JPH10259262A - フッ素樹脂成形体の製造方法 - Google Patents
フッ素樹脂成形体の製造方法Info
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- JPH10259262A JPH10259262A JP9011153A JP1115397A JPH10259262A JP H10259262 A JPH10259262 A JP H10259262A JP 9011153 A JP9011153 A JP 9011153A JP 1115397 A JP1115397 A JP 1115397A JP H10259262 A JPH10259262 A JP H10259262A
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Abstract
電防止効果を有し且つ汚染性が極めて低いフッ素樹脂成
形体を効率よく且つ再現性良く製造することが可能な、
帯電防止性を有するフッ素樹脂成形体の製造方法を提供
する。 【解決手段】イオン交換基に変換できる基を実質的に有
さないフッ素樹脂成形体の表面の少なくとも一部にイオ
ン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂を融着させ
て表層を形成した後、該表層を形成するフッ素樹脂中の
イオン交換基に変換できる基をイオン交換基に変換する
ことにより、フッ素樹脂成形体表面に帯電防止層を形成
させる。
Description
るフッ素樹脂成形体の新規な製造方法に関する。詳しく
は、イオン交換基を実質的に含有しないフッ素樹脂より
なる基材の表層にフッ素樹脂よりなる帯電防止層を有す
ることにより、フッ素樹脂固有の特性を維持しながら良
好な帯電防止効果を有し且つ汚染性が極めて低いフッ素
樹脂成形体を効率よく且つ再現性良く製造することが可
能な、帯電防止性を有するフッ素樹脂成形体の製造方法
である。
絶縁特性、耐汚染性に優れており、広い産業分野におい
て使用されている。ところが、フッ素樹脂の表面抵抗は
極めて高いために静電気を帯電し易いという大きな欠点
を有する。
素樹脂製のウエハーキャリアーは、フッ素樹脂の有する
帯電性により、雰囲気中の微粒子を吸着し易く、その結
果、ウエハーキャリアーに吸着した微粒子が、これに保
持されるウエハーを汚染し、該ウエハーを使用して得ら
れる製品の不良率を高くするといった問題を有する。
ては、該パイプ内を可燃性液体が通過することによる摩
擦で静電気が発生し、これによる着火の危険性がある。
与することを目的として、フッ素樹脂に導電性粉末を配
合した樹脂組成物および該組成物より成る成形体が知ら
れている。例えば、特開昭61−37842号公報、特
開昭62−223255号公報、特開平2−25575
1号公報には、テトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂
に炭素粉末と炭素繊維粉末、繊維状導電性酸化チタンと
酸化亜鉛などの導電性粉末を混合した樹脂組成物により
成形体を得る方法が開示されている。
フッ素樹脂成形体の表層をプラズマ処理することによ
り、C−F結合を切断したC=C結合とすることによ
り、表面を導電性としたフッ素樹脂成形体の製造方法が
開示されている。
ることを目的として、特開平1−98641号公報に
は、放射線照射により、イオン交換基を含有する親水性
モノマーをフッ素樹脂の多孔質チューブの表面にグラフ
ト重合させる方法が開示されている。
うち、導電性粉末を混合した樹脂組成物により得られる
成形体は、帯電防止能を付与するために多量の導電性粉
末を混合することが必要であり、そのため、得られるフ
ッ素樹脂成形体より導伝性粉末又はそれに含まれる不純
物が溶出するといった問題を有する。かかる問題は、該
成形体と接触する物質を汚染するという現象を招き、特
に、該フッ素樹脂成形体をウエハーキャリアーに使用し
た場合、該溶出した導電性粉末に起因するパーティクル
等により、該ウエハーキャリアーに保持されるウエハー
が汚染されるという現象を招く。また、流体の移送用パ
イプの用途においては、該流体の汚染という現象を招く
おそれがある。
フッ素樹脂で構成されることにより、フッ素樹脂の特性
である電気的特性、耐汚染性が損なわれ、かかる特性が
要求される用途において使用が制限される。
ノマーをグラフト反応によって導入する方法の場合、フ
ッ素樹脂は本来このような反応においては分解型の樹脂
に属し、モノマー等を定量的に且つ大量に導入すること
が難しく、表面より数百オングストローム程度の極薄い
厚さでイオン交換基が付与されるに止まる。また、フッ
素樹脂成形体の表面を放射線照射することにより、分解
した樹脂がパーティクル発生の原因となることも懸念さ
れる。
フッ素樹脂成形体は、表面抵抗が十分に低下せず、帯電
防止効果、汚染性等において未だ改良の余地があった。
者らは鋭意研究をおこなった。その結果、イオン交換基
に変換できる基を有するフッ素樹脂を、イオン交換基に
変換できる基を実質的に有さないフッ素樹脂成形体の表
面の少なくとも一部に融着させて表層を形成した後、該
表層を形成するフッ素樹脂中のイオン交換基に変換でき
る基をイオン交換基に変換する事により、フッ素樹脂の
元来有する電気的絶縁特性を維持しながら、その表面に
良好な帯電防止効果を発揮する層を確実に且つ効率よく
形成することができることを見い出し、本発明を完成す
るに至った。
る基を実質的に有さないフッ素樹脂成形体の表面の少な
くとも一部にイオン交換基に変換できる基を有するフッ
素樹脂を融着させて表層を形成した後、該表層を形成す
るフッ素樹脂中のイオン交換基に変換できる基をイオン
交換基に変換する事を特徴とする、帯電防止能を有する
フッ素樹脂成形体の製造方法である。
びイオン交換基に変換できる基を実質的に有さないフッ
素樹脂としては、特に制限されないが、ポリテトラフル
オロエチレン、テトラフルオロエチレンとアルキルビニ
ルエーテルとの共重合体、テトラフルオロエチレンとヘ
キサフルオロプロピレンとの共重合体、ポリモノクロロ
トリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレンとパー
フルオロジメチルジオキソールとの共重合体、ポリパー
フルオロアルケニルビニルエーテル等が挙げられる。
オロアルキルビニルエーテルまたは一部に水素原子を有
するポリフルオロアルキルビニルエーテルである。具体
的には、一般式、 Rf(CH2)lOCF=CF2 (但し、Rfはパーフルオロアルキル基、lは0または
