JPH10267857A - スクラッチ傷の連続性判定方法 - Google Patents
スクラッチ傷の連続性判定方法Info
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- JPH10267857A JPH10267857A JP9020397A JP9020397A JPH10267857A JP H10267857 A JPH10267857 A JP H10267857A JP 9020397 A JP9020397 A JP 9020397A JP 9020397 A JP9020397 A JP 9020397A JP H10267857 A JPH10267857 A JP H10267857A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 誤判定された異物を再チェックして、スクラ
ッチ傷に連続した部分スクラッチ傷であると判定する。 【解決手段】 先行技術の欠陥検査装置に画像メモリ51
と画像処理部52よりなる連続性判定部５を付加し、欠陥
種別判定部41により種別が判定された各異物Ｋiと各ス
クラッチ傷Ｋs のデータを、それぞれの座標値に対応す
る画像メモリ51のアドレスに記憶する。画像処理部52
は、画像メモリ51のデータを、各スクラッチ傷Ｋs の両
端ｐ1,ｐ2 を過ぎる直線Ｑの方向に順次に隣接処理し
て、いずれかのスクラッチ傷Ｋs の直線Ｑ上またはその
近傍に異物Ｋi が存在するとき、この異物Ｋi の中心
と、このスクラッチ傷Ｋs の異物Ｋi に近い方の一端と
の間隔ｔを算出し、間隔ｔが基準間隔Ｔ以内のとき、こ
の異物Ｋi を部分スクラッチ傷Ｋs'と判定する。 【効果】 誤判定された異物Ｋi の弊害が解消される。
ッチ傷に連続した部分スクラッチ傷であると判定する。 【解決手段】 先行技術の欠陥検査装置に画像メモリ51
と画像処理部52よりなる連続性判定部５を付加し、欠陥
種別判定部41により種別が判定された各異物Ｋiと各ス
クラッチ傷Ｋs のデータを、それぞれの座標値に対応す
る画像メモリ51のアドレスに記憶する。画像処理部52
は、画像メモリ51のデータを、各スクラッチ傷Ｋs の両
端ｐ1,ｐ2 を過ぎる直線Ｑの方向に順次に隣接処理し
て、いずれかのスクラッチ傷Ｋs の直線Ｑ上またはその
近傍に異物Ｋi が存在するとき、この異物Ｋi の中心
と、このスクラッチ傷Ｋs の異物Ｋi に近い方の一端と
の間隔ｔを算出し、間隔ｔが基準間隔Ｔ以内のとき、こ
の異物Ｋi を部分スクラッチ傷Ｋs'と判定する。 【効果】 誤判定された異物Ｋi の弊害が解消される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガラス基板の表
面より検出された異物Ｋi が、スクラッチ傷Ｋsに連続
しているか否かの連続性を判定する方法に関する。
面より検出された異物Ｋi が、スクラッチ傷Ｋsに連続
しているか否かの連続性を判定する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルを構成するＴＦＴ基板は、素
材のガラス基板の表面に多数のＴＦＴ素子を形成して製
作される。表面に傷などの欠陥が存在すると、その部分
のＴＦＴ素子が不良となるので、ガラス基板は欠陥検査
装置により欠陥の有無が検査される。欠陥は多種類ある
が、代表的なものは異物Ｋi とスクラッチ傷Ｋs 、およ
び気泡Ｋb の３種類である。これを図３により説明す
る。図３において、(a) は３種類の欠陥のモデルを示
し、異物Ｋi はさまざまな直径と形状を有し、表面に固
着または付着している。スクラッチ傷Ｋs は表面の研磨
などで生じ、断面は細い溝をなし、これがある程度の長
さの直線状またはほぼ直線状に連続している。気泡Ｋb
