JPH10249143A - 排ガスの処理方法 - Google Patents
排ガスの処理方法Info
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- JPH10249143A JPH10249143A JP9059458A JP5945897A JPH10249143A JP H10249143 A JPH10249143 A JP H10249143A JP 9059458 A JP9059458 A JP 9059458A JP 5945897 A JP5945897 A JP 5945897A JP H10249143 A JPH10249143 A JP H10249143A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 シランと共にアルシン，ホスフィン，ジボラ
ン等のシラン以外の揮発性無機水素化物を含む排ガスを
効率よく安全に除害処理することができる排ガスの処理
方法を提供する。 【解決手段】 有害成分として、シランを含有するとと
もに、アルシン，ホスフィン，ジボラン等の揮発性無機
水素化物の少なくとも一種を含む排ガスの除害処理方法
であって、あらかじめシランを接触させてシランに対す
る除害能力を低下させた酸化第二銅を反応主成分とする
除害剤に前記排ガスを接触させた後、該排ガスをバーナ
ー火炎中に導入して燃焼処理を行う。
ン等のシラン以外の揮発性無機水素化物を含む排ガスを
効率よく安全に除害処理することができる排ガスの処理
方法を提供する。 【解決手段】 有害成分として、シランを含有するとと
もに、アルシン，ホスフィン，ジボラン等の揮発性無機
水素化物の少なくとも一種を含む排ガスの除害処理方法
であって、あらかじめシランを接触させてシランに対す
る除害能力を低下させた酸化第二銅を反応主成分とする
除害剤に前記排ガスを接触させた後、該排ガスをバーナ
ー火炎中に導入して燃焼処理を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、排ガスの処理方法
に関し、詳しくは、有害成分として、多量のシランを含
有するとともに、アルシン，ホスフィン，ジボラン等の
揮発性無機水素化物の少なくとも一種を含む排ガスを無
害化するための排ガスの処理方法に関する。
に関し、詳しくは、有害成分として、多量のシランを含
有するとともに、アルシン，ホスフィン，ジボラン等の
揮発性無機水素化物の少なくとも一種を含む排ガスを無
害化するための排ガスの処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程の各製造装置では、原料
ガスとしてシラン，アルシン，ホスフィン，ジボラン等
の有害な揮発性無機水素化物を使用しているため、各製
造装置からの排ガスを集合させてまとめて除害処理を行
ってから排出するようにしている。これらの揮発性無機
水素化物の中でも、シランの使用量が多いので、排ガス
中には、シランが多量に含まれており、これに、アルシ
ン，ホスフィン，ジボラン等が混合した状態になってい
る。
ガスとしてシラン，アルシン，ホスフィン，ジボラン等
の有害な揮発性無機水素化物を使用しているため、各製
造装置からの排ガスを集合させてまとめて除害処理を行
ってから排出するようにしている。これらの揮発性無機
水素化物の中でも、シランの使用量が多いので、排ガス
中には、シランが多量に含まれており、これに、アルシ
ン，ホスフィン，ジボラン等が混合した状態になってい
る。
【０００３】前記揮発性無機水素化物の除害処理として
は、酸化銅等の金属酸化物や水酸化銅等を反応主成分と
した固体除害剤を除害筒内に充填し、ここに前記排ガス
を流通させて固体除害剤と揮発性無機水素化物とを接触
させて除害する乾式除害法が知られている。
は、酸化銅等の金属酸化物や水酸化銅等を反応主成分と
した固体除害剤を除害筒内に充填し、ここに前記排ガス
を流通させて固体除害剤と揮発性無機水素化物とを接触
