JPH10275724A - 磁気ヘッド用非磁性材料 - Google Patents
磁気ヘッド用非磁性材料Info
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- JPH10275724A JPH10275724A JP9096449A JP9644997A JPH10275724A JP H10275724 A JPH10275724 A JP H10275724A JP 9096449 A JP9096449 A JP 9096449A JP 9644997 A JP9644997 A JP 9644997A JP H10275724 A JPH10275724 A JP H10275724A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気ヘッド用として磁気テープ等の媒体と摺
動しても面荒れを引き起こさず、かつ高密度な非磁性材
料を得ること。 【解決手段】 ＬａＯ3/2 ３５〜４５、ＣｏＯ １５
〜４０、ＮｉＯ ２〜２０、ＣａＯ ５〜１５、ＴｉＯ
2 １０〜３０ｍｏｌ％の組成からなり、断面で見て全
面積の８５％以上が面荒れを起こさない相で構成されて
いる。
動しても面荒れを引き起こさず、かつ高密度な非磁性材
料を得ること。 【解決手段】 ＬａＯ3/2 ３５〜４５、ＣｏＯ １５
〜４０、ＮｉＯ ２〜２０、ＣａＯ ５〜１５、ＴｉＯ
2 １０〜３０ｍｏｌ％の組成からなり、断面で見て全
面積の８５％以上が面荒れを起こさない相で構成されて
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は高密度磁気記録の磁
気ヘッドとして用いられる非磁性材料に関するものであ
る。特に、熱膨張係数の大きい薄膜磁性材料を製膜して
得られる、媒体との摺動性に優れた磁気ヘッド用非磁性
材料に関する。
気ヘッドとして用いられる非磁性材料に関するものであ
る。特に、熱膨張係数の大きい薄膜磁性材料を製膜して
得られる、媒体との摺動性に優れた磁気ヘッド用非磁性
材料に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気テープやディスク媒体と接触して記
録再生を行う磁気ヘッドとしてたとえば特開平３ー２８
７２２号公報に記されているように非磁性材料の基板上
に磁性薄膜をスパッタ等で製膜して作成される磁気ヘッ
ドは高密度記録を達成するための磁気ヘッドとして有用
であることが知られている。係る磁気ヘッドはFe-Al-S
i、Co系非晶質、Fe系結晶質等の高飽和磁束密度の合金
磁性材料をスパッタ等の薄膜形成手段を用いて製膜し、
この薄膜を磁気ギャップを介して相対峙させて作成され
る。このような磁気ヘッドを作成する上で、薄膜を製膜
する基板材料としてはMn-Znフェライトの様な磁性材料
を用いるメタルインギャップ型と非磁性材料を用いるラ
ミネート型の二種類がある。前者はフェライトを磁気回
路の一部として用いるために高い再生出力が得られる。
一方、後者は基板が非磁性のために、磁気ヘッドのイン
ダクタンスが小さく高周波での記録再生に適することお
よびバルクハウゼンノイズがフェライトより小さな合金
磁性材料のみで構成されることから、低ノイズヘッドを
容易に作成できることが特徴である。
録再生を行う磁気ヘッドとしてたとえば特開平３ー２８
７２２号公報に記されているように非磁性材料の基板上
に磁性薄膜をスパッタ等で製膜して作成される磁気ヘッ
ドは高密度記録を達成するための磁気ヘッドとして有用
であることが知られている。係る磁気ヘッドはFe-Al-S
i、Co系非晶質、Fe系結晶質等の高飽和磁束密度の合金
磁性材料をスパッタ等の薄膜形成手段を用いて製膜し、
この薄膜を磁気ギャップを介して相対峙させて作成され
る。このような磁気ヘッドを作成する上で、薄膜を製膜
する基板材料としてはMn-Znフェライトの様な磁性材料
を用いるメタルインギャップ型と非磁性材料を用いるラ
ミネート型の二種類がある。前者はフェライトを磁気回
路の一部として用いるために高い再生出力が得られる。
一方、後者は基板が非磁性のために、磁気ヘッドのイン
ダクタンスが小さく高周波での記録再生に適することお
よびバルクハウゼンノイズがフェライトより小さな合金
磁性材料のみで構成されることから、低ノイズヘッドを
容易に作成できることが特徴である。
【０００３】ところでこの様な非磁性材料を基板とする
