JPH10268524A - 感材吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 位置ずれを起こすことなく確実に感材を吸着
固定でき、しかも軟質感材であっても凹みを生じさせな
い感材吸着装置を提供することである。 【解決手段】 テーブル３０２上に感材が供給される
と、制御部３１４は、まず電磁弁３１１を開く。従っ
て、真空ポンプ３１０は、透孔３０６からのみ空気を引
き抜く。ここで、感材は、溝３０５の開放された上面の
全体を覆っているので、溝３０５の内部は、ほぼ閉塞さ
れた空間となり、真空ポンプ３１０による感材の吸着力
は強い。従って、感材は、頂部Ｏを原点として位置決め
された状態で強く固定される。その後、制御部３１４
は、電磁弁３１１を開いたまま、電磁弁３１２を開く。
そのため、透孔３０８からも空気が吸引されるが、各溝
３０７は、その上面の一部が露出しており、この部分で
リークが生じる。従って、各溝３０７での吸着力は比較
的弱い。また、各溝３０７でのリークの影響により、溝
３０５内の真空度が落ち、溝３０５での吸引力も当初に
比べて落ちる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感材吸着装置に関
し、より特定的には、露光装置内のテーブルに供給され
た感材を所定の位置で吸着固定するための装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、製版工程は、露光工程と
現像工程とを含む。露光工程には、平面走査型の露光装
置（以下、平面露光装置と称す）などが用いられる。平
面露光装置は、一般的には、内部に有するテーブルに水
平に載置された感光性の記録媒体（以下、感材と称す）
を副走査方向に搬送し、さらに、固定的に設置されてい
る光学系により生成された光ビームを主走査方向に走査
することによって、感材上に画像を描く装置である。こ
こで、感材とは、アルミ版に感光剤を塗布したもの（以
下、硬質感材と称す）や、ポリエステルフィルムに感光
剤を塗布したもの（以下、軟質感材と称す）がある。

【０００３】ところで、従来のある種の平面露光装置で
は、テーブル上に複数の透孔を設け、真空ポンプで各透
孔から空気を吸い込むことにより、感材をテーブル上で
吸着固定することが行われていた（特公平４−５１８１
４号公報参照）。

【０００４】図３は、上記公告公報に開示された感材吸
着装置におけるテーブルの構成を示す図である。図３に
おいて、図示しない露光装置内で移動するテーブル１上
には、複数の溝３１〜３３が形成されている。これら溝
３１〜３３の内部には、それぞれ、複数の透孔２１〜２
３が形成されている。各透孔２１〜２３は、電磁弁等を
介して、図示しない真空ポンプと接続されている。

【０００５】次に、図３に示す感材吸着装置の動作を説
明する。まず、領域α内に収まる比較的小さいサイズの
感材を用いる場合、図示しない真空ポンプは、透孔２１
からのみ空気を引き抜く。溝３１は、その上面が開放さ
れているが、テーブル１上に感材が載置されると、当該
感材によって上面が閉塞される。そのため、透孔２１か
ら空気が引き抜かれると、溝３１内は負圧状態となる。
これによって、感材が吸着固定される。次に、領域β内
に収まる中程度のサイズの感材を用いる場合、真空ポン
プは、透孔２１および２２から空気を引き抜く。この場
合、上記と同様の原理で、溝３１および３２内が負圧状
態となり、感材が吸着固定される。また、領域γまでわ
たる大サイズ感材を用いる場合、真空ポンプは、透孔２
１〜２３から空気を引き抜く。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記公告公報に開示さ
れた従来の感材吸着装置は、使用する感材のサイズに対
応して、任意に吸着領域を切り替えることができる点で
優れている。しかしながら、各溝３１〜３３の内部空間
は、その上部に感材が載置されると、閉塞領域となるの
で、感材をかなり強い力で吸着することになる。アルミ
板をベースとする硬質感材の場合は、さほど不都合は生
じないが、ポリエステルフィルムをベースとする軟質感
材の場合は、吸着力が強すぎると、溝の直上部に凹みが
生じ、露光時に悪影響を与える。

