JPH10260139A5 - - Google Patents

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JP2001124660A (ja) * 1999-10-25 2001-05-11 Horiba Ltd 平面表示装置の欠陥・異物検査方法およびその検査装置
JP3922000B2 (ja) * 2001-11-20 2007-05-30 凸版印刷株式会社 一定周期パターンを持つ平面状被写体の撮像装置
KR100742195B1 (ko) * 2002-04-03 2007-07-25 엔에이치 테크노글라스 가부시키가이샤 액정표시장치용 유리기판 및 그 기본유리의 제조방법과기본유리 검사장치
JP3948728B2 (ja) 2003-03-17 2007-07-25 オルボテック リミテッド パターン検査装置
CN101825781B (zh) 2009-03-06 2012-02-29 北京京东方光电科技有限公司 光学测试装置
JP7536591B2 (ja) * 2020-10-20 2024-08-20 タカノ株式会社 厚みムラ検査装置及び厚みムラ検査方法
JP2023124714A (ja) * 2022-02-25 2023-09-06 日本ゼオン株式会社 検査方法及び検査装置

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