1である。) 該アルキルビニルエーテルは、得られる共重合体中に占
める水素原子の割合が0.2重量%以下、好ましくは、
0.15重量%以下の範囲で使用することが好ましい。
基に変換できる基を実質的に有さないフッ素樹脂成形体
は、イオン交換基が完全に存在しない態様に限定される
ものではなく、フッ素樹脂中に不可避的に存在するイオ
ン交換基は、許容するものである。かかる許容量は、用
途によって要求される寸法安定性や吸着、透過性が異な
るため、一概に限定することはできないが、一般には、
イオン交換基を含む単量体に換算して0.2モル%未
満、特に、0.1モル%以下が好適である。
まれるイオン交換基の量は、イオン交換基の全モノマー
の単量体単位に対する組成で表す。また、フッ素樹脂中
に含まれるイオン交換基に変換できる基の量は、イオン
交換基に変換できる基の全モノマーの単量体単位に対す
る組成で表す。
変換できる基を有するフッ素樹脂は公知のものが特に制
限無く使用される。例えば、テトラフルオロエチレンと
イオン交換基に変換できる基を有するモノマーとの共重
合体が好適に使用される。
の目的でテトラフルオロエチレンに対して30モル%以
下のヘキサフルオロプロピレン、下記一般式 CF2=CFO(CH2)aCbF2b+1 (但し、aは0又は1であり、bは1〜10の整数であ
る。)で示されるアルキルビニルエーテル類、またはモ
ノクロロトリフルオロエチレン等の含フッ素モノマーを
混合して使用することができる。
るモノマーとしてはパーフルオロスルホン酸イオン交換
基に変換できる基を有するモノマーとして下記一般式 CF2=CFO〔CF2CF(CF3)O〕oCF2CFRF
SO2X (但し、XはF又はClであり、RFはF又はCF3であ
り、oは1〜3の整数である。)で示されるモノマー
が、又パーフルオロカルボン酸イオン交換基に変換でき
る基を有するモノマーとしては、下記一般式 CF2=CFO〔CF2CF(CF3)O〕p(CF2)qY (但し、YはCO2R(但し、Rは低級アルキル基であ
る。)、CN、COF、COClであり、pは1〜3の
整数であり、qは2〜8の整数である。)又は、 CF2=CFO(CF2)rOCF(CF3)Y (但し、YはCO2R(但しRは低級アルキル基であ
る。)、CN、COF、COClあり、rは2〜8の整
数である。)で示されるモノマーが好適に用いられる。
るモノマーを具体的に例示すれば、CF2=CFOCF2
CF2SO2F、CF2=CFOCF2CF(CF3)OC
F2CF2SO2F、CF2=CFOCF2CF(CF3)O
CF2CF(CF3)OCF2CF2SO2F、CF2=CF
OCF2CF(CF3)SO2F、CF2=CFOCF2C
F(CF3)OCF2CF(CF3)SO2F、CF2=C
FO(CF2)3-8CO2CH3、CF2=CFOCF2CF
2OCF2CF(CF3)CO2CH3が挙げられる。
良く、また混合して用いても何等差しつかえ無い。
換基に変換できる基を有するモノマーとの共重合方法は
公知の方法を何等制限なく用いることができる。即ち、
溶液重合法、懸濁重合法、及び乳化重合法のうち共重合
性等の条件を考慮して最適な重合方法を選択すれば良
い。
を有するモノマーの分散液又は溶液にテトラフルオロエ
チレンを加圧下に溶解させて共重合がおこなわれるが、
イオン交換基に変換できる基を有するモノマーやテトラ
フルオロエチレンに加えて他のモノマーを用いる場合、
そのモノマーがヘキサフルオロプロピレン等の気体であ
ればテトラフルオロエチレンに混合して、また、アルキ
ルビニルエーテル等の液体であればイオン交換基に変換
できる基を有するモノマーへ混合して重合すれば良い。
重合の場合、分散媒としては水が好適である。一方、溶
液重合或いは有機溶媒を使用する懸濁重合の場合、有機
溶媒が連鎖移動剤として作用し、重合体の分子量を低下
させ、その結果得られた共重合体の物性が劣ることがあ
るため、用いる溶媒はフッ素系の液体が好ましい。
は、パーフルオロブタン、パーフルオロペンタン、パー
フルオロヘキサン、パーフルオロヘプタン、パーフルオ
ロオクタン等のパーフルオロアルカン類、パーフルオロ
シクロブタン、パーフルオロシクロヘキサン等のパーフ
ルオロシクロアルカン類、パーフルオロエーテル類、パ
ーフルオロトリブチルアミン等のパーフルオロ3級アミ
ン類、パーフルオロモルホリン類、トリフルオロモノク
ロロエタン等のクロロフルオロエタン類等が好適に用い
られる。
アンモニウム等の過硫酸塩が好適に用いられ、また溶液
重合、懸濁重合の場合は公知の有機系ラジカル発生剤が
用いられるが、得られる共重合体の耐熱性を考慮する
と、フッ素系のジアシルパーオキシド類が好適に用いら
れ、具体的には次のものが挙げられる。
O2)2、(ClCF2CF2CO2)2、(CF3CF2CF
2CO2)2、(CF3CF2CF2OCF(CF3)CO2)
2 また、重合時のフルオロオレフィンの圧力はモノマー組
成、重合温度により一概には決定できないが、1〜30
kg/cm2−Gが好ましい。また重合温度は用いる重
合開始剤の分解温度によって異なるため、一概には決定
できないが通常0〜100℃であり、重合開始剤として
フッ素系のジアシルパーオキシドを用いた場合は0〜5
0℃が好ましい。
る基を有するフッ素樹脂の比溶融粘度は3×103ポア
ズ以上が好ましく、5×103〜5×106ポアズである
ことが特に好ましい。イオン交換基に変換できる基を有
するフッ素樹脂の比溶融粘度がこの範囲にあるとき、イ
オン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂とイオン
交換基に変換できる基を実質的に有さないフッ素樹脂と
の接着面が非常に強固となる。一方、イオン交換基に変
換できる基を有するフッ素樹脂の比溶融粘度がこの値よ
り小さい場合には、成形体の製造過程である溶融による
接着時に金型から流れ出て、イオン交換基に変換できる
基を有するフッ素樹脂の融着層の厚みを制御できない問
題が生じたり、接着面での接着強度が弱く、剥離しやす
いといった問題を生ずる場合がある。また、イオン交換
基に変換できる基を有するフッ素樹脂における比溶融粘
度があまりにも大きな場合には、表層形成時に高熱が必
要となり、その結果場合によってはフッ素樹脂に熱分解
等のダメージを与えることがあるばかりでなく、成形体
の発泡、変形等も発生し、精度ある成形体の製造が困難
となる場合がある。
きる基を有するフッ素樹の比溶融粘度は、JIS K−
7199に準拠し、高化式溶融粘度測定装置で、直径1
mm、長さ10mmのダイスを用い、372℃で13.
