JPH10242385A - 電力用混合集積回路装置 - Google Patents

電力用混合集積回路装置

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JPH10242385A
JPH10242385A JP4338997A JP4338997A JPH10242385A JP H10242385 A JPH10242385 A JP H10242385A JP 4338997 A JP4338997 A JP 4338997A JP 4338997 A JP4338997 A JP 4338997A JP H10242385 A JPH10242385 A JP H10242385A
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circuit device
power
resin
integrated circuit
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JP4338997A
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Koji Morita
晃司 森田
Takayuki Murai
孝之 村井
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Yamaha Motor Co Ltd
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Yamaha Motor Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/14Structural association of two or more printed circuits
    • H05K1/144Stacked arrangements of planar printed circuit boards
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings
    • H05K3/284Applying non-metallic protective coatings for encapsulating mounted components

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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電力用半導体装置を製造するときの工程およ
び部品数を削減する。 【解決手段】 半導体チップ23およびこの半導体チッ
プにボンディングワイヤ30で接続した導体パターンを
有するベース板22を備える。このベース板22の電子
部品実装部をモールド樹脂26で封止し、このモールド
樹脂26に形成した凹陥部31内に制御用基板27を収
容する。前記凹陥部31内に制御用基板27が埋没する
ように封止樹脂28を充填した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、二つの基板を内蔵
した電力用混合集積回路装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、パワーモジュールなどの電力用混
合集積回路装置は、電力用半導体チップを実装した第1
の基板と、制御回路を搭載した第2の基板とを間隔をお
いて対向するように配設し、これら両基板を樹脂封止す
る構造を採っている。この種の従来の電力用混合集積回
路装置を図2によって説明する。
【0003】図2は従来の電力用混合集積回路装置を示
す断面図である。同図において、符号1は従来の電力用
混合集積回路装置を示す。この電力用混合集積回路装置
1は、電力用半導体チップ2を搭載した金属製ベース板
3の上部に枠状の合成樹脂製ケース4を接着し、このケ
ース4内に制御用基板5を配設した状態でシリコンゲル
6とエポキシ樹脂7を充填している。
【0004】前記半導体チップ2は、メタライズにより
導体パターンを形成したセラミック製絶縁基板8に実装
し、この絶縁基板8を介して前記ベース板3上に搭載し
ている。また、半導体チップ2の表面電極は、ボンディ
ングワイヤ9によって絶縁基板8上の導体パターンに接
続している。前記導体パターンに、外部接続用端子10
および複数の中継用端子11を半田付けしている。この
中継用端子11を介して前記制御用基板5を前記導体パ
ターンに接続している。
【0005】前記外部接続用端子10は、シリコンゲル
6およびエポキシ樹脂7を貫通して先端部が上方に導出
している。また、前記中継用端子11は、下端を前記導
体パターンに固着するとともに、シリコンゲル6を貫通
して上方へ延びる先端部に制御用基板5を接続してい
る。この制御用基板5は、ガラス繊維入りエポキシ基板
本体5aに制御用電子部品5bを実装することによって
形成している。
【0006】このように構成した従来の電力用混合集積
