JPH10251068A

JPH10251068A - 窒化アルミニウムの焼成方法、焼成装置および焼成用部材

Info

Publication number: JPH10251068A
Application number: JP9072800A
Authority: JP
Inventors: 和宏 ▲昇▼; Kazuhiro Nobori; Hiroto Matsuda; 弘人松田
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 1997-03-11
Filing date: 1997-03-11
Publication date: 1998-09-22

Abstract

(57)【要約】【課題】窒化アルミニウムセラミックスからなる基材を
焼成によって製造するのに際して、基材の表面に斑点状
の模様が発生するのを防止し、基材の表面をサンドブラ
スト処理等によって加工したときに凹部が発生するのを
防止する。【解決手段】窒化アルミニウムの未焼成体８を焼成する
のに際して、高純度カーボン製の焼成用部材６、７を、
未焼成体８の少なくとも近傍に設置した状態で未焼成体
８を加熱する。好ましくは、焼成用部材６、７を構成す
るカーボン中のイオウの含有量が１００ｐｐｍ以下であ
る。気密性の焼成用部材６、７によって、未焼成体８の
表面を被覆できる。また、焼成用部材６、７として、未
焼成体８の焼成段階において未焼成体から排出される排
出物を吸収する吸収体を設置できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、窒化アルミニウム
セラミックスを焼成するための方法および装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】ホットプレス法によるセラミックスの加
圧焼成法は、窒化珪素、炭化珪素、窒化アルミニウム等
の各種のセラミックスの焼結のために使用されてきてお
り、例えば磁気ヘッド用フェライト、強誘電性圧電セラ
ミックス、透光性セラミックス、透光性圧電セラミック
ス等の電子材料に使用されている。

【０００３】また、本出願人は、特開平５−３１８４２
７号公報において、スリーブの内側面と、パンチの成形
体と接触する表面とを、グラファイトホイル等の耐熱性
箔片によって被覆することを提案した。これは、高温、
高圧下で、スリーブやパンチとセラミックスとの化学反
応による生成物や、セラミックスが、スリーブやパンチ
に強固に付着するのを防止する上で、極めて有効な方法
であった。

【０００４】また、本出願人は、特開平５−２５１３６
５号明細書において、セラミックスヒーター、セラミッ
クス静電チャック、セラミックス高周波電極装置、セラ
ミックスサセプター等の半導体製造用装置の基材を製造
するために、窒化アルミニウムセラミックスをホットプ
レスすることを開示している。この公報に記載の方法に
おいては、型内に窒化アルミニウム粉末の成形体を収容
するのに際して、成形体とスリーブとの間、成形体とス
ペーサーとの間に、グラファイトホイルを被覆し、この
被覆によって成形体の周囲の雰囲気を制御し、かつ成形
体とスリーブおよびスペーサーとの反応を防止してい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなホ
ットプレス法で窒化アルミニウムセラミックスの基材を
製造し、量産していく過程で、次の問題点が新たに発生
してくることが判明した。即ち、一部の窒化アルミニウ
ム基材において、表面に斑点状の黒色あるいは白色の模
様が生じていた。このような模様のあるものは不良品と
して処分するので、製造歩留りの低下の原因となる。

【０００６】また、セラミックス静電チャックにおいて
は、静電チャックの吸着面にサンドブラスト法によって
所定のエンボスパターンを形成し、このエンボスパター
ンによって半導体ウエハーの吸着特性を制御することが
通常である。このため、本発明者は、前記したような斑
点が発生した基材について、サンドブラスト法によって
エンボスパターンを形成することを試みた。

【０００７】この結果、これをブラスト処理すると、直
径１〜５ｍｍ、深さ数十μｍ程度の、極めて浅い平坦な
凹部が発生することがわかった。このような凹部が吸着
面に存在すると、脱粒によりパーティクルが発生した
り、絶縁耐圧を低下させたりするので、静電チャック等
として使用する場合には不適であり、半導体不良発生の
原因となるおそれもある。このため、前記のような凹部
が発生すると、静電チャック等の製造歩留り低下の原因
となる。

【０００８】本発明の課題は、窒化アルミニウムセラミ
ックスからなる基材を焼成によって製造するのに際し
て、基材の表面に斑点状の模様が発生するのを防止でき
るようにすることであり、また基材の表面をサンドブラ
スト処理等によって加工したときに、局所的に凹部が発
生するのを防止できるようにすることである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、窒化アルミニ
ウムセラミックスの未焼成体を加熱して焼成するのに際
して、高純度カーボン製の焼成用部材を未焼成体の少な
くとも近傍に設置した状態で未焼成体を加熱することを
特徴とする。