させて除害する乾式除害法が知られている。
【０００４】しかし、半導体製造工程では、多くの装置
で大量のシランが使われるため、その排出量も多く、シ
ラン濃度の高い排ガスを大量に処理しなければならな
い。前記乾式除害法は、設備と処理操作とが簡便ではあ
るが、シラン濃度の高い排ガスを処理しようとすると、
除害筒内の偏流や閉塞等の問題があり、また、大量の排
ガスを処理するために固体除害剤も頻繁に交換しなけれ
ばならず、それを回避するためには除害筒が巨大なもの
となってしまい、現実的ではなくなる。
で大量のシランが使われるため、その排出量も多く、シ
ラン濃度の高い排ガスを大量に処理しなければならな
い。前記乾式除害法は、設備と処理操作とが簡便ではあ
るが、シラン濃度の高い排ガスを処理しようとすると、
除害筒内の偏流や閉塞等の問題があり、また、大量の排
ガスを処理するために固体除害剤も頻繁に交換しなけれ
ばならず、それを回避するためには除害筒が巨大なもの
となってしまい、現実的ではなくなる。
【０００５】このため、処理するシランの量が多く、そ
の濃度も高い排ガスを大量に除害処理する際には、排ガ
スを燃焼炉に導入してバーナー火炎中でシランを燃焼さ
せ、シランを無害な酸化ケイ素と水とに分解して除害す
る燃焼除害法が多く用いられている。
の濃度も高い排ガスを大量に除害処理する際には、排ガ
スを燃焼炉に導入してバーナー火炎中でシランを燃焼さ
せ、シランを無害な酸化ケイ素と水とに分解して除害す
る燃焼除害法が多く用いられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記燃焼除害法は、多
量の揮発性無機水素化物を処理することができ、特に、
多量のシランを含む排ガスを処理するには好適である
が、半導体製造工程から排出される排ガス中には、通
常、シランと共に少量のシラン以外の揮発性無機水素化
物も含まれているため、これをそのまま燃焼処理する
と、有害物質が生成することがある。例えば、多量のシ
ランに少量のアルシンを含む排ガスを燃焼処理すると、
有毒なヒ素の酸化物を生成するので、燃焼生成物の廃棄
にあたっては、さらに別の除害処理を行わなければなら
なかった。また、ホスフィンを含む排ガスの場合は、こ
れを燃焼処理すると吸湿性を有するリンの酸化物が生成
し、これが配管内やバグフィルター内に付着して正常な
運転に影響を与えるおそれがあった。
量の揮発性無機水素化物を処理することができ、特に、
多量のシランを含む排ガスを処理するには好適である
が、半導体製造工程から排出される排ガス中には、通
常、シランと共に少量のシラン以外の揮発性無機水素化
物も含まれているため、これをそのまま燃焼処理する
と、有害物質が生成することがある。例えば、多量のシ
ランに少量のアルシンを含む排ガスを燃焼処理すると、
有毒なヒ素の酸化物を生成するので、燃焼生成物の廃棄
にあたっては、さらに別の除害処理を行わなければなら
なかった。また、ホスフィンを含む排ガスの場合は、こ
れを燃焼処理すると吸湿性を有するリンの酸化物が生成
し、これが配管内やバグフィルター内に付着して正常な
運転に影響を与えるおそれがあった。
【０００７】しかし、多くの半導体製造装置から排出さ
れる様々な排ガスを、含まれる有害成分毎に分別捕集
し、別々に除害処理するのは配管系も複雑となり、除害
設備も多くなって不経済である。
れる様々な排ガスを、含まれる有害成分毎に分別捕集
し、別々に除害処理するのは配管系も複雑となり、除害
設備も多くなって不経済である。
【０００８】そこで本発明は、シランと共にアルシン，
ホスフィン，ジボラン等のシラン以外の揮発性無機水素
化物を含む排ガスを効率よく安全に除害処理することが
できる排ガスの処理方法を提供することを目的としてい
る。
ホスフィン，ジボラン等のシラン以外の揮発性無機水素
化物を含む排ガスを効率よく安全に除害処理することが
できる排ガスの処理方法を提供することを目的としてい