14kgの荷重をかけて測定した。
するフッ素樹脂の比溶融粘度を調整する上で、重合反応
時に連鎖移動剤を用いることは有効である。用いる連鎖
移動剤の制限はなく、比溶融粘度の調整といった目的が
達成される公知の化合物が何等制限無く用いられる。用
いられる連鎖移動剤を例示するならば、メタン、エタ
ン、プロパン等の炭化水素化合物、メタノール、エタノ
ール等のアルコール化合物、ジメチルエーテル等のエー
テル化合物、水素ガスなどが挙げられる。用いられる連
鎖移動剤の量は、その種類、あるいは温度等他の重合条
件によって一概に規定することはできないが、本発明の
イオン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂の比溶
融粘度が前記した値となるよう、前記した重合条件と合
わせ適宜条件を選択して製造すれば良い。また、比溶融
粘度は連鎖移動剤の他にも、重合温度、重合圧力、重合
開始剤添加量等の諸条件によっても、ある範囲で制御で
きることは言うまでもない。
フッ素樹脂は、単独或いは該フッ素樹脂とイオン交換基
に変換できる基を有さないフッ素樹脂との混合物で使用
することができる。
きる基の濃度は、これを成形後、イオン交換膜に変換し
たときのイオン交換基の濃度が0.25〜20モル%、
好ましくは、0.25〜18モル%を達成することが可
能な濃度となるように適宜調整することが、得られるフ
ッ素樹脂成形体に十分な帯電防止効果を付与するために
好ましい。
的形状は特に制限されない。例えば、図1に示す構造の
ウエハーキャリアーのような構造体、チューブ、パイプ
等の管状体、シート、フィルム等の薄物成形体などの任
意の形状が挙げられる。
ン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂を、イオン
交換基に変換できる基を実質的に有さないフッ素樹脂成
形体の表面の少なくとも一部に融着させて表層を形成し
た成形体(以下、前駆成形体と略称する。)とした後、
該成形体の表層を形成するフッ素樹脂中のイオン交換基
に変換できる基をイオン交換基に変換する事によって製
造される。
を更に詳しく例示すれば、下記の方法が代表例として挙
げられる。
変換できる基を有するフッ素樹脂を存在させた後に、イ
オン交換基に変換できる基を実質的に有さないフッ素樹
脂を射出成形し、表層を形成した後、該表層を形成する
フッ素樹脂中のイオン交換基に変換できる基をイオン交
換基に変換して帯電防止層を形成することにより、表面
に帯電防止層が形成されたフッ素樹脂成形体を製造する
方法。
に変換できる基を有するフッ素樹脂を存在させた後に、
イオン交換基に変換できる基を実質的に有さないフッ素
樹脂をブロー成形し、表層を形成した後、該表層を形成
するフッ素樹脂中のイオン交換基に変換できる基をイオ
ン交換基に変換して帯電防止層を形成することにより、
表面に帯電防止層が形成されたフッ素樹脂成形体を製造
する方法。
イオン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂を存在
させた後に、イオン交換基に変換できる基を実質的に有
さないフッ素樹脂成形体を挿入し、金型を閉じ加熱し融
着する方法により、表層を形成した後、該表層を形成す
るフッ素樹脂中のイオン交換基に変換できる基をイオン
交換基に変換して帯電防止層を形成することにより、表
面に帯電防止層が形成されたフッ素樹脂成形体を製造す
る方法。
に有さないフッ素樹脂成形体の表面に、イオン交換基に
変換できる基を有するフッ素樹脂を存在させた後に、成
形体の形状に加工した金型に挿入し、金型を閉じ加熱し
融着する方法により、表層を形成した後、該表層を形成
するフッ素樹脂中のイオン交換基に変換できる基をイオ
ン交換基に変換して帯電防止層を形成することにより、
表面に帯電防止層が形成されたフッ素樹脂成形体を製造
する方法。
フッ素樹脂よりなる層と、イオン交換基に変換できる基
を実質的に有さないフッ素樹脂よりなる層とを少なくと
もそれぞれ一層含む樹脂による多層押出成形により、成
形体を形成した後、該成形体中のイオン交換基に変換で
きる基をイオン交換基に変換して帯電防止層を形成する
ことにより、表面に帯電防止層が形成されたフッ素樹脂
成形体を製造する方法。
フッ素樹脂よりなる層と、イオン交換基に変換できる基
を実質的に有さないフッ素樹脂よりなる層とを少なくと
もそれぞれ一層含む樹脂によるブロー成形により成形体
を形成した後、該成形体中のイオン交換基に変換できる
基をイオン交換基に変換して帯電防止層を形成すること
により、表面に帯電防止層が形成されたフッ素樹脂成形
体を製造する方法。
フッ素樹脂よりなる層と、イオン交換基に変換できる基
を実質的に有さないフッ素樹脂よりなる層とを少なくと
もそれぞれ一層含むように多層回転成形により成形体を
形成した後、該成形体中のイオン交換基に変換できる基
をイオン交換基に変換して帯電防止層を形成することに
より、表面に帯電防止層が形成されたフッ素樹脂成形体
を製造する方法。
フッ素樹脂よりなる層とイオン交換基に変換できる基を
実質的に有さないフッ素樹脂よりなる層とを少なくとも
それぞれ一層含むフィルム或いはシートのラミネートに
より成形体を形成した後、該成形体中のイオン交換基に
変換できる基をイオン交換基に変換して帯電防止層を形
成することにより、表面に帯電防止層が形成されたフッ
素樹脂成形体を製造する方法。
の種類等によって適した製造方法を適宜選択すれば良
い。
法の場合、金型内面へのイオン交換基に変換できる基を
有するフッ素樹脂を存在させる方法は、その目的にあっ
た公知の方法を適宜採用すれば良い。代表的な方法を例
示すれば、粉体静電スプレー法、懸濁液での塗布による
方法が好適であり、また、フィルムで存在させる方法も
好適である。さらに、フッ素樹脂成形体の表面へのイオ
ン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂を存在させ
る方法も特に制限されないが、懸濁液での塗布による方
法が好適である。
は、イオン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂層
の形成の方法および条件によって行うことができる。即
ち、フッ素樹脂成形体の表面の少なくとも一部に、イオ
ン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂を、厚みを
制御して融着して表層を形成した後、該表層に存在する
イオン交換基に変換できる基を、後述する方法によって
イオン交換基に変換することによって、厚みの制御され
た帯電防止層を確実に形成することができる。