【００１０】また、本発明は、窒化アルミニウムセラミ
ックスの未焼成体を加熱して焼成する装置において、未
焼成体の少なくとも近傍に設置するための高純度カーボ
ン製の焼成用部材を備えていることを特徴とする。ま
た、本発明は、窒化アルミニウムセラミックスの未焼成
体を加熱して焼成する際に、未焼成体の少なくとも近傍
に設置するために使用する焼成用部材であって、高純度
カーボンからなることを特徴とする。

【００１１】未焼成体の少なくとも近傍に設置される焼
成用部材としては、未焼成体を被覆する被覆部材や、未
焼成体から排出される排出物を吸収するための吸収体が
好ましい。焼成用部材は、未焼成体に対して接触してい
る場合に、最も本発明の効果が大きいが、焼成用部材と
未焼成体とは接触していることは必須ではない。しか
し、少なくとも未焼成体の近傍にある必要があるこの類
型としては次のものがある。（１）スリーブ等の保持部材と未焼成体との間にある焼
成用部材。（２）上パンチや下パンチと未焼成体との間にある焼成
用部材。（３）スペーサーと未焼成体との間にある焼成用部材。

【００１２】本発明者は、前記したように窒化アルミニ
ウムセラミックスの表面に斑点が発生する原因を詳細に
検討し、次の発見に至った。本発明者は、まず、この斑
点を詳細に観察してみた。この斑点の直径は１〜５ｍｍ
であり、斑点の底面は平坦であった。この斑点の微構造
を顕微鏡で観察してみたところ、直径数μｍ〜数十μｍ
程度の小さい穴が多数開いており、斑点の周囲に比べ
て、結晶粒子が疎な状態になっていた。

【００１３】また、サンドブラスト加工後に生成した凹
部の直径は、斑点と同様であって、１〜５ｍｍであり、
深さは数十μｍであった。この斑点の底面は平坦であっ
た。この斑点の底面の微構造を顕微鏡で観察すると、や
はり結晶粒子の隙間が開いた状態になっていた。これ
は、斑点の部分では結晶粒子が周囲よりも疎な状態にな
っているために、サンドブラストによる研磨速度が周囲
よりも大きくなっていることを意味している。

【００１４】また、このような結晶組織の変質が見られ
る領域は、窒化アルミニウムセラミックスの表面から１
〜２ｍｍ程度であった。実際に２ｍｍ以上の深さに至る
まで平面研磨加工を行うと、斑点は消失するし、この研
磨面をサンドブラスト加工しても凹部は生成しないこと
がわかった。これらの発見から、斑点を構成する結晶組
織の変質部分は、窒化アルミニウムセラミックスの表面
における化学的反応によるものと推定した。

【００１５】次に、本発明者は、窒化アルミニウムセラ
ミックスの成形体と接触している型内の黒鉛ホイルの化
学組成を分析し、微量元素を定量し、その影響を調査し
た。この結果、黒鉛ホイル内の微量成分である硫黄の影
響によって、前記の斑点が発生していることを突き止め
た。そして、黒鉛ホイル中の硫黄の含有量を減少させた
高純度黒鉛ホイルを使用することによって、窒化アルミ
ニウムセラミックスの表面の斑点を防止できることを見
いだし、本発明に到達した。

【００１６】本発明で焼成処理する未焼成体としては、
窒化アルミニウム粉末、この粉末の成形体、この成形体
の脱脂体および仮焼体を例示できる。

【００１７】本発明の焼成用部材としては、未焼成体の
表面を被覆するための気密性の焼成用部材が好ましく、
この形態としてはシート、フォイル等の面状のものが好
ましい。また、焼成用部材としては、未焼成体の焼成段
階において未焼成体から排出される排出物を吸収する吸
収体を例示できる。