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の排ガスの処理方法は、有害成分として、シ
ランを含有するとともに、アルシン，ホスフィン，ジボ
ラン等の揮発性無機水素化物の少なくとも一種を含む排
ガスの除害処理方法であって、あらかじめシランを接触
させてシランに対する除害能力を低下させた酸化第二銅
を反応主成分とする除害剤に前記排ガスを接触させた
後、該排ガスをバーナー火炎中に導入して燃焼処理を行
うことを特徴としている。さらに、本発明は、前記除害
剤が、アルミナ担体に前記酸化第二銅を７０重量％以上
担持させたものを含むことを特徴としている。
め、本発明の排ガスの処理方法は、有害成分として、シ
ランを含有するとともに、アルシン，ホスフィン，ジボ
ラン等の揮発性無機水素化物の少なくとも一種を含む排
ガスの除害処理方法であって、あらかじめシランを接触
させてシランに対する除害能力を低下させた酸化第二銅
を反応主成分とする除害剤に前記排ガスを接触させた
後、該排ガスをバーナー火炎中に導入して燃焼処理を行
うことを特徴としている。さらに、本発明は、前記除害
剤が、アルミナ担体に前記酸化第二銅を７０重量％以上
担持させたものを含むことを特徴としている。
【００１０】本発明者らの考究結果によれば、揮発性無
機水素化物に対して除害作用を有する酸化第二銅は、揮
発性無機水素化物の中でもシランに対しては特異な反応
性を示すことが判明した。まず、酸化第二銅は、シラン
以外の揮発性無機水素化物に対しては優れた除害効果を
有しているものの、シランに対しては処理量が少なく、
除害効果が劣ること、また、排ガス中にシランとシラン
以外の揮発性無機水素化物が混在している場合、酸化第
二銅は、シランを優先的に除害してシラン以外の揮発性
無機水素化物の除害効果を低下させることが判った。
機水素化物に対して除害作用を有する酸化第二銅は、揮
発性無機水素化物の中でもシランに対しては特異な反応
性を示すことが判明した。まず、酸化第二銅は、シラン
以外の揮発性無機水素化物に対しては優れた除害効果を
有しているものの、シランに対しては処理量が少なく、
除害効果が劣ること、また、排ガス中にシランとシラン
以外の揮発性無機水素化物が混在している場合、酸化第
二銅は、シランを優先的に除害してシラン以外の揮発性
無機水素化物の除害効果を低下させることが判った。
【００１１】すなわち、酸化第二銅をアルミナ担体に担
持させた除害剤を充填した充填筒に、有害成分としてシ
ランやシラン以外のアルシン，ホスフィン，ジボラン等
の揮発性無機水素化物を含有する各種ガスを導入し、充
填筒から導出するガスをモニターして各有害成分濃度が
急上昇する時点を破過点として破過挙動を調べたとこ
ろ、以下に示す特異な現象が観察された。
持させた除害剤を充填した充填筒に、有害成分としてシ
ランやシラン以外のアルシン，ホスフィン，ジボラン等
の揮発性無機水素化物を含有する各種ガスを導入し、充
填筒から導出するガスをモニターして各有害成分濃度が
急上昇する時点を破過点として破過挙動を調べたとこ
ろ、以下に示す特異な現象が観察された。
【００１２】図２は、シラン及びアルシンをそれぞれ単
独に１％ずつ含むガスを前記除害剤を充填した充填筒に
導入したときの出口ガスのシラン及びアルシンの濃度変
化（破過曲線）を示すものである。この図から、アルシ
ンの破過（アルシン破過点）までの時間に比べて、シラ
ン破過点までの時間が短いことが分る。すなわち、この
酸化第二銅を反応成分とする除害剤は、アルシンに対し
ては十分な除害能力を有しているが、シランに対する除
害能力が劣っていることが判る。この原因は、アルシン
は除害剤の内部まで反応が進むが、シランは除害剤の表
面のみでしか反応せず、除害剤内部まで反応が進まない
ためであろうと考えられる。なお、図示は省略するが、
ホスフィンやジボランもアルシンと同程度の破過時間が
得られる。
独に１％ずつ含むガスを前記除害剤を充填した充填筒に
導入したときの出口ガスのシラン及びアルシンの濃度変