回路装置1を製造するには、先ず、ベース板3上に絶縁
基板8を搭載し、この絶縁基板8上に半導体チップ2を
実装する。そして、半導体チップ2にワイヤボンディン
グを施すとともに、外部接続用端子10および中継用端
子11を絶縁基板8に実装する。次に、中継用端子11
の上端部に制御用基板5を接続し、ベース板3にケース
4を接着してこのケース4内にシリコンゲル6を注入す
る。
【0007】シリコンゲル6は、ボンディングワイヤ9
および外部接続用端子10の下部屈曲部10aが埋没す
るように注入した状態で加熱してキュアさせる。その
後、ケース内4であってシリコンゲル6の上側に制御用
基板5が埋没するように溶融状態のエポキシ樹脂を注入
する。しかる後、ベース板3およびケース4を含む装置
全体を加熱して前記エポキシ樹脂を固化させることによ
って、電力用混合集積回路装置1の製造工程が終了す
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上述したよ
うに構成した従来の電力用混合集積回路装置1は、ベー
ス3にケース4を組付けることによって筐体を形成し、
この筐体内に2種類の樹脂材料を注入するので、製造す
るための工程および部品数が多くなるという問題があっ
た。
【0009】また、この電力用混合集積回路装置1は、
制御用基板5を中継用端子11に接続するのに時間がか
かり過ぎるという問題があった。これは、中継用端子1
1の下端のみをベース板3側に固定しているため、中継
用端子11の上端部に制御用基板5を接続するときに中
継用端子11が曲がってしまうことがないように作業を
慎重に行わなければならないからである。
【0010】本発明はこのような問題点を解消するため
になされたもので、電力用半導体装置を製造するときの
工程および部品数を削減するとともに、二つの基板を簡
単に接続することができるようにすることを目的とす
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明に係る電力用混合
集積回路装置は、半導体チップおよびこの半導体チップ
にボンディングワイヤで接続した導体パターンを有する
第1の基板と、この第1の基板の電子部品実装部を封止
するモールド樹脂と、前記第1の基板に間隔をおいて対
向するように配設した第2の基板とを備え、前記モール
ド樹脂に第2の基板収容用凹陥部を形成するとともに、
この凹陥部内に前記第2の基板が埋没するように封止樹
脂を充填したものである。
【0012】本発明によれば、第1の基板の電子部品を
封止するモールド樹脂が第2の基板を封止するためのケ
ースになるから、従来のものに較べて合成樹脂製ケース
およびシリコン樹脂が不要になる。
【0013】他の発明に係る電力用混合集積回路装置
は、上述した発明に係る電力用混合集積回路装置におい
て、第1の基板にモールド樹脂の第2の基板収容用凹陥
部内に臨む中継用端子をモールド樹脂を貫通するように
立設し、この中継用端子の先端部に第2の基板を接続し
たものである。
【0014】中継用端子は、第2の基板の近傍となる部
分まで樹脂材によって支持されるから、中継用端子の一
端のみを固定して他端に第2の基板を接続する従来の構
造を採る場合に較べ、中継用端子を強固に支持すること
ができる。このため、第2の基板を接続するときに中継
用端子が曲がってしまうことはない。
【0015】さらに他の発明に係る電力用混合集積回路
装置は、上述した発明に係る電力用混合集積回路装置に
おいて、第1の基板に実装する半導体チップを大電力用
半導体チップとしたものである。
【0016】本発明に係る電力用混合集積回路装置は、
相対的に太いボンディングワイヤを使用することから、
成形時に発生する熱応力または動作中の半導体チップが
発する熱で第1の基板およびモールド樹脂に応力が生じ
ても、ボンディングワイヤが切断したり、接合部が剥離
してしまうことはない。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る電力用混合集
積回路装置を図1によって詳細に説明する。図1は本発
明に係る電力用混合集積回路装置の断面図である。図1
において、符号21はこの実施の形態による電力用混合
集積回路装置を示す。この電力用混合集積回路装置21
は、第1の基板としてのベース板22と、このベース板
22上に実装した大電力用半導体チップ23、電源用コ
ネクタ24および中継用コネクタ25と、前記ベース板
22上の電子部品を封止するためのモールド樹脂26
と、第2基板としての制御用基板27と、この制御用基
板27を封止するための封止樹脂28などから構成して
いる。
【0018】前記ベース板22は、アルミニウム合金製
の板からなる基板29の上面に絶縁被膜を介して導体パ
ターンを設けることによって形成している。この導体パ
ターンは、前記絶縁被膜上に銅箔層を設け、予め定めた
回路の形状にエッチングによって形成している。前記半
導体チップ23は、前記導体パターンに半田付けし、表
面電極をボンディングワイヤ30によって導体パターン