場合には、合金薄膜材料の熱膨張係数が比較的大きいた
めに、製膜中は温度が上昇し製膜後室温に冷却される過
程で合金薄膜に著しい応力が加わる。この応力のため膜
の磁気特性が劣化することが知られている。従って、こ
の現象を避けるためには非磁性基板材料としても大きな
熱膨張係数を有することが必要である。非磁性材料とし
てはCaTiO3、MnO-NiO、およびLaO-CoO系材料が知られて
いる。特に、薄膜材料としてFe-Al-Siの様に熱膨張係数
が150×10-7/℃を越えるような材料を製膜する上ではと
りわけ大きな熱膨張係数を有する基板材料が必要であ
る。この様な材料としてはLaO-CoO系が大きな熱膨張係
数を有することから、好ましい材料である。LaO-CoO系
材料としては特開平6-329463号公報にLa2O3がLaO3/2換
算で5〜50mol％、CoOが50〜95mol％、あるいはLaOとCoO
の量は異なるがこれらに5〜47.5mol％のNiO、1〜9mol％
のCaOを加えた組成、あるいは5〜45mol％のCaO、5〜45m
ol％のTiO2を加えた組成のものが記されている。また、
LaO-CoO系が大きな熱膨張係数を有しているものの、結
晶粒が大きくボイド等の欠陥も多いことから、上記の様
なLaO、CoO以外の第３元素を加えることにより改良さ
れ、かつ実用的な 110〜 200×10-7/℃の熱膨張係数
が得られると述べてある。
場合には、合金薄膜材料の熱膨張係数が比較的大きいた
めに、製膜中は温度が上昇し製膜後室温に冷却される過
程で合金薄膜に著しい応力が加わる。この応力のため膜
の磁気特性が劣化することが知られている。従って、こ
の現象を避けるためには非磁性基板材料としても大きな
熱膨張係数を有することが必要である。非磁性材料とし
てはCaTiO3、MnO-NiO、およびLaO-CoO系材料が知られて
いる。特に、薄膜材料としてFe-Al-Siの様に熱膨張係数
が150×10-7/℃を越えるような材料を製膜する上ではと
りわけ大きな熱膨張係数を有する基板材料が必要であ
る。この様な材料としてはLaO-CoO系が大きな熱膨張係
数を有することから、好ましい材料である。LaO-CoO系
材料としては特開平6-329463号公報にLa2O3がLaO3/2換
算で5〜50mol％、CoOが50〜95mol％、あるいはLaOとCoO
の量は異なるがこれらに5〜47.5mol％のNiO、1〜9mol％
のCaOを加えた組成、あるいは5〜45mol％のCaO、5〜45m
ol％のTiO2を加えた組成のものが記されている。また、
LaO-CoO系が大きな熱膨張係数を有しているものの、結
晶粒が大きくボイド等の欠陥も多いことから、上記の様
なLaO、CoO以外の第３元素を加えることにより改良さ
れ、かつ実用的な 110〜 200×10-7/℃の熱膨張係数
が得られると述べてある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の様にLaO-CoOに
第３元素としてNiO、TiO2、CaOを加えた組成として特開
平6-329463号公報では(1)LaO3/2 5〜50mol％、CoO 50
〜95mol％ でペロプスカイト型のLaCoO3相と岩塩構造
のCoO相の２相混合（以下mol％は省略して数値のみを記
す）(2)LaO3/2 20〜45、CaO 5〜20、残部CoO (3)LaO
3/2 30〜45、CaO5〜20、CoO 50 (4)LaO3/2 20〜4
5、SrO 2〜15,残部CoO (5)LaO3/2 35〜45、SrO 5〜
15、CoO 50 (6)上記(1)および(3)にCoNiO2を複合させ
る(7)LaO3/ 2 5〜45、NiO 23〜47.5、CoO 27.5〜50
(8)LaO3/2 4〜36、CaO 1〜9、NiO5〜45、CoO 50
(9)LaO3/2 5〜45、CoO 5〜45、CaO 5〜45、TiO2 5
〜45でLaCoO3相およびCaTiO3相の２相で構成されるもの
が記されている。この組成の非磁性材料を用いて磁気ヘ
ッドを作成し、磁気テープと接触させ耐久試験を行った
ところ、これらの組成のものでは基板材料に面荒れをを
生じ、これに起因すると思われる再生出力の低下が認め
られ、高い信頼性を要求されるような磁気ヘッド用の非
磁性基板材料としては不適切であることが判明した。ま
た磁気ヘッド用の基板としては高密度であることが要求
されるが、これらの組成では焼結体の中に空孔が多かっ