化（破過曲線）を示すものである。この図から、アルシ
ンの破過（アルシン破過点）までの時間に比べて、シラ
ン破過点までの時間が短いことが分る。すなわち、この
酸化第二銅を反応成分とする除害剤は、アルシンに対し
ては十分な除害能力を有しているが、シランに対する除
害能力が劣っていることが判る。この原因は、アルシン
は除害剤の内部まで反応が進むが、シランは除害剤の表
面のみでしか反応せず、除害剤内部まで反応が進まない
ためであろうと考えられる。なお、図示は省略するが、
ホスフィンやジボランもアルシンと同程度の破過時間が
得られる。
【００１３】次に、図３は、ガス中にシラン１％とアル
シン１％とを含むガスの場合の破過曲線を示すものであ
る。シランの破過曲線は、アルシンを含まないときとほ
とんど変わらず、アルシンの共存の影響は無い。しか
し、アルシンの破過時間は、シランの共存によって大幅
に短くなっていることが判る。これは、シランが酸化銅
と選択的に反応するとともに、その反応熱による温度上
昇のためにアルシンの処理能力が低下するものと推察さ
れる。
シン１％とを含むガスの場合の破過曲線を示すものであ
る。シランの破過曲線は、アルシンを含まないときとほ
とんど変わらず、アルシンの共存の影響は無い。しか
し、アルシンの破過時間は、シランの共存によって大幅
に短くなっていることが判る。これは、シランが酸化銅
と選択的に反応するとともに、その反応熱による温度上
昇のためにアルシンの処理能力が低下するものと推察さ
れる。
【００１４】そこで、シランとの反応が起こらないよう
に、シランが破過した後の酸化第二銅からなる除害剤を
充填した充填筒に、シラン１％とアルシン１％とを含む
ガスを導入したところ、図４の破過曲線に示すように、
アルシンの破過時間は、アルシン単独のときと同じ程度
までとなった。
に、シランが破過した後の酸化第二銅からなる除害剤を
充填した充填筒に、シラン１％とアルシン１％とを含む
ガスを導入したところ、図４の破過曲線に示すように、
アルシンの破過時間は、アルシン単独のときと同じ程度
までとなった。
【００１５】これらの現象から、酸化第二銅は、初期に
はシランを優先的に除害するが、その処理量は少ないこ
と、シランの除害処理を行った後の酸化第二銅は、本質
的にアルシンの処理能力に影響を与えないことが判明し
た。さらに、アルシンの他、ホスフィンやジボランにつ
いても同様の結果が得られた。
はシランを優先的に除害するが、その処理量は少ないこ
と、シランの除害処理を行った後の酸化第二銅は、本質
的にアルシンの処理能力に影響を与えないことが判明し
た。さらに、アルシンの他、ホスフィンやジボランにつ
いても同様の結果が得られた。
【００１６】したがって、酸化第二銅は、これをそのま
ま用いてシランを含むガスの除害処理を行うと、シラン
以外の有害成分に対する除害能力が低下してしまうが、
あらかじめ少量のシランを用いてシランに対する除害能
力を破過させておくと、シランに対してはもはや反応し
ないが、アルシン等に対する除害能力は有するものとな
る。すなわち、多量のシランと少量のシラン以外の揮発
性無機水素化物とを含むガスを酸化第二銅に接触させる
と、シラン以外の揮発性無機水素化物を除害処理（分離
除去）してシランのみを含むガスが得られることにな
り、このシランのみを含むガスを燃焼処理することによ
り、有害物質を生成させずにシランの除害処理を行える
ことになる。
ま用いてシランを含むガスの除害処理を行うと、シラン
以外の有害成分に対する除害能力が低下してしまうが、
あらかじめ少量のシランを用いてシランに対する除害能
力を破過させておくと、シランに対してはもはや反応し
ないが、アルシン等に対する除害能力は有するものとな
る。すなわち、多量のシランと少量のシラン以外の揮発
性無機水素化物とを含むガスを酸化第二銅に接触させる
と、シラン以外の揮発性無機水素化物を除害処理（分離
除去）してシランのみを含むガスが得られることにな
り、このシランのみを含むガスを燃焼処理することによ