のボンディングパッドに接続している。このボンディン
グワイヤ30は、半導体チップ23が大電力用であるた
め、相対的に太いものを使用している。
【0019】前記電源用コネクタ24および中継用コネ
クタ25は、複数の端子24a,25aと、この端子2
4a,25aを保持する合成樹脂製絶縁ブロック24
b,25bとから構成している。この実施の形態では、
インサート成形によって端子24a,25aと絶縁ブロ
ック24b,25bとが一体をなすように形成してい
る。前記端子24a,25aは、それぞれ断面L字形に
形成し、横方向(ベース板22の主面と平行な方向)に
延びる下辺を基板22の導体パターンに半田付けすると
ともに、縦方向に延びる上辺の端部を絶縁ブロック24
b,25bより上方へ突出させている。電源用コネクタ
24の端子24aの突出側端部には図示してない電源用
配線を接続する。また、中継用コネクタ25の端子25
aの突出側端部には、前記制御用基板27を接続してい
る。
【0020】前記モールド樹脂26は、図示してないモ
ールド金型を使用してベース板22上に成形し、ベース
板22上の半導体チップ23、ボンディングワイヤ30
および導体パターンなどを封止している。前記モールド
金型は、ベース板22が上方から嵌合する下金型と、モ
ールド樹脂26を成形するためのキャビティを形成した
上金型とから構成している。
【0021】また、モールド樹脂26のベース板22側
となる下部は、前記電源用コネクタ24の絶縁ブロック
24bの一部と、前記中継用コネクタ25の絶縁ブロッ
ク25bの略全てが埋没するように成形し、上部は、制
御用基板27を収容するための凹陥部31が形成される
ように成形している。モールド樹脂26をこのように成
形することによって、中継用コネクタ25の周囲がモー
ルド樹脂26で囲まれ、端子25aをベース板22に対
して強固に固定することができる。
【0022】前記凹陥部31は、制御用基板27の幅お
よび長さより大きい開口寸法をもって上方へ向けて開口
しており、底部には中継用コネクタ25の端子25aを
通すための穴32を形成している。この穴32は、モー
ルド金型の上金型に設けた突起を中継用コネクタ25の
絶縁ブロック25bの上面に圧接することによって形成
している。なお、この突起には、端子25aを収容する
ための穴を形成している。
【0023】前記制御用基板27は、ガラス繊維入りエ
ポキシ基板27aの上面に導体パターンを形成し、この
導体パターンに表面実装型半導体装置やチップ型抵抗な
どのリード付実装部品27bおよび表面実装部品27c
を半田付けすることによって形成している。この制御用
基板27の一側部に前記中継用コネクタ25の端子25
aを貫通させて半田付けするとともに、他側部に信号用
コネクタ33の端子33aを半田付けしている。この実
施の形態では、制御用基板27を前記凹陥部31の底面
に支承させた状態で前記端子25aを半田付けしてい
る。
【0024】制御用基板27を封止する封止樹脂27
は、この実施の形態ではエポキシ樹脂に較べて価格が安
いポリウレタン樹脂を採用し、凹陥部31内に開口付近
まで充填している。このように封止樹脂27を凹陥部3
1内に充填することによって、制御用基板27が封止樹
脂27内に埋没して封止される。なお、この封止樹脂2
7の材料はポリウレタン樹脂に限定されることはなく、
従来周知の樹脂封止材料であればどのようなものでも使
用することができる。
【0025】次に、このように構成した電力用混合集積
回路装置21を製造する手順を説明する。先ず、ベース
板22に半導体チップ23を実装するとともにワイヤボ
ンディングを施し、さらに、このベース板22に電源用
コネクタ24および中継用コネクタ24を実装する。そ
して、このベース板22をモールド金型に装填し、モー
ルド樹脂26を成形する。このようにモールド成形を実
施することによって、ベース板22上の半導体チップ2
3やボンディングワイヤ30などが封止されるととも
に、凹陥部31が形成される。
【0026】モールド金型からベース板22を封止樹脂
26とともに離型させた後、制御用基板27を凹陥部3
1内に挿入し、中継用コネクタ25の端子25aを制御
用基板27の図示してない接続穴に挿通させる。これと
ともに、制御用基板27を凹陥部31の底面に支承させ
る。そして、制御用基板27に前記端子25aを半田付
けする。なお、この半田付けを行う以前に、信号用コネ
クタ33の端子33aを制御用基板27に半田付けして
おく。しかる後、溶融状態の封止樹脂28を凹陥部31
内に注入し、固化させることによって、この電力用混合
集積回路装置21の製造工程が終了する。
【0027】したがって、この電力用混合集積回路装置
21は、ベース板22上の半導体チップ23、ボンディ
ングワイヤ30などを封止するモールド樹脂26が制御
用基板27を封止するためのケースになるから、従来の
ものに較べて合成樹脂製ケースおよびシリコン樹脂が不
要になる。
【0028】また、ベース板22と制御用基板27とを
接続する中継用コネクタ25の端子25aは、制御用基
