JPH10253718A - 判別機能を有する半導体集積回路 - Google Patents

判別機能を有する半導体集積回路

Info

Publication number
JPH10253718A
JPH10253718A JP9070809A JP7080997A JPH10253718A JP H10253718 A JPH10253718 A JP H10253718A JP 9070809 A JP9070809 A JP 9070809A JP 7080997 A JP7080997 A JP 7080997A JP H10253718 A JPH10253718 A JP H10253718A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
integrated circuit
semiconductor integrated
output
voltage
product
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP9070809A
Other languages
English (en)
Inventor
Masataka Saito
賢孝 斉藤
Masahide Matsumoto
雅秀 松本
Yasunori Orito
康則 折戸
Yuji Yokoyama
勇治 横山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Texas Instruments Japan Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Texas Instruments Japan Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Texas Instruments Japan Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP9070809A priority Critical patent/JPH10253718A/ja
Publication of JPH10253718A publication Critical patent/JPH10253718A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】少数の外部端子を用いて多数種類の半導体集積
回路を判別できる技術を提供する。 【解決手段】 所定機能を有する半導体集積回路につい
て、集積回路検査装置による特定の検査項目の測定が行
われる際に、所定位置の外部端子から所定種類の判別電
圧VPP、VDL、VBLR、VPLTが出力されるようにする。
出力される判別電圧VPP、VDL、VBLR、VPLTは半導体
集積回路の内部回路によって生成され、その順列組合せ
は製品種類毎に異なっているので、それを測定すると製
品種類を判別できる。従って、捺印がなくても測定条件
や検査基準の適用を誤ることがない。判別電圧VPP、V
DL、VBLR、VPLTの順列組合は、配線パターンを変更す
ることで変更できるようにしておくとよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路の
技術分野にかかり、特に、集積回路検査装置で種類を判
別できる半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路の外形は規格化されてお
り、同一機能であっても多数の形状のものが用意されて
いることから、ユーザーは、使用目的に応じて最適な形
状の半導体集積回路を選択できるようになっている。そ
の反面、同一の形状であっても必ずしも同じ機能の半導
体集積回路であるとは限らないので、ユーザー側の受け
入れや、メーカー側の出荷に際しては、例えば、捺印
や、その他の手段によって半導体集積回路の製品種別を
確認することが行われている。
【0003】ところで、半導体集積回路の選別検査に用
いられる集積回路検査装置は、1台で複数種類の製品を
検査できるように構成されており、そのため、測定対象
となる半導体集積回路の製品種別に対応させ、測定項目
とその良否判定基準が複数種類用意されている。
【0004】しかしながら選別検査工程では、半導体集
積回路が未捺印の状態にあるため、測定項目や良否判定
基準を誤って適用し、良品を不良品と判定してしまう場
合がある。このような良否判定ミスが生じ易いのは、一
種類の製品の測定を終えたが、測定条件や良否判定基準
の切り換えを忘れてしまった場合であり、外形が同じで
異なる種類の半導体集積回路の測定を開始してしまうと
連続して不良品が発生し、行程が混乱してしまう。
【0005】特に、半導体集積回路がDRAMである場
合には、外形や端子機能は同一であっても内部の半導体
チップだけが異なり、一般的な測定項目の測定条件や良
否判定基準は同じであっても特殊な測定項目では製品群
毎に異なる場合が多く、上述のようなミスが生じ易い。
【0006】そこで従来技術でも対策が採られており、