り、有害物質を生成させずにシランの除害処理を行える
ことになる。
【００１７】このことから、シランを含有するととも
に、アルシン，ホスフィン，ジボラン等の揮発性無機水
素化物の少なくとも一種を含む排ガスの除害処理を行う
にあたっては、前述のように、あらかじめシランを破過
させるシラン処理を行った酸化第二銅を反応主成分とす
る除害剤に排ガスを接触させてシラン以外の揮発性無機
水素化物を除去した後、ガス中に残存するシランを燃焼
処理によって除害することにより、シランと共にシラン
以外の揮発性無機水素化物を含む排ガスを効率よく安全
に除害処理することができる。
に、アルシン，ホスフィン，ジボラン等の揮発性無機水
素化物の少なくとも一種を含む排ガスの除害処理を行う
にあたっては、前述のように、あらかじめシランを破過
させるシラン処理を行った酸化第二銅を反応主成分とす
る除害剤に排ガスを接触させてシラン以外の揮発性無機
水素化物を除去した後、ガス中に残存するシランを燃焼
処理によって除害することにより、シランと共にシラン
以外の揮発性無機水素化物を含む排ガスを効率よく安全
に除害処理することができる。
【００１８】また、除害剤の主成分となる酸化第二銅
は、任意の状態，形状で使用することができるが、酸化
第二銅をアルミナ担体に７０重量％以上担持させたもの
を用いることにより、比表面積の増大等によって処理効
率を大幅に向上させることができる。
は、任意の状態，形状で使用することができるが、酸化
第二銅をアルミナ担体に７０重量％以上担持させたもの
を用いることにより、比表面積の増大等によって処理効
率を大幅に向上させることができる。
【００１９】
実施例１ 実験装置として、図１に示す構成の除害装置を作成し
た。この除害装置は、内径４３ｍｍのステンレス製の充
填筒１と、内径１５１ｍｍの燃焼炉２の上部にバーナー
３を配設した燃焼除害装置４とを備えている。充填筒１
の出口側には、ガス検知器（日本酸素製ＨＤ−１）５と
ガスクロマトグラフィー（島津製作所製ＧＣ−８Ａ）６
とを設置し、充填筒１から導出したガスの組成を測定し
た。燃焼除害装置４の下流側には、燃焼生成物を搬送し
て捕捉するためのポンプ７とバグフィルター８とを設置
した。また、バーナー３には、燃料及び支燃性ガスとし
て管９からプロパンを毎分０．３リットル、管１０から
空気を毎分４１リットルの割合でそれぞれ供給し、形成
された燃焼火炎の中央部に試験ガスを毎分１５〜２０リ
ットルの割合で噴出させるようにした。
た。この除害装置は、内径４３ｍｍのステンレス製の充
填筒１と、内径１５１ｍｍの燃焼炉２の上部にバーナー
３を配設した燃焼除害装置４とを備えている。充填筒１
の出口側には、ガス検知器（日本酸素製ＨＤ−１）５と
ガスクロマトグラフィー（島津製作所製ＧＣ−８Ａ）６
とを設置し、充填筒１から導出したガスの組成を測定し
た。燃焼除害装置４の下流側には、燃焼生成物を搬送し
て捕捉するためのポンプ７とバグフィルター８とを設置
した。また、バーナー３には、燃料及び支燃性ガスとし
て管９からプロパンを毎分０．３リットル、管１０から
空気を毎分４１リットルの割合でそれぞれ供給し、形成
された燃焼火炎の中央部に試験ガスを毎分１５〜２０リ
ットルの割合で噴出させるようにした。
【００２０】市販のアルミナ担体に酸化第二銅を７０重
量％担持させて直径約５ｍｍのペレットからなる除害剤
を作成し、この除害剤３８０ｇを前記充填筒１内に充填
した。このときの充填高さは２００ｍｍになった。
量％担持させて直径約５ｍｍのペレットからなる除害剤
を作成し、この除害剤３８０ｇを前記充填筒１内に充填
した。このときの充填高さは２００ｍｍになった。
【００２１】最初に、前処理として、シラン１％を含む
窒素ガスを、管１１から毎分２．６リットルの流量で充
填筒１内に導入し、充填筒１の出口側の管１２に導出さ
れたガスのシラン濃度を前記ガス検知器５でモニターし
た。ガス導入後、４時間５０分で出口ガス中のシラン濃
