着方法において、 前記ベースの前記接着材の上に、前記部材を設けた後、
リンキング機構により、前記部材を、前記ベースに対
し、往復移動するステップを、更に有することを特徴と
する部材接着方法。 - 【請求項3】 請求項1又は2の部材接着方法におい
て、 加圧機構により、前記部材を、前記ベースに対し、位置
決めさせた後、前記部材を前記ベースに加圧するステッ
プを、更に有することを特徴とする部材接着方法。 - 【請求項4】 請求項3の部材接着方法において、 加圧するステップは、前記接着材を冷却しながら、前記
部材を前記ベースに加圧するステップであることを特徴
とする部材接着方法。 - 【請求項5】 ベースに接着材を塗布した後、前記接着
材を介してベースに部材を接着する部材接着方法におい
て、 接着材塗布手段により、前記ベースに前記接着材を塗布
するステップと、 リンキング機構により、前記部材を、前記ベースに加圧
しながら、前記部材を、前記ベースに対して、往復移動
するステップと、 加圧機構により、前記部材を前記ベースに加圧しなが
ら、前記部材を位置決めするステップとを有することを
特徴とする部材接着方法。 - 【請求項6】 ベースに接着材を塗布した後、前記接着
材を介してベースに部材を接着する装置において、 前記接着材を前記ベースに塗布するための接着材塗布手
段と、 前記接着材塗布手段を移動する移動手段とを有し、 前記移動手段は、前記接着材塗布手段を、前記ベースの
塗布開始位置から一定距離離れた位置の第一の位置から
前記開始位置を介して前記ベースの塗布終了位置から一
定距離離れた位置の第二の位置に向けて移動することを
特徴とする部材接着装置。 - 【請求項7】 請求項6の部材接着装置において、 前記接着材塗布手段は、 前記接着材を排出するための排出ノズルと、 前記排出ノズルの周囲に設けられた撥水性部材とを有す
ることを特徴とする部材接着装置。 - 【請求項8】 請求項6又は7の部材接着装置におい
て、 前記ベースの前記接着材の上に、前記部材を設けた後、
前記部材を、前記ベースに対し、往復移動するリンキン
グ機構を、更に有することを特徴とする部材接着装置。 - 【請求項9】 請求項6又は7又は8の部材接着装置に
おいて、 前記部材を、前記ベースに対し、位置決めした後、前記
部材を前記ベースに加圧する加圧機構を、更に有するこ
とを特徴とする部材接着装置。 - 【請求項10】 請求項9の部材接着装置において、 前記加圧機構は、前記接着材を冷却する冷却手段を有す
ることを特徴とする部材接着装置。 - 【請求項11】 ベースに接着材を塗布した後、前記接
着材を介してベースに部材を接着する部材接着装置にお
いて、 前記ベースに前記接着材を塗布する接着材塗布機構と、 前記部材を、前記ベースに加圧しながら、前記部材を、
前記ベースに対して、往復移動するリンキング機構と、 前記部材を前記ベースに加圧する加圧機構とを有するこ
とを特徴とする部材接着装置。 - 【請求項12】 請求項11の部材接着装置において、 前記接着材塗布機構と、前記リンキング機構は、前記ベ
ースを加熱する加熱手段を有することを特徴とする部材
接着装置。
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