例えば多数の外部端子を有するDRAMの場合には、特
殊な信号を印加する特定の検査項目を行ったときに、特
定の外部端子から出力される結果から製品種類を判別で
きるようにしている。
【0007】例えば、1個の外部端子で2種類の半導体
集積回路(ここでは製品と製品とする)を判別したい
場合には、前述の特定の検査項目を行ったとき、同一位
置にある外部端子から、半導体集積回路が製品である
場合には“0”を出力し、製品である場合には“1”
を出力するようにしておくと、その特定の検査項目の測
定結果から、集積回路検査装置は、測定している半導体
集積回路が製品であるか、製品であるかを判別する
ことが可能となる。
【0008】特に、半導体集積回路がDRAMである場
合、一般的な検査項目の測定結果から良否を判定し、特
定の検査項目の結果から製品種類を判別することができ
る。
【0009】しかしながら上述のような判別方法では、
判別すべき製品種類が増えると、必要な外部端子の数も
増加してしまう。他方、特定の検査項目以外の検査項目
を行うときや、実際に使用するときは、製品判別に用い
る特定の外部端子に、本来の機能を持たせる必要がある
ことから、判別に使用可能な種類の外部端子は限られて
おり、半導体集積回路の機能・コスト・信頼性に影響を
与えず、少数の外部端子を用いて多数種類の製品種類を
判別できる技術の開発が望まれていた。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来技術
の不都合を解決するために創作されたもので、その目的
は、少数の外部端子を用いて多数種類の半導体集積回路
を判別できる技術を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項1記載の発明は、所定機能を有し、集積回路検
査装置による電気的測定によって、前記機能の良否が判
定できるように構成された半導体集積回路であって、そ
の内部回路によって電圧値の異なる複数種類の判別電圧
が生成され、前記集積回路検査装置によって特定の検査
項目の測定が行われたときに、前記複数種類の判別電圧
のうち、所定種類の判別電圧が所定位置の外部端子に出
力されるように構成されたことを特徴とする。
【0012】このような構成の半導体集積回路では、特
定の検査項目の測定が行われる際に、所定位置の外部端
子に所定種類の判別電圧が出力されるように構成されて
おり、出力される判別電圧の順列組合せを製品種類毎に
変えることで、特定項目を検査したときの所定位置の外
部端子からの出力により、製品種類を判別することが可
能となる。
【0013】半導体集積回路の良否については、特定項
目以外の項目の測定結果から判定すればよい(特定項目
の測定を行ったときの、判別電圧が出力される外部端子
以外の外部端子の出力結果を用いることもできる)。従
って、選別・検査の際、捺印やその他の機械的な判別手
段がなくても、測定条件や検査基準を誤ることがない。
【0014】この場合、請求項2記載の発明のように、
前記判別電圧が出力されるべき外部端子を複数設ける
と、判別できる製品種類が増加して好ましい。
【0015】更に、請求項3記載の発明のように、基板
上に形成された配線パターンを変更することにより、前
記外部端子に出力される判別電圧の種類を変更できるよ
うに構成しておくと、判別機能を持たせるための設計コ
ストを低下させることができる。
【0016】DRAM等の記憶デバイス(前記所定機能
が主として記憶機能にある半導体集積回路)では、外形
が同じで内部の半導体チップが異なる製品が多数あるの
で、請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の半導体
集積回路を適用すると効果的である。
【0017】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の一実施形態の半
導体集積回路の部分回路図であり、ハイアクティブスイ
ッチ2と、ローアクティブスイッチ3と、パッドP1
4とを有している。
【0018】ハイアクティブスイッチ2とローアクティ
ブスイッチ3内には、アナログスイッチ21〜24、3
1〜34が4個ずつ設けられており、各アナログスイッ
チ21〜24、31〜34は、それぞれnチャネルMO
SFETとpチャネルMOSFETとが並列接続されて
構成されている。
【0019】各アナログスイッチ21〜24、31〜3
4は、ドレイン・ソース端子とゲート端子を2個ずつ有
しており、ハイアクティブスイッチ2内のアナログスイ
ッチ21〜24の一方のドレイン・ソース端子は、符号
a〜dで示す薄膜配線の端子にそれぞれ接続され、他方
のドレイン・ソース端子は、パッドP1〜P4にそれぞれ
接続されている。各パッドP1〜P4は、図示しない他の
パッドと共に、この半導体集積回路を外部回路に接続す
る外部端子(図示せず)に接続されている。
【0020】図1の符号VPP、VDL、VBLR、VPLTは、
半導体集積回路の内部で電源電圧から生成され、互いに
電圧値の異なる第1〜第4の判別電圧であり、それら第
1〜第4の判別電圧は、それぞれ端子a〜dに現れるよ
うに構成されている。