度が５ｐｐｍとなり、シランに対する除害能力が破過し
たのでシラン含有窒素ガスの導入を止めた。
窒素ガスを、管１１から毎分２．６リットルの流量で充
填筒１内に導入し、充填筒１の出口側の管１２に導出さ
れたガスのシラン濃度を前記ガス検知器５でモニターし
た。ガス導入後、４時間５０分で出口ガス中のシラン濃
度が５ｐｐｍとなり、シランに対する除害能力が破過し
たのでシラン含有窒素ガスの導入を止めた。
【００２２】上記前処理（シラン処理）を行った後、窒
素ガスのみを２４時間流して充填筒１内をパージした。
次に、窒素ガス中にシラン１％とアルシン５０００ｐｐ
ｍとを含む試験ガスを充填筒１に導入するとともに、充
填筒１から導出したガスを管１２を介して燃焼除害装置
４に導入し、バーナー３の火炎により燃焼処理を行っ
た。
素ガスのみを２４時間流して充填筒１内をパージした。
次に、窒素ガス中にシラン１％とアルシン５０００ｐｐ
ｍとを含む試験ガスを充填筒１に導入するとともに、充
填筒１から導出したガスを管１２を介して燃焼除害装置
４に導入し、バーナー３の火炎により燃焼処理を行っ
た。
【００２３】充填筒１の出口ガスをガスクロマトグラフ
ィー６で測定した結果、シランはガス導入直後から略１
％の濃度を示し、充填筒１内では処理されていないこと
が判った。また、アルシンは、３６時間処理した後に
０．０３ｐｐｍの濃度に上昇して破過状態となった。こ
のときのアルシンの処理量は、除害剤１ｋｇ当たり７５
リットルであった。一方、燃焼除害装置４の出口側の管
１３に導出したガス及びバグフィルター８で捕捉した固
形物を分析したが、アルシンが破過するまでの間、これ
らのいずれにもヒ素は検出されなかった。さらに、バグ
フィルター８から管１４に導出されたガスからは、シラ
ン，アルシンの両者共、検出されなかった。
ィー６で測定した結果、シランはガス導入直後から略１
％の濃度を示し、充填筒１内では処理されていないこと
が判った。また、アルシンは、３６時間処理した後に
０．０３ｐｐｍの濃度に上昇して破過状態となった。こ
のときのアルシンの処理量は、除害剤１ｋｇ当たり７５
リットルであった。一方、燃焼除害装置４の出口側の管
１３に導出したガス及びバグフィルター８で捕捉した固
形物を分析したが、アルシンが破過するまでの間、これ
らのいずれにもヒ素は検出されなかった。さらに、バグ
フィルター８から管１４に導出されたガスからは、シラ
ン，アルシンの両者共、検出されなかった。
【００２４】なお、図１中、符号１５は燃焼除害装置４
におけるパージガス導入用の管、１６は燃焼ガス冷却用
空気を導入するための管である。
におけるパージガス導入用の管、１６は燃焼ガス冷却用
空気を導入するための管である。
【００２５】比較例１ 実施例１において、前処理（シラン処理）を行わなかっ
た以外は実施例１と同様の操作を行った。その結果、８
時間１０分後に、充填筒１から導出されるガス中にアル
シンが検出された。このときのアルシンの処理量は、除
害剤１ｋｇ当たり１７リットルであった。また、これ以
降は、燃焼除害装置４の出口側でヒ素が検出された。
た以外は実施例１と同様の操作を行った。その結果、８
時間１０分後に、充填筒１から導出されるガス中にアル
シンが検出された。このときのアルシンの処理量は、除
害剤１ｋｇ当たり１７リットルであった。また、これ以
降は、燃焼除害装置４の出口側でヒ素が検出された。
【００２６】実施例２ 実施例１において、アルミナ担体に担持させる酸化第二
銅の量を、４０重量％，５０重量％，６０重量％とし
て、それぞれにおける除害剤１ｋｇ当たりのアルシンの
処理量を測定した。その結果を以下に示す。 酸化第２銅の担持量［重量％］ ４０ ５０ ６０ アルシンの処理量［リットル］ ３０ ３８ ５１
銅の量を、４０重量％，５０重量％，６０重量％とし
て、それぞれにおける除害剤１ｋｇ当たりのアルシンの
処理量を測定した。その結果を以下に示す。 酸化第２銅の担持量［重量％］ ４０ ５０ ６０ アルシンの処理量［リットル］ ３０ ３８ ５１