【０００７】また、上記公告公報に開示された感材吸着
装置は、使用する感材にしわがある場合、しわのついた
まま感材を強固に吸着固定するので、吸着後にしわとり
ローラでしわ伸ばしを行う必要があり、面倒な作業を伴
うと共に、装置が複雑かつ高価になるという問題点があ
った。

【０００８】従来の他の感材吸着装置が、特開平８−２
４２３４０号公報に開示されている。この公開公報に開
示された感材吸着装置は、図４に示すように、テーブル
１上に複数の溝３０が平行に形成されている。各溝３０
内には、それぞれ複数の透孔２０が形成されている。こ
こで、テーブル上に任意のサイズの感材を載置したと
き、各溝３０は、その一部が感材で覆われるだけであっ
て、残りの部分は空気と触れる。従って、この場合、真
空ポンプは、閉塞空間内の空気を引き抜くのではなく、
一部でリークのある空間内の空気を引き抜くことにな
る。そのため、感材の吸着力が、前述した公告公報の感
材吸着装置のそれよりも小さくなり、軟質感材に対して
凹みを生じさせない。

【０００９】しかしながら、一方で、上記公開公報の感
材吸着装置は、吸着力が弱いため、感材の固定力が弱
く、感材が容易にテーブル１上で動き、位置ずれを起こ
し易いという問題点があった。

【００１０】それゆえに、本発明の目的は、位置ずれを
起こすことなく確実に感材を吸着固定でき、しかも軟質
感材であっても凹みを生じさせない、さらには、しわの
生じにくい感材吸着装置を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明は、露光装置内のテーブルに供給された感材を所定
の位置で吸着固定するための感材吸着装置であって、所
定の位置の基準となる点の近傍であるテーブル上の第１
の領域において、感材を相対的に強い力で吸着する第１
の吸着手段と、第１の領域以外のテーブル上の第２の領
域において、感材を相対的に弱い力で吸着する第２の吸
着手段とを備え、第１の吸着手段を作動後、第２の吸着
手段を時間的にずらして作動させ、第１の吸着手段の吸
着力は、第２の吸着手段の作動によって所望の大きさま
で減退することを特徴とする。

【００１２】上記のように、第１の発明では、当初、第
１の吸着手段によって感材が強固に吸着固定されるた
め、位置ずれが生じない。また、その後、相対的に吸着
力が弱い第２の吸着手段が作動し、それに伴って第１の
吸着手段の吸着力も所望の大きさまで減退するため、感
材に対して無理な吸着力が作用する部分が無く、軟質感
材を用いた場合であっても、凹み等の問題が生じない。

【００１３】第２の発明は、第１の発明において、第１
の吸着手段は、テーブル上の第１の領域に形成された第
１の溝と、第１の溝の内底部に形成された第１の透孔と
を含み、第２の吸着手段は、テーブル上の第１の領域を
中心としてほぼ放射線方向に延びるように、第２の領域
に形成された複数の第２の溝と、各第２の溝の内底部に
形成された複数の第２の透孔とを含み、第１および第２
の吸着手段は、さらに真空ポンプと、第１の透孔と真空
ポンプとを連結する第１の連結手段と、各第２の透孔と
真空ポンプとを連結する第２の連結手段と、第１の連結
手段の途中に介挿される第１の弁手段と、第２の連結手
段の途中に介挿される第２の弁手段と、第１および第２
の弁手段の開閉を制御する制御手段とを含み、各第２の
溝は、テーブル上に供給された感材のサイズにかかわら
ず、常にその一部においてリーク部が生じるように構成
されていることを特徴とする。

【００１４】上記のように、第２の発明では、第１の領
域を中心として第２の溝の外方端部に向けて吸着力の傾
斜が生じるので、しわが生じにくい吸着を実現できる。

【００１５】第３の発明は、第２の発明において、テー
ブル上に微少な凹凸または微少な突起を形成したことを
特徴とする。

【００１６】上記のように、第３の発明では、テーブル
上に微少な凹凸または微少な突起が形成されており、こ
れらの微少な凹凸または微少な突起は、前記第１および
第２の溝に対向しない感材部分の空気を吸引するのを助
ける。その結果、テーブル上に供給された感材の吸引固
定の時間が短縮される。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下には、本発明の実施形態に係
る感材吸着装置について説明するが、それに先だって、
本実施形態が適用される製版システムの概略を、当該製
版システムの外観を示す図１を参照して説明する。