は製造過程でガラス基板１の内部に発生する球形のもの
である。各欠陥のうち、異物Ｋi は再研磨または洗浄に
より除去できるが、スクラッチ傷Ｋs と気泡Ｋb は除去
できないもので、これらの事後処理や品質管理のため、
欠陥検査装置では各欠陥の種別を識別することが必要で
ある。図３(b) は、各欠陥に光束ＬT を投射したとき、
それぞれの散乱光の一般的な指向性を説明するもので、
異物Ｋi はほぼ無指向性の散乱光を散乱する。スクラッ
チ傷Ｋs の散乱光は、上方に強く下ほど弱い指向性があ
り、気泡Ｋb の指向性は、異物Ｋi とスクラッチ傷Ｋs
の中間である。
材のガラス基板の表面に多数のＴＦＴ素子を形成して製
作される。表面に傷などの欠陥が存在すると、その部分
のＴＦＴ素子が不良となるので、ガラス基板は欠陥検査
装置により欠陥の有無が検査される。欠陥は多種類ある
が、代表的なものは異物Ｋi とスクラッチ傷Ｋs 、およ
び気泡Ｋb の３種類である。これを図３により説明す
る。図３において、(a) は３種類の欠陥のモデルを示
し、異物Ｋi はさまざまな直径と形状を有し、表面に固
着または付着している。スクラッチ傷Ｋs は表面の研磨
などで生じ、断面は細い溝をなし、これがある程度の長
さの直線状またはほぼ直線状に連続している。気泡Ｋb
は製造過程でガラス基板１の内部に発生する球形のもの
である。各欠陥のうち、異物Ｋi は再研磨または洗浄に
より除去できるが、スクラッチ傷Ｋs と気泡Ｋb は除去
できないもので、これらの事後処理や品質管理のため、
欠陥検査装置では各欠陥の種別を識別することが必要で
ある。図３(b) は、各欠陥に光束ＬT を投射したとき、
それぞれの散乱光の一般的な指向性を説明するもので、
異物Ｋi はほぼ無指向性の散乱光を散乱する。スクラッ
チ傷Ｋs の散乱光は、上方に強く下ほど弱い指向性があ
り、気泡Ｋb の指向性は、異物Ｋi とスクラッチ傷Ｋs
の中間である。
【０００３】上記した散乱光の指向性に着目して各欠陥
の種別を判定する方法が、この出願人により、特願平８
−８７０４９号「ガラス基板の欠陥種別判定方法」とし
て特許出願されている。この方法を実行する欠陥検査装
置を、この発明の先行技術として図４により説明する。
図４に示す欠陥検査装置は、欠陥検出光学系２と信号処
理部３、およびデータ処理部４とにより構成される。欠
陥検出光学系２は、ガラス基板１の裏面側より、表面に
対して高角度θ1 と低角度θ2 で、白色光束と赤色光束
がそれぞれ投射され、両光束は表面に存在する欠陥Ｋに
より散乱し、散乱光は結像レンズを経てハーフミラー
（ＨＭ）により２分割され、その一方はフィルタＦA に
より赤色成分が除去されてＣＣＤセンサ（Ａ）の素子ｅ
に結像され、これが信号Ｓa を出力する。他方はフィル
タＦB により赤色成分が透過してＣＣＤ（Ｂ）の素子ｅ
に結像され、信号Ｓb が出力される。
の種別を判定する方法が、この出願人により、特願平８
−８７０４９号「ガラス基板の欠陥種別判定方法」とし
て特許出願されている。この方法を実行する欠陥検査装
置を、この発明の先行技術として図４により説明する。
図４に示す欠陥検査装置は、欠陥検出光学系２と信号処
理部３、およびデータ処理部４とにより構成される。欠
陥検出光学系２は、ガラス基板１の裏面側より、表面に
対して高角度θ1 と低角度θ2 で、白色光束と赤色光束
がそれぞれ投射され、両光束は表面に存在する欠陥Ｋに
より散乱し、散乱光は結像レンズを経てハーフミラー
（ＨＭ）により２分割され、その一方はフィルタＦA に
より赤色成分が除去されてＣＣＤセンサ（Ａ）の素子ｅ
に結像され、これが信号Ｓa を出力する。他方はフィル
タＦB により赤色成分が透過してＣＣＤ（Ｂ）の素子ｅ
に結像され、信号Ｓb が出力される。
【０００４】両信号Ｓa,Ｓb は、信号処理部３の強度検
出回路31に入力してそれぞれの強度Ｉa,Ｉb が検出さ