板27の近傍となる部分まで絶縁ブロック25bとモー
ルド樹脂26とによって支持されるから、この端子の一
端のみを固定して他端に第2の基板を接続する従来の構
造を採る場合に較べ、端子25aを強固に支持すること
ができる。このため、制御用基板27を接続するときに
端子25aが曲がってしまうことはない。
【0029】さらに、この電力用混合集積回路装置21
は、ベース板22に実装する半導体チップ23を大電力
用のものとし、ボンディングワイヤ30を相対的に太い
ものを使用しているので、成形時に発生する熱応力また
は動作中の半導体チップ23が発する熱でベース板22
やモールド樹脂26に応力が生じても、ボンディングワ
イヤ30が切断したり接合部が剥離してしまうことはな
い。
【0030】加えて、この実施の形態で示したように、
封止樹脂28の材料としてポリウレタン樹脂を採用する
と、この樹脂材料は熱可塑性であり、固化させるときに
加熱を必要としないので、この電力用混合集積回路装置
21を製造する上で実施する加熱処理はモールド樹脂2
6を固化させるときだけでよい。したがって、図2で示
した従来のものを製造する場合に較べて熱処理工程も削
減できるので、より一層のコストダウンを図ることがで
きる。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る電力
用混合集積回路装置は、半導体チップおよびこの半導体
チップにボンディングワイヤで接続した導体パターンを
有する第1の基板と、この第1の基板の電子部品実装部
を封止するモールド樹脂と、前記第1の基板に間隔をお
いて対向するように配設した第2の基板とを備え、前記
モールド樹脂に第2の基板収容用凹陥部を形成するとと
もに、この凹陥部内に前記第2の基板が埋没するように
封止樹脂を充填したため、第1の基板の電子部品を封止
するモールド樹脂が第2の基板を封止するためのケース
を形成するから、従来のものに較べて合成樹脂製ケース
およびシリコン樹脂が不要になる。
【0032】したがって、本発明によれば、製造工程お
よび部品数を削減することができ、電力用混合集積回路
装置を安価に提供することができる。
【0033】他の発明に係る電力用混合集積回路装置
は、上述した発明に係る電力用混合集積回路装置におい
て、第1の基板にモールド樹脂の第2の基板収容用凹陥
部内に臨む中継用端子をモールド樹脂を貫通するように
立設し、この中継用端子の先端部に第2の基板を接続し
たため、中継用端子は、第2の基板の近傍となる部分ま
で樹脂材によって支持されるから、中継用端子の一端の
みを固定して他端に第2の基板を接続する従来の構造を
採る場合に較べ、中継用端子を強固に支持することがで
きる。
【0034】したがって、第2の基板を接続するときに
中継用端子が曲がってしまうことはないから、この作業
が簡単で、従来に較べて作業時間を短縮することができ
る。
【0035】さらに他の発明に係る電力用混合集積回路
装置は、上述した発明に係る電力用混合集積回路装置に
おいて、第1の基板に実装する半導体チップを大電力用
半導体チップとしたため、本発明に係る電力用混合集積
回路装置は、相対的に太いボンディングワイヤを使用す
ることから、成形時に発生する熱応力または動作中の半
導体チップが発する熱で第1の基板およびモールド樹脂
に応力が生じても、ボンディングワイヤが切断したり接
合部が剥離してしまうことはない。したがって、信頼性
が高い電力用混合集積回路装置を提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る電力用混合集積回路装置の断面
図である。
【図2】 従来の電力用混合集積回路装置を示す断面図
である。
【符号の説明】
21…電力用混合集積回路装置、22…ベース板、23
…電力用半導体チップ、25…中継用コネクタ、25a
…端子、26…モールド樹脂、27…制御用基板、28
…封止樹脂、30…ボンディングワイヤ、31…凹陥
部。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体チップを実装するとともにこの半
    導体チップの電極と導体パターンとをボンディングワイ
    ヤで接続した第1の基板と、この第1の基板の電子部品
    実装部を封止するモールド樹脂と、前記第1の基板に間
    隔をおいて対向するように配設した第2の基板とを備
    え、前記モールド樹脂に前記第2の基板を収容する凹陥
    部を形成するとともに、この凹陥部内に前記第2の基板
    が埋没するように封止樹脂を充填したことを特徴とする
    電力用混合集積回路装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の電力用混合集積回路装置
    において、第1の基板にモールド樹脂の第2の基板収容
    用凹陥部内に臨む中継用端子をモールド樹脂を貫通する
    ように立設し、この中継用端子の先端部に第2の基板を
    接続したことを特徴とする電力用混合集積回路装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2記載の電力用混