成形体へ、イオン交換基に変化できる基を有するフッ素
樹脂を存在させる方法において、粉体による方法では塗
布量を調整することによって表層の厚みを制御すること
ができる。塗布量の制御は、粉体静電スプレー法では、
印加電圧、フィードガス流量、パターンガス流量、ノズ
ル部の形状等で制御をおこない、また懸濁液スプレー法
では溶剤、樹脂濃度、スプレーガス流量等の制御をおこ
なうことにより達成される。また、フィルムによって存
在させる方法においては挟み込むフィルムの厚さ調整に
よって表層の厚みを制御することができる。また、製造
方法3,製造方法4に示したような方法の場合は、成形
体の外寸法と金型の内寸法による間隙によっても厚みを
制御することができる。また、多層押出成形による方法
においては、ノズル形状、押出量比、引き取り速度等の
制御によって表層の厚みを制御することができる。ま
た、イオン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂と
イオン交換基に変換できる基を実質的に有さないフッ素
樹脂との比溶融粘度の比は、表層を安定に形成する為の
重要な要因となり、一般的な成形条件では溶融粘度比が
数倍が採用されることが多いが、この場合も接着面の接
着強度の観点からは、イオン交換基に変換できる基を有
するフッ素樹脂の比溶融粘度は前述した範囲とすること
が好ましい。
方法においては、融着するフィルム或いはシートの厚
み、加熱時の圧力、温度等の制御によって表層の厚みが
制御でき、連続的にラミネートする場合はこれに加え、
引き取り条件によっても表層の厚みが制御できる。
できる基を有するフッ素樹脂層とイオン交換基に変換で
きる基を実質的に有さない層との界面には、厚み方向に
両層による濃度勾配が形成され明確な接面が現れない、
このためイオン交換基に変化できる基を有するフッ素樹
脂層としては、イオン交換基に変化できる基の濃度が
0.25モル%以上の濃度である部分が帯電防止効果に
特に有効に作用する。
するイオン交換基に変換できる基のイオン交換基への変
換は、通常用いられる公知の方法を特に制限なく採用す
ることができる。例えば、変換される基が陽イオン交換
基の場合、アルカリ条件下での加水分解反応が好まし
い。この加水分解反応は、数〜数十%のNaOH、KO
H、テトラアルキルアンモニウムハイドロオキシド等の
アルカリを含む水溶液に成形体を浸漬し、数時間〜百数
十時間、室温〜100℃で加熱すれば良い。この加水分
解を促進するために、メタノール、エタノール、ジメチ
ルスルホキシド等の有機溶媒を添加することは有効であ
る。
は、前駆成形体に存在するイオン交換基に変換し得る基
の種類によって決定される。
によって、例えば、パーフルオロ陽イオン交換基、ポリ
フルオロ陰イオン交換基に変換される。上記パーフルオ
ロ陽イオン交換基を更に具体的に示せば、パーフルオロ
スルホン酸基、またはパーフルオロカルボン酸基であり
(以下これらのパーフルオロスルホン酸基、及びパーフ
ルオロカルボン酸基を単に陽イオン交換基と略称す
る。)、また、ポリフルオロ陰イオン交換基としては、
ポリフルオロ4級アンモニウム基(以下単に陰イオン交
換基と略称する。)、が挙げられ、これらのイオン交換
基はパーフルオロ炭素鎖又はパーフルオロエーテル鎖を
介して化学的にフッ素樹脂に結合している。
ば、パーフルオロスルホン酸基は下記一般式 −CFRFSO3M (但し、RFはF又はCF3であり、Mは水素原子、アル
カリ金属、又はNR'4で示される基(但しR'は水素原
子又は低級アルキル基である。)である。)で示され、
又パーフルオロカルボン酸基は、下記一般式 −CFRFCO2M (但し、RF及びMは前記と同じである。)で示され、
陰イオン交換基は −CFRFCH2N+R"3Q- (但し、RFは前記と同じであり、R"は水素原子又は炭
素数1〜5のアルキル基であり、Qはハロゲン原子であ
る。)で示されるものである。
基に較べ陰イオン交換基は一般には耐薬品性が低いため
陽イオン交換基の方が好適である。また、パーフルオロ
スルホン酸基は、パーフルオロカルボン酸基に対して耐
熱性が良く、結合する対イオンが水素イオンの場合、パ
ーフルオロカルボン酸基に比べて帯電防止能が高いため
好適である。
おこなうことが好ましいが、用途によっては片面、また
は一部の加水分解をおこなっても良い。また、用途によ
ってはイオン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂
層全てを加水分解しなくても良い。もちろん、イオン交
換された層とされていない成形体部分との間には、イオ
ン交換基の濃度が、それらの中間にある遷移層が存在し
ていても何ら差し支えない。
面、チューブ、パイプ状物の内面または外面に帯電防止
層を有し、他の面には帯電防止層を有さない構造となっ
ていても良い。例えば、フッ素樹脂成形体の片面で静電
気が問題とされ、他面では静電気が問題とされないとい
った用途に対しては充分使用することができる。
Naイオン、Kイオン、水素イオンまたはアンモニウム
イオンとなっているが、他の金属イオン、水素イオン、
アンモニウムイオンへの変換は公知の方法がなんら問題
なく採用される。
される帯電防止層は、前記した帯電防止効果を発揮する
に有効な濃度を有する厚みが、少なくとも1μm以上、
好ましくは、10〜500μmであることが好ましい。
かかる構成によって、一般に、表面抵抗率が1013Ω未
満、好ましくは、1010Ω以下、に調整されたフッ素樹
脂成形体を得ることができる。
S K−6911に記載の方法に準じて測定した値であ
る。
交換基の存在量及び基材の厚みは赤外吸収スペクトル
(以下IRスペクトルと略称する。)を測定することに
よって知ることができる。即ち、本発明のフッ素樹脂成
形体の表面から垂直に数十〜数百μmの厚みでフィルム
を切り出し、IRスペクトルを表面より、数μmの間隔
で透過、又は反射スペクトルを測定することにより、或
いは本発明のフッ素樹脂成形体の表面から数〜数十μm
で削りその切削面の反射スペクトルを測定するすること
により、イオン交換基が存在する場合はその基に由来す
る特性吸収、例えば1060cm-1付近、1680cm
-1付近、及び1780cm-1付近にそれぞれパーフルオ
ロスルホン酸塩基(−SO3Na)、パーフルオロカル
ボン酸塩基(−CO2Na)、及びパーフルオロカルボ
ン酸基(−CO2H)が観測され、これらの吸収のある
部分が帯電防止層の厚みとして、また吸収強度からイオ
ン交換基の存在量が決定できる。
れらの特性吸収は観測されずにポリテトラフルオロエチ
レン、テトラフルオロエチレンとアルキルビニルエーテ