れ、演算回路32により両者の比Ｉa ／Ｉb が算出され
る。また両信号Ｓa,Ｓb はサイズ算出回路33に入力し
て、付図（ＣＣＤ）に例示する欠陥Ｋの長さＬと幅Ｗと
が算出され、さらに演算回路34により両者の比Ｌ／Ｗが
算出される。両比Ｉa ／Ｉb ，Ｌ／Ｗのデータは、デー
タ処理部４の欠陥種別判定部41に入力して、付図の種別
判定フローチャートにより処理される。すなわち、ステ
ップで比Ｉa ／Ｉb が適当な定数Ｒ1 と比較され、Ｉ
a ／Ｉb ＞Ｒ1 のときは欠陥種別はスクラッチ傷Ｋs ま
たは気泡Ｋb と判定され、さらにステップでその比Ｌ
／Ｗが適当な定数Ｒ2 と比較され、Ｌ／Ｗ＞Ｒ2 のとき
はスクラッチ傷Ｋs 、Ｌ／Ｗ≦Ｒ2 のときは気泡Ｋb と
判定される。一方ステップにおいて、Ｉa ／Ｉb ≦Ｒ
1 のときは異物Ｋi またはスクラッチ傷Ｋs と判定さ
れ、さらにステップでその比Ｌ／Ｗが定数Ｒ2 と比較
され、Ｌ／Ｗ＞Ｒ2 のときはスクラッチ傷Ｋs 、Ｌ／Ｗ
≦Ｒ2 のときは異物Ｋi と判定される。ガラス基板１の
表面は上記の２光束により全面が走査され、検出された
各欠陥の種別が上記の方法によりそれぞれ判定され、異
物Ｋi 、スクラッチ傷Ｋs 、気泡Ｋb の各データと、そ
れぞれが存在する座標値とが欠陥データ編集部42に入力
して編集され、プリンタ43によりマップ表示される。
出回路31に入力してそれぞれの強度Ｉa,Ｉb が検出さ
れ、演算回路32により両者の比Ｉa ／Ｉb が算出され
る。また両信号Ｓa,Ｓb はサイズ算出回路33に入力し
て、付図（ＣＣＤ）に例示する欠陥Ｋの長さＬと幅Ｗと
が算出され、さらに演算回路34により両者の比Ｌ／Ｗが
算出される。両比Ｉa ／Ｉb ，Ｌ／Ｗのデータは、デー
タ処理部４の欠陥種別判定部41に入力して、付図の種別
判定フローチャートにより処理される。すなわち、ステ
ップで比Ｉa ／Ｉb が適当な定数Ｒ1 と比較され、Ｉ
a ／Ｉb ＞Ｒ1 のときは欠陥種別はスクラッチ傷Ｋs ま
たは気泡Ｋb と判定され、さらにステップでその比Ｌ
／Ｗが適当な定数Ｒ2 と比較され、Ｌ／Ｗ＞Ｒ2 のとき
はスクラッチ傷Ｋs 、Ｌ／Ｗ≦Ｒ2 のときは気泡Ｋb と
判定される。一方ステップにおいて、Ｉa ／Ｉb ≦Ｒ
1 のときは異物Ｋi またはスクラッチ傷Ｋs と判定さ
れ、さらにステップでその比Ｌ／Ｗが定数Ｒ2 と比較
され、Ｌ／Ｗ＞Ｒ2 のときはスクラッチ傷Ｋs 、Ｌ／Ｗ
≦Ｒ2 のときは異物Ｋi と判定される。ガラス基板１の
表面は上記の２光束により全面が走査され、検出された
各欠陥の種別が上記の方法によりそれぞれ判定され、異
物Ｋi 、スクラッチ傷Ｋs 、気泡Ｋb の各データと、そ
れぞれが存在する座標値とが欠陥データ編集部42に入力
して編集され、プリンタ43によりマップ表示される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】さてスクラッチ傷Ｋs
は、前記したようにある程度の長さ連続した直線状また
はほぼ直線状のものであるが、その断面の大きさや、欠
陥検出光学系２の検出性能などの関係により、かならず
しも連続した状態で検出されず、分断されて断片的に検
出される場合がある。この場合、断片の長さＬが定数Ｒ
2 より長くて（Ｌ／Ｗ＞Ｒ2 ）が成立すれば、やはりス
クラッチ傷Ｋs と判定されるが、短いとき（Ｌ／Ｗ≦Ｒ
2 ）は異物Ｋi と誤判定される。この誤判定により種別
判定機能は信頼性が低下して、ガラス基板の正しい品質
管理と事後処理に支障するなどの弊害があり、このよう
な弊害を解消する手段が要請されている。この発明は以
上の要請に対応してなされたもので、誤判定された異物
Ｋi をスクラッチ傷Ｋs に連続した部分スクラッチ傷Ｋ
s'と判定することを課題とする。
は、前記したようにある程度の長さ連続した直線状また