た場合があった。本発明はこの様な長時間耐久試験後も
面荒れや再生出力の低下を招かないように改良するこ
と、さらに上記の様な密度が低いという欠点を改良する
事を目的とした。
第３元素としてNiO、TiO2、CaOを加えた組成として特開
平6-329463号公報では(1)LaO3/2 5〜50mol％、CoO 50
〜95mol％ でペロプスカイト型のLaCoO3相と岩塩構造
のCoO相の２相混合（以下mol％は省略して数値のみを記
す）(2)LaO3/2 20〜45、CaO 5〜20、残部CoO (3)LaO
3/2 30〜45、CaO5〜20、CoO 50 (4)LaO3/2 20〜4
5、SrO 2〜15,残部CoO (5)LaO3/2 35〜45、SrO 5〜
15、CoO 50 (6)上記(1)および(3)にCoNiO2を複合させ
る(7)LaO3/ 2 5〜45、NiO 23〜47.5、CoO 27.5〜50
(8)LaO3/2 4〜36、CaO 1〜9、NiO5〜45、CoO 50
(9)LaO3/2 5〜45、CoO 5〜45、CaO 5〜45、TiO2 5
〜45でLaCoO3相およびCaTiO3相の２相で構成されるもの
が記されている。この組成の非磁性材料を用いて磁気ヘ
ッドを作成し、磁気テープと接触させ耐久試験を行った
ところ、これらの組成のものでは基板材料に面荒れをを
生じ、これに起因すると思われる再生出力の低下が認め
られ、高い信頼性を要求されるような磁気ヘッド用の非
磁性基板材料としては不適切であることが判明した。ま
た磁気ヘッド用の基板としては高密度であることが要求
されるが、これらの組成では焼結体の中に空孔が多かっ
た場合があった。本発明はこの様な長時間耐久試験後も
面荒れや再生出力の低下を招かないように改良するこ
と、さらに上記の様な密度が低いという欠点を改良する
事を目的とした。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記のような問題点を解
決するため発明者はLaO3/2-CoO系について鋭意検討した
結果、テープとの摺動時に面荒れを生じるのは結晶組織
が単相でなく複合組織であることから、特に特定相が起
因となって面荒れを引き起こすことを見いだした。組成
について詳細に調べた所、LaO3/2-CoO-CaO-TiO2-NiOの
５元素を同時に含み、かつこれらの量を適切に選択する
ことにより単一組織に近い非磁性材料が得られ、これら
単一組織のものでは面荒れが著しく減少する事が判明し
た。さらに、この５元系において各々の量を選択するこ
とで空孔が減少する。以下に実施例を掲げて詳述する。
決するため発明者はLaO3/2-CoO系について鋭意検討した
結果、テープとの摺動時に面荒れを生じるのは結晶組織
が単相でなく複合組織であることから、特に特定相が起
因となって面荒れを引き起こすことを見いだした。組成
について詳細に調べた所、LaO3/2-CoO-CaO-TiO2-NiOの
５元素を同時に含み、かつこれらの量を適切に選択する
ことにより単一組織に近い非磁性材料が得られ、これら
単一組織のものでは面荒れが著しく減少する事が判明し
た。さらに、この５元系において各々の量を選択するこ
とで空孔が減少する。以下に実施例を掲げて詳述する。
【０００６】（実施例１）市販の酸化物、炭酸塩La
2O3、CoO、CaCO3、TiO2、NiOを所定の割合で秤量し、樹
脂を内張りにしたボルーミル中で４時間混合した。 こ
の粉末を酸化アルミの容器に入れ、電気炉中で900〜120
0℃好ましくは1100℃で２時間仮焼を行った。次に、同
じボールミルを用いて24時間粉砕した。その粉砕粒度を
測定したところほぼ１ミクロンであった。この粉砕粉に
バインダーを加え、造粒成形し、空気中、1400〜1450℃
で焼成後、1350℃1500気圧でＨＩＰ処理をして所望の非
磁性材料を得た。
2O3、CoO、CaCO3、TiO2、NiOを所定の割合で秤量し、樹
脂を内張りにしたボルーミル中で４時間混合した。 こ
の粉末を酸化アルミの容器に入れ、電気炉中で900〜120
0℃好ましくは1100℃で２時間仮焼を行った。次に、同
じボールミルを用いて24時間粉砕した。その粉砕粒度を
測定したところほぼ１ミクロンであった。この粉砕粉に
バインダーを加え、造粒成形し、空気中、1400〜1450℃
で焼成後、1350℃1500気圧でＨＩＰ処理をして所望の非
磁性材料を得た。