ルとの共重合体、テトラフルオロエチレンとヘキサフル
オロプロピレンとの共重合体、ポリモノクロロトリフル
オロエチレンに由来する吸収が1200〜1300cm
-1に、イオン交換基に変換可能な基に由来する吸収とし
て1420cm-1付近、1710cm-1付近、1780
cm-1付近、及び2100cm-1付近にそれぞれパーフ
ルオロスルホン酸フルオライド基(−SO2F)、パー
フルオロカルボン酸クロライド基(−CO2Cl)、パ
ーフルオロカルボン酸エステル基(−CO2CH3)、及
びパーフルオロシアノ基(−CN)が観測され、その吸
収のある部分をそれぞれの層の厚みとすることができ
る。
する方法で測定した薬液吸着量は、50ppb/cm2
以下、特に10ppb/cm2以下である。
られたフッ素樹脂成形体が前記ウエハーキャリアーのよ
うに汚染性が問題とされる用途に最適であることが理解
される。
成形体の帯電防止効果は、電圧減衰率によって確認する
ことができる。該フッ素樹脂成形体の電圧減衰率は、一
般に、10kVの電圧を1分間かけ、その後1秒後の電
圧減衰率が70%以上、好ましくは、90%以上のもの
が好適である。
ッ素樹脂成形体は、表層を除いて実質的にイオン交換基
を含有しない部分が存在するため、従来のフッ素樹脂と
同等に扱うことができ、成形体内部の全体にわたってイ
オン交換基が存在するフッ素樹脂成形体に見られる下記
の問題をほとんど回避することができる。
ン交換基を有する樹脂を使用した成形体は、溶剤や薬液
等に浸漬した場合、成形体の膨潤による寸法変化が生じ
たり、イオンや無機物、或いは有機物を吸着、透過する
という現象が生じる。そのため、ウエハーキャリアーの
用途に使用した場合、これに接触するウエハーの汚染の
問題が生じる虞がある。例えば、基材にイオン交換基を
有するフッ素樹脂として、フッ素系のイオン交換膜やイ
オン交換樹脂が知られているが、これらの樹脂はイオン
の透過、吸着を目的としたものであり、通常イオン交換
基を十数モル%程度含有している。そのため、上記ウエ
ハーキャリアーのようにフッ素樹脂の特徴である耐汚染
性が要求される分野においては、フッ素系のイオン交換
膜やイオン交換樹脂が有する、有機物やイオン等の吸着
特性は好ましくない。また、帯電防止能が要求されるフ
ッ素樹脂よりなるフィルム、チューブの成形体の用途に
おいても、イオン、水等の無機物、アルコール等の有機
物を透過、吸着させるという問題を有する。
をイオン交換基を実質的に含有しないフッ素樹脂よりな
る基材の表面に存在させ、表面抵抗率を下げることによ
り、従来の導電性物質を添加して帯電防止性を付与する
手段に対して、その表面からのパーティクルの発生が極
めて少なく、ウエハーキャリアー等のこれに接触する物
品に対する汚染性が問題とされる用途において有用であ
る。また、基材となるフッ素樹脂に多量の添加物を含有
しないため、フッ素樹脂成形体の強度も十分あり、上記
ウエハーキャリアー等の物理的負荷のかかる用途に対し
て最適である。また、全体にイオン交換基を有するイオ
ン交換樹脂に比べて、不純物イオンが内部まで浸透しな
いため、不純物イオンの吸着量が少なく、得られるフッ
素樹脂成形体に接触する物品に対する不純物イオンの汚
染性が極めて少ない。
発明の方法によれば、フッ素樹脂成形体の表面のみに極
めて確実にイオン交換基を有する層を付与することがで
き、該フッ素樹脂成形体の元来有する電気絶縁性を維持
しながら、確実に帯電防止性を付与することができる。
表面抵抗を有し、1時間後の電圧減衰率は数%であるの
に対し、本発明の方法によれば、フッ素樹脂成形体の表
面抵抗は1013Ω未満であり、また電圧減衰率は数秒以
内にほぼ100%となり、実質的にほとんど帯電しない
フッ素樹脂成形体を得ることが可能である。
止層を有したフッ素樹脂成形体は、現状のフッ素樹脂と
異なり静電気の発生がほとんど無く、また、静電気が発
生した場合の失散も速い。また、本発明によって製造さ
れるフッ素樹脂成形体は、基材に実質的にイオン交換基
を有していないので、薬液に浸漬した場合、イオンや無
機物又は有機物の吸着、透過が無いため、薬液からの汚
染が無く、また、このフッ素樹脂成形体を他の薬液や水
に移動した時にこれらの薬液や水を必要以上に汚染する
ことも無く、更には成形体の寸法変化も無いなど、フッ
素樹脂が本来有している優れた物性を保持することがで
きる。
られたフッ素樹脂成形体は、半導体製造工業、食品工
業、化学工業、或いは一般の理化学分野等での静電気の
発生を嫌う分野において好適に用いることができる。
いため、半導体製造時の周辺部品として、薬液移送チュ
ーブ、継ぎ手、バルブ、チェッキ弁、ストレーナー、薬
液容器、真空ピンセット、真空ピンセット用チップ、パ
ッキン、Oリング、ガスケット、シート、ライニング
材、コーティング材、ピンセット、トング、ディッパ
ー、ホールダー、ストレーナー、フラッシャー、ファン
ネル、メスシリンダー、バスケット、攪拌棒、ビーカ
ー、ワイプクリーナー、タンク、ボルト、ナット、ボト
ル、スノコ、トレー、プレートヒーター等に好適に用い
ることができる。
ウエハーキャリアー、ウエハーキャリアー用ハンドル、
ウエハーキャリアー用ボックス、リテーナー、プロセス
トレー、ウエハー用プロテクター、ウエハーボード、L
CDバスケット、LCDキャリアー、ウエハートレー、
ウエハートレー用カバー、ウエハートレー用スプリン
グ、ウエハーパック、ウエハーシッパー、マスクキャリ
アー、マスクキャリアー用ボックス、マスクキャリアー
用ハンドル、マスクパック、マスクケース、デバイスキ
ャリアー、デバイスキャリアー用ハンドル、サイドレー
ル、チップトレー、チップトレー用カバー、チップトレ
ー用ケース、チップ移し替えトレー、チップ洗浄用キャ
リアー、チップ洗浄器、チップトレー用ボックス等に好
適に用いることができる。特に本発明のフッ素樹脂成形
体より成るウエハーキャリアーは、帯電防止性に優れる
ため、静電気による使用雰囲気中の微粒子のウエハーへ
の付着が十分効果的に抑えられるばかりでなく、パーテ
ィクルの発生、不純イオンによる汚染等の問題もなく、
その結果、ウエハーの不良率を低く抑えることができる
といった効果をもたらす。
を用いて可燃性液体を移送した場合、帯電防止の効果に
よって静電気の発生、蓄積が防止され、従って着火の危
険性を防止することができるばかりでなく、パーティク
ルの発生、移送液体による膨潤、さらには移送液体の透
過の問題もなく、極めて有用である。
形体を用いることにより、衛生上問題となる埃の付着を
防ぐことができることから、食品製造において使用され
る機器類の表面コーティング、例えば混合器の容器及び
攪拌翼、またチューブ、トレイ、ベルト等に好適に使用