はほぼ直線状のものであるが、その断面の大きさや、欠
陥検出光学系２の検出性能などの関係により、かならず
しも連続した状態で検出されず、分断されて断片的に検
出される場合がある。この場合、断片の長さＬが定数Ｒ
2 より長くて（Ｌ／Ｗ＞Ｒ2 ）が成立すれば、やはりス
クラッチ傷Ｋs と判定されるが、短いとき（Ｌ／Ｗ≦Ｒ
2 ）は異物Ｋi と誤判定される。この誤判定により種別
判定機能は信頼性が低下して、ガラス基板の正しい品質
管理と事後処理に支障するなどの弊害があり、このよう
な弊害を解消する手段が要請されている。この発明は以
上の要請に対応してなされたもので、誤判定された異物
Ｋi をスクラッチ傷Ｋs に連続した部分スクラッチ傷Ｋ
s'と判定することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明はスクラッチ傷
の連続性判定方法であって、前記の種別判定機能により
判定された各異物Ｋi と各スクラッチ傷Ｋs のデータ
を、それぞれの座標値に対応する画像メモリのアドレス
に記憶する。画像メモリのアドレスを、各スクラッチ傷
Ｋs の両端を過ぎる直線の方向に隣接処理して、いずれ
かのスクラッチ傷Ｋs の直線上またはその近傍のアドレ
スに異物Ｋi が存在するとき、この異物Ｋi の中心と、
このスクラッチ傷Ｋs の異物Ｋi に近い方の一端との間
隔ｔを算出する。間隔ｔが基準間Ｔ以内のとき、この異
物Ｋi をこのスクラッチ傷Ｋs に連続した部分スクラッ
チ傷Ｋs'と判定するものである。
の連続性判定方法であって、前記の種別判定機能により
判定された各異物Ｋi と各スクラッチ傷Ｋs のデータ
を、それぞれの座標値に対応する画像メモリのアドレス
に記憶する。画像メモリのアドレスを、各スクラッチ傷
Ｋs の両端を過ぎる直線の方向に隣接処理して、いずれ
かのスクラッチ傷Ｋs の直線上またはその近傍のアドレ
スに異物Ｋi が存在するとき、この異物Ｋi の中心と、
このスクラッチ傷Ｋs の異物Ｋi に近い方の一端との間
隔ｔを算出する。間隔ｔが基準間Ｔ以内のとき、この異
物Ｋi をこのスクラッチ傷Ｋs に連続した部分スクラッ
チ傷Ｋs'と判定するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】上記のスクラッチ傷の連続性判定
方法においては、欠陥検査装置の種別判定機能により判
定された各異物Ｋi と各スクラッチ傷Ｋs のデータが、
それぞれの座標値に対応する画像メモリのアドレスに記
憶される。画像メモリのアドレスは、各スクラッチ傷Ｋ
s の両端を過ぎる直線の方向に隣接処理され、いずれか
のスクラッチ傷Ｋs の直線上またはその近傍のアドレス
に異物Ｋi が存在するとき、この異物Ｋi の中心と、こ
のスクラッチ傷Ｋs の異物Ｋi に近い方の一端との間隔
ｔが算出される。間隔ｔが基準間Ｔ以内のとき、この異
物Ｋi はこのスクラッチ傷Ｋs に連続した部分スクラッ
チ傷Ｋs'であると判定される。これにより、欠陥種別判
定方法において誤判定された異物Ｋi による各種の弊害
が解消される。なお部分スクラッチ傷Ｋs'は、親のスク
ラッチ傷Ｋs に接続して１条としてマップ表示できるの
で、マップ表示された欠陥データの観察に好都合であ
る。
方法においては、欠陥検査装置の種別判定機能により判
定された各異物Ｋi と各スクラッチ傷Ｋs のデータが、
それぞれの座標値に対応する画像メモリのアドレスに記
憶される。画像メモリのアドレスは、各スクラッチ傷Ｋ
s の両端を過ぎる直線の方向に隣接処理され、いずれか
のスクラッチ傷Ｋs の直線上またはその近傍のアドレス
に異物Ｋi が存在するとき、この異物Ｋi の中心と、こ
のスクラッチ傷Ｋs の異物Ｋi に近い方の一端との間隔
ｔが算出される。間隔ｔが基準間Ｔ以内のとき、この異