【0021】以下、DRAMを例に、第1〜第4の判別
電圧について説明する。第1〜第4の判別電圧のうち、
第1の判別電圧VPPは、電源電圧を昇圧して作った電圧
であり、特に大きい振幅を必要とする回路に供給され
る。第2の判別電圧VDLはメモリアレイ電圧であり、ま
た、第3の判別電圧VBLRはデータ読出の際に予めビッ
ト線をプリチャージする電圧である。第4の判別電圧V
PLTは、メモリセル内のキャパシタの(ビット線側)対向
電極の電圧である。
【0022】第1の判別電圧VPPは約3.8V、第2の
判別電圧VDLは約2.2V、第3の判別電圧VBLRは約
1.1V、第4の判別電圧VPLTは通常の状態では1.
1Vであるが、特定の検査項目の測定時には、0Vに変
更される。従って、その特定の検査項目の測定時には、
第1〜第4の判別電圧間では、下記(1)式、 VPLT(第4) < VBLR(第3) < VDL(第2) < VPP(第1) ……(1) の大小関係がある。
【0023】ハイアクティブスイッチ2とローアクティ
ブスイッチ3には、切替信号SELが入力されており、
ハイアクティブスイッチ2内では、その切替信号SEL
は、各アナログスイッチ21〜24のnチャネルMOS
FETのゲート端子にそのまま入力され、また、pチャ
ネルMOSFETのゲート端子に、インバータ20で反
転されて入力されている。従って、このハイアクティブ
スイッチ2内のアナログスイッチ21〜24は切替信号
SELがハイ状態のときに導通し、ロー状態のときに遮
断する。
【0024】ローアクティブスイッチ3内の各アナログ
スイッチ31〜34の、一方のドレイン・ソース端子は
パッドP1〜P4に接続され、他方のドレイン・ソース端
子は、図示しない内部回路が生成する通常の信号F1
4が現れる薄膜配線に接続されている。
【0025】前述の切替信号SELは、各アナログスイ
ッチ31〜34を構成するnチャネルMOSFETのゲ
ート端子に、インバータ30で反転されて入力され、p
チャネルMOSFETのゲート端子には、そのまま入力
されている。従って、それらのアナログスイッチ31〜
34は、切替信号SELがロー状態のときに導通し、ハ
イ状態のときに遮断する。
【0026】この半導体集積回路の切替信号SELは、
一般的な検査項目が測定されるときや、通常の使用状態
ではロー状態になるように構成されているが、通常の使
用状態では生じない組合せの信号が外部端子に入力さ
れ、特定の検査項目の測定が行われるときに切替信号S
ELがハイ状態になるように構成されている。
【0027】従って、この半導体集積回路を試験する
際、一般的な検査項目の測定が行われるときは、ハイア
クティブスイッチ2内のアナログスイッチ21〜24は
遮断し、ローアクティブスイッチ3内のアナログスイッ
チ31〜34は導通し、パッドP1〜P4には、本来出力
されるべき信号F1〜F4が出力され、外部端子を介して
集積回路検査装置によって測定され、良否の判定が行わ
れる。
【0028】他方、特定の検査項目の測定が行われると
きには、ハイアクティブスイッチ2内のアナログスイッ
チ21〜24は導通し、ローアクティブスイッチ3内の
アナログスイッチ31〜34は遮断するので、パッドP
1〜P4に接続されている外部端子には、第1〜第4の判
別電圧が出力される。この第1〜第4の判別電圧は、上
述の(1)式の大小関係があり、集積回路検査装置によっ
て基準電圧と比較されると、それらの外部端子から出力
された判別電圧の種類が分かり、製品種類の判別を行う
ことができる。
【0029】ところで、上述の端子a〜dには、第1〜
第4の判別電圧のうちの所望種類の判別電圧を印加でき
ると、パッドP1〜P4に接続された外部端子には、44
通り(256種類)の順列組合せで表される出力状態があ
る。従って、それら4個の判別電圧と4個外部端子とを
用いることで、256種類の半導体集積回路を判別する
ことができる。
【0030】但し、このように特定の位置にある外部端
子に所望種類の判別電圧を出力させるために、内部回路
の大幅な変更が必要となっては設計上不便である。そこ
で、出力される判別電圧の順列組合せを変更する際、半
導体集積回路内の配線パターンを変更するだけで済むよ
うに構成することが望ましい。
【0031】そのような機能を有する配線パターンの一
例を図2(a)の符号60に示す。この図2(a)では、符
号61は金属薄膜のエッチングによって形成した薄膜配
線を示しており、符号62は、半導体集積回路が形成さ
れた基板上の所定位置にあるスイッチ領域を示してお
り、また、符号63は、そのスイッチ領域62内の前記
金属薄膜をエッチングする際に形成されたスイッチ用配
線を示している。
【0032】第1〜第4の判別電圧は、この配線パター
ン60中の符号A〜Dで示す端部位置にある薄膜配線6
1に印加されているものとする。それら端部位置A〜D
は、スイッチ領域62内のスイッチ用配線63を介し
て、薄膜配線61によって、前述の端子a〜dに接続さ
れている。
【0033】図示の通りの配線パターン60では、端部
位置Aが端子aに、端部位置Bが端子bに、端部位置C
が端子cに、端部位置Dが端子dに接続されており、従