【０００７】この様にして作成した試料を用いて室温か
ら600℃に至る間の平均熱膨張係数および試料を研磨し
た後、ＳＥＭで断面のミクロ組織を観察し図１に示した
ような黒色に見える相の面積割合を求めた。表１にその
結果を示す。
ら600℃に至る間の平均熱膨張係数および試料を研磨し
た後、ＳＥＭで断面のミクロ組織を観察し図１に示した
ような黒色に見える相の面積割合を求めた。表１にその
結果を示す。
【０００８】
【表１】 注：組成はいずれもmol%で表す。
【０００９】表１の結果から分かるように、試料１〜９
でいずれも熱膨張係数が120×10-7/℃以上であり、かつ
黒色相の割合が15%以下に減少している。なお、空孔率
は0.2％以下と高密度である。これに対し参考例では、
熱膨張係数は大きいものの、いずれも黒色相が著しく多
い。また、空孔が大きい。参考例３はNiOを含まない特
開平6-329463号公報に記載の組成、参考例４はNiOは含
むがCaO、TiO2を含まない上記特許に記載の組成であ
る。
でいずれも熱膨張係数が120×10-7/℃以上であり、かつ
黒色相の割合が15%以下に減少している。なお、空孔率
は0.2％以下と高密度である。これに対し参考例では、
熱膨張係数は大きいものの、いずれも黒色相が著しく多
い。また、空孔が大きい。参考例３はNiOを含まない特
開平6-329463号公報に記載の組成、参考例４はNiOは含
むがCaO、TiO2を含まない上記特許に記載の組成であ
る。
【００１０】表１に示した幾つかの試料について黒色相
の組成をSEM-EDXを用いて分析した。結果を表２に示
す。
の組成をSEM-EDXを用いて分析した。結果を表２に示
す。
【００１１】
【表２】 実際の分析に当たっては黒色部の大きさが数ミクロンの
ため、主に黒色部を分析しているが、周囲を一部分析し
ている可能性もあるため、微量に検出されている元素に
ついては明確ではない。いずれにせよ表１でLaO3/2、Co
O、NiOを含む試料、LaO3/2、CoO、NiO、CaO、TiO2全て
を含む試料はCoNiに富む相が、そしてNiOを含まない組
成のものはCoO相が検出された。
ため、主に黒色部を分析しているが、周囲を一部分析し
ている可能性もあるため、微量に検出されている元素に
ついては明確ではない。いずれにせよ表１でLaO3/2、Co
O、NiOを含む試料、LaO3/2、CoO、NiO、CaO、TiO2全て
を含む試料はCoNiに富む相が、そしてNiOを含まない組
成のものはCoO相が検出された。
【００１２】本発明のような５元素系がどのような相を
生成するかは複雑と思われ、特開平6-329463にも説明は
ないが、黒色相の成分分析結果から推測すると以下のよ
うであると考えられる。すなわち、NiOを含まない場合
にはCoO単独の黒色相が生成される。これはLaO3/2-CoO
系に特有の現象である。CoO単独相は大気中に放置した
場合不安定で磁気ヘッドに用いた場合、相の脱落など信
頼性に問題を生じ易いと推察される。一方、NiOを含ん
だ場合とかつ同時にCaO、TiO2を含むとCoOの代わりに黒
色相としてはCo、Niに富む相が生成される。Co,Niに富
む相は大気中でも比較的安定な相で120℃、２気圧の飽
和水蒸気下で24時間試験しても相の変化が観察されなか
った。従って、黒色相を含む場合はCoOの生成に注意
し、Co,Ni相を生成させるように組成を吟味する必要が
ある。
生成するかは複雑と思われ、特開平6-329463にも説明は
ないが、黒色相の成分分析結果から推測すると以下のよ
うであると考えられる。すなわち、NiOを含まない場合
にはCoO単独の黒色相が生成される。これはLaO3/2-CoO
系に特有の現象である。CoO単独相は大気中に放置した
場合不安定で磁気ヘッドに用いた場合、相の脱落など信
頼性に問題を生じ易いと推察される。一方、NiOを含ん
だ場合とかつ同時にCaO、TiO2を含むとCoOの代わりに黒
色相としてはCo、Niに富む相が生成される。Co,Niに富
む相は大気中でも比較的安定な相で120℃、２気圧の飽
和水蒸気下で24時間試験しても相の変化が観察されなか
った。従って、黒色相を含む場合はCoOの生成に注意
し、Co,Ni相を生成させるように組成を吟味する必要が
ある。
【００１３】LaO3/2-CoO-NiO-CaO-TiO2の５元系で表１
の実施例の組成範囲から外れると、CoO-NiO相の生成量
が面積比率で15％以上になり、実施例３で述べるよう