物Ｋi はこのスクラッチ傷Ｋs に連続した部分スクラッ
チ傷Ｋs'であると判定される。これにより、欠陥種別判
定方法において誤判定された異物Ｋi による各種の弊害
が解消される。なお部分スクラッチ傷Ｋs'は、親のスク
ラッチ傷Ｋs に接続して１条としてマップ表示できるの
で、マップ表示された欠陥データの観察に好都合であ
る。
【０００８】
【実施例】図１はこの発明を実行する欠陥検査装置の一
実施例の構成図、図２は、図１に対する連続性判定方法
の説明図で、(a) は画像メモリに記憶された欠陥の一例
を示す図、(b) は連続性判定フローチャートである。図
１において、欠陥検査装置は前記した図４の欠陥検査装
置と同様に、ガラス基板１に対応する欠陥検出光学系２
と、信号処理演算部３、およびデータ処理部４とを有
し、これに画像メモリ51と画像処理部52よりなる連続性
判定部５を付加して図示のように接続する。図２(b) の
連続性判定フローチャートは、前記した図４の種別判定
フローチャートのステップ，の次に接続される。
実施例の構成図、図２は、図１に対する連続性判定方法
の説明図で、(a) は画像メモリに記憶された欠陥の一例
を示す図、(b) は連続性判定フローチャートである。図
１において、欠陥検査装置は前記した図４の欠陥検査装
置と同様に、ガラス基板１に対応する欠陥検出光学系２
と、信号処理演算部３、およびデータ処理部４とを有
し、これに画像メモリ51と画像処理部52よりなる連続性
判定部５を付加して図示のように接続する。図２(b) の
連続性判定フローチャートは、前記した図４の種別判定
フローチャートのステップ，の次に接続される。
【０００９】以下図１，２により、この発明の一実施例
を説明する。図１において、ガラス基板１に対して欠陥
検出光学系２と信号処理部３は、従来と同様に動作し、
データ処理部４の欠陥種別判定部41からスクラッチ傷Ｋ
s と異物Ｋi 、および気泡Ｋb の各データ（以下単にＫ
s,Ｋi,Ｋb ）が出力され、これらのうちＫb とその座標
値は従来と同様に欠陥データ編集部42に入力するが、Ｋ
s,Ｋi は連続性判定部５の画像メモリ51に入力して、そ
れぞれの座標値に対応するアドレスに記憶される。
を説明する。図１において、ガラス基板１に対して欠陥
検出光学系２と信号処理部３は、従来と同様に動作し、
データ処理部４の欠陥種別判定部41からスクラッチ傷Ｋ
s と異物Ｋi 、および気泡Ｋb の各データ（以下単にＫ
s,Ｋi,Ｋb ）が出力され、これらのうちＫb とその座標
値は従来と同様に欠陥データ編集部42に入力するが、Ｋ
s,Ｋi は連続性判定部５の画像メモリ51に入力して、そ
れぞれの座標値に対応するアドレスに記憶される。
【００１０】図２(a) に示す画像メモリ51の各アドレス
には、例えば１個のスクラッチ傷Ｋs と、３個の異物Ｋ
i1，Ｋi2，Ｋi3が記憶されているとする。Ｋs の両端ｐ
1,ｐ2 のアドレスを（ｘ1,ｙ1)，（ｘ2,ｙ2)、Ｋi1，Ｋ
i2，Ｋi3のそれぞれの中心ｐ3,ｐ4,ｐ5 のアドレスを
（ｘ3,ｙ3)，（ｘ4,ｙ4)，（ｘ5,ｙ5)とすると、これら
のアドレスは画像処理部52により必要の都度読み出され
て、(b) の連続性判定フローチャートにより処理され
る。(b) において、前記した種別判定フローチャートの
ステップでＮＯと判定されたＫi とＹＥＳと判定され
たＫs 、およびステップでＹＥＳと判定されたＫs
は、ステップで画像メモリ51のアドレスに記憶され、
ついでステップにおいて、画像メモリ51のアドレスは
Ｋs の両端ｐ1,ｐ2 を過ぎる直線Ｑの方向に順次に隣接
処理され、ステップに移行してＫi が直線Ｑ上または
その近傍に存在するか否かが問われる。
には、例えば１個のスクラッチ傷Ｋs と、３個の異物Ｋ
i1，Ｋi2，Ｋi3が記憶されているとする。Ｋs の両端ｐ