【００１８】高純度カーボンとは、カーボン内に含有さ
れる不純物の量が、１０００ｐｐｍ以下のものを言い、
不純物量の下限は０ｐｐｍである。

【００１９】このカーボン中の硫黄の含有量を１００ｐ
ｐｍ以下とすることが好ましく、４０ｐｐｍ以下とする
ことが一層好ましい。

【００２０】焼成用部材を構成するカーボンの製造方法
は特に限定されない。しかし、天然黒鉛には通常１００
ｐｐｍを越える硫黄が含有されている。また、膨張熱処
理黒鉛を製造する際には、天然黒鉛を硫酸の存在下に酸
化剤で処理して酸処理黒鉛を得、酸処理黒鉛を高温で急
速に加熱している。この硫酸中の硫黄が膨張熱処理黒鉛
中に残留する。従って、本発明においては、膨張熱処理
黒鉛を２０００℃〜２２００℃で真空中で熱処理するこ
とによって得られた高純度カーボンによって、焼成用部
材を形成することが好ましい。更に、ハロゲン化処理を
してもよい。

【００２１】本発明は、未焼成物を加圧するための一対
の加圧用部材と、未焼成物を保持するための保持部材で
あって、この保持部材の内側面に沿って加圧用部材の少
なくとも一方が進入可能な保持部材とを備えており、保
持部材および一対の加圧用部材の中に焼成用部材が収容
されている焼成装置に対して、最も好適に適用できる。
図１、図２は、それぞれ、この実施形態に係る焼成装置
を概略的に示す断面図である。

【００２２】図１では、型３の内側面３ａに接するよう
に略半円筒形状のスリーブ４Ａ、４Ｂが収容されてい
る。本実施形態では、スリーブを２つに分割することに
よって、焼成後に焼成品を型３内から取り出しやすいよ
うにしている。スリーブは３個以上に分割することもで
きる。

【００２３】スリーブ４Ａ、４Ｂの内側面４ａに沿っ
て、上パンチ１を、一軸方向（図１においては上下方
向）へと向かって移動させることができる。また、スリ
ーブ４Ａ、４Ｂの下側には、受け台２が設置、固定され
ており、上パンチ１の加圧面１ａと、受け台２の加圧面
２ａとが互いに対向し、ホットプレス用の空間を形成し
ている。上パンチ１と受け台２とは、前記した一対の加
圧用部材に該当する。

【００２４】上パンチ１の加圧面１ａの内側にはスペー
サー５Ａが設置されており、受け台２の加圧面２ａの内
側には、スペーサー５Ｂが設置されている。スペーサー
５Ａと５Ｂとの間に未焼成体８が収容されている。

【００２５】未焼成体８の加圧面８ａとスペーサー５Ａ
との間、および加圧面８ｂとスペーサー５Ｂとの間に、
それぞれカーボン製の焼成用部材７が設置されている。
また、未焼成体８の非加圧面８ｃとスリーブ４Ａ、４Ｂ
の内側面４ａとの間に、焼成用部材６が設置されてい
る。未焼成体８は、焼成用部材６と７とによって被覆さ
れており、このためにスリーブおよびスペーサーに対し
て直接に接触していない。

【００２６】図２の焼成装置においては、型１３の内側
面１３ａに接するように、スリーブ１４Ａと１４Ｂとが
設けられている。型１３の内側面１３ａには一定のテー
パーが設けられており、スリーブ１４Ａ、１４Ｂの内側
面１４ａは、図２において上方から下方へと向かって真
っ直ぐに延びている。

【００２７】型１３およびスリーブ１４Ａ、１４Ｂの下
側に受け台１２が固定されている。スリーブ１４Ａ、１
４Ｂ内では、上パンチ１１と受け台１２との間に、例え
ば四枚のスペーサー５と、３個の未焼成物１８Ａ、１８
Ｂ、１８Ｃとが収容されている。上パンチ１１の加圧面
１１ａ、受け台１２の加圧面１２ａに対して、それぞれ
スペーサー５が接触している。

【００２８】各スペーサー５と、各未焼成物１８Ａ、１
８Ｂ、１８Ｃの各加圧面１８ａ、１８ｂとの間には、そ
れぞれ面状の焼成用部材１７が介在している。各スペー
サー５の非加圧面および各未焼成物の非加圧面１８ｃと
スリーブ１４Ａ、１４Ｂとの間には、それぞれ面状の焼
成用部材１６が設けられている。

【００２９】焼成用部材６、７、１６、１７としては、
気密性の黒鉛ホイルまたはカーボンシートが好ましく、
これによって未焼成体の周囲の焼成雰囲気を制御でき
る。

【００３０】また、焼成用部材６、７、１６、１７とし
て、未焼成体の焼成工程で未焼成体から排出される排出
物を吸収する吸収体を設置することができる。

【００３１】この実施形態について説明する。窒化アル
ミニウム質セラミックスは、いわゆる液相焼結と呼ばれ
る焼結プロセスを経過する。即ち、いったん窒化アルミ
ニウム粒子と助剤成分とが反応し、液状化した後に、冷
却過程で固化するというプロセスを経過する。