に、面荒れを生じひいては再生出力の低下を招き好まし
くない。面積比で15%以下の得られる適切な組成範囲は
次のようである。すなわち、LaO3/2が35mol%より少ない
と黒色相が増える。また、45mol%より多くても黒色相は
増大する。これはCoNiからなる黒色相を生成しないため
に、La03/2、CaO、TiO2と共にCoO、NiOが単一相を生成
するのであるが、この際LaO3/2に過不足が生じると単一
相生成の成分的バランスが損なわれるためと考えられ
る。
の実施例の組成範囲から外れると、CoO-NiO相の生成量
が面積比率で15％以上になり、実施例３で述べるよう
に、面荒れを生じひいては再生出力の低下を招き好まし
くない。面積比で15%以下の得られる適切な組成範囲は
次のようである。すなわち、LaO3/2が35mol%より少ない
と黒色相が増える。また、45mol%より多くても黒色相は
増大する。これはCoNiからなる黒色相を生成しないため
に、La03/2、CaO、TiO2と共にCoO、NiOが単一相を生成
するのであるが、この際LaO3/2に過不足が生じると単一
相生成の成分的バランスが損なわれるためと考えられ
る。
【００１４】同様に、CaO、TiO2がそれぞれ5、10mol％
より少ないと焼結性が著しく悪くなり、高密度化でき
ず、逆に多いと今度はCaTiO3相を生成してクラックを生
じ易く好ましくない。また、実施例３で述べるように、
CaOは熱膨張係数を変化させるので、多く加えると目的
とする120×10-7/℃以上の熱膨張係数が得られないとい
う不都合がある。
より少ないと焼結性が著しく悪くなり、高密度化でき
ず、逆に多いと今度はCaTiO3相を生成してクラックを生
じ易く好ましくない。また、実施例３で述べるように、
CaOは熱膨張係数を変化させるので、多く加えると目的
とする120×10-7/℃以上の熱膨張係数が得られないとい
う不都合がある。
【００１５】NiOはとりわけ本発明にとって重要な元素
であることは今までの説明から理解できよう。すなわ
ち、生成する黒色相として大気中で不安定な従来のCoO
相に代わり、安定でかつその生成量を制御しやすいCoNi
相を生成させるためである。CaO、TiO2は加える量を適
切に選択すれば、特にLaO3/2とCaOが相まって黒色では
ない単一相を生成する。黒色相の減少にはとりわけ、La
O3/2とCaOを加えて45〜50mol％の場合に著しい（表１、
試料番号３、６）更に、好ましいのはCaOとTiO2の比率
が1：2の場合（試料番号４、５、８、９）である。
であることは今までの説明から理解できよう。すなわ
ち、生成する黒色相として大気中で不安定な従来のCoO
相に代わり、安定でかつその生成量を制御しやすいCoNi
相を生成させるためである。CaO、TiO2は加える量を適
切に選択すれば、特にLaO3/2とCaOが相まって黒色では
ない単一相を生成する。黒色相の減少にはとりわけ、La
O3/2とCaOを加えて45〜50mol％の場合に著しい（表１、
試料番号３、６）更に、好ましいのはCaOとTiO2の比率
が1：2の場合（試料番号４、５、８、９）である。
【００１６】（実施例２）表１中の試料番号２（黒色相
15％）、９（2％）および参考例３（60%）を用いて図２
に示す磁気ヘッドを作成した。磁気ヘッドはこれらの基
板の上に飽和磁束密度1.１T、１MＨzにおける比透磁率
1,000、熱膨張係数165×10-7/℃のFe-Al-Si膜を８ミク
ロンの厚さにスパッタした。この場合、高周波での透磁
率の低下を避けるため、１層を２ミクロンとして中間に
０.１ミクロンの酸化珪素膜を絶縁層としてスパッタし
た積層構造とした。磁気ギャップはSiO2をスパッタする
ことで0.3ミクロンに形成した。かかる磁気ヘッドを用
い市販のVTRテープを用いて接触させ毎秒6.5mの相対速
度で摺動させ、120時間の耐久試験を行った。
15％）、９（2％）および参考例３（60%）を用いて図２
に示す磁気ヘッドを作成した。磁気ヘッドはこれらの基
板の上に飽和磁束密度1.１T、１MＨzにおける比透磁率
1,000、熱膨張係数165×10-7/℃のFe-Al-Si膜を８ミク
ロンの厚さにスパッタした。この場合、高周波での透磁
率の低下を避けるため、１層を２ミクロンとして中間に
０.１ミクロンの酸化珪素膜を絶縁層としてスパッタし
た積層構造とした。磁気ギャップはSiO2をスパッタする
ことで0.3ミクロンに形成した。かかる磁気ヘッドを用