【００１８】図１において、製版システム１００は、感
材供給装置２００と、平面露光装置３００と、自動現像
装置４００とを備えている。感材供給装置２００は、記
録媒体である感材１１を収納する収納カセット２０１か
ら、当該感材１１を平面露光装置３００に供給する。平
面走査装置３００は、光学系３０１と、テーブル３０２
とを内部に含んでおり、供給された感材１１に画像を描
画する。これらの構成は、外部からの光を遮断するため
にハウジング３０３によって覆われている。ここで、感
材１１は、一般的に長方形のアルミ版に感光剤を塗布し
たり、長方形のポリエステルフィルムに感光剤を塗布し
たりして作られる。

【００１９】次に、平面露光装置３００が感材１１に画
像を描画する過程の概略を説明する。まず、感材供給装
置２００は、収納カセット２０１から取り出した感材１
１を、平面露光装置３００に供給する。この感材１１
は、平面露光装置３００内のテーブル３０２上に載置さ
れる（図１に示す矢印Ｃは、感材１１の供給経路を示し
ている）。次に、平面露光装置３００は、内部に備える
位置決め装置（図示せず）により感材１１の位置決めを
行う。その後、平面露光装置３００の搬送装置（図示せ
ず）は、感材１１を載置しているテーブル３０２を、矢
印Ｂ方向（副走査の方向）に水平に搬送する。さらに、
光学系３０１は、半導体レーザ３０１ａから出射された
光ビームを、ポリゴンミラー３０１ｂやレンズ３０１ｃ
を用いて、矢印Ａ方向（主走査の方向）に走査する。こ
こで、光ビームは、画像信号により変調を受けている。
このようにして、感材１１には、画像信号に基づく画像
が描かれる。平面露光装置３００において、感材１１の
露光が終了すると、露光済みの感材１１は、自動現像装
置４００へと排出される。本実施形態の感材吸着装置
は、平面露光装置３００内に設けられ、感材供給装置２
００からテーブル３０２上に感材１１の供給を受けたと
きに、動作する。

【００２０】次に、本発明の一実施形態に係る感材吸着
装置について、詳細に説明する。図２は、本発明の一実
施形態に係る感材吸着装置の構成を示す図である。図２
において、本実施形態の感材吸着装置は、テーブル３０
２に関連する構成と、テーブル３０２に関連して設けら
れた吸引機構５とにより構成される。

【００２１】まず、テーブル３０２の構成について説明
する。テーブル３０２には、感材１１の位置決めの原点
となる頂部Ｏの付近に、溝３０５が形成されている。こ
の溝３０５は、所定の大きさの長方形の外形線およびそ
の対角線に沿って走っている。溝３０５の内部底面に
は、長方形の各頂点部分および２本の対角線の交点部分
に、複数の透孔３０６が形成されている。

【００２２】テーブル３０２において、溝３０５の周囲
には、頂部Ｏの近傍のある点を中心として、ほぼ放射状
方向に広がる複数本（図示では、１０本）の溝３０７が
形成されている。各溝３０７は、その一端がテーブル３
０２の端部まで延びており、テーブル３０２の側面にお
いて開口している。各溝３０７の内部底面には、透孔３
０８および３０９が形成されている。各透孔３０８は、
溝３０５で規定される長方形状を取り囲むように、かつ
当該長方形の２辺と平行な方向に並ぶように配置されて
いる。各透孔３０９は、頂部Ｏから見て各透孔３０８の
さらに外方に位置し、かつ溝３０５で規定される長方形
の２辺と平行な方向に並ぶように配置されている。な
お、以下の説明では、透孔３０８と透孔溝３０９との間
の領域を領域αと規定し、透孔３０９とテーブル３０２
の端部２辺との間の領域を領域βと規定する。