できる。
を示すが、本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はない。
減衰率、及び薬液吸着量は次のようにして求めた。
表面抵抗率を算出した。
商会製)を用いて、電圧10kVを1分間かけ、電圧を
切ってからの電圧を測定した。
位:%) (3)薬液吸着量 20分間の超純水リンスをおこなった試験片を洗浄済み
1lの石英容器にいれ、電子工業用硫酸500mlを加
え、室温で10分間保持して硫酸を該試験片に吸着させ
た。
分間リンスした後、超純水500mlを入れ、80℃で
加熱した。2時間経過後、超純水をサンプリングし、イ
オンクロマトで分析し、該超純水に含まれる硫酸の量を
試験片表面積1cm2当たりで算出し、薬液の吸着量と
した。
蒸留により精製した1,1,2-トリクロロトリフルオロエタ
ン320gを入れた後、内部を脱気し、その後、窒素ガ
スで大気圧とした。反応器内にメタノール0.039g
及び、33.5gのCF2=CFOCF2CF(CF3)OCF2CF2SO2Fを入
れた後、攪拌モーターの回転数を800回転とし、テト
ラフルオロエチレンを導入し圧力を4kg/cm2−G
にした。
ス(ヘプタフルオロブチリル)ペルオキシドの1,1,2-ト
リクロロトリフルオロエタン溶液(5重量%)1.77
gを導入して重合を開始した。重合中、重合温度は25
℃に保った。反応開始120分後、反応器内の圧力を放
出し、反応器を冷却トラップを介し、真空ポンプに接続
し攪拌しつつ減圧にし、溶媒、未反応モノマー等の低沸
点成分をトラップ内に回収した。留出後、反応器を解体
し、共重合体を取り出し、150℃で12時間真空乾燥
したところ24gの共重合体が得られた。
ルの測定結果より、上記共重合体中に、テトラフルオロ
エチレンに基づく単量体単位が95.7モル%、CF2=CF
OCF2CF(CF3)OCF2CF2SO2Fに基づく単量体単位が4.3モ
ル%共重合したものであることが確認された。また、こ
の共重合体の372℃での比溶融粘度は、4.6×10
6ポアズであった。
(平均粒径30μm)を粉体静電スプレー(GX500
0C:秩父小野田社製)によって塗布した後に、テトラ
フルオロエチレンとアルキルビニルエーテルとの共重合
体(以下PFAと称する。)を射出し、115×25×
2.5mmの板を成形した。この板を、NaOH/DMSO/H2O=
15/25/60wt%の溶液に浸漬し、100℃で24時間加水
分解をおこなった。
におけるイオン交換基の濃度が0.25モル%以上の層
の厚みを測定した結果、15μmであった。
率を測定したところ1.8×108Ωであった。また電
圧減衰率を測定したところ1秒で100%であった。
電子顕微鏡写真を撮影したが、明確な接着面は観察され
なかった。また、2−プロパノールに浸漬し85℃で5
時間煮沸したものについても断面の電子顕微鏡写真を撮
影したが、明確な接着面は観察されなかった。
体(平均粒径30μm)を粉体静電スプレー(GX50
00C:秩父小野田社製)によって塗布した後に、PF
Aをブロー成形し容量500mlのボトルを成形した。
このボトルを、NaOH/DMSO/H2O=15/25/60wt%の溶液に浸
漬し、100℃で24時間加水分解をおこなった。
止層におけるイオン交換基の濃度が0.25モル%以上
の層の厚みを測定した結果、20μmであった。
抵抗率を測定したところ2.6×108Ωであった。ま
た電圧減衰率を測定したところ1秒で100%であっ
た。
面の電子顕微鏡写真を撮影したが、明確な接着面は観察
されなかった。また、2−プロパノールに浸漬し85℃
で5時間煮沸したものについても断面の電子顕微鏡写真
を撮影したが、明確な接着面は観察されなかった。
コーティング成形金型内面に、参考例1で得られた共重
合体粉体(平均粒径30μm)を粉体静電スプレー(G
X5000C:秩父小野田社製)によって塗布した後
に、PFA製板(115×25×2.5mm)を挿入
し、金型を閉じ330℃で、5分間加熱して表層を形成
した。この板を、NaOH/DMSO/H2O=15/25/60wt%の溶液に
浸漬し、100℃で24時間加水分解をおこなった。
におけるイオン交換基の濃度が0.25モル%以上の層
の厚みを測定した結果、19μmであった。
率を測定したところ2.1×108Ωであった。また電
圧減衰率を測定したところ1秒で100%であった。
電子顕微鏡写真を撮影したが、明確な接着面は観察され
なかった。また、2−プロパノールに浸漬し85℃で5
時間煮沸したものについても断面の電子顕微鏡写真を撮
影したが、明確な接着面は観察されなかった。
に、参考例1で得られた共重合体粉体(平均粒径30μ
m)をペルフロードIL310(トクヤマ社製)に分散
した懸濁液を塗布し、乾燥してIL310を除く操作以
外は実施例3と同様にしてPFA製板(115×25×
2.5mm)に表層を形成した。次いで、NaOH/DMSO/H2
O=15/25/60wt%の溶液に浸漬し、100℃で24時間加
水分解を行って帯電防止層を形成した。
におけるイオン交換基の濃度が0.25モル%以上の層
の厚みを測定した結果21μmであった。
率を測定したところ2.5×108Ωであった。また、
電圧減衰率を測定したところ1秒で100%であった。
電子顕微鏡写真を撮影したが、明確な接着面は観察され
なかった。また、2−プロパノールに浸漬し85℃で5
時間煮沸したものについても断面の電子顕微鏡写真を撮
影したが、明確な接着面は観察されなかった。
板(115×25×2.5mm)を挿入する際、金型と
板との間に参考例1で参考例1で得られた共重合体粉体
から成形した厚さ20μmのフィルムを挟み込む操作以
外は実施例3と同様にして表層を形成した。次いで、Na
OH/DMSO/H2O=15/25/60wt%の溶液に浸漬し、100℃で
24時間加水分解を行って帯電防止層を形成した。
におけるイオン交換基の濃度が0.25モル%以上の層
の厚みを測定した結果20μmであった。次に、この板
の一部を切り出して表面抵抗率を測定したところ2.4
×108Ωであった。また、電圧減衰率を測定したとこ
ろ1秒で100%であった。
電子顕微鏡写真を撮影したが、明確な接着面は観察され
なかった。また、2−プロパノールに浸漬し85℃で5
時間煮沸したものについても断面の電子顕微鏡写真を撮
影したが、明確な接着面は観察されなかった。
に変換できる基の含有率を変えて3種類の共重合体を
得、実施例3と同様にしてPFA製板(115×25×
2.5mm)に表層を形成した。次いで、NaOH/DMSO/H2
O=15/25/60wt%の溶液に浸漬し、100℃で24時間加