【００３２】窒化アルミニウム質の粉末の中には、通常
は焼結助剤、例えばイットリアを５重量％以下添加し、
加熱する（ただし、ホットアイソスタティックプレス、
ホットプレス法を用いた焼結では、必ずしも助剤成分は
必要ではなく、助剤成分なしに焼結させることが可能で
ある）。この際には、窒化アルミニウムの原料粉末表面
のアルミニウム酸化物相とＹ₂Ｏ₃等の焼結助剤が反応
してアルミン酸イットリウムが生成し、液相焼結が進行
する。焼成治具にカーボンを使用し、窒素中で長時間焼
成すると、カーボンガスによる還元窒化反応により、物
質移動が比較的容易に起こり、従って、焼結体の中心部
から表面に向かって酸化物が移動して、焼結体の内部か
ら外部へと向かって排出されていく。

【００３３】こうした焼結助剤の排出量はかなり多く、
このために黒鉛ホイルのような非反応性の被膜のみを使
用した場合には、黒鉛ホイルに向かって相当量の焼結助
剤が押しつけられてホイルが破れたりし易いものと思わ
れる。このため、未焼成物から排出された相当量の焼結
助剤を、未焼成物の近傍に、あるいは未焼成物に接触す
るように設置された吸収体によって、ホットプレス等の
焼結工程の進行と同時に、積極的に吸収することができ
る。

【００３４】この吸収体の形態は、粉末、繊維または多
孔質成形製品（フェルト、クロス）であってよい。

【００３５】特に、スリーブ等の保持部材の内側面と、
未焼成物の非加圧面８ｃ、１８ｃとの間に設ける吸収体
６、１６としては、粉末、繊維、フェルト、クロスのい
ずれも好適に使用できる。一方、未焼成体の加圧面８
ａ、８ｂ、１８ａ、１８ｂとスペーサーとの間に設ける
吸収体７、１７としては、粉末は取扱いにくいので、繊
維、フェルト、クロスが好ましい。フェルト、クロス等
の多孔質成形製品を使用する場合には、その嵩密度を
０．０５〜０．５ｇ／ｃｍ³とすることが好ましい。

【００３６】窒化アルミニウムセラミックスの焼結助剤
としては、Ｙ₂Ｏ₃、Ｙｂ₂Ｏ₃等の希土類元素、Ｃ
ａ、Ｍｇ等のＩＩＡ族元素等を例示できる。

【００３７】

【実施例】以下、更に具体的な実験結果について述べ
る。（実験１）図２に示すホットプレス装置を使用し、焼成
実験を行った。未焼成体１８Ａとして、助剤を添加して
いない窒化アルミニウム粉末の円盤状成形体を使用し
た。

【００３８】１．８ｋｇの窒化アルミニウム粉末を秤量
し、直径２１５ｍｍの一軸プレス用金型を準備した。一
軸プレス装置の胴型と下型とをセットし、前記粉末を型
内に投入した。この粉体を、所定のならし機を用いてな
らし、上型をセットした。２００ｋｇ／ｃｍ²の圧力で
２分間プレスし、上型を引き上げ、直径２１５ｍｍ、厚
さ３０ｍｍの円盤状成形体を得た。

【００３９】一方、図２に示すような各焼成用部材を準
備した。受け台１２の表面１２ａに直径２１４．８ｍｍ
のダミースペーサーを乗せ、ダミースペーサーの上に前
記の円盤状成形体１８Ａを乗せた。この際、円盤状成形
体１８Ａの周囲を、柔軟性黒鉛シート１６、１７によっ
て完全に包囲した。

【００４０】ただし、図３（ａ）、（ｂ）に示すよう
に、円盤状成形体１８Ａの表面の８箇所に、所定の粉末
を付着させた。具体的には、円盤状成形体１８Ａの中心
から直径６０ｃｍの同心円２０上の４箇所に、それぞれ
約２．５ｇの硫黄粉末１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ
を付着させた。また、円盤状成形体１８Ａの中心から直
径１５０ｃｍの同心円１９上の４箇所に、柔軟性黒鉛シ
ートを硫酸で処理して得た粉末を、それぞれ約２．５ｇ
ごと、９Ａ、９Ｂ、９Ｃ、９Ｄに示す位置に付着させ
た。この粉末中の硫黄濃度は９００ｐｐｍである。