1,ｐ2 のアドレスを（ｘ1,ｙ1)，（ｘ2,ｙ2)、Ｋi1，Ｋ
i2，Ｋi3のそれぞれの中心ｐ3,ｐ4,ｐ5 のアドレスを
（ｘ3,ｙ3)，（ｘ4,ｙ4)，（ｘ5,ｙ5)とすると、これら
のアドレスは画像処理部52により必要の都度読み出され
て、(b) の連続性判定フローチャートにより処理され
る。(b) において、前記した種別判定フローチャートの
ステップでＮＯと判定されたＫi とＹＥＳと判定され
たＫs 、およびステップでＹＥＳと判定されたＫs
は、ステップで画像メモリ51のアドレスに記憶され、
ついでステップにおいて、画像メモリ51のアドレスは
Ｋs の両端ｐ1,ｐ2 を過ぎる直線Ｑの方向に順次に隣接
処理され、ステップに移行してＫi が直線Ｑ上または
その近傍に存在するか否かが問われる。
【００１１】図(a) の場合、直線Ｑ上または近傍にＫi1
とＫi2が存在するとすれば（ＹＥＳ）と判断され、また
Ｋi3は直線Ｑ上または近傍に存在しない（ＮＯ）とされ
る。ＹＥＳのときはステップに移行して、Ｋi1の中心
ｐ3 とＫs の一端ｐ1 の間隔ｔ1 、Ｋi2の中心ｐ4 とＫ
s の他端ｐ2 の間隔ｔ2 が、それぞれのアドレスの差よ
り算出される。またＮＯのときはＫi3は正当なＫi とし
て画像処理部52から出力される。一方、ステップで算
出された間隔ｔ1,ｔ2 は、ステップで基準間隔Ｔと比
較され、ｔ1 ≦Ｔのときは、Ｋi1はステップで部分ス
クラッチ傷Ｋs'と判定されて出力され、ｔ2 ＞Ｔのとき
は、Ｋi2は正当なＫi としてステップの段階で出力さ
れる。なお基準間隔Ｔは実測などにより決められるが、
例えば画像メモリの連続した数個のアドレス分の長さと
される。
とＫi2が存在するとすれば（ＹＥＳ）と判断され、また
Ｋi3は直線Ｑ上または近傍に存在しない（ＮＯ）とされ
る。ＹＥＳのときはステップに移行して、Ｋi1の中心
ｐ3 とＫs の一端ｐ1 の間隔ｔ1 、Ｋi2の中心ｐ4 とＫ
s の他端ｐ2 の間隔ｔ2 が、それぞれのアドレスの差よ
り算出される。またＮＯのときはＫi3は正当なＫi とし
て画像処理部52から出力される。一方、ステップで算
出された間隔ｔ1,ｔ2 は、ステップで基準間隔Ｔと比
較され、ｔ1 ≦Ｔのときは、Ｋi1はステップで部分ス
クラッチ傷Ｋs'と判定されて出力され、ｔ2 ＞Ｔのとき
は、Ｋi2は正当なＫi としてステップの段階で出力さ
れる。なお基準間隔Ｔは実測などにより決められるが、
例えば画像メモリの連続した数個のアドレス分の長さと
される。
【００１２】上記により画像処理部52から出力されるＫ
s とＫs'は、それぞれの座標値とともに欠陥データ編集
部42に入力して、Ｋs'は本来は連続している親のＫs に
接続され、プリンタ43には１条のスクラッチ傷Ｋs とし
てマップ表示される。なお画像処理部52から出力され
る、Ｋi2とＫi3に対する正当な異物Ｋi も、欠陥種別判
定部41からの気泡Ｋb とともに欠陥データ編集部42に入
力して、従来と同様に編集されプリンタ43によりマップ
表示される。
s とＫs'は、それぞれの座標値とともに欠陥データ編集
部42に入力して、Ｋs'は本来は連続している親のＫs に
接続され、プリンタ43には１条のスクラッチ傷Ｋs とし
てマップ表示される。なお画像処理部52から出力され
る、Ｋi2とＫi3に対する正当な異物Ｋi も、欠陥種別判
定部41からの気泡Ｋb とともに欠陥データ編集部42に入
力して、従来と同様に編集されプリンタ43によりマップ
表示される。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明の連続性
判定方法によれば、欠陥種別判定方法により異物Ｋi と
誤判定されたスクラッチ傷Ｋs の断片は、再チェックさ
れて部分スクラッチ傷Ｋs'であると正当に判定され、こ