水分解を行って帯電防止層を形成した。
度と、得られた板の一部を切り出して、帯電防止層にお
ける表層のイオン交換基濃度、イオン交換基の濃度が
0.25モル%以上の層の厚み、表面抵抗率及び、1秒
後の電圧減衰率を測定した結果、さらに、得られた板の
断面の電子顕微鏡写真による接着面の観察結果および、
2−プロパノールに浸漬し85℃で5時間煮沸したもの
の断面の電子顕微鏡写真による接着面の観察結果を示し
た。
(以下PTFEと称する。)、またはテトラフルオロエ
チレンとヘキサフルオロプロピレンとの共重合体(以下
FEPと称する。)の板(115×25×2.5mm)
を用いた以外は実施例3と同様にして表層を形成した。
次いで、NaOH/DMSO/H2O=15/25/60wt%の溶液に浸漬し、
100℃で24時間加水分解を行って帯電防止層を形成
した。
イオン交換基の濃度が0.25モル%以上の層の厚み、
表面抵抗率及び、1秒後の電圧減衰率を測定した結果、
さらに、得られた板の断面の電子顕微鏡写真による接着
面の観察結果および、2−プロパノールに浸漬し85℃
で5時間煮沸したものの断面の電子顕微鏡写真による接
着面の観察結果を示した。
で得られた共重合体粉体(平均粒径30μm)をC3HCl2
F5に分散した懸濁液を塗布し、乾燥してC3HCl2F5を除く
操作をおこない、このPFA製板をPFA製板の形状に
加工した圧縮コーティング成形金型に挿入し、金型を閉
じ加熱し330℃で、5分間加熱して表層を形成した。
この板を、NaOH/DMSO/H2O=15/25/60wt%の溶液に浸漬
し、100℃で24時間加水分解をおこなった。
におけるイオン交換基の濃度が0.25モル%以上の層
の厚みを測定した結果、22μmであった。
率を測定したところ3.8×108Ωであった。また、
電圧減衰率を測定したところ1秒で100%であった。
電子顕微鏡写真を撮影したが、明確な接着面は観察され
なかった。また、2−プロパノールに浸漬し85℃で5
時間煮沸したものについても断面の電子顕微鏡写真を撮
影したが、明確な接着面は観察されなかった。
SO2F 4.8モル%とテトラフルオロエチレン 95.
2モル%との共重合体を製造した。
は、5.4×104ポアズであった。
成形法によって外形8mm、内径6mmのチューブを成
形した。この場合、PFAの厚みは、0.95mm、参
考例2で得られた共重合体の厚み(帯電防止層の厚み)
は50μmであった。このチューブを、NaOH/DMSO/H2O=
15/25/60wt%の溶液に浸漬し、100℃で24時間加水
分解をおこなった。チューブを切り開いて、表面抵抗率
を測定したところ4.1×108Ωであり、電圧減衰率
は1秒で100%であった。また、このチューブのイオ
ン交換基の濃度は表面付近、表面から約50μm及び7
0μmでの濃度は平均4.7モル%、4.6モル%、
0.1モル%であり、これより帯電防止層の厚みは約5
0μmであるといえる。
たところ、長さ方向、直径方向の膨潤による伸びは観察
されなかった。
断面の電子顕微鏡写真を撮影したが、明確な接着面は観
察されなかった。また、2−プロパノールに浸漬し85
℃で5時間煮沸したものについても断面の電子顕微鏡写
真を撮影したが、明確な接着面は観察されなかった。
成形法によって幅120mm、厚さ1mmのフィルムを
成形した。この場合、PFAの厚みは、0.90mm、
参考例2で得られた共重合体の厚み(帯電防止層の厚
み)は100μmであった。このフィルムを、NaOH/DMS
O/H2O=15/25/60wt%の溶液に浸漬し、100℃で24時
間加水分解をおこなった。得られたフィルムの表面抵抗
率を測定したところ3.2×108Ωであり、フィルム
の一部を切り出して電圧減衰率を測定したところ1秒で
100%であった。
断面の電子顕微鏡写真を撮影したが、明確な接着面は観
察されなかった。また、2−プロパノールに浸漬し85
℃で5時間煮沸したものについても断面の電子顕微鏡写
真を撮影したが、明確な接着面は観察されなかった。
ー成形法によって容量500mlのボトルを成形した。
このボトルを、NaOH/DMSO/H2O=15/25/60wt%の溶液に浸
漬し、100℃で24時間加水分解をおこなった。
止層におけるイオン交換基の濃度が0.25モル%以上
の層の厚みを測定した結果、45μmであった。
抵抗率を測定したところ2.5×108Ωであった。ま
た電圧減衰率を測定したところ1秒で100%であっ
た。
面の電子顕微鏡写真を撮影したが、明確な接着面は観察
されなかった。また、2−プロパノールに浸漬し85℃
で5時間煮沸したものについても断面の電子顕微鏡写真
を撮影したが、明確な接着面は観察されなかった。
図を示した。)の形状に加工した圧縮コーティング成形
金型内面に、参考例1で得られた共重合体粉体(平均粒
径30μm)を粉体静電スプレー(GX5000C:秩
父小野田社製)によって塗布した後に、PFA製ウエハ
ーキャリアーを挿入し、金型を閉じ加熱して表層を形成
した。この板を、NaOH/DMSO/H2O=15/25/60wt%の溶液に
浸漬し、100℃で24時間加水分解をおこなった。
出し、帯電防止層におけるイオン交換基の濃度が0.2
5モル%以上の層の厚みを測定した結果、20μmであ
った。
トした後、クラス1000クリーンルーム内に24時間
放置した。この間、ウエハーキャリアーの最端部に保持
されたウエハー全面に付着した0.3μm以上のパーテ
ィクルは5個であった。
り出し表面抵抗率を測定したところ2.0×108Ωで
あった。また、電圧減衰率を測定したところ1秒で10
0%であった。
切り出し、断面の電子顕微鏡写真を撮影したが、明確な
接着面は観察されなかった。また、2−プロパノールに
浸漬し85℃で5時間煮沸したものについても断面の電
子顕微鏡写真を撮影したが、明確な接着面は観察されな
かった。
を成形した。次いで、実施例8に使用した共重合体を用
い、この成形容器の内面に回転成形法によって内層を形
成し、2層からなる容器を成形した。この容器に、NaOH
/DMSO/H2O=15/25/60wt%の溶液を入れ、100℃で24
時間加水分解をおこなった。
層におけるイオン交換基の濃度が0.25モル%以上の
層の厚みを測定した結果、105μmであった。
ころ1.6×108Ωであった。また電圧減衰率を測定
したところ1秒で100%であった。
の電子顕微鏡写真を撮影したが、明確な接着面は観察さ
れなかった。また、2−プロパノールに浸漬し85℃で
5時間煮沸したものについても断面の電子顕微鏡写真を
撮影したが、明確な接着面は観察されなかった。
0.25mmのフィルムに溶融成形し、このフィルムを
重ねて加熱圧縮し貼り合わせた。ついで、NaOH/DMSO/H2