【００２３】なお、テーブル３０２の上面には、その上
に載置される感材１１の露光に悪影響を与えない程度の
高さないし深さの凹凸が均一に形成されている（図示せ
ず）。これらの凹凸は、溝３０５、３０７に対向しない
感材部分をテーブル３０２上面から離隔させ、この部分
の空気を吸引するのを助ける。そのため、テーブル３０
２上面に供給された感材１１は、これらの凹凸が形成さ
れていないときよりも短時間で固定されるようになる。
また、これらの凹凸は、感材１１の全面に均一な固定力
が働くようにもしているので、これらの凹凸は、固定さ
れた感材１１にしわが発生することの防止にも資する。

【００２４】次に、吸引機構５の構成について説明す
る。吸引機構５は、真空ポンプ３１０と、電磁弁３１１
〜３１３と、制御部３１４と、エアーホース３１５〜３
１６とを備えている。各透孔３０６は、エアーホース３
１５および電磁弁３１１を介して、真空ポンプ３１０と
連結されている。各透孔３０８は、エアーホース３１
６、電磁弁３１２および電磁弁３１１を介して、真空ポ
ンプ３１０と連結されている。各透孔３０９は、エアー
ホース３１７、電磁弁３１３および電磁弁３１１を介し
て、真空ポンプ３１０と連結されている。各電磁弁３１
１〜３１３の切り替えは、ＣＰＵ等を含む制御部３１４
によって制御される。

【００２５】次に、図２に示す感材吸着装置の動作につ
いて説明する。まず、領域α内に収まる比較的小さいサ
イズの感材を用いる場合について説明する。この場合、
図１の感材供給装置２００からテーブル３０２上に感材
１１が供給され、感材１１の１つの頂部がテーブル３０
２の頂部Ｏと一致するように位置決めされると、制御部
３１４は、電磁弁３１１を開く。このとき、他の電磁弁
３１２および３１３は閉じられている。従って、真空ポ
ンプ３１０は、透孔３０６からのみ空気を引き抜く。こ
こで、感材１１は、溝３０５の開放された上面の全体を
覆っているので、溝３０５の内部は、ほぼ閉塞された空
間となる。従って、このとき、真空ポンプ３１０による
感材１１の吸着力は、強くなっている。その結果、感材
１１は、頂部Ｏを原点として位置決めされた状態で、強
く固定される。

【００２６】その後、制御部３１４は、電磁弁３１１を
開いたまま、電磁弁３１２を開く。そのため、透孔３０
８からも空気が吸引される。このとき、各溝３０７は、
その上面の一部が感材１１によって覆われるが、その他
の部分が露出している。従って、各溝３０７の内部は完
全に閉塞された空間とはならず、リーク部が存在するこ
とになる。真空ポンプ３１０は、リーク部が存在する空
間内から空気を引き抜くため、各溝３０７での吸着力は
比較的弱い。なお、電磁弁３１２、３１３が開かれるま
では、溝３０５、電磁弁３１１、真空ポンプ３１０を結
ぶ空間は閉塞されているが、電磁弁３１２、３１３が開
かれると、閉塞した空間は電磁弁３１１を通じて、リー
ク部を含む溝３０７に対して開放されるため、溝３０５
内の真空度が落ち、溝３０５での吸引力も当初に比べて
落ちることになる。これによって、溝３０５上で軟質感
材に凹みが生じるのを回避できる。

【００２７】しかし、溝３０５内にはリーク部が存在し
ないため、溝３０５での吸着力が落ちたとしても、当該
吸着力は、各溝３０７での吸着力よりも依然として大き
い。また、各溝３０７での吸着力も、溝３０５に近い一
端からリーク部の存在する他方端部に向けて吸着力が徐
々に落ちることになる。

【００２８】すなわち、本実施形態の感材吸着装置は、
頂部Ｏの付近では感材１１を強く吸着し、そこから放射
方向外方に向かうに従って、徐々に吸着力を低下させる
ような、２次元的に傾きを持った吸着状態を実現するこ
とができる。このような２次元的に傾きを持った吸着を
行うことにより、感材１１についたしわが延びやすくな
る。