れを親のスクラッチ傷Ｋs に接続して１条としてマップ
表示できるもので、誤判定に起因する欠陥検査装置の種
別判定機能の信頼性の低下などの弊害が解消され、液晶
パネル用のガラス基板の品質管理に寄与する効果には、
大きいものがある。
判定方法によれば、欠陥種別判定方法により異物Ｋi と
誤判定されたスクラッチ傷Ｋs の断片は、再チェックさ
れて部分スクラッチ傷Ｋs'であると正当に判定され、こ
れを親のスクラッチ傷Ｋs に接続して１条としてマップ
表示できるもので、誤判定に起因する欠陥検査装置の種
別判定機能の信頼性の低下などの弊害が解消され、液晶
パネル用のガラス基板の品質管理に寄与する効果には、
大きいものがある。
【図１】図１は、この発明を実行する欠陥検査装置の一
実施例の構成図である。
実施例の構成図である。
【図２】図２は、連続性判定方法の説明図で、(a) はＣ
ＣＤの素子に結像された欠陥の例示図、(b) は連続性判
定フローチャートである。
ＣＤの素子に結像された欠陥の例示図、(b) は連続性判
定フローチャートである。
【図３】図３は、ガラス基板の表面に存在する欠陥の説
明図で、(a) は３種類の欠陥：異物，スクラッチ傷，気
泡のモデル図、(b) は各欠陥の散乱光の一般的な指向性
の説明図である。
明図で、(a) は３種類の欠陥：異物，スクラッチ傷，気
泡のモデル図、(b) は各欠陥の散乱光の一般的な指向性
の説明図である。
【図４】図４は、この発明の先行技術の欠陥検査装置の
構成図である。
構成図である。
１…ＴＦＴ基板の素材のガラス基板、２…欠陥検出光学
系、３…信号処理部、31…強度検出回路、32,34 …演算
回路、33…サイズ算出回路４…データ処理部、41…欠陥
種別判定部、42…欠陥データ編集部、43…プリンタ、５
…この発明における連続性判定部、51…画像メモリ、52
…画像処理部、Ｋi …異物、Ｋs …スクラッチ傷、Ｋs'
…部分スクラッチ傷、Ｋb …気泡、ＬT …投射光束、Ｓ
a,Ｓb …ＣＣＤの出力信号、Ｉa,Ｉb …Ｓa,Ｓb の強
度、Ｌ…欠陥の長さ、Ｗ…欠陥の幅、ｐ1,ｐ2 …スクラ
ッチ傷Ｋs の両端、ｐ3,ｐ4,ｐ5 …異物Ｋi1，Ｋi2，Ｋ
i3の中心点、Ｑ…両端ｐ1,ｐ2 を過ぎるスクラッチ傷Ｋ
s の中心線。
系、３…信号処理部、31…強度検出回路、32,34 …演算
回路、33…サイズ算出回路４…データ処理部、41…欠陥
種別判定部、42…欠陥データ編集部、43…プリンタ、５
…この発明における連続性判定部、51…画像メモリ、52
…画像処理部、Ｋi …異物、Ｋs …スクラッチ傷、Ｋs'
…部分スクラッチ傷、Ｋb …気泡、ＬT …投射光束、Ｓ
a,Ｓb …ＣＣＤの出力信号、Ｉa,Ｉb …Ｓa,Ｓb の強
度、Ｌ…欠陥の長さ、Ｗ…欠陥の幅、ｐ1,ｐ2 …スクラ
ッチ傷Ｋs の両端、ｐ3,ｐ4,ｐ5 …異物Ｋi1，Ｋi2，Ｋ
i3の中心点、Ｑ…両端ｐ1,ｐ2 を過ぎるスクラッチ傷Ｋ
s の中心線。
Claims (1)
- 【請求項１】液晶パネル用のガラス基板の表面に存在す
る各種の欠陥を検出し、該検出した各欠陥の種別を判定
して、３種類の異物Ｋi ，スクラッチ傷Ｋs ，気泡Ｋb
のいずれかに特定する種別判定機能を有する欠陥検査装
置において、該種別判定機能により判定された各異物Ｋ
i と各スクラッチ傷Ｋs のデータを、それぞれの座標値
に対応する画像メモリのアドレスに記憶し、該画像メモ
リのアドレスを、該各スクラッチ傷Ｋs の両端を過ぎる
直線の方向に隣接処理して、いずれかのスクラッチ傷Ｋ
s の直線上またはその近傍のアドレスに異物Ｋi が存在
するとき、該異物Ｋi の中心と、該スクラッチ傷Ｋs の
該異物Ｋi に近い方の一端との間隔ｔを算出し、該間隔
ｔが基準間Ｔ以内のとき、該異物Ｋi を該スクラッチ傷
Ｋs に連続した部分スクラッチ傷Ｋs'と判定することを