【００４１】これらの粉末の上から、直径２１４．８ｍ
ｍ、厚さ０．２５ｍｍの高純度柔軟性黒鉛シート１７を
被覆した。この後、ダミースペーサーおよび円盤状成形
体１８Ａを、縦１８０ｍｍ、横６８０ｍｍの柔軟性黒鉛
シートによって包囲し、被覆した。これらの柔軟性黒鉛
シートは高純度カーボンによって形成されており、その
硫黄濃度は４０ｐｐｍである。

【００４２】これらの上に２分割スリーブ１４Ａ、１４
Ｂおよび型１３をかぶせ、この状態で焼成炉内に収容し
た。焼成段階においては、まず真空中で、室温から７０
０℃／時間の速度で１０００℃まで温度上昇させ、１０
００℃で３０分間保持した。次いで、１．５ａｔｍの窒
素雰囲気下で、温度を１８５０℃まで３００℃／時間で
温度上昇させた。１０００℃から１８５０℃へと温度を
上昇させるときに、１６００℃からプレス圧力を上昇さ
せ、５０分間で２００ｋｇ／ｃｍ²までプレス圧力を上
昇させた。そして、１８５０℃で２時間保持した。次い
で、１８５０℃から３００℃／時間の速度で温度を降下
させ、１６００℃でプレス圧力を解除した。

【００４３】焼成後に、焼成体を型およびスリーブ内か
ら取り出し、焼成体の表面を、♯４００のダイヤモンド
砥石を用いて、平面研削盤によって厚さ０．５ｍｍ片面
研磨加工した。次いで、焼成体の表面にマシーン油を塗
布し、表面の状態を目視観察した。

【００４４】この結果、硫酸処理粉末を配置した９Ａ、
９Ｂ、９Ｃ、９Ｄの位置においては、一つに直径１ｍｍ
の白い斑点が認められた。残りの三点には斑点が認めら
れなかった。また、硫黄粉末を配置した１０Ａ、１０
Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄの位置においては、二点において直
径１ｍｍの白い斑点が認められ、残りの二点において
は、直径３ｍｍの黒い斑点が認められた。

【００４５】この表面をサンドブラスト加工したとこ
ろ、斑点の部分には凹部が生成した。図４は、サンドブ
ラスト加工後の焼成体の表面の状態を示す顕微鏡写真で
あるが、凹部が明瞭に写っている。

【００４６】（実験２）図２に示すホットプレス装置を
使用し、焼成実験を行った。実験１と同様にして、助剤
を添加していない窒化アルミニウム粉末の円盤状成形体
を作製した。

【００４７】受け台１２の表面１２ａにスペーサー５を
載せ、スペーサー５の上に、更に、３個の成形体１８
Ｃ、１８Ｂ、１８Ａと、３個のスペーサー５とを積層し
た。各成形体とスペーサーとの間には、それぞれ柔軟性
黒鉛シート１７を介在させた。最も上のスペーサー５の
上に上パンチ１１を乗せた。

【００４８】各スペーサー５の直径を２１４．８ｍｍと
し、厚さを１４ｍｍとした。各柔軟性黒鉛シート１７の
直径を２１４．８ｍｍとし、厚さを０．２５ｍｍとし
た。この後、各スペーサー５および各円盤状成形体１８
Ａ、１８Ｂ、１８Ｃの非加圧面を覆うように、縦１８０
ｍｍ、横６８０ｍｍの柔軟性黒鉛シート１６を設置し
た。

【００４９】これらの上に２分割スリーブ１４Ａ、１４
Ｂおよび型１３をかぶせ、この状態で焼成炉内に収容し
た。焼成時の温度スケジュール、雰囲気、圧力は、実験
１と同じである。

【００５０】焼成後に、焼成体を型およびスリーブ内か
ら取り出し、焼成体の表面を、♯４００のダイヤモンド
砥石を用いて、平面研削盤によって厚さ０．５ｍｍ研磨
加工した。次いで、焼成体の表面にマシーン油を塗布
し、表面の状態を目視観察した。