【００２９】図３に示す感材吸着装置のように、感材全
体を強固にかつ均一に吸着固定するものにあっては、テ
ーブル上に載置された感材に元々しわがついている場
合、吸着時にしわの逃げ場所が無く、感材は、しわのつ
いた状態のまま瞬時に吸着固定される。これに対し、本
実施形態の感材吸着装置では、最初は、頂部Ｏの付近で
感材１１を強く吸着し、その後、その周辺を比較的弱い
力で傾きを持って吸着するようにしているため、しわが
頂部Ｏから見て外方へと逃げていく。そのため、しわの
よりにくい吸着を実現できる。

【００３０】次に領域β内に収まる比較的大きいサイズ
の感材を用いる場合について説明する。この場合、制御
部３１４は、最初は電磁弁３１１のみを開き、溝３０５
で感材１１を吸着する。その後、制御部３１４は、電磁
弁３１２および３１３も開き、各溝３０７でも感材１１
を吸着する。

【００３１】なお、感材１１のサイズが領域βを越える
場合、すなわちテーブル３０２の大きさを越える場合で
あっても、各溝３０７は、テーブル３０２の側面で開口
しているため、この開口によってリーク部が確保され
る。ただし、領域βを越えるようなサイズの感材を使用
する予定の無い場合は、各溝３０７の先端をテーブル３
０２の側面まで延ばさないようにしてもよい。また、領
域βを越えるようなサイズの感材を使用する場合であっ
ても、上記実施形態のようにテーブル３０２の側面の開
口でリーク部を形成するのに代えて、各溝３０７の内定
部に通風口を設け、それによってリーク部を確保するよ
うにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態が適用される製版システム
の概略構成を示す外観斜視図である。

【図２】本発明の一実施形態に係る感材排出吸着装置の
構成を示す図である。

【図３】第１の従来例に係る感材吸着装置のテーブルの
構成を示す上面図である。

【図４】第２の従来例に係る感材吸着装置のテーブルの
構成を示す上面図である。

【符号の説明】

１００…製版システム ２００…感材供給装置 ３００…平面露光装置 ４００…自動現像装置 １１…感材 ５…吸引機構 ３０２…テーブル ３０５、３０７…溝 ３０６、３０８、３０９…孔 ３１０…真空ポンプ ３１１〜３１３…電磁弁 ３１４…制御部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 露光装置内のテーブルに供給された感材
   を所定の位置で吸着固定するための感材吸着装置であっ
   て、 前記所定の位置の基準となる点の近傍である前記テーブ
   ル上の第１の領域において、前記感材を相対的に強い力
   で吸着する第１の吸着手段と、 前記第１の領域以外の前記テーブル上の第２の領域にお
   いて、前記感材を相対的に弱い力で吸着する第２の吸着
   手段とを備え、 前記第１の吸着手段を作動後、前記第２の吸着手段を時
   間的にずらして作動させ、 前記第１の吸着手段の吸着力は、前記第２の吸着手段の
   作動によって所望の大きさまで減退することを特徴とす
   る、感材吸着装置。
2. 【請求項２】 前記第１の吸着手段は、 前記テーブル上の前記第１の領域に形成された第１の溝
   と、 前記第１の溝の内底部に形成された第１の透孔とを含
   み、 前記第２の吸着手段は、 前記テーブル上の第１の領域を中心としてほぼ放射線方
   向に延びるように、前記第２の領域に形成された複数の
   第２の溝と、 各前記第２の溝の内底部に形成された複数の第２の透孔
   とを含み、 前記第１および第２の吸着手段は、さらに真空ポンプ
   と、 前記第１の透孔と前記真空ポンプとを連結する第１の連
   結手段と、 各前記第２の透孔と前記真空ポンプとを連結する第２の
   連結手段と、 前記第１の連結手段の途中に介挿される第１の弁手段
   と、 前記第２の連結手段の途中に介挿される第２の弁手段
   と、 前記第１および第２の弁手段の開閉を制御する制御手段
   とを含み、 各前記第２の溝は、前記テーブル上に供給された感材の
   サイズにかかわらず、常にその一部においてリーク部が
   生じるように構成されていることを特徴とする、請求項
   １に記載の感材吸着装置。
3. 【請求項３】 前記テーブル上に、微少な凹凸または微
   少な突起を形成したことを特徴とする、請求項２に記載
   の感材吸着装置。