特徴とする、スクラッチ傷の連続性判定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9020397A JPH10267857A (ja) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | スクラッチ傷の連続性判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9020397A JPH10267857A (ja) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | スクラッチ傷の連続性判定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10267857A true JPH10267857A (ja) | 1998-10-09 |
Family
ID=13991941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9020397A Pending JPH10267857A (ja) | 1997-03-25 | 1997-03-25 | スクラッチ傷の連続性判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10267857A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007212479A (ja) * | 2007-05-07 | 2007-08-23 | Hitachi Ltd | 欠陥検査装置およびその方法 |
| JP2010008125A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Toppan Printing Co Ltd | ガラス基板内の気泡選別処理法 |
| JP4643785B2 (ja) * | 2000-02-24 | 2011-03-02 | 株式会社トプコン | 表面検査装置 |
| CN107291486A (zh) * | 2016-04-11 | 2017-10-24 | 紫光华山信息技术有限公司 | 一种操作系统的安装方法和装置 |
-
1997
- 1997-03-25 JP JP9020397A patent/JPH10267857A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4643785B2 (ja) * | 2000-02-24 | 2011-03-02 | 株式会社トプコン | 表面検査装置 |
| JP2007212479A (ja) * | 2007-05-07 | 2007-08-23 | Hitachi Ltd | 欠陥検査装置およびその方法 |
| JP2010008125A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Toppan Printing Co Ltd | ガラス基板内の気泡選別処理法 |
| CN107291486A (zh) * | 2016-04-11 | 2017-10-24 | 紫光华山信息技术有限公司 | 一种操作系统的安装方法和装置 |
| CN107291486B (zh) * | 2016-04-11 | 2020-12-04 | 新华三信息技术有限公司 | 一种操作系统的安装方法和装置 |
| US10977049B2 (en) | 2016-04-11 | 2021-04-13 | New H3C Technologies Co., Ltd. | Installing of operating system |
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