って、上述のように、端子a〜dからそれぞれ第1〜第
4の判別電圧が出力される。
【0034】このような配線パターン60を有する半導
体集積回路群では、相異なる種類のものについては、素
子配列や配線パターン60を全面的に書き換えたり、配
線端部A〜D、及び端子a〜dの位置を移動させなくて
も、スイッチ領域62内のスイッチ用配線63の接続状
態を変更することで、端部位置A〜Dと端子a〜dとの
間の接続状態を変更することができる。
【0035】例えば、図2(a)の、端子aから第1の判
別電圧VPPが出力されてる状態を、符号621で示すス
イッチ領域内の配線63を図2(b)のように変更するこ
とで、端子aから、端子cが出力するのと同じ第3の判
別電圧VBLRを出力させることができる。
【0036】このように、スイッチ領域62内のスイッ
チ用配線63の接続状態を変更するだけで端子a〜dか
ら、所望種類の判別電圧を出力させることが可能であ
り、特定の外部端子から出力される判別電圧の順列組合
せを変更することができる。従って、多数種類の半導体
集積回路に簡単に用いることができ、設計の手間がかか
らず、製品種類の判別に要していた設計コストが低下す
る。
【0037】以上説明した実施形態では、第1〜第4の
判別電圧(VPP、VDL、VBLR、VPL T)を用いたが、判別
電圧の種類が多い程少数の外部端子で多種類の半導体集
積回路を判別できて望ましい。用いる判別電圧の種類を
N、外部端子の個数をLとすると、判別可能な製品種類
はNL個となる。
【0038】判別電圧については、上述の実施形態では
内部回路に用いられている電圧を流用したが、専用の電
圧を発生させてもよい。
【0039】なお、本発明の半導体集積回路は、QFP
等のモールド成型品、テープキャリアパッケージ品等、
種々の外形のものを含む。その外部端子については、リ
ード、バンプの他、TCP上の銅薄膜配線等、種々のも
のを含む。
【0040】
【発明の効果】少数の外部端子を用いるだけで、多数の
製品種類を判別することが可能となる。配線パターンの
一部を変更するだけで、製品種類を区別することができ
るので、設計コストが低下する。内部回路に用いられる
電圧を流用できるので、必要な回路が少なくて済む。そ
のため、信頼性が低下することはない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体集積回路を説明するための回路
【図2】(a):その配線パターンの一例を説明するため
の図 (b):スイッチ領域内の配線の変更例を説明するため図
【符号の説明】
60……配線パターン F1〜F4……機能 VPP、VDL、VBLR、VPLT……判
別電圧
フロントページの続き (72)発明者 松本 雅秀 茨城県稲敷郡美浦村木原2350 日本テキサ ス・インスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 折戸 康則 茨城県稲敷郡美浦村木原2350 日本テキサ ス・インスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 横山 勇治 東京都青梅市今井2326番地 株式会社日立 製作所デバイス開発センタ内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定機能を有し、集積回路検査装置によ
    る電気的測定によって、前記機能の良否が判定できるよ
    うに構成された半導体集積回路であって、 その内部回路によって電圧値の異なる複数種類の判別電
    圧が生成され、 前記集積回路検査装置によって特定の検査項目の測定が
    行われたときに、前記複数種類の判別電圧のうち、所定
    種類の判別電圧が所定位置の外部端子に出力されるよう
    に構成されたことを特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 前記判別電圧が出力されるべき外部端子
    を複数有することを特徴とする請求項1記載の半導体集
    積回路。
  3. 【請求項3】 基板上に形成された配線パターンを変更
    することにより、前記外部端子に出力される判別電圧の
    種類を変更できるように構成されたことを特徴とする請
    求項1又は請求項2記載の半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 前記半導体集積回路は、記憶デバイスで
    あることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか
    1項記載の半導体集積回路。
JP9070809A 1997-03-07 1997-03-07 判別機能を有する半導体集積回路 Withdrawn JPH10253718A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9070809A JPH10253718A (ja) 1997-03-07 1997-03-07 判別機能を有する半導体集積回路