O=15/25/60wt%の溶液に浸漬し、100℃で24時間加
水分解をおこなった。得られたフィルムの、帯電防止層
におけるイオン交換基の濃度が0.25モル%以上の層
の厚みを測定した結果、145μmであった。
たところ1.0×108Ωであった。またフィルムの一
部を切り出して電圧減衰率を測定したところ1秒で10
0%であった。
断面の電子顕微鏡写真を撮影したが、明確な接着面は観
察されなかった。また、2−プロパノールに浸漬し85
℃で5時間煮沸したものについても断面の電子顕微鏡写
真を撮影したが、明確な接着面は観察されなかった。
テトラフルオロエチレンとの共重合体を得た。この共重
合体のCF2=CFOCF2CF2CF2CO2CH3に由来する単量体単位が
4.2モル%、テトラフルオロエチレンに由来する単量
体単位は95.8モル%であった。この共重合体の37
2℃での比溶融粘度は、1.6×104ポアズであっ
た。この共重合体粉体(平均粒径30μm)を用いた以
外は実施例3と同様にしてPFA製板(115×25×
2.5mm)に表層を形成した。次いで、NaOH/DMSO/H2
O=15/25/60wt%の溶液に浸漬し、100℃で24時間加
水分解を行って帯電防止層を形成した。
におけるイオン交換基の濃度が0.25モル%以上の層
の厚みを測定した結果22μmであった。次に、この板
の一部を切り出して表面抵抗率を測定したところ5.1
×108Ωであった。また、電圧減衰率を測定したとこ
ろ1秒で100%であった。
電子顕微鏡写真を撮影したが、明確な接着面は観察され
なかった。また、2−プロパノールに浸漬し85℃で5
時間煮沸したものについても断面の電子顕微鏡写真を撮
影したが、明確な接着面は観察されなかった。
るウエハーキャリアーの代表的な構造を示す斜視図
Claims (10)
- 【請求項1】 イオン交換基に変換できる基を実質的に
有さないフッ素樹脂成形体の表面の少なくとも一部にイ
オン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂を融着さ
せて表層を形成した後、該表層を形成するフッ素樹脂中
のイオン交換基に変換できる基をイオン交換基に変換す
る事を特徴とする、帯電防止能を有するフッ素樹脂成形
体の製造方法。 - 【請求項2】 表層の形成方法が、射出成形の金型内面
にイオン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂を存
在させた後に、イオン交換基に変換できる基を実質的に
有さないフッ素樹脂を射出成形する方法による請求項1
記載のフッ素樹脂成形体の製造方法。 - 【請求項3】 表層の形成方法が、ブロー成形の金型内
面にイオン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂を
存在させた後に、イオン交換基に変換できる基を実質的
に有さないフッ素樹脂をブロー成形する方法による請求
項1記載のフッ素樹脂成形体の製造方法。 - 【請求項4】 表層の形成方法が、成形体の形状に加工
した金型内面に、イオン交換基に変換できる基を有する
フッ素樹脂を存在させた後に、イオン交換基に変換でき
る基を実質的に有さないフッ素樹脂成形体を挿入し、金
型を閉じ加熱し融着する方法による請求項1記載のフッ
素樹脂成形体の製造方法。 - 【請求項5】 表層の形成方法が、イオン交換基に変換
できる基を実質的に有さないフッ素樹脂成形体の表面
に、イオン交換基に変換できる基を有するフッ素樹脂を
存在させた後に、成形体の形状に加工した金型に挿入
し、金型を閉じ加熱し融着する方法による請求項1記載
のフッ素樹脂成形体の製造方法。 - 【請求項6】 表層の形成方法が、イオン交換基に変換
できる基を有するフッ素樹脂よりなる層とイオン交換基
に変換できる基を実質的に有さないフッ素樹脂よりなる
層とを少なくともそれぞれ一層含む多層押出成形する方
法による請求項1記載のフッ素樹脂成形体の製造方法。 - 【請求項7】 表層の形成方法が、イオン交換基に変換
できる基を有するフッ素樹脂よりなる層とイオン交換基
に変換できる基を実質的に有さないフッ素樹脂よりなる
層とを少なくともそれぞれ一層含む積層体をブロー成形
する方法による請求項1記載のフッ素樹脂成形体の製造
方法。 - 【請求項8】 表層の形成方法が、イオン交換基に変換
できる基を有するフッ素樹脂よりなる層とイオン交換基
に変換できる基を実質的に有さないフッ素樹脂よりなる
層とを少なくともそれぞれ一層含む多層回転成形する方
法による請求項1記載のフッ素樹脂成形体の製造方法。 - 【請求項9】 表層の形成方法が、イオン交換基に変換
できる基を有するフッ素樹脂よりなる層とイオン交換基
に変換できる基を実質的に有さないフッ素樹脂よりなる
層とを少なくともそれぞれ一層含むフィルム或いはシー
トのラミネートによる請求項1記載のフッ素樹脂成形体
の製造方法。 - 【請求項10】 イオン交換基に変換できる基を有する
フッ素樹脂の比溶融粘度が3×103ポアズ以上である
請求項1、2、3、4、5、6、7、8又は9の記載の
フッ素樹脂成形体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01115397A JP3385173B2 (ja) | 1997-01-17 | 1997-01-24 | フッ素樹脂成形体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9-6880 | 1997-01-17 | ||
JP688097 | 1997-01-17 | ||
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JPS6013822A (ja) * | 1983-07-01 | 1985-01-24 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 帯電防止弗素系樹脂フイルムとその製造方法 |
JPH0971674A (ja) * | 1995-06-26 | 1997-03-18 | Tokuyama Corp | フッ素樹脂成形体 |
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2022036902A (ja) * | 2020-08-24 | 2022-03-08 | セメス カンパニー,リミテッド | 基板処理装置、イオン注入処理装置、及びイオン注入処理方法 |
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