    合集積回路装置において、第1の基板に実装する半導体
    チップを大電力用半導体チップとしたことを特徴とする
    電力用混合集積回路装置。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000091499A (ja) * 1998-09-11 2000-03-31 Hitachi Ltd パワー半導体モジュール並びにそれを用いた電動機駆動システム
WO2000074445A1 (de) * 1999-05-31 2000-12-07 Tyco Electronics Logistics Ag Intelligentes leistungsmodul in sandwich-bauweise
JP2002325467A (ja) * 2001-04-25 2002-11-08 Yaskawa Electric Corp インバータ装置
JP2002343905A (ja) * 2001-05-11 2002-11-29 Sansha Electric Mfg Co Ltd 樹脂モールドされた回路装置
EP1406303A1 (en) * 2001-07-09 2004-04-07 Daikin Industries, Ltd. Power module and air conditioner
US7119437B2 (en) 2002-12-26 2006-10-10 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Electronic substrate, power module and motor driver
JP2009111288A (ja) * 2007-10-31 2009-05-21 Sanyo Electric Co Ltd 回路装置
JP2016149836A (ja) * 2015-02-10 2016-08-18 株式会社デンソー 電力変換装置
JP6462192B1 (ja) * 2018-04-10 2019-01-30 新電元工業株式会社 電力変換装置および電力変換装置の製造方法

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000091499A (ja) * 1998-09-11 2000-03-31 Hitachi Ltd パワー半導体モジュール並びにそれを用いた電動機駆動システム
WO2000074445A1 (de) * 1999-05-31 2000-12-07 Tyco Electronics Logistics Ag Intelligentes leistungsmodul in sandwich-bauweise
US6646884B1 (en) 1999-05-31 2003-11-11 Tyco Electronics Logistics Ag Sandwich-structured intelligent power module
JP4691819B2 (ja) * 2001-04-25 2011-06-01 株式会社安川電機 インバータ装置
JP2002325467A (ja) * 2001-04-25 2002-11-08 Yaskawa Electric Corp インバータ装置
JP2002343905A (ja) * 2001-05-11 2002-11-29 Sansha Electric Mfg Co Ltd 樹脂モールドされた回路装置
EP1406303A4 (en) * 2001-07-09 2007-12-12 Daikin Ind Ltd POWER MODULE AND AIR CONDITIONER
EP1406303A1 (en) * 2001-07-09 2004-04-07 Daikin Industries, Ltd. Power module and air conditioner
US7119437B2 (en) 2002-12-26 2006-10-10 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Electronic substrate, power module and motor driver
JP2009111288A (ja) * 2007-10-31 2009-05-21 Sanyo Electric Co Ltd 回路装置
JP2016149836A (ja) * 2015-02-10 2016-08-18 株式会社デンソー 電力変換装置
JP6462192B1 (ja) * 2018-04-10 2019-01-30 新電元工業株式会社 電力変換装置および電力変換装置の製造方法
WO2019198141A1 (ja) * 2018-04-10 2019-10-17 新電元工業株式会社 電力変換装置および電力変換装置の製造方法

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