【００５１】ただし、各焼成体の試料１、２、３につい
て、それぞれ、各試料１、２、３の表面側と裏面側とに
配置する柔軟性黒鉛シート１７の各硫黄含有量、灰分
量、水分量、密度、化学分析値を、表１に示すように変
化させた。ここで、各試料１、２、３について、表面側
と裏面側とに配置されている各柔軟性黒鉛シート１７の
硫黄含有量等の組成は互いに異なっている。そして、焼
成体の各試料１、２、３の表面側と裏面側とについて、
目視観察を行った結果を、表２に示す。表２において、
φ３、φ２．５、φ２、φ１．５、φ０．７は、それぞ
れ斑点の径（単位はｍｍ）を表しており、各数値は各径
の斑点の個数を表している。

【００５２】

【表１】

【００５３】

【表２】

【００５４】本発明によって得られた窒化アルミニウム
セラミックスは、特に半導体製造用装置の基材として有
用であり、例えば、窒化アルミニウム基材中に抵抗発熱
体を埋設したセラミックスヒーター、基材中に静電チャ
ック用電極を埋設したセラミック静電チャック、基材中
に抵抗発熱体と静電チャック用電極を埋設した静電チャ
ック付きヒーター、基材中にプラズマ発生用電極を埋設
した高周波発生用電極装置のような能動型装置の基材と
して使用できる。

【００５５】更に、半導体ウエハーを設置するためのサ
セプター、ダミーウエハー、シャドーリング、高周波プ
ラズマを発生させるためのチューブ、高周波プラズマを
発生させるためのドーム、高周波透過窓、赤外線透過
窓、半導体ウエハーを支持するためのリフトピン、シャ
ワー板等の各半導体製造用装置の基材として使用でき
る。

【００５６】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、窒
化アルミニウムセラミックスからなる基材を焼成によっ
て製造するのに際して、基材の表面に斑点状の模様が発
生するのを防止でき、また基材の表面をサンドブラスト
処理等によって加工したときに、局所的に凹部が発生す
るのを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係るホットプレス装置を
概略的に示す断面図である。

【図２】本発明の他の実施形態に係るホットプレス装置
を概略的に示す断面図である。

【図３】（ａ）は、円盤状成形体１８Ａの表面に配置さ
れた硫酸処理粉末および硫黄粉末の位置を示すための平
面図であり、（ｂ）はその正面図である。

【図４】図４は、サンドブラスト加工後の窒化アルミニ
ウム焼成体の表面の状態を示す顕微鏡写真である。

【符号の説明】

１、１１上パンチ２、１２受け台３、１３
型４Ａ、４Ｂ、１４Ａ、１４Ｂスリーブ５、５Ａ、
５Ｂスペーサー６、７、１６、１７本発明の焼
成用部材８、１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ未焼成体
９Ａ、９Ｂ、９Ｃ、９Ｄ硫酸処理粉末の配置箇所
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ硫黄粉末の配置箇
所

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】窒化アルミニウムセラミックスの未焼成体
を加熱して焼成するのに際して、高純度カーボン製の焼
成用部材を前記未焼成体の少なくとも近傍に設置した状
態で前記未焼成体を加熱することを特徴とする、窒化ア
ルミニウムの焼成方法。
【請求項２】前記焼成用部材を構成するカーボン中のイ
オウの含有量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とす
る、請求項１記載の窒化アルミニウムの焼成方法。
【請求項３】前記焼成用部材が気密性であり、かつ前記
焼成用部材によって前記未焼成体の表面を被覆すること
を特徴とする、請求項１または２記載の窒化アルミニウ
ムの焼成方法。
【請求項４】前記焼成用部材が、前記未焼成体の焼成段
階において前記未焼成体から排出される排出物を吸収す
る吸収体であることを特徴とする、請求項１または２記
載の窒化アルミニウムの焼成方法。
【請求項５】窒化アルミニウムセラミックスの未焼成体
を加熱して焼成する装置において、前記未焼成体の少な
くとも近傍に設置するための高純度カーボン製の焼成用
部材を備えていることを特徴とする、窒化アルミニウム
の焼成装置。
【請求項６】前記未焼成物を加圧するための一対の加圧
用部材と、前記未焼成物を保持するための保持部材であ
って、この保持部材の内側面に沿って前記加圧用部材の
少なくとも一方が進入可能な保持部材とを備えており、
前記保持部材および前記一対の加圧用部材の中に前記焼
成用部材が収容されていることを特徴とする、請求項５
記載の窒化アルミニウムの焼成装置。
【請求項７】窒化アルミニウムセラミックスの未焼成体
を加熱して焼成する際に、前記未焼成体の少なくとも近
傍に設置するために使用する焼成用部材であって、高純
度カーボンからなることを特徴とする、焼成用部材。