い市販のVTRテープを用いて接触させ毎秒6.5mの相対速
度で摺動させ、120時間の耐久試験を行った。
【００１７】図３および４に耐久試験を行った後の非磁
性基板のSEM写真を示す。図３は本発明の試料番号９の
試料、図４は従来の参考例３の試料である。従来例では
白色相の部分にテープと摺動した際に生じた傷が多く見
られ、著しい面荒れを生じているのが観察される。一方
本発明の試料番号９では傷や面荒れは認められない。SE
M写真から判断して、従来例で黒色部は硬度が大きいと
考えられ、このためテープと接触しても磨耗しない。一
方、白色部は硬度が低いため磨耗が進み、結果として白
色部のみが磨耗して面荒れを生じる。本発明では単層に
近いため、全体が均一に磨耗するので面荒れが生じな
い。
性基板のSEM写真を示す。図３は本発明の試料番号９の
試料、図４は従来の参考例３の試料である。従来例では
白色相の部分にテープと摺動した際に生じた傷が多く見
られ、著しい面荒れを生じているのが観察される。一方
本発明の試料番号９では傷や面荒れは認められない。SE
M写真から判断して、従来例で黒色部は硬度が大きいと
考えられ、このためテープと接触しても磨耗しない。一
方、白色部は硬度が低いため磨耗が進み、結果として白
色部のみが磨耗して面荒れを生じる。本発明では単層に
近いため、全体が均一に磨耗するので面荒れが生じな
い。
【００１８】さらに耐久試験前後の磁気ヘッドの再生出
力を測定した結果を表３に示す。
力を測定した結果を表３に示す。
【００１９】
【表３】 このように本発明では摺動耐久試験後も面荒れがないの
で再生出力の低下が殆どない。しかし、従来例では著し
い出力低下が認められる。従って、黒色相の少ない単一
相に近い本発明材料が磁気ヘッド材料として有用なこと
が分かる。
で再生出力の低下が殆どない。しかし、従来例では著し
い出力低下が認められる。従って、黒色相の少ない単一
相に近い本発明材料が磁気ヘッド材料として有用なこと
が分かる。
【００２０】（実施例３）特開平6-329463号公報にはLa
03/2-CoO系が熱膨張係数が大きいことが示されており、
本発明のLaO3/2-CoO-NiO-CaO-TiO2もこれら２元素を含
むため熱膨張係数が大きいことが推定される。表１には
一部その事実が示されている。非磁性材料としては大き
な熱膨張係数とりわけ120×10-7/℃以上のものが要求さ
れる。本発明のLaO3/2-CoO-Ni0-CaO-TiO2では、これら
の含有量の選択で熱膨張係数を制御できるが、そのうち
でも特にCaOの含有量を適切に選択することで広い範囲
で所望の熱膨張係数を得ることが可能である。
03/2-CoO系が熱膨張係数が大きいことが示されており、
本発明のLaO3/2-CoO-NiO-CaO-TiO2もこれら２元素を含
むため熱膨張係数が大きいことが推定される。表１には
一部その事実が示されている。非磁性材料としては大き
な熱膨張係数とりわけ120×10-7/℃以上のものが要求さ
れる。本発明のLaO3/2-CoO-Ni0-CaO-TiO2では、これら
の含有量の選択で熱膨張係数を制御できるが、そのうち
でも特にCaOの含有量を適切に選択することで広い範囲
で所望の熱膨張係数を得ることが可能である。
【００２１】図５はNiO量を2mol%−LaO3/2(50-X)−CaOX
−TiO22X−残りをCoOmol%とした組成でCaO量をX量変化
させ、実施例１と同様の条件で作成した試料の熱膨張係
数である。CaO15mol%以下で120×10-7/℃以上の値が得
られ、かつ5mol%以上で220×10-7/℃以下の所望の値が
得られる。このように本材料は要求される熱膨張係数の
値を広く満足できる。
−TiO22X−残りをCoOmol%とした組成でCaO量をX量変化
させ、実施例１と同様の条件で作成した試料の熱膨張係
数である。CaO15mol%以下で120×10-7/℃以上の値が得
られ、かつ5mol%以上で220×10-7/℃以下の所望の値が
得られる。このように本材料は要求される熱膨張係数の
値を広く満足できる。
【００２２】
【発明の効果】本発明の材料を用いれば長時間の耐久試
験を行っても面荒れのないかつ再生出力の低下が少ない
磁気ヘッドを得ることが出来るという大きな効果があ
る。
験を行っても面荒れのないかつ再生出力の低下が少ない
磁気ヘッドを得ることが出来るという大きな効果があ
る。
【図１】図１は本発明の１実施例における試料の顕微鏡
写真。