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9070809A JPH10253718A (ja) 1997-03-07 1997-03-07 判別機能を有する半導体集積回路

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10253718A true JPH10253718A (ja) 1998-09-25

Family

ID=13442277

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9070809A Withdrawn JPH10253718A (ja) 1997-03-07 1997-03-07 判別機能を有する半導体集積回路

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10253718A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5391892A (en) Semiconductor wafers having test circuitry for individual dies
US8080873B2 (en) Semiconductor device, semiconductor package, and method for testing semiconductor device
JP4103010B2 (ja) 半導体ウエハ
US5056061A (en) Circuit for encoding identification information on circuit dice using fet capacitors
JP2008277417A (ja) 半導体装置及びその試験方法
US6469327B1 (en) Semiconductor device with efficiently arranged pads
US5946248A (en) Method for burn-in operation on a wafer of memory devices
US5815001A (en) Integrated circuit board with built-in terminal connection testing circuitry
JPH10253718A (ja) 判別機能を有する半導体集積回路
US5412337A (en) Semiconductor device providing reliable conduction test of all terminals
KR20040059461A (ko) 패키지 레벨에서 반도체 소자의 내부 dc 바이어스 측정장치
JP2000031216A (ja) ボンディングパッド用検査装置
JP3098499B2 (ja) 半導体装置および半導体装置への製造情報記録方法
US11892503B2 (en) Semiconductor device and test method of semiconductor device
US6388460B1 (en) Alternate timing wafer burn-in method
KR100206874B1 (ko) 반도체 칩 구조
JP2954076B2 (ja) 半導体集積回路ウェハ及びその試験方法
JP2007147330A (ja) 半導体チップおよびその試験方法
JPH065674A (ja) 半導体集積回路装置
KR19990039586A (ko) 테스트 패드 수가 감소된 메모리 장치 테스트 방법
JP2000286316A (ja) 半導体装置
US20030210068A1 (en) Apparatus of testing semiconductor
JP2900847B2 (ja) 集積回路試験装置
KR0146524B1 (ko) 반도체 메모리 장치
JP2978883B1 (ja) 半導体装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20040511