【００２７】実施例３ 試験ガスとして、窒素ガス中にシラン１％とホスフィン
５０００ｐｐｍとを含むガスを使用した以外は、実施例
１と同様に操作を行った。充填筒の出口ガスには、試験
ガス導入直後から略１％のシランが検出され、ホスフィ
ンは、２９時間３０分後に０．３ｐｐｍとなった。この
ときのホスフィンの処理量は、除害剤１ｋｇ当たり６０
リットルであった。また、ホスフィンが破過するまでの
間、燃焼除害装置の出口側のガスからはリンは検出され
なかった。
５０００ｐｐｍとを含むガスを使用した以外は、実施例
１と同様に操作を行った。充填筒の出口ガスには、試験
ガス導入直後から略１％のシランが検出され、ホスフィ
ンは、２９時間３０分後に０．３ｐｐｍとなった。この
ときのホスフィンの処理量は、除害剤１ｋｇ当たり６０
リットルであった。また、ホスフィンが破過するまでの
間、燃焼除害装置の出口側のガスからはリンは検出され
なかった。
【００２８】比較例２ 実施例３において、シラン処理を行わなかった以外は実
施例３と同様の操作を行った。その結果、７時間２０分
後に、充填筒から導出されるガス中にホスフィンが検出
された。このときのホスフィンの処理量は、除害剤１ｋ
ｇ当たり１５リットルであった。また、これ以降は、燃
焼除害装置の出口側でリンが検出された。
施例３と同様の操作を行った。その結果、７時間２０分
後に、充填筒から導出されるガス中にホスフィンが検出
された。このときのホスフィンの処理量は、除害剤１ｋ
ｇ当たり１５リットルであった。また、これ以降は、燃
焼除害装置の出口側でリンが検出された。
【００２９】実施例４ 試験ガスとして、窒素ガス中にシラン５０００ｐｐｍ，
アルシン２０００ｐｐｍ，ホスフィン３０００ｐｐｍ，
ジボラン５０ｐｐｍを含むガスを使用した以外は、実施
例１と同様に操作を行った。その結果、充填筒の出口ガ
スからは、試験ガス導入直後から略１％のシランが検出
されたが、その他のガスは検出されなかった。また、燃
焼除害装置の出口側のガスからは、ヒ素，リン，ホウ素
は検出されなかった。
アルシン２０００ｐｐｍ，ホスフィン３０００ｐｐｍ，
ジボラン５０ｐｐｍを含むガスを使用した以外は、実施
例１と同様に操作を行った。その結果、充填筒の出口ガ
スからは、試験ガス導入直後から略１％のシランが検出
されたが、その他のガスは検出されなかった。また、燃
焼除害装置の出口側のガスからは、ヒ素，リン，ホウ素
は検出されなかった。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の排ガスの
処理方法によれば、半導体製造工程から排出される各種
揮発性無機水素化物を含む排ガスを効率よく安全に低コ
ストで除害処理することができる。
処理方法によれば、半導体製造工程から排出される各種
揮発性無機水素化物を含む排ガスを効率よく安全に低コ
ストで除害処理することができる。
【図１】 実施例で使用した実験装置の系統図である。
【図２】 シラン及びアルシンをそれぞれ単独で含むガ
スを除害処理したときの破過曲線を示す図である。
スを除害処理したときの破過曲線を示す図である。
【図３】 シランとアルシンとを含むガスを除害処理し
たときの破過曲線を示す図である。
たときの破過曲線を示す図である。
【図４】 前処理としてシラン処理を行った後に、シラ
ンとアルシンとを含むガスを除害処理したときの破過曲
線を示す図である。
ンとアルシンとを含むガスを除害処理したときの破過曲
線を示す図である。
１…充填筒、２…燃焼炉、３…バーナー、４…燃焼除害
装置、５…ガス検知器、６…ガスクロマトグラフィー、
７…ポンプ、８…バグフィルター
装置、５…ガス検知器、６…ガスクロマトグラフィー、
７…ポンプ、８…バグフィルター
Claims (2)
- 【請求項１】 有害成分として、シランを含有するとと
もに、アルシン，ホスフィン，ジボラン等の揮発性無機
水素化物の少なくとも一種を含む排ガスの除害処理方法
であって、あらかじめシランを接触させてシランに対す