写真。
【図２】図２は実施例２で示した耐久試験、再生出力測
定に供した磁気ヘッドの構成を示す外観図。
定に供した磁気ヘッドの構成を示す外観図。
【図３】図３は本発明の実施例９の試料の顕微鏡写真。
【図４】図４は従来の参考例３の試料の顕微鏡写真。
【図５】図５は本発明のLaO3/2-CoO-NiO-CaO-TiO2にお
けるCaO量と熱膨張係数の関係
けるCaO量と熱膨張係数の関係
１ 白色相、２ 黒色相、３非磁性材料、４ 非磁性材
料、５ 高飽和磁束密度の磁性膜、６ 高飽和磁束密度
の磁性膜、７ 磁気ギャップ
料、５ 高飽和磁束密度の磁性膜、６ 高飽和磁束密度
の磁性膜、７ 磁気ギャップ
Claims (4)
- 【請求項１】 LaO3/2 35〜45、CoO 15〜40、NiO 2
〜20、CaO 5〜15、TiO2 10〜30 mol％および不可避
の不純物からなる組成であることを特徴とする磁気ヘッ
ド用非磁性材料。 - 【請求項２】 LaO3/2 とCaOの合計が45〜50 mol％で
あることを特徴とする特許請求項１に記載の磁気ヘッド
用非磁性材料。 - 【請求項３】 CaOとTiO2の比がおよそ１：２であるこ
とを特徴とする特許請求項２に記載の磁気ヘッド用非磁
性材料。 - 【請求項４】 室温から600℃に至る平均熱膨張係数が1
20〜220×10-7/℃であることを特徴とする特許請求項１
〜３のいずれかに記載の磁気ヘッド用非磁性材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9096449A JPH10275724A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 磁気ヘッド用非磁性材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9096449A JPH10275724A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 磁気ヘッド用非磁性材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10275724A true JPH10275724A (ja) | 1998-10-13 |
Family
ID=14165338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9096449A Withdrawn JPH10275724A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 磁気ヘッド用非磁性材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10275724A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013150779A1 (ja) * | 2012-04-06 | 2013-10-10 | 日本特殊陶業株式会社 | 酸化物焼結体及びそれを用いた配線基板 |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP9096449A patent/JPH10275724A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013150779A1 (ja) * | 2012-04-06 | 2013-10-10 | 日本特殊陶業株式会社 | 酸化物焼結体及びそれを用いた配線基板 |
| CN104220399A (zh) * | 2012-04-06 | 2014-12-17 | 日本特殊陶业株式会社 | 氧化物烧结体和使用其的配线基板 |
| US9136033B2 (en) | 2012-04-06 | 2015-09-15 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Sintered oxide compact and circuit board using same |
| JPWO2013150779A1 (ja) * | 2012-04-06 | 2015-12-17 | 日本特殊陶業株式会社 | 酸化物焼結体及びそれを用いた配線基板 |
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