る除害能力を低下させた酸化第二銅を反応主成分とする
除害剤に前記排ガスを接触させた後、該排ガスをバーナ
ー火炎中に導入して燃焼処理を行うことを特徴とする排
ガスの処理方法。 - 【請求項２】 前記除害剤は、アルミナ担体に酸化第二
銅を７０重量％以上担持させたものを含むことを特徴と
する請求項１記載の排ガスの処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05945897A JP3908818B2 (ja) | 1997-03-13 | 1997-03-13 | 排ガスの処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05945897A JP3908818B2 (ja) | 1997-03-13 | 1997-03-13 | 排ガスの処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10249143A true JPH10249143A (ja) | 1998-09-22 |
| JP3908818B2 JP3908818B2 (ja) | 2007-04-25 |
Family
ID=13113894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05945897A Expired - Fee Related JP3908818B2 (ja) | 1997-03-13 | 1997-03-13 | 排ガスの処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3908818B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000060286A1 (fr) * | 1999-04-06 | 2000-10-12 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Bruleur et four a combustion de combustion et d'hydrolyse a la flamme, et procede de combustion correspondant |
| US6962677B2 (en) | 2001-04-20 | 2005-11-08 | Nec Lcd Technologies, Ltd. | Method and apparatus for combustion harmfulness-elimination of PFC gas |
-
1997
- 1997-03-13 JP JP05945897A patent/JP3908818B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000060286A1 (fr) * | 1999-04-06 | 2000-10-12 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Bruleur et four a combustion de combustion et d'hydrolyse a la flamme, et procede de combustion correspondant |
| US6962677B2 (en) | 2001-04-20 | 2005-11-08 | Nec Lcd Technologies, Ltd. | Method and apparatus for combustion harmfulness-elimination of PFC gas |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3908818B2 (ja) | 2